KR20120010371A - Apparatus for controlling constant temperature using air - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A thermostat apparatus is provided to reduce power consumption because capacity of a heat exchange device is reduced by using air instead of liquid to maintain temperature of a container. CONSTITUTION: A thermostat apparatus comprises an internal bath(10), an external bath(20), a thermoelectric module(30), a circulation fan(40), and a controller. The internal bath accommodates a container and a temperature sensor is installed in the internal bath having air inlet holes. An air passage is formed between the external bath and the internal bath. The thermoelectric module heats or cools air in the external bath and the circulation fan circulates the air. The controller controls temperature of the internal bath with temperature information receiving from the temperature sensor.

Description

공기를 이용한 항온 유지 장치{Apparatus for controlling constant temperature using air}Apparatus for controlling constant temperature using air}

본 발명은 항온 유지 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 액체약액이 충전된 용기의 온도를 공기를 이용하여 일정하게 유지하도록 하는 공기를 이용한 항온 유지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a constant temperature maintaining apparatus, and more particularly, to a constant temperature maintaining apparatus using air to keep the temperature of a container filled with a liquid chemical liquid constant using air.

항온 유지 장치는 내부에 충전물이 담긴 용기의 온도를 일정하게 유지시키는 장치로써, 반도체 제조 공정, 디스플레이 제조 공정, LED 제조공정에 사용되는 용기(캐니스터)의 온도를 유지하거나, 화학 분석 분야의 재료나 부품 또는 약품 시약이 담긴 용기의 온도를 일정하게 유지하는 목적으로 사용된다. 반도체나 디스플레이 제조 공정, LED 제조 공정에서의 용기(캐니스터)의 항온 유지 장치는 용기의 온도를 일정하게 유지하여 안정적인 버블 반응을 유지하는 목적으로 사용되며 이는 CVD, MOCVD 공정에서 매우 중요한 사항이며, 기타 화학 분석 분야나 개발, 연구분야에서 약품, 재료, 부품 또는 시약을 일정한 온도로 유지하는 것은 중요하다. The constant temperature maintaining device is a device that maintains a constant temperature of a container containing a filling therein, and maintains a temperature of a container (canister) used in a semiconductor manufacturing process, a display manufacturing process, or an LED manufacturing process, It is used to maintain a constant temperature in a container containing part or drug reagents. The constant temperature holding device of the canister in semiconductor, display manufacturing, and LED manufacturing processes is used to maintain a stable bubble reaction by keeping the temperature of the container constant, which is very important in CVD and MOCVD processes. Keeping chemicals, materials, components or reagents at a constant temperature is important in chemical analysis, development and research.

종래의 항온 유지 장치는 보통 용기를 온도 조절이 가능한 배스(BATH)에 담아서 사용하는 BATH 구조가 적용된다. 즉, BATH 내부에 액체를 담그고 액체를 가열 또는 냉각을 하여 온도를 변화시켜 용기의 온도를 일정하게 유지하는 방식이다. 액체 온도를 균일하기 위해 순환 펌프가 BATH 내부에 장착되어 있고, 냉각 또는 가열을 위해 냉동기식 항온 장치는 냉각장치를 이용하여 액체를 냉각하고 별도의 히터를 이용하여 액체를 가열한다. 그리고, 전기식 항온 장치는 열전모듈의 극성전환을 이용하여 냉각과 가열을 하게 된다. Conventional constant temperature maintenance apparatus is usually applied to a BATH structure in which the container is used in a temperature-controlled bath (BATH). In other words, the temperature of the vessel is kept constant by immersing the liquid inside the BATH and heating or cooling the liquid to change the temperature. A circulation pump is mounted inside the BATH to equalize the liquid temperature, and for cooling or heating, the refrigerated thermostat cools the liquid using a chiller and heats the liquid using a separate heater. And, the electric constant temperature device is cooled and heated using the polarity switching of the thermoelectric module.

그런데, 기존의 액체를 이용한 항온 유지 장치는 다음과 같은 문제가 있다. 먼저 비열이 높은 액체의 온도를 변화시켜야 하기 때문에 큰 냉각 또는 가열 열량이 필요하며, 이는 에너지 소비가 증대되는 문제점이 발생한다. 또한, BATH 내부의 액체를 일정 수위로 관리해야 하기 때문에 관리 문제가 생기며, 수위 저하시 LOT FAIL 문제 발생 등 막대한 비용이 손실되는 문제점이 있다. 반도체나 LED 제조 공정에서 수위가 저하되면 용기(캐니스터)가 수면 위로 노출이 되므로 제어 온도 범위를 이탈하여 버블러 역할을 상실할 수 있고, 이 때문에 반도체나 LED 공정에서 진행된 LOT 전체를 FAIL로 처리하여 비용이 크게 손실된다. 또한, 화학분석 분야의 부품 또는 약품 시약, 재료 등을 사용할 때도 BATH 내부의 수위가 저하되면 항온 유지가 불가능하기 때문에 손실이 발생하게 된다. 또한 BATH 내부의 전체 액체의 온도를 변화시켜야 하기 때문에 초기 장치 구동시 목적 온도까지의 도달 시간이 오래 걸리는 문제점이 발생하게 된다. However, the constant temperature maintaining apparatus using the existing liquid has the following problems. First, a large amount of cooling or heating heat is required because the temperature of the liquid having a high specific heat needs to be changed, which causes an increase in energy consumption. In addition, since the liquid inside the BATH must be managed at a certain level, a management problem occurs, and when the water level decreases, there is a problem that a huge cost is lost, such as a LOT FAIL problem. If the water level decreases in the semiconductor or LED manufacturing process, the container (canister) is exposed to the surface of the water, so the bubbler role can be lost by moving out of the control temperature range. Therefore, the entire lot processed in the semiconductor or LED process can be treated as FAIL. The cost is largely lost. In addition, even when using the components or chemical reagents, materials, etc. in the field of chemical analysis, if the water level inside the BATH is lowered, it is impossible to maintain a constant temperature, a loss occurs. In addition, since the temperature of the entire liquid inside the BATH needs to be changed, a problem that a long time to reach the target temperature during initial device operation occurs.

본 발명은 상기의 문제점을 감안하여 안출된 것으로써, 용기의 온도 유지 매체로써 액체를 사용하지 않고 기체를 사용하도록 하는 공기를 이용한 항온 유지 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a constant temperature maintaining apparatus using air to use gas without using liquid as a temperature maintaining medium of a container.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 공기를 이용한 항온 유지 장치는 용기를 일정한 온도로 유지하기 위한 것으로써, 용기가 내부에 수용되며, 내부에 온도센서가 설치되고 공기유입공이 형성되는 내부 배스; 상기 내부 배스를 감싸도록 설치되며 내부 배스 사이에 공기 유로가 형성되는 외부 배스; 상기 외부 배스의 일측면에 접촉하도록 설치되어 상기 외부 배스 내부의 공기를 가열 또는 냉각시키도록 하는 열전모듈유닛; 상기 열전모듈유닛에 대응하도록 상기 외부 배스 내부에 설치되어 상기 열전모듈유닛에 의해 냉각 또는 가열 공기를 순환시키는 순환팬; 및 상기 온도센서로부터 수신되는 온도정보를 이용하여 상기 열전모듈유닛을 제어하여 상기 내부 배스의 온도를 조절하는 제어부를 포함하며, 상기 열전모듈유닛에 의해 냉각 또는 가열된 외부 배스의 공기는 상기 순환팬에 의해 순환되어 상기 공기유입공을 통해 내부 배스로 유입되어 상기 용기의 온도를 일정하게 유지한다.The constant temperature maintaining apparatus using the air according to the present invention for achieving the above object is to maintain the container at a constant temperature, the container is accommodated inside, the internal bath is installed inside the temperature sensor and the air inlet hole is formed; An outer bath installed to surround the inner bath and having an air passage formed between the inner baths; A thermoelectric module unit installed to contact one side of the outer bath to heat or cool the air in the outer bath; A circulation fan installed inside the external bath so as to correspond to the thermoelectric module unit and circulating cooling or heating air by the thermoelectric module unit; And a control unit controlling the thermoelectric module unit to control the temperature of the inner bath by using the temperature information received from the temperature sensor, wherein the air of the external bath cooled or heated by the thermoelectric module unit is the circulation fan. Is circulated by the flow through the air inlet into the inner bath to maintain a constant temperature of the vessel.

상기 공기유입공은 상기 내부 배스의 상부 측벽에 균일하게 분포하도록 형성되고, 상기 열전모듈유닛 및 상기 순환팬은 상기 외부 배스의 하부에 형성되어, 상기 열전모듈유닛에 의해 냉각 또는 가열된 외부 배스의 공기는 상기 순환팬에 의해 상승하여 상기 공기유입공을 통해 내부 배스로 유입된다.The air inlet is formed to be uniformly distributed on the upper side wall of the inner bath, the thermoelectric module unit and the circulation fan is formed in the lower portion of the outer bath, the outer bath of the cooling or heating by the thermoelectric module unit Air rises by the circulation fan and flows into the internal bath through the air inlet.

상기 열전모듈유닛은, 극성 전환에 의해 발열 또는 흡열하는 열전모듈; 일측면이 상기 열전모듈의 일측면과 접촉하도록 설치되고, 타측면에 상기 외부 배스 내부의 공기와 열전달하도록 다수의 방열핀이 설치되는 열교환부; 및, 상기 열전모듈의 타측면에 접하도록 설치되는 방열부를 포함한다.The thermoelectric module unit may include a thermoelectric module that generates or absorbs heat by changing polarity; A heat exchanger having one side installed in contact with one side of the thermoelectric module, and a plurality of heat dissipation fins installed on the other side to transfer heat with air in the external bath; And a heat dissipation unit installed to be in contact with the other side of the thermoelectric module.

한편 본 발명의 실시예에 따른 용기 항온 유지 장치는 상기 각 구성요소들을 감싸는 케이스를 더 포함하며, 상기 케이스 저면에는 상기 항온 유지 장치의 무게를 감지할 수 있는 무게감지부가 착탈 가능하게 설치되는 것이 바람직하다.Meanwhile, the container constant temperature maintaining apparatus according to the embodiment of the present invention further includes a case surrounding each of the components, and a weight sensing unit capable of detecting the weight of the constant temperature maintaining apparatus is detachably installed on the bottom of the case. Do.

본 발명에 의하면 용기의 온도 유지를 위해 액체를 사용하지 않고 공기를 사용함으로써 다음과 같은 효과가 있다. 첫째, 열교환 장치의 용량이 작아짐에 따라 소비전력이 낮고 냉동기의 냉매가스를 사용하지 않고 열전소자를 적용하므로 친환경적이고 소음과 진동이 없다. 둘째, 배스 내부의 액체를 관리하지 않아도 되므로 액체로 인한 누전 사고 등의 공정 사고를 미연에 방지할 수 있다. 그리고, 액체 누설 문제로 인한 공정 지연 시간을 감소시켜 제조 공정의 효율을 높일 수 있으며 이는 제조 비용의 감소를 가져오게 된다. 셋째, 비열이 낮은 기체(공기)의 온도를 변화시키므로, 목적 온도 도달까지의 대기시간을 절감할 수 있다. 마지막으로, 무게감지부를 적용함으로써 용기의 충전물의 잔량을 감지할 수 있어, 충전물 잔량 부족으로 인한 제조 공정 사고를 예방할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, by using air without using a liquid to maintain the temperature of the container has the following effects. First, as the capacity of the heat exchanger is reduced, power consumption is low, and since the thermoelectric element is applied without using the refrigerant gas of the refrigerator, it is eco-friendly and there is no noise and vibration. Second, since the liquid inside the bath does not need to be managed, process accidents such as a short circuit accident due to the liquid can be prevented in advance. In addition, the process delay time due to the liquid leakage problem can be reduced to increase the efficiency of the manufacturing process, which leads to a reduction in the manufacturing cost. Third, since the temperature of the gas (air) with low specific heat is changed, the waiting time until reaching the target temperature can be reduced. Finally, by applying the weight sensing unit can detect the remaining amount of the filling of the container, there is an effect that can prevent the manufacturing process accidents due to the lack of the remaining amount of the filling.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공기를 이용한 항온 유지 장치의 구조도,
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 공기를 이용한 항온 유지 장치의 구조도,
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 용기 항온 유지 장치의 구조도이다.1 is a structural diagram of a constant temperature maintaining apparatus using air according to an embodiment of the present invention,
2 is a structural diagram of a constant temperature maintaining apparatus using air according to another embodiment of the present invention,
3 is a structural diagram of a container constant temperature maintaining apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 상기와 같은 목적, 특징 및 다른 장점들은 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명함으로써 더욱 명백해질 것이다. 이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 공기를 이용한 항온 유지 장치를 상세히 설명하기로 한다.The above objects, features and other advantages of the present invention will become more apparent by describing the preferred embodiments of the present invention in detail with reference to the accompanying drawings. Hereinafter, a constant temperature maintaining apparatus using air according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1을 참조하면, 항온 유지 장치는 공기를 이용하여 용기(2)의 온도를 일정하게 유지하는 것으로써, 구체적으로 내부 배스(10), 외부 배스(20), 열전모듈유닛(30), 순환팬(40), 제어부, 무게감지부(50)를 포함한다. Referring to FIG. 1, the constant temperature maintaining apparatus maintains a constant temperature of the container 2 by using air. Specifically, the internal bath 10, the external bath 20, the thermoelectric module unit 30, and the circulation And a fan 40, a control unit and a weight sensing unit 50.

여기서 용기의 의미는, 반도체 제조 공정, 디스플레이 제조 공정, LED 제조공정에 사용되는 경우 캐니스터(버블러)를 의미하며, 화학 분석 분야의 약품 연구, 개발 분야의 경우 재료나 부품 또는 약품을 담는 용기를 의미하며, 따라서 본 발명에서 의미하는 용기는 내부에 목적물을 담아두는 매체를 의미하며, 본 발명의 항온 유지 장치는 이 목적물이 담겨진 용기의 온도를 일정하게 유지함으로써 결국 내부의 목적물의 온도를 일정하게 유지하도록 하는 것을 의미한다. The term container refers to a canister (bubble) when used in a semiconductor manufacturing process, a display manufacturing process, or an LED manufacturing process, and in the case of a chemical research or a chemical research field in a chemical analysis field, Meaning, according to the present invention means a container containing the object therein, the constant temperature maintaining apparatus of the present invention by maintaining a constant temperature of the container in which the object is contained in the end to maintain a constant temperature of the object inside It means to keep.

내부 배스(10)에는 액체약액이 담겨져 있는 용기(2)가 수용된다. 내부 배스(10)는 원통형 또는 단면이 사각형인 육면체 형상이 될 수 있다. 사각형인 경우 공기의 유로, 온도 균일성의 목적 달성을 위해 모서리는 라운드 처리되는 것이 바람직하다. 그리고, 재질은 녹이 슬지 않도록 스테인리스스틸, PVC, 수지 계열등이 적합하다. 그리고, 내부 배스(10)의 상부 측벽에는 공기유입공(12)이 균일하게 분포하도록 형성되어, 내부 배스(10) 외부의 공기(후술할 외부 배스의 공기)가 이 공기유입공(12)을 통해 내부 배스(10) 내부로 유입되게 된다. 이렇게 공기유입공(12)을 통해 유입된 가열 또는 냉각된 공기는 용기(2) 표면의 공기와 열교환하게 되어 용기(2)의 온도를 일정하게 유지하도록 한다.The inner bath 10 contains a container 2 in which a liquid chemical liquid is contained. The inner bath 10 may be in the shape of a cube or a cube that is rectangular in cross section. In the case of a rectangular shape, it is preferable that the corners are rounded to achieve the purpose of the air flow path and temperature uniformity. In addition, the material is suitable for stainless steel, PVC, resin series, etc. so as not to rust. In addition, the air inlet hole 12 is uniformly distributed on the upper sidewall of the inner bath 10, so that the air outside the inner bath 10 (the air of the outer bath to be described later) uses the air inlet hole 12. Through the inner bath 10 is to be introduced. The heated or cooled air introduced through the air inlet 12 is heat-exchanged with the air on the surface of the container 2 so as to keep the temperature of the container 2 constant.

내부 배스(10)는 용기(2) 등을 넣고 꺼낼 수 있게 상단이 개방형이며, 공기 배출을 차단하기 위해 탈착 커버가 설치된다. 한편, 내부 배스(10)에는 배스 내부 공기의 온도를 감지하는 온도센서(15)가 설치되며, 이 온도센서(15)는 내부 배스의 온도 정보를 제어부로 송출한다. The inner bath 10 is open at the top so that the container 2 or the like can be put in and taken out, and a detachable cover is installed to block air discharge. On the other hand, the internal bath 10 is provided with a temperature sensor 15 for sensing the temperature of the air in the bath, the temperature sensor 15 transmits the temperature information of the internal bath to the controller.

외부 배스(20)는 상기 내부 배스를 감싸도록 설치되며, 내부 몸체 사이에 공기 유로가 형성되도록 일정 공간이 형성된다. 외부 배스(20)의 구조나 재질 역시 내부 배스(10)와 유사하다. 즉, 원통형 또는 단면이 사각형인 육면체 형상이 될 수 있으며, 사각형인 경우 공기의 유로, 온도 균일성의 목적 달성을 위해 모서리는 라운드 처리되는 것이 바람직하다. 그리고, 재질은 녹이 슬지 않도록 스테인리스스틸, PVC, 수지 계열등이 적합하다. 또한 외부 배스(20) 역시 밀폐 구조를 갖기 위해 상단에는 탈착 커버가 설치된다.The outer bath 20 is installed to surround the inner bath, and a predetermined space is formed to form an air passage between the inner bodies. The structure or material of the outer bath 20 is also similar to the inner bath 10. That is, it may be a cylindrical shape or a hexahedral shape having a rectangular cross section, and in the case of a rectangular shape, it is preferable that the corners are rounded to achieve the purpose of air flow and temperature uniformity. In addition, the material is suitable for stainless steel, PVC, resin series, etc. so as not to rust. In addition, the outer bath 20 is also provided with a removable cover at the top to have a sealed structure.

외부 배스(20)의 하부에는 순환팬(40)이 설치된다. 순환팬(40)은 후술할 열전모듈유닛(30)에 대응하도록 외부 배스(20) 내부에 설치되어, 상기 열전모듈유닛에 의해 냉각 또는 가열 공기를 순환시키도록 한다. 순환팬(40)에 의해 가열 또는 냉각된 공기는 속이 빈 화살표와 같이 외부 배스(20) 내부의 공기 유로를 통해 상승하고, 공기유입공(12)을 통해 내부 배스(10) 내부로 유입된다. A circulation fan 40 is installed below the outer bath 20. The circulation fan 40 is installed inside the external bath 20 to correspond to the thermoelectric module unit 30 to be described later, so as to circulate cooling or heating air by the thermoelectric module unit. The air heated or cooled by the circulation fan 40 rises through the air flow path inside the outer bath 20 as a hollow arrow, and flows into the inner bath 10 through the air inlet 12.

열젼모듈유닛(30)은 상기 외부 배스(20)의 일측면 바람직하게는 저면에 접촉하도록 설치되어, 상기 외부 배스 내부의 공기를 가열 또는 냉각시키도록 하며, 구체적으로 열전모듈(32), 열교환부(34), 방열부(36)를 포함한다. 열전모듈(32)은 냉각시스템 또는 열펌프로서의 기능을 수행할 수 있게 되는 전자부품이다. 열전모듈은 다수의 열전소자가 배치되어 있어서 제어부의 제어에 의해 미도시된 전원공급부로부터 공급된 전원의 극성 전환에 의해 양측면을 통하여 흡열 또는 방열하게 된다. 열전모듈은 열에너지를 전기에너지로 또는 전기에너지를 열에너지로 직접 변환시킬 수 있는 전자부품으로서, 공급되는 전원의 극성을 제어함에 따라 열전방향을 역전시킴으로써 냉각 또는 가열로의 기능변환이 가능하여 열을 흡열면에서 방열면으로 이동시킬 수 있다. 또한, 공급되는 전압이나 전류를 제어함에 따라 0.05℃ 수준의 정밀한 온도제어도 가능하고, 소자를 가동시키기 위한 구동부분이 없기 때문에 진동 소음이 없으며, 열전반도체의 열전특성으로 이용하므로 냉매를 이용한 냉각시스템과 같은 오염이나 공해가 없는 특징이 있다. 열전모듈의 상세한 구조 및 특징은 본 발명이 속하는 기술분야에서 널리 알려진 사항이므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 열교환부(34)는 일측면이 열전모듈(32)의 일측면과 접촉하도록 설치되고, 타측면은 외부 배스(20)의 저면에 접촉하거나 또는 관통하도록 설치되며, 타측면의 표면에는 외부 배스(20) 내부의 공기와 열전달하도록 다수의 방열핀이 설치된다. 그리고, 방열부(36)는 열전모듈(32)의 타측면에 접하도록 설치된다. 방열부(36)는 냉각수가 유동하여 방열시키는 수냉식이 적용된다. 한편, 도 2를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 의하면 상기 방열부(36)는 공기를 이용하여 방열하는 공냉식 예를 들어 방열팬이 적용될 수 있다. The thermoelectric module unit 30 is installed to be in contact with one side of the outer bath 20, preferably the bottom surface, to heat or cool the air in the outer bath, specifically the thermoelectric module 32, heat exchange unit 34, the heat radiation part 36 is included. The thermoelectric module 32 is an electronic component that can perform a function as a cooling system or a heat pump. The thermoelectric module has a plurality of thermoelectric elements are arranged to absorb or radiate heat through both sides by switching the polarity of the power supplied from the power supply not shown by the control of the controller. A thermoelectric module is an electronic component that can directly convert thermal energy into electrical energy or electrical energy into thermal energy. The thermoelectric module reverses the thermoelectric direction according to the control of the polarity of the supplied power, thereby allowing the functional conversion of the cooling or heating furnace to absorb heat. Can be moved from the surface to the heat dissipation surface. In addition, precise temperature control of 0.05 ℃ is possible by controlling the supplied voltage or current, and there is no vibration part because there is no driving part to operate the device, and it is used as the thermoelectric characteristics of the thermoelectric semiconductor. It is characterized by no pollution or pollution. Detailed structure and features of the thermoelectric module are well known in the art to which the present invention pertains, and thus detailed descriptions thereof will be omitted. The heat exchange part 34 is installed so that one side is in contact with one side of the thermoelectric module 32, and the other side is installed to contact or penetrate the bottom of the external bath 20, and the external bath (surface) 20) A plurality of heat dissipation fins are installed to transfer heat with air inside. The heat dissipation part 36 is installed to contact the other side of the thermoelectric module 32. The heat dissipation unit 36 is a water-cooled type to radiate the cooling water flow. On the other hand, referring to Figure 2, according to another embodiment of the present invention, the heat dissipation unit 36 may be an air-cooled, for example, a heat dissipation fan to radiate heat using air.

제어부는 상기 내부 배스(10) 내부 공기의 온도를 조절하도록 열전모듈(32)을 제어한다. 제어부는 내부 배스(10) 내부의 온도센서(15)로부터 온도정보를 받아 열전모듈(32)을 출력양을 제어하여 내부 배스(10) 내부 공기의 온도를 조절하여 결국 용기(2)가 일정한 온도를 유지하도록 한다.The control unit controls the thermoelectric module 32 to adjust the temperature of the air inside the inner bath 10. The control unit receives the temperature information from the temperature sensor 15 inside the internal bath 10 to control the output amount of the thermoelectric module 32 to adjust the temperature of the air inside the internal bath 10, so that the container 2 has a constant temperature. To keep.

본 발명에 따른 용기 항온 유지 장치의 동작을 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation of the container constant temperature maintaining apparatus according to the present invention.

온도센서(15)에 의해 내부 배스(10) 내부의 온도정보를 수집한 제어부는 원하는 온도를 유지하기 위해 열전모듈유닛(30)의 열전소자(32)를 출력을 제어하여 흡열 또는 발열량을 조절한다. 열전소자(32)의 흡열 또는 발열에 의해 열교환부(34)는 외부 배스(20)의 공기와 열교환하게 되고, 따라서 외부 배스(20) 내부는 냉각 또는 가열되게 된다. 순환팬(40)은 이러한 냉각 또는 가열된 공기를 속이 빈 화살표와 같이 순환시키게 되고, 냉각 또는 가열된 공기는 내부 배스(10)와 외부 배스(20) 사이의 유로를 거쳐 상승하여 내부 배스(10)의 공기유입공(12)을 통해 내부 배스(10) 내부로 유입되게 되고, 용기(2)의 표면 공기와 주기적으로 열교환하게 되어 용기(2)의 온도를 일정하게 유지시켜 준다.The control unit which collects the temperature information inside the internal bath 10 by the temperature sensor 15 controls the output of the thermoelectric element 32 of the thermoelectric module unit 30 to maintain the desired temperature to adjust the endothermic or heat generation amount. . Due to the endothermic or heat generation of the thermoelectric element 32, the heat exchanger 34 exchanges heat with the air of the external bath 20, and thus the inside of the external bath 20 is cooled or heated. The circulation fan 40 circulates the cooled or heated air as a hollow arrow, and the cooled or heated air rises through the flow path between the inner bath 10 and the outer bath 20 and the inner bath 10. It is introduced into the inner bath 10 through the air inlet hole 12 of the), and periodically exchanges heat with the surface air of the container (2) to maintain a constant temperature of the container (2).

한편, 본 발명의 실시예에 따른 용기 항온 유지 장치는 도면에 도시된 바와 같이 상기 각 구성요소들을 감싸는 몸체(1)를 더 포함한다. 이렇게 각 구성요소들이 몸체(1) 내부에 일체로 설치되므로 운반과 보관 및 관리가 용이하다. On the other hand, the container constant temperature holding apparatus according to an embodiment of the present invention further includes a body (1) surrounding each of the components as shown in the figure. Thus each component is installed integrally inside the body (1) it is easy to transport, storage and management.

또한, 도 3을 참조하면 몸체(1) 저면에는 용기(2)의 무게를 감지할 수 있는 무게감지부(50)가 착탈 가능하게 설치된다. 엄밀히 말하자면 무게감지부(50)는 몸체(1)를 포함함 용기 항온 유지 장치의 무게를 측정하게 되나, 용기(2)를 제외한 다른 구성요소들은 디폴트된 값으로 되어 있으므로, 무게감지부(50)는 내부에 충전물이 담겨져있는 용기(2)의 무게를 감지할 수 있게 된다. 약품 시약이나 재료 등의 항온 유지 목적에는 무게감지부가 불필요하고, 반도체나 디스플레이 공정에서 버블러로 사용되는 용기의 경우 무게감지부(50)가 필요하므로, 옵션 형태로 착탈 가능하게 설치되는 것이 바람직하다. 기존의 액체용 항온 장치에는 액체의 부력 때문에 용기의 무게를 측정할 수 없었으나, 본 발명에 따른 무게감지부(50)에 의하면 용기(2) 내부의 충전물 소모량을 감지할 수 있으므로 종래의 LOT FAIL 문제를 해결할 수 있어 제조 공정 사고 예방 효과가 있다. In addition, referring to FIG. 3, a weight sensing unit 50 capable of sensing the weight of the container 2 is detachably installed at the bottom of the body 1. Strictly speaking, the weight sensing unit 50 includes a body (1) to measure the weight of the container thermostat, but other components except for the container (2) is the default value, the weight sensing unit 50 is internal It is possible to detect the weight of the container (2) in which the filling is contained. The weight sensing unit is unnecessary for the purpose of maintaining a constant temperature such as a chemical reagent or a material, and in the case of a container used as a bubbler in a semiconductor or display process, the weight sensing unit 50 is required, and thus, the weight sensing unit 50 may be detachably installed in an optional form. Conventional liquid constant temperature device was unable to measure the weight of the container due to the buoyancy of the liquid, but according to the weight sensing unit 50 according to the present invention can detect the consumption of the filling in the container (2) of the conventional LOT FAIL problem It can solve the manufacturing process accident prevention effect.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니한다. 즉, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자라면 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능하며, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정의 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described, the present invention is not limited to the specific embodiments described above. That is, those skilled in the art to which the present invention pertains can make many changes and modifications to the present invention without departing from the spirit and scope of the appended claims, and all such appropriate changes and modifications are possible. Equivalents should be considered to be within the scope of the present invention.

1. 몸체 2. 용기
10. 내부 배스 12. 공기유입공
15. 온도센서 20. 외부 배스
30. 열전모듈유닛 32. 열전모듈
40. 순환팬 50. 무게감지부1. Body 2. Container
10. Internal Bath 12. Air Inlet
15. Temperature sensor 20. External bath
30. Thermoelectric Module Unit 32. Thermoelectric Module
40. Circulation Fan 50. Weight Sensing Unit

Claims (4)

공기를 이용하여 용기를 일정한 온도로 유지하기 위한 공기를 이용한 항온 유지 장치에 있어서,
상기 용기가 내부에 수용되며, 내부에 온도센서가 설치되고 공기유입공이 형성되는 내부 배스;
상기 내부 배스를 감싸도록 설치되며 내부 배스 사이에 공기 유로가 형성되는 외부 배스;
상기 외부 배스의 일측면에 접촉하도록 설치되어 상기 외부 배스 내부의 공기를 가열 또는 냉각시키도록 하는 열전모듈유닛;
상기 열전모듈유닛에 대응하도록 상기 외부 배스 내부에 설치되어 상기 열전모듈유닛에 의해 냉각 또는 가열 공기를 순환시키는 순환팬; 및
상기 온도센서로부터 수신되는 온도정보를 이용하여 상기 열전모듈유닛을 제어하여 상기 내부 배스의 온도를 조절하는 제어부를 포함하며,
상기 열전모듈유닛에 의해 냉각 또는 가열된 외부 배스의 공기는 상기 순환팬에 의해 순환되어 상기 공기유입공을 통해 내부 배스로 유입되어 상기 용기의 온도를 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 용기 항온 유지 장치.
In the constant temperature maintaining apparatus using air for maintaining a container at a constant temperature using air,
An internal bath in which the container is accommodated, a temperature sensor is installed therein, and an air inlet is formed;
An outer bath installed to surround the inner bath and having an air passage formed between the inner baths;
A thermoelectric module unit installed to contact one side of the outer bath to heat or cool the air in the outer bath;
A circulation fan installed inside the external bath so as to correspond to the thermoelectric module unit and circulating cooling or heating air by the thermoelectric module unit; And
It includes a control unit for controlling the temperature of the internal bath by controlling the thermoelectric module unit using the temperature information received from the temperature sensor,
The air of the external bath cooled or heated by the thermoelectric module unit is circulated by the circulation fan and flows into the inner bath through the air inlet hole to maintain a constant temperature of the container. .
제 1 항에 있어서,
상기 공기유입공은 상기 내부 배스의 상부 측벽에 균일하게 분포하도록 형성되고,
상기 열전모듈유닛 및 상기 순환팬은 상기 외부 배스의 하부에 형성되어,
상기 열전모듈유닛에 의해 냉각 또는 가열된 외부 배스의 공기는 상기 순환팬에 의해 상승하여 상기 공기유입공을 통해 내부 배스로 유입되는 것을 특징으로 하는 용기 항온 유지 장치.
The method of claim 1,
The air inlet is formed to be uniformly distributed on the upper side wall of the inner bath,
The thermoelectric module unit and the circulation fan are formed below the outer bath,
The air of the external bath cooled or heated by the thermoelectric module unit is raised by the circulation fan to flow into the inner bath through the air inlet hole.
제 1 항에 있어서, 상기 열전모듈유닛은,
극성 전환에 의해 발열 또는 흡열하는 열전모듈;
일측면이 상기 열전모듈의 일측면과 접촉하도록 설치되고, 타측면에 상기 외부 배스 내부의 공기와 열전달하도록 다수의 방열핀이 설치되는 열교환부;
상기 열전모듈의 타측면에 접하도록 설치되는 방열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 용기 항온 유지 장치.
The method of claim 1, wherein the thermoelectric module unit,
Thermoelectric module that generates heat or endotherm by switching polarity;
A heat exchanger having one side installed in contact with one side of the thermoelectric module, and a plurality of heat dissipation fins installed on the other side to transfer heat with air in the external bath;
Container thermostat holding device characterized in that it comprises a heat dissipation unit is installed to contact the other side of the thermoelectric module.
제 1 항에 있어서,
상기 각 구성요소들을 감싸는 케이스를 더 포함하며,
상기 케이스 저면에는 상기 항온 유지 장치의 무게를 감지할 수 있는 무게감지부가 착탈 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 용기 항온 유지 장치.The method of claim 1,
Further comprising a case surrounding each of the components,
The container constant temperature maintaining device, characterized in that the weight sensing unit for detecting the weight of the constant temperature holding device is detachably installed on the bottom of the case.
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