KR101554172B1 - Fluid leak sensing device from tube and fluid leak preventing device to outside - Google Patents

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KR101554172B1
KR101554172B1 KR1020150025802A KR20150025802A KR101554172B1 KR 101554172 B1 KR101554172 B1 KR 101554172B1 KR 1020150025802 A KR1020150025802 A KR 1020150025802A KR 20150025802 A KR20150025802 A KR 20150025802A KR 101554172 B1 KR101554172 B1 KR 101554172B1
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piping
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leakage
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강승동
최원철
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(주)씨엠코리아
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    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16L55/16—Devices for covering leaks in pipes or hoses, e.g. hose-menders

Abstract

A device in the present invention enables a fluid leakage from a tube to be easily found with eyes by color change of a sensor, has the sensor easily replaced, and certainly prevents leakage of a leaked fluid to the outside. The device in the present invention is formed by a structure including a sensor storage part in a clamp, forming a sensor case to be detachable, and installing and storing the sensor in the sensor case.

Description

배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치{Fluid leak sensing device from tube and fluid leak preventing device to outside}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a fluid leakage detection device and a fluid leakage prevention device,

본 발명은 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for detecting leakage of a pipe fluid and preventing leakage to the outside.

본 발명은 특히, 배관으로부터의 유체누출이 감지센서의 칼라 변화에 의해 육안으로 용이하게 파악되고, 감지센서의 교체가 용이하며, 누출된 유체의 외부로의 누출을 더욱 확실하게 방지할 수 있도록 한 것이다.In particular, the present invention relates to an apparatus and a method for detecting leakage of a fluid from a pipeline, which can be easily grasped visually by a color change of the detection sensor, easy replacement of the detection sensor, will be.

배관을 흐르는 유체(예를 들어, 가스 또는 케미칼) 누설을 감지하는 방법은, 가스 또는 케미칼이 공급원으로부터 배관을 통하여 다수의 제조 장비로 흐르도록 구성된 반도체 제조장비를 예로 들면, 여러 개로 분할 제작된 배관들의 연결부위에 가스 또는 케미칼이 누출되는지를 감지할 수 있는 센서를 설치하여 이들 감지센서의 감지값에 따라 판단하는 방법이 통상적으로 사용되고 있다.A method of detecting leakage of a fluid (for example, gas or chemical) flowing through a piping is a method of detecting a leakage of a fluid (for example, a gas or a chemical) flowing through the piping, such as a semiconductor manufacturing equipment configured such that a gas or a chemical flows from a supply source to a plurality of manufacturing equipment through piping, A sensor for detecting whether a gas or a chemical is leaking is installed at a connection site of the sensor, and the sensor is judged according to the detection value of the sensor.

좀 더 구체적으로는 예를 들어 압력센서의 증가치 여부로 배관으로부터의 가스 또는 케미칼 누출 여부를 판단하는 방법이 있을 수 있으며, 이러한 경우에는 감지값이 미리 설정된 기준치를 넘을 경우 가스가 누출되고 있는 것으로 판단하게 된다.More specifically, for example, there may be a method of determining whether gas or chemical leaks from a pipe due to an increase in the pressure sensor, and in such a case, it is judged that gas is leaking when the detection value exceeds a preset reference value .

그러나 이러한 가스 또는 케미칼 감지 및 감지값을 이용한 누출의 정도 판단방법은, 감지값을 기초로 가스 누출 여부를 판단하는 소프트웨어가 반드시 수반되어야 하므로 판단 절차가 복잡해질 뿐만 아니라, 복수 개의 배관 연결부위 중 가스 누출이 발생된 연결부위를 식별하는 동작이 별도로 행해져야 하는 등, 배관 전체 길이를 감안할 때 가스 누출 감지 및 판단동작이 전체적으로 복잡해질 수 있다는 문제점이 있었다.However, the method of determining the degree of leakage using the gas or chemical sensing and sensing value is not only complicated in the determination procedure because the software for judging the gas leakage based on the sensing value must necessarily be involved, The operation of identifying the connection portion where the leakage has occurred must be separately performed. Therefore, the gas leakage detection and judgment operation may be complicated as a whole when the entire length of the pipe is considered.

구체적인 종래 기술로는 특허등록 제10-0857235호(2008. 09. 01.등록)가 있다.As a concrete prior art, there is a patent registration No. 10-0857235 (registered on 09.01.2008).

상기 종래기술은 공정 챔버의 가스 누출을 감지하기 위하여 오피리스관 형태의 외부 펌프를 이용하는 기술로, 구성이 복잡할 뿐만 아니라, 동작이 용이하지 않고, 배출량 또는 배출상황이 정확히 판단되지 못하는 문제점이 있었다.
The prior art has a problem in that it is not only complicated in construction but also is not easy to operate and can not accurately determine the amount of discharged or discharged state because the technique uses an external pump of an apical pipe type to detect gas leakage in the process chamber .

본 발명은 상기와 같은 종래 배관의 가스누출 감지기술에 관련된 문제점을 해소하기 위하여 이루어진 것으로써, 본 발명의 목적은 배관으로부터 가스 또는 케미칼 등의 유체누출이 발생하는 경우 칼라가 변하도록 한, 배관 유체누출 감지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Disclosure of Invention Technical Problem [8] Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems occurring in the prior art, A leak detection device is provided.

본 발명의 다른 목적은, 감지센서의 실시간 교체가 가능하도록 한, 배관 유체누출 감지장치를 제공하는데 그 목적이 있다. It is another object of the present invention to provide a piping fluid leakage detection device capable of real-time replacement of a detection sensor.

본 발명의 또 다른 목적은, 감지센서가 육안으로 보여 유체 누출의 실시간 확인이 가능하도록 한, 배관 유체누출 감지장치를 제공하는데 그 목적이 있다. It is still another object of the present invention to provide a piping fluid leakage detection device that allows a sensing sensor to visually observe fluid leakage in real time.

본 발명의 또 다른 목적은, 배관으로부터 누출된 유체의 외부 누출을 방지하도록 시일링 기능을 갖도록 한, 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.It is a further object of the present invention to provide a piping fluid leakage detection device and a leakage prevention device for outside, which has a sealing function to prevent external leakage of a fluid leaked from a pipe.

본 발명의 기타 목적들은 이하의 상세한 설명으로부터 명확하게 이해될 것이다.
Other objects of the present invention will be clearly understood from the following detailed description.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 배관 유체누출 감지장치는, 배관 연결부를 내측으로 수용하는 보호커버 형태의 제1클램프가 구성되고, 배관 연결부는 배관 내부를 흐르는 가스 및/또는 케미칼의 누출을 방지하도록 오링 및 가스켓으로 시일링된 배관에 있어서, 배관 연결부로부터 누출되는 가스 및/또는 케미칼을 감지하여 칼라가 변화되는 감지센서가 장착된 감지센서 케이스를 배관 연결부에 인접하여 구성한 것을 특징으로 한다.In order to accomplish the above object, the present invention provides a piping fluid leakage detection apparatus comprising a first clamp in the form of a protective cover for receiving a piping connection part inside, and a piping connection part for preventing leakage of gas and / A sensing sensor case having a sensing sensor for detecting a gas and / or a chemical leaking from a pipe connection portion and changing a color is disposed adjacent to the pipe connection portion in the piping sealed with the O-ring and the gasket.

감지센서는, 누출되는 가스 및/또는 케미칼을 감지함에 따라 칼라가 변하는 것을 특징으로 한다.The detection sensor is characterized in that the color changes as it senses the gas and / or the chemical that is leaked.

감지센서는, 배관으로부터 유출되는 가스및 또는 케미칼의 종류, 량, 온도, 압력에 따라 칼라가 변하는 것을 특징으로 한다.The detection sensor is characterized in that the color changes according to the type and amount of the gas flowing out of the pipe and / or the chemical, the temperature, and the pressure of the chemical.

감지센서는, 흡수 또는 흡착력을 갖는 수지, 폴리머, 세라믹, 종이, 스펀지, 실리카, 유리, 쿼츠, 의류, 고무 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.The detection sensor is characterized in that it is any one of resin, polymer, ceramic, paper, sponge, silica, glass, quartz, garment and rubber having absorption or attraction force.

감지센서는, 가스 및 또는 케미칼의 종류, 량, 온도, 압력에 따라 칼라가 변하는 만능지시약, 산성 지시약, 염기성 지시약, 천연 지시약 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다. The detection sensor is characterized in that it is any one of a universal indicator, an acid indicator, a basic indicator, and a natural indicator, the color of which changes according to the kind and amount of the gas and / or the chemical.

감지센서 케이스는, 육안으로 감지센서가 보이도록 투명재질로 제작된 것을 특징으로 한다. The detection sensor case is characterized by being made of a transparent material so that the detection sensor can be seen with the naked eye.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치는, 배관 연결부를 내측으로 수용하는 보호커버 형태의 제1클램프가 구성되고, 상관 연결부는 배관 내부를 흐르는 가스 및/또는 케미칼의 누출을 방지하도록 오링 및 가스켓으로 시일링된 배관에 있어서, 배관 연결부로부터 누출되는 가스 및/또는 케미칼을 감지하여 칼라가 변화되는 감지센서 및 상기 감지센서 케이스를 제1클램프에 오링 및 가스켓으로 시일링되도록 부착하여 육안으로 감지센서가 보이도록 투명재질로 제작되며, 상기 배관 연결부로부터 누출된 가스 및/또는 케미칼의 외부 누출을 방지하도록 시일링 기능을 하는 제2 클램프로 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to accomplish the above object, there is provided an apparatus for detecting leakage of piping fluid and leakage to the outside, comprising a first clamp in the form of a protective cover for receiving a piping connection part inward, And a sensor for detecting a gas and / or a chemical leaking from the piping connection portion and changing the color, and a sensor sensor case which is connected to the first clamp by an O-ring and a gasket And a second clamp which is made of a transparent material so that the detection sensor is visible to the naked eye and has a sealing function to prevent leakage of gas and / or chemicals leaked from the pipe connection portion. do.

본 발명의 누출 방지장치는, 감지센서의 교체를 위해 배관에 대한 잠금 및 해제 구조를 갖도록 복수 개로 분할 제작되며, 이들 분할된 클램프에 감지센서케이스 수용부가 구성되어 이 수용부에 각각 감지센서가 수납된 감지센서케이스가 결합되는 특징으로 한다.The leakage preventing device of the present invention is divided into a plurality of parts so as to have a locking and releasing structure with respect to the piping for replacing the detecting sensor. The detecting sensor case accommodating part is formed in the divided clamps, And the sensor case of the sensor is combined.

본 발명의 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치에 따르면, 배관으로부터 유체누출이 발생하는 경우 감지센서의 칼라가 변하게 되므로 유체 누출여부를 누구라도 손쉽게 판단할 수 있다.According to the piping fluid leakage detection apparatus and the leakage prevention apparatus of the present invention, when the fluid leakage occurs from the piping, the color of the detection sensor is changed, so that anyone can easily judge whether the fluid leakage occurs.

또한 본 발명의 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치에 따르면, 감지센서의 실시간 교체가 가능하므로 유체의 누출여부를 실시간으로 정확하게 확인할 수 있다.Further, according to the piping fluid leakage detection apparatus and the leakage prevention apparatus of the present invention, since the detection sensor can be replaced in real time, the leakage of the fluid can be accurately confirmed in real time.

또한 본 발명의 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치에 따르면, 감지센서가 육안으로 보이므로 별도의 신호처리 동작 없이도 유체 누출 여부를 손쉽게 판단할 수 있다. Further, according to the piping fluid leakage detection apparatus and the leakage prevention apparatus of the present invention, since the detection sensor is visible to the naked eye, it is possible to easily determine whether or not the fluid leakage occurs without performing any signal processing operation.

또한 본 발명의 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치에 따르면, 배관으로부터 누출된 유체의 외부 누출을 방지하도록 시일링 기능을 가지므로 종래 오링으로 시일링된 구조에 더하여 배관으로부터 누출된 유체의 외부 누출을 더욱 확실하게 방지할 수 있다.
Further, according to the piping fluid leakage detection and leakage preventing device of the present invention, since the sealing function is provided to prevent the leakage of the fluid leaking from the pipe, it is possible to prevent the leakage of the fluid leaked from the pipe External leakage can be more reliably prevented.

도 1은 본 발명의 유체감지 및 외부로의 누출 방지장치의 조립도.
도 2는 도 1의 조립상태에서 소정량 분해된 상태도.
도 3 및 도 4는 도 1의 분해도.
도 5a 및 도 5b는 감지센서의 유체 감지 전후 상태를 나타낸 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an assembled view of a fluid sensing and leakage preventing device of the present invention. FIG.
Fig. 2 is a state in which a predetermined amount is decomposed in the assembled state of Fig. 1; Fig.
Figures 3 and 4 are exploded views of Figure 1;
FIGS. 5A and 5B are views showing a state before and after detection of a fluid of a detection sensor; FIG.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs.

본 발명의 유체 감지장치는 예를 들어, 반도체 제조에 사용되는 유체(가스 및/또는 케미칼) 공급라인에 설치되며, 공급라인은 배관을 예로 들 수 있다.The fluid sensing device of the present invention is installed, for example, in a fluid (gas and / or chemical) supply line used for manufacturing a semiconductor, and a supply line is exemplified by a pipe.

이러한 배관은 통상 전체길이에 걸쳐 연속되도록 통으로 제조된 배관을 사용하지 않고, 몇 개로 구분하여 분할 제작된 배관을 상호 연결시켜 유체흐름로로 제공되므로 주로 배관 연결부위에서 가스 또는 케미칼의 누출이 발생하게 된다.Such a pipe is usually provided to the fluid flow path by interconnecting divided pipes divided into several, rather than using a pipe made of a pipe so as to be continuous over the entire length, so that leakage of gas or chemical occurs mainly on the pipe connection portion .

이때, 배관을 서로 연결 결합하되, 배관의 내부를 흐르는 가스 및/또는 케미칼이 누출되지 않도록 연결부위를 오링으로 시일링(밀폐)하고, 클램프를 구성하여 배관에 대한 잠금 및 해제가 가능하도록 한다.At this time, the piping is connected to each other, and the connection part is sealed with an O-ring so as to prevent gas and / or chemicals flowing in the piping from leaking, and a clamp is formed to lock and unlock the piping.

그러나 배관 연결부위를 오링으로 밀폐하더라도 가스 및/또는 케미칼이 누출될 수 있는바, 이러한 경우는 예를 들어, 오링이 배관 연결부위를 충분하지 못하게 밀폐시켰다거나 혹은 오랜 사용으로 마모가 되는 것 등등이 원인이 될 수 있다.However, even if the piping connection is sealed with an O-ring, gases and / or chemicals may leak. For example, if the O-ring is not sufficiently sealed in the piping connection or is worn for a long time, etc. It can be a cause.

따라서 본 발명은 이러한 경우를 대비하여 추가 시일링 구조와, 가스 및/또는 케미칼 누출 감지 등 복수 기능을 갖는 장치를 제공하는 것이다Therefore, the present invention provides an additional sealing structure and a device having a plurality of functions such as gas and / or chemical leak detection for this case

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명의 유체누출 감지장치는, 가스 및/또는 케미칼 누출을 감지하는 감지센서(60)가 구성된다.As shown in FIGS. 1 to 4, the fluid leakage detection apparatus of the present invention comprises a detection sensor 60 for detecting gas and / or chemical leakage.

감지센서(60)는, 배관 연결부위에 인접하는 클램프 부분에 구성되는 것으로,예를 들어, 가스 및/또는 케미칼 누출량, 종류, 농도 등 여러 가지 조건에 따라 기본칼라에서 다른 칼라로 변하는 원리를 이용하여 누출을 감지하도록 한 것인바, 만능지시약, 산성 지시약, 염기성 지시약, 천연 지시약 중 어느 하나로 정하는 것이 바람직하다.The detection sensor 60 is configured in a clamp portion adjacent to the piping connection portion. For example, the detection sensor 60 uses a principle that changes from a basic color to a different color according to various conditions such as a gas and / or a chemical leakage amount, To detect leaks, it is preferable to select one of universal indicator, acid indicator, basic indicator, and natural indicator.

감지센서(60)는 또한, 흡수 또는 흡착력을 갖는 수지, 폴리머, 세라믹, 종이, 스펀지, 실리카, 유리, 쿼츠, 의류, 고무 중 어느 하나를 사용하는 것이 바람직하다.It is preferable that the detection sensor 60 further use any one of resin, polymer, ceramic, paper, sponge, silica, glass, quartz, clothing, and rubber having absorbing or attracting power.

이와 같이 구성된 본 발명의 감지센서(60)는 배관 연결부위를 통해 가스 및/또는 케미칼이 누출되면 이를 감지하여 칼라가 변하고, 이러한 칼라 변화를 사용자가 확인함으로써 가스 및/또는 케미칼 누출에 대한 적절한 조치가 신속하게 취해지도록 한다.The detection sensor 60 of the present invention configured as described above detects a gas and / or a chemical leaking through a piping connection portion to change the color, and the user can confirm the change in color, so that appropriate measures for gas and / To be taken quickly.

가스 및/또는 케미칼 감지에 따라 감지센서(60)의 칼라가 변화되는 상태를 도 5a 및 도 5b로 나타내었다. 5A and 5B show states in which the color of the detection sensor 60 is changed according to the gas and / or chemical detection.

상기와 같은 감지센서를 갖는 본 발명의 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치는, 가스 및/또는 케미칼 누출을 감지하는 감지센서(60)와, 상기 감지센서(60)를 수용하고, 종래 배관의 연결부위 및 제1 클램프(40)를 수용하여 배관 연결부위로부터 누출된 가스 및/또는 케미칼의 외부 누출을 방지하도록 2차 시일링 구조를 갖는 제2 클램프(70)로 구성된다. The apparatus for detecting leakage of piping fluid and preventing leakage to the outside of the present invention having the above-described sensor includes a sensor 60 for detecting a gas and / or a chemical leak, And a second clamp 70 having a secondary seal ring structure for receiving the connection portion of the pipe and the first clamp 40 to prevent leakage of gas and / or chemical leaked from the pipe connection portion.

감지센서(60)는, 제2 클램프(70)에 구성된 감지센서 수용부(75)에 수용되어, 배관 연결부위로부터 누출된 가스 및/또는 케미칼의 외부 누출을 감지하게 된다. The sensing sensor 60 is accommodated in the sensing sensor accommodating portion 75 formed in the second clamp 70 to sense an external leak of the gas and / or the chemical leaked from the pipe connecting portion.

제2 클램프(70)는, 배관의 연결부위 및 제1 클램프(40)를 전체적으로 수용하므로, 배관 연결부위로부터 누출된 가스 및/또는 케미칼의 외부 누출을 추가적으로 방지하게 된다. The second clamp 70 entirely accommodates the connecting portion of the pipe and the first clamp 40, thereby further preventing leakage of the gas and / or the chemical leaked from the pipe connecting portion.

제2 클램프(70)는 또한, 일부분이 투명재질로 제작되어 가스 및/또는 케미칼의 누출에 의해 감지센서(60)의 칼라가 기본칼라로부터 변하면 그 변한 상태를 사용자가 육안으로 인식 가능하도록 하고, 더욱 구체적으로는 칼라 종류까지도 육안으로 식별 가능하도록 한다. The second clamp 70 is also made of a transparent material so that the user can visually recognize the changed state of the sensor 60 when the color of the sensor 60 is changed from the basic color due to leakage of the gas and / More specifically, the type of color can be visually recognized.

제2 클램프(70)는 또한, 실질적으로 상기 배관 및 제1 클램프(40)를 한 번 더 감싸는 기능을 갖는 것으로, 잠금 및 해제 기능을 갖도록 2 개의 클램프(70a)(70b)로 분할 제작된다. 이들 클램프(70a)(70b)들은 록킹부(B)(N)에 의해 볼트 너트식으로 배관에 대한 잠금 및 해제가 가능하다. The second clamp 70 also has a function of substantially once again wrapping the pipe and the first clamp 40 and is divided into two clamps 70a and 70b so as to have a lock and release function. These clamps 70a and 70b can be locked and unlocked with respect to the pipe by a bolt-nut type by a locking portion B (N).

도 3 및 도 4를 참조하면, 분할 제작된 제2 클램프(70a)(70b)의 수용부(75)에 감지센서(60)가 각각 수용됨을 알 수 있으며, 이로 인해 가스 및/또는 케미칼의 누출이 감지되고, 외부로의 누출을 방지할 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 3 and 4, it can be seen that the detection sensor 60 is accommodated in the receiving portion 75 of the second clamps 70a and 70b, respectively, so that leakage of the gas and / or the chemical It can be detected that the leakage to the outside can be prevented.

도 3 및 도 4에 있어서, 제2 클램프(70)에 형성된 감지센서 수용부(75)는, 시일링(C)을 통해 감지센서케이스(66)에 의해 개방 또는 폐쇄된다.3 and 4, the detection sensor receiving portion 75 formed in the second clamp 70 is opened or closed by the detection sensor case 66 through the seal ring C. [

감지센서 케이스(65)는, 제2 클램프(70)에 형성된 수용부(75)의 직경보다 큰 직경을 갖는 머리부(65a)와, 상기 수용부(75)내로 삽입되는 삽입부(65b)와, 감지센서 케이스 커버(67)와, 감지센서 케이스 시일링(68)으로 구성되어 수용부(75)내에 수용된 감지센서(60)를 외부로부터 밀폐시킨다. The detection sensor case 65 includes a head portion 65a having a diameter larger than the diameter of the receiving portion 75 formed in the second clamp 70 and an insertion portion 65b inserted into the receiving portion 75 A sensing sensor case cover 67 and a sensing sensor casing seal 68 to seal the sensing sensor 60 accommodated in the accommodating portion 75 from the outside.

이와 같이 구성된 본 발명의 배관의 유체누출 감지 및 방지장치의 동작을 설명한다.The operation of the fluid leakage detection and prevention apparatus of the piping constructed as above will be described.

반도체 제조공정이 수행되면, 가스 및/또는 케미칼이 공급라인인 배관을 통해 흐르면서 반도체를 제조하게 된다.When the semiconductor manufacturing process is performed, a gas and / or a chemical flows through the piping as a supply line to produce a semiconductor.

이러한 과정 중 다양한 원인, 예를 들어 배관 및 오링의 마모 등으로 인해 가스 및/또는 케미칼이 누출되는 상황이 발생할 수 있다. During this process, gas and / or chemical leaks may occur due to various causes, for example, wear of pipes and o-rings.

이와 같이 가스 및/또는 케미칼이 배관의 오링부분 또는 다른 부분으로부터 누출되면 종래에는 누출된 가스 및/또는 케미칼이 외부로 누출되어 심각한 문제를 발생할 수 있었다. 배관으로부터 외부로 누출된 가스 및/또는 케미칼은 그 량, 종류, 온도 및 압력 등에 따라 일정공간에 머무르거나 혹은 팽창되어 압력이 높아질 수 있으므로 대단히 위험한 상황을 초래할 수 있는 것이다.When the gas and / or the chemical leaks from the O-ring portion or other portion of the pipe, the leaked gas and / or the chemical leaked out to the outside conventionally, and serious problems may occur. Gas and / or chemicals leaking to the outside from a pipe may cause a very dangerous situation because it may stay in a certain space depending on the amount, type, temperature and pressure, or may be expanded to increase the pressure.

배관으로부터 가스 및/또는 케미칼이 누출되면 감지센서(60)는 칼라가 기본칼라로부터 다른 칼라로 변하게 된다. 칼라는 다양한 조건하에 변할 수 있다. 예를 들어, 위에 언급한 바와 같이 가스 및/또는 케미칼 종류, 량, 배관 내 온도 및 압력 이외에도, 감지센서(60)와 오링간에 형성된 소정공간의 압력 또는 밀도의 정도, 감지센서(60)에 대한 가스 및/또는 케미칼의 접촉 정도 등이 있을 수 있다. When the gas and / or the chemical leaks from the pipe, the detection sensor 60 changes the color from the basic color to the other color. The color can vary under various conditions. For example, in addition to the type and amount of gas and / or chemicals, temperature and pressure in the piping, the pressure or density of the predetermined space formed between the sensing sensor 60 and the O- The degree of contact of gas and / or chemicals, and the like.

따라서 사용자는 상기와 같은 여러 가지 조건하에서 변하는 감지센서(60)의 칼라를 투명 재질의 제2 클램프(70)를 통해 인식하여, 반도체 제조공정 중단, 배관 수리 등의 적절한 조치를 취하게 된다. Accordingly, the user recognizes the color of the sensing sensor 60, which changes under various conditions as described above, through the second clamp 70 made of transparent material, and takes appropriate measures such as stopping the semiconductor manufacturing process and repairing the pipe.

또한 수용부(75)로부터 감지센서 케이스(65)를 분리하여 감지센서(60)를 교체하게 된다. Also, the sensing sensor case 65 is detached from the accommodating portion 75 to replace the sensing sensor 60.

한편, 상기에서 가스 및/또는 케미칼이 배관의 연결부위를 통해 누출되는 것을 감지하고 외부로의 누출을 방지하는 것으로 설명하였으나, 이에 한정하는 것은 아니며, 예를 들어 배관의 임의 부분마다 본 발명의 감지센서를 구성하여 배관으로부터의 가스 및/또는 케미칼의 누출을 감지할 수 있도록 할 수도 있다.
Meanwhile, in the above description, it has been described that gas and / or chemical leaks through the connecting portion of the piping and prevents leakage to the outside. However, the present invention is not limited to this. For example, A sensor may be configured to detect gas and / or chemical leaks from the piping.

40, 70 : 클램프 60 : 감지센서
65 : 감지센서 케이스 67 : 감지센서 케이스 커버
68 : 시일링 75 : 감지센서 수용부 40, 70: Clamp 60: Detection sensor
65: Detection sensor case 67: Detection sensor case cover
68: Sealing 75: Detection sensor accommodating portion

Claims (12)

배관 연결부를 내측으로 수용하는 보호커버 형태의 제1클램프 및 제2클램프가 구성되고, 상기 배관연결부는 배관 내부를 흐르는 가스 및/또는 케미칼의 누출을 방지하도록 오링 및 가스켓으로 시일링된 배관에 있어서,
상기 배관 연결부로부터 누출되는 가스 및/또는 케미칼을 감지하여 칼라가 변화되는 감지센서가 장착된 감지센서 케이스를 배관 연결부에 인접하여 구성하고,
상기 감지센서 케이스는, 제2클램프에 형성된 수용부의 직경보다 큰 직경을 갖는 머리부와, 상기 수용부내로 삽입되는 삽입부와, 감지센서 케이스 커버와, 감지센서 케이스 시일링으로 구성되어 수용부내에 수용된 감지센서를 외부로부터 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치. A first clamp and a second clamp in the form of a protective cover for accommodating the piping connection portion inside are formed, and the piping connection portion is a piping sealed with o-rings and gaskets to prevent leakage of gas and / or chemicals flowing in the piping ,
A sensing sensor case having a sensing sensor for sensing a gas and / or a chemical leaking from the pipe connection portion and changing a color thereof is disposed adjacent to the pipe connection portion,
The sensing sensor case includes a head portion having a diameter larger than a diameter of the receiving portion formed in the second clamp, an insertion portion inserted into the receiving portion, a detection sensor case cover, and a detection sensor case sealing, Wherein the sensing sensor is enclosed from the outside. 제1항에 있어서, 상기 감지센서는,
누출되는 가스 및/또는 케미칼을 감지함에 따라 칼라가 변하는 것을 특징으로 하는 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치.The apparatus according to claim 1,
Characterized in that the color changes as the gas and / or the chemical being leaked is detected. 제1항에 있어서, 상기 감지센서는,
배관으로부터 유출되는 가스및 또는 케미칼의 종류, 량, 온도, 압력에 따라 칼라가 변하는 것을 특징으로 하는 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치.The apparatus according to claim 1,
Wherein the color changes depending on the type of gas, the type of the chemical, the amount of the chemical, the temperature, and the pressure of the gas flowing out of the piping. 제1항에 있어서, 상기 감지센서는,
흡수 또는 흡착력을 갖는 수지, 폴리머, 세라믹, 종이, 스펀지, 실리카, 유리, 쿼츠, 의류, 고무 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치.The apparatus according to claim 1,
Wherein at least one of the resin and the polymer is a resin, a polymer, a ceramic, a paper, a sponge, a silica, a glass, a quartz, a garment, or a rubber. 제1항에 있어서, 상기 감지센서는,
가스 및 또는 케미칼의 종류, 량, 온도, 압력에 따라 칼라가 변하는 만능지시약, 산성 지시약, 염기성 지시약, 천연 지시약 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치. The apparatus according to claim 1,
Wherein the indicator is any one of a universal indicator, an acid indicator, a basic indicator, and a natural indicator, the color of which varies depending on the kind, amount, temperature and pressure of the gas and / or the chemical. 제1항에 있어서, 상기 감지센서 케이스는,
육안으로 감지센서가 보이도록 투명재질로 제작된 것을 특징으로 하는 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치. [2] The apparatus of claim 1,
Wherein the sensor is made of a transparent material so that the sensing sensor can be seen by the naked eye. 배관 연결부를 내측으로 수용하는 보호커버 형태의 제1클램프가 구성되고, 상기 배관 연결부는 배관 내부를 흐르는 가스 및/또는 케미칼의 누출을 방지하도록 오링 및 가스켓으로 시일링된 배관에 있어서,
상기 배관 연결부로부터 누출되는 가스 및/또는 케미칼을 감지하여 칼라가 변화되는 감지센서 및 상기 감지센서 케이스를 제2클램프에 오링 및 가스켓으로 시일링되도록 부착하여 육안으로 감지센서가 보이도록 투명재질로 제작되며, 상기 배관 연결부로부터 누출된 가스 및/또는 케미칼의 외부 누출을 방지하도록 시일링 기능을 하고, 감지센서 케이스를 수용하는 제2클램프로 구성되는 것을 특징으로 하는 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치.A first clamp is formed in the form of a protective cover for receiving a piping connection portion inside, and the piping connection portion is piping sealed with an O-ring and a gasket to prevent leakage of gas and / or chemicals flowing in the piping,
A sensing sensor for detecting a gas and / or a chemical leaking from the pipe connection portion and a sensor for detecting a change in color, and the sensing sensor case are attached to a second clamp so as to be sealed with an o-ring and a gasket, And a second clamp that functions as a seal to prevent leakage of gas and / or chemicals leaking from the pipe connection portion and accommodates the sensing sensor case. Prevention device. 제7항에 있어서, 상기 감지센서는,
누출되는 가스 및/또는 케미칼을 감지함에 따라 칼라가 변하는 것을 특징으로 하는 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치.8. The apparatus as claimed in claim 7,
Characterized in that the color changes as the gas and / or the chemical being leaked is detected. 제7항에 있어서, 상기 감지센서는,
배관으로부터 유출되는 가스및 또는 케미칼의 종류, 량, 온도, 압력에 따라 칼라가 변하는 것을 특징으로 하는 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치.8. The apparatus as claimed in claim 7,
Wherein the color changes depending on the type of gas, the type of the chemical, the amount of the chemical, the temperature, and the pressure of the gas flowing out of the piping. 제7항에 있어서, 상기 감지센서는,
흡수 또는 흡착력을 갖는 수지, 폴리머, 세라믹, 종이, 스펀지, 실리카, 유리, 쿼츠, 의류, 고무 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치.8. The apparatus as claimed in claim 7,
Wherein at least one of the resin and the polymer is a resin, a polymer, a ceramic, a paper, a sponge, a silica, a glass, a quartz, a garment, or a rubber. 제7항에 있어서, 상기 감지센서는,
가스 및 또는 케미칼의 종류, 량, 온도, 압력에 따라 칼라가 변하는 만능지시약, 산성 지시약, 염기성 지시약, 천연 지시약 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치. 8. The apparatus as claimed in claim 7,
Wherein the indicator is any one of a universal indicator, an acid indicator, a basic indicator, and a natural indicator, the color of which varies depending on the kind, amount, temperature and pressure of the gas and / or the chemical. 제7항에 있어서, 상기 누출 방지장치는,
감지센서의 교체를 위해 배관에 대한 잠금 및 해제 구조를 갖도록 복수 개로 분할 제작되며, 이들 분할된 클램프에 감지센서케이스 수용부가 구성되어 이 수용부에 각각 감지센서가 수납된 감지센서케이스가 결합되는 것을 특징으로 하는 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치.8. The leakage preventing device according to claim 7,
And a sensor case accommodating portion is formed in each of the divided clamps so that a sensing sensor case accommodating therein a sensing sensor is coupled to the accommodating portion Features a piping fluid leakage detection and leakage prevention device to the outside.
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101817897B1 (en) * 2017-07-04 2018-01-11 (주) 동양인더스트리 Cover for leakage prevention
KR102012587B1 (en) * 2018-03-07 2019-08-20 이종성 Sealed cover for flange
KR102043731B1 (en) * 2018-11-29 2019-11-12 삼성전자서비스 주식회사 Jig assembly for use in detecting refrigerant leakage generated in refrigerator
KR20200022062A (en) * 2018-08-21 2020-03-03 주식회사 세승 Pipe fixing apparatus and clamp apparatus for fixing of pipe
KR102347066B1 (en) * 2020-09-14 2022-01-03 김준범 Leak prevention clamp device capable of detecting leaks
WO2022005275A1 (en) * 2020-06-30 2022-01-06 Petroliam Nasional Berhad (Petronas) An inspection system, a clamping structure and an inspection method in association with the inspection system
KR102352798B1 (en) * 2021-10-18 2022-01-18 서우실업 주식회사 Apparatus for water leakage prevention with packing slip prevention structure
WO2023027426A1 (en) * 2021-08-23 2023-03-02 주식회사 아이디케이랩 Leak detection apparatus
US20230400129A1 (en) * 2022-06-08 2023-12-14 International Engine Intellectual Property Company, Llc System for reducing band clamp failure

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101310297B1 (en) * 2013-03-27 2013-09-23 주식회사 비비테크 Clamp capable of checking gas leakage for vacuum pipe
KR101477238B1 (en) * 2014-04-03 2014-12-30 (주)씨엠코리아 Fluid leak sensing device from tube and fluid leak preventing device to outside

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101310297B1 (en) * 2013-03-27 2013-09-23 주식회사 비비테크 Clamp capable of checking gas leakage for vacuum pipe
KR101477238B1 (en) * 2014-04-03 2014-12-30 (주)씨엠코리아 Fluid leak sensing device from tube and fluid leak preventing device to outside

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101817897B1 (en) * 2017-07-04 2018-01-11 (주) 동양인더스트리 Cover for leakage prevention
KR102012587B1 (en) * 2018-03-07 2019-08-20 이종성 Sealed cover for flange
KR20200022062A (en) * 2018-08-21 2020-03-03 주식회사 세승 Pipe fixing apparatus and clamp apparatus for fixing of pipe
KR102091182B1 (en) * 2018-08-21 2020-03-20 주식회사 세승 Pipe fixing apparatus and clamp apparatus for fixing of pipe
KR102043731B1 (en) * 2018-11-29 2019-11-12 삼성전자서비스 주식회사 Jig assembly for use in detecting refrigerant leakage generated in refrigerator
WO2022005275A1 (en) * 2020-06-30 2022-01-06 Petroliam Nasional Berhad (Petronas) An inspection system, a clamping structure and an inspection method in association with the inspection system
KR102347066B1 (en) * 2020-09-14 2022-01-03 김준범 Leak prevention clamp device capable of detecting leaks
WO2023027426A1 (en) * 2021-08-23 2023-03-02 주식회사 아이디케이랩 Leak detection apparatus
KR102352798B1 (en) * 2021-10-18 2022-01-18 서우실업 주식회사 Apparatus for water leakage prevention with packing slip prevention structure
US20230400129A1 (en) * 2022-06-08 2023-12-14 International Engine Intellectual Property Company, Llc System for reducing band clamp failure
US11898669B2 (en) * 2022-06-08 2024-02-13 International Engine Intellectual Property Company, Llc System for reducing band clamp failure

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