KR20120074545A - 코팅층의 도포량 측정 방법 - Google Patents

코팅층의 도포량 측정 방법 Download PDF

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Abstract

코팅층의 도포량 측정 방법은, 도포량이 서로 다른 코팅층들을 구비한 복수의 표준 시료를 제작하는 단계와, 복수의 표준 시료 각각에 대해 코팅층의 도포량을 실측하여 표준 시료별 제1 데이터들을 구하는 단계와, 복수의 표준 시료 각각에 대해 코팅층에 빛을 조사하여 반사 광의 스펙트럼을 검출하고, 검출된 스펙트럼의 적분값을 연산하여 적분 강도를 산출함으로써 표준 시료별 제2 데이터들을 구하는 단계와, 제1 데이터들과 제2 데이터들을 이용하여 코팅층의 도포량과 적분 강도의 관계식을 연산하는 단계와, 대상 코팅층의 반사 광 스펙트럼으로부터 적분 강도를 산출하고, 산출된 적분 강도를 관계식에 도입하여 측정 대상 코팅층의 도포량을 연산 및 출력하는 단계를 포함한다.

Description

코팅층의 도포량 측정 방법 {METHOD FOR MEASURING SPREADED QUANTITY OF COATING LAYER}
본 발명은 코팅층의 도포량 측정 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반사 광의 스펙트럼을 이용하여 코팅층의 도포량을 측정하는 방법에 관한 것이다.
전기 강판을 제조하는 과정에서 강판 위에 산화마그네슘을 주성분으로 하는 코팅층을 형성한다. 이 코팅층은 이후 소둔 공정에서 유리질화되어 전기 강판의 자성 특성을 향상시키며, 강판끼리 서로 붙는 것을 방지한다. 코팅층의 도포량이 많을수록 산화성 결함이 생기고, 반대로 도포량이 적을수록 환원성 결함이 생기며 강판끼리 서로 붙는 불량이 발생한다. 따라서 코팅층의 도포량을 일정하게 관리하는 것이 중요하다.
코팅층의 도포량을 측정하는 방법 중 하나로 코팅층으로부터 방출되는 형광 엑스선을 이용하는 방법이 있다. 이 방법은 시료를 파괴하지 않고 비접촉식으로 코팅층의 도포량을 측정할 수 있으므로 산업 현장에서 널리 이용되고 있다. 그러나 산화마그네슘 코팅층의 경우 마그네슘이나 산소로부터 발생하는 형광 엑스선은 공기 중에 흡수되어 검출기까지 도달하지 못하므로 산화마그네슘 코팅층의 도포량 측정이 불가능하다.
본 발명은 시료를 파괴하지 않고 비접촉식으로 산화마그네슘 코팅층의 도포량을 측정할 수 있는 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 코팅층의 도포량 측정 방법은, 도포량이 서로 다른 코팅층들을 구비한 복수의 표준 시료를 제작하는 단계와, 복수의 표준 시료 각각에 대해 코팅층의 도포량을 실측하여 표준 시료별 제1 데이터들을 구하는 단계와, 복수의 표준 시료 각각에 대해 코팅층에 빛을 조사하여 반사 광의 스펙트럼을 검출하고, 검출된 스펙트럼의 적분값을 연산하여 적분 강도를 산출함으로써 표준 시료별 제2 데이터들을 구하는 단계와, 제1 데이터들과 제2 데이터들을 이용하여 코팅층의 도포량과 적분 강도의 관계식을 연산하는 단계와, 측정 대상 코팅층의 반사 광 스펙트럼으로부터 적분 강도를 산출하고, 산출된 적분 강도를 관계식에 도입하여 측정 대상 코팅층의 도포량을 연산 및 출력하는 단계를 포함한다.
복수의 표준 시료를 제작하는 단계에서 표준 시료들의 코팅층 도포량 범위는 측정 대상 코팅층의 도포량 범위보다 넓을 수 있다.
표준 시료별 제1 데이터들을 구하는 단계에서, 코팅층을 포함한 표준 시료의 무게를 측정하고, 코팅층의 일부를 제거한 다음 코팅층을 포함한 표준 시료의 무게를 측정하고, 두 측정치의 차이값을 제거된 코팅층의 면적으로 나누어 제1 데이터를 구할 수 있다.
다른 한편으로, 표준 시료별 제1 데이터들을 구하는 단계에서, 표준 시료에 코팅층을 형성하기 전의 무게와 코팅층을 형성한 후의 무게를 측정하고, 두 측정치의 차이값을 표준 시료의 면적으로 나누어 제1 데이터를 구할 수 있다.
반사 광의 스펙트럼은 광 검출기를 이용하여 검출하고, 표준 시료의 적분 강도와 측정 대상 코팅층의 적분 강도는 반사 광의 스펙트럼 중 가시광선 영역의 적분값을 연산하여 구할 수 있다.
코팅층의 도포량과 적분 강도의 관계식은 하기 수식으로 표현될 수 있다.
D = a + b(I) + c(I2)
여기서, D는 코팅층의 도포량(g/㎡)을 나타내고, I는 적분 강도를 나타내며, a, b, c는 상수이다.
표준 시료의 코팅층과 측정 대상 코팅층은 산화마그네슘을 포함하는 코팅층일 수 있다.
비파괴적인 방법으로 신속하고 정밀하게 산화마그네슘 코팅층의 도포량을 측정할 수 있으며, 전기 강판을 제조하는 과정에서 실시간으로 산화마그네슘 코팅층의 도포량을 확인하여 산화마그네슘 코팅층의 도포량을 일정 범위로 관리 유지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅층의 도포량 측정 방법을 나타낸 순서도이다.
도 2는 도 1에 도시한 제1 단계의 표준 시료들 중 일부를 나타낸 개략도이다.
도 3은 도 1에 도시한 제3 단계의 표준 시료를 나타낸 개략도이다.
도 4는 제3 단계에서 검출한 네가지 표준 시료의 반사 광 스펙트럼을 나타낸 그래프이다.
도 5는 산화마그네슘 코팅층의 도포량과 가시광선 영역에서 측정된 반사 광 스펙트럼의 적분 강도의 관계를 나타낸 그래프이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅층의 도포량 측정 방법을 나타낸 순서도이다.
도 1을 참고하면, 본 실시예에 따른 코팅층 도포량 측정 방법은 복수의 표준 시료를 제작하는 제1 단계(S10)와, 코팅층의 도포량을 실측하여 표준 시료별 제1 데이터들을 구하는 제2 단계(S20)와, 반사 광 스펙트럼의 적분 강도를 산출하여 표준 시료별 제2 데이터들을 구하는 제3 단계(S30)와, 제1 데이터들과 제2 데이터들을 이용하여 코팅층의 도포량과 적분 강도의 관계식을 연산하는 제4 단계(S40)와, 측정 대상 코팅층의 반사 광 스펙트럼으로부터 적분 강도를 산출하고 상기 관계식을 이용하여 측정 대상 코팅층의 도포량을 구하는 제5 단계(S50)를 포함한다.
도 2는 도 1에 도시한 제1 단계의 표준 시료들 중 일부를 나타낸 개략도이다.
도 2를 참고하면, 제1 단계(S10)에서 복수의 표준 시료(10, 20, 30)는 일면에 코팅층(11, 21, 31)을 구비하며, 각 코팅층(11, 21, 31)은 서로 다른 도포량을 가진다. 즉, 복수의 표준 시료(10, 20, 30)에는 도포량이 적은 코팅층(11)부터 도포량이 많은 코팅층(31)까지 다양한 코팅층(11, 21, 31)이 형성된다. 이때 표준 시료들(10, 20, 30)의 코팅층 도포량 범위가 측정 대상 코팅층(도시하지 않음)의 도포량 범위보다 넓도록 표준 시료들(10, 20, 30)을 준비한다.
예를 들어, 측정 대상 코팅층의 도포량이 대략 5g/㎡ 내지 20g/㎡ 범위인 경우를 가정하면, 표준 시료들(10, 20, 30)의 도포량 하한값은 5g/㎡보다 작고, 도포량 상한값은 20g/㎡보다 크다. 따라서 측정 대상 코팅층의 도포량이 표준 시료들(10, 20, 30)의 코팅층 도포량 범위 이내에 있도록 한다.
본 실시예에 적용되는 코팅층은 산화마그네슘을 주성분으로 하는 코팅층으로서 강판 위에 도포될 수 있다. 그러나 코팅층의 주성분은 전술한 예에 한정되지 않으며, 후술하는 측정 방법을 이용하여 도포량을 측정할 수 있는 성분이면 모두 적용 가능하다.
제2 단계(S20)에서는 복수의 표준 시료(10, 20, 30) 각각에 대해 코팅층(11, 21, 31)의 도포량을 측정하여 표준 시료별 제1 데이터들을 준비한다. 제1 데이터들은 코팅층 도포량의 실측 데이터를 의미한다. 코팅층(11, 21, 31)의 도포량 측정은 다음에 설명하는 두가지 방법에 의해 실행될 수 있다.
코팅층(11, 21, 31)을 포함한 표준 시료(10, 20, 30)의 무게를 측정하고, 코팅층(11, 21, 31)의 일부를 제거한 다음 코팅층(11, 21, 31)을 포함한 표준 시료(10, 20, 30)의 무게를 측정하며, 두 측정치의 차이값을 제거된 코팅층의 면적으로 나누어 단위 면적당 코팅층(11, 21, 31)의 도포량을 측정한다.
이때 표준 시료(10, 20, 30) 각각에 대해 복수개 영역에서 단위 면적당 코팅층의 도포량을 측정한 후 그 평균값을 취할 수 있다. 이 경우 코팅층 도포량의 측정 오차를 최소화할 수 있다.
다른 한편으로, 표준 시료(10, 20, 30)에 코팅층(11, 21, 31)을 형성하기 전의 무게와 코팅층(11, 21, 31)을 형성한 이후 무게를 측정하고, 두 측정치의 차이값을 표준 시료(10, 20, 30)의 면적으로 나누어 단위 면적당 코팅층의 도포량을 측정할 수 있다.
도 3은 도 1에 도시한 제3 단계의 표준 시료를 나타낸 개략도이다.
도 3을 참고하면, 제3 단계에서는 표준 시료(10)의 코팅층(11)에 빛을 조사하고, 광 검출기(42)를 이용하여 코팅층(11)의 반사 광 스펙트럼을 검출한다.
광원(41)은 가스 봉입 램프, 예를 들어 제논 램프, 수은 램프, 또는 크세논 램프일 수 있으며, 자외선을 포함한 백색광을 방출한다. 이 경우 광 검출기(42)로는 자외선 영역과 가시광선 영역의 빛을 감지하는 검출기를 사용한다. 한편, 광원(41)은 가시광선 영역의 빛을 방출할 수 있으며, 이 경우 광 검출기(42)로는 가시광선 영역의 빛을 감지하는 검출기를 사용한다.
제논 램프, 수은 램프, 및 크세논 램프와 같은 가스 봉입 램프는 상용화된 것들로서 특정 사양의 광원을 별도로 설계 및 제작하지 않아도 되므로 코팅층 도포량 측정을 위한 장비의 제조 비용을 낮출 수 있다.
복수의 표준 시료(10, 20, 30) 각각에 대해 코팅층(11, 21, 31)에 빛을 조사하고, 광 검출기(42)를 이용하여 코팅층(11, 21, 31)의 반사 광 스펙트럼을 검출한다.
도 4는 제3 단계에서 검출된 네가지 표준 시료의 반사 광 스펙트럼을 나타낸 그래프이다. 그래프 세로축의 강도는 임의단위이다. 도 4에서는 코팅층의 도포량 실측값이 각각 5.9g/㎡, 6.3g/㎡, 6.6g/㎡, 및 7.2g/㎡인 네가지 표준 시료에 대하여 250nm 내지 750nm 파장 범위에서 검출된 반사 광의 스펙트럼을 나타내었다.
검출된 네가지 반사 광의 스펙트럼은 코팅층의 도포량에 따라 강도 크기만 다르면서 거의 같은 패턴을 보이며, 특히 가시광선 영역(380nm 내지 750nm)의 반사 광 스펙트럼에서 코팅층 도포량과의 상관 관계는 자외선 영역(250nm 내지 380nm)보다 우수한 것을 확인할 수 있다.
따라서 제3 단계(S30)에서는 복수의 표준 시료마다 반사 광을 검출하고, 반사 광의 스펙트럼 중 코팅층 도포량과의 상관 관계가 우수한 가시광선 영역의 스펙트럼 적분값을 연산하여 적분 강도를 산출한다. 제3 단계에서 제2 데이터들은 표준 시료들의 적분 강도 데이터를 의미하며, 이때 적분 강도는 반사 광 스펙트럼 중 가시광선 영역의 적분값(상수)이다.
제4 단계(S40)에서는 제2 단계(S20)에서 얻은 제1 데이터들과 제3 단계(S30)에서 얻은 제2 데이터들을 이용하여 코팅층의 도포량과 적분 강도의 관계식을 아래 수식 (1)과 같이 연산한다.
D = a + b(I) + c(I2) --- (1)
여기서, D는 코팅층의 도포량(g/㎡)을 나타내고, I는 적분 강도를 나타내며, a, b, c는 상수이다.
광 검출기(42)는 계산 장치(43)(도 3 참조)에 연결되며, 계산 장치(43)(도 3 참조)는 상용화된 연산 프로그램을 이용한 연산 처리를 거쳐 제1 데이터들과 제2 데이터들로부터 수식 (1)의 상수 a, b, c를 용이하게 연산할 수 있다. 이와 같이 수식 (1)은 실측 데이터(제1 데이터들)와 실험 데이터(제2 데이터들)에 의해 도출된 회귀식이다.
전술한 수식 (1)에서는 코팅층의 도포량이 적분 강도의 2차식으로 표현된 경우를 예시하였으나, 코팅층의 도포량과 적분 강도의 관계식은 일차식으로도 표현될 수 있으며, 선형식이 아닌 다른 수식으로도 표현될 수 있다.
도 5는 산화마그네슘 코팅층의 도포량과 가시광선 영역에서 측정된 스펙트럼 적분 강도(백색광 적분 강도)의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 5에서 점들은 산화마그네슘 코팅층에 대하여 제2 단계(S20)에서 얻은 제1 데이터들과 제3 단계(S30)에서 얻은 제2 데이터들을 나타내고, 선은 제4 단계(S40)에서 얻은 코팅층의 도포량과 적분 강도의 관계식을 나타낸다. 그래프 세로축의 백색광 적분 강도는 임의단위이다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 산화마그네슘 코팅층의 도포량은 가시광선 영역의 스펙트럼의 적분 강도와 매우 우수한 상관 관계를 보이고 있음을 확인할 수 있다.
제5 단계(S50)에서는 측정 대상 코팅층에 빛을 조사하고, 광 검출기(42)를 이용하여 측정 대상 코팅층의 반사 광 스펙트럼을 검출하여 가시광선 영역의 적분 강도를 구한다. 그리고 검출된 적분 강도를 전술한 관계식에 대입함으로써 측정 대상 코팅층의 도포량을 구한다.
전술한 코팅층 도포량 측정 방법은 강판 위에 산화마그네슘 코팅층을 형성하는 공정에 적용될 수 있다. 강판 위에 도포된 산화마그네슘 코팅층은 고온 소둔시 강판끼지 서로 붙지 않게 하고, 강판 표면에 산화층을 형성하여 전기 강판에 자기적 성질을 부여하는 역할을 한다. 전기 강판 제조 공정에 본 실시예의 측정 방법을 적용함으로써 산화마그네슘 코팅층의 도포량을 적정 두께로 유지 및 관리할 수 있다.
또한, 본 실시예의 코팅층 도포량 측정 방법은 비파괴적인 방법으로서 신속하고 정밀하게 산화마그네슘 코팅층의 도포량을 측정할 수 있으며, 온라인 측정에 적용되면 전기 강판을 제조하는 과정에서 실시간으로 전장 및 전폭에 대하여 산화마그네슘 코팅층의 도포량을 확인할 수 있고, 자동 제어가 가능하므로 고품질의 전기 강판을 생산할 수 있다.
하기 표 1에 12개의 표준 시료에 대하여 제2 단계에서 얻은 산화마그네슘 코팅층의 실측 도포량과, 제4 단계의 관계식을 이용하여 제5 단계에서 얻은 산화마그네슘 코팅층의 측정 도포량을 나타내었다.
Figure pat00001
표 1의 실험에 사용된 광원은 자외선 영역과 가시광선 영역의 빛을 방출하는 제논 램프이며, 코팅층의 반사 광 스펙트럼 중 가시광선 영역의 적분값을 연산하여 적분 강도로 사용하였다.
표 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 방법으로 측정한 산화마그네슘 코팅층의 측정 도포량은 실측 도포량과 비교할 때 매우 정확한 결과를 보이고 있음을 확인할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
10, 20, 30: 표준 시료 11, 21, 31: 코팅층
41: 광원 42: 광 검출기
43: 계산 장치

Claims (7)

  1. 도포량이 서로 다른 코팅층들을 구비한 복수의 표준 시료를 제작하는 단계;
    상기 복수의 표준 시료 각각에 대해 상기 코팅층의 도포량을 실측하여 표준 시료별 제1 데이터들을 구하는 단계;
    상기 복수의 표준 시료 각각에 대해 상기 코팅층에 빛을 조사하여 반사 광의 스펙트럼을 검출하고, 검출된 스펙트럼의 적분값을 연산하여 적분 강도를 산출함으로써 표준 시료별 제2 데이터들을 구하는 단계;
    상기 제1 데이터들과 상기 제2 데이터들을 이용하여 상기 코팅층의 도포량과 상기 적분 강도의 관계식을 연산하는 단계; 및
    측정 대상 코팅층의 반사 광 스펙트럼으로부터 적분 강도를 산출하고, 산출된 적분 강도를 상기 관계식에 도입하여 상기 측정 대상 코팅층의 도포량을 연산 및 출력하는 단계
    를 포함하는 코팅층의 도포량 측정 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 표준 시료를 제작하는 단계에서,
    상기 표준 시료들의 코팅층 도포량 범위는 상기 측정 대상 코팅층의 도포량 범위보다 넓은 코팅층의 도포량 측정 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 표준 시료별 상기 제1 데이터들을 구하는 단계에서,
    상기 코팅층을 포함한 상기 표준 시료의 무게를 측정하고, 상기 코팅층의 일부를 제거한 다음 상기 코팅층을 포함한 상기 표준 시료의 무게를 측정하고, 두 측정치의 차이값을 제거된 코팅층의 면적으로 나누어 상기 제1 데이터를 구하는 코팅층의 도포량 측정 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 표준 시료별 상기 제1 데이터들을 구하는 단계에서,
    상기 표준 시료에 상기 코팅층을 형성하기 전의 무게와 상기 코팅층을 형성한 후의 무게를 측정하고, 두 측정치의 차이값을 상기 표준 시료의 면적으로 나누어 상기 제1 데이터를 구하는 코팅층의 도포량 측정 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 반사 광의 스펙트럼은 광 검출기를 이용하여 검출하고,
    상기 표준 시료의 적분 강도와 상기 측정 대상 코팅층의 적분 강도는 반사 광의 스펙트럼 중 가시광선 영역의 적분값을 연산하여 구하는 코팅층의 도포량 측정 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 코팅층의 도포량과 상기 적분 강도의 관계식은 하기 수식으로 표현되는 코팅층의 도포량 측정 방법.
    D = a + b(I) + c(I2)
    여기서, D는 코팅층의 도포량(g/㎡)을 나타내고, I는 적분 강도를 나타내며, a, b, c는 상수이다.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 표준 시료의 코팅층과 상기 측정 대상 코팅층은 산화마그네슘을 포함하는 코팅층의 도포량 측정 방법.
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KR20180074426A (ko) 2016-12-23 2018-07-03 주식회사 포스코 강판의 코팅층 두께 제어 장치
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP3409942B2 (ja) * 1995-05-12 2003-05-26 新日本製鐵株式会社 色彩測定を利用した膜厚定量方法
KR100665003B1 (ko) * 2004-12-07 2007-01-09 삼성전기주식회사 금속표면 상의 유기도막 두께 측정방법

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180074426A (ko) 2016-12-23 2018-07-03 주식회사 포스코 강판의 코팅층 두께 제어 장치
KR101879107B1 (ko) * 2016-12-23 2018-07-16 주식회사 포스코 강판의 코팅층 두께 제어 장치
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