KR20120058804A - Method for measuring weight of encapsulation material and dispenser implementing the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An encapsulating material weight measuring method and an encapsulating material dispenser using the same are provided to accurately determine whether encapsulating material encapsulated in a lead frame is over the required amount or not by accurately measuring the weight of the encapsulating material. CONSTITUTION: A work table(110) comprises a hoisting hole(112) corresponding to a lead frame. A lifting unit(120) comprises a lifting operation unit(122) and a supporting plate(124). A discharge unit discharges a fixed amount of encapsulating material to the lead framed which is lifted by the lifting unit. The supporting plate is arranged in the same height as the hoisting hole of the work table. The lifting operation unit is arranged at the lower side of the hoisting hole of the work table. A load cell(132) measures the weight of the lead frame.

Description

봉지재 무게 측정 방법 및 상기 방법을 채택하는 봉지재 디스펜서{Method for measuring weight of encapsulation material and dispenser implementing the same} Method for measuring weight of encapsulation material and encapsulation material dispenser employing the method

본 발명은 봉지재 무게 측정 방법 및 상기 방법을 채택하는 봉지재 디스펜서에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 칩 둘레를 도포, 봉합하는 봉지재를 디스펜싱하는 봉지재 디스펜서에 적용된다.The present invention relates to an encapsulant weight measuring method and an encapsulant dispenser employing the method, and more particularly, to an encapsulant dispenser for dispensing an encapsulant applied and sealed around a chip.

일반적으로 표면실장부품(칩, IC)을 인쇄회로기판(PCB) 상에 실장하기 위하여 에폭시 수지와 같이 점성이 있는 용액을 디스펜싱(dispensing)하기 위하여 디스펜서가 상용화되고 있다. 또한, 디스펜서는 반도체소자를 외부의 환경으로부터 보호하기 위해 칩(Chip) 둘레를 도포, 봉합(encapsulation)하여 플립 칩(flip chip)을 언더필(underfill)하는 공정에서 적용되고 있다.In general, dispensers are commercially used for dispensing viscous solutions such as epoxy resins to mount surface-mount components (chips, ICs) on printed circuit boards (PCBs). In addition, the dispenser is applied in a process of underfilling a flip chip by applying and encapsulating a chip circumference to protect the semiconductor device from an external environment.

이러한 디스펜서는 최근에 고속 칩마운터에 부응하기 위해서는 고속 및 정밀도가 향상된 것이 요구되고 있는 실정이다. 특히, LED 칩 패키지와 같은 반도체 칩 패키지에 적용되는 봉지재를 토출하는데 사용되는 디스펜서 장치는 용액분배의 정확성과 신속성이 보장되어야 하고, 디스펜싱에 따른 정량의 에폭시의 토출이 정확하게 진행되어야만 불량률을 없앨 수 있다. 현재 관련업체에서는 상기 정량에 대한 오차범위를 1% 내로 제한하고 있다.In order to meet the high speed chip mounter, such a dispenser is required to improve speed and precision in recent years. In particular, the dispenser device used for discharging the encapsulant applied to the semiconductor chip package such as the LED chip package should ensure the accuracy and rapidity of the solution distribution, and the dispensing of the epoxy according to the dispensing must be carried out correctly to eliminate the defective rate. Can be. Currently, related companies limit the margin of error to 1%.

종래에는 이러한 봉지재의 정량을 확보하기 위하여, 봉지재의 토출 전에 무게저울(balance) 및 개량컵을 이용하여 무게를 측정하면서 토출 시간이나 토출량을 조정을 한다. Conventionally, in order to secure the quantification of such encapsulant, the ejection time or the ejection amount are adjusted while measuring the weight using a balance balance and an improved cup before discharging the encapsulant.

즉, 개량컵은 무게 저울 상에 배치되고, 상기 봉지재 토출 부재로부터 개량컵에 소정의 횟수만큼 봉지재를 토출한 다음, 상기 봉지재가 수납된 개량컵의 무게를 측정함으로써, 1회 토출당의 무게를 알 수 있다. 그 후에 상기 측정된 무게를 참고하여, 리드 프레임의 20매 내지 40매 가량을 연속적으로 봉지 작업을 하게 된다. That is, the improved cup is placed on a weighing scale, discharges the encapsulant from the encapsulant discharge member to the improved cup a predetermined number of times, and then measures the weight of the improved cup in which the encapsulant is accommodated, thereby reducing the weight per one ejection. It can be seen. Thereafter, with reference to the measured weight, about 20 to 40 sheets of the lead frame is continuously sealed.

그러나, 종래에 따르면 봉지 실질적으로 봉지 토출 작업 시에는 리드 프레임에 토출된 봉지재의 정량 여부를 판단할 수 없다. 이에 따라서 정량에 대한 신뢰성에는 한계가 있다.  However, according to the related art, it is not possible to determine whether to encapsulate the encapsulant discharged to the lead frame during the encapsulation substantially discharge operation. Accordingly, there is a limit to the reliability of quantification.

이러한 문제점을 해결하기 위하여, 봉지 작업 후에 리드 프레임 각각에 대하여 별도의 공정으로 무게를 측정하는 방법을 생각할 수 있으나, 이 경우 별도의 공정으로 거쳐야 하므로 작업 시간이 길어지게 되고, 작업자의 수가 늘어나게 된다. In order to solve this problem, it is possible to think of a method for measuring the weight in a separate process for each of the lead frame after the sealing operation, but in this case, the work time is long because it must go through a separate process, the number of workers increases.

또한, 리드 프레임마다 무게의 오차가 있기 때문에 무게 측정 신뢰성에도 한계가 있다. 따라서 상기 방법은 실제로 적용되고 있지 않는다. In addition, since there is an error in the weight of each lead frame, there is a limit in the weighing reliability. Therefore, the method is not actually applied.

본 발명은 상기 문제점을 포함한 여러 문제점을 해결하기 위한 것으로, 리드 프레임에 토출된 봉지재의 량을, 리드 프레임마다 정확하고 신속하게 측정할 수 있는 봉지재 무게 측정 방법 및 상기 방법을 채택하는 봉지재 디스펜서를 제공하는 것을 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve various problems including the above-mentioned problems. An encapsulant weight measuring method and an encapsulant dispenser employing the method, which can accurately and quickly measure the amount of the encapsulant discharged to the lead frame for each lead frame. The purpose is to provide.

따라서, 본 발명의 봉지재 디스펜서는, 봉지 전, 후의 리드 프레임이 위치하는 작업 테이블과, 상기 작업 테이블에 준비된 리드 프레임을 지지하여 수직 이동시키는 승강부와, 상기 승강부에 의하여 상승된 리드 프레임에 상기 봉지재를 정량 토출하는 토출부와, 상기 승강부에 지지된 리드 프레임의 봉지 전 및 봉지 후 무게 각각 측정하는 무게 측정부와, 상기 무게 측정부로부터 상기 봉지 전, 후의 리드 프레임의 무게 데이터를 전달받아서, 상기 리드 프레임 상에 토출된 봉지재 무게를 계산하는 연산부를 포함한다. Accordingly, the encapsulant dispenser of the present invention includes a work table on which the lead frame before and after the encapsulation is located, a lift unit for vertically moving the support frame prepared on the work table, and a lead frame lifted by the lift unit. A weight measurement unit for measuring the discharge portion for quantitatively discharging the encapsulant, a weight measurement unit for measuring the weight before and after encapsulation of the lead frame supported by the lifting unit, and the weight data of the lead frame before and after the encapsulation from the weight measurement unit. Received, and includes a calculation unit for calculating the weight of the encapsulant discharged on the lead frame.

상기 승강부는 승강 구동부와, 상기 승강 구동부의 구동에 따라서 승하강하며, 상기 리드 프레임을 지지하는 지지판을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 무게 측정부는, 상기 지지판 상면에 부착되어 상기 리드 프레임이 안착되는 로드셀을 포함할 수 있다. The elevating unit may include an elevating driving unit and a elevating plate in accordance with driving of the elevating driving unit to support the lead frame. In this case, the weight measuring unit may include a load cell attached to an upper surface of the support plate to which the lead frame is seated.

이와 달리, 상기 승강부는 승강 구동부와, 상기 리드 프레임을 지지하는 것으로, 상기 승강 구동부의 구동에 따라서 승하강하며, 중앙부에 삽입 홈이 형성된 지지판을 포함할 수 있다. 이 경우에는 상기 무게 측정부는, 상기 삽입 홈에 삽입되어서, 상기 지지판에 지지된 리드 프레임의 무게를 측정하는 로드셀을 포함할 수 있다. In contrast, the elevating unit supports the elevating driving unit and the lead frame, and may include a supporting plate which is elevating according to the driving of the elevating driving unit, and has an insertion groove formed in the center thereof. In this case, the weight measuring unit may include a load cell inserted into the insertion groove to measure the weight of the lead frame supported by the support plate.

이와 더 달리, 상기 승강부는 승강 구동부와, 상기 리드 프레임을 지지하는 것으로, 상기 승강 구동부의 구동에 따라서 승하강하며, 로드셀로 이루어진 지지판을 포함할 수 있다. On the other hand, the elevating unit supports the elevating drive unit and the lead frame, and elevates according to the elevating driving unit, and may include a support plate made of a load cell.

이 경우, 상기 승강 구동부는 상기 지지판을 상기 작업 테이블 및 상기 봉지재가 봉지되는 위치 사이의 적어도 일 지점에서 정지시키도록 구동하는 것이 바람직하다. In this case, it is preferable that the lifting driving unit drives the support plate to stop at at least one point between the work table and the position at which the encapsulant is encapsulated.

한편, 본 발명의 다른 측면에서의 봉지재 무게 측정 방법은, 리드 프레임에 토출된 봉지재의 양을 측정하는 방법으로서, 미봉지된 리드 프레임을 제1 무게 측정 위치로 수직 이동시켜서 상기 미봉지된 리드 프레임의 무게를 측정하는 단계와, 상기 무게를 측정 후에, 상기 리드 프레임을 토출 작업위치로 수직 이동시켜서, 상기 리드 프레임 상에 봉지재를 봉지하는 작업을 행하는 단계와, 상기 봉지된 리드 프레임을 제2 무게 측정 위치로 수직 이동시켜서, 상기 봉지된 리드 프레임의 무게를 측정하는 단계와, 상기 봉지된 리드 프레임의 무게 및 상기 미봉지된 리드 프레임의 무게 차이를 계산하여서, 상기 리드 프레임에 봉지된 봉지재의 무게를 계측하는 단계를 포함한다. On the other hand, the method of measuring the weight of the encapsulant according to another aspect of the present invention is a method of measuring the amount of the encapsulant discharged to the lead frame, by moving the unsealed lead frame vertically to the first weighing position, the unsealed lead Measuring the weight of the frame, and after measuring the weight, vertically moving the lead frame to a discharge working position, sealing the encapsulant on the lead frame, and removing the encapsulated lead frame. 2 vertically moving to a weighing position, measuring the weight of the sealed lead frame, calculating the difference between the weight of the sealed lead frame and the weight of the unsealed lead frame, and encapsulating the encapsulated lead frame. Measuring the weight of the ash.

이 경우, 상기 토출 작업 위치는 상기 제1 무게 측정 위치 및 상기 제2 무게 측정 위치보다 상측에 위치하는 것이 바람직하다.In this case, the discharge working position is preferably located above the first weighing position and the second weighing position.

또한, 상기 리드 프레임을 수직 이동시키는 각각의 단계는 지지판에 상기 리드 프레임을 안착시킨 상태에서 이루어지고, 상기 리드 프레임의 무게를 측정하는 각각의 단계는, 상기 지지판에 장착된 로드셀이 상기 리드 프레임의 무게를 측정하는 것이 바람직하다.In addition, each step of vertically moving the lead frame is performed while the lead frame is seated on a support plate, and each step of measuring the weight of the lead frame includes a load cell mounted on the support plate of the lead frame. It is desirable to measure the weight.

본 발명에 따르면, 봉지 전의 리드 프레임의 무게와 봉지 후의 리드 프레임의 무게를 측정하여서, 그 차이를 계산하여서 리드 프레임에 봉지된 봉지재 무게를 측정할 수 있음으로써, 상기 리드 프레임에 봉지된 봉지재 무게를 정확하게 측정할 수 있게 된다. 이에 따라서, 리드 프레임마다 봉지된 봉지재 무게가 정량인지 여부를 정확하게 판단할 수 있다. According to the present invention, by measuring the weight of the lead frame before encapsulation and the lead frame after encapsulation, by calculating the difference, the encapsulant encapsulated in the lead frame can be measured by measuring the difference. The weight can be measured accurately. Accordingly, it is possible to accurately determine whether the weight of the encapsulant encapsulated for each lead frame is quantitative.

또한, 봉지전, 및 봉지후의 리드 프레임의 무게 측정 단계를 별도의 공정에서 행하지 않고, 봉지재 토출 작업과 동일한 라인에서 동시에 자동적으로 행해지기 때문에, 전체 패키지 공정 작업 시간이 지연되지 않고, 작업자의 수가 늘어나지 않는다.In addition, since the weighing step of the lead frame before and after encapsulation is automatically performed simultaneously in the same line as the encapsulation material discharging operation, instead of carrying out a separate step, the entire package process operation time is not delayed and the number of workers Does not stretch.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 봉지재 디스펜서를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 A부를 확대 도시한 사시도이다.
도 3a 내지 도 3b는 승강부에 로드셀이 장착된 구조를 도시한 분해 사시도이다.
도 4 내지 도 9는 도 1의 봉지재 디스펜서에 채용될 수 있는 봉지재 무게 측정 방법의 각 단계를 도시한 단면도로서, 도 4는 리드 프레임을 작업 테이블로 이송시키는 단계를 도시한 단면도이다.
도 5는 리드 프레임이 작업 테이블에 안착된 상태를 도시한 단면도이다.
도 6은 승강부를 이용하여 리드 프레임을 제1 무게 측정 위치로 상승시켜 무게를 측정하는 단계를 도시한 단면도이다.
도 7은 리드 프레임에 봉지재를 토출하여 봉지하는 단계를 도시한 단면도이다.
도 8은 승강부를 이용하여 리드 프레임을 제2 무게 측정 위치로 하강시켜 무게를 측정하는 단계를 도시한 단면도이다.
도 9는 봉지된 리드 프레임을 외부로 이송시키는 단계를 도시한 단면도이다. 1 is a perspective view showing an encapsulant dispenser according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged perspective view of part A of FIG. 1.
3A to 3B are exploded perspective views illustrating a structure in which a load cell is mounted on a lifting unit.
4 to 9 are cross-sectional views showing each step of the encapsulation material weighing method that can be employed in the encapsulant dispenser of Figure 1, Figure 4 is a cross-sectional view showing the step of transferring the lead frame to the work table.
5 is a cross-sectional view showing a state in which the lead frame is seated on the work table.
6 is a cross-sectional view showing a step of measuring the weight by raising the lead frame to the first weighing position using the lifting unit.
7 is a cross-sectional view illustrating a step of discharging and encapsulating an encapsulant into a lead frame.
8 is a cross-sectional view illustrating a step of measuring a weight by lowering a lead frame to a second weighing position using a lifting unit.
9 is a cross-sectional view showing a step of transferring the sealed lead frame to the outside.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 봉지재 디스펜서(100)를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 A부를 확대 도시한 사시도이다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 봉지재 디스펜서(100)는, 작업 테이블(110)과, 승강부(120)와, 무게 측정부(130)와, 토출부(140)와, 연산부(미도시)를 포함한다. 1 is a perspective view showing an encapsulant dispenser 100 according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 2 is an enlarged perspective view of a portion A of FIG. 1 and 2, the encapsulant dispenser 100 of the present invention includes a work table 110, a lifting unit 120, a weight measuring unit 130, a discharge unit 140, And an operation unit (not shown).

작업 테이블(110) 상에는 리드 프레임(10)이 승강 준비된다. 승강부(120)는 상기 작업 테이블(110)에 승강 준비된 리드 프레임(10)을 지지하면서 수직 이동시킨다. On the work table 110, the lead frame 10 is prepared for lifting. The elevating unit 120 vertically moves the support table 10 while supporting the lead frame 10 prepared for elevating the work table 110.

이 경우, 상기 작업 테이블(110)에는 상기 리드 프레임(10)에 대응되는 승강용 홀(112)이 형성될 수 있다. 이와 함께, 승강부(120)는 상기 작업 테이블(110)의 아래측에 위치하며, 그 상면이 상기 작업 테이블(110)의 승강용 홀(112)과 동일한 높이 또는 그 하측에서, 상기 승강용 홀(112)을 통과할 수 있도록 배치된다.In this case, the lifting hole 112 corresponding to the lead frame 10 may be formed in the work table 110. In addition, the lifting unit 120 is located below the work table 110, the upper surface is the same height or lower than the lifting hole 112 of the work table 110, the lifting hole It is arranged to pass through (112).

상기 작업 테이블(110)의 승강용 홀(112)은 상기 리드 프레임(10)보다 단면적이 넓도록 형성될 수 있다. 이 경우에는 상기 승강부(120)의 지지판(124)이 상기 승강용 홀(112)과 동일한 높이에 배치되고, 상기 리드 프레임(10) 전체가 상기 승강용 홀(112) 내측에 배치되어서, 실질적으로 상기 리드 프레임(10)이 상기 승강부(120) 상면에 지지될 수 있다. The lifting hole 112 of the work table 110 may be formed to have a larger cross-sectional area than the lead frame 10. In this case, the support plate 124 of the elevating portion 120 is disposed at the same height as the elevating hole 112, and the entire lead frame 10 is disposed inside the elevating hole 112. As a result, the lead frame 10 may be supported on an upper surface of the lifting unit 120.

이와 달리, 상기 작업 테이블(110)의 승강용 홀(112)은 상기 리드 프레임(10)보다 단면적보다 좁도록 형성될 수 있다. 이 경우에는 상기 리드 프레임(10)의 외곽부가 상기 작업 테이블(110)에 의하여 지지될 수 있다. Alternatively, the lifting hole 112 of the work table 110 may be formed to be narrower than the cross-sectional area of the lead frame 10. In this case, an outer portion of the lead frame 10 may be supported by the work table 110.

토출부(140)는 상기 승강부(120)에 의하여 상승된 리드 프레임(10)에 상기 봉지재를 토출한다. 상기 토출부(140)는 상기 봉지재를 정량 토출할 수 있는데, 정량 토출의 예로서는 솔레노이드 밸브로 정해진 시간에 맞추어 토출 유로를 개폐함으로써 이루어질 수 있다. The discharge unit 140 discharges the encapsulant to the lead frame 10 lifted by the lifting unit 120. The discharge unit 140 may quantitatively discharge the encapsulant, and as an example of the quantitative discharge, the discharge channel 140 may be opened and closed at a predetermined time by a solenoid valve.

이 경우, 상기 토출부(140)가 봉지재를 토출하는 시점에, 상기 승강부(120) 상면에 안착된 리드 프레임(10)을 고정시키기 위한 고정 부재(150)를 더 포함할 수 있다. 상기 고정 부재(150)는 상기 리드 프레임(10)의 상면을 고정하여서, 상기 리드 프레임(10)이 움직이지 않도록 할 수 있다. 상기 고정 부재(150)는 상기 작업 테이블(110)의 상부에 이격 배치된다. In this case, the discharge unit 140 may further include a fixing member 150 for fixing the lead frame 10 seated on the upper surface of the lifting unit 120 at the time of discharging the sealing material. The fixing member 150 may fix the upper surface of the lead frame 10 to prevent the lead frame 10 from moving. The fixing member 150 is spaced apart from the upper portion of the work table 110.

이에 따라서, 상기 작업 테이블(110)에 배치된 봉지 전의 리드 프레임(10)은 승강부(120)에 의하여 상승하여 고정 부재(150)에 고정된다. 이 상태에서, 토출부(140)에 의하여 봉지재가 상기 리드 프레임(10)에 토출되어 봉지 작업이 행해진다. 그 후에 상기 봉지 후의 리드 프레임(10)은 다시 하강하여 작업 테이블(110)에 안착된 후에 외부로 빠져나가게 된다. Accordingly, the lead frame 10 before encapsulation disposed on the work table 110 is lifted by the lifting unit 120 and fixed to the fixing member 150. In this state, the sealing member is discharged to the lead frame 10 by the discharge unit 140 to perform the sealing operation. After that, the lead frame 10 after the encapsulation is lowered again and rests on the work table 110 and then exits to the outside.

무게 측정부(130)는, 상기 승강부(120)에 지지된 리드 프레임(10)의 무게를 측정한다. 이 경우, 상기 무게 측정부(130)는 상기 승강부(120)에 지지된 봉지 전의 리드 프레임(10)의 무게 및 상기 승강부(120)에 지지된 봉지 후의 리드 프레임(10)의 무게를 측정한다.The weight measuring unit 130 measures the weight of the lead frame 10 supported by the lifting unit 120. In this case, the weight measuring unit 130 measures the weight of the lead frame 10 before the encapsulation supported by the lifting unit 120 and the weight of the lead frame 10 after the encapsulation supported by the lifting unit 120. do.

연산부는 상기 무게 측정부(130)로부터 상기 봉지 전, 후의 리드 프레임(10)의 무게 데이터를 공급받아서, 상기 리드 프레임(10) 상에 봉지된 봉지재 무게를 계산한다.The calculating unit receives the weight data of the lead frame 10 before and after the encapsulation from the weight measuring unit 130, and calculates the encapsulant weight encapsulated on the lead frame 10.

이 경우, 상기 연산부는 상기 봉지 후의 리드 프레임(10)의 무게에서 상기 봉지 전의 리드 프레임(10) 무게를 감하는 연산을 행할 수 있다. 이에 따라서 상기 리드 프레임(10)에 봉지된 봉지재의 무게를 정확히 알 수 있다. In this case, the calculating unit may perform an operation of subtracting the weight of the lead frame 10 before the sealing from the weight of the lead frame 10 after the sealing. Accordingly, the weight of the encapsulant encapsulated in the lead frame 10 can be accurately known.

상기 연산부는, 측정된 상기 봉지재의 무게와 미리 설정된 봉지재의 무게를 서로 비교하여서 그 오차가 얼마인지를 판단할 수도 있다. 또한, 그 오차가 설정범위 내라면 봉지재 봉지량이 양호하다고 판단하고, 그 오차가 설정범위 밖이라면 봉지재의 봉지량이 불량이라고 판단할 수 있다. The calculating unit may compare the measured weight of the encapsulant and the weight of a predetermined encapsulant with each other to determine how much the error is. Further, if the error is within the setting range, it is determined that the amount of encapsulation material is good, and if the error is outside the setting range, it can be determined that the amount of encapsulation material is poor.

본 발명에 따르면 봉지재의 무게를 측정하기 위하여 별도의 위치에 리드 프레임(10)을 이송시킬 필요가 없다. 즉, 봉지재를 봉지하는 작업 라인 내에서 봉지전 및 봉지후의 리드 프레임(10)의 무게를 측정할 수 있다. 이에 따라서 봉지재 무게 측정 작업으로 인하여 전체 패키징 작업 속도가 지연되지 않는다. 또한, 봉지 전, 후의 리드 프레임(10)의 무게를 측정함으로써, 리드 프레임(10)에 봉지된 봉지재의 무게를 정확히 측정할 수 있음으로써, 리드 프레임(10)에 봉지된 봉지재 양의 불량 여부를 정확히 판단할 수 있다. According to the present invention, it is not necessary to transfer the lead frame 10 to a separate position in order to measure the weight of the encapsulant. That is, the weight of the lead frame 10 before and after sealing can be measured in the work line for sealing the sealing material. Accordingly, the overall packaging operation speed is not delayed due to the encapsulant weighing operation. Also, by measuring the weight of the lead frame 10 before and after encapsulation, the weight of the encapsulant encapsulated in the lead frame 10 can be accurately measured, thereby determining whether the amount of encapsulant encapsulated in the lead frame 10 is defective. Can be accurately determined.

한편, 리드 프레임(10)은 컨베이어 등과 같은 이송수단(160)에 의하여 작업 테이블(110) 상으로 이송될 수 있고, 봉지된 리드 프레임(10) 또한 이송수단(160)에 의하여 외부로 배출될수 있다. 상기 컨베이어는 모터(165)의 구동에 의하여 작동될 수 있다. Meanwhile, the lead frame 10 may be transferred onto the work table 110 by a transfer means 160 such as a conveyor or the like, and the sealed lead frame 10 may also be discharged to the outside by the transfer means 160. . The conveyor may be operated by driving the motor 165.

한편, 특히 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 승강부(120)는 승강 구동부(122)와, 지지판(124)을 포함할 수 있다. Meanwhile, in particular, as shown in FIG. 2, the lifting unit 120 may include a lifting driving unit 122 and a support plate 124.

승강 구동부(122)는 상기 작업 테이블(110)의 승강용 홀(112) 하측에 배치될 수 있고, 유압 실린더이거나, 모터일 수 있다. 지지판(124)은 상기 승강 구동부(122)의 구동에 따라서 승하강 한다. 상기 무게 측정부(130)는 로드셀(132)을 포함할 수 있다. The lift driver 122 may be disposed below the lift hole 112 of the work table 110, and may be a hydraulic cylinder or a motor. The support plate 124 moves up and down in accordance with the driving of the lift driver 122. The weight measuring unit 130 may include a load cell 132.

상기 로드셀(132)은, 도 3a에 도시된 바와 같이, 상기 지지판(124)의 중앙부에 삽입 홈(125)이 형성되고, 상기 삽입 홈(125)에 로드셀(132)이 삽입 배치되어서, 이에 안착된 리드 프레임(10)의 무게를 측정할 수 있다. As shown in FIG. 3A, the load cell 132 has an insertion groove 125 formed at the center of the support plate 124, and the load cell 132 is inserted into the insertion groove 125 to be seated thereon. The weight of the lead frame 10 can be measured.

한편, 도 3b에 도시된 바와 같이, 로드셀(132)이 상기 지지판(124) 상면에 부착될 수 있다. 이 경우, 상기 리드 프레임(10)은 상기 지지판(124) 상면에 안착된다. 또한, 도시되지는 않으나, 지지판(124) 자체를 로드셀(132)로 이루어질 수도 있다. On the other hand, as shown in Figure 3b, the load cell 132 may be attached to the upper surface of the support plate 124. In this case, the lead frame 10 is seated on the upper surface of the support plate 124. In addition, although not shown, the support plate 124 itself may be made of a load cell 132.

즉, 본 발명에 따르면 리드 프레임(10)이 상기 로드셀(132)에 의하여 승, 하강하여 봉지작업을 행할 수 있으며, 상기 연산부가 상기 로드셀(132)로부터 봉지 전, 후의 리드 프레임(10)의 무게를 측정할 수 있게 된다. That is, according to the present invention, the lead frame 10 may be lifted and lowered by the load cell 132 to perform an encapsulation operation, and the calculation unit may weigh the lead frame 10 before and after encapsulation from the load cell 132. Can be measured.

한편, 승강 구동부(122)는, 상기 지지판(124)을 상기 작업 테이블(110) 및 상기 봉지재가 토출되는 위치 사이의 적어도 일 지점에서 정지시키도록 구동할 수 있다. 이에 따라서 상기 지지판(124)은 봉지 전의 리드 프레임(10)을 상승시키다가 일 지점에 멈춰진 상태에서, 상기 봉지 전의 리드 프레임(10)의 무게가 로드셀(132)에 의하여 측정된다, 상기 무게 측정 후에 상기 리드 프레임(10)을 상승시킨 상태에서 정지시킨 상태에서 봉지작업을 행한다. 상기 봉지 작업 후에 지지판(124)은 하강하다가 일 지점에서 멈춰진 상태에서, 로드셀(132)에 의하여 봉지 후의 리드 프레임(10)의 무게가 측정하게 된다. 한편 설명되지 않은 참조번호(170)은 스토퍼(170)이며, 이에 대하여는 후술한다. Meanwhile, the lift driver 122 may drive the support plate 124 to be stopped at at least one point between the work table 110 and the position at which the encapsulant is discharged. Accordingly, the support plate 124 raises the lead frame 10 before the encapsulation and stops at one point, and the weight of the lead frame 10 before the encapsulation is measured by the load cell 132. After the weight measurement The sealing operation is performed while the lead frame 10 is raised and stopped. After the sealing operation, the supporting plate 124 is lowered and stopped at one point, and the weight of the lead frame 10 after sealing is measured by the load cell 132. In the meantime, reference numeral 170, which is not described, is a stopper 170, which will be described later.

본 발명의 다른 측면에서, 봉지재 무게 측정 방법은, 미봉지된 리드 프레임(10)을 제1 무게 측정 위치로 수직 이동시켜서 상기 제1 무게 측정 위치에서 상기 미봉지된 리드 프레임(10)의 무게를 측정하는 단계와, 상기 무게를 측정 후에, 상기 리드 프레임(10)을 토출 작업위치로 수직 이동시켜서 봉지 작업을 행하는 단계와, 상기 봉지된 리드 프레임(10)을 제2 무게 측정 위치로 수직 이동시켜서 상기 봉지된 리드 프레임(10)의 무게를 측정하는 단계와, 상기 봉지된 리드 프레임(10)의 무게 및 상기 미봉지된 리드 프레임(10)의 무게 차이를 계산하여서, 상기 리드 프레임(10)에 봉지된 봉지재의 무게를 계측하는 단계를 포함한다.In another aspect of the present invention, the encapsulation material weighing method, by vertically moving the unsealed lead frame 10 to a first weighing position, the weight of the unsealed lead frame 10 at the first weighing position Measuring the weight, and after measuring the weight, encapsulating the lead frame 10 by moving the lead frame 10 vertically to the ejecting work position, and vertically moving the encapsulated lead frame 10 to a second weight measuring position. Measuring the weight of the encapsulated lead frame 10 and calculating the difference between the weight of the encapsulated lead frame 10 and the weight of the unencapsulated lead frame 10, thereby leading to the lead frame 10. And measuring the weight of the encapsulant encapsulated in the.

이하에서는 일 예로 본 발명의 봉지재 디스펜서(100)에서 행해지는 봉지재 무게 측정 방법의 각 단계를, 도 4 내지 도 9를 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, each step of the encapsulant weight measuring method performed by the encapsulant dispenser 100 of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 4 to 9.

먼저 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 봉지를 위한 미봉지 상태의 리드 프레임(10)을 작업 테이블(110) 상에 지지시킨다. First, as shown in FIGS. 4 and 5, the lead frame 10 in the unsealed state for encapsulation is supported on the work table 110.

상기 리드 프레임(10)은, 도 4에 도시된 바와 같이, 컨베이어 등과 같은 이송수단에 의하여 작업 테이블(110) 상으로 이송된다. 상기 컨베이어는 모터 및 벨트 등에 의하여 작동될 수 있다. As shown in FIG. 4, the lead frame 10 is transferred onto the work table 110 by a conveying means such as a conveyor. The conveyor may be operated by a motor, a belt or the like.

그 후에, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 작업 테이블(110) 상에 리드 프레임(10)을 지지시킨다. 이 경우, 상기 작업 테이블(110) 선단에 배치된 스토퍼(170)가 돌출되어서 상기 리드 프레임(10)의 선단부를 막음으로써, 상기 리드 프레임(10)이 더 이상 진행하지 않도록 고정시킬 수 있다. 상기 스토퍼(170)는 실린더 등의 구동장치(172)에 승, 하강 될 수 있다.Thereafter, as shown in FIG. 5, the lead frame 10 is supported on the work table 110. In this case, the stopper 170 disposed at the tip of the work table 110 protrudes to block the tip of the lead frame 10 so that the lead frame 10 may be fixed so as not to proceed any further. The stopper 170 may be raised or lowered by a driving device 172 such as a cylinder.

이 경우, 승강부(120)는 작업 테이블(110)의 승강용 홀(112) 하측에 배치된다. 상기 승강부(120)는 승강 구동부(122) 및 상기 승강 구동부에 의하여 승하강하는 지지판(124)이 배치된다. 도면에서는 설명의 편의를 위하여 로드셀(132)이 지지판(124)에 삽입 배치되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것은 명백하며, 상기 로드셀(132)이 지지판(124) 상면에 부착되어 있거나, 상기 지지판(124) 자체가 로드셀(132)이더라도 무방하다. In this case, the lifting unit 120 is disposed below the lifting hole 112 of the work table 110. The elevating unit 120 is provided with an elevating drive unit 122 and a support plate 124 which is elevated by the elevating drive unit. In the drawings, the load cell 132 is inserted into the support plate 124 for convenience of description, but the present invention is not limited thereto, and the load cell 132 is attached to the upper surface of the support plate 124, or The support plate 124 itself may be the load cell 132.

그 후에, 도 6에 도시된 바와 같이, 지지판(124)을 상승시켜서, 미봉지된 리드 프레임(10)을 제1 무게 측정 위치로 상승시킨다. 상기 제1 무게 측정 위치에서 지지판(124)을 정지시킨 후에 로드셀(132)을 이용하여 상기 리드 프레임(10)의 무게를 측정한다. 이때에 스토퍼(170)는 상기 작업 테이블(110) 하측으로 하강한다. Thereafter, as shown in FIG. 6, the support plate 124 is raised to raise the unsealed lead frame 10 to the first weighing position. After stopping the support plate 124 at the first weighing position, the weight of the lead frame 10 is measured using the load cell 132. At this time, the stopper 170 descends to the lower side of the work table 110.

그 후에, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 지지판(124)을 봉지재 토출 작업이 행해지는 위치까지 상승시킨 다음, 미도시된 토출부에 의하여 봉지재를 리드 프레임(10) 상에 토출시킨다. 이에 따라서 상기 리드 프레임(10) 상에 봉지재가 봉지된다. 이 경우, 상기 봉지재 토출 작업이 행해지는 위치에서는 상기 리드 프레임(10)이 고정 부재(150)에 의하여 고정된다. Thereafter, as shown in FIG. 7, the support plate 124 is raised to a position at which the sealing material discharging operation is performed, and then the sealing material is discharged onto the lead frame 10 by a discharge part not shown. Accordingly, an encapsulant is encapsulated on the lead frame 10. In this case, the lead frame 10 is fixed by the fixing member 150 at the position where the sealing material discharging operation is performed.

그 후에, 도 8에 도시된 바와 같이, 지지판(124)을 하강시켜서 제2 무게 측정 위치로 하강시킨다. 이 경우, 제2 무게 측정 위치는 제1 무게 측정 위치와 동일한 지점일 수 있다. 상기 제2 무게 측정 위치에서 상기 지지판(124)을 정지시킨 상태에서 로드셀(132)을 이용하여 상기 봉지 후의 리드 프레임(10)의 무게를 측정한다.Thereafter, as shown in FIG. 8, the support plate 124 is lowered and lowered to the second weighing position. In this case, the second weighing position may be the same point as the first weighing position. The weight of the lead frame 10 after the encapsulation is measured using the load cell 132 in a state where the support plate 124 is stopped at the second weight measurement position.

상기 봉지된 리드 프레임(10)의 무게 데이타 및 상기 미봉지된 리드 프레임(10)의 무게 데이타는 연산부에 전달된다. 상기 연산부는 상기 봉지된 리드 프레임(10)의 무게 및 상기 미봉지된 리드 프레임(10)의 무게 차이를 계산하여서, 상기 리드 프레임(10)에 봉지된 봉지재의 무게를 계측하여서, 양품 및 불량품을 판단한다. The weight data of the sealed lead frame 10 and the weight data of the unsealed lead frame 10 are transmitted to a calculation unit. The calculation unit calculates the difference between the weight of the sealed lead frame 10 and the weight of the unsealed lead frame 10, and measures the weight of the encapsulant encapsulated in the lead frame 10 to determine good and defective goods. To judge.

그 후에, 도 9에 도시된 바와 같이, 지지판(124)을 하강시켜서 리드 프레임(10)을 작업 테이블(110)에 안착시킨 다음 이송수단에 의하여 외부로 배출된다. Thereafter, as shown in FIG. 9, the support plate 124 is lowered to seat the lead frame 10 on the work table 110, and then discharged to the outside by the conveying means.

이때에 양품으로 판단된 리드 프레임(10)은 다음 패키징 공정으로 넘어가게 되고, 불량품으로 판단된 리드 프레임(10)은 필터링 되어서 폐기 공정 등의 별도의 공정을 거치게 된다. At this time, the lead frame 10, which is determined to be good, is passed to the next packaging process, and the lead frame 10, which is determined to be defective, is filtered to go through a separate process such as a disposal process.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다. Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be defined only by the appended claims.

10: 리드 프레임
100: 봉지재 디스펜서
110: 작업 테이블
112: 승강용 홀
120: 승강부
122: 승강 구동부
124: 지지판
130: 무게 측정부
140: 토출부
150: 고정 부재
160: 이송수단
170: 스토퍼10: lead frame
100: encapsulant dispenser
110: working table
112: lifting hole
120: lift
122: lifting drive unit
124: support plate
130: weight measuring unit
140: discharge part
150: fixed member
160: transfer means
170: stopper

Claims (8)

봉지 전, 후의 리드 프레임이 위치하는 작업 테이블;
상기 작업 테이블에 준비된 리드 프레임을 지지하여 수직 이동시키는 승강부;
상기 승강부에 의하여 상승된 리드 프레임에 상기 봉지재를 정량 토출하는 토출부;
상기 승강부에 지지된 리드 프레임의 봉지 전 및 봉지 후 무게 각각 측정하는 무게 측정부; 및
상기 무게 측정부로부터 상기 봉지 전, 후의 리드 프레임의 무게 데이터를 전달받아서, 상기 리드 프레임 상에 토출된 봉지재 무게를 계산하는 연산부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 봉지재 디스펜서A work table on which the lead frame before and after the bag is located;
Lifting unit for vertically supporting the lead frame prepared on the work table;
A discharge unit configured to discharge the encapsulant quantitatively to the lead frame raised by the lifting unit;
A weight measuring unit measuring weight before and after encapsulation of the lead frame supported by the lifting unit; And
A calculation unit which receives the weight data of the lead frame before and after the encapsulation from the weight measuring unit, and calculates the weight of the encapsulant discharged on the lead frame;
Encapsulant dispenser comprising a 제1항에 있어서,
상기 승강부는, 승강 구동부와, 상기 승강 구동부의 구동에 따라서 승하강하며 상기 리드 프레임을 지지하는 지지판을 포함하며,
상기 무게 측정부는, 상기 지지판 상면에 부착되어 상기 리드 프레임이 안착되는 로드셀을 포함하는 것을 특징으로 하는 봉지재 디스펜서.The method of claim 1,
The lifting unit includes a lifting plate and a support plate for lifting and lowering according to the driving of the lifting unit and supporting the lead frame.
The weight measuring unit may include a load cell attached to an upper surface of the support plate to which the lead frame is seated. 제1항에 있어서,
상기 승강부는: 승강 구동부와; 상기 리드 프레임을 지지하는 것으로, 상기 승강 구동부의 구동에 따라서 승하강하며, 중앙부에 삽입 홈이 형성된 지지판;을 포함하고,
상기 무게 측정부는, 상기 삽입 홈에 삽입되어서 상기 지지판에 지지된 리드 프레임의 무게를 측정하는 로드셀을 포함하는 것을 특징으로 하는 봉지재 디스펜서.The method of claim 1,
The lifting unit includes: a lifting drive unit; And a support plate supporting the lead frame, the support plate being lifted up and down according to the driving of the lifting drive unit, and having an insertion groove formed at the center thereof.
The weight measuring unit may include a load cell inserted into the insertion groove to measure a weight of a lead frame supported by the support plate. 제1항에 있어서,
상기 승강부는: 승강 구동부와; 상기 리드 프레임을 지지하는 것으로, 상기 승강 구동부의 구동에 따라서 승하강하며, 로드셀로 이루어진 지지판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 봉지재 디스펜서.The method of claim 1,
The lifting unit includes: a lifting drive unit; And a support plate made of a load cell to move up and down according to the driving of the lifting drive unit, by supporting the lead frame. 제2항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 승강 구동부는 상기 지지판을 상기 작업 테이블 및 상기 봉지재가 봉지되는 위치 사이의 적어도 일 지점에서 정지시키도록 구동하는 것을 특징으로 하는 봉지재 디스펜서.The method according to any one of claims 2 to 4,
And the elevating driving unit drives the support plate to stop at at least one point between the work table and the position at which the encapsulant is encapsulated. 리드 프레임에 토출된 봉지재의 양을 측정하는 방법으로서,
미봉지된 리드 프레임을 제1 무게 측정 위치로 수직 이동시켜서 상기 미봉지된 리드 프레임의 무게를 측정하는 단계;
상기 무게를 측정 후에, 상기 리드 프레임을 토출 작업위치로 수직 이동시켜서, 상기 리드 프레임 상에 봉지재를 봉지하는 작업을 행하는 단계;
상기 봉지된 리드 프레임을 제2 무게 측정 위치로 수직 이동시켜서, 상기 봉지된 리드 프레임의 무게를 측정하는 단계; 및
상기 봉지된 리드 프레임의 무게 및 상기 미봉지된 리드 프레임의 무게 차이를 계산하여서, 상기 리드 프레임에 봉지된 봉지재의 무게를 계측하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 봉지재 무게 측정 방법.A method of measuring the amount of encapsulant discharged to a lead frame,
Measuring the weight of the unsealed lead frame by vertically moving the unsealed lead frame to a first weighing position;
After measuring the weight, moving the lead frame vertically to a discharge working position to perform sealing of the encapsulant on the lead frame;
Vertically moving the encapsulated lead frame to a second weighing position to measure the weight of the encapsulated lead frame; And
Measuring the weight of the encapsulant encapsulated in the lead frame by calculating a weight difference between the encapsulated lead frame and the weight of the unsealed lead frame;
Encapsulant weight measurement method comprising a. 제6항에 있어서,
상기 토출 작업 위치는 상기 제1 무게 측정 위치 및 상기 제2 무게 측정 위치보다 상측에 위치하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 상에 토출되는 봉지재 무게 측정 방법.The method of claim 6,
And the discharge operation position is located above the first weight measurement position and the second weight measurement position. 제6항에 있어서,
상기 리드 프레임을 수직 이동시키는 각각의 단계는 지지판에 상기 리드 프레임을 안착시킨 상태에서 이루어지고,
상기 리드 프레임의 무게를 측정하는 각각의 단계는, 상기 지지판에 장착된 로드셀이 상기 리드 프레임의 무게를 측정하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 상에 토출되는 봉지재 무게 측정 방법.
The method of claim 6,
Each step of vertically moving the lead frame is performed with the lead frame seated on a support plate,
Each step of measuring the weight of the lead frame, the weight of the encapsulant discharged on the lead frame characterized in that the load cell mounted on the support plate measures the weight of the lead frame.
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KR20190039492A (en) * 2019-04-05 2019-04-12 세메스 주식회사 A apparatus for treating substrate, and the apparatus set up method
US10529595B2 (en) 2016-05-27 2020-01-07 Semes Co., Ltd. Apparatus and method for treating substrate and measuring the weight of the remaining liquid on the substrate

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