KR20120044798A - Deposition apparatus for display device - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A depositing device of a display device is provided to maintain a clean chamber by preventing particles due to the driving of a transfer robot included in a transfer chamber. CONSTITUTION: A body unit(120) includes a base unit(121), a pair of rail units(123), and a sidewall unit. The pair of rail units are installed on one side and the other side of the base unit. A plate unit(110) includes a magnetic module(113) which linearly reciprocates in a magnetic levitation state. A motor unit(130) drives the plate unit. The motor unit comprises a driver(131) and a mover(133).

Description

표시장치의 증착장치{Deposition Apparatus for Display Device}Deposition Apparatus for Display Device

본 발명의 실시예는 표시장치의 증착장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a deposition apparatus of a display device.

최근, 평판표시장치(FPD: Flat Panel Display)는 멀티미디어의 발달과 함께 그 중요성이 증대되고 있다. 이에 부응하여 액정표시장치, 플라즈마표시장치, 유기전계발광표시장치 등과 같은 여러 가지의 평면형 표시장치가 실용화되고 있다. 이들 중 일부 표시장치 예컨대, 액정표시장치 및 유기전계발광표시장치는 증착 방법, 식각 방법 등을 통해 기판 상에 소자들과 배선들을 박막 형태로 형성한다.2. Description of the Related Art In recent years, the importance of flat panel displays (FPDs) has been increasing with the development of multimedia. In response to this, various flat panel display devices such as liquid crystal display devices, plasma display devices, organic light emitting display devices, and the like have been put into practical use. Some of these displays, for example, liquid crystal displays and organic light emitting displays, form elements and wires in a thin film form on a substrate through a deposition method, an etching method, or the like.

표시장치를 제조하기 위한 증착장치에는 다수의 공정 챔버, 로드락 챔버, 히팅 챔버 등이 구비되고 이들 챔버 간에 기판을 이송하는 트랜스퍼 챔버가 포함된다. 트랜스퍼 챔버에는 기판을 이송하는 이송로봇이 포함되는데, 이는 주로 산업용 로봇에 사용되는 직선운동 베어링(이하 LM Guide)을 사용하는 방식으로 길이 방향으로 정밀하게 왕복운동 한다.A deposition apparatus for manufacturing a display device includes a transfer chamber including a plurality of process chambers, load lock chambers, heating chambers, and the like, and transferring substrates between the chambers. The transfer chamber includes a transfer robot for transferring the substrate, which precisely reciprocates in the longitudinal direction by using a linear motion bearing (hereinafter referred to as an LM Guide), which is mainly used for industrial robots.

그런데, LM Guide 방식의 이송로봇이 적용된 종래 트랜스퍼 챔버는 LM Guide의 직접 마찰에 의해 베어링이 마모되거나 그리스(Grease)의 경화 현상으로 인해 증착공정에 영향을 미치는 수준의 파티클(Particel)이 발생한다. 또한, 종래 트랜스퍼 챔버는 이송로봇의 진동발생으로 인하여 기판에 손상을 미치기도 하며, 주기적인 관리와 이에 따른 시간 및 비용의 로스(Loss)를 유발하고 있다. 이와 더불어, 종래 트랜스퍼 챔버는 사용시간에 비례하여 이송로봇을 구성하는 타이밍 벨트의 갈림, 벨트의 끊김 현상 등이 발생하고 있어 이의 개선이 요구된다.
However, the conventional transfer chamber to which the LM Guide transfer robot is applied generates particles having a level that affects the deposition process due to wear of the bearing or hardening of grease due to direct friction of the LM Guide. In addition, the conventional transfer chamber may also damage the substrate due to the vibration of the transfer robot, causing periodic management and thus loss of time and cost. In addition, in the conventional transfer chamber, the timing belt, the belt breakage phenomenon, etc. constituting the transfer robot occurs in proportion to the use time, and the improvement thereof is required.

상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 실시예는, 트랜스퍼 챔버 내에 구비된 이송로봇의 구동에 따른 파티클(Particle) 발생 방지와 더불어 진동발생률을 낮추어 기판의 손상을 방지하고, 장치의 주기적인 관리와 이에 따른 시간 및 비용의 로스(Loss)를 감소시킬 수 있는 표시장치의 증착장치를 제공하는 것이다.
Embodiments of the present invention for solving the above problems of the background, the prevention of particles (particles) caused by the drive of the transfer robot provided in the transfer chamber, and to reduce the vibration rate to prevent damage to the substrate, the period of the device It is to provide a deposition apparatus for a display device that can reduce the overall management and thus the loss of time and cost.

상술한 과제 해결 수단으로 본 발명의 실시예는, 로드락 챔버; 로드락 챔버로부터 공급된 기판에 재료를 증착하는 다수의 공정 챔버; 및 로드락 챔버에서 다수의 공정 챔버 중 하나로 기판을 이송하는 이송로봇을 포함하는 트랜스퍼 챔버를 포함하며, 이송로봇은 적어도 한 쌍의 레일부를 포함하는 몸체부와, 기판을 이송하며 적어도 한 쌍의 레일부에서 자기부상 상태로 직선왕복 운동을 하도록 설치된 자기모듈을 포함하는 플레이트부와, 플레이트부를 구동하는 모터부를 포함하는 표시장치의 증착장치를 제공한다.Embodiment of the present invention as a means for solving the above problems, a load lock chamber; A plurality of process chambers for depositing material on a substrate supplied from the load lock chamber; And a transfer chamber including a transfer robot for transferring the substrate from the load lock chamber to one of the plurality of process chambers, wherein the transfer robot includes at least one pair of body portions including at least one pair of rail portions and a substrate for transferring the substrate. In some embodiments, there is provided a deposition apparatus of a display device including a plate part including a magnetic module installed to linearly reciprocate in a magnetic levitation state, and a motor part driving the plate part.

플레이트부는, 모터부에 포함된 이동자가 설치된 지지부와, 지지부의 측면에 부착되며 레일부 내에 설치되는 적어도 네 개의 자기모듈과, 지지부의 일면에 부착되고 기판을 로딩하는 포크부를 포함할 수 있다.The plate part may include a support on which the mover included in the motor part is installed, at least four magnetic modules attached to the side of the support part and installed in the rail part, and a fork part attached to one surface of the support part and loading the substrate.

몸체부는, 모터부에 포함된 구동자가 설치된 기저부와, 기저부의 일면에 한 쌍이 상호 이격하여 대향하도록 설치된 금속성 재질의 디귿자(ㄷ) 형상을 갖는 레일부와, 기저부와 레일부에 의해 형성되고 플레이트부가 이동하는 공간의 일면을 막는 측벽부를 포함할 수 있다.The body part includes a base part provided with a driver included in the motor part, a rail part having a dimple-shaped shape of a metallic material installed so as to face each other with one pair spaced apart from each other, and a plate part formed by the base part and the rail part. It may include a side wall portion blocking one surface of the moving space.

측벽부는, 모터부의 파워 오프시 플레이트부와의 충돌을 완화하도록 내부 벽면에 설치된 스토퍼를 더 포함할 수 있다.The side wall portion may further include a stopper provided on the inner wall to mitigate a collision with the plate portion when the motor portion is powered off.

자기모듈은, 부식성 기체 및 액체로부터 보호하는 보호제가 코팅될 수 있다.The magnetic module may be coated with a protective agent to protect it from corrosive gases and liquids.

이송로봇은, 두 쌍의 레일부를 포함하는 몸체부와, 기판을 이송하며 두 쌍의 레일부에서 자기부상 상태로 직선왕복 운동을 하도록 설치된 자기모듈을 포함하는 두 개의 플레이트부와, 두 개의 플레이트부를 구동하는 두 개의 모터부를 포함할 수 있다.The transfer robot includes two body parts including a body part including two pairs of rail parts, a magnetic module installed to transfer a substrate and linearly reciprocate in a magnetic levitation state in two pairs of rail parts, and two plate parts. It may include two motor units for driving.

몸체부는, 모터부에 포함된 두 개의 구동자가 구분되어 설치된 기저부와, 기저부의 일면에 한 쌍이 상호 이격하여 대향하도록 설치된 금속성 재질의 디귿자(ㄷ) 형상을 갖는 제1레일부와, 기저부의 일면에 한 쌍이 상호 이격하여 비대향하도록 설치된 금속성 재질의 디귿자(ㄷ) 형상을 갖는 제2레일부와, 기저부와 제1 및 제2레일부에 의해 형성되고 두 개의 플레이트부가 이동하는 공간의 일면을 막는 측벽부를 포함할 수 있다.The body portion includes a base portion in which two drivers included in the motor portion are separately installed, a first rail portion having a shape of a metal material (c) installed so that a pair of the pair is spaced apart from each other, and face each other, and one surface of the base portion. A second rail portion having a metal-shaped dip-shape (c) shape, the pair being spaced apart from each other and opposed to each other, and a side wall formed by the base portion, the first and second rail portions, and blocking one surface of a space in which the two plate portions move. It may include wealth.

두 개의 플레이트부는, 제1쌍의 레일부에 설치되어 자기부상 상태로 직선왕복 운동하는 제1플레이트부와, 제2쌍의 레일부에 설치되고 제1플레이트부와 다른 높이에서 자기부상 상태로 직선왕복 운동하는 제2플레이트부를 포함할 수 있다.The two plate portions are provided on the first pair of rail portions and linearly reciprocate in a magnetic levitation state, and are mounted on the second pair of rail portions and are linear in a magnetic levitation state at a different height from the first plate portion. It may include a second plate portion for reciprocating motion.

트랜스퍼 챔버는, 로드락 챔버로부터 공급된 적어도 하나의 기판을 다수의 공정 챔버 중 하나로 이송하도록 회전 운동할 수 있다.The transfer chamber may rotate to transfer at least one substrate supplied from the load lock chamber to one of the plurality of process chambers.

모터부는, 리니어 모터를 포함할 수 있다.
The motor unit may include a linear motor.

본 발명의 실시예는, 이송로봇이 자기부상 상태로 기판을 이송하므로 파티클(Particle) 발생을 방지할 수 있어 챔버를 깨끗한 상태로 유지할 수 있다. 이와 더불어, 실시예의 이송로봇은 자기부상 상태로 이동하므로 진동발생률이 낮아 기판의 손상을 방지할 수 있고, 종래 이송로봇 대비 주기적인 관리와 이에 따른 시간 및 비용의 로스(Loss)를 감소시킬 수 있다. 또한, 실시예의 이송로봇은 리니어 모터와 자기모듈을 사용함으로써 제어가 용이함에 따라 타이밍 벨트의 갈림, 벨트의 끊김 현상 등의 문제 발생 빈도를 종래 이송로봇 대비 낮출 수 있다.
In the embodiment of the present invention, since the transfer robot transfers the substrate in the state of magnetic levitation, it is possible to prevent the generation of particles and keep the chamber clean. In addition, since the transfer robot of the embodiment moves to a magnetic levitation state, the vibration incidence rate is low to prevent damage to the substrate, and it is possible to reduce the loss of time and cost due to the periodic management and thus the transfer robot. . In addition, the transfer robot according to the embodiment may reduce the frequency of occurrence of problems such as timing belt splitting and belt disconnection as it is easy to control by using a linear motor and a magnetic module.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 증착장치의 개략적인 도면.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 트랜스퍼 챔버의 이송로봇을 개략적으로 나타낸 도면.
도 3은 도 2의 이송로봇이 기판을 이송하는 것을 설명하기 위한 도면.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 트랜스퍼 챔버의 이송로봇을 개략적으로 나타낸 도면.
도 5는 도 4의 이송로봇이 기판을 이송하는 것을 설명하기 위한 도면.1 is a schematic view of a deposition apparatus according to a first embodiment of the present invention.
Figure 2 is a schematic view showing a transfer robot of the transfer chamber according to the first embodiment of the present invention.
3 is a view for explaining that the transfer robot of Figure 2 transfer the substrate.
4 is a view schematically showing a transfer robot of a transfer chamber according to a second embodiment of the present invention.
5 is a view for explaining that the transfer robot of Figure 4 transfers the substrate.

이하, 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the specific content for the practice of the present invention will be described.

<제1실시예>First Embodiment

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 증착장치의 개략적인 도면이다.1 is a schematic diagram of a deposition apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 증착장치에는 반송장치(LD), 로드락 챔버(LL), 다수의 공정 챔버(PC), 히팅 챔버(HC) 및 트랜스퍼 챔버(TC)가 포함되는 클러스터드(Clustered) 증착장치 이다.As shown in FIG. 1, a deposition apparatus according to a first embodiment of the present invention includes a transfer device LD, a load lock chamber LL, a plurality of process chambers PC, a heating chamber HC, and a transfer chamber ( Clustered deposition apparatus including TC).

실시예에 따른 증착장치로 제작할 수 있는 표시장치는 액정표시장치 및 유기전계발광표시장치 등이 될 수 있고, 이 밖에 표시장치뿐만 아니라 다른 장치에 대한 증착 공정을 진행할 수도 있다.The display device which may be manufactured by the deposition apparatus according to the embodiment may be a liquid crystal display device, an organic light emitting display device, or the like. In addition, a deposition process may be performed on other devices as well as the display device.

실시예에 따른 증착장치에 포함된 반송장치(LD), 로드락 챔버(LL), 다수의 공정 챔버(PC), 히팅 챔버(HC) 및 트랜스퍼 챔버(TC)는 이들 사이에 설치된 게이트 밸브(GB)를 통해 기판을 이송할 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 이를 위해, 트랜스퍼 챔버(TC)는 로드락 챔버(LL)로부터 공급된 적어도 하나의 기판을 다수의 공정 챔버(PC) 또는 히팅 챔버(HC) 중 하나로 이송하도록 회전 운동할 수 있다. 이하, 증착장치에 포함된 장치들에 대해 설명한다.The transfer device LD, the load lock chamber LL, the plurality of process chambers PC, the heating chamber HC, and the transfer chamber TC included in the deposition apparatus according to the embodiment are provided with a gate valve GB installed therebetween. The substrate may be transferred through), but is not limited thereto. To this end, the transfer chamber TC may rotate to transfer at least one substrate supplied from the load lock chamber LL to one of the plurality of process chambers PC or the heating chamber HC. Hereinafter, devices included in the deposition apparatus will be described.

반송장치(LD)는 공정을 진행할 기판을 배치해 놓거나 반송하는 장치이다.The conveying apparatus LD is an apparatus which arrange | positions or conveys the board | substrate which advances a process.

로드락 챔버(LL)는 반송장치(LD)에 배치된 기판을 로드락 챔버(LL) 내에 로딩하는 장치이다. 로드락 챔버(LL)는 다수의 슬롯이 구비되어 있어 여러 장의 기판을 로딩할 수 있도록 설계된다. 로드락 챔버(LL)는 게이트 밸브를 통해 반송장치(LD)로부터 기판을 로딩하고 이후 진공펌프를 가동하여 로드락 챔버(LL)를 진공상태로 만든다.The load lock chamber LL is an apparatus which loads the board | substrate arrange | positioned at the conveying apparatus LD in the load lock chamber LL. The load lock chamber LL is provided with a plurality of slots to load a plurality of substrates. The load lock chamber LL loads a substrate from the conveying device LD through a gate valve and then operates a vacuum pump to bring the load lock chamber LL into a vacuum state.

트랜스퍼 챔버(TC)는 로드락 챔버(LL)에서 다수의 공정 챔버(PC) 중 하나로 기판을 이송하는 장치이다. 트랜스퍼 챔버(TC)는 다수의 공정 챔버(PC) 뿐만 아니라 증착이 완료된 기판을 히팅 챔버(HC)로 이송하는 역할도 한다.The transfer chamber TC is a device for transferring a substrate from the load lock chamber LL to one of the plurality of process chambers PC. The transfer chamber TC may transfer not only the plurality of process chambers PC but also the substrate on which the deposition is completed, to the heating chamber HC.

히팅 챔버(HC)는 다수의 슬롯으로 구성되어 있어 다수의 기판을 로딩할 수 있고, 로딩된 기판을 가열하는 장치이다.Heating chamber HC is composed of a plurality of slots can be loaded a plurality of substrates, is a device for heating the loaded substrate.

다수의 공정 챔버(PC)는 트랜스퍼 챔버(TC)에 의해 이송된 기판 상에 재료를 증착하는 장치이다. 다수의 공정 챔버(PC)는 화학적증착 방법 등을 이용하여 기판 상에 재료를 증착할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
The plurality of process chambers PC is an apparatus for depositing material on a substrate carried by the transfer chamber TC. The plurality of process chambers PC may deposit a material on a substrate using a chemical vapor deposition method, but is not limited thereto.

한편, 제1실시예의 트랜스퍼 챔버(TC)는 자기부상 상태로 기판을 이송하는 이송로봇이 포함되는데 이에 대한 설명은 이하에서 더욱 자세히 설명한다.On the other hand, the transfer chamber (TC) of the first embodiment includes a transfer robot for transferring the substrate in a magnetic levitation state will be described in more detail below.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 트랜스퍼 챔버의 이송로봇을 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 3은 도 2의 이송로봇이 기판을 이송하는 것을 설명하기 위한 도면이다.2 is a view schematically showing a transfer robot of the transfer chamber according to the first embodiment of the present invention, Figure 3 is a view for explaining that the transfer robot of Figure 2 transfers the substrate.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 트랜스퍼 챔버(TC)에 포함된 이송로봇에는 적어도 한 쌍의 레일부(123)를 포함하는 몸체부(120), 기판을 이송하며 적어도 한 쌍의 레일부(123)에서 자기부상 상태로 직선왕복 운동을 하도록 설치된 자기모듈(113)을 포함하는 플레이트부(110) 및 플레이트부(110)를 구동하는 모터부(130)가 포함된다.2 and 3, the transfer robot included in the transfer chamber TC includes a body 120 including at least one pair of rails 123, and a substrate transferring at least one pair of rails. A plate unit 110 including a magnetic module 113 installed to perform a linear reciprocating motion in a magnetic levitation state at 123 and a motor unit 130 for driving the plate unit 110 is included.

몸체부(120)에는 모터부(130)에 포함된 구동자(131)가 설치되는 기저부(121), 기저부(121)의 일면에 한 쌍이 상호 이격하여 대향하도록 설치된 금속성 재질의 디귿자(ㄷ) 형상을 갖는 레일부(123), 기저부(121)와 레일부(123)에 의해 형성되고 플레이트부(110)가 이동하는 공간의 일면을 막는 측벽부(140)가 포함된다. 한 쌍의 레일부(123)는 기저부(121)의 일 측면과 타 측면에 설치되고, 상하로 가이드 역할을 하는 레일 내에 자기모듈(113)이 부상하여 이동할 수 있도록 설치된다. 측벽부(140)에는 모터부(130)의 파워 오프시 플레이트부(110)와의 충돌을 완화하도록 내부 벽면에 설치된 스토퍼(140)가 더 포함될 수 있다. 여기서, 스토퍼(140)는 플레이트부(110) 와의 충돌시 완충 역할을 할 수 있는 스프링 소재나 고무 소재 등이 선택될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.Body portion 120 is a base portion 121 is installed in the base portion 121 is installed, the driver 131 included in the motor unit 130, a pair of the metal material is installed so as to face each other spaced apart from each other (121) The side wall portion 140 is formed by the rail portion 123, the base portion 121 and the rail portion 123 and block one surface of the space in which the plate portion 110 moves. The pair of rail parts 123 are installed on one side and the other side of the base part 121, and are installed to allow the magnetic module 113 to float and move in a rail serving as a guide. The side wall part 140 may further include a stopper 140 installed on the inner wall to mitigate a collision with the plate part 110 when the motor part 130 is powered off. Here, the stopper 140 may be selected from a spring material or a rubber material, etc., which may act as a shock absorber when colliding with the plate part 110, but is not limited thereto.

플레이트부(110)에는 모터부(130)에 포함된 이동자(133)가 설치되는 지지부(111)와, 지지부(111)의 측면에 부착되며 레일부(123) 내에 설치되는 적어도 네 개의 자기모듈(113)과, 지지부(111)의 일면에 부착되고 기판을 로딩하는 포크부(113)를 포함할 수 있다. 자기모듈(113)에는 자기 베어링은 물론 정확 위치를 제어할 수 있도록 위치센서가 포함될 수 있고, 자기 베어링의 경우 흡입식 전자석이 선택될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 이와 더불어, 레일부(123)는 자기 베어링 및 위치센서의 사용 개수를 줄이기 위해 레일 인스톨드 타입(Rail-installed type)이 아닌 케리어 인스톨드 타입(Carrier-installed type)로 구성될 수 있다. 포크부(113)는 지지부(111)의 일면에 직접 부착되거나 장치와 함께 부착될 수 있으며 이의 형상은 도시된 도면에 한정되지 않는다.The plate part 110 includes a support part 111 on which the mover 133 included in the motor part 130 is installed, and at least four magnetic modules attached to the side of the support part 111 and installed in the rail part 123 ( 113, and a fork part 113 attached to one surface of the support part 111 and loading the substrate. The magnetic module 113 may include a position sensor to control the exact position as well as the magnetic bearing, and in the case of the magnetic bearing, a suction type electromagnet may be selected, but is not limited thereto. In addition, the rail unit 123 may be configured as a carrier-installed type rather than a rail-installed type in order to reduce the number of use of the magnetic bearing and the position sensor. The fork 113 may be directly attached to one surface of the support 111 or attached with the device, the shape of which is not limited to the illustrated figure.

한편, 자기모듈(113)은 챔버 내의 특수 환경 예컨대 부식성 기체 및 액체로부터 보호되도록 보호제 예컨대, 테플론 등이 코팅된 것이 선택될 수 있다.On the other hand, the magnetic module 113 may be selected to be coated with a protective agent, such as Teflon to protect from a special environment, such as corrosive gas and liquid in the chamber.

모터부(130)는 구동자(131)와 이동자(133)로 구성된 리니어 모터가 선택된다. 리니어 모터로 구성된 모터부(130)는 구동자(131)와 이동자(133) 간의 마찰에 따른 에너지 손실과 소음이 없으므로, 챔버 내의 파티클 발생 문제를 방지할 수 있다.The motor unit 130 includes a linear motor including a driver 131 and a mover 133. Since the motor unit 130 formed of the linear motor has no energy loss and noise due to friction between the driver 131 and the mover 133, particle generation in the chamber may be prevented.

앞서 설명한 바와 같은 이송로봇이 포함된 트랜스퍼 챔버(TC)는 구동자(131)의 구동에 의해 이동자(133)가 제1방향(X1)과 제2방향(X2)으로 직선왕복 운동을 하게 된다. 이때, 플레이트부(110)는 자기모듈(113)에 의해 자기부상 상태로 한 쌍의 레일부(123)를 적은 마찰로 이동할 수 있게 된다.
In the transfer chamber TC including the transfer robot as described above, the mover 133 linearly reciprocates in the first direction X1 and the second direction X2 by the driving of the driver 131. At this time, the plate 110 may move the pair of rails 123 with little friction in a magnetic levitation state by the magnetic module 113.

<제2실시예>Second Embodiment

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 트랜스퍼 챔버의 이송로봇을 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 5는 도 4의 이송로봇이 기판을 이송하는 것을 설명하기 위한 도면이다.4 is a view schematically showing a transfer robot of a transfer chamber according to a second embodiment of the present invention, Figure 5 is a view for explaining that the transfer robot of Figure 4 transfers the substrate.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 트랜스퍼 챔버(TC)에 포함된 이송로봇에는 두 쌍의 레일부(123a, 123b)를 포함하는 몸체부(120a, 120b)와, 기판을 이송하며 두 쌍의 레일부(123a, 123b)에서 자기부상 상태로 직선왕복 운동을 하도록 설치된 자기모듈(113a, 113b)을 포함하는 두 개의 플레이트부(110a, 110b)와, 두 개의 플레이트부(110a, 110b)를 구동하는 두 개의 모터부(130a, 130b)를 포함할 수 있다.As shown in FIGS. 4 and 5, the transfer robot included in the transfer chamber TC includes body portions 120a and 120b including two pairs of rail portions 123a and 123b, and two pairs of substrates. The two plate portions 110a and 110b including the magnetic modules 113a and 113b installed in the rail portions 123a and 123b to perform a linear reciprocating motion in a magnetic levitation state, and the two plate portions 110a and 110b. It may include two motor units (130a, 130b) for driving.

몸체부(120a, 120b)는 두 개의 모터부(130a, 130b)에 포함된 두 개의 구동자(131a, 131b)가 구분되어 설치되는 기저부(121a, 121b)와, 기저부(121a)의 일면에 한 쌍이 상호 이격하여 대향하도록 설치된 금속성 재질의 디귿자(ㄷ) 형상을 갖는 제1레일부(123a)와, 기저부(121b)의 일면에 한 쌍이 상호 이격하여 비대향하도록 설치된 금속성 재질의 디귿자(ㄷ) 형상을 갖는 제2레일부(123b)와, 기저부(121a, 121b)와 제1 및 제2레일부(123a, 123b)에 의해 형성되고 두 개의 플레이트부(110a, 110b)가 이동하는 공간의 일면을 막는 측벽부(미도시)를 포함할 수 있다. 여기서, 측벽부의 구성은 도 2를 참조한다.Body portion (120a, 120b) is a base portion (121a, 121b) is provided with two drivers (131a, 131b) included in the two motor portion (130a, 130b), one on one side of the base portion (121a) The first rail portion 123a having a shape of a metal material (c) installed so that the pairs face each other and facing each other, and the shape of a metal material (c) installed so that a pair is spaced apart from each other on one surface of the base portion 121b. One surface of a space formed by the second rail portion 123b having a shape, the base portions 121a and 121b and the first and second rail portions 123a and 123b and the two plate portions 110a and 110b move. The membrane can include sidewall portions (not shown). Here, the configuration of the side wall portion, see FIG.

두 개의 플레이트부(110a, 110b)에는 제1쌍의 레일부(123a)에 설치되어 자기부상 상태로 직선왕복 운동하는 제1플레이트부(110a)와, 제2쌍의 레일부(123b)에 설치되고 제1플레이트부(110a)와 다른 높이에서 자기부상 상태로 직선왕복 운동하는 제2플레이트부(110b)가 포함된다.The two plate portions 110a and 110b are installed on the first pair of rail portions 123a and installed on the first plate portion 110a and the second pair of rail portions 123b to linearly reciprocate in a magnetic levitation state. And a second plate portion 110b which linearly reciprocates in a magnetic levitation state at a height different from that of the first plate portion 110a.

앞서 설명한 바와 같은 이송로봇이 포함된 트랜스퍼 챔버(TC)는 구동자(131a, 131b)의 구동에 의해 이동자(133a, 133b)가 제1방향(X1)과 제2방향(X2)으로 직선왕복 운동을 하게 된다. 이때, 두 개의 플레이트부(110a, 110b)는 자기모듈(113a, 113b)에 의해 자기부상 상태로 두 쌍의 레일부(123a, 123b)를 적은 마찰로 이동할 수 있게 된다.In the transfer chamber TC including the transfer robot as described above, the movers 133a and 133b are linearly reciprocated in the first direction X1 and the second direction X2 by the driving of the drivers 131a and 131b. Will be In this case, the two plate parts 110a and 110b may move the two pairs of rail parts 123a and 123b with little friction in a magnetic levitation state by the magnetic modules 113a and 113b.

제2실시예에 따른 이송로봇은 제1실시예와 동일한 구성으로 형성될 수 있지만, 두 개의 플레이트부(110a, 110b)가 상하로 구분되어 있어 두 개의 기판(181, 182)을 이송할 수 있게 된다.
The transfer robot according to the second embodiment may be formed in the same configuration as the first embodiment, but the two plate portions 110a and 110b are divided into upper and lower portions so that the two substrates 181 and 182 may be transferred. do.

앞서 설명된 제1 및 제2실시예에 따른 증착장치는 고온의 환경에서 이송로봇의 움직임을 최적화하기 위하여 내부에 포함된 장치에 대해 온도에 따른 자기력 및 전자기력 로스(loss)를 차동형 제어를 통해 보상할 수 있도록 구성될 수도 있다.The deposition apparatus according to the first and second embodiments described above compensates the magnetic and electromagnetic force losses according to temperature with respect to the apparatus included therein in order to optimize the movement of the transfer robot in a high temperature environment through differential control. It may be configured to do so.

이상, 본 발명에 따른 증착장치는 트랜스퍼 챔버(TC)에 포함된 이송로봇이 자기부상 상태로 기판(180)을 이송하므로 파티클(Particle) 발생을 방지할 수 있어 챔버를 깨끗한 상태로 유지할 수 있다. 이와 더불어, 실시예의 이송로봇은 자기부상 상태로 이동하므로 진동발생률이 낮아 기판의 손상을 방지할 수 있고, 종래 이송로봇 대비 주기적인 관리와 이에 따른 시간 및 비용의 로스(Loss)를 감소시킬 수 있다. 또한, 실시예의 이송로봇은 리니어 모터와 자기모듈을 사용함으로써 제어가 용이함에 따라 타이밍 벨트의 갈림, 벨트의 끊김 현상 등의 문제 발생 빈도를 종래 이송로봇 대비 낮출 수 있다.
As described above, in the deposition apparatus according to the present invention, the transfer robot included in the transfer chamber TC transfers the substrate 180 to the magnetic levitation state, thereby preventing the generation of particles, thereby keeping the chamber clean. In addition, since the transfer robot of the embodiment moves to a magnetic levitation state, the vibration incidence rate is low to prevent damage to the substrate, and it is possible to reduce the loss of time and cost due to the periodic management and thus the transfer robot. . In addition, the transfer robot according to the embodiment may reduce the frequency of occurrence of problems such as timing belt splitting and belt disconnection as it is easy to control by using a linear motor and a magnetic module.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the technical configuration of the present invention described above may be modified in other specific forms by those skilled in the art to which the present invention pertains without changing its technical spirit or essential features. It will be appreciated that it may be practiced. Therefore, the embodiments described above are to be understood as illustrative and not restrictive in all aspects. In addition, the scope of the present invention is shown by the claims below, rather than the above detailed description. Also, it is to be construed that all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts are included in the scope of the present invention.

LL: 로드락 챔버 PC: 다수의 공정 챔버
HC: 히팅 챔버 TC: 트랜스퍼 챔버
110: 플레이트부 113: 자기모듈
120: 몸체부 123: 레일부
130: 모터부 140: 스토퍼LL: Load Lock Chamber PC: Multiple Process Chambers
HC: heating chamber TC: transfer chamber
110: plate portion 113: magnetic module
120: body portion 123: rail portion
130: motor unit 140: stopper

Claims (10)

로드락 챔버;
상기 로드락 챔버로부터 공급된 기판에 재료를 증착하는 다수의 공정 챔버; 및
상기 로드락 챔버에서 상기 다수의 공정 챔버 중 하나로 상기 기판을 이송하는 이송로봇을 포함하는 트랜스퍼 챔버를 포함하며,
상기 이송로봇은,
적어도 한 쌍의 레일부를 포함하는 몸체부와,
상기 기판을 이송하며 상기 적어도 한 쌍의 레일부에서 자기부상 상태로 직선왕복 운동을 하도록 설치된 자기모듈을 포함하는 플레이트부와,
상기 플레이트부를 구동하는 모터부를 포함하는 표시장치의 증착장치.A load lock chamber;
A plurality of process chambers for depositing material on a substrate supplied from the load lock chamber; And
A transfer chamber including a transfer robot for transferring the substrate from the load lock chamber to one of the plurality of process chambers,
The transfer robot,
A body portion including at least one pair of rail portions,
A plate part including a magnetic module for transporting the substrate and having a linear reciprocating motion in a magnetic levitation state in the at least one pair of rail parts;
And a motor unit driving the plate portion. 제1항에 있어서,
상기 플레이트부는,
상기 모터부에 포함된 이동자가 설치되는 지지부와,
상기 지지부의 측면에 부착되며 상기 레일부 내에 설치된 적어도 네 개의 자기모듈과,
상기 지지부의 일면에 부착되고 상기 기판을 로딩하는 포크부를 포함하는 표시장치의 증착장치.The method of claim 1,
The plate portion,
A support unit on which a mover included in the motor unit is installed;
At least four magnetic modules attached to a side of the support part and installed in the rail part;
And a fork part attached to one surface of the support part to load the substrate. 제1항에 있어서,
상기 몸체부는,
상기 모터부에 포함된 구동자가 설치된 기저부와,
상기 기저부의 일면에 한 쌍이 상호 이격하여 대향하도록 설치된 금속성 재질의 디귿자(ㄷ) 형상을 갖는 레일부와,
상기 기저부와 상기 레일부에 의해 형성되고 상기 플레이트부가 이동하는 공간의 일면을 막는 측벽부를 포함하는 표시장치의 증착장치.The method of claim 1,
The body portion
A base installed with a driver included in the motor unit;
A rail portion having a dichroic shape (c) of a metallic material installed on one surface of the base portion such that the pair is spaced apart from each other;
And a sidewall portion formed by the base portion and the rail portion and blocking one surface of a space in which the plate portion moves. 제3항에 있어서,
상기 측벽부는,
상기 모터부의 파워 오프시 상기 플레이트부와의 충돌을 완화하도록 내부 벽면에 설치된 스토퍼를 더 포함하는 표시장치의 증착장치.The method of claim 3,
The side wall portion,
And a stopper disposed on an inner wall to mitigate a collision with the plate when the motor unit is powered off. 제1항에 있어서,
상기 자기모듈은,
부식성 기체 및 액체로부터 보호하는 보호제가 코팅된 것을 특징으로 하는 표시장치의 증착장치.The method of claim 1,
The magnetic module,
A deposition apparatus for a display device, characterized in that the protective agent to protect from corrosive gas and liquid is coated. 제1항에 있어서,
상기 이송로봇은,
두 쌍의 레일부를 포함하는 몸체부와,
상기 기판을 이송하며 상기 두 쌍의 레일부에서 자기부상 상태로 직선왕복 운동을 하도록 설치된 자기모듈을 포함하는 두 개의 플레이트부와,
상기 두 개의 플레이트부를 구동하는 두 개의 모터부를 포함하는 표시장치의 증착장치.The method of claim 1,
The transfer robot,
A body part including two pairs of rail parts,
Two plate portions including a magnetic module for transporting the substrate and a linear reciprocating motion in a magnetic levitation state in the two pairs of rail portions;
And two motor units for driving the two plate units. 제6항에 있어서,
상기 몸체부는,
상기 모터부에 포함된 두 개의 구동자가 구분되어 설치된 기저부와,
상기 기저부의 일면에 한 쌍이 상호 이격하여 대향하도록 설치된 금속성 재질의 디귿자(ㄷ) 형상을 갖는 제1레일부와,
상기 기저부의 일면에 한 쌍이 상호 이격하여 비대향하도록 설치된 금속성 재질의 디귿자(ㄷ) 형상을 갖는 제2레일부와,
상기 기저부와 상기 제1 및 제2레일부에 의해 형성되고 상기 두 개의 플레이트부가 이동하는 공간의 일면을 막는 측벽부를 포함하는 표시장치의 증착장치.The method of claim 6,
The body portion
A base part in which two drivers included in the motor part are separately installed;
A first rail part having a dimple-shaped shape of a metallic material installed on one surface of the base part such that the pair is spaced apart from each other;
A second rail portion having a dichroic shape of a metallic material installed on one surface of the base portion such that the pair is spaced apart from each other;
And a sidewall portion formed by the base portion and the first and second rail portions and blocking one surface of a space in which the two plate portions move. 제6항에 있어서,
상기 두 개의 플레이트부는,
제1쌍의 레일부에 설치되어 자기부상 상태로 직선왕복 운동하는 제1플레이트부와,
제2쌍의 레일부에 설치되고 상기 제1플레이트부와 다른 높이에서 자기부상 상태로 직선왕복 운동하는 제2플레이트부를 포함하는 표시장치의 증착장치.The method of claim 6,
The two plate parts,
A first plate portion installed in the first pair of rail portions and linearly reciprocating in a magnetic levitation state;
And a second plate portion provided in the second pair of rail portions and linearly reciprocating in a magnetic levitation state at a height different from that of the first plate portion. 제1항에 있어서,
상기 트랜스퍼 챔버는,
상기 로드락 챔버로부터 공급된 적어도 하나의 기판을 상기 다수의 공정 챔버 중 하나로 이송하도록 회전 운동하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 증착장치.The method of claim 1,
The transfer chamber,
And rotating at least one substrate supplied from the load lock chamber to move to one of the plurality of process chambers. 제1항에 있어서,
상기 모터부는,
리니어 모터를 포함하는 표시장치의 증착장치.The method of claim 1,
The motor unit,
Deposition apparatus of a display device including a linear motor.
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