KR20120041136A

KR20120041136A - 유체 계측 시스템, 기기, 및 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능 매체

Info

Publication number: KR20120041136A
Application number: KR1020110106949A
Authority: KR
Inventors: 가즈히로 마츠우라; 히로시 다카쿠라; 유키마사 후루카와; 다다히로 야스다
Original assignee: 가부시키가이샤 호리바 에스텍
Priority date: 2010-10-20
Filing date: 2011-10-19
Publication date: 2012-04-30
Also published as: JP2012107871A; US20120101744A1; CN102564509A; US9719829B2; CN102564509B; JP5864849B2

Abstract

본 발명은 유량 계측 기기 및 제어 기기를 가지는 유량 계측 시스템에 있어서, 그 유지관리 편의성을 향상시키는 것이고, MFC(2) 및 이 MFC(2)를 관리하는 제어 기기(3)를 가지는 유량 계측 시스템(100)으로서, 상기 MFC(2)가 유량 센서(21)와, 이 유량 센서(21)에 의해 얻어진 계측 데이터를 이용한 유량 산출에 이용하는 유량 산출 관련 데이터를 격납하는 관련 데이터 격납부(D1)를 구비하고, 상기 제어 기기(3)가 상기 관련 데이터 격납부(D1)로부터 상기 유량 산출 관련 데이터를 취득하며, 상기 유량 센서(21)의 계측 데이터 및 상기 유량 산출 관련 데이터를 이용하여 유량 산출을 실행한다.

Description

유체 계측 시스템, 기기, 및 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능 매체{FLUID MEASUREMENT SYSTEM, APPARATUS, AND COMPUTER READABLE MEDIA STORED PROGRAM THEREOF}

본 발명은 예를 들면 매스 플로우 컨트롤러(mass flow controller) 등의 유체 계측 기기 및 이 유체 계측 기기를 관리하는 제어 기기를 가지는 유체 계측 시스템에 관한 것이다.

종래의 유량 계측 시스템으로서 특허 문헌 1에 제시된 바와 같이, 1개 또는 복수의 질량 유량 센서 등의 유량 계측 기기와 그러한 유량 계측 기기를 관리하는 제어 기기를 가지는 것이 있다. 이 유량 계측 시스템에서는 제어 기기에 마련된 메모리에 각 유량 계측 기기의 교정 데이터, 검량선(檢量線) 데이터, 유량 계측 기기의 ID 또는 유량 계측 기기를 동작시키는 코드 등이 격납되어 있다.

그렇지만, 제어 기기에 교정 데이터 등이 격납되어 있는 것에서는 유량 계측 기기의 고장 등에 의해 유량 계측 기기를 교환하는 경우에, 교환된 유량 계측 기기의 교정 데이터 등을 당해 유량 계측 기기와 대응시켜 메모리에 새로 기입할 필요가 있다. 여기서, 유량 계측 기기를 교환하여 교정하는 작업 및 새롭게 교정 데이터 등을 메모리에 기입하는 작업은, 유량 계측 기기를 제어 기기에 접속한 상태에서 실행할 필요가 있다. 즉, 제조 라인 등의 현장에서 유량 계측 기기를 교정할 필요가 있고, 제어 기기에 교정 데이터 등을 기입하는 작업을 실행할 필요가 있어, 유지관리 편의성이 나쁘다고 하는 문제가 있다.

[특허 문헌 1] 일본국 특표 2005－531069호 공보

이에 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 유체 계측 기기를 제어 기기에 접속하는 것만으로 당해 제어 기기가 자동적으로 유체 산출에 관련하는 데이터를 취득할 수 있도록 하고, 유체 계측 시스템의 유지관리 편의성을 향상시키는 것을 그 주된 과제로 하는 것이다.

즉 본 발명에 관한 유체 계측 시스템은 유체 계측 기기 및 이 유체 계측 기기를 관리하는 제어 기기를 가지는 유체 계측 시스템으로서, 상기 유체 계측 기기가 유체 센서와 이 유체 센서에 의해 얻어진 계측 데이터를 이용한 유체 산출에 이용하는 유체 산출 관련 데이터를 격납하는 관련 데이터 격납부를 구비하고, 상기 제어 기기가 상기 관련 데이터 격납부로부터 상기 유체 산출 관련 데이터를 취득하며, 상기 유체 센서의 계측 데이터 및 상기 유체 산출 관련 데이터를 이용하여 유체 산출을 실행하는 것을 특징으로 한다. 또한, 유체 센서로서는 유체의 유량을 계측하는 유량 센서, 유체의 압력을 계측하는 압력 센서, 유체 중의 소정 성분 농도를 계측하는 농도 센서 또는 유체의 혼합비를 계측하는 비율 센서 등을 들 수 있다.

이와 같은 것이라면, 제어 기기 및 유체 계측 기기를 접속하는 것만으로, 제어 기기가 접속된 유체 계측 기기의 고유의 유체 산출 관련 데이터를 자동적으로 취득할 수 있다. 이것에 의해, 유체 계측 기기에 유체 산출 관련 데이터를 격납시켜 두는 것만으로, 제조 라인 등의 사용 현장에서의 데이터 입력 작업을 불필요하게 할 수 있어, 유지관리 편의성을 향상시킬 수 있다. 또, 제어 기기가 고장나는 등에 의해 교환할 필요가 생겼다 하더라도, 유체 계측 기기에 유체 산출 관련 데이터가 격납되고 있으므로, 새로운 제어 기기와 유체 계측 기기를 접속하는 것만으로, 유체 산출 관련 데이터의 입력 작업을 실행하는 일 없이, 유체 계측 시스템을 구성할 수 있다. 특히 유체 계측 기기 중 유체 센서의 기차(器差)에 의한 측정 오차가 큰 비율을 차지하고 있지만, 상기 유체 산출 관련 데이터에 유체 센서의 기차를 보정하기 위한 데이터를 포함시켜 둠으로써, 현장에서의 기차 보정용 데이터를 입력하는 작업을 불필요하게 할 수 있어, 유지관리 편의성을 향상시킬 수 있다.

상기 유체 계측 기기가 상기 유체 센서로부터 출력되는 아날로그 신호를 상기 계측 데이터인 디지털 신호로 변환하는 AD 변환기를 가지고, 상기 유체 산출 관련 데이터가 상기 AD 변환기의 AD 변환 특성을 나타내는 AD 변환 특성 데이터를 포함하는 것이 바람직하다. 이것이라면, 유체 계측 기기에 마련된 AD 변환기의 변환 특성을 고려하여 유체의 유량 등을 산출할 수 있어, AD 변환시의 변환 오차를 보정하여 고정밀도로 유체 산출할 수 있게 된다. 또, AD 변환기의 기차에 의한 오차를 작게 할 수 있다.

제어 기기가 AD 변환기로부터 직접 디지털 신호를 취득하도록 구성하면, AD 변환의 대기 시간에 의해 제어 기기의 그 밖의 처리가 제약된다고 하는 문제가 있다. 이 문제를 해결하기 위해서는, 상기 유체 계측 기기가 상기 AD 변환기로부터 디지털 신호를 취득하여 메모리에 격납하는 프로세서를 가져, 상기 제어 기기가 상기 프로세서를 통하여 상기 AD 변환기에 의해 변환된 디지털 신호를 취득하는 것이 바람직하다. 이것이라면, 제어 기기의 프로세서의 처리량을 저감할 수 있어 동일 성능의 프로세서를 이용했을 경우에, 보다 고속 처리가 가능해져, 보다 많은 유체 제어 기기의 제어를 가능하게 할 수 있다.

상기 유체 센서가 유량 센서이고, 상기 유체 계측 기기가 유량 조정 밸브를 더 구비한 매스 플로우 컨트롤러이고, 상기 제어 기기가, 산출한 유량값과 유량 설정값을 비교 연산하고, 이 연산 결과를 이용하여 상기 유량 조정 밸브를 제어하는 것이 바람직하다. 이와 같이 유로 유량 계측 기기가 매스 플로우 컨트롤러인 경우, 종래 방식에 의하면 제어 기기에 대한 입력 데이터량도 증가해 버리는 바, 본 발명에서는 그 필요가 없고, 유지관리 편의성을 한층 더 뛰어나게 할 수 있다.

상기의 유체 계측 시스템에 바람직하게 이용되는 유체 계측 기기로서는, 제어 기기에 접속되어 당해 제어 기기에 의해 관리되는 유체 계측 기기로서, 유체 센서와, 이 유체 센서에 의해 얻어진 계측 데이터를 이용한 유체 산출에 이용하는 유체 산출 관련 데이터를 격납하는 관련 데이터 격납부를 구비하고 있고, 상기 관련 데이터 격납부로부터 상기 유체 산출 관련 데이터를 상기 제어 기기에 출력하고 상기 유체 센서의 계측 데이터를 상기 제어 기기에 출력하는 것을 특징으로 한다.

또 상기의 유체 계측 시스템에 바람직하게 이용되는 유체 계측 기기에 이용되는 프로그램으로서는, 유체 센서를 가짐과 아울러 제어 기기에 접속되어 당해 제어 기기에 의해 관리되는 유체 계측 기기에 이용되는 유체 계측 프로그램으로서, 상기 유체 센서에 의해 얻어진 계측 데이터를 이용한 유체 산출에 이용하는 유체 산출 관련 데이터를 격납하는 관련 데이터 격납부로서의 기능을 컴퓨터에 구비시키는 것을 특징으로 한다.

한편 상기의 유체 계측 시스템에 바람직하게 이용되는 제어 기기에 이용되는 프로그램으로서는, 유체 센서 및 이 유체 센서에 의해 얻어진 계측 데이터를 이용한 유체 산출에 이용하는 유체 산출 관련 데이터를 격납하는 관련 데이터 격납부를 가지는 유체 계측 기기를 관리하는 유체 계측 기기 관리 프로그램으로서, 상기 관련 데이터 격납부로부터 상기 유체 산출 관련 데이터를 취득하는 관련 데이터 취득부와, 상기 유체 센서의 계측 데이터 및 상기 유체 산출 관련 데이터를 이용하여 유체 산출을 실행하는 유체 산출부로서의 기능을 컴퓨터에 구비시키는 것을 특징으로 한다.

이와 같이 구성한 본 발명에 의하면, 유체 계측 기기를 제어 기기에 접속하는 것만으로 자동적으로 유체 산출에 관련한 데이터를 취득할 수 있도록 하여, 유체 계측 시스템의 유지관리 편의성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 유량 계측 시스템의 모식적 구성도이다.
도 2는 동 실시 형태의 MFC 및 제어 기기의 기기 구성도이다.
도 3은 동 실시 형태의 제어 기기의 기능 구성도이다.

이하, 본 발명에 관한 유량 계측 시스템의 일 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다.

＜장치 구성＞

본 실시 형태에 관한 유량 계측 시스템(100)은 예를 들면, 가스 패널에 탑재되어 반도체 제조 장치의 재료 공급 라인의 일부를 구성하는 것으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 복수의 유량 계측 기기(2)와, 이 복수의 유량 계측 기기(2)와의 사이에 데이터의 송수신을 실행함으로써, 그 복수의 유량 계측 기기(2)의 관리를 실행하는 제어 기기(3)를 구비하고 있다. 본 실시 형태의 유량 계측 시스템(100)은 상기 복수의 유량 계측 기기(2)가 두께 방향으로 병렬 배치되어 있고, 당해 복수의 유량 계측 기기(2)의 상부에 제어 기기(3)가 배치되어 있다. 또 복수의 유량 계측 기기(2)의 두께 방향의 치수의 총합이 제어 기기(3)의 두께 방향의 치수와 대략 같아지도록 구성되어 있다. 또한, 복수의 유량 계측 기기(2)와 제어 기기(3)는 버스 연결되어 있고, 제어 기기(3)에 대해서 각 유량 계측 기기(2)를 교환 가능하게 구성하고 있다. 또, 유량 계측 기기(2)의 두께는 상당히 얇게 구성되어 있다. 여기서, 반도체 제조 장치의 설치 면적을 가급적으로 작게 하고자 하는 요구로부터, MFC 등의 유량 계측 기기 자체를 콤팩트하게 구성하여 당해 유량 계측 기기의 설치 면적을 작게 하고자 하는 요구가 있다. 이것으로부터, 복수의 유량 계측 기기(2)의 구성 일부를 제어 기기(3)에 공통화시킴으로써, 유량 계측 기기(2)의 구성 부품을 줄일 수 있으므로, 유량 계측 기기(2)의 두께를 얇게 할 수 있다.

상기 복수의 유량 계측 기기(2)는 복수의 유로(流路)마다 마련되어 있고, 각 유량 계측 기기(2)는 대응하는 각 유로 내를 흐르는 유체(流體)의 질량 유량을 제어한다. 구체적으로 유량 계측 기기(2)는 도 2에 도시된 바와 같이, 유로 내를 흐르는 유체의 질량 유량을 계측하는 차압식(差壓式) 유량 센서(21)와, 유로 내를 흐르는 유체의 질량 유량을 조정하는 유량 조정 밸브(22)와, 유체 온도를 계측하는 온도 센서(도시하지 않음)를 구비한 매스 플로우 컨트롤러(MFC)이다. 이 MFC(2)는 제어 기기(3)의 케이스와는 다른 케이스에 수용되어 있다.

또한, 유량 센서(21)는 유체의 순간 유량을 전기 신호로서 검출하는 센싱부(21a)와 당해 센싱부(21a)로부터의 전기 신호를 증폭하는 내부 전기 회로(21b)를 가져, 유량에 따른 아날로그 신호인 유량 측정 신호를 출력한다. 유량 조정 밸브(22)는 예를 들면, 그 밸브 개도(開度)를 피에조 소자 등으로 이루어진 액츄에이터에 의해서 변화시킬 수 있도록 구성한 것으로서, 외부로부터의 전기 신호인 개도 제어 신호가 주어지는 것에 의해서 상기 액츄에이터를 구동하며, 그 개도 제어 신호의 값에 따라 밸브 개도를 조정하여 유체의 유량을 제어한다.

또 각 유량 계측 기기(MFC, 2)는 상기 유량 센서(21)에 의해 얻어진 계측 데이터를 이용한 유량 산출에 이용하는 유량 산출 관련 데이터를 격납하는 관련 데이터 격납부(D1)와, 상기 유량 센서(21)로부터 출력되는 아날로그 신호를 계측 데이터인 디지털 신호로 변환하는 AD 변환기(24)와, 이 AD 변환기(24)로부터 디지털 신호를 취득하는 프로세서(25)를 구비하고 있다.

또한, 상기 관련 데이터 격납부(D1)는 유량 계측 기기(2)에 마련된 메모리(23)(예를 들면, EEPROM 등의 내용을 개서(改書) 가능한 ROM 등)으로 구성되어 있다. 또 상기 프로세서(25)는 PLD(Programmable Logic Device)를 이용하여 구성되어 있다. 그리고 프로세서(25)는 AD 변환기(24)로부터 취득한 계측 데이터를 프로세서(25) 내의 메모리(예를 들면 RAM 등) 또는 상기 메모리(23)의 소정 영역에 일시적으로 격납한다.

여기서, 유량 산출 관련 데이터로서는, 각 MFC(2)에 의해 정해지는 고유 데이터이며, MFC(2)에 의해서 얻어진 계측 데이터로부터 유량 측정값을 산출하기 위해서 필요한 데이터이다. 구체적으로 유량 산출 관련 데이터는 가스 종(種) 마다의 센서 출력(계측 데이터)에 대한 유량 측정값을 나타내는 검량선 데이터(센서 출력-유량값 데이터), MFC(2)를 구성하는 유량 센서(21)나 그 외의 구성 부품(예를 들면 온도 센서, 제한기(restrictor) 등)의 기차를 보정하기 위한 교정 데이터, AD 변환기(24)의 변환 특성을 나타내는 변환 특성 데이터, 밸브 개도 제어 신호를 산출할 때 이용하는 PID(Proportional Integral Derivative control) 조정 계수 데이터, 실유량과 측정 유량의 검량선 데이터, 제품의 트레이서빌리티(traceability) 데이터(보정 툴의 버전 정보를 나타내는 데이터) 등을 포함한다. 또, 이 유량 산출 관련 데이터는 제어 기기(3)에 접속하기 전인 MFC(2) 단체(單體) 상태에서, 예를 들면 MFC(2)의 출하 단계 등에서, 오퍼레이터에 의해 MFC(2)의 관련 데이터 격납부(D1)에 격납된다. 또, 이 유량 산출 관련 데이터는 제어 기기(3)의 접속 후에 있어서도 필요에 따라서 개서 가능하다.

제어 기기(3)는 상기 복수의 MFC(2)가 버스 접속되어, 그 MFC(2)를 관리함과 아울러, 각 MFC(2)의 계측 데이터로부터 유량을 산출하여, 각 MFC(2)의 유량 조정 밸브(22)를 제어하는 것이다.

구체적으로 제어 기기(3)는 도 2에 도시된 바와 같이, CPU(301)나 메모리(302), 입출력 인터페이스(303), AD 변환기(304), DA 변환기(305) 등을 가지는 범용 내지 전용의 컴퓨터에 의해 구성되어 있고, MFC(2)와는 다른 케이스 내에 수용되어 있다. 그리고 메모리(302)에 기억되어 있는 유량 계측 프로그램에 따라서, CPU(301)나 그 주변기기를 협동 동작시킴으로써, 도 3에 도시된 바와 같이, 관련 데이터 취득부(31), 취득 데이터 격납부(D2), 계측 데이터 취득부(32), 유량 산출부(33), 개도 제어부(34) 등으로서 기능한다. 또 제어 기기(3)는 전원 회로부(35)나 외부와의 통신을 실행하기 위한 외부 통신부(36) 등도 구비하고 있다.

이하 각부에 대해서 제어 기기(3) 및 각 MFC(2)의 동작과 함께 설명한다.

관련 데이터 취득부(31)는 제어 기기(3)의 초기화나 전원 투입시 등에, 접속되어 있는 MFC(2)의 대수를 확인한다. 그리고 관련 데이터 취득부(31)는 접속되어 있는 MFC(2)의 대수에 따라서, 제어 기기(3)의 메모리(302; 예를 들면 RAM 등)에 각 MFC(2)로부터 취득하는 데이터의 격납 영역으로서 취득 데이터 격납부(D2)를 확보한다. 그리고 관련 데이터 취득부(31)는 접속되어 있는 각 MFC(2)의 관련 데이터 격납부(D1)에 격납되어 있는 유량 산출 관련 데이터 및 그 외의 메모리 영역에 격납된 상위 제어 장치와의 통신에 필요한 데이터 등을 취득하여 취득 데이터 격납부(D2)에 격납한다.

또한, MFC(2)의 프로세서(25)는 관련 데이터 취득부(31)로부터 판독 명령을 받았을 때에, 관련 데이터 격납부(D1)로부터 유량 산출 관련 데이터를 판독하여, 관련 데이터 취득부(31)에 송신한다. 또, 이 프로세서(25)는 제어 기기(3)로부터 관련 데이터 격납부(D1) 등의 메모리(23)에 대한 기입 명령을 받았을 때에, 관련 데이터 격납부(D1) 등의 메모리(23)의 소정 영역에 지정 데이터를 격납한다.

그 후, 계측 데이터 취득부(32)는 각 MFC(2)의 프로세서(25)로부터 소정 주기로 계측 데이터를 취득하여 판독한다.

또한, 각 MFC(2)의 프로세서(25)는 AD 변환기(24)의 AD 변환 명령을 각 채널마다 출력하고, AD 변환기(24)의 대기 시간에 맞춰 AD 변환기(24)로부터 계측 데이터인 디지털 신호를 취득하고, 각 MFC(2)의 메모리(23) 또는 프로세서(25)의 메모리 내에 격납한다. 그리고 프로세서(25)는 계측 데이터 취득부(32)로부터 AD 변환값(계측 데이터)의 요구가 왔을 때에는, 상기 메모리에 보존된 계측 데이터를 회신한다. 이와 같이 제어 기기(3)의 계측 데이터 취득부(32)는 MFC(2)의 프로세서(25)로부터 메모리 내에 격납된 계측 데이터를 취득하면 좋기 때문에, AD 변환기(24)의 대기 시간에 관계없이 계측 데이터를 취득할 수 있다. 이것에 의해, 제어 기기(3)의 CPU(301)의 처리량을 저감할 수 있어, 동일 성능의 CPU(301)를 이용한 경우에 보다 고속 처리가 가능해 지고 많은 유량 제어 기기(3)의 제어를 가능하게 할 수 있다.

그리고 유량 산출부(33)는 상기 계측 데이터 취득부(32)에 의해 얻어진 계측 데이터와 상기 유량 산출 관련 데이터 취득부(31)에 의해 얻어진 유량 산출 관련 데이터를 이용하고, 유량 측정값을 산출한다. 또한, 이 유량 산출부(33)는 유량 측정값의 산출 외에, MFC(2) 내에 마련된 온도 센서 등으로부터의 검출 신호를 취득하고, 이 검출 신호로부터 유체 온도 등도 산출한다.

개도 제어부(34)는 상기 유량 산출부(33)에서 산출된 각 MFC(2)의 유량 측정값과 각 MFC(2) 마다 미리 설정된 유량 설정값을 비교하여, 그 유량 측정값과 유량 설정값의 편차를 산출한다. 그리고 개도 제어부(34)는 그 편차에 적어도 비례 연산(바람직하게는 PID 연산)을 실시하여, 각 MFC(2)의 유량 조정 밸브(22)에 대한 피드백 제어값을 산출한다. 이에 더하여, 개도 제어부(34)는 산출한 피드백 제어값을 나타내는 제어 신호를 각 MFC(2)의 유량 조정 밸브(22)에 출력하여, 유량 조정 밸브(22)의 개도를 제어한다. 이것에 의해, 각 유로를 흐르는 유체의 유량이 제어된다.

＜본 실시 형태의 효과＞

이와 같이 구성한 본 실시 형태의 유량 계측 시스템(100)에 의하면, 제어 기기(3) 및 MFC(2)를 접속하는 것만으로, 제어 기기(3)는 접속된 MFC(2)에 특유의 유량 산출 관련 데이터를 자동적으로 취득할 수 있다. 이것에 의해, MFC(2)에 특유의 유량 산출 관련 데이터를 격납시켜 두는 것만으로, 제조 라인 등의 사용 현장에서의 데이터 입력 작업을 불필요하게 할 수 있어, 유지관리 편의성을 향상시킬 수 있다. 또, 제어 기기(3)가 고장나는 등에 의해 교환할 필요가 생긴다고 하더라도, MFC(2)에 유량 산출 관련 데이터가 격납되어 있으므로, 새로운 제어 기기(3)와 MFC(2)를 접속하는 것만으로 유량 산출 관련 데이터의 입력 작업을 실행하는 일 없이, 유량 계측 시스템(100)을 구성할 수 있다. 이에 더하여, 제어 기기(3)에 CPU를 마련하고 MFC(2)에는 CPU를 마련하지 않기 때문에, 유량 계측 시스템(100) 전체로서 에너지 절약을 실현할 수 있다. MFC(2)에는 CPU 등의 제어 기기를 마련하지 않기 때문에, 그 두께를 얇게 할 수 있다. 또, 1개의 제어 기기(3)에 대해서 복수의 MFC(2)를 접속하는 것이 가능하여, 컴팩트한 유량 계측 시스템(100)을 실현할 수 있다.

또, 유량 산출 관련 데이터가 AD 변환기(24)의 AD 변환 특성을 나타내는 AD 변환 특성 데이터를 가져, MFC(2)에 마련된 AD 변환기(24) 특유의 변환 특성을 고려하여 유량을 산출할 수 있으므로, AD 변환시의 변환 오차를 보정하여 고정밀도로 유량을 산출할 수 있다.

＜그 외의 변형 실시 형태＞

또한, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.

예를 들면, 관련 데이터 취득부는 유로를 흐르는 유체의 가스 종이 미리 특정되어 있는 경우에는, 당해 가스 종에 대응하는 관련 데이터만을 취득하도록 구성해도 좋다. 이것이라면, 유량 산출에 불필요한 관련 데이터를 취득할 필요가 없기 때문에, 제어 기기의 메모리를 유효하게 활용할 수 있다.

또, 상기 실시 형태에서는 제어 기기가 복수의 MFC를 접속하는 것이었지만, 그 외, 1개의 MFC를 접속하여, 제어 기기와 MFC를 일대일로 대응시켜도 좋다.

또한, 상기 실시 형태의 유량 계측 시스템은 MFC를 접속하여 이루어지는 유량 제어 시스템으로서 기능하고 있지만, 매스 플로우 미터 등의 그 외의 유량 계측 기기를 접속하는 것에 적용해도 좋다.

또한, 상기 실시 형태의 MFC에 탑재된 프로세서는 PLD 외, CPU, MPU 등의 처리 장치를 이용해도 좋다.

이에 더하여, 상기 실시 형태의 MFC의 유량 센서는 차압식이었지만, 그 외 열식(熱式)인 것 또는 음속(音速) 노즐을 이용한 압력식인 것이어도 좋다.

추가로 더하여, 상기 실시 형태에서는 유체 센서가 유량 센서인 유량 계측 기기를 예시했지만, 그 외 유체 센서가 압력 센서, 농도 센서, 또는 비율 센서 등 유체의 물리량을 계측하는 것이어도 좋다.

그 외, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 범위에서 여러 가지의 변형이 가능하다는 것은 말할 필요도 없다.

100: 유량 계측 시스템
2: 매스 플로우 컨트롤러(유량 계측 기기)
21: 유량 센서
22: 유량 조정 밸브
D1: 관련 데이터 격납부
24: AD 변환기
25: 프로세서
3: 제어 기기

Claims

유체 계측 기기 및 이 유체 계측 기기를 관리하는 제어 기기를 가지는 유체 계측 시스템으로서,
상기 유체 계측 기기가 유체 센서와, 이 유체 센서에 의해 얻어진 계측 데이터를 이용한 유체 산출에 이용하는 유체 산출 관련 데이터를 격납하는 관련 데이터 격납부를 구비하고,
상기 제어 기기가 상기 관련 데이터 격납부로부터 상기 유체 산출 관련 데이터를 취득하고, 상기 유체 센서의 계측 데이터 및 상기 유체 산출 관련 데이터를 이용하여 유체 산출을 실행하는 유체 계측 시스템.
청구항 1에 있어서, 상기 유체 계측 기기를 복수 가지는 유체 계측 시스템.
청구항 1에 있어서, 상기 유체 계측 기기가 상기 유체 센서로부터 출력되는 아날로그 신호를 상기 계측 데이터인 디지털 신호로 변환하는 AD 변환기를 가지고,
상기 유체 산출 관련 데이터가 상기 AD 변환기의 AD 변환 특성을 나타내는 AD 변환 특성 데이터를 포함하는 유체 계측 시스템.
청구항 3에 있어서, 상기 유체 계측 기기가 상기 AD 변환기로부터 디지털 신호를 취득하여 메모리에 격납하는 프로세서를 가지고,
상기 제어 기기가 상기 프로세서를 통하여 상기 AD 변환기에 의해 변환된 디지털 신호를 취득하는 유체 계측 시스템.
청구항 1에 있어서, 상기 유체 센서가 유량 센서이고,
상기 유체 계측 기기가 유량 조정 밸브를 더 구비한 매스 플로우 컨트롤러(mass flow controller)이고,
상기 제어 기기가, 산출한 유량값과 유량 설정값을 비교 연산하고, 이 비교 연산 결과를 이용하여 상기 유량 조정 밸브를 제어하는 유체 계측 시스템.
제어 기기에 접속되어 당해 제어 기기에 의해 관리되는 유체 계측 기기로서,
유체 센서와, 이 유체 센서에 의해 얻어진 계측 데이터를 이용한 유체 산출에 이용하는 유체 산출 관련 데이터를 격납하는 관련 데이터 격납부를 구비하고 있고,
상기 관련 데이터 격납부로부터 상기 유체 산출 관련 데이터를 상기 제어 기기에 출력하고, 상기 유체 센서의 계측 데이터를 상기 제어 기기에 출력하는 유체 계측 기기.
유체 센서를 가짐과 아울러, 제어 기기에 접속되어 당해 제어 기기에 의해 관리되는 유체 계측 기기에 이용되는 유체 계측 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능 매체로서,
상기 유체 센서에 의해 얻어진 계측 데이터를 이용한 유체 산출에 이용하는 유체 산출 관련 데이터를 격납하는 관련 데이터 격납부로서의 기능을 컴퓨터에 구비시키는 것을 특징으로 하는 유체 계측 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능 매체.
유체 센서 및 이 유체 센서에 의해 얻어진 계측 데이터를 이용한 유체 산출에 이용하는 유체 산출 관련 데이터를 격납하는 관련 데이터 격납부를 가지는 유체 계측 기기를 관리하는 유체 계측 기기 관리 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능 매체로서,
상기 관련 데이터 격납부로부터 상기 유체 산출 관련 데이터를 취득하는 관련 데이터 취득부와,
상기 유체 센서의 계측 데이터 및 상기 유체 산출 관련 데이터를 이용하여 유체 산출을 실행하는 유체 산출부로서의 기능을 컴퓨터에 구비시키는 것을 특징으로 하는 유체 계측 기기 관리 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능 매체.