KR20120074464A - Substrate transfer apparatus - Google Patents

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KR20120074464A KR1020100136303A KR20100136303A KR20120074464A KR 20120074464 A KR20120074464 A KR 20120074464A KR 1020100136303 A KR1020100136303 A KR 1020100136303A KR 20100136303 A KR20100136303 A KR 20100136303A KR 20120074464 A KR20120074464 A KR 20120074464A
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Abstract

PURPOSE: A substrate transport apparatus is provided to improve convenience for workers by separating only the decelerator from a substrate transport apparatus. CONSTITUTION: An arm unit(20) is rotatably connected with an installation unit(10). The arm unit includes an arm(210) and a vertical guider(260). A movable up-down elevating unit(30) is installed on the vertical guider. The elevating unit includes an up-down moving unit(310) and a horizontal guider(320). The horizontal guider leads horizontal moving of an effector support unit(40) supporting an end effector(50).

Description

기판이송장치{Substrate transfer apparatus}Substrate transfer apparatus

본 발명은 기판이송장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate transfer device.

일반적으로 기판이송장치는, 기판을 특정 위치로 이송하기 위한 장치이다. Generally, a substrate transfer apparatus is an apparatus for transferring a board | substrate to a specific position.

상기 기판이송장치는, 특정 위치에 설치된 상태에서 1축 이상의 좌표로 움직일 수 있도록 구성된다. 상기 기판이송장치는, 암 기구과 상기 암 기구 구동시키기 위한 하나 이상의 모터가 포함된다. 상기 암 기구는 하나 이상의 암을 포함한다. 상기 암 기구의 내부에는 감속기가 구비될 수 있다. 이 때, 웨이퍼(wafer), LCD 기판 등이 포함될 수 있다. The substrate transfer apparatus is configured to be movable in one or more axes in a state where it is installed at a specific position. The substrate transfer apparatus includes an arm mechanism and one or more motors for driving the arm mechanism. The cancer device includes one or more arms. A reducer may be provided inside the arm mechanism. In this case, a wafer, an LCD substrate, or the like may be included.

종래의 기판이송장치의 경우, 내부 부품(일 례로 감속기)을 교체하거나 수리를 하기 위해서는 암과 함께 기타 부품을 분해하여야 하므로, 작업 시간이 증가되고 작업 효율이 저하되는 문제가 있다. In the conventional substrate transfer apparatus, since the internal parts (for example, the reducer) need to be disassembled with the arm in order to replace or repair the internal parts, there is a problem that the working time increases and the working efficiency decreases.

본 발명의 목적은, 암의 회전을 위한 부품의 교체가 용이한 기판이송장치를 제공하는 것에 있다. An object of the present invention is to provide a substrate transfer device that is easy to replace parts for rotating the arm.

일 측면에 따른 기판이송장치는, 특정 위치에 결합되는 설치부; 및 상기 설치부에 회전 가능하게 연결되는 암 기구를 포함하며, 상기 암 기구는, 암과, 상기 암에 구비되는 모터와, 상기 모터의 동력을 전달하기 위한 동력전달부와, 상기 동력전달부에 연결되어 상기 모터의 동력을 전달받는 감속기와, 상기 감속기로 전달된 동력을 상기 암으로 전달하기 위하여, 상기 암 및 상기 감속기에 연결되는 연결부재를 포함하고, 상기 암에는 상기 감속기가 인출되기 위한 개구부가 형성되고, 상기 상측 개구부는 커버에 의해서 개폐되며, 상기 암 기구가 상기 설치부에 설치된 상태에서 상기 감속기는 상기 암 기구로부터 분리될 수 있는 특징으로 한다. The substrate transfer apparatus according to one aspect, the installation portion coupled to a specific position; And an arm mechanism rotatably connected to the mounting portion, wherein the arm mechanism includes an arm, a motor provided on the arm, a power transmission unit for transmitting power of the motor, and the power transmission unit. A reducer connected to receive power of the motor, and a connection member connected to the arm and the reducer to transfer the power transmitted to the reducer to the arm, wherein the arm has an opening for drawing out the reducer. Is formed, the upper opening is opened and closed by a cover, characterized in that the speed reducer can be separated from the arm mechanism in a state where the arm mechanism is installed in the installation portion.

제안되는 발명에 의하면, 상기 감속기가 상기 암에 직접 연결되지 않고, 상기 연결부재에 의해서 간접적으로 연결되고, 상기 암에 개구부이 형성됨에 따라, 상기 암을 상기 설치부에서 분리하지 않고, 상기 감속기만 상기 기판이송장치에서 분리시킬 수 있으므로, 작업자의 편의성이 향상되는 장점이 있다. According to the proposed invention, the speed reducer is not directly connected to the arm, but is indirectly connected by the connecting member, and as the opening is formed in the arm, the arm is not separated from the installation part, and only the speed reducer is Since it can be separated from the substrate transfer device, there is an advantage that the operator's convenience is improved.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치의 사시도.
도 2는 암 기구가 설치부에 설치된 상태를 보여주는 기판이송장치의 부분 사시도.
도 3은 암 기구의 부분 절개 사시도.
도 4는 암 기구의 수직 단면도.
도 5는 암 기구에서 감속기가 분리된 상태를 보여주는 도면. 1 is a perspective view of a substrate transfer apparatus according to the present invention.
Figure 2 is a partial perspective view of the substrate transfer device showing a state in which the arm mechanism is installed in the mounting portion.
3 is a partial cutaway perspective view of the arm mechanism;
4 is a vertical sectional view of the arm mechanism.
5 is a view showing a state in which the reducer is separated from the arm mechanism.

이하에서는 도면을 참조하여 실시 예에 대해서 구체적으로 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이하, 본 발명의 일부 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. Hereinafter, some embodiments of the present invention will be described in detail with reference to exemplary drawings. In adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals are assigned to the same components as much as possible even though they are shown in different drawings. In addition, in describing the embodiments of the present invention, when it is determined that the detailed description of the related well-known configuration or function is to interfere with the understanding of the embodiment of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

또한, 본 발명의 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. In describing the components of the embodiment of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are intended to distinguish the constituent elements from other constituent elements, and the terms do not limit the nature, order or order of the constituent elements. If a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, that component may be directly connected or connected to that other component, but between components It will be understood that may be "connected", "coupled" or "connected".

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치의 사시도이다. 1 is a perspective view of a substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 기판이송장치(1)는, 특정 위치에 설치될 수 있는 설치부(10)와, 상기 설치부(10)에 대해서 수평 회전될 수 있는 암 기구(20: arm device)를 포함한다. Referring to FIG. 1, the substrate transfer apparatus 1 of the present invention includes an installation unit 10 that may be installed at a specific position, and an arm mechanism 20 that may be horizontally rotated with respect to the installation unit 10. device).

상기 설치부(10)는 특정 위치 또는 부품에 설치된 상태에서 움직이지 않도록 고정되거나 특정 부품과 함께 움직일 수 있다. 다만, 본 실시 예에서는, 상기 설치부(10)는 상기 암 기구(20)의 회전 시 위치가 고정된다. The installation unit 10 may be fixed so as not to move in a state of being installed at a specific position or part or move together with a specific part. However, in the present embodiment, the installation portion 10 is fixed to the position when the arm mechanism 20 is rotated.

상기 암 기구(20)는 상기 설치부에 회전 가능하게 연결되는 암(210: arm)과,상기 암(210)에서 상방으로 연장되는 수직 가이더(260: vertical guider)를 포함한다. 상기 수직 가이더(260)에는 상기 수직 가이더(260)를 따라 상하 이동할 수 있는 승강 기구(30)가 설치된다. 상기 승강 기구(30)는, 상하 이동부(310)와 수평 가이더(320)를 포함한다. 상기 수평 가이더(320)는 기판을 지지하는 엔드 이펙터(50: end effector)를 지지하는 이펙터 지지부(40)의 수평 이동을 가이드한다. The arm mechanism 20 includes an arm (210) rotatably connected to the installation unit, and a vertical guider (260) extending upward from the arm 210. The vertical guider 260 is provided with a lifting mechanism 30 which can move up and down along the vertical guider 260. The lifting mechanism 30 includes a vertical moving unit 310 and a horizontal guider 320. The horizontal guider 320 guides the horizontal movement of the effector support 40 supporting the end effector 50 supporting the substrate.

본 발명은 암 기구의 구조에 주된 관심이 있으므로, 이하에서는 암 기구의 구조에 대해서 상세하게 설명하기로 한다. Since the present invention is mainly concerned with the structure of the cancer mechanism, the structure of the cancer mechanism will be described in detail below.

도 2는 암 기구가 설치부에 설치된 상태를 보여주는 기판이송장치의 부분 사시도이고, 도 3은 암 기구의 부분 절개 사시도이며, 도 4는 암 기구의 수직 단면도이다. 2 is a partial perspective view of the substrate transfer apparatus showing a state where the arm mechanism is installed in the installation portion, FIG. 3 is a partially cutaway perspective view of the arm mechanism, and FIG. 4 is a vertical sectional view of the arm mechanism.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 암 기구(20)는, 회전 동작하는 암(210)을 포함한다. 상기 암(210)의 상측에는 내부 부품의 조립 또는 분해를 위한 개구부(211)가 형성된다. 상기 개구부(211)는 커버(212: cover)에 의해서 개폐될 수 있다. 상기 커버(212)는 상기 암(210)에 분리 가능하게 결합되거나, 회전 가능하게 결합될 수 있다. 본 발명에서는 일 례로 상기 커버(212)가 상기 암(210)에 분리 가능하게 결합되는 것에 대해서 설명하기로 한다. 2 to 4, the arm mechanism 20 includes an arm 210 that rotates. An opening 211 is formed at an upper side of the arm 210 for assembling or disassembling an internal component. The opening 211 may be opened and closed by a cover 212. The cover 212 may be detachably coupled to the arm 210 or rotatably coupled to the arm 210. In the present invention, for example, the cover 212 will be described to be detachably coupled to the arm 210.

상기 암(210)의 내부에는 상기 암(210)의 회전을 위한 동력을 발생시키는 모터(220: motor)가 구비된다. 상기 모터(220)의 동력은 상기 암(210)에 직접 전달되지 않고, 동력전달부에 의해서 상기 암(210)으로 간접적으로 전달된다. Inside the arm 210, a motor 220 for generating power for the rotation of the arm 210 is provided. The power of the motor 220 is not directly transmitted to the arm 210, but is indirectly transmitted to the arm 210 by a power transmission unit.

상기 동력전달부는, 상기 모터(210)에 연결되는 제1풀리(222)와, 상기 제1풀리(222)의 외측에 둘러지는 벨트(224)와, 상기 제1풀리(222)와 수평 방향으로 이격된 위치에 배치되며, 상기 벨트(224)가 둘러지는 제2풀리(226)를 포함한다. The power transmission unit, the first pulley 222 connected to the motor 210, the belt 224 surrounding the outer side of the first pulley 222, and the first pulley 222 in a horizontal direction A second pulley 226 is disposed at a spaced position and the belt 224 is surrounded.

상기 제2풀리(226)의 하측에는 감속기(230)가 연결된다. 상기 제2풀리(230)는 상기 감속기(230)와 스크류와 같은 체결부재에 의해서 체결될 수 있다. The reducer 230 is connected to the lower side of the second pulley 226. The second pulley 230 may be fastened by a fastening member such as a reducer 230 and a screw.

상기 암(210)의 하측면에는 상기 감속기(230)가 위치할 수 있는 공간을 제공하는 홀(213)이 형성된다. 상기 제2풀리(226)의 동력이 상기 암(210)으로 전달되기 위하여 상기 암(210)과 상기 감속기(230)는 연결부재(240)에 의해서 연결된다. A hole 213 is provided on the lower side of the arm 210 to provide a space in which the reducer 230 may be located. In order to transmit the power of the second pulley 226 to the arm 210, the arm 210 and the speed reducer 230 are connected by a connection member 240.

상세히, 상기 감속기(230)가 상기 암(210)의 홀(213)에 위치한 상태에서, 상기 연결부재(240)는 상기 감속기(230)의 상측에서 상기 암(210) 및 상기 감속기(230)에 스크류와 같은 체결부재에 의해서 체결될 수 있다. In detail, in a state in which the speed reducer 230 is located in the hole 213 of the arm 210, the connection member 240 is connected to the arm 210 and the speed reducer 230 at an upper side of the speed reducer 230. It may be fastened by a fastening member such as a screw.

상기 감속기(230)는 상기 연결부재(240)와 체결되며 회전 동작하는 회전부(231)와, 상기 회전부(231)의 외측에 연결되어 상기 회전부(231)의 회전을 가이드하며, 상기 설치부(232)에 결합되는 회전부 가이더(232)를 포함한다. 상기 회전부 가이더(232)와 상기 회전부(231) 사이에는 베어링(233)이 구비될 수 있다. 이 때, 상기 제2풀리(226)의 회전 중심은 상기 회전부(231)의 회전 중심과 동일하다. The speed reducer 230 is coupled to the connection member 240 and rotates and rotates 231, which is connected to the outside of the rotation part 231 to guide the rotation of the rotation part 231, and the installation part 232. It includes a rotary guider 232 coupled to. A bearing 233 may be provided between the rotary part guider 232 and the rotary part 231. At this time, the rotation center of the second pulley 226 is the same as the rotation center of the rotating unit 231.

상기 암(210)의 하측에는 상기 암(210)의 회전을 가이드하기 위한 회전 가이더(252, 253)가 구비된다. 상기 암(210)과 상기 회전 가이더(252, 253)에는 플레이트(251)가 개입된다. 상기 플레이트(251)는 상기 암(210)의 하측에서 상기 암(210) 및 상기 회전 가이더(252, 253)에 연결된다. The lower side of the arm 210 is provided with rotation guiders 252 and 253 for guiding the rotation of the arm 210. Plate 251 is interposed between the arm 210 and the rotary guiders 252 and 253. The plate 251 is connected to the arm 210 and the rotary guiders 252 and 253 at the lower side of the arm 210.

상기 회전 가이더(252, 253)는 상기 플레이트(251)에 결합되는 내부가이더(252)와, 상기 내부가이더(252)의 외측에 위치되며, 상기 설치부(10)에 결합되는 외부가이더(253)를 포함한다. 상기 외부가이더(253)와 상기 내부가이더(253)의 사이에는 베어링이 구비된다. 상기 암(210)이 상기 내부가이더(252)와 직접 결합되지 않고, 상기 플레이트를 매개로 간접적으로 결합되므로, 상기 암(210)과 상기 내부가이더(252)의 결합 강도(또는 결합력)가 증가될 수 있다. 이 때, 상기 연결부재, 상기 암 및 상기 플레이트는 단일의 체결부재에 의해서 체결될 수 있다. The rotary guiders 252 and 253 are inner guiders 252 coupled to the plate 251, and outer guiders 253 positioned outside the inner guiders 252 and coupled to the installation unit 10. It includes. A bearing is provided between the outer guider 253 and the inner guider 253. Since the arm 210 is not directly coupled to the inner guider 252, but indirectly coupled to the inner guider 252, the coupling strength (or binding force) of the arm 210 and the inner guider 252 may be increased. Can be. At this time, the connecting member, the arm and the plate may be fastened by a single fastening member.

위와 같은 구조에 의해서 상기 모터(220)가 작동하면, 상기 모터(220)의 회전력이 상기 제1풀리(222) 및 상기 벨트(224)에 의해서 상기 제2풀리(224)로 전달되어 상기 제2풀리(226)가 회전된다. 상기 제2풀리(226)가 회전되면, 상기 제2풀리와 연결된 상기 감속기의 회전부(231)가 함께 회전된다. 상기 회전부(231)가 회전되면, 상기 회전부(231)와 상기 연결부재(240)에 의해서 연결된 상기 암(210)이 함께 회전된다. 상기 암(210)이 회전되면, 상기 암(210)의 하측에 연결된 플레이트(251) 및 상기 플레이트(251)와 연결된 내부가이더(252)가 함께 회전된다. When the motor 220 is operated by the above structure, the rotational force of the motor 220 is transmitted to the second pulley 224 by the first pulley 222 and the belt 224 to the second pulley 224. Pulley 226 is rotated. When the second pulley 226 is rotated, the rotating unit 231 of the reducer connected to the second pulley is rotated together. When the rotating unit 231 is rotated, the arm 210 connected by the rotating unit 231 and the connecting member 240 is rotated together. When the arm 210 is rotated, the plate 251 connected to the lower side of the arm 210 and the inner guider 252 connected to the plate 251 are rotated together.

도 5는 암 기구에서 감속기가 분리된 상태를 보여주는 도면이다. 5 is a view showing a state in which the reducer is separated from the arm mechanism.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 암(210)이 상기 설치부(210)에 설치된 상태에서 상기 감속기(230)가 상기 암 기구(20)에서 분리될 수 있다. 이하에서는 상기 감속기(230)를 상기 암 기구(20)에서 분리하는 방법에 대해서 설명하기로 한다. 4 and 5, the reducer 230 may be separated from the arm mechanism 20 while the arm 210 is installed in the installation unit 210. Hereinafter, a method of separating the reducer 230 from the arm mechanism 20 will be described.

상기 감속기(230)를 분리하기 위해서는 상기 커버(212)를 상기 암(210)으로부터 분리시킨다. 그 다음, 상기 제2풀리(226)에서 상기 벨트(224)를 분리시킨다. In order to separate the reducer 230, the cover 212 is separated from the arm 210. Then, the belt 224 is separated from the second pulley 226.

그 다음, 상기 연결부재(240)와 상기 암(210) 및 상기 감속기(230)의 결합을 해제한다. 그 다음, 상기 감속기(230)와 상기 설치부(10)의 결합을 해제한다. 그러면, 상기 감속기(230)는 상기 홀(213) 및 상기 개구부(211)를 통하여 상기 암(210)에서 분리될 수 있다(인출될 수 있다). 상기 감속기(230)는 상기 제2풀리(226)와 함께 분리되거나, 상기 제2풀리(226)를 상기 감속기(230)에서 분리시킨 후에 상기 감속기(230)가 별도로 분리될 수 있다. Then, the coupling member 240, the arm 210 and the reducer 230 is released. Then, the coupling of the reducer 230 and the installation unit 10 is released. Then, the speed reducer 230 may be separated from the arm 210 through the hole 213 and the opening 211. The reducer 230 may be separated together with the second pulley 226, or after the second pulley 226 is separated from the reducer 230, the reducer 230 may be separately separated.

이 때, 상기 감속기(230)가 상기 암 기구(20)로부터 분리 가능하기 위하여, 개구부(211) 및 상기 홀(213)의 내경은 상기 감속기(230)의 외경 보다 크게 형성된다. At this time, the inner diameter of the opening 211 and the hole 213 is formed larger than the outer diameter of the reducer 230 so that the reducer 230 can be separated from the arm mechanism 20.

본 발명에 의하면, 상기 감속기(230)가 상기 암(210)에 직접 연결되지 않고, 상기 연결부재에 의해서 간접적으로 연결되며, 상기 암(210)에 개구부(211) 및 홀(213)이 형성됨에 따라, 상기 암(210)을 분리하지 않고, 상기 감속기만 상기 기판이송장치에서 분리시킬 수 있으므로, 작업자의 편의성이 향상되는 장점이 있다. 즉, 작업자는, 상기 커버와, 상기 연결부재를 분리하는 것에 의해서 용이하게 상기 감속기를 상기 기판이송장치로부터 분리할 수 있게 된다. According to the present invention, the speed reducer 230 is not directly connected to the arm 210, but is indirectly connected by the connecting member, and the opening 210 and the hole 213 are formed in the arm 210. Accordingly, since the arm 210 is not separated and only the speed reducer can be separated from the substrate transfer device, there is an advantage in that the operator's convenience is improved. That is, the operator can easily separate the reducer from the substrate transfer apparatus by separating the cover and the connecting member.

10: 설치부 20: 암 기구
210: 암 230: 감속기
240: 연결부재10: mounting portion 20: arm mechanism
210: arm 230: reducer
240: connecting member

Claims (6)

특정 위치에 결합되는 설치부; 및
상기 설치부에 회전 가능하게 연결되는 암 기구를 포함하며,
상기 암 기구는, 암과,
상기 암에 구비되는 모터와,
상기 모터의 동력을 전달하기 위한 동력전달부와,
상기 동력전달부에 연결되어 상기 모터의 동력을 전달받는 감속기와,
상기 감속기로 전달된 동력을 상기 암으로 전달하기 위하여, 상기 암 및 상기 감속기에 연결되는 연결부재를 포함하고,
상기 암에는 상기 감속기가 인출되기 위한 개구부가 형성되고,
상기 상측 개구부는 커버에 의해서 개폐되며,
상기 암 기구가 상기 설치부에 설치된 상태에서 상기 감속기는 상기 암 기구로부터 분리될 수 있는 특징으로 하는 기판이송장치. An installation unit coupled to a specific position; And
An arm mechanism rotatably connected to the installation unit,
The cancer mechanism, the arm,
A motor provided in the arm,
A power transmission unit for transmitting power of the motor,
A reducer connected to the power transmission unit to receive power of the motor;
A connection member connected to the arm and the reducer to transfer the power transmitted to the reducer to the arm,
The arm is formed with an opening for drawing out the reducer,
The upper opening is opened and closed by a cover,
And the speed reducer can be separated from the arm mechanism while the arm mechanism is installed in the installation portion. 제 1 항에 있어서,
상기 암의 하측에는 상기 감속기가 위치하기 위한 공간을 제공하는 홀이 형성되고,
상기 홀을 통과한 상기 감속기가 상기 개구부를 통하여 상기 암 기구에서 분리되는 기판이송장치. The method of claim 1,
The lower side of the arm is formed with a hole for providing a space for the reduction gear is located,
And the speed reducer having passed through the hole is separated from the arm mechanism through the opening. 제 2 항에 있어서,
상기 감속기가 상기 홀에 위치한 상태에서, 상기 연결부재는 상기 감속기의 상측에서 상기 암 및 상기 감속기에 연결되는 기판이송장치. The method of claim 2,
And the connection member is connected to the arm and the reducer at an upper side of the reducer while the reducer is located in the hole. 제 1 항에 있어서,
상기 감속기는, 상기 연결부재와 연결되며, 상기 동력전달부로부터 전달된 동력에 의해서 회전되는 회전부와,
상기 설치부에 결합되면, 상기 회전부의 회전을 가이드하는 회전부 가이더를 포함하는 기판이송장치. The method of claim 1,
The reducer is connected to the connection member, the rotating portion rotated by the power transmitted from the power transmission unit,
When coupled to the mounting portion, the substrate transfer device including a rotary guide part for guiding the rotation of the rotary part. 제 1 항에 있어서,
상기 암의 하측에는 상기 암의 회전을 가이드하기 위한 회전 가이더가 구비되며,
상기 회전 가이더와 상기 암의 사이에 상기 플레이트가 위치한 상태에서 상기 암과 상기 플레이트가 체결되고, 상기 플레이트는 상기 회전 가이더에 체결되는 기판이송장치. The method of claim 1,
The lower side of the arm is provided with a rotary guider for guiding the rotation of the arm,
The arm and the plate is fastened in the state where the plate is located between the rotary guider and the arm, the plate is a substrate transfer device fastened to the rotary guider. 제 5 항에 있어서,
상기 연결부재, 상기 암 및 상기 플레이트는 단일의 체결부재에 의해서 체결되는 기판이송장치. The method of claim 5, wherein
And the connecting member, the arm and the plate are fastened by a single fastening member.
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