KR20120058138A - 마이크로 히터 및 마이크로 히터 어레이 - Google Patents

마이크로 히터 및 마이크로 히터 어레이 Download PDF

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KR20120058138A
KR20120058138A KR1020100119787A KR20100119787A KR20120058138A KR 20120058138 A KR20120058138 A KR 20120058138A KR 1020100119787 A KR1020100119787 A KR 1020100119787A KR 20100119787 A KR20100119787 A KR 20100119787A KR 20120058138 A KR20120058138 A KR 20120058138A
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최준희
이주호
송미정
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삼성전자주식회사
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Abstract

마이크로 히터 및 마이크로 히터 어레이가 개시된다. 개시된 마이크로 히터는 지지부 상에 형성되는 브리지의 폭을 브리지의 다른 부위이 폭보다 좁게 형성하여 전체적으로 균일한 온도 분포를 지닌 마이크로 히터를 제공할 수 있다. 또한, 브리지는 스프링 요소를 더 구비할 수 있다.

Description

마이크로 히터 및 마이크로 히터 어레이{Micro heater and micro heater array}
개시된 발명은 마이크로 히터에 관한 것으로, 마이크로 히터의 연결부위의 폭을 조절하여 마이크로 히터 어레이 전체적으로 균일한 온도 분포를 지니도록 형성한 마이크로 히터 및 그 어레이 구조에 관한 것이다.
마이크로 히터는 기판 상의 원하는 위치에 국부적으로 열을 발생시키는 장치이다. 마이크로 히터는 탄소나노튜브 트랜지스터, 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 등의 고온 공정이 요구되는 전자 장치나 태양 전지 등에 사용될 수 있다.
통상적인 마이크로 히터는 기판 상에 형성된 지지부 및 지지부에 의해 지지되며, 기판과 이격되어 형성된 브리지 유닛을 포함한 구조를 지닌다. 이러한 구조에서 마이크로 히터에 대해 외부에서 전원을 인가하면 마이크로 히터가 발열을 하면서 국부적인 온도 상승이 발생하게 된다.
그런데, 종래의 마이크로 히터는 특히 지지부를 통해서 전도에 의한 열전달 현상이 발생하게 되며 온도가 낮은 반면, 지지부 사이에 위치하는 브리지 유닛은 대류 또는 복사에 의한 열전달 외에 외부로의 열전달량이 없으므로 높은 온도를 지니게 된다. 따라서, 종래의 마이크로 히터는 위치에 따른 온도 편차가 커질 수 있다. 이와 같이 위치에 따른 온도 편차가 발생하는 경우 원하는 온도 범위의 설정이 어렵고 구동 전압이 높아질 수 있다.
개시된 발명에서는 내부의 온도 편차가 작아 전체적으로 균일한 온도 분포를 지닌 마이크로 히터를 제공 한다.
또한, 개시된 실시예에서는 전체적으로 균일한 온도 분포를 지닌 마이크로 히터 어레이를 제공 한다
개시된 실시예에서는 기판;
상기 기판 상에 형성된 지지부 및
상기 지지부 의해 지지되어 상기 기판과 이격된 것으로 그 폭이 변화되는 브리지;를 포함하는 마이크로 히터를 제공한다.
상기 브리지는 상기 지지부와 접촉하는 영역의 폭이 상기 브리지의 다른 부위 폭보다 상대적으로 좁을 수 있다.
상기 지지부는 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 또는 절연성 금속 산화물로 형성된 것일 수 있다.
상기 브리지는 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 탄화 실리콘(SiC), 플래티늄(Pt) 또는 ITO(Indium-Tin-Oxide) 중 적어도 어느 하나의 물질을 포함하여 형성된 것일 수 있다.
상기 브리지는 스프링 요소를 적어도 하나 이상 포함할 수 있다.
상기 스프링 요소는 도우넛 형상을 지닌 것일 수 있다.
상기 브리지는 상기 지지부와 접촉하는 영역의 폭이 상기 브리지의 다른 부위 폭보다 상대적으로 좁은 것일 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에서는
상기 지지부는 상기 기판 상에 다수개로 형성되며,
상기 브리지는 상기 지지부들 상에 병렬적으로 또는 교차하여 형성된 마이크로 히터 어레이를 제공한다.
개시된 실시예에 따르면, 지지부 및 브리지 전체적으로 균일한 온도 분포를 지닌 마이크로 히터를 제공할 수 있다.
또한, 전체적으로 균일한 온도 분포를 지닌 마이크로 히터를 포함하는 마이크로 히터 어레이를 제공할 수 있다.
도 1a는 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 히터의 사시도를 나타낸 도면이다.
도 1b는 도 1a의 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 히터의 A1 부분, 즉 지지부 영역을 확대하여 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 의한 마이크로 히터의 구조를 나타낸 평면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 마이크로 히터의 지지부의 브리지 형태의 다양한 실시예를 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 히터에 대한 광학 현지경 이미지를 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 히터 및 마이크로 히터 어레이에 대해 상세히 설명하고자 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 층이나 영역들의 두께는 명세서의 명확성을 위해 과장되게 도시된 것이다.
도 1a는 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 히터의 사시도를 나타낸 도면이다.
도 1a를 참조하면, 기판(10) 상에 지지부(column, 11)가 형성되며, 지지부(11) 상에는 브리지(12)가 형성되어 있다. 브리지(12)는 지지부(11)에 의해 지지되며, 기판(10)과 이격되도록 형성될 수 있다. 지지부(11)는 기판(10) 상에 다수개로 형성될 수 있으며, 브리지(12)는 지지부(11)에 의해 지지되면서 하나의 기판(10) 상에 병렬적으로 다수개로 형성되어 어레이 구조가 될 수 있다. 기판(10)과 브리지(12) 사이의 간격은 임의로 조정할 수 있으며, 브리지(12)의 형성 방향도 병렬적으로 형성시키는 것 외에 지지부(11)이 높이를 조절하여 브리지(12)들이 서로 교차하도록 형성시킬 수 있다.
도 1b는 도 1a에 나타낸 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 히터의 A1 영역을 확대하여 나타낸 사시도이다.
도 1b를 참조하면, 지지부(11)에 의해 지지되는 부분의 브리지(12)의 폭이 감소된 것을 알 수 있다. 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 히터에서는 지지부(11)와 접촉하는 영역의 브리지(12)의 폭(D1)은 지지부(11)와 접촉하지 않는 영역의 브리지의 폭(D2)보다 작도록 형성한다(D1<D2). 만일 브리지(12)의 폭을 영역에 관계없이 모든 구간에서 동일하게 형성하는 경우, 지지부(11)를 통한 열전달이 과도하게 발생하게 되며, 지지부(11)와 접촉하는 영역의 브리지(12)의 온도가 지지부(11)들 사이의 브리지(12)에 비해 떨어지게 된다. 이 경우, 마이크로 히터 전체의 온도를 제어하는 것이 어려워지며 구동 전력이 낭비되는 결과를 발생시킬 수 있다.
본 발명의 실시에에 의한 마이크로 히터에서는 지지부(11)를 통한 열손실을 최소화하기 위하여, 지지부(11)와 접촉하는 영역의 브리지(12)의 폭을 감소시켜 열손실을 방지하고자 한다. 지지부(11) 사이의 브리지(12) 영역의 경우 대류 또는 복사 이외의 원인에 의한 열손실이 없다. 일반적으로 발열량은 저항에 비례하며, 브리지(12)의 폭을 감소키면 더 큰 열이 발생하게 된다. 따라서, 지지부(11)와 접촉하는 브리지(12) 영역의 폭을 감소시킴으로써 지지부(11)를 통한 소량의 열전도가 발생하더라도 브리지(12) 전체적으로 균일한 온도를 유지할 수 있다. 브리지(12) 폭의 변화율(D1/D2)은 임의로 설정할 수 있으며 제한은 없다.
기판(10)은 실리콘, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물이나 통상적인 반도체 소자의 기판으로 사용되는 물질로 형성될 수 있으며, 글래스(glass) 재질을 사용하여 형성될 수 있다. 지지부(11)는 브리지(12)에서 발생하는 열의 손실을 방지하기 위해 낮은 열전도도를 지닌 물질로 형성될 수 있으며, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 기타 다른 금속 산화물 등의 절연성 물질로 형성될 수 있다. 브리지(12)는 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 탄화 실리콘(SiC), 플래티늄(Pt) 또는 ITO(Indium-Tin-Oxide) 등으로 형성될 수 있으며, 전력을 인가하는 경우 발열을 할 수 있는 물질에 의해 단층 또는 다층 구조로 형성될 수 있다. 브리지 브리지(12)에 전력을 인가하는 경우 가시광선 또는 적외선 영역의 복사열을 방출할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의한 마이크로 히터의 제조 방법에 대해 설명하면 다음과 같다.
먼저, 실리콘, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 또는 글래스 기판 상에 지지부를 형성할 물질로 열전도도가 낮은 절연성 물질, 예를 들어 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물을 도포한다. 그리고, 절연성 물질 상에 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 탄화 실리콘(SiC), 플래티늄(Pt) 또는 ITO(Indium-Tin-Oxide) 등의 전도성 물질을 도포한다. 다음으로 전도성 물질을 에칭하여 원하는 형태로 브리지를 형성한다. 그리고, 소정의 패턴을 한 뒤, 절연성 물질을 등방성 에칭 공정에 의해 지지부 외의 영역의 절연성 물질을 제거한다. 이와 같은 공정은 반도체 공정을 이용하여 할 수 있다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 의한 마이크로 히터를 나타낸 평면도이다.
도 2를 참조하면, 기판(20) 상에 지지부(21)가 형성되며, 지지부(21) 상에는 브리지(22, 23)가 형성되어 있다. 브리지(22, 23)는 마이크로 히터의 구조적 안정성을 향상시키며, 발열량을 늘일 수 있도록 스프링 요소(24)를 적어도 하나 이상 더 포함할 수 있다. 스프링 요소(24)는 도우넛 형태로 형성될 수 있으며, 지지부(21) 양측의 브리지(22, 23) 영역에 형성될 수 있다. 지지부(21)와 접촉하는 부분의 브리지(23)의 폭(D1)의 크기는 스프링 요소(24)들 사이의 브리지(22) 영역의 폭(D2)보다 작도록 형성할 수 있다.
도 3a 내지 도 3c는 마이크로 히터의 지지부의 브리지 형태의 다양한 실시예를 나타낸 평면도이다.
도 3a 내지 도 3c를 참조하면, 지지부(31) 상에 브리지(32a, 32b, 32c)가 형성되어 있으며, 지지부(31) 상의 브리지(32a, 32b, 32c)의 폭(D1)의 크기는 지지부(31)와 떨어져 있는 브리지(32a, 32b, 32c)의 폭(D2)의 크기보다 작다.
도 3a 및 도 3b에 나타낸 구조에서는 브리지(32a, 32b)의 폭(Dx)가 순차적으로 변화하는 구조를 나타내었으며, 도 3c에서는 브리지(32c)가 단차를 지닌 형태로 형성된 구조를 나타내었다.
또한 도 3a의 경우 브리지(32a)의 형상이 곡면 형태로 형성된 구조를 나타내었으며, 도 3b의 경우 브리지(32b)의 양측의 형상이 선형적으로 형성된 구조를 나타내었다.
도 3a 내지 도 3c에 나타낸 구조 이외에도 브리지의 폭을 변화시키는 형태는 다양하게 변형하여 적용할 수 있다. 예를 들어, 브리지의 형상을 곡면 및 선형 단면이 포함된 형태로 구현할 수 있으며, 또한, 지지부 방향으로 복수개의 단차가 형성된 구조로 브리지 형상을 구현할 수 있다.
그러나, 본 발명의 실시에에 의한 마이크로 히터의 경우 구체적인 형태에 관계없이, 브리지(32a, 32b, 32c)의 폭을 변화되는 경우에 모두 적용될 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 히터에 대한 광학현미경 이미지를 나타낸 도면이다. 도 4에 나타낸 구조의 마이크로 히터는 지지부는 실리콘 산화물로 형성시키고, 브리지는 몰리브덴(Mo)으로 형성시킨 것으로 지지부와 접촉하는 브리지의 폭은 3마이크로미터이며, 스프링 요소들 사이의 브리지의 폭은 10마이크로미터로 형성시킨 것이다.
도 4를 참조하면, 기판(40) 상에 지지부(41)가 형성되어 있으며, 지지부(41) 상에는 브리지(42, 43)가 형성되어 있으며, 브리지(42, 43)에는 스프링 요소(44)가 형성되어 있다. 지지부(41)와 접촉된 영역의 브리지(43)의 폭은 스프링(44)들 사이의 브리지(42)의 폭보다 작도록 형성된 것을 확인할 수 있다.
참고로 도 4에 나타낸 구조의 마이크로 히터는 지지부는 실리콘 산화물로 형성시키고, 브리지는 몰리브덴(Mo)으로 형성시킨 것으로 지지부와 접촉하는 브리지의 폭은 3마이크로미터이며, 스프링 요소들 사이의 브리지의 폭은 10마이크로미터로 형성시킨 것이다.
마이크로 히터의 각 영역별 발열 및 발광의 정도는 예를 들어, CCD(Charged Coupled Device) 영상으로 확인 가능하며, 본 발명의 실시예에 의한 마이크로 히터의 경우 지지부와 접촉하는 브리지 영역을 상대적으로 좁은 폭을 지니도록 형성함으로써 전체적으로 균일한 온도 분포를 나타내는 것을 확인할 수 있다.
이상에서 첨부된 도면을 참조하여 설명된 본 발명의 실시예들은 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 브리지의 폭을 변화시키면서 지지부와 접촉하는 영역의 브리지의 폭이 감소된 형태라면 본 발명의 실시예의 범위에 속하게 될 것이다. 결과적으로 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
10, 20, 40, 50... 기판
11, 21, 31, 41... 지지부
12, 22, 23, 32a, 32b, 32c, 42, 43, 51, 52... 브리지
24, 44, 53... 스프링 요소

Claims (13)

  1. 기판;
    상기 기판 상에 형성된 지지부 및
    상기 지지부 의해 지지되어 상기 기판과 이격된 것으로 그 폭이 변화되는 브리지;를 포함하는 마이크로 히터.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 브리지는 상기 지지부와 접촉하는 영역의 폭이 상기 브리지의 다른 부위 폭보다 상대적으로 좁은 마이크로 히터.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 지지부는 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 또는 절연성 금속 산화물로 형성된 마이크로 히터.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 브리지는 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 탄화 실리콘(SiC), 플래티늄(Pt) 또는 ITO(Indium-Tin-Oxide) 중 적어도 어느 하나의 물질을 포함하여 형성된 마이크로 히터.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 브리지는 스프링 요소를 적어도 하나 이상 포함하는 마이크로 히터.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 스프링 요소는 도우넛 형상을 지닌 마이크로 히터.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 브리지는 상기 지지부와 접촉하는 영역의 폭이 상기 브리지의 다른 부위 폭보다 상대적으로 좁은 마이크로 히터.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 지지부는 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 또는 절연성 금속 산화물로 형성된 마이크로 히터.
  9. 제 5항에 있어서,
    상기 브리지는 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 탄화 실리콘(SiC), 플래티늄(Pt) 또는 ITO(Indium-Tin-Oxide) 중 적어도 어느 하나의 물질을 포함하여 형성된 마이크로 히터.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 지지부는 상기 기판 상에 다수개로 형성되며,
    상기 브리지는 상기 지지부들 상에 병렬적으로 또는 교차하여 형성된 마이크로 히터 어레이.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 브리지는 상기 지지부와 접촉하는 영역의 폭이 상기 브리지의 다른 부위 폭보다 상대적으로 좁은 마이크로 히터 어레이.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 브리지는 스프링 요소를 적어도 하나 이상 포함하는 마이크로 히터 어레이.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 브리지는 상기 지지부와 접촉하는 영역의 폭이 상기 브리지의 다른 부위 폭보다 상대적으로 좁은 마이크로 히터 어레이.
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Families Citing this family (118)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7726320B2 (en) 2006-10-18 2010-06-01 R. J. Reynolds Tobacco Company Tobacco-containing smoking article
KR101338350B1 (ko) 2007-07-16 2013-12-31 삼성전자주식회사 마이크로 히터를 이용한 나노 구조 또는 다결정 실리콘형성 방법, 이에 따라 형성된 나노 구조 또는 다결정실리콘 및 이들을 이용하는 전자 장치
KR101318292B1 (ko) * 2007-11-30 2013-10-18 삼성전자주식회사 마이크로 히터, 마이크로 히터 어레이, 그 제조 방법 및이를 이용한 전자 장치
KR20090122083A (ko) * 2008-05-23 2009-11-26 삼성전자주식회사 마이크로 히터, 마이크로 히터 어레이, 그 제조 방법 및이를 이용한 전자 장치
KR20090128006A (ko) * 2008-06-10 2009-12-15 삼성전자주식회사 마이크로 히터, 마이크로 히터 어레이, 그 제조 방법 및이를 이용한 패턴 형성 방법
US11344683B2 (en) 2010-05-15 2022-05-31 Rai Strategic Holdings, Inc. Vaporizer related systems, methods, and apparatus
US8757147B2 (en) 2010-05-15 2014-06-24 Minusa Holdings Llc Personal vaporizing inhaler with internal light source
US9078473B2 (en) 2011-08-09 2015-07-14 R.J. Reynolds Tobacco Company Smoking articles and use thereof for yielding inhalation materials
US20130255702A1 (en) 2012-03-28 2013-10-03 R.J. Reynolds Tobacco Company Smoking article incorporating a conductive substrate
US10004259B2 (en) 2012-06-28 2018-06-26 Rai Strategic Holdings, Inc. Reservoir and heater system for controllable delivery of multiple aerosolizable materials in an electronic smoking article
US8881737B2 (en) * 2012-09-04 2014-11-11 R.J. Reynolds Tobacco Company Electronic smoking article comprising one or more microheaters
US9854841B2 (en) 2012-10-08 2018-01-02 Rai Strategic Holdings, Inc. Electronic smoking article and associated method
US10117460B2 (en) 2012-10-08 2018-11-06 Rai Strategic Holdings, Inc. Electronic smoking article and associated method
US10031183B2 (en) 2013-03-07 2018-07-24 Rai Strategic Holdings, Inc. Spent cartridge detection method and system for an electronic smoking article
US9918495B2 (en) 2014-02-28 2018-03-20 Rai Strategic Holdings, Inc. Atomizer for an aerosol delivery device and related input, aerosol production assembly, cartridge, and method
US9277770B2 (en) 2013-03-14 2016-03-08 R. J. Reynolds Tobacco Company Atomizer for an aerosol delivery device formed from a continuously extending wire and related input, cartridge, and method
US9423152B2 (en) 2013-03-15 2016-08-23 R. J. Reynolds Tobacco Company Heating control arrangement for an electronic smoking article and associated system and method
US9491974B2 (en) 2013-03-15 2016-11-15 Rai Strategic Holdings, Inc. Heating elements formed from a sheet of a material and inputs and methods for the production of atomizers
US9609893B2 (en) 2013-03-15 2017-04-04 Rai Strategic Holdings, Inc. Cartridge and control body of an aerosol delivery device including anti-rotation mechanism and related method
US11229239B2 (en) 2013-07-19 2022-01-25 Rai Strategic Holdings, Inc. Electronic smoking article with haptic feedback
US10172387B2 (en) 2013-08-28 2019-01-08 Rai Strategic Holdings, Inc. Carbon conductive substrate for electronic smoking article
US10292424B2 (en) 2013-10-31 2019-05-21 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device including a pressure-based aerosol delivery mechanism
US9839237B2 (en) 2013-11-22 2017-12-12 Rai Strategic Holdings, Inc. Reservoir housing for an electronic smoking article
US9974334B2 (en) 2014-01-17 2018-05-22 Rai Strategic Holdings, Inc. Electronic smoking article with improved storage of aerosol precursor compositions
US10575558B2 (en) 2014-02-03 2020-03-03 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device comprising multiple outer bodies and related assembly method
US9451791B2 (en) 2014-02-05 2016-09-27 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device with an illuminated outer surface and related method
US20150224268A1 (en) 2014-02-07 2015-08-13 R.J. Reynolds Tobacco Company Charging Accessory Device for an Aerosol Delivery Device and Related System, Method, Apparatus, and Computer Program Product for Providing Interactive Services for Aerosol Delivery Devices
US9833019B2 (en) 2014-02-13 2017-12-05 Rai Strategic Holdings, Inc. Method for assembling a cartridge for a smoking article
US9839238B2 (en) 2014-02-28 2017-12-12 Rai Strategic Holdings, Inc. Control body for an electronic smoking article
US9597466B2 (en) 2014-03-12 2017-03-21 R. J. Reynolds Tobacco Company Aerosol delivery system and related method, apparatus, and computer program product for providing control information to an aerosol delivery device via a cartridge
US11696604B2 (en) 2014-03-13 2023-07-11 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device and related method and computer program product for controlling an aerosol delivery device based on input characteristics
US9877510B2 (en) 2014-04-04 2018-01-30 Rai Strategic Holdings, Inc. Sensor for an aerosol delivery device
US9924741B2 (en) 2014-05-05 2018-03-27 Rai Strategic Holdings, Inc. Method of preparing an aerosol delivery device
US9955726B2 (en) 2014-05-23 2018-05-01 Rai Strategic Holdings, Inc. Sealed cartridge for an aerosol delivery device and related assembly method
US10888119B2 (en) 2014-07-10 2021-01-12 Rai Strategic Holdings, Inc. System and related methods, apparatuses, and computer program products for controlling operation of a device based on a read request
US10058123B2 (en) 2014-07-11 2018-08-28 R. J. Reynolds Tobacco Company Heater for an aerosol delivery device and methods of formation thereof
US9913493B2 (en) 2014-08-21 2018-03-13 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device including a moveable cartridge and related assembly method
US9609895B2 (en) 2014-08-21 2017-04-04 Rai Strategic Holdings, Inc. System and related methods, apparatuses, and computer program products for testing components of an aerosol delivery device
US10765144B2 (en) 2014-08-21 2020-09-08 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device including a moveable cartridge and related assembly method
US11051554B2 (en) 2014-11-12 2021-07-06 Rai Strategic Holdings, Inc. MEMS-based sensor for an aerosol delivery device
US10500600B2 (en) 2014-12-09 2019-12-10 Rai Strategic Holdings, Inc. Gesture recognition user interface for an aerosol delivery device
US10321711B2 (en) 2015-01-29 2019-06-18 Rai Strategic Holdings, Inc. Proximity detection for an aerosol delivery device
US20210172650A1 (en) * 2015-02-05 2021-06-10 Giorgio TORCHIO Capillary Proximity Heater
DK3254034T3 (da) 2015-02-05 2022-04-04 Giorgio Torchio Kapillar proximity varmer med høj energibesparelse anbragt opstrøms af et mikrofiltreringsapparat til eliminering af kalkpartikler tilstede i væsker og nedstrøms af en dyse eller lukket kreds
US10027016B2 (en) 2015-03-04 2018-07-17 Rai Strategic Holdings Inc. Antenna for an aerosol delivery device
US9980516B2 (en) 2015-03-09 2018-05-29 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device including a wave guide and related method
US10172388B2 (en) 2015-03-10 2019-01-08 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device with microfluidic delivery component
US11000069B2 (en) 2015-05-15 2021-05-11 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device and methods of formation thereof
US10238145B2 (en) 2015-05-19 2019-03-26 Rai Strategic Holdings, Inc. Assembly substation for assembling a cartridge for a smoking article
US10966460B2 (en) 2015-07-17 2021-04-06 Rai Strategic Holdings, Inc. Load-based detection of an aerosol delivery device in an assembled arrangement
US11504489B2 (en) 2015-07-17 2022-11-22 Rai Strategic Holdings, Inc. Contained liquid system for refilling aerosol delivery devices
US11134544B2 (en) 2015-07-24 2021-09-28 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device with radiant heating
US10206429B2 (en) 2015-07-24 2019-02-19 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device with radiant heating
US10015987B2 (en) 2015-07-24 2018-07-10 Rai Strategic Holdings Inc. Trigger-based wireless broadcasting for aerosol delivery devices
US11033054B2 (en) 2015-07-24 2021-06-15 Rai Strategic Holdings, Inc. Radio-frequency identification (RFID) authentication system for aerosol delivery devices
US10034494B2 (en) 2015-09-15 2018-07-31 Rai Strategic Holdings, Inc. Reservoir for aerosol delivery devices
US10058125B2 (en) 2015-10-13 2018-08-28 Rai Strategic Holdings, Inc. Method for assembling an aerosol delivery device
US10582726B2 (en) 2015-10-21 2020-03-10 Rai Strategic Holdings, Inc. Induction charging for an aerosol delivery device
US20170112194A1 (en) 2015-10-21 2017-04-27 Rai Strategic Holdings, Inc. Rechargeable lithium-ion capacitor for an aerosol delivery device
US10918134B2 (en) 2015-10-21 2021-02-16 Rai Strategic Holdings, Inc. Power supply for an aerosol delivery device
US10201187B2 (en) 2015-11-02 2019-02-12 Rai Strategic Holdings, Inc. User interface for an aerosol delivery device
US10820630B2 (en) 2015-11-06 2020-11-03 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device including a wirelessly-heated atomizer and related method
US10440992B2 (en) 2015-12-07 2019-10-15 Rai Strategic Holdings, Inc. Motion sensing for an aerosol delivery device
US9955733B2 (en) 2015-12-07 2018-05-01 Rai Strategic Holdings, Inc. Camera for an aerosol delivery device
US11291252B2 (en) 2015-12-18 2022-04-05 Rai Strategic Holdings, Inc. Proximity sensing for an aerosol delivery device
US10092036B2 (en) 2015-12-28 2018-10-09 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device including a housing and a coupler
US10051891B2 (en) 2016-01-05 2018-08-21 Rai Strategic Holdings, Inc. Capacitive sensing input device for an aerosol delivery device
US10194694B2 (en) 2016-01-05 2019-02-05 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device with improved fluid transport
US10258086B2 (en) 2016-01-12 2019-04-16 Rai Strategic Holdings, Inc. Hall effect current sensor for an aerosol delivery device
US10104912B2 (en) 2016-01-20 2018-10-23 Rai Strategic Holdings, Inc. Control for an induction-based aerosol delivery device
US10015989B2 (en) 2016-01-27 2018-07-10 Rai Strategic Holdings, Inc. One-way valve for refilling an aerosol delivery device
US11412781B2 (en) 2016-02-12 2022-08-16 Rai Strategic Holdings, Inc. Adapters for refilling an aerosol delivery device
US9936733B2 (en) 2016-03-09 2018-04-10 Rai Strategic Holdings, Inc. Accessory configured to charge an aerosol delivery device and related method
US10334880B2 (en) 2016-03-25 2019-07-02 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device including connector comprising extension and receptacle
US11207478B2 (en) 2016-03-25 2021-12-28 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol production assembly including surface with micro-pattern
US10333339B2 (en) 2016-04-12 2019-06-25 Rai Strategic Holdings, Inc. Charger for an aerosol delivery device
US10945462B2 (en) 2016-04-12 2021-03-16 Rai Strategic Holdings, Inc. Detachable power source for an aerosol delivery device
US10028534B2 (en) 2016-04-20 2018-07-24 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device, and associated apparatus and method of formation thereof
US10405579B2 (en) 2016-04-29 2019-09-10 Rai Strategic Holdings, Inc. Methods for assembling a cartridge for an aerosol delivery device, and associated systems and apparatuses
US10959458B2 (en) 2016-06-20 2021-03-30 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device including an electrical generator assembly
US10085485B2 (en) 2016-07-06 2018-10-02 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device with a reservoir housing and a vaporizer assembly
US10463078B2 (en) 2016-07-08 2019-11-05 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device with condensing and non-condensing vaporization
US10405581B2 (en) 2016-07-08 2019-09-10 Rai Strategic Holdings, Inc. Gas sensing for an aerosol delivery device
US10231485B2 (en) 2016-07-08 2019-03-19 Rai Strategic Holdings, Inc. Radio frequency to direct current converter for an aerosol delivery device
US10617151B2 (en) 2016-07-21 2020-04-14 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device with a liquid transport element comprising a porous monolith and related method
US10602775B2 (en) 2016-07-21 2020-03-31 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device with a unitary reservoir and liquid transport element comprising a porous monolith and related method
US11019847B2 (en) 2016-07-28 2021-06-01 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery devices including a selector and related methods
US10765146B2 (en) 2016-08-08 2020-09-08 Rai Strategic Holdings, Inc. Boost converter for an aerosol delivery device
US20180055090A1 (en) * 2016-08-31 2018-03-01 Altria Client Services Llc Methods and systems for cartridge identification
US11937647B2 (en) 2016-09-09 2024-03-26 Rai Strategic Holdings, Inc. Fluidic control for an aerosol delivery device
US10080387B2 (en) 2016-09-23 2018-09-25 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device with replaceable wick and heater assembly
US10477896B2 (en) 2016-10-12 2019-11-19 Rai Strategic Holdings, Inc. Photodetector for measuring aerosol precursor composition in an aerosol delivery device
US9864947B1 (en) 2016-11-15 2018-01-09 Rai Strategic Holdings, Inc. Near field communication for a tobacco-based article or package therefor
US10524508B2 (en) 2016-11-15 2020-01-07 Rai Strategic Holdings, Inc. Induction-based aerosol delivery device
US10492530B2 (en) 2016-11-15 2019-12-03 Rai Strategic Holdings, Inc. Two-wire authentication system for an aerosol delivery device
US11103012B2 (en) 2016-11-17 2021-08-31 Rai Strategic Holdings, Inc. Satellite navigation for an aerosol delivery device
US10653183B2 (en) 2016-11-18 2020-05-19 Rai Strategic Holdings, Inc. Power source for an aerosol delivery device
US10172392B2 (en) 2016-11-18 2019-01-08 Rai Strategic Holdings, Inc. Humidity sensing for an aerosol delivery device
US10524509B2 (en) 2016-11-18 2020-01-07 Rai Strategic Holdings, Inc. Pressure sensing for an aerosol delivery device
US10206431B2 (en) 2016-11-18 2019-02-19 Rai Strategic Holdings, Inc. Charger for an aerosol delivery device
US10537137B2 (en) 2016-11-22 2020-01-21 Rai Strategic Holdings, Inc. Rechargeable lithium-ion battery for an aerosol delivery device
US11013266B2 (en) 2016-12-09 2021-05-25 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device sensory system including an infrared sensor and related method
US10517326B2 (en) 2017-01-27 2019-12-31 Rai Strategic Holdings, Inc. Secondary battery for an aerosol delivery device
US10827783B2 (en) 2017-02-27 2020-11-10 Rai Strategic Holdings, Inc. Digital compass for an aerosol delivery device
US10314340B2 (en) 2017-04-21 2019-06-11 Rai Strategic Holdings, Inc. Refillable aerosol delivery device and related method
US11297876B2 (en) 2017-05-17 2022-04-12 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device
US11589621B2 (en) 2017-05-23 2023-02-28 Rai Strategic Holdings, Inc. Heart rate monitor for an aerosol delivery device
US10517330B2 (en) 2017-05-23 2019-12-31 RAI Stategic Holdings, Inc. Heart rate monitor for an aerosol delivery device
US10842197B2 (en) 2017-07-12 2020-11-24 Rai Strategic Holdings, Inc. Detachable container for aerosol delivery having pierceable membrane
US10349674B2 (en) 2017-07-17 2019-07-16 Rai Strategic Holdings, Inc. No-heat, no-burn smoking article
US11337456B2 (en) 2017-07-17 2022-05-24 Rai Strategic Holdings, Inc. Video analytics camera system for an aerosol delivery device
US10505383B2 (en) 2017-09-19 2019-12-10 Rai Strategic Holdings, Inc. Intelligent charger for an aerosol delivery device
US11039645B2 (en) 2017-09-19 2021-06-22 Rai Strategic Holdings, Inc. Differential pressure sensor for an aerosol delivery device
US10660370B2 (en) 2017-10-12 2020-05-26 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device including a control body, an atomizer body, and a cartridge and related methods
US10517332B2 (en) 2017-10-31 2019-12-31 Rai Strategic Holdings, Inc. Induction heated aerosol delivery device
US10806181B2 (en) 2017-12-08 2020-10-20 Rai Strategic Holdings, Inc. Quasi-resonant flyback converter for an induction-based aerosol delivery device
US10555558B2 (en) 2017-12-29 2020-02-11 Rai Strategic Holdings, Inc. Aerosol delivery device providing flavor control
US11019850B2 (en) 2018-02-26 2021-06-01 Rai Strategic Holdings, Inc. Heat conducting substrate for electrically heated aerosol delivery device

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7754608B2 (en) * 2005-05-26 2010-07-13 ETH Zürich Manufacturing method for the integration of nanostructures into microchips

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Publication number Publication date
US20120132643A1 (en) 2012-05-31

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