KR20120046568A - Nozzle unit - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A nozzle unit capable of preventing the insertion of foreign materials into a nozzle is provided to effectively supply massive amount of fluid by guiding the flow of the fluid. CONSTITUTION: A nozzle unit includes a nozzle(10) and a filtering member(20). The nozzle includes a pipeline with an inlet and an outlet, and a suction port formed on the outer circumference of the pipeline. The filtering member covers the inlet for removing foreign materials from fluid, and detachably connected to the outer circumference of the nozzle. The filtering member includes a filtering unit in a hook shape, and a fastening unit combining both ends of the filtering unit. The nozzle unit sprays plating liquid inserted through the inlet or the suction portion.

Description

노즐 유닛{Nozzle unit}Nozzle unit

본 발명은 노즐 유닛에 관한 것이다.
The present invention relates to a nozzle unit.

일반적으로, 기판 제조과정의 도금공정에서는 도금될 기판에 도금액을 충분한 양을 공급하는 것이 중요하다.In general, in the plating process of the substrate manufacturing process, it is important to supply a sufficient amount of the plating liquid to the substrate to be plated.

또한, 기판의 오염을 방지하고 균일한 도금액 분사를 위하여, 도금액을 분사하는 노즐에는 이물질이 유입되지 않아야 한다.
In addition, in order to prevent contamination of the substrate and to uniformly spray the plating liquid, foreign matter should not flow into the nozzle for spraying the plating liquid.

본 발명은 원하는 양의 유체를 효과적으로 공급할 수 있는 노즐 유닛을 제공하는 것이다.The present invention provides a nozzle unit capable of effectively supplying a desired amount of fluid.

또한, 본 발명은 노즐 내부로 이물질의 유입을 효과적으로 방지하는 노즐 유닛을 제공하는 것이다.
In addition, the present invention is to provide a nozzle unit that effectively prevents the inflow of foreign matter into the nozzle.

본 발명의 일 측면에 따르면, 유입구 및 토출구가 형성된 관로를 구비하고 있으며, 상기 관로의 측면에 흡입구가 형성된 노즐, 상기 흡입구로 유입되는 유체에서 이물질을 제거하도록 상기 흡입구를 커버하는 필터부재를 포함하는 노즐 유닛이 제공된다.According to an aspect of the present invention, the inlet and outlet has a conduit formed with a nozzle, a suction port is formed on the side of the conduit, the filter member for covering the inlet to remove the foreign matter from the fluid flowing into the inlet A nozzle unit is provided.

상기 노즐은 파이프 형태로 형성되고, 상기 흡입구는 상기 파이프형 노즐의 외주면에 형성되어 있으며, 상기 필터부재는 상기 파이프형 노즐의 외주면을 감쌀 수 있다.The nozzle is formed in a pipe shape, the suction port is formed on the outer peripheral surface of the pipe-type nozzle, the filter member may surround the outer peripheral surface of the pipe-type nozzle.

상기 필터부재는 탈착이 가능하게 형성될 수 있다.The filter member may be formed to be detachable.

상기 필터부재는, 상기 파이프형 노즐을 감싸는 고리형의 필터부, 상기 고리형 필터부의 양단을 결합시키는 체결부를 포함할 수 있다.The filter member may include an annular filter part surrounding the pipe-shaped nozzle and a fastening part for coupling both ends of the annular filter part.

상기 필터부재는 그물망을 포함할 수 있다.The filter member may include a mesh.

상기 노즐의 토출구에서 연장되도록, 상기 노즐에 조립되는 노즐 확장부재를 더 포함하고, 상기 필터부재는 상기 노즐 확장부재에 결합되며, 상기 노즐과 상기 노즐 확장부재의 조립 시에 상기 노즐의 외주면을 감싸고 있을 수 있다.And a nozzle extension member assembled to the nozzle to extend from the discharge port of the nozzle, wherein the filter member is coupled to the nozzle extension member and surrounds the outer circumferential surface of the nozzle when the nozzle and the nozzle extension member are assembled. There may be.

상기 노즐 확장부재는, 유체가 토출되는 방향으로 직경이 확장되는 형상일 수 있다.The nozzle expansion member may have a shape in which a diameter extends in a direction in which the fluid is discharged.

상기 노즐 유닛은 도금액에 침전되어, 상기 유입구 및 흡입구로 유입되는 도금액을 분사할 수 있다.
The nozzle unit may be deposited in the plating liquid and spray the plating liquid flowing into the inlet and the suction port.

본 발명에 따르면, 유입구로 유입되는 양보다 많은 양의 유체가 토출구로 토출되도록 유체의 흐름을 유도함으로써, 많은 양의 유체를 효과적으로 공급할 수 있다.According to the present invention, a large amount of fluid can be effectively supplied by inducing a flow of the fluid so that a larger amount of fluid than the amount flowing into the inlet is discharged to the outlet.

또한, 노즐 내부로 이물질의 유입을 방지함으로써, 균일한 분사 및 대상물의 오염을 방지할 수 있다.
In addition, by preventing the inflow of foreign matter into the nozzle, it is possible to prevent uniform spraying and contamination of the object.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛을 나타낸 사시도.
도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛의 노즐을 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐에서 유체의 흐름을 설명하는 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛의 필터부재를 나타낸 사시도.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛의 노즐 확장부재를 나타낸 도면.1 is a perspective view showing a nozzle unit according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing a nozzle of a nozzle unit according to an embodiment of the present invention.
3 illustrates the flow of fluid in a nozzle in accordance with one embodiment of the present invention.
Figure 4 is a perspective view showing a filter member of the nozzle unit according to an embodiment of the present invention.
5 and 6 are views showing the nozzle expansion member of the nozzle unit according to an embodiment of the present invention.

이하에서 본 발명의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛을 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a nozzle unit according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛은 관로(12)의 측면에 흡입구(14)가 형성된 노즐(10) 및 흡입구(14)를 커버하는 필터부재(20)를 포함한다.
The nozzle unit according to the exemplary embodiment of the present invention includes a nozzle 10 having a suction port 14 formed on a side surface of the conduit 12 and a filter member 20 covering the suction port 14.

노즐(10)은 유체를 대상물을 향하여 토출시키는 부분이다. 이를 위해, 노즐(10)은 유체가 유입되는 유입구(12a) 및 유체가 토출되는 토출구(12b)가 형성된 관로(12)를 구비한다. 특히, 본 실시예의 노즐(10)에는 관로(12)의 측면에 유체가 흡입되는 흡입구(14)가 형성되어 유입구(12a)로 흡입되는 유체보다 많은 양의 유체를 토출할 수 있다.The nozzle 10 is a part which discharges a fluid toward an object. To this end, the nozzle 10 includes a conduit 12 having an inlet 12a through which fluid is introduced and a discharge port 12b through which the fluid is discharged. In particular, the nozzle 10 of the present embodiment is formed with a suction port 14 in which the fluid is sucked in the side of the conduit 12 can discharge a larger amount of fluid than the fluid sucked into the inlet (12a).

도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛의 노즐(10)을 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐(10)에서 유체의 흐름을 설명하는 도면이다.2 is a perspective view showing the nozzle 10 of the nozzle unit according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a view illustrating the flow of fluid in the nozzle 10 according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3에 나타난 바와 같이, 본 실시예의 노즐(10)은 파이프 형태로 형성되고 길이방향으로 관통된 관로(12)가 형성된다. 이에 따라, 노즐(10)의 양단에 각각 유입구(12a) 및 토출구(12b)가 형성된다. 그리고, 파이프형 노즐(10)의 외주면에는 관로(12)와 관통된 흡입구(14)가 형성된다. As shown in Figures 2 and 3, the nozzle 10 of the present embodiment is formed in the form of a pipe and a longitudinally penetrating conduit 12 is formed. As a result, inlets 12a and outlets 12b are formed at both ends of the nozzle 10, respectively. In addition, the outer circumferential surface of the pipe-shaped nozzle 10 is provided with a conduit 12 and a suction inlet 14.

따라서, 도 3에 나타난 바와 같이, 유입구(12a)에서 토출구(12b)로의 유체 흐름이 형성되면, 흡입구(14)를 통하여 주변의 유체가 빨려 들어오게 되어 토출되는 유량이 증가된다.Therefore, as shown in FIG. 3, when the fluid flow from the inlet 12a to the outlet 12b is formed, the surrounding fluid is sucked in through the suction port 14, and the flow rate discharged is increased.

특히, 본 실시예의 노즐 유닛이 도금액에 침전되어 도금액을 분사하는 노즐(10)로 사용될 경우, 유입구(12a)로 유입되는 양보다 많은 도금액이 토출구(12b)로 토출됨으로써, 많은 양의 도금액을 효과적으로 공급할 수 있다.
In particular, when the nozzle unit of the present embodiment is used as the nozzle 10 for injecting the plating liquid by being precipitated in the plating liquid, the plating liquid is discharged to the discharge port 12b more than the amount flowing into the inlet 12a, whereby a large amount of the plating liquid is effectively applied. Can supply

필터부재(20)는 흡입구(14)로 유입되는 유체에서 이물질을 제거하는 부분이다. 이를 위해, 필터부재(20)는 흡입구(14)를 커버하며, 흡입될 유체를 선택적으로 투과시키는 재질로 이루어진다. 구체적으로, 본 실시예의 필터부재(20)는 도금액에 침전되어 사용되는 노즐(10)의 흡입구(14)로 드라이 필름 등의 이물질이 유입을 막는 그물망을 포함한다. 이에 따라, 노즐(10)이 균일하게 도금액을 분사하며, 도금 대상물이 이물질로 오염되는 것을 방지할 수 있다.The filter member 20 is a part for removing foreign matter from the fluid flowing into the suction port 14. To this end, the filter member 20 covers the inlet 14 and is made of a material that selectively permeates the fluid to be sucked. Specifically, the filter member 20 of the present embodiment includes a net to prevent foreign substances such as dry film from entering the inlet 14 of the nozzle 10 used to settle in the plating solution. As a result, the nozzle 10 uniformly sprays the plating liquid, thereby preventing contamination of the plating object with foreign matter.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛의 필터부재(20)를 나타낸 사시도이다.4 is a perspective view showing the filter member 20 of the nozzle unit according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 4에 나타난 바와 같이, 본 실시예의 필터부재(20)는 파이프형 노즐(10)에 설치될 수 있도록, 파이프형 노즐(10)의 외주면을 감싸는 형태로 형성된다. 또한, 필터부재(20)는 사용 후에 이물질의 제거 또는 교체가 용이하도록 노즐(10)에 탈착 가능하게 형성될 수 있다.As shown in Figure 1 and 4, the filter member 20 of the present embodiment is formed in a form surrounding the outer peripheral surface of the pipe-shaped nozzle 10, so that it can be installed in the pipe-shaped nozzle (10). In addition, the filter member 20 may be detachably formed on the nozzle 10 to facilitate removal or replacement of foreign matter after use.

구체적으로, 본 실시예의 필터부재(20)는 파이프형 노즐(10)을 감싸는 'C'자 형상으로 형성된 고리형의 필터부(22)와 고리형 필터부(22)의 양단을 결합시키는 체결부(24)로 이루어져 파이프형 노즐(10)에 용이하게 탈부착될 수 있다.
Specifically, the filter member 20 of the present embodiment is a fastening portion for coupling both ends of the annular filter portion 22 and the annular filter portion 22 formed in the 'C' shape surrounding the pipe-shaped nozzle 10 It is composed of 24 can be easily attached and detached to the pipe-shaped nozzle (10).

한편, 본 실시예의 노즐(10)에는 노즐(10)을 연장시키는 다양한 형태의 노즐 확장부재(30)가 조립될 수 있다.On the other hand, the nozzle 10 of the present embodiment may be assembled with a nozzle expansion member 30 of various types to extend the nozzle 10.

도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛의 노즐 확장부재를 나타낸 도면이다.5 and 6 are views showing the nozzle expansion member of the nozzle unit according to an embodiment of the present invention.

도 5 및 도 6에 나타난 바와 같이, 본 실시예의 노즐(10)에는 필터부재(20)가 결합된 노즐 확장부재(30)가 조립될 수 있다. 구체적으로, 노즐 확장부재(30)는 내부에 형성된 유로가 노즐(10)의 토출구(12b)와 연통되도록 노즐(10)에 조립된다. 그리고, 필터부재(20)는 조립 시에 흡입구(14)가 형성된 노즐(10)의 외주면을 감싸도록 노즐 확장부재(30)에 결합된다.5 and 6, the nozzle extension member 30 to which the filter member 20 is coupled may be assembled to the nozzle 10 of the present embodiment. Specifically, the nozzle expansion member 30 is assembled to the nozzle 10 such that a flow path formed therein communicates with the discharge port 12b of the nozzle 10. In addition, the filter member 20 is coupled to the nozzle expansion member 30 to surround the outer circumferential surface of the nozzle 10 in which the suction port 14 is formed during assembly.

이에 따라, 노즐(10)에 필터부재(20)의 장착이 용이해질 뿐만 아니라, 다양하게 노즐 유닛의 형상을 변경할 수 있다. 더불어, 기존에 사용되던 노즐(10)을 그대로 이용하고도 본 발명을 실시할 수 있는 장점이 있다.Accordingly, the mounting of the filter member 20 to the nozzle 10 is facilitated, and the shape of the nozzle unit can be changed in various ways. In addition, there is an advantage that the present invention can be carried out without using the nozzle 10 used as it is.

이 때, 노즐 확장부재(30)는 노즐의 길이를 연장할 뿐만 아니라 노즐(10)의 직경을 변화시킴으로써, 다양한 토출 형태를 구현할 수 있다.At this time, the nozzle expansion member 30 may not only extend the length of the nozzle, but also change the diameter of the nozzle 10 to implement various discharge forms.

도 6에 나타난 바와 같이, 본 실시예의 노즐 확장부재(30)는 유체가 토출되는 방향으로 직경이 확장되는 형상을 가질 수 있다.
As shown in Figure 6, the nozzle expansion member 30 of the present embodiment may have a shape in which the diameter is expanded in the direction in which the fluid is discharged.

상기에서는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to embodiments of the present invention, those skilled in the art may variously modify the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. And can be changed.

전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
Many embodiments other than the above-described embodiments are within the scope of the claims of the present invention.

10: 노즐
12: 관로
12a: 유입구
12b: 토출구
14: 흡입구
20: 필터부재
22: 필터부
24: 체결부
30, 35: 노즐 확장부재10: nozzle
12: pipeline
12a: inlet
12b: discharge port
14: inlet
20: filter member
22: filter unit
24: fastening part
30, 35: nozzle extension member

Claims (8)

유입구 및 토출구가 형성된 관로를 구비하고 있으며, 상기 관로의 측면에 흡입구가 형성된 노즐; 및
상기 흡입구로 유입되는 유체에서 이물질을 제거하도록 상기 흡입구를 커버하는 필터부재를 포함하는 노즐 유닛.
A nozzle having a conduit formed with an inlet and an outlet, and having a suction port formed at a side of the conduit; And
And a filter member covering the suction port to remove foreign substances from the fluid flowing into the suction port.
제1항에 있어서,
상기 노즐은 파이프 형태로 형성되고, 상기 흡입구는 상기 파이프형 노즐의 외주면에 형성되어 있으며,
상기 필터부재는 상기 파이프형 노즐의 외주면을 감싸고 있는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
The method of claim 1,
The nozzle is formed in the shape of a pipe, the suction port is formed on the outer peripheral surface of the pipe-shaped nozzle,
And the filter member surrounds an outer circumferential surface of the pipe nozzle.
제2항에 있어서,
상기 필터부재는 탈착이 가능하게 형성된 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
The method of claim 2,
The filter unit is characterized in that the nozzle unit is formed to be removable.
제3항에 있어서,
상기 필터부재는,
상기 파이프형 노즐을 감싸는 고리형의 필터부; 및
상기 고리형 필터부의 양단을 결합시키는 체결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
The method of claim 3,
The filter member,
An annular filter surrounding the pipe nozzle; And
And a fastening part for coupling both ends of the annular filter part.
제1항에 있어서,
상기 필터부재는 그물망을 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
The method of claim 1,
The filter unit is characterized in that the nozzle unit comprises a mesh.
제1항에 있어서,
상기 노즐의 토출구에서 연장되도록, 상기 노즐에 조립되는 노즐 확장부재를 더 포함하고,
상기 필터부재는 상기 노즐 확장부재에 결합되며, 상기 노즐과 상기 노즐 확장부재의 조립 시에 상기 노즐의 외주면을 감싸고 있는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
The method of claim 1,
Further comprising a nozzle expansion member assembled to the nozzle so as to extend from the discharge port of the nozzle,
And the filter member is coupled to the nozzle expansion member, and surrounds an outer circumferential surface of the nozzle when the nozzle and the nozzle expansion member are assembled.
제6항에 있어서,
상기 노즐 확장부재는, 유체가 토출되는 방향으로 직경이 확장되는 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
The method of claim 6,
The nozzle expansion member, the nozzle unit, characterized in that the diameter is expanded in the direction in which the fluid is discharged.
제1항에 있어서,
상기 노즐 유닛은 도금액에 침전되어, 상기 유입구 및 흡입구로 유입되는 도금액을 분사하는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
The method of claim 1,
The nozzle unit is precipitated in the plating liquid, the nozzle unit, characterized in that for spraying the plating liquid flowing into the inlet and suction.
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