KR20120033071A - Lighting apparatus for vision inspection - Google Patents

Lighting apparatus for vision inspection Download PDF

Info

Publication number
KR20120033071A
KR20120033071A KR1020100094669A KR20100094669A KR20120033071A KR 20120033071 A KR20120033071 A KR 20120033071A KR 1020100094669 A KR1020100094669 A KR 1020100094669A KR 20100094669 A KR20100094669 A KR 20100094669A KR 20120033071 A KR20120033071 A KR 20120033071A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
illumination light
illumination
mirror
reflection mirror
light
Prior art date
Application number
KR1020100094669A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101248184B1 (en
Inventor
김재도
허승도
Original Assignee
(주) 엔지온
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 엔지온 filed Critical (주) 엔지온
Priority to KR1020100094669A priority Critical patent/KR101248184B1/en
Publication of KR20120033071A publication Critical patent/KR20120033071A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101248184B1 publication Critical patent/KR101248184B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8809—Adjustment for highlighting flaws
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/063—Illuminating optical parts

Abstract

PURPOSE: A lighting device for vision inspection is provided to have various illuminating effects and select the illuminating effects since a reflective mirror can move linearly. CONSTITUTION: A lighting device for vision inspection comprises a main case(100), a main light source(300), and a reflective mirror(400). The main case is placed in the front of a camera(200). The main light source is placed inside the main case. The main light source generates illuminance(E). The reflective mirror reflects the illuminance, thereby emitting the illuminance on an object. The reflective mirror is formed to totally reflect the illuminance. A slit hole(430) is formed at the central of the reflective mirror to transmit the incident light which is incident into the camera.

Description

비전 검사용 조명 장치{Lighting Apparatus for Vision Inspection}Lighting Apparatus for Vision Inspection

본 발명은 비전 검사용 조명 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 조명 광원의 광량을 모두 활용할 수 있도록 조명광의 반사 미러를 전반사 미러로 적용하고 피검사체로부터 카메라로 입사되는 입사광이 통과할 수 있도록 반사 미러에 슬릿홀을 형성함으로써, 조명광의 광량 감소 현상 및 입사광의 굴절 현상을 방지하고 이에 따라 피검사체의 검사 영상에 대한 명암 및 선명도를 향상시켜 더욱 정확한 비전 검사를 수행할 수 있도록 하고, 반사 미러를 직선 이동 가능하게 장착함으로써, 동축 조명 효과, 입체 조명 효과 및 측면 조명 효과 등 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있는 비전 검사용 조명 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a lighting device for vision inspection. In more detail, by applying a reflection mirror of the illumination light as a total reflection mirror to utilize all the light amount of the illumination light source, and forming a slit hole in the reflection mirror to pass the incident light incident from the subject to the camera, the amount of light light reduction phenomenon And to prevent the refraction of incident light, thereby improving the contrast and clarity of the inspected image of the subject to perform more accurate vision inspection, and to mount the reflection mirror to move linearly, coaxial lighting effect, three-dimensional lighting It relates to a vision inspection lighting device that can exhibit a variety of lighting effects, such as effects and side lighting effects.

일반적으로 최근 사용되는 각종 전자제품들에는 반도체, 인쇄회로기판 등 다양한 전자부품들에 의해 구성되는데, 이러한 전자부품들은 전자정보기기들의 소형화 추세에 따라 내부에 미세하고 복잡한 회로 패턴이 고집적된 형태로 구성된다.In general, various electronic products used in recent years are composed of various electronic components such as semiconductors and printed circuit boards, and these electronic components are formed in a form in which fine and complex circuit patterns are highly integrated in accordance with the miniaturization trend of electronic information devices. do.

따라서, 이러한 전자부품에 미세한 표면 손상이나 불량 패턴 등이 발생하게 되면, 전자기기의 오작동 및 고장을 일으키게 되므로, 일반적으로 전자부품은 실제 기기에 적용되기 전 그 불량 여부를 반드시 판단하여 불량 제품이 적용되지 않도록 하고 있다.Therefore, when a small surface damage or a bad pattern occurs on such an electronic part, malfunction and failure of the electronic device may occur, and in general, the electronic part must be judged whether the defective part is applied before the actual product is applied and the defective product is applied. I do not want to.

이러한 전자부품에 대한 불량 여부 판단은 일반적으로 머신 비전 검사 기술을 이용하여 전자부품의 표면 상태를 카메라로 촬영하고 촬영된 이미지를 처리 및 분석하여 전자부품의 불량 여부를 판단하는 방식으로 진행되고 있는데, 이러한 비전 검사를 위해서는 카메라가 촬영하는 전자부품에 조명광을 조사하는 조명 장치가 매우 중요하다.
Determination of defects on such electronic components is generally performed by using a machine vision inspection technique to photograph the surface state of the electronic components with a camera and process and analyze the photographed images to determine whether the electronic components are defective. For such vision inspection, the lighting device that irradiates the illumination light to the electronic components photographed by the camera is very important.

도 1은 종래 기술에 의한 일반적인 비전 검사용 조명 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing the configuration of a general vision inspection lighting apparatus according to the prior art.

종래 기술에 의한 일반적인 비전 검사용 조명 장치는 도 1에 도시된 바와 같이 케이스(10)의 내부 공간 일측에 조명 광원(30)이 장착되고, 케이스(10)의 내부 공간 중앙부에는 조명 광원(30)으로부터 발생되는 조명광(E)을 피검사체(P)로 반사하는 하프 미러(40)가 배치된다. 케이스(10)에는 하프 미러(40)가 배치되는 공간의 상하부에 각각 카메라(200) 및 피검사체(P)로 빛이 진행할 수 있도록 관통홀(11,12)이 형성되며, 조명 광원(30)의 전방에는 조명광(E)이 균일하게 하프 미러(40) 측으로 향해 진행될 수 있도록 확산판(31)이 장착된다. In the conventional vision inspection lighting apparatus according to the prior art, the illumination light source 30 is mounted on one side of the inner space of the case 10, and the illumination light source 30 is disposed at the center of the inner space of the case 10. The half mirror 40 which reflects the illumination light E which generate | occur | produces from the to-be-tested object P is arrange | positioned. In the case 10, through-holes 11 and 12 are formed in the upper and lower portions of the space in which the half mirror 40 is disposed to allow light to travel to the camera 200 and the test object P, respectively. In front of the diffusion plate 31 is mounted so that the illumination light E can be uniformly propagated toward the half mirror 40 side.

하프 미러(40)는 조명광(E) 경로에 대해 45°각도를 이루도록 경사지게 배치되며, 반반사 미러로서 입사되는 빛의 절반은 반사하고 절반은 투과시키도록 구성된다. 따라서, 조명 광원(30)으로부터 발생된 조명광(E) 중 절반(E1)은 하프 미러(40)를 통과하여 진행하고 나머지 절반(E2)은 하프 미러(40)에 의해 반사되어 피검사체(P)로 조사된다. 피검사체(P)로 조사되는 조명광(E)은 피검사체(P)를 통해 반사되어 카메라(200)로 입사되며, 이와 같이 카메라(200)로 입사되는 입사광(I)을 통해 피검사체(P)에 대한 검사 영상을 획득하게 된다.The half mirror 40 is disposed to be inclined at an angle of 45 ° with respect to the path of the illumination light E, and is configured to reflect half and transmit half of the incident light as a semi-reflective mirror. Therefore, half E1 of the illumination light E generated from the illumination light source 30 passes through the half mirror 40 and the other half E2 is reflected by the half mirror 40 to be examined P Is investigated. The illumination light E irradiated onto the object P is reflected through the object P and is incident on the camera 200, and thus, the object P through the incident light I incident on the camera 200. Obtain an inspection image for.

이와 같은 구조의 조명 장치는 카메라(200)로 입사되는 입사광(I)의 광축과 피검사체(P)로 조사되는 조명광(E)의 광축이 서로 평행하게 구성되는바, 이러한 구조의 조명 장치를 동축 조명 장치라 하며, 이러한 동축 조명 장치를 사용하는 경우 카메라(200)에 의해 획득된 검사 영상은 흑백 구분이 명확하게 나타나기 때문에 널리 사용되고 있다.In the lighting device having such a structure, the optical axis of the incident light I incident to the camera 200 and the optical axis of the illumination light E irradiated to the test object P are configured to be parallel to each other. In the case of using such a coaxial lighting device, the inspection image obtained by the camera 200 is widely used because black and white distinction is clearly shown.

그러나, 이러한 동축 조명 장치는 조명광(E)의 광축과 입사광(I)의 광축이 서로 평행하므로, 조명광(E)을 반사하는 미러가 입사광(I)의 진행 경로 상에 배치되어야 하고, 이에 따라 입사광(I)이 미러를 통과할 수 있도록 하프 미러(40)를 사용하는 방식으로 제작되고 있다. 이러한 하프 미러(40)는 전술한 바와 같이 빛의 절반은 투과하고 절반은 반사하도록 형성되기 때문에, 실질적으로 조명 광원(30)에서 발생하는 조명광(E)의 50%만이 피검사체(P)로 반사되므로, 피검사체(P)에 조사되는 광량은 조명 광원(30)의 광량에 비해 50%로 감소하게 된다. 이와 같은 광량의 감소는 카메라(200)에 의해 획득된 검사 영상의 선명도 및 명암을 저하시키게 되므로, 피검사체(P)에 대한 검사 작업을 부정확하고 어렵게 하는 등의 문제가 있었다.However, in such a coaxial illumination device, since the optical axis of the illumination light E and the optical axis of the incident light I are parallel to each other, a mirror reflecting the illumination light E should be disposed on the traveling path of the incident light I, and thus incident light It is manufactured by using the half mirror 40 so that (I) can pass through the mirror. Since the half mirror 40 is formed to transmit half of the light and reflect half of the light as described above, substantially only 50% of the illumination light E generated from the illumination light source 30 is reflected to the subject P. Therefore, the amount of light irradiated onto the object P is reduced to 50% of the amount of light of the illumination light source 30. Such a decrease in the amount of light lowers the sharpness and contrast of the inspection image acquired by the camera 200, and thus, there is a problem such as making the inspection operation on the inspected object P incorrect and difficult.

또한, 피검사체(P)로부터 반사되어 카메라(200)로 입사되는 입사광(I) 또한 입사광(I) 경로 상에 배치된 하프 미러(40)를 통과해야 하므로, 하프 미러(40)를 통과하는 과정에서 빛의 굴절 현상이 발생하게 되고, 이에 따라 카메라(200)에 의해 획득된 검사 영상은 선명도가 감소할 뿐만 아니라 왜곡된 상태로 나타나게 되므로, 피검사체(P)에 대한 검사 작업의 정확도 및 신뢰도를 크게 저하시키게 되는 문제가 있었다.
In addition, since the incident light I reflected from the inspected object P and incident on the camera 200 must also pass through the half mirror 40 disposed on the incident light I path, the process of passing through the half mirror 40. In this case, light refraction occurs, and thus the inspection image acquired by the camera 200 not only decreases the sharpness but also appears in a distorted state, thereby improving the accuracy and reliability of the inspection operation on the inspected object P. There was a problem that was greatly degraded.

본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로서, 본 발명의 목적은 조명 광원의 광량을 모두 활용할 수 있도록 조명광의 반사 미러를 전반사 미러로 적용하고 피검사체로부터 카메라로 입사되는 입사광이 통과할 수 있도록 반사 미러에 슬릿홀을 형성함으로써, 조명광의 광량 감소 현상 및 입사광의 굴절 현상을 방지하고 이에 따라 피검사체의 검사 영상에 대한 명암 및 선명도를 향상시켜 더욱 정확한 비전 검사를 수행할 수 있도록 하는 비전 검사용 조명 장치를 제공하는 것이다.The present invention is invented to solve the problems of the prior art, an object of the present invention is to apply a reflecting mirror of the illumination light as a total reflection mirror to utilize all the light amount of the illumination light source and the incident light incident from the inspected object to the camera passes through By forming a slit hole in the reflective mirror to prevent the reduction of light quantity of the illumination light and the refraction of the incident light, thereby improving the contrast and clarity of the inspection image of the subject to perform a more accurate vision inspection It is to provide a lighting device for inspection.

본 발명의 다른 목적은 반사 미러에 의해 반사되는 조명광의 광축이 입사광의 광축과 동축이 되도록 반사 미러를 배치하고, 반사 미러의 배치 각도를 유지한 상태로 반사 미러를 직선 이동 가능하게 장착함으로써, 동축 조명 효과, 입체 조명 효과 및 측면 조명 효과 등 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있는 비전 검사용 조명 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to arrange the reflection mirror such that the optical axis of the illumination light reflected by the reflection mirror is coaxial with the optical axis of the incident light, and coaxially mount the reflection mirror so that the reflection mirror can be linearly moved while maintaining the placement angle of the reflection mirror. It is to provide a vision inspection lighting device that can exhibit a variety of lighting effects, such as lighting effects, three-dimensional lighting effects and side lighting effects.

본 발명의 또 다른 목적은 피검사체에 돔 조명광을 조사할 수 있는 돔 조명 유닛을 탈착 가능하게 장착함으로써, 더욱 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있는 비전 검사용 조명 장치를 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a vision inspection lighting device that can exert a more various lighting effects by detachably attaching a dome lighting unit that can irradiate a dome illumination light to an inspected object.

본 발명의 또 다른 목적은 반사 미러의 배치 각도를 조절 가능하게 장착함으로써, 피검사체에 대한 다양한 조명 효과를 사용자의 필요에 따라 자유롭게 조절할 수 있는 비전 검사용 조명 장치를 제공하는 것이다.
Still another object of the present invention is to provide a vision inspection lighting apparatus that can freely adjust various lighting effects on a subject under a user's needs by adjusting the placement angle of the reflection mirror.

본 발명은, 피검사체로부터 반사되어 카메라로 입사되는 입사광을 통해 피검사체에 대한 검사 영상을 획득할 수 있도록 피검사체에 조명광을 조사하는 비전 검사용 조명 장치에 있어서, 상기 카메라의 전방에 배치되는 메인 케이스; 상기 메인 케이스의 내부에 배치되어 조명광을 발생시키는 메인 광원; 및 상기 조명광이 피검사체로 조사되도록 상기 조명광을 반사하는 반사 미러를 포함하고, 상기 반사 미러는 상기 조명광을 전반사하도록 형성되며 상기 카메라로 입사하는 입사광이 통과할 수 있도록 중앙부에 슬릿홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치를 제공한다.The present invention is a vision inspection illumination device for irradiating the illumination light to the inspected object to obtain an inspection image for the inspected object through the incident light reflected from the inspected object and incident to the camera, the main arrangement disposed in front of the camera case; A main light source disposed inside the main case to generate illumination light; And a reflection mirror reflecting the illumination light so that the illumination light is irradiated to the object under test, wherein the reflection mirror is formed to totally reflect the illumination light and a slit hole is formed in the center to allow the incident light incident to the camera to pass therethrough. It provides a vision inspection lighting device characterized in that.

이때, 상기 반사 미러는 상기 조명광을 상기 입사광의 광축과 동축 방향으로 반사하도록 배치될 수 있다. In this case, the reflection mirror may be disposed to reflect the illumination light in a coaxial direction with the optical axis of the incident light.

또한, 상기 반사 미러는 상기 입사광의 경로와 교차하는 방향으로 배치될 수 있다.In addition, the reflection mirror may be disposed in a direction crossing the path of the incident light.

또한, 상기 비전 검사용 조명 장치에는 상기 반사 미러의 배치 각도가 유지된 상태로 상기 반사 미러를 직선 이동시키는 직선 이송 유닛이 더 구비될 수 있다.In addition, the vision inspection lighting apparatus may further include a linear transfer unit for linearly moving the reflection mirror in a state in which the arrangement angle of the reflection mirror is maintained.

이때, 상기 직선 이송 유닛은 상기 반사 미러의 배치 방향과 평행하게 상기 반사 미러를 이동시키도록 구성될 수 있다.In this case, the linear transfer unit may be configured to move the reflective mirror in parallel with the arrangement direction of the reflective mirror.

또한, 상기 직선 이송 유닛은 상기 입사광 경로에 대한 직각 방향으로 상기 반사 미러를 이동시키도록 구성될 수도 있다.In addition, the linear transfer unit may be configured to move the reflection mirror in a direction perpendicular to the incident light path.

한편, 상기 직선 이송 유닛은 상기 반사 미러의 이송 방향을 따라 길게 배치되며 외주면에 나선형의 스크류 홈이 형성된 스크류 로드; 상기 스크류 홈에 삽입되도록 상기 반사 미러의 일측에 형성되는 가이드 돌기; 상기 반사 미러의 직선 이동 경로를 가이드하는 가이드 레일; 및 상기 스크류 로드를 길이 방향의 축을 중심으로 회전 구동하는 구동 모터를 포함하여 구성될 수 있다.On the other hand, the linear conveying unit is a screw rod which is disposed long along the conveying direction of the reflective mirror and the spiral screw groove formed on the outer peripheral surface; A guide protrusion formed at one side of the reflective mirror to be inserted into the screw groove; A guide rail for guiding a linear movement path of the reflective mirror; And it may be configured to include a drive motor for rotating the screw rod about the axis in the longitudinal direction.

한편, 상기 슬릿홀은 상기 반사 미러가 상기 슬릿홀을 기준으로 제 1 및 제 2 반사 미러로 분리 이격되도록 관통 형성될 수 있다.On the other hand, the slit hole may be formed so that the reflective mirror is separated from the first and second reflective mirror separated from the slit hole.

이때, 상기 직선 이송 유닛은 상기 제 1 및 제 2 반사 미러를 각각 독립적으로 직선 이동시키도록 구성될 수 있다.In this case, the linear transfer unit may be configured to linearly move the first and second reflective mirrors independently of each other.

또한, 상기 메인 케이스의 전방에는 피검사체로 돔 조명광을 조사하는 돔 조명 유닛이 장착되고, 상기 돔 조명 유닛은 일측에 오목한 반구형의 조명 장착부가 형성되며 상기 조명 장착부의 중심부에는 상기 입사광 및 조명광이 통과하도록 중심홀이 형성되는 돔 조명 케이스; 및 상기 조명 장착부에 다수개 장착되어 상기 돔 조명광을 발생하는 돔 조명 광원을 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the front of the main case is equipped with a dome illumination unit for irradiating the dome illumination light to the test subject, the dome illumination unit is formed with a concave hemispherical illumination mounting portion on one side, the incident light and illumination light passes through the center of the illumination mounting portion Dome lighting case is formed so that the central hole; And a dome illumination light source mounted in a plurality of the illumination mounting units to generate the dome illumination light.

한편, 상기 슬릿홀은 상기 반사 미러가 상기 슬릿홀을 기준으로 제 1 및 제 2 반사 미러로 분리 이격되도록 관통 형성되고, 상기 비전 검사용 조명 장치에는 상기 제 1 및 제 2 반사 미러의 배치 각도를 각각 별개로 조절할 수 있는 각도 조절 유닛이 더 구비될 수 있다.On the other hand, the slit hole is formed so that the reflective mirror is separated apart from the first and second reflective mirror on the basis of the slit hole, and the arrangement angle of the first and second reflective mirror to the vision inspection lighting device Each of the angle adjustment unit that can be adjusted separately may be further provided.

이때, 상기 메인 광원은 제 1 및 제 2 메인 광원으로 분리 형성되고, 상기 제 1 및 제 2 메인 광원에 의해 각각 발생되는 조명광은 상기 제 1 및 제 2 반사 미러에 의해 각각 별개로 반사되도록 구성될 수 있다.In this case, the main light source is separated into first and second main light sources, and the illumination light generated by the first and second main light sources, respectively, may be configured to be separately reflected by the first and second reflecting mirrors. Can be.

이때, 상기 각도 조절 유닛은 상기 제 1 반사 미러 또는 제 2 반사 미러의 일측면에 각각 장착되며 상기 입사광 광축과 직각 방향으로 배치되는 작동 로드; 및 상기 작동 로드를 길이 방향의 축을 중심으로 각각 회전 구동하는 구동 모터를 포함하여 구성될 수 있다.
At this time, the angle adjustment unit is mounted to one side of the first reflection mirror or the second reflection mirror, respectively, the operation rod disposed in a direction perpendicular to the incident light optical axis; And it may be configured to include a drive motor for rotationally driving the working rod about the axis in the longitudinal direction, respectively.

본 발명에 의하면, 조명 광원의 광량을 모두 활용할 수 있도록 조명광의 반사 미러를 전반사 미러로 적용하고 피검사체로부터 카메라로 입사되는 입사광이 통과할 수 있도록 반사 미러에 슬릿홀을 형성함으로써, 조명광의 광량 감소 현상 및 입사광의 굴절 현상을 방지하고 이에 따라 피검사체의 검사 영상에 대한 명암 및 선명도를 향상시켜 더욱 정확하고 신뢰도 높은 비전 검사를 수행할 수 있도록 하는 효과가 있다.According to the present invention, the amount of illumination light is reduced by applying a reflection mirror of the illumination light as a total reflection mirror so as to utilize all the amounts of light from the illumination light source, and forming a slit hole in the reflection mirror so that incident light incident from the inspected object can pass through the camera. It is possible to prevent the phenomenon and the refraction of the incident light, thereby improving the contrast and clarity of the inspection image of the subject to perform a more accurate and reliable vision inspection.

또한, 반사 미러에 의해 반사되는 조명광의 광축이 입사광의 광축과 동축이 되도록 반사 미러를 배치하고, 반사 미러의 배치 각도를 유지한 상태로 반사 미러를 직선 이동 가능하게 장착함으로써, 동축 조명 효과, 입체 조명 효과 및 측면 조명 효과 등 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있고, 이러한 조명 효과를 선택적으로 조절할 수 있는 효과가 있다.In addition, the reflection mirror is disposed so that the optical axis of the illumination light reflected by the reflection mirror is coaxial with the optical axis of the incident light, and the reflection mirror is mounted so as to be linearly movable while maintaining the placement angle of the reflection mirror. Various lighting effects such as lighting effects and side lighting effects can be exhibited, and there is an effect of selectively adjusting such lighting effects.

또한, 이와 같이 반사 미러를 전반사 미러로 적용함으로써, 기존의 동축 조명 장치에 대한 크기를 현격히 축소할 수 있어 카메라의 옵틱 구성에 편리성을 제공할 수 있다.In addition, by applying the reflection mirror as a total reflection mirror in this way, it is possible to significantly reduce the size of the existing coaxial lighting device can provide convenience in the optical configuration of the camera.

또한, 피검사체에 돔 조명광을 조사할 수 있는 돔 조명 유닛을 탈착 가능하게 장착함으로써, 더욱 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있는 효과가 있다.In addition, by attaching a detachably mounted dome lighting unit that can irradiate the dome illumination light to the test object, there is an effect that can exhibit more various lighting effects.

또한, 반사 미러의 배치 각도를 조절 가능하게 장착함으로써, 피검사체에 대한 다양한 조명 효과를 사용자의 필요에 따라 자유롭게 조절할 수 있는 효과가 있다.In addition, by adjusting the placement angle of the reflection mirror to be adjustable, there is an effect that can be freely adjusted according to the needs of the user various lighting effects on the subject.

또한, 이와 같은 본 발명에 따른 비전 검사용 조명 장치는 라인 카메라에 대한 조명 적용시 더욱 유용하게 사용될 수 있다.
In addition, such a vision inspection lighting apparatus according to the present invention can be more usefully used when applying the lighting for the line camera.

도 1은 종래 기술에 의한 일반적인 비전 검사용 조명 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 반사 미러에 대한 형상을 개략적으로 도시한 사시도,
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치를 사용하여 획득한 검사 영상 결과를 나타내는 도면,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 반사 미러 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 직선 이송 유닛에 대한 구성을 개략적으로 도시한 사시도,
도 8 내지 도 10은 도 6에 도시된 반사 미러의 이동에 따른 효과를 보여주는 검사 영상 결과를 나타내는 도면,
도 11은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 반사 미러의 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면,
도 12는 도 11에 도시된 반사 미러의 이동 상태를 구현하는 직선 이송 유닛에 대한 구성을 개략적으로 도시한 사시도,
도 13은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 반사 미러의 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면,
도 14는 도 13에 도시된 반사 미러의 이동 상태를 구현하는 직선 이송 유닛에 대한 구성을 개략적으로 도시한 사시도,
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따라 돔 조명 유닛이 결합된 형태의 비전 검사용 조명 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 16은 도 15에 도시된 비전 검사용 조명 장치의 반사 미러 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면,
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따라 반사 미러에 대한 각도 조절 상태를 예시적으로 도시한 도면,
도 18은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따라 반사 미러에 대한 각도 조절 상태를 예시적으로 도시한 도면,
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 반사 미러에 대한 각도 조절 유닛의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.1 is a view schematically showing the configuration of a general vision inspection lighting apparatus according to the prior art,
2 is a view schematically showing the configuration of a lighting device for vision inspection according to an embodiment of the present invention,
3 is a perspective view schematically illustrating a shape of a reflection mirror of a vision inspection lighting apparatus according to an embodiment of the present invention;
4 and 5 are views showing the inspection image results obtained using the vision inspection lighting apparatus according to an embodiment of the present invention,
6 is a view showing a state in which the reflection mirror moving state of the illumination device for vision inspection according to an embodiment of the present invention,
7 is a perspective view schematically showing the configuration of the linear transfer unit of the vision inspection lighting apparatus according to an embodiment of the present invention,
8 to 10 are views showing an inspection image result showing the effect of the movement of the reflection mirror shown in FIG.
11 is a diagram illustrating a moving state of a reflection mirror according to another embodiment of the present invention;
FIG. 12 is a perspective view schematically showing a configuration of a linear transfer unit for implementing a movement state of the reflective mirror shown in FIG. 11;
13 is a diagram illustrating a moving state of a reflection mirror according to another embodiment of the present invention;
FIG. 14 is a perspective view schematically showing a configuration of a linear transfer unit implementing a moving state of the reflection mirror shown in FIG. 13;
15 is a view schematically showing the configuration of a lighting device for vision inspection of the combined type dome lighting unit according to an embodiment of the present invention,
16 exemplarily illustrates a reflection mirror moving state of the vision inspection lighting apparatus illustrated in FIG. 15;
17 is a view showing an angle adjustment state for the reflective mirror in accordance with an embodiment of the present invention,
18 exemplarily illustrates an angle adjustment state of a reflection mirror according to another embodiment of the present invention;
19 is a perspective view schematically illustrating a configuration of an angle adjusting unit for a reflective mirror according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First of all, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals are used as much as possible even if displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related well-known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 반사 미러에 대한 형상을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치를 사용하여 획득한 검사 영상 결과를 나타내는 도면이다.2 is a view schematically showing a configuration of a vision inspection lighting apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a schematic view of the reflection mirror of the vision inspection lighting apparatus according to an embodiment of the present invention 4 and 5 are diagrams illustrating inspection image results obtained by using a vision inspection lighting apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치는 피검사체(P)로부터 반사되어 카메라(200)로 입사되는 입사광(I)을 통해 피검사체(P)에 대한 검사 영상을 획득할 수 있도록 피검사체(P)에 조명광(E)을 조사하는 장치로서, 메인 케이스(100)와, 메인 광원(300)과, 반사 미러(400)를 포함하여 구성된다.Vision inspection lighting apparatus according to an embodiment of the present invention is to be inspected to obtain an inspection image for the object (P) through the incident light (I) reflected from the object (P) to be incident to the camera 200 An apparatus for irradiating illuminating light (E) to a body P, the main case 100, the main light source 300, and a reflection mirror 400 is configured to include.

메인 케이스(100)는 카메라(200)의 전방에 위치하도록 카메라(200)와 결합하며, 카메라(200)와 결합되는 부위에는 카메라(200)로 입사되는 입사광(I)이 통과할 수 있도록 상부 관통홀(110)이 형성되며, 피검사체(P)와 인접한 부위에는 피검사체(P)를 향해 조명광(E) 및 입사광(I)이 통과할 수 있도록 상부 관통홀(110)과 대향하는 위치에 하부 관통홀(120)이 형성된다.The main case 100 is coupled to the camera 200 to be positioned in front of the camera 200, and passes through the upper portion of the main case 100 so that incident light I incident to the camera 200 may pass through the portion coupled to the camera 200. The hole 110 is formed, and the lower portion of the hole 110 is opposite to the upper through hole 110 so that the illumination light E and the incident light I can pass toward the inspection object P toward the inspection object P. The through hole 120 is formed.

메인 광원(300)은 메인 케이스(100)의 내부 공간 일측에 장착되어 조명광(E)을 발생시키도록 구성되는데, 일반 형광 램프가 사용될 수도 있으나 에너지 효율이 우수하고 고휘도를 갖는 LED 램프가 사용되는 것이 바람직하다. 메인 광원(300)의 조명광(E) 진행 방향을 따라 전방에는 조명광(E)이 넓은 영역에서 균일한 강도로 진행할 수 있도록 별도의 확산판(310)이 장착될 수 있다.The main light source 300 is mounted on one side of the inner space of the main case 100 to generate illumination light E. Although a general fluorescent lamp may be used, an LED lamp having high energy efficiency and high brightness is used. desirable. A separate diffuser plate 310 may be mounted in front of the main light source 300 in a direction in which the illumination light E travels at a uniform intensity in a wide area.

반사 미러(400)는 메인 케이스(100)의 내부에 상부 관통홀(110)과 하부 관통홀(120)의 사이 공간에 배치되며, 메인 광원(300)으로부터 발생된 조명광(E)이 피검사체(P)로 조사되도록 조명광(E)을 반사한다. 이때, 반사 미러(400)는 종래 기술과 달리 조명광(E)을 전부 반사할 수 있도록 전반사 미러가 적용되며, 중앙부에는 카메라(200)로 입사되는 입사광(I)이 통과할 수 있도록 슬릿홀(430)이 형성된다. 슬릿홀(430)은 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 반사 미러(400)의 중앙부에 형성될 수 있으나, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 하나의 반사 미러(400)가 슬릿홀(430)을 중심으로 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)로 분리 이격되도록 반사 미러(400)의 폭방향으로 관통 형성될 수도 있다.The reflective mirror 400 is disposed in a space between the upper through hole 110 and the lower through hole 120 in the main case 100, and the illumination light E generated from the main light source 300 is inspected. Reflects the illumination light E to be irradiated with P). At this time, the reflection mirror 400 is applied to the total reflection mirror to reflect all the illumination light (E), unlike the prior art, the slit hole 430 to pass the incident light (I) incident to the camera 200 in the center portion ) Is formed. The slit hole 430 may be formed in the center of the reflective mirror 400 as shown in (a) of FIG. 3, but as shown in (b) of FIG. 3, one reflective mirror 400 is slit. The reflective mirror 400 may be penetrated in the width direction so as to be separated from the first and second reflective mirrors 410 and 420 with respect to the hole 430.

이러한 슬릿홀(430)은 피검사체(P)로부터 카메라(200)로 향하는 입사광(I)을 간섭하지 않고 입사광(I)이 원활하게 통과할 수 있도록 입사광(I) 영역보다 더 넓게 형성되는 것이 바람직하다. 다시 말하면, 카메라(200)에는 피검사체(P)에 대한 검사 영상을 획득할 수 있도록 뷰영역(210)이 존재하는데, 뷰영역(210)을 향해 직각 방향으로 입사광(I)이 입사되므로, 이러한 입사광(I)이 반사 미러(400)에 의해 간섭받지 않고 카메라(200)의 뷰영역(210)으로 정확하게 입사될 수 있도록 슬릿홀(430)이 형성되며, 슬릿홀(430)은 뷰영역(210)으로 입사되는 입사광(I)에 대해 어느 일부라도 차단하지 않도록 충분히 크게 형성되는 것이 바람직하다.The slit hole 430 is preferably formed to be wider than the incident light I area so that the incident light I can pass smoothly without interfering the incident light I from the inspected object P toward the camera 200. Do. In other words, the view area 210 exists in the camera 200 to acquire an inspection image of the object P. Since the incident light I is incident in a direction perpendicular to the view area 210, the view area 210 is incident. A slit hole 430 is formed so that the incident light I can be accurately incident into the view area 210 of the camera 200 without being interfered by the reflection mirror 400, and the slit hole 430 is the view area 210. It is preferable that it is formed sufficiently large so as not to block any part of the incident light I incident on the?

이때, 반사 미러(400)는 메인 광원(300)으로부터 발생된 조명광(E)을 입사광(I)의 광축과 동축 방향으로 피검사체(P)에 반사하도록 장착될 수 있으며, 이를 위해 반사 미러(400)는 입사광(I)의 경로와 교차하는 방향으로 경사지게 배치될 수 있다. 물론, 이 경우 메인 광원(300)으로부터 발생되는 조명광(E)의 위치에 따라 반사 미러(400)의 배치 상태는 다양하게 조절될 수 있다. 예를 들면, 메인 광원(300)의 조명광(E)이 도 2에 도시된 방향을 기준으로 수평 방향으로 반사 미러(400)에 조사되도록 구성되고, 반사 미러(400)는 이러한 조명광(E)을 수직 방향으로 피검사체(P)에 반사하도록 45°각도만큼 경사지게 배치된다. 이러한 조명광(E)에 의해 피검사체(P)로부터 카메라(200)로 입사광(I)이 수직 방향으로 입사되며, 따라서, 입사광(I)의 광축과 조명광(E)의 광축은 서로 동축 방향으로 형성된다. 이때, 입사광(I)은 반사 미러(400)의 슬릿홀(430)을 통과하여 카메라(200)로 직접 입사된다.In this case, the reflective mirror 400 may be mounted to reflect the illumination light E generated from the main light source 300 to the subject P in the direction coaxial with the optical axis of the incident light I. For this purpose, the reflective mirror 400 ) May be disposed to be inclined in a direction crossing the path of the incident light (I). Of course, in this case, the arrangement state of the reflection mirror 400 may be variously adjusted according to the position of the illumination light E generated from the main light source 300. For example, the illumination light E of the main light source 300 is configured to irradiate the reflection mirror 400 in the horizontal direction with respect to the direction shown in FIG. 2, and the reflection mirror 400 emits such illumination light E. It is disposed inclined by an angle of 45 ° to reflect the object P in the vertical direction. The incident light I is incident from the test object P into the camera 200 in the vertical direction by the illumination light E. Therefore, the optical axis of the incident light I and the optical axis of the illumination light E are formed coaxially with each other. do. In this case, the incident light I passes directly through the slit hole 430 of the reflective mirror 400 and enters the camera 200.

이러한 구조에 따라 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치는 동축 조명 장치의 기능을 수행할 수 있다. 종래 기술에 의한 동축 조명 장치는 입사광(I)의 광축과 조명광(E)의 광축이 서로 동축 방향으로 형성되기 때문에, 조명광(E)을 반사하는 미러가 입사광(I)의 진행 경로 상에 위치하게 되므로, 입사광(I)이 통과할 수 있도록 하프 미러를 사용하였고, 이에 따라 입사광(I)의 굴절 및 조명광(E)의 광량 감소 등의 문제가 있었다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 동축 조명 장치의 기능을 수행함에도 불구하고, 조명광(E)을 전반사하는 반사 미러(400)를 사용하여 조명광(E)을 전부 피검사체(P)로 반사함으로써, 조명광(E)의 광량 감소 현상을 방지할 수 있고, 또한 반사 미러(400)에 슬릿홀(430)을 형성하여 입사광(I)이 원활하게 카메라(200)로 입사될 수 있도록 함으로써, 입사광(I)의 굴절 현상을 방지할 수 있다. 따라서, 카메라(200)를 통해 획득한 검사 영상에 대한 명암 및 선명도를 향상시킬 수 있다.According to this structure, the vision inspection lighting apparatus according to an embodiment of the present invention may perform the function of the coaxial lighting apparatus. In the coaxial illumination device according to the prior art, since the optical axis of the incident light I and the optical axis of the illumination light E are formed coaxially with each other, the mirror reflecting the illumination light E is positioned on the traveling path of the incident light I. Therefore, a half mirror was used to allow the incident light I to pass therethrough, and thus there were problems such as refraction of the incident light I and reduction of the amount of illumination light E. However, the lighting apparatus according to the embodiment of the present invention, although performing the function of the coaxial lighting apparatus, by using the reflection mirror 400 which totally reflects the illumination light (E) all the illumination light (E) to the subject (P) By reflecting to the light source, it is possible to prevent the light amount reduction of the illumination light E, and also to form the slit hole 430 in the reflection mirror 400 so that the incident light I can be incident smoothly into the camera 200. The refractive phenomenon of the incident light I can be prevented. Therefore, the contrast and the sharpness of the inspection image acquired through the camera 200 may be improved.

도 4 및 도 5에는 본 발명에 따른 조명 장치를 사용한 경우와 종래 기술의 조명 장치를 사용한 경우를 실제 테스트하여 추출한 검사 영상이 도시된다. 도 4의 (a)는 종래 기술의 조명 장치를 사용한 경우 카메라(200)를 통해 획득된 검사 영상이고, 도 4의 (b)는 본 발명에 따른 조명 장치를 사용한 경우 카메라(200)를 통해 획득된 검사 영상인데, 도 4의 (b)에 도시된 검사 영상이 상대적으로 매우 선명하게 나타남을 알 수 있다. 마찬가지로 도 5의 (a) 및 (b)는 각각 종래 기술과 본 발명의 조명 장치를 사용한 경우 카메라(200)를 통해 획득한 검사 영상이며, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이 본 발명의 조명 장치를 사용한 경우에 검사 영상이 상대적으로 매우 밝게 나타남을 알 수 있다.
4 and 5 illustrate the inspection image extracted by actually testing the case of using the lighting apparatus according to the present invention and the case of using the conventional lighting apparatus. 4 (a) is a test image obtained through the camera 200 when using the conventional lighting device, Figure 4 (b) is obtained through the camera 200 when using the lighting device according to the present invention As shown in FIG. 4B, the inspection image shown in FIG. 4B is relatively clear. Likewise, FIGS. 5A and 5B are inspection images obtained through the camera 200 when the lighting apparatus of the prior art and the present invention are used, respectively, as shown in FIG. It can be seen that the inspection image is relatively bright when the lighting device is used.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 반사 미러 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사용 조명 장치의 직선 이송 유닛에 대한 구성을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 8 내지 도 10은 도 6에 도시된 반사 미러의 이동에 따른 효과를 보여주는 검사 영상 결과를 나타내는 도면이다.FIG. 6 is a view illustrating a reflection mirror moving state of a vision inspection lighting apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a linear transfer unit of a vision inspection lighting apparatus according to an embodiment of the present invention. 8 to 10 are diagrams illustrating inspection image results showing an effect according to the movement of the reflection mirror shown in FIG. 6.

본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 반사 미러(400)가 그 배치 각도를 유지한 상태로 이동할 수 있도록 장착될 수 있으며, 이와 같이 반사 미러(400)를 이동시킬 수 있는 직선 이송 유닛(500)을 더 구비할 수 있다.The lighting apparatus according to an embodiment of the present invention may be mounted so that the reflective mirror 400 can be moved while maintaining its placement angle, and thus the linear transfer unit 500 capable of moving the reflective mirror 400. ) May be further provided.

직선 이송 유닛(500)은 도 6에 도시된 바와 같이 반사 미러(400)를 그 배치 방향과 평행하게 이동시키도록 구성될 수 있으며, 이때, 반사 미러(400)의 배치 상태는 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이 입사광(I)이 반사 미러(400)의 슬릿홀(430)을 통과하도록 배치된 상태에서, 도 6의 (b) 및 (c)에 도시된 바와 같이 그 배치 방향을 따라 하향 경사 이동한 상태로 배치될 수 있다. 이때, 도 6의 (b) 및 (c) 상태에서 반사 미러(400)가 입사광(I)의 진행 경로를 간섭하지 않도록 배치되어야 할 것이다.The linear transfer unit 500 may be configured to move the reflective mirror 400 in parallel with the arrangement direction as shown in FIG. 6, wherein the arrangement state of the reflective mirror 400 is illustrated in FIG. In the state where the incident light I is arranged to pass through the slit hole 430 of the reflection mirror 400, as shown in FIG. 6, along the arrangement direction as shown in FIGS. 6B and 6C. It may be arranged in a downwardly moved state. In this case, in the state of FIGS. 6B and 6C, the reflective mirror 400 should be disposed so as not to interfere with the traveling path of the incident light I.

또한, 이와 같은 반사 미러(400)의 이동에 따라 반사 미러(400)를 향해 조명광(E)을 발생시키는 메인 광원(300)의 위치 또한 도 6의 (a) 내지 (c)에 도시된 바와 같이 이동하도록 구성될 수 있다. 그러나 이와 달리 메인 광원(300)에 의해 발생되는 조명광(E)이 반사 미러(400)의 전체 이동 구간에 걸쳐 발생하도록 구성하는 경우라면, 메인 광원(300)의 위치 이동에 대한 구성이 불필요할 것이다. 또한, 이 경우에도 메인 광원(300)에 의해 발생되는 조명광(E)이 반사 미러(400)의 배치 상태에 따라 해당 구간에만 선택적으로 발생하도록 구성함으로써, 조명광(E)에 대한 낭비 없이 효율적인 운영이 가능하도록 하는 것이 바람직하다.In addition, as shown in FIGS. 6A to 6C, positions of the main light sources 300 that generate the illumination light E toward the reflection mirror 400 according to the movement of the reflection mirror 400 are also shown in FIGS. It may be configured to move. On the other hand, if the illumination light E generated by the main light source 300 is configured to occur over the entire moving section of the reflection mirror 400, the configuration of the position movement of the main light source 300 will be unnecessary. . In this case, the illumination light E generated by the main light source 300 is selectively generated only in a corresponding section according to the arrangement state of the reflection mirror 400, so that efficient operation is performed without waste of the illumination light E. It is desirable to make this possible.

한편, 반사 미러(400)가 이동하게 되면, 반사 미러(400)에 의해 반사되어 피검사체(P)로 향하는 조명광(E)의 진행 경로가 변화하게 되는데, 이 경우에도 반사 미러(400)의 배치 각도는 그대로 유지되므로 조명광(E)의 광축이 입사광(I)의 광축과 평행하게 유지된 상태로 조명광(E)의 진행 경로가 변화하게 된다. 이러한 방식으로 조명광(E)의 진행 경로가 변화하면 각각 서로 다른 조명 효과가 발휘되는데, 예를 들어 도 6의 (a) 상태에서는 입사광(I) 광축과 동일한 광축을 갖도록 조명광(E)이 배치되므로 동축 조명 효과를 발휘하게 되고, 도 6의 (b) 상태에서는 입사광(I) 광축과 인접한 광축을 갖도록 조명광(E)이 배치되므로 입체 조명 효과를 발휘하게 되며, 도 6의 (c) 상태에서는 입사광(I) 광축과 상당 거리 이격되는 광축을 갖도록 조명광(E)이 배치되므로 측면 조명 효과를 발휘하게 된다.On the other hand, when the reflective mirror 400 is moved, the traveling path of the illumination light E reflected by the reflective mirror 400 toward the object P is changed, and in this case, the arrangement of the reflective mirror 400 is also changed. Since the angle is maintained as it is, the traveling path of the illumination light E changes while the optical axis of the illumination light E is kept in parallel with the optical axis of the incident light I. In this manner, when the traveling path of the illumination light E changes, different illumination effects are exerted. For example, in the state of FIG. 6A, the illumination light E is disposed to have the same optical axis as the incident light I optical axis. The coaxial illumination effect is exhibited, and in the state of FIG. 6B, the illumination light E is disposed to have an optical axis adjacent to the incident light I optical axis, thereby exerting a stereoscopic illumination effect. In the state of FIG. 6C, the incident light is exhibited. (I) Since the illumination light E is arranged to have an optical axis spaced a considerable distance from the optical axis, the side illumination effect is exerted.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 이와 같은 반사 미러(400)의 3단계 이동을 통해 3가지 종류의 조명 효과를 사용자의 필요에 따라 자유롭게 선택할 수 있다. Therefore, the lighting device according to an embodiment of the present invention can freely select three kinds of lighting effects according to the user's needs through the three-step movement of the reflective mirror 400.

도 8 내지 도 10은 도 6에 도시된 반사 미러(400)의 이동에 따라 각각 나타나는 검사 영상을 추출한 도면으로, 도 8의 (a)에는 도 6의 (a) 상태에 대응되는 동축 조명 효과를 갖는 검사 영상이 도시되고, 도 8의 (b)에는 도 6의 (b) 상태에 대응되는 입체 조명 효과를 갖는 검사 영상이 도시되며, 도 8의 (c)에는 도 6의 (c) 상태에 대응되는 측면 조명 효과를 갖는 검사 영상이 도시된다. 8 to 10 are diagrams of inspection images extracted according to the movement of the reflective mirror 400 shown in FIG. 6. FIG. 8A illustrates coaxial lighting effects corresponding to the state of FIG. 6A. The inspection image having the same is shown in FIG. 8B, and the inspection image having the stereoscopic illumination effect corresponding to the state of FIG. 6B is shown. In FIG. 8C, the inspection image is shown in FIG. An inspection image is shown with the corresponding side lighting effect.

동축 조명 효과는 일반적으로 피검사체(P)에 대한 이물, 치핑(chipping), 패턴(pattern) 등의 검사에 유리하게 사용될 수 있고, 입체 조명 효과는 피검사체(P)에 대한 얼룩, 크랙(crack), 표면의 거칠기 등의 검사에 유리하게 사용될 수 있으며, 측면 조명 효과는 피검사체(P)에 대한 이물, 손상(damage), 얼룩 등의 검출에 유리하게 사용될 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 하나의 피검사체(P)를 다양한 조명 효과를 선택하여 좀 더 정확하고 세밀하게 검사할 수 있으며, 특정 조명 효과로 세팅된 다수개의 조명 장치로 각각 교체하지 않더라도 하나의 조명 장치로서 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있으므로 더욱 편리한 검사 작업을 가능하게 한다.The coaxial illumination effect can generally be advantageously used for inspection of foreign matter, chipping, pattern, etc. on the subject P, and the stereoscopic illumination effect can be used for staining or cracking the subject P. ), And can be advantageously used for inspection of surface roughness, etc., and the side lighting effect can be advantageously used for detection of foreign matter, damage, stain, etc. on the object P. Therefore, the lighting apparatus according to an embodiment of the present invention can examine a single test object P more accurately and precisely by selecting various lighting effects, and each of the plurality of lighting apparatuses set to a specific lighting effect. Even without replacement, it is possible to exert various lighting effects as one lighting device, which enables more convenient inspection work.

예를 들어, 도 9에는 피검사체(P)의 상면에 형성된 치핑을 검출하기 위한 검사 영상이 도시되는데, 도 9의 (a),(b) 및 (c)는 각각 도 6의 (a),(b),(c)에 대응하는 것으로 각각 동축 조명 효과, 입체 조명 효과, 측면 조명 효과에 따른 검사 영상을 나타낸다. 여기에서, 피검사체(P)의 치핑은 도 9의 (a)에서, 즉, 동축 조명 효과를 발휘하는 도 6의 (a) 상태로 반사 미러(400)의 배치 상태를 이동한 경우에 가장 잘 관찰됨을 알 수 있다.For example, FIG. 9 shows an inspection image for detecting chipping formed on the upper surface of the subject P. FIGS. 9A, 9B, and 9C are respectively shown in FIGS. Corresponding to (b) and (c), the inspection images according to the coaxial illumination effect, the stereoscopic illumination effect and the side illumination effect are respectively shown. Here, the chipping of the object P is best performed when the arrangement of the reflection mirror 400 is shifted in FIG. 9A, that is, the state of FIG. 6A that exhibits the coaxial illumination effect. It can be seen that.

또한, 도 10에는 피검사체(P)의 상면에 부착된 이물(particle)을 검출하기 위한 검사 영상이 도시되는데, 도 10의 (a),(b) 및 (c) 또한 마찬가지로 각각 도 6의 (a),(b),(c)에 대응하는 것으로 각각 동축 조명 효과, 입체 조명 효과, 측면 조명 효과에 따른 검사 영상을 나타낸다. 여기에서, 피검사체(P)의 이물은 도 10의 (a) 또는 (c)에서, 즉, 동축 조명 효과를 발휘하는 도 6의 (a) 상태 또는 측면 조명 효과를 발휘하는 도 6의 (c) 상태로 반사 미러(400)의 배치 상태를 이동한 경우에 잘 관찰됨을 알 수 있다.In addition, FIG. 10 illustrates a test image for detecting a particle attached to the upper surface of the object P. FIGS. 10A, 10B, and 10C are similarly illustrated in FIG. Corresponding to a), (b) and (c), the inspection images according to the coaxial illumination effect, the stereoscopic illumination effect and the side illumination effect are respectively shown. Here, the foreign object of the test object P is shown in (a) or (c) of FIG. 10, that is, (a) of FIG. 6, which exhibits a coaxial illumination effect, or (c) of FIG. It can be seen that it is well observed when the arrangement of the reflection mirror 400 is moved to the () state.

한편, 이와 같이 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있도록 반사 미러(400)를 이동시키는 직선 이송 유닛(500)은 다양한 기계 요소를 이용하여 다양하게 구성될 수 있는데, 예를 들면, 도 7에 도시된 바와 같이 외주면에 나선형의 스크류 홈(511)이 형성된 스크류 로드(510)와, 스크류 홈(511)에 삽입되도록 반사 미러(400)의 일측에 돌출 형성되는 가이드 돌기(520)와, 반사 미러(400)의 직선 이동 경로를 가이드하는 가이드 레일(530)과, 스크류 로드(510)를 길이 방향의 축을 중심으로 회전 구동하는 구동 모터(540)을 포함하여 구성될 수 있다.On the other hand, the linear transfer unit 500 for moving the reflection mirror 400 so as to exhibit a variety of lighting effects can be configured in various ways using a variety of mechanical elements, for example, as shown in FIG. A screw rod 510 having a spiral screw groove 511 formed on an outer circumferential surface thereof, a guide protrusion 520 protruding from one side of the reflective mirror 400 to be inserted into the screw groove 511, and a reflection mirror 400. It may be configured to include a guide rail 530 for guiding the linear movement path, and a drive motor 540 for rotationally driving the screw rod 510 about the longitudinal axis.

이때, 스크류 로드(510)는 반사 미러(400)의 이송 방향을 따라 길게 배치되며, 가이드 레일(530) 또한 스크류 로드(510)와 동일한 방향으로 길게 배치된다. 따라서, 구동 모터(540)를 통해 스크류 로드(510)를 회전시키면, 반사 미러(400)에 형성된 가이드 돌기(520)가 스크류 로드(510)의 스크류 홈(511)을 따라 이동하게 되고, 이에 따라 반사 미러(400)는 가이드 레일(530)을 따라 즉, 스크류 로드(510)의 길이 방향을 따라 직선 이동하게 된다.In this case, the screw rod 510 is disposed long along the conveying direction of the reflective mirror 400, and the guide rail 530 is also disposed long in the same direction as the screw rod 510. Therefore, when the screw rod 510 is rotated through the drive motor 540, the guide protrusion 520 formed in the reflective mirror 400 moves along the screw groove 511 of the screw rod 510, and thus The reflective mirror 400 is linearly moved along the guide rail 530, that is, along the length direction of the screw rod 510.

이러한 직선 이송 유닛(500)에 대한 구성은 이러한 방식 이외에도 구동 벨트를 이용하거나 링크 장치를 이용한 방식 등 다양하게 변경 가능할 것이다.
The configuration of the linear transfer unit 500 may be variously changed, such as a method using a drive belt or a link device in addition to this method.

도 11은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 반사 미러의 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면이고, 도 12는 도 11에 도시된 반사 미러의 이동 상태를 구현하는 직선 이송 유닛에 대한 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.FIG. 11 is a diagram illustrating a moving state of the reflective mirror according to another exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a configuration of a linear transfer unit that implements the moving state of the reflective mirror shown in FIG. 11. It is a schematic perspective view.

도 11에 도시된 반사 미러(400)는 도 6에 도시된 바와 달리 입사광(I) 경로에 대한 직각 방향으로 이동 가능하게 장착되며, 도 12에는 이와 같은 방식으로 반사 미러(400)의 이동시키는 직선 이송 유닛(500)에 대한 구성이 도시된다.Unlike FIG. 6, the reflective mirror 400 illustrated in FIG. 11 is movably mounted in a direction perpendicular to the incident light I path, and FIG. 12 illustrates a straight line for moving the reflective mirror 400 in this manner. The configuration for the transfer unit 500 is shown.

여기서는 반사 미러(400)의 이동 방향이 도 11에 도시된 방향을 기준으로 수평 방향으로 이동한다는 점 이외에는 모두 도 6의 (a),(b),(c)와 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. 도 11의 (a),(b),(c)에 도시된 각각의 반사 미러(400) 이동 상태는 도 6과 동일하게 각각 동축 조명 효과, 입체 조명 효과, 측면 조명 효과를 나타낼 것이다. 마찬가지로, 직선 이송 유닛(500)은 스크류 로드(510) 및 가이드 레일(530)의 배치 방향이 수평 방향으로 형성된다는 점 이외에는 도 7에 도시된 직선 이송 유닛(500)과 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
Here, since the moving direction of the reflective mirror 400 moves in the horizontal direction with respect to the direction shown in FIG. 11, all of them are the same as in FIGS. 6A, 6B, and 6C, and thus, the detailed description thereof will be provided. Omit. Each of the reflection mirrors 400 moving states shown in FIGS. 11A, 11B, and 11C will show coaxial illumination effects, stereoscopic illumination effects, and side illumination effects as in FIG. 6. Similarly, since the linear conveying unit 500 is the same as the linear conveying unit 500 shown in FIG. 7 except that the arrangement direction of the screw rod 510 and the guide rail 530 is formed in the horizontal direction, a detailed description thereof will be omitted. .

도 13은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 반사 미러의 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면이고, 도 14는 도 13에 도시된 반사 미러의 이동 상태를 구현하는 직선 이송 유닛에 대한 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.FIG. 13 is a view illustrating a moving state of the reflective mirror according to another embodiment of the present invention by way of example, and FIG. 14 is a configuration of a linear transfer unit implementing the moving state of the reflective mirror shown in FIG. 13. It is a schematic perspective view.

도 13 및 도 14에 도시된 반사 미러(400)는 반사 미러(400)에 형성된 슬릿홀(430)이 반사 미러(400)를 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)로 분리하도록 관통 형성되는 형태를 도시한 것으로, 이 경우, 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)는 직선 이송 유닛(500)에 의해 모두 같은 방향으로 동시에 이동하도록 구성될 수 있으나, 이와 달리 각각 독립적으로 직선 이동하도록 장착될 수 있으며, 직선 이송 유닛(500) 또한 이러한 독립적인 이송을 가능하게 하도록 형성될 수 있다.The reflection mirror 400 illustrated in FIGS. 13 and 14 is formed such that the slit hole 430 formed in the reflection mirror 400 penetrates the reflection mirror 400 into the first and second reflection mirrors 410 and 420. In this case, the first and second reflective mirrors 410 and 420 may be configured to move simultaneously in the same direction by the linear transfer unit 500, but may be mounted to move independently independently. In addition, the linear transfer unit 500 may also be formed to enable such independent transfer.

도 13의 (a) 및 (b)에는 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)가 각각 서로 근접하게 이동하거나(도 13의 (a)), 또는 서로 멀어지게 이동한 상태(도 13의 (b))가 도시되는데, 이때, 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)는 각각 별개의 직선 이송 유닛(500)을 통해 독립적으로 이동할 수도 있고, 도 14에 도시된 바와 같이 하나의 직선 이송 유닛(500)을 통해 동시에 이동하도록 구성될 수도 있다. 하나의 직선 이송 유닛(500)을 통해 동시에 서로 근접하거나 멀어지는 방향으로 이동하기 위해서는 스크류 로드(510)의 외주면에 형성된 스크류 홈(511)을 도 14에 도시된 바와 같이 서로 다른 방향으로 형성하고, 각 스크류 홈(511)에 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)의 가이드 돌기(520)가 각각 삽입되도록 하는 방식으로 구성할 수 있다. 이러한 구성에 따라 제 1 반사 미러(410) 및 제 2 반사 미러(420)는 서로 다른 방향의 스크류 홈(511)에 의해 서로 반대 방향으로 동시에 이동하며, 서로 근접하거나 서로 멀어지도록 이동할 수 있다. 이외의 구성 및 동작 원리는 도 7과 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.In FIGS. 13A and 13B, the first and second reflection mirrors 410 and 420 move closer to each other (FIG. 13A), or move away from each other (FIG. 13B). ), Where the first and second reflective mirrors 410, 420 may each independently move through separate linear transfer units 500, and one linear transfer unit 500 as shown in FIG. 14. May be configured to move simultaneously. In order to move in the direction of approaching or away from each other at the same time through one linear transfer unit 500, the screw groove 511 formed on the outer peripheral surface of the screw rod 510 is formed in different directions as shown in FIG. The guide protrusions 520 of the first and second reflection mirrors 410 and 420 may be inserted into the screw grooves 511, respectively. According to this configuration, the first reflection mirror 410 and the second reflection mirror 420 may be moved simultaneously in opposite directions by the screw grooves 511 of different directions, and may move to be close to or far from each other. Since the other configuration and operation principle are the same as in FIG. 7, detailed description thereof will be omitted.

한편, 도 13의 (a)에 도시된 반사 미러(400)의 배치 상태는 도 6의 (a) 상태와 동일하므로 동축 조명 효과를 나타내는데, 도 13의 (b)에 도시된 반사 미러(400)의 배치 상태는 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)의 이동 거리에 따라 동축 조명 효과를 나타낼 수도 있고 입체 조명 효과 또는 측면 조명 효과를 나타낼 수도 있을 것이다. 즉, 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)에 의한 각각의 조명광(E) 광축이 입사광(I)의 광축으로부터 얼마나 이격되게 위치하는지에 따라 전술한 입체 조명 효과 또는 측면 조명 효과를 나타낼 수 있을 것이다.
On the other hand, since the arrangement state of the reflective mirror 400 shown in (a) of FIG. 13 is the same as the state of FIG. 6 (a), it exhibits coaxial illumination effect. The reflective mirror 400 shown in (b) of FIG. The arrangement of may represent coaxial illumination effects, stereoscopic illumination effects, or side illumination effects depending on the moving distances of the first and second reflection mirrors 410 and 420. That is, the above-described stereoscopic illumination effect or side illumination effect may be exhibited depending on how far the respective illumination light beam E axes of the first and second reflection mirrors 410 and 420 are located from the optical axis of the incident light I. .

도 15는 본 발명의 일 실시예에 따라 돔 조명 유닛이 결합된 형태의 비전 검사용 조명 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 16은 도 15에 도시된 비전 검사용 조명 장치의 반사 미러 이동 상태를 예시적으로 도시한 도면이다.FIG. 15 is a view schematically illustrating a configuration of a vision inspection lighting apparatus in which a dome lighting unit is coupled according to an embodiment of the present invention, and FIG. 16 is a reflection mirror of the vision inspection lighting apparatus illustrated in FIG. 15. It is a figure which shows the movement state by way of example.

본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 카메라(200)의 전방에 메인 케이스(100)가 위치하도록 카메라(200)와 메인 케이스(100)가 결합되는데, 메인 케이스(100)의 전방에는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따라 피검사체(P)로 돔 조명광(E')을 조사하는 돔 조명 유닛(600)이 장착될 수 있다.The lighting apparatus according to an embodiment of the present invention is coupled to the camera 200 and the main case 100 so that the main case 100 is located in front of the camera 200, the front of the main case 100 in the present invention According to another embodiment of the dome illumination unit 600 for irradiating the dome illumination light (E ') to the test object (P) may be mounted.

돔 조명 유닛(600)은 돔 조명 케이스(610)와, 돔 조명 광원(620)을 포함하여 구성되는데, 돔 조명 케이스(610)는 일측에 오목한 반구형의 조명 장착부(611)가 형성되며, 조명 장착부(611)의 중심부에는 입사광(I) 및 조명광(E)이 통과할 수 있도록 중심홀(612)이 형성된다. 이때, 돔 조명 케이스(610)가 메인 케이스(100)의 전방에 결합되는데, 메인 케이스(100)와 돔 조명 케이스(610)는 상호 탈착 가능하게 결합되도록 구성되는 것이 바람직하며, 예를 들면, 상호 맞물림 결합되는 걸림 고리(미도시) 및 걸림 홈(미도시)이 서로 대응되는 위치에 형성될 수 있다. 또한, 돔 조명 케이스(610)와 메인 케이스(100)가 상호 결합될 때, 조명광(E) 및 입사광(I)이 통과할 수 있도록 돔 조명 케이스(610)의 중심홀(612)과 메인 케이스(100)의 하부 관통홀(120)이 서로 동일한 위치에서 연통되도록 결합되는 것이 바람직하다. The dome illumination unit 600 includes a dome illumination case 610 and a dome illumination light source 620, the dome illumination case 610 is formed with a concave hemispherical illumination mounting portion 611 on one side, the lighting mounting portion A central hole 612 is formed at the center of 611 to allow incident light I and illumination light E to pass therethrough. At this time, the dome lighting case 610 is coupled to the front of the main case 100, the main case 100 and the dome lighting case 610 is preferably configured to be detachably coupled to each other, for example, A locking ring (not shown) and a locking groove (not shown) that are engaged with each other may be formed at positions corresponding to each other. In addition, when the dome lighting case 610 and the main case 100 are coupled to each other, the center hole 612 and the main case of the dome lighting case 610 so that the illumination light (E) and incident light (I) can pass through. Lower through holes 120 of 100 are preferably coupled to communicate with each other at the same position.

돔 조명 광원(620)은 반구형으로 오목하게 형성된 조명 장착부(611)에 다수개 장착되어 돔 조명광(E')을 발생시키며, 메인 광원(300)과 마찬가지로 LED 램프를 적용하는 것이 바람직하다. 이러한 구조에 따라 다수개의 돔 조명 광원(620)은 도 15에 도시된 바와 같이 반구형의 조명 장착부(611)에 대한 가상 중심인 피검사체(P)의 특정 영역(Q)에 집중되도록 돔 조명광(E')을 조사하게 되고, 이에 따라 피검사체(P)의 특정 영역(Q)은 돔 조명광(E')에 의해 사방에서 조명광이 조사되므로 돔 조명 효과에 의해 더욱 선명하고 밝은 검사 영상을 획득할 수 있다.The dome illumination light source 620 is mounted in a plurality of hemispherical concave illumination mounting portion 611 to generate a dome illumination light (E '), it is preferable to apply an LED lamp like the main light source (300). According to this structure, the plurality of dome illumination light sources 620 are focused on a specific area Q of the subject P, which is a virtual center of the hemispherical illumination mount 611, as shown in FIG. 15. ') Is irradiated, and thus a specific area Q of the inspected object P is irradiated with illumination light from all directions by the dome illumination light E', thereby obtaining a clearer and brighter inspection image by the dome illumination effect. have.

그러나 이러한 돔 조명 유닛(600)은 조명 장착부(611)에 대한 제작상의 공차 또는 돔 조명 광원(620)의 정렬 오차 등의 이유로 특정 영역(Q)에 정확하게 돔 조명광(E')을 조사할 수 없고, 정확하게 돔 조명광(E')을 조사한다고 하더라도 돔 조명 효과만으로는 피검사체(P)에 대한 다양한 검사 영상을 획득할 수 없다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 메인 케이스(100)에 이러한 돔 조명 유닛(600)을 함께 장착함으로써, 돔 조명 광원(620)에 의한 돔 조명광(E') 및 메인 광원(300)에 의한 조명광(E)을 동시에 피검사체(P)에 조사하고, 상호 단점을 보완하는 형태로 더욱 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있다.However, such a dome illumination unit 600 may not irradiate the dome illumination light E 'precisely to a specific area Q due to manufacturing tolerances for the lighting mounting unit 611 or misalignment of the dome illumination light source 620. Even if the dome illumination light E 'is precisely irradiated, various inspection images of the inspected object P cannot be obtained by the dome illumination effect alone. Therefore, the lighting device according to an embodiment of the present invention is equipped with such a dome lighting unit 600 in the main case 100, thereby, the dome illumination light (E ') and the main light source 300 by the dome illumination light source 620. By irradiating the illumination light (E) to the test object (P) at the same time, it is possible to exhibit more various lighting effects in a form to compensate for the mutual disadvantages.

특히, 도 16에 도시된 바와 같이 메인 케이스(100)에 돔 조명 유닛(600)을 결합한 상태에서 직선 이송 유닛(500)에 의해 반사 미러(400)를 직선 이동시키는 경우, (a),(b),(c) 각각의 상태에서는 전술한 바와 같이 동축 조명 효과, 입체 조명 효과 및 측면 조명 효과에 더하여 각각 돔 조명 효과를 부가적으로 더 얻을 수 있으므로, 더욱 정확하고 다양한 검사 영상을 획득할 수 있다. 도 16에 도시된 반사 미러(400)의 이동에 대한 조명 효과는 도 6에 도시된 바와 마찬가지 원리이므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
In particular, when the reflection mirror 400 is linearly moved by the linear transfer unit 500 in a state where the dome lighting unit 600 is coupled to the main case 100 as shown in FIG. 16, (a) and (b ), (c) As described above, dome lighting effects can be additionally obtained in addition to the coaxial lighting effects, the three-dimensional lighting effects, and the side lighting effects, so that more accurate and various inspection images can be obtained. . Since the illumination effect on the movement of the reflective mirror 400 shown in FIG. 16 is the same principle as that shown in FIG. 6, a detailed description thereof will be omitted.

도 17은 본 발명의 일 실시예에 따라 반사 미러에 대한 각도 조절 상태를 예시적으로 도시한 도면이고, 도 18은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따라 반사 미러에 대한 각도 조절 상태를 예시적으로 도시한 도면이고, 도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 반사 미러에 대한 각도 조절 유닛의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.FIG. 17 is a diagram illustrating an angle adjustment state for the reflective mirror according to an embodiment of the present invention, and FIG. 18 is a diagram illustrating an angle adjustment state for the reflective mirror according to another embodiment of the present invention. 19 is a perspective view schematically illustrating a configuration of an angle adjusting unit for a reflective mirror according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 전술한 바와 같이 반사 미러(400)가 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)로 분리 이격되도록 슬릿홀(430)이 형성될 수 있는데, 이 경우 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)는 도 17에 도시된 바와 같이 그 배치 각도가 각각 독립적으로 조절될 수 있도록 구성될 수 있으며, 이러한 배치 각도를 조절할 수 있도록 별도의 각도 조절 유닛(700)이 더 구비될 수 있다.In the lighting apparatus according to the embodiment of the present invention, as described above, the slit hole 430 may be formed such that the reflective mirror 400 is separated and spaced apart from the first and second reflective mirrors 410 and 420. And the second reflection mirrors 410 and 420 may be configured such that their placement angles may be independently adjusted as shown in FIG. 17, and a separate angle adjustment unit 700 may be further provided to adjust the placement angles. Can be.

반사 미러(400)가 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)로 분리된 경우, 메인 광원(300)은 도 17에 도시된 바와 같이 제 1 및 제 2 메인 광원(300a,300b)으로 분리 형성될 수 있고, 제 1 및 제 2 메인 광원(300a,300b)에 의해 각각 발생되는 조명광(E)은 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)에 의해 각각 별개로 반사되도록 구성될 수 있다.When the reflection mirror 400 is separated into the first and second reflection mirrors 410 and 420, the main light source 300 may be separated into the first and second main light sources 300a and 300b as shown in FIG. 17. In addition, the illumination light E generated by the first and second main light sources 300a and 300b may be configured to be separately reflected by the first and second reflection mirrors 410 and 420, respectively.

즉, 메인 케이스(100)의 내부에는 제 1 및 제 2 메인 광원(300a,300b)이 각각 해당 조명광(Ea,Eb)에 대한 상호 간섭이 방지되도록 별도의 차단막(130)이 형성될 수 있고, 제 1 메인 광원(300a)에서 발생된 조명광(Ea)은 제 1 반사 미러(410)를 통해 피검사체(P)로 반사되고, 제 2 메인 광원(300b)에서 발생된 조명광(Eb)은 제 2 반사 미러(420)를 통해 피검사체(P)로 반사된다. 이때, 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)의 배치 각도가 각각 별개로 조절될 수 있는데, 도 17에 도시된 바와 같이 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)의 배치 각도가 실신으로 도시된 상태에서 점선으로 도시된 상태로 변경되는 경우, 제 1 반사 미러(410)를 통해 반사되는 조명광(Ea) 및 제 2 반사 미러(420)를 통해 반사되는 조명광(Eb)은 점선으로 도시된 바와 같이 각각 입사광(I) 광축에 더욱 근접하도록 피검사체(P)에 조사된다. 이와 같이 조명광(Ea,Eb)의 진행 경로가 변화하게 되면, 이러한 변화 경로에 따라 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있을 것이다. 예를 들어, 도 17의 실선으로 도시된 진행 경로를 갖는 조명광(Ea,Eb)이 형성되면, 동축 조명 효과가 발휘되고, 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)의 배치 각도 조절을 통해 도 17의 점선으로 도시된 진행 경로를 갖는 조명광(Ea,Eb)이 형성되면, 입체 조명 효과가 발휘될 수 있다.That is, a separate blocking layer 130 may be formed in the main case 100 to prevent the first and second main light sources 300a and 300b from mutually interfering with the corresponding illumination lights Ea and Eb, respectively. The illumination light Ea generated by the first main light source 300a is reflected to the object P through the first reflection mirror 410, and the illumination light Eb generated by the second main light source 300b is second. The reflection mirror 420 reflects the object P under test. At this time, the arrangement angles of the first and second reflection mirrors 410 and 420 may be adjusted separately, respectively, and as shown in FIG. 17, the placement angles of the first and second reflection mirrors 410 and 420 are shown as fainting. When the light is changed to the state shown by the dotted line in FIG. 2, the illumination light Ea reflected through the first reflection mirror 410 and the illumination light Eb reflected through the second reflection mirror 420 are respectively shown as dotted lines. The object P is irradiated to be closer to the incident light beam I axis. When the traveling paths of the illumination lights Ea and Eb are changed in this way, various lighting effects may be exhibited according to the change paths. For example, when the illumination light (Ea, Eb) having a traveling path shown by the solid line of Figure 17 is formed, the coaxial illumination effect is exhibited, and through the adjustment of the arrangement angle of the first and second reflective mirrors (410,420) Figure 17 If the illumination light (Ea, Eb) having a traveling path shown by the dotted line of is formed, the three-dimensional illumination effect can be exerted.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치는 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)의 배치 각도 조절을 통해 조명광(E)의 진행 경로를 다양한 각도로 변경함으로써, 더욱 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있고, 이에 따라 더욱 정확하고 세밀한 검사 영상을 획득할 수 있다.Therefore, the lighting apparatus according to the embodiment of the present invention can exhibit more various lighting effects by changing the traveling path of the illumination light E to various angles by adjusting the arrangement angles of the first and second reflection mirrors 410 and 420. As a result, a more accurate and detailed inspection image can be obtained.

한편, 이와 같은 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)는 도 18에 도시된 바와 같이 조명광(E)에 대한 반사면이 서로 마주보는 방향이 되도록 배치 각도가 조절될 수도 있는데, 이 경우에는 제 1 메인 광원(300a)과 제 2 메인 광원(300b)이 이러한 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)에 대응하여 서로 마주보는 방향으로 배치되도록 분리 형성될 수 있다. 이 경우에도 마찬가지로 각 반사 미러에 대한 배치 각도 조절을 통해 조명광(Ea,Eb)의 진행 경로를 변경할 수 있으며, 이에 따라 전술한 바와 마찬가지로 다양한 조명 효과를 발휘할 수 있다.Meanwhile, as illustrated in FIG. 18, the first and second reflective mirrors 410 and 420 may have an arrangement angle adjusted such that reflective surfaces of the illumination light E face each other. In this case, the first and second reflective mirrors 410 and 420 may be adjusted. The main light source 300a and the second main light source 300b may be separately formed to correspond to the first and second reflection mirrors 410 and 420 so as to face each other. In this case as well, the traveling paths of the illumination lights Ea and Eb may be changed by adjusting the arrangement angles of the respective reflection mirrors, and thus, various lighting effects may be exhibited as described above.

이와 같이 제 1 및 제 2 반사 미러(410,420)의 배치 각도를 조절하는 각도 조절 유닛(700)은 다양한 기계 요소를 이용하여 다양한 형태로 구성할 수 있는데, 예를 들면, 도 19에 도시된 바와 같이 제 1 반사 미러(410) 또는 제 2 반사 미러(420)의 일측면에 각각 장착되는 작동 로드(710)와, 작동 로드(710)를 길이 방향의 축을 중심으로 각각 회전 구동하는 구동 모터(720)를 포함하여 구성될 수 있고, 작동 로드(710)와 제 1 반사 미러(410) 또는 제 2 반사 미러(420)는 별도의 고정 브래킷(711)을 통해 결합될 수 있다. 이때, 작동 로드(710)는 도 17 및 도 18에 도시된 바와 같이 입사광(I)의 광축에 대한 직각 방향으로 배치되는 것이 바람직하며, 이를 통해 피검사체(P)를 향해 조사되는 조명광(Ea,Eb)의 진행 경로를 효과적으로 조절할 수 있을 것이다.
As such, the angle adjusting unit 700 for adjusting the placement angles of the first and second reflective mirrors 410 and 420 may be configured in various forms using various mechanical elements. For example, as shown in FIG. An actuating rod 710 mounted on one side of the first reflecting mirror 410 or the second reflecting mirror 420, and a driving motor 720 for rotating the actuating rod 710 respectively about a longitudinal axis; It may be configured to include, and the operating rod 710 and the first reflective mirror 410 or the second reflective mirror 420 may be coupled through a separate fixing bracket 711. At this time, the operating rod 710 is preferably disposed in a direction perpendicular to the optical axis of the incident light (I), as shown in Figs. 17 and 18, through which the illumination light (Ea, Eb) will be able to effectively control the progress path.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and changes without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas falling within the scope of the same shall be construed as falling within the scope of the present invention.

100: 메인 케이스 200: 카메라
300: 메인 광원 400: 반사 미러
430: 슬릿홀 500: 직선 이송 유닛
600: 돔 조명 유닛 700: 각도 조절 유닛
E: 조명광 I: 입사광100: main case 200: camera
300: main light source 400: reflection mirror
430: slit hole 500: linear feed unit
600: dome lighting unit 700: angle adjustment unit
E: illumination light I: incident light

Claims (13)

피검사체로부터 반사되어 카메라로 입사되는 입사광을 통해 피검사체에 대한 검사 영상을 획득할 수 있도록 피검사체에 조명광을 조사하는 비전 검사용 조명 장치에 있어서,
상기 카메라의 전방에 배치되는 메인 케이스;
상기 메인 케이스의 내부에 배치되어 조명광을 발생시키는 메인 광원; 및
상기 조명광이 피검사체로 조사되도록 상기 조명광을 반사하는 반사 미러
를 포함하고, 상기 반사 미러는 상기 조명광을 전반사하도록 형성되며 상기 카메라로 입사하는 입사광이 통과할 수 있도록 중앙부에 슬릿홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
In the vision inspection illumination device for irradiating the illumination light to the inspected object to obtain an inspection image for the inspected object through the incident light reflected from the inspected object and incident to the camera,
A main case disposed in front of the camera;
A main light source disposed inside the main case to generate illumination light; And
A reflection mirror reflecting the illumination light so that the illumination light is irradiated to the object under test
And the reflection mirror is formed so as to totally reflect the illumination light, and a slit hole is formed in the center to allow the incident light incident to the camera to pass therethrough.
제 1 항에 있어서,
상기 반사 미러는 상기 조명광을 상기 입사광의 광축과 동축 방향으로 반사하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
The method of claim 1,
And the reflection mirror is arranged to reflect the illumination light in a coaxial direction with the optical axis of the incident light.
제 2 항에 있어서,
상기 반사 미러는 상기 입사광의 경로와 교차하는 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
The method of claim 2,
And the reflection mirror is disposed in a direction crossing the path of the incident light.
제 3 항에 있어서,
상기 반사 미러의 배치 각도가 유지된 상태로 상기 반사 미러를 직선 이동시키는 직선 이송 유닛이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
The method of claim 3, wherein
And a linear transfer unit for linearly moving the reflective mirror while the arrangement angle of the reflective mirror is maintained.
제 4 항에 있어서,
상기 직선 이송 유닛은 상기 반사 미러의 배치 방향과 평행하게 상기 반사 미러를 이동시키는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
The method of claim 4, wherein
And said linear transfer unit moves said reflection mirror in parallel with an arrangement direction of said reflection mirror.
제 4 항에 있어서,
상기 직선 이송 유닛은 상기 입사광 경로에 대한 직각 방향으로 상기 반사 미러를 이동시키는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
The method of claim 4, wherein
And the linear transfer unit moves the reflection mirror in a direction perpendicular to the incident light path.
제 4 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 직선 이송 유닛은
상기 반사 미러의 이송 방향을 따라 길게 배치되며 외주면에 나선형의 스크류 홈이 형성된 스크류 로드;
상기 스크류 홈에 삽입되도록 상기 반사 미러의 일측에 형성되는 가이드 돌기;
상기 반사 미러의 직선 이동 경로를 가이드하는 가이드 레일; 및
상기 스크류 로드를 길이 방향의 축을 중심으로 회전 구동하는 구동 모터
를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
The method according to any one of claims 4 to 6,
The linear transfer unit
A screw rod disposed along the conveying direction of the reflective mirror and having a spiral screw groove formed on an outer circumferential surface thereof;
A guide protrusion formed at one side of the reflective mirror to be inserted into the screw groove;
A guide rail for guiding a linear movement path of the reflective mirror; And
A drive motor for rotating the screw rod about a longitudinal axis;
Vision inspection lighting device comprising a.
제 4 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 슬릿홀은 상기 반사 미러가 상기 슬릿홀을 기준으로 제 1 및 제 2 반사 미러로 분리 이격되도록 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
The method according to any one of claims 4 to 6,
And the slit hole penetrates the reflective mirror so as to be separated from the first and second reflective mirrors based on the slit hole.
제 8 항에 있어서,
상기 직선 이송 유닛은 상기 제 1 및 제 2 반사 미러를 각각 독립적으로 직선 이동시키는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
The method of claim 8,
And said linear transfer unit moves linearly said first and second reflective mirrors independently of each other.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 메인 케이스의 전방에는 피검사체로 돔 조명광을 조사하는 돔 조명 유닛이 장착되고, 상기 돔 조명 유닛은
일측에 오목한 반구형의 조명 장착부가 형성되며 상기 조명 장착부의 중심부에는 상기 입사광 및 조명광이 통과하도록 중심홀이 형성되는 돔 조명 케이스; 및
상기 조명 장착부에 다수개 장착되어 상기 돔 조명광을 발생하는 돔 조명 광원
을 포함하는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
The method according to any one of claims 1 to 6,
In front of the main case is mounted a dome illumination unit for irradiating the dome illumination light to the test object, the dome illumination unit
A dome lighting case having a concave hemispherical lighting mounting portion formed at one side thereof, and a central hole formed at a center of the lighting mounting portion to allow the incident light and the illumination light to pass therethrough; And
Dome illumination light source which is mounted to the plurality of the lighting mounting portion to generate the dome illumination light
Vision inspection lighting device comprising a.
제 1 항에 있어서,
상기 슬릿홀은 상기 반사 미러가 상기 슬릿홀을 기준으로 제 1 및 제 2 반사 미러로 분리 이격되도록 관통 형성되고,
상기 제 1 및 제 2 반사 미러의 배치 각도를 각각 별개로 조절할 수 있는 각도 조절 유닛이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
The method of claim 1,
The slit hole is formed so that the reflective mirror is separated apart from the first and second reflective mirror based on the slit hole,
Vision inspection illumination device, characterized in that further provided with an angle adjustment unit for adjusting the placement angle of the first and second reflection mirror separately.
제 11 항에 있어서,
상기 메인 광원은 제 1 및 제 2 메인 광원으로 분리 형성되고, 상기 제 1 및 제 2 메인 광원에 의해 각각 발생되는 조명광은 상기 제 1 및 제 2 반사 미러에 의해 각각 별개로 반사되는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.
The method of claim 11,
The main light source is separated into first and second main light sources, and the illumination light generated by the first and second main light sources, respectively, is separately reflected by the first and second reflection mirror, characterized in that Lighting device for vision inspection.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
상기 각도 조절 유닛은
상기 제 1 반사 미러 또는 제 2 반사 미러의 일측면에 각각 장착되며 상기 입사광 광축과 직각 방향으로 배치되는 작동 로드; 및
상기 작동 로드를 길이 방향의 축을 중심으로 각각 회전 구동하는 구동 모터
를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전 검사용 조명 장치.

The method according to claim 11 or 12,
The angle adjusting unit
An actuating rod mounted on one side of the first reflecting mirror or the second reflecting mirror and disposed in a direction perpendicular to the incident light optical axis; And
A drive motor which rotates the actuating rod about an axis in the longitudinal direction, respectively;
Vision inspection lighting device comprising a.

KR1020100094669A 2010-09-29 2010-09-29 Lighting Apparatus for Vision Inspection KR101248184B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100094669A KR101248184B1 (en) 2010-09-29 2010-09-29 Lighting Apparatus for Vision Inspection

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100094669A KR101248184B1 (en) 2010-09-29 2010-09-29 Lighting Apparatus for Vision Inspection

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120033071A true KR20120033071A (en) 2012-04-06
KR101248184B1 KR101248184B1 (en) 2013-03-27

Family

ID=46135972

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100094669A KR101248184B1 (en) 2010-09-29 2010-09-29 Lighting Apparatus for Vision Inspection

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101248184B1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101346334B1 (en) * 2012-12-28 2013-12-31 주식회사 서울금속 Lighting assembly for vision inspecting object having heat dissipating function
KR101346335B1 (en) * 2012-11-30 2013-12-31 주식회사 서울금속 Diffusion type lighting device for inspecting object using vision
KR20180072401A (en) * 2016-12-21 2018-06-29 주식회사 포스코 System and method for hole expansion test
KR20180075138A (en) * 2016-12-26 2018-07-04 주식회사 미르기술 Coaxial lighting device for inspection

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102066714B1 (en) * 2018-08-10 2020-01-15 (주)신세계엔지니어링 Optical inspection apparatus for tilted lighting
KR102377118B1 (en) * 2020-05-22 2022-03-21 김인택 Apparatus for examining ampoule to vision
KR20220142598A (en) 2021-04-14 2022-10-24 삼성디스플레이 주식회사 Illumination apparatus and optical inspection apparatus including the same

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3445722B2 (en) * 1997-05-14 2003-09-08 出光石油化学株式会社 Surface inspection device and surface inspection method
KR100653573B1 (en) * 2004-06-25 2006-12-04 전자부품연구원 variable optical attenuator
KR100740250B1 (en) * 2005-12-26 2007-07-18 (주) 인텍플러스 Vision inspection system and method for inspection using thereof
KR101020583B1 (en) * 2008-04-28 2011-03-09 주식회사 엠비젼 Hologram optical inspection system

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101346335B1 (en) * 2012-11-30 2013-12-31 주식회사 서울금속 Diffusion type lighting device for inspecting object using vision
KR101346334B1 (en) * 2012-12-28 2013-12-31 주식회사 서울금속 Lighting assembly for vision inspecting object having heat dissipating function
KR20180072401A (en) * 2016-12-21 2018-06-29 주식회사 포스코 System and method for hole expansion test
KR20180075138A (en) * 2016-12-26 2018-07-04 주식회사 미르기술 Coaxial lighting device for inspection

Also Published As

Publication number Publication date
KR101248184B1 (en) 2013-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101248184B1 (en) Lighting Apparatus for Vision Inspection
JPH07325036A (en) Optical system for inspection, and inspection apparatus
KR101120226B1 (en) Surface inspecting apparatus
KR101756614B1 (en) Illuminating device for inspection, and inspection system
US8823930B2 (en) Apparatus and method for inspecting an object
CN110073203B (en) Method and apparatus for inspecting defects on transparent substrates
JP2001050899A (en) Lighting for inspecting article surface
KR101211438B1 (en) Apparatus for inspecting defects
KR20140060946A (en) Electronic materials processing area measurement for illumination device and applying the inspection equipment
KR20160004099A (en) Defect inspecting apparatus
KR20030078648A (en) Color Filter Inspection Apparatus
TWM528423U (en) External appearance inspection apparatus and inspection system
JPH10332792A (en) Lighting system for board inspecting camera
KR101124567B1 (en) Wafer inspecting apparatus having hybrid illumination
KR102421126B1 (en) Hairpin inspection apparatus for electric part
JP2006275836A (en) Substrate inspection device
KR20020065480A (en) Floodlight for appearance inspection
KR20080019395A (en) A defect detecting apparatus for flat panel display
TWI817991B (en) Optical system, illumination module and automated optical inspection system
CN105572039B (en) Light source apparatus
KR101897084B1 (en) Coaxial lighting device for inspection
KR102148965B1 (en) Inspection device
KR20200090092A (en) Inspection apparatus
JP2020016567A (en) Overhead wire inspection device
KR102020878B1 (en) Lighting system for optical system for inspecting defects of measure object coated with PI film

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160205

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170222

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190322

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200303

Year of fee payment: 8