KR20120010717A - A device for measuring a fluid pressure - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus for measuring fluid pressure with improved acid resistance is provided to be applicable to an existing apparatus and be used for a ling time without component change. CONSTITUTION: An apparatus for measuring fluid pressure with improved acid resistance comprises a fluid receiving pipe(20), a sensor unit(30), and a casing(10). Fluid for measuring pressure is flowed into the fluid receiving pipe. The sensor unit measures the pressure of the fluid inflowed from the fluid receiving pipe. The sensor unit is placed in the casing. The casing includes a flow path(13) and an input detection space(12). The flow path is combined with the fluid receiving pipe and forms a path for traveling the fluid. The input detection space measures the pressure of inflowed fluid while being connected with the flow path.

Description

내산성이 향상된 유체압력측정장치{A DEVICE FOR MEASURING A FLUID PRESSURE}Fluid pressure measuring device with improved acid resistance {A DEVICE FOR MEASURING A FLUID PRESSURE}

본 발명은 압력센서에 의해서 유체의 압력을 측정하기 위한 장치인 것으로, 보다 구체적으로 강산이 많이 함유된 유체의 압력을 측정하는 경우 센서 부식이 우려되는 문제점을 해결하기 위해 센서에 별도의 부식방지수단을 구비한 것을 특징으로 하는 내산성이 향상된 유체압력측정장치에 관한 것이다.
The present invention is a device for measuring the pressure of the fluid by the pressure sensor, more specifically, in order to solve the problem that the sensor corrosion is concerned when measuring the pressure of the fluid containing a lot of strong acid, a separate corrosion prevention means to the sensor It relates to a fluid pressure measuring apparatus having improved acid resistance.

일반적으로 본원발명에서와 같은 유체압력측정장치는 피측정유로상에 연결되어 압력센서를 통해 유체의 압력을 측정하는 기기인 것으로, In general, the fluid pressure measuring device as in the present invention is a device that is connected to the flow path to be measured to measure the pressure of the fluid through the pressure sensor,

피측정유로로부터 전달되는 유체가 압력센서에 직접 접촉됨으로서 부식성이 강한 즉, 강산을 함유하고 있는 유체의 경우 압력센서가 쉽게 부식되는 문제점이 있었다.
Since the fluid transferred from the flow channel to be measured is in direct contact with the pressure sensor, the pressure sensor is easily corroded in the case of a fluid having strong corrosiveness, that is, a strong acid.

더욱이 반도체의 제조에 사용되는 유체는 표면식각에 사용되는 액체와 같이 부식성이 강하므로 이러한 부식성의 유체가 흐르는 관상의 압력측정시 압력센서가 부식되어 작동하지 않는 문제점이 있게 된다.
Furthermore, since the fluid used in the manufacture of semiconductors is highly corrosive like the liquid used for surface etching, there is a problem that the pressure sensor is corroded and does not work when measuring the pressure in the tubular flow through such corrosive fluid.

이러한 문제를 해결하기 위해 대한민국 특허 제141559호(1998.03.23.등록) 『압력센서장치』에서는 다이아프램을 이용하여 압력센서가 유체와 직접 접촉되는 거을 방지하도록 개발되었으나, 장치의 가공, 조립, 시일링 처리 등에 많은 수고를 요하며, 압력센서장치의 비용 상승을 피할 수 없다는 한계가 있다.
In order to solve this problem, Korean Patent No. 141559 (registered on March 23, 1998) 『Pressure Sensor Device』 was developed to prevent the pressure sensor from coming into direct contact with the fluid by using a diaphragm. It requires a lot of effort in ring processing and the like, and there is a limit that the cost increase of the pressure sensor device can not be avoided.

이에 본 출원인의 특허인 특허 제0792192호(2007.12.31.등록) 『내식성 유체압력 측정장치』에서는 바로 부식을 방지할 수 있는 내식부재를 센서 저면에 형성하는 방안을 제안하였으나, 역시 부식 방지에는 한계가 있었다.
Accordingly, the applicant's patent No. 0792192 (registered on Dec. 31, 2007), `` Anti-corrosion fluid pressure measuring device, '' proposed a method of forming an anti-corrosion member on the bottom of the sensor that can prevent corrosion immediately, but is also limited to corrosion protection. There was.

특히 이와 같은 장치에 있어 압력센서가 부식되어버리면, 센서만을 교체하는 것이 아니라 센서를 포함한 유체압력 측정장치의 부품 대부분을 교체하여야 하기에 업계에서는 부식을 방지할 수 있는 센서 구조의 개발이 활발히 이루어지고 있는 실정이다.
In particular, if the pressure sensor is corroded in such a device, most of the components of the fluid pressure measuring device including the sensor should be replaced, instead of replacing only the sensor, so the industry is actively developing a sensor structure to prevent corrosion. There is a situation.

이에 본 발명에서는 상기한 기존 유체압력 측정장치의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 부식성이 강한 유체에 의해 압력 센서가 최대한 보호받을 수 있도록 부식방지수단이 구비된 센서를 가진 유체압력측정장치를 제공하고자 하는 것을 목적으로 한다.
Accordingly, the present invention is to solve the problems of the conventional fluid pressure measuring device, to provide a fluid pressure measuring device having a sensor with a corrosion prevention means so that the pressure sensor is protected by the most corrosive fluid. For the purpose of

또한 압력센서가 안치되는 장치 자체의 구조에 있어서도 압력 측정 후 오랜 시간 미량으로 잔존하는 유체에 의해 센서가 부식되는 문제점을 방지하기 위한 벤트홀 구조를 도입한 유체압력측정장치를 제공하고자 하는 것을 목적으로 한다.
Another object of the present invention is to provide a fluid pressure measuring device incorporating a vent hole structure for preventing a sensor from being corroded by a fluid remaining in trace amounts for a long time even after the pressure is measured. do.

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 유체압력측정장치는, Fluid pressure measuring apparatus of the present invention for solving the above problems,

압력측정을 위한 유체가 도입되는 유체도입관과, 상기 유체도입관으로부터 도입된 유체의 압력 측정을 위한 센서부와, 그리고A fluid introduction pipe into which the fluid for pressure measurement is introduced, a sensor unit for measuring the pressure of the fluid introduced from the fluid introduction pipe, and

상기 센서부가 안치되는 곳으로, Where the sensor unit is placed,

상기 유체도입관과 결합되어 유체의 이동로를 형성하는 유로와, 상기 유로에 연통되어 도입된 유체의 압력 측정을 위한 압력검출실이 구비된 케이싱을 포함하여 이루어지되, And a casing having a flow path coupled to the fluid introduction pipe to form a movement path of the fluid, and a pressure detection chamber for measuring the pressure of the fluid introduced in communication with the flow path.

상기 압력검출실에 노출되는 센서부에는 부식방지수단이 더 구비되는 것을 기술적 특징으로 한다.
The sensor unit exposed to the pressure detection chamber is characterized in that the anti-corrosion means is further provided.

이와 같은 센서부의 부식을 방지하기 위한 부식방지수단으로는 Corrosion prevention means for preventing the corrosion of such a sensor unit

상기 센서부에 형성된 백금증착막일 수도 있고, It may be a platinum deposition film formed on the sensor unit,

상시 센서부의 저면에 형성된 불소수지계열의 복합막일 수도 있다.
It may also be a composite film of fluorine resin series formed on the bottom of the sensor unit at all times.

또한 본 발명의 케이싱에는 내부에 남아있는 부식성 물질의 배출을 위한 벤트홀이 형성되는 것을 기술적 특징으로 한다.
In addition, the casing of the present invention is characterized in that the vent hole for the discharge of the corrosive substances remaining therein is formed.

상기한 구성을 가진 본원발명에 의하면 기존 유체압력 측정장치에 비해 압력 센서의 부식 가능성이 현저하게 줄어들게되어, 부품 교체없이 장시간 장치를 사용할 수 있게 되어 경제성 측면에서 향상된 유체압력 측정자치를 얻게된다는 효과를 가진다.
According to the present invention having the above-described configuration, the possibility of corrosion of the pressure sensor is significantly reduced compared to the existing fluid pressure measuring device, so that the device can be used for a long time without replacing parts, thereby achieving an improved fluid pressure measuring value in terms of economy. Have

더욱이 센서에 대한 부식을 방지시키기 위한 방안들이 장치에 대한 구조 자체를 변경하는 것이 아니라 센서에 부식방지수단이 부가되는 것이어서 기존 장치들에도 응용이 가능하다는 효과를 가진다.
Moreover, the measures to prevent corrosion to the sensor do not change the structure of the device itself, but the corrosion prevention means are added to the sensor, so that it can be applied to existing devices.

도 1은 본 발명에 의한 일실시예를 개략적으로 도시한 도면으로, 특히 케이싱에 있어서는 내부 구조를 확인을 위한 단면 상태를 도시한 것임.
도 2는 본 발명에 의한 다른 실시예를 개략적으로 도시한 도면으로, 특히 케이싱에 있어서는 내부 구조를 확인을 위한 단면 상태를 도시한 것임.
도 3은 본 발명에 의한 또 다른 실시예를 개략적으로 도시한 도면으로, 특히 케이싱에 있어서는 내부 구조를 확인을 위한 단면 상태를 도시한 것임.1 is a view schematically showing an embodiment according to the present invention, in particular in the casing showing a cross-sectional state for checking the internal structure.
2 is a view schematically showing another embodiment according to the present invention, in particular in the casing shows a cross-sectional state for checking the internal structure.
Figure 3 is a view schematically showing another embodiment according to the present invention, in particular in the casing showing a cross-sectional state for checking the internal structure.

이하 도면을 참조하여 본원발명의 내산성이 향상된 유체압력 측정장치에 대해 보다 구체적으로 설명하도록 한다.
Hereinafter, a fluid pressure measuring apparatus having improved acid resistance of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도면에 도시된 바와 같이 본 발명의 유체압력 측정장치는,As shown in the figure the fluid pressure measuring apparatus of the present invention,

유체의 압력 측정을 위한 센서부(30)가 장착되어 있는 케이싱(10)과, 상기 케이싱에 체결된 후 압력 측정을 위한 유체를 상기 케이싱으로 보내는 유체도입관(20)으로 구성되고,
Comprising a casing (10) is equipped with a sensor unit 30 for measuring the pressure of the fluid, and a fluid introduction pipe (20) is fastened to the casing to send the fluid for pressure measurement to the casing,

보다 구체적으로 상기 케이싱(10)에는 상기 유체도입관(30)과 결합되어 유체의 이동로를 제공하는 유로(13)와, 상기 유로에 연통되어 도입된 유체의 압력 측정을 위한 공간을 제공하는 압력검출실(12)이 형성되어 있다.
More specifically, the casing 10 includes a flow path 13 coupled with the fluid introduction pipe 30 to provide a flow path of the fluid, and a pressure providing a space for measuring the pressure of the fluid introduced in communication with the flow path. The detection chamber 12 is formed.

그리고 상기 센서부(30)에는 유체에 의한 센서 부식을 방지하기 위한 부식방지수단이 구비되어 있다.
And the sensor unit 30 is provided with a corrosion preventing means for preventing the sensor corrosion by the fluid.

다만, 본 발명의 유체압력 측정장치는 센서부에 부식방지수단을 구비한 구조 자체에 특징이 있는 것으로, However, the fluid pressure measuring apparatus of the present invention is characterized in that the structure itself is provided with a corrosion preventing means in the sensor unit,

상기 케이싱의 구체적인 내부 구조 및 유체도입관의 구성은 구체적인 작업 상황 및 압력측정장치에 따라 변경가능한 것으로 본 발명에서 설명되는 구조에 한정될 것은 아니고.The specific internal structure of the casing and the configuration of the fluid introduction pipe are not limited to the structure described in the present invention as being changeable according to a specific working situation and a pressure measuring device.

구체적으로 서술되지 않은 부분에 대해서는 통상적으로 유체압력 측정장치에 채용되는 구조를 참조하면 된다.For the parts that are not specifically described, reference may be made to structures generally employed in the fluid pressure measuring device.

또한 본원발명에서 구체적으로 설명되지 않은 센서부의 구성 역시 이하에서 특별한 언급이 없으면 통상적으로 유체압력 센서에서 채용되는 구조인 것으로 본다.
In addition, the configuration of the sensor unit that is not specifically described in the present invention is also considered to be a structure that is typically employed in the fluid pressure sensor unless otherwise specified.

다시 도 1을 참조하여, 상기 케이싱(10)은 센서부 등의 안착을 위해 내부가 비어있는 형태로, Referring back to Figure 1, the casing 10 is in the form of a hollow inside for the mounting of the sensor unit,

케이싱의 내부에는 센서부(30)의 장착을 위한 센서마운팅부(11)와, 그리고 압력검출실(12)과, 그리고 상기 압력검출실과 연통되는 유로(13)로 이루어져있다.The casing includes a sensor mounting unit 11 for mounting the sensor unit 30, a pressure detection chamber 12, and a flow passage 13 communicating with the pressure detection chamber.

그리고 상기 센서마운팅부(11)에 센서부가 장작된 후 센서마운팅부의 측면과 센서부 측면으로 유체가 스며드는 것을 방지하기 위해 패킹부재(P)를 추가적으로 구비하게 된다.In addition, after the sensor unit is mounted on the sensor mounting unit 11, a packing member P is additionally provided to prevent fluid from penetrating into the side of the sensor mounting unit and the side of the sensor unit.

상기 패킹부재(P)는 오링(O-Ring) 형태인 것이 바람직하고, 역시 부식방지를 위해 과불소고무(Perfluor Elastomer) 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
The packing member (P) is preferably in the form of an O-ring (O-Ring), it is also preferably made of Perfluor Elastomer (Perfluor Elastomer) material to prevent corrosion.

그리고 유체도입관(20)을 통해 도입된 유체의 이동을 위한 유로(13)가 형성되는 케이싱(10)의 외주면에는 유체도입관(20)과의 체결의 위해 나사산(미도시)이 형성되는 것이 바람직하고, And a thread (not shown) is formed on the outer circumferential surface of the casing 10 in which the flow path 13 for the movement of the fluid introduced through the fluid introduction pipe 20 is formed for fastening with the fluid introduction pipe 20. Desirable,

상기 케이싱의 외주면가 접하게 되는 유체도입관에도 나사산(미도시)을 형성하여 케이싱과 유체도입관의 결속을 보장한다.
A thread (not shown) is also formed in the fluid introduction pipe which the outer circumferential surface of the casing comes into contact with to ensure the binding of the casing and the fluid introduction pipe.

다음으로 본 발명의 핵심이라 할 수 있는 센서부 및 센서부에 형성되는 부식방지수단을 살펴보면, Next, look at the sensor unit and the corrosion preventing means formed in the sensor unit can be said to be the core of the present invention,

상기 부식방지수단은 센서부(30)의 일부를 감싸 센서부에 대한 유체의 직접적인 접촉을 방지하는 것으로 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 다양하게 고안될 수 있다.
The anti-corrosion means may be variously designed as shown in FIGS. 1 and 2 to surround a part of the sensor unit 30 to prevent direct contact of the fluid with the sensor unit.

도 1을 우선 참조하면 본 발명의 부식방지수단은 센서부(30)에 형성된 백금증착막(41)인 것으로, Referring first to Figure 1, the corrosion preventing means of the present invention is that the platinum deposition film 41 formed in the sensor unit 30,

즉, 센서부와 유체의 직접적인 접촉을 방지하기 위해 본 발명에서는 센서부의 저면 또는 측면 또는 이들 모두에 백금(Pt)을 증착하여 막을 형성시킨다.That is, in order to prevent direct contact between the sensor part and the fluid, in the present invention, platinum (Pt) is deposited on the bottom or side surface or both of the sensor part to form a film.

이는 백금이라는 소재의 특성한 내산성을 비롯한 내약품성 등이 강하여 센서부 보호에 바람직하기 때문인데, 본 발명에 증착되는 백금의 두께는 0.4㎛인 것이 바람직하다.
This is because the chemical resistance, such as the acid resistance of the material of the platinum is strong and is preferable for protecting the sensor, the thickness of the platinum deposited in the present invention is preferably 0.4㎛.

이후 사용상태에 따라서는 센서부의 저면에만 백금증착막을 형성시킬 수 있으나 확실한 센서부 보호를 위하여 측면에도 함께 백금증착막을 형성시키는 것이 바람직하고, Thereafter, depending on the use state, the platinum deposition film may be formed only on the bottom surface of the sensor unit, but it is preferable to form the platinum deposition film on the side surface to ensure the protection of the sensor unit.

또한 센서부 저면과 측면에 백금증착막(41)을 형성시킨 후 다시 센서부(30)의 저면에 PFA(퍼를로오르알콕시랄칸; PerFluoroAlkoxylalkane)막을 형성시킬 수도 있다.In addition, after the platinum deposition film 41 is formed on the bottom and side of the sensor unit, a PFA (PerFluoroAlkoxylalkane) film may be formed on the bottom of the sensor unit 30.

상기 PFA는 대표적인 불소수지인 것으로 역시 부식성 가스에 강하다.
The PFA is a representative fluorine resin and is also resistant to corrosive gases.

다르게는 도 2에서와 같은 부식방지수단을 고려할 수도 있는데, Alternatively, anticorrosion means such as in FIG. 2 may be considered.

본 발명의 부식방지수단은 센서부 저면에 형성된 불소수지계열의 복합막(43)일 수도 있다.
Corrosion preventing means of the present invention may be a composite membrane 43 of the fluorine resin series formed on the bottom surface of the sensor unit.

즉 도 1에 도시된 실시예에 대한 설명에서와 같이 불소수지는 부식성 가스에 강한 것으로, That is, as shown in the description of the embodiment shown in Figure 1 fluorine resin is resistant to corrosive gas,

PFA(퍼를로오르알콕시랄칸: PerFluoroAlkoxylalkane)외에도 ETFE(데트라플루오로에틸렌?에틸렌 공중합체; Ethylene/TetraFluoroEthyrene) 또는 PTFE(폴리 데트라플로오로에틸렌; PolyTetra FluoroEthylene) 등의 불소수지를 들 수 있다.
In addition to PFA (Perfluoroalkoxylalkane), fluorocarbon resins, such as ETFE (detrafluoroethylene-ethylene copolymer; Ethylene / TetraFluoroEthyrene) or PTFE (polydetrafluoroethylene; PolyTetra FluoroEthylene), are mentioned.

따라서 도 2에 도시된 부식방지수단은 상기와 같은 불소수지계열로 이루어진 복합막(43)이라 할 것인데, Therefore, the corrosion preventing means shown in Figure 2 will be referred to as a composite membrane 43 made of a fluorine resin series as described above,

보다 효율적인 센서부(30)에 대한 부식 방지를 위하여 본 발명의 불소수지계열로 이루어진 복합막(43)은 불소수지계열로 둘 이상의 막(43a, 43c)을 형성하되, 형성된 막 사이에 백금막(43b)을 추가적으로 구비하여 형성된다.
In order to prevent corrosion of the sensor unit 30 more effectively, the composite film 43 made of the fluorine resin series of the present invention forms two or more films 43a and 43c in the fluorine resin series, and the platinum film ( 43b).

즉 도 2를 참조하면, 불소수지계열로 이루어진 복합막(43)은 ETFE로 이루어진 상층막(43a)과 PFA로 이루어진 하층막(43c) 사이에 백금막(43b)이 삽입되어 복합막(43)을 이루게된다.That is, referring to FIG. 2, in the composite film 43 made of fluorine resin series, a platinum film 43b is inserted between an upper film 43a made of ETFE and a lower film 43c made of PFA. Will come true.

여기서 상기 백금막(43b)은 0.5㎛의 두께를 가지는 필름형태로 되어 상기 ETFE막(43a)과 PFA막(43c) 사이에 삽입될 수도 있고, 또는 상기 ETFE믹(43a) 내지 PFA막(43c)의 표면에 백금을 증착시킨 코팅층으로 형성될 수도 있다.
The platinum film 43b may be a film having a thickness of 0.5 μm, and may be inserted between the ETFE film 43a and the PFA film 43c, or the ETFE mix 43a to PFA film 43c. It may be formed of a coating layer deposited platinum on the surface of.

물론, 상기 복합막을 형성하는 상층막과 하층막에 대한 불소수지종류는 ETFE와 PFA에 한정될 것은 아니다.
Of course, the type of fluororesin for the upper layer film and the lower layer film forming the composite film is not limited to ETFE and PFA.

또한 상기 불소수지계열로 이루어진 복합막(43) 자체로 센서부에 대한 부식을 방지할 수도 있으나, In addition, the composite film 43 made of the fluorine resin series itself may prevent corrosion to the sensor unit.

도 2에 도시된 바와 같이 우선 센서부의 저면과 측면에 백금증착막(41)을 형성시킨 후 다시 저면에 상기 불소수지계열로 이루어진 복합막(43)을 형성하는 것이 보다 효과적인 부식방지가 이루어진다는 측면에서 바람직하다.
As shown in FIG. 2, first, the platinum deposition film 41 is formed on the bottom and side of the sensor unit, and then the composite film 43 made of the fluorine resin series is formed on the bottom of the sensor unit. desirable.

다음으로 상기와 같은 부식방지수단을 형성한다 하더라도 오랜 기간 사용을 하게 되면 압력검출실(12) 내부에는 흄가스와 같은 부식성 물질이 남아 있을 수 있고, Next, even if the anti-corrosion means as described above, if used for a long time, there may be a corrosive substance such as fume gas remaining in the pressure detection chamber 12,

시간이 지나면서 상기 흄가스가 센서부 저면 또는 측면 등에 구비된 부식방지수단을 침투하여 결국 센서부에 손상을 가져올 수가 있는 문제점이 예견된다.
As time passes, it is expected that the fume gas penetrates the anti-corrosion means provided on the bottom or the side of the sensor unit and may cause damage to the sensor unit.

따라서 본 발명에서는 상기와 같은 문제점을 해소하여 보다 안정된 센서부 보호를 위하여 케이싱(10)에 외부와 연통되는 벤트홀(51)을 형성한다.Therefore, in the present invention, the vent hole 51 communicating with the outside is formed in the casing 10 in order to solve the above problems and to protect the sensor part more stably.

즉 상기 벤트홀(51)은 하나 이상 형성될 수 있는 것으로, 압력검출실(12)에서 외부로 연통되는 벤트홀(51a)을 구비할 수도 있고,That is, one or more vent holes 51 may be formed, and may include a vent hole 51 a that communicates with the outside in the pressure detection chamber 12.

센서부가 안착되는 케이싱의 센서마운팅부(11)의 측면에서 외부로 연통되는 벤트홀(51b)을 형성할 수도 있다.
The vent hole 51b may be formed to communicate with the outside from the side of the sensor mounting part 11 of the casing in which the sensor part is seated.

참고로, 도 3에서는 암력검출실 및 센서마운팅부 모두에 벤트홀(51a, 51b)을 형성한 케이싱(10)을 도시하였다.
For reference, FIG. 3 illustrates a casing 10 in which vent holes 51a and 51b are formed in both the force detection chamber and the sensor mounting unit.

그리고 역시 도 3을 참조하면, And also referring to Figure 3,

상기 압력검출실 내부벽을 벨로우즈(52) 형태로 구성하여 유체 압력 측정에 있어 보다 정확성을 가하였다.The inner wall of the pressure detection chamber was configured in the form of a bellows 52 to add more accuracy to the fluid pressure measurement.

즉, 상기 벨로우즈 구성에 의해 압력 측정시 발생될 수 있는 유체의 유동 즉, 유체의 출렁임을 최소화시키고 안정화시켜 보다 압력 측정에 정확성을 가할 수 있게 된다.That is, the bellows configuration minimizes and stabilizes the flow of fluid that may be generated during the pressure measurement, that is, the fluctuation of the fluid, thereby making it possible to add more accuracy to the pressure measurement.

또한 상기 벨로우즈(52)의 하단은 기밀성 유지를 위해 압력검출실의 외곽을 커버하는 형태로 마감되는 것이 바람직하고, 상황에 따라서는 별도의 패킹을 구비하여 기밀성을 도모시킨다.
In addition, the lower end of the bellows 52 is preferably closed in the form of covering the outside of the pressure detection chamber in order to maintain the airtightness, according to the situation to provide a separate packing to promote airtightness.

이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조를 갖는 "유체압력 측정장치"를 위주로 설명하였으나 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.
In the above description of the present invention, the fluid pressure measuring apparatus having a specific shape and structure has been described with reference to the accompanying drawings, but the present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art. It should be interpreted as falling within the protection scope of the invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10: 케이싱
11: 센서마운팅부 12: 압력검출실 13: 유로
20: 유체도입관 30: 센서부
41: 백금막 42: PFA막 43: 불소수지계열의 복합막
51: 벤트홀 52: 벨로우즈
P: 패킹부재Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10: casing
11: sensor mounting part 12: pressure detection room 13: flow path
20: fluid introduction pipe 30: sensor
41: platinum film 42: PFA film 43: composite film of fluorine resin series
51: vent hole 52: bellows
P: Packing member

Claims (4)

압력측정을 위한 유체가 도입되는 유체도입관;
상기 유체도입관으로부터 도입된 유체의 압력 측정을 위한 센서부; 및
상기 센서부가 안치되는 곳으로,
상기 유체도입관과 결합되어 유체의 이동로를 형성하는 유로와, 상기 유로에 연통되어 도입된 유체의 압력 측정을 위한 압력검출실이 구비된 케이싱;을 포함하여 이루어지되,
상기 압력검출실에 노출되는 센서부에는 부식방지수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 내산성이 향상된 유체압력측정장치.A fluid introduction pipe into which fluid for pressure measurement is introduced;
Sensor unit for measuring the pressure of the fluid introduced from the fluid introduction pipe; And
Where the sensor unit is placed,
And a casing having a flow path coupled with the fluid introduction pipe to form a flow path of the fluid, and a pressure detection chamber for measuring the pressure of the fluid introduced in communication with the flow path.
The sensor unit exposed to the pressure detection chamber further includes a corrosion preventing means, characterized in that the fluid resistance measuring apparatus with improved acid resistance. 제 1 항에 있어서, 상기 부식방지수단은
상기 센서부의 저면과 측면에 형성된 백금증착막인 것을 특징으로 하는 내산성이 향상된 유체압력측정장치.The method of claim 1, wherein the corrosion preventing means
Acid resistance resistance fluid pressure measurement device, characterized in that the platinum deposition film formed on the bottom and side of the sensor portion. 제 1 항에 있어서, 상기 부식방지수단은
상시 센서부의 저면에 형성된 불소수지계열의 복합막인 것을 특징으로 하는 내산성이 향상된 유체압력측정장치.The method of claim 1, wherein the corrosion preventing means
An acid resistance fluid pressure measuring device, characterized in that the composite film of the fluorine resin series formed on the bottom of the sensor unit at all times. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 케이싱에는 내부에 남아있는 부식성 물질의 배출을 위한 벤트홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 내산성이 향상된 유체압력측정장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
The casing is formed with a vent hole for the discharge of the corrosive material remaining inside the fluid resistance measurement apparatus characterized in that the acid resistance.
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