KR20120005739A - Dry apparatus for PCB - Google Patents

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KR20120005739A KR1020100066360A KR20100066360A KR20120005739A KR 20120005739 A KR20120005739 A KR 20120005739A KR 1020100066360 A KR1020100066360 A KR 1020100066360A KR 20100066360 A KR20100066360 A KR 20100066360A KR 20120005739 A KR20120005739 A KR 20120005739A
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Abstract

본 발명은 기판 건조장치로서, 기판이 수납되는 건조챔버와, 상기 건조챔버의 상부에 위치되는 에어필터와, 상기 에어필터에 고온의 공기를 제공하는 고온에어 공급부를 포함하고, 상기 에어필터를 통과한 고온의 공기는 자연확산에 의한 상-하(top-down) 전달방식으로 상기 건조챔버 내부의 기판에 제공되고, 이에 따라 기판이 수용된 건조챔버의 내부에서 와류발생이 억제되어 기판의 재오염을 방지하고, 건조챔버의 하부에 연결되는 경사 배출부에 의해 이물질을 외부로 배출할 수 있는 기판 건조장치를 제공하는 효과를 갖는다. The present invention provides a substrate drying apparatus, comprising: a drying chamber in which a substrate is stored, an air filter positioned on an upper portion of the drying chamber, and a high temperature air supply unit providing high temperature air to the air filter, and passing through the air filter. One hot air is provided to the substrate inside the drying chamber in a top-down transfer method by spontaneous diffusion, thereby suppressing vortex generation in the drying chamber in which the substrate is accommodated, thereby recontaminating the substrate. And it has an effect of providing a substrate drying apparatus that can discharge the foreign matter to the outside by the inclined discharge portion connected to the lower portion of the drying chamber.

Description

기판 건조장치{Dry apparatus for PCB}Substrate Drying Equipment {Dry apparatus for PCB}

본 발명은 기판 건조장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate drying apparatus.

일반적으로, 기판을 제조하는 공정에서 기판에 잔류하는 잔류물을 제거하기 위하여 기판을 세정하고, 기판 표면의 액상의 제거 및 건조시키는 공정 또는 기판에 도포되는 액상 물질을 건조시키는 공정 등에서 기판 건조장치가 이용된다.In general, in a process of manufacturing a substrate, a substrate drying apparatus includes a process of cleaning a substrate to remove residues remaining on the substrate, removing and drying the liquid phase of the substrate surface, or drying a liquid substance applied to the substrate. Is used.

특히, 기판을 연속적으로 건조하기 위해 터널식 건조장치가 이용되는데, 상기 터널식의 건조장치는 터널형의 건조챔버 내부에 복수의 기판을 순차적으로 이동시키면 기판을 건조하게 된다.In particular, a tunnel type drying apparatus is used to continuously dry the substrate, and the tunnel type drying apparatus dries the substrate by sequentially moving a plurality of substrates inside the tunnel type drying chamber.

이를 위해, 건조챔버 내부에 고온의 공기를 분사하는 경우 와류가 발생되어 고온의 공기는 순환되지 못함에 따라, 건조 및 세정효율이 떨어지고, 기판의 불량을 유발하는 문제점을 지니고 있다. To this end, when hot air is injected into the drying chamber, vortices are generated so that the hot air is not circulated, thereby reducing drying and cleaning efficiency and causing a defect in the substrate.

도 1은 종래기술에 따른 기판 건조장치의 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 나타낸 기판 건조장치의 개략적인 부분 정면도이다. 도시한 바와 같이, 상기 기판 건조장치(100)는 고온에어 공급부로서 에어 블로어(blower)(110), 히터(120), 이송관(170)를 구비하고, 에어필터(130), 에어분사장치(140), 건조챔버(160) 및 기판 이송수단(150)을 포함한다.1 is a schematic configuration diagram of a substrate drying apparatus according to the prior art, Figure 2 is a schematic partial front view of the substrate drying apparatus shown in FIG. As illustrated, the substrate drying apparatus 100 includes an air blower 110, a heater 120, and a transfer pipe 170 as a high temperature air supply, and includes an air filter 130 and an air spraying device ( 140, the drying chamber 160 and the substrate transfer means 150.

보다 구체적으로, 상기 에어 블로어(110)는 공기를 제공하기 위한 것이고, 상기 히터(120)는 상기 공기의 온도를 상승시켜 고온의 공기를 제공하기 위한 것이다. 또한 상기 이송관(170)은 고온의 공기를 에어필터(130) 및 에어분사장치(140)에 전달하기 위한 것이다.More specifically, the air blower 110 is to provide air, the heater 120 is to provide a high temperature air by raising the temperature of the air. In addition, the transfer pipe 170 is for delivering high temperature air to the air filter 130 and the air injection device 140.

그리고, 상기 건초챔버(160)에는 기판(미도시)이 수납되고, 에어분사장치(140)의 하부에 위치된다.In addition, a substrate (not shown) is accommodated in the hay chamber 160, and is positioned below the air spraying device 140.

이와 같이 이루어짐에 따라, 에어 블로어(110)에 의해 제공되는 공기는 상기 히터(120)에 의해 기판의 완전건조를 위해 설정된 온도까지 가열되어 고온의 공기가 된다. 그리고 상기 고온의 공기는 에어필터(130)를 통해 이물질이 제거된 상태로 에어분사장치(140)로 이송된다. In this way, the air provided by the air blower 110 is heated to a temperature set for the complete drying of the substrate by the heater 120 to become hot air. The high temperature air is transferred to the air spraying unit 140 in a state in which foreign matter is removed through the air filter 130.

그리고, 상기 에어분사장치(140)인 에어 나이프(air knife)에 의해 건조챔버(160) 내부의 기판에 국부적으로 분사된다. 이 경우, 분사된 공기는 건조챔버(160)의 내부에서 와류(V)를 형성하고, 상기 와류공기는 외부로 공기배출 및 이물질 제거가 원활하지 못해, 상기 이물질은 기판의 이송시 다시 기판에 붙게 되고, 후 공정인 라미네이터에서 이물질이 기판에 붙은 상태로 드라이필름이 도포되고, 상기 이물질은 미세회로에서 open, short 등의 불량을 유발하는 문제점을 지니고 있다.
Then, it is locally sprayed on the substrate inside the drying chamber 160 by an air knife, which is the air injector 140. In this case, the injected air forms a vortex (V) in the interior of the drying chamber 160, and the vortex air is not smoothly discharged to the outside and the foreign matter is not removed, the foreign matter is attached to the substrate again when the substrate is transferred Then, the dry film is applied in a state in which the foreign matter is attached to the substrate in the laminator, which is a post process, and the foreign matter has a problem of causing defects such as open and short in the microcircuit.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 고온의 공기를 자연확산에 의한 상-하(top-down) 전달방식으로 기판에 제공함으로써, 기판이 수용된 건조챔버의 내부에서 와류발생이 억제되어 기판의 재오염을 방지하고, 건조챔버의 하부에 연결되는 경사 배출부에 의해 이물질을 외부로 배출할 수 있는 기판 건조장치를 제공하기 위한 것이다.
An object of the present invention is to solve the above problems, by providing hot air to the substrate in a top-down transfer method by natural diffusion, vortex generation in the drying chamber in which the substrate is accommodated It is to provide a substrate drying apparatus that can be suppressed to prevent re-contamination of the substrate and to discharge the foreign substances to the outside by the inclined discharge portion connected to the lower portion of the drying chamber.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판 건조장치로서, 기판이 수납되는 건조챔버와, 상기 건조챔버의 상부에 위치되는 에어필터와, 상기 에어필터에 고온의 공기를 제공하는 고온에어 공급부를 포함하고, 상기 에어필터를 통과한 고온의 공기는 자연확산에 의한 상-하(top-down) 전달방식으로 상기 건조챔버 내부의 기판에 제공된다. In order to achieve the above object of the present invention, the present invention provides a substrate drying apparatus comprising: a drying chamber in which a substrate is accommodated; The hot air passing through the air filter is provided to the substrate inside the drying chamber in a top-down delivery method by natural diffusion.

또한, 상기 고온에어 공급부는 공기를 제공하는 에어 블로어와, 상기 공기의 온도를 상승시켜 고온의 공기를 제공하는 히터와, 상기 고온의 공기를 에어필터에 전달하는 이송관을 포함한다. The hot air supply unit may include an air blower for providing air, a heater for raising the temperature of the air to provide hot air, and a transfer pipe for transferring the hot air to the air filter.

그리고 본 발명에 따른 기판 건조장치는 상기 건조챔버의 하부에 연결되고, 이물질을 외부로 배출하기 위한 경사 배출부를 더 포함하고, 상기 경사 배출부는 기판의 이송방향으로 점진적으로 하향되도록 형성된다. And the substrate drying apparatus according to the present invention is connected to the lower portion of the drying chamber, and further comprises an inclined discharge portion for discharging the foreign matter to the outside, the inclined discharge portion is formed to be gradually downward in the transport direction of the substrate.

또한, 본 발명에 따른 기판 건조장치는 상기 경사 배출부의 이물질을 외부로 배출하기 위해 물을 공급하고, 경사 배출부에 연결되는 물 공급부 유닛을 더 포함한다. In addition, the substrate drying apparatus according to the present invention further comprises a water supply unit for supplying water to discharge the foreign matter of the inclined discharge portion to the outside, and connected to the inclined discharge portion.

또한, 본 발명에 따른 기판 건조장치는 기판을 이송시키기 위한 기판 이송수단을 더 포함하고, 상기 기판 이송수단은 구동롤러부와, 상기 구동롤러부에 결합되어 연동되는 피구동롤러부를 포함하고, 상기 기판은 피구동롤러부에 지지 또는 가압되어 이송된다.
In addition, the substrate drying apparatus according to the present invention further comprises a substrate conveying means for conveying the substrate, the substrate conveying means includes a drive roller unit, a driven roller unit coupled to the drive roller unit is interlocked, The substrate is transported by being supported or pressed to the driven roller.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다. The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
Prior to this, the terms or words used in this specification and claims should not be interpreted in a conventional and dictionary sense, and the inventors will be required to properly define the concepts of terms in order to best describe their invention. On the basis of the principle that it can be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention.

본 발명은 고온의 공기를 자연확산에 의한 상-하(top-down) 전달방식으로 기판에 제공함으로써, 기판이 수용된 건조챔버의 내부에서 와류발생이 억제되어 기판의 재오염을 방지하고, 기판의 건조효율을 증대시킬 수 있으며, 건조챔버의 하부에 연결되는 경사 배출부에 의해 이물질을 외부로 배출할 수 있는 기판 건조장치를 제공하는 효과를 갖는다.
According to the present invention, by providing hot air to the substrate in a top-down transfer method by natural diffusion, vortex generation is suppressed in the drying chamber in which the substrate is accommodated, thereby preventing recontamination of the substrate, It is possible to increase the drying efficiency, and has an effect of providing a substrate drying apparatus capable of discharging foreign matter to the outside by the inclined discharge portion connected to the lower portion of the drying chamber.

도 1은 종래기술에 따른 기판 건조장치의 개략적인 구성도.
도 2는 도 1에 나타낸 기판 건조장치의 개략적인 부분 정면도.
도 3은 본 발명에 따른 기판 건조장치의 개락적인 구성도.
도 4는 도 3에 나타낸 기판 건조장치의 개략적인 부분 정면도.
1 is a schematic configuration diagram of a substrate drying apparatus according to the prior art.
FIG. 2 is a schematic partial front view of the substrate drying apparatus shown in FIG. 1. FIG.
3 is a schematic configuration diagram of a substrate drying apparatus according to the present invention.
4 is a schematic partial front view of the substrate drying apparatus shown in FIG.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
The objects, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the preferred embodiments associated with the accompanying drawings. It should be noted that, in the present specification, the reference numerals are added to the constituent elements of the drawings, and the same constituent elements are assigned the same number as much as possible even if they are displayed on different drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 건조장치에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a substrate drying apparatus according to a preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings will be described in detail.

도 3은 본 발명에 따른 기판 건조장치의 개락적인 구성도이고, 도 4는 도 3에 나타낸 기판 건조장치의 개략적인 부분 정면도이다. 도시한 바와 같이, 상기 기판 건조장치(200)는 고온에어 공급부(210, 220, 280), 에어필터(230), 기판 이송수단(250), 건조챔버(260) 및 경사 배출부(270)를 포함한다.3 is a schematic configuration diagram of a substrate drying apparatus according to the present invention, and FIG. 4 is a schematic partial front view of the substrate drying apparatus shown in FIG. 3. As shown, the substrate drying apparatus 200 is a high-temperature air supply unit 210, 220, 280, air filter 230, substrate transfer means 250, drying chamber 260 and the inclined discharge unit 270 Include.

보다 구체적으로, 상기 고온에어 공급부는 에어 블로어(210), 히터(220) 및 이송관(280)을 구비하고, 상기 에어 블로어(210)는 공기를 제공하기 위한 것이고, 상기 히터(220)는 상기 공기의 온도를 상승시켜 고온의 공기를 제공하기 위한 것이고, 상기 이송관(280)은 고온의 공기를 에어필터(230)에 전달하기 위한 것이다.More specifically, the high temperature air supply unit is provided with an air blower 210, heater 220 and the transfer pipe 280, the air blower 210 is to provide air, the heater 220 is the The temperature of the air is raised to provide hot air, and the transfer pipe 280 is to deliver hot air to the air filter 230.

그리고 상기 에어필터(230)는 헤파필터로 이루어지는 것이 바람직하다.The air filter 230 is preferably made of a hepa filter.

그리고 상기 건초챔버(260)에는 기판(500)이 수납되고, 에어필터(230)의 하부에 위치된다. 또한, 상기 경사 배출부(270)는 건조챔버(260)의 하부에는 연결되고, 이물질을 외부로 배출하기 위한 것이다. 그리고 상기 경사 배출부(270)는 기판의 이송방향으로 점진적으로 하향되도록 형성된다. Subsequently, the substrate 500 is accommodated in the hay chamber 260, and is positioned below the air filter 230. In addition, the inclined discharge portion 270 is connected to the lower portion of the drying chamber 260, for discharging foreign matter to the outside. The inclined discharge part 270 is formed to be gradually downward in the transport direction of the substrate.

또한, 상기 기판 이송수단(250)은 구동롤러부(251)와, 상기 구동롤러부(251)에 결합되어 연동되는 피구동롤러부(252)를 포함하고, 상기 기판(500)은 피구동롤러부(252)에 지지 또는 가압되어 이송된다. In addition, the substrate transfer means 250 includes a driving roller unit 251 and a driven roller unit 252 coupled to and interlocked with the driving roller unit 251, and the substrate 500 includes a driven roller. Supported or pressed by the portion 252 is conveyed.

또한, 본 발명에 따른 기판 건조장치는 상기 경사 배출부의 이물질을 배출하기 위해 물을 공급하기 위한 물 공급유닛(미도시)을 더 포함하고, 상기 물 공급부 유닛은 경사 배출부(270)에 연결된다.In addition, the substrate drying apparatus according to the present invention further includes a water supply unit (not shown) for supplying water for discharging the foreign matter of the inclined discharge unit, and the water supply unit is connected to the inclined discharge unit 270. .

이와 같이 이루어짐에 따라, 에어 블로어(210)에 의해 제공되는 공기는 상기 히터(220)에 의해 가열되어 기판의 완전건조를 위해 설정된 고온의 공기가 된다. 그리고 상기 고온의 공기는 이송관(280)을 통해 에어필터(230)에 공급되고, 상기 에어필터(230)를 통해 이물질이 제거된다. As such, the air provided by the air blower 210 is heated by the heater 220 to be hot air set for complete drying of the substrate. The high temperature air is supplied to the air filter 230 through the transfer pipe 280, and the foreign matter is removed through the air filter 230.

그리고, 이물질이 제거된 고온의 공기는 도 4에 화살표로 나타낸 바와 같이, 자연확산에 의한 상-하(top-down) 전달방식으로 건조챔버(260) 내부의 기판(500)에 공급된다. 이와 같이 이루어짐에 따라, 와류의 발생이 억제되어 이물질을 통한 기판의 재오염이 방지되고, 경사 배출부(270)를 통해 외부로 배출된다. 또한, 상기 물 공급유닛을 통해 경사 배출부를 물세척하여 이물질을 외부로 간편하고 확실히 제거할 수 있게 된다.
In addition, the hot air from which the foreign matter is removed is supplied to the substrate 500 inside the drying chamber 260 in a top-down transfer method by natural diffusion, as indicated by arrows in FIG. 4. As such, the generation of the vortex is suppressed to prevent recontamination of the substrate through the foreign matter, and is discharged to the outside through the inclined discharge unit 270. In addition, it is possible to easily and reliably remove foreign substances to the outside by washing the inclined discharge portion through the water supply unit.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 기판 건조장치는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다. Although the present invention has been described in detail through specific examples, this is for describing the present invention in detail, and the substrate drying apparatus according to the present invention is not limited thereto, and the general knowledge in the art within the technical spirit of the present invention. It is obvious that modifications and improvements are possible by those who have them.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
All simple modifications and variations of the present invention fall within the scope of the present invention, and the specific scope of protection of the present invention will be apparent from the appended claims.

100, 200 : 기판 건조장치 110, 210 : 에어 블로어
120, 220 : 히터 130, 230 : 에어필터
140 : 에어분사장치 150, 250 : 기판 이송수단
160, 260 : 건조챔버 270 : 경사 배출부
280 : 이송관100, 200: substrate drying apparatus 110, 210: air blower
120, 220: Heater 130, 230: Air filter
140: air injection device 150, 250: substrate transfer means
160, 260: drying chamber 270: inclined discharge portion
280: transfer pipe

Claims (7)

기판이 수납되는 건조챔버;
상기 건조챔버의 상부에 위치되는 에어필터; 및
상기 에어필터에 고온의 공기를 제공하는 고온에어 공급부를 포함하고, 상기 에어필터를 통과한 고온의 공기는 자연확산에 의한 상-하(top-down) 전달방식으로 건조챔버 내부의 기판에 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
A drying chamber in which the substrate is accommodated;
An air filter positioned above the drying chamber; And
It includes a high-temperature air supply for providing a high-temperature air to the air filter, the high-temperature air passing through the air filter is provided to the substrate inside the drying chamber in a top-down transfer method by natural diffusion Substrate drying apparatus, characterized in that.
청구항 1에 있어서,
상기 고온에어 공급부는
공기를 제공하는 에어 블로어;
상기 공기의 온도를 상승시켜 고온의 공기를 제공하는 히터; 및
상기 고온의 공기를 에어필터에 전달하는 이송관을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
The method according to claim 1,
The high temperature air supply unit
An air blower for providing air;
A heater for raising the temperature of the air to provide hot air; And
Substrate drying apparatus characterized in that it comprises a conveying pipe for delivering the high-temperature air to the air filter.
청구항 1에 있어서,
상기 건조챔버의 하부에 연결되고, 이물질을 외부로 배출하기 위한 경사 배출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
The method according to claim 1,
The substrate drying apparatus is connected to the lower portion of the drying chamber, and further comprising an inclined discharge unit for discharging foreign matter to the outside.
청구항 3에 있어서,
상기 경사 배출부는 기판의 이송방향으로 점진적으로 하향되도록 형성된 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
The method according to claim 3,
The inclined discharge portion substrate drying apparatus, characterized in that formed to be gradually downward in the transport direction of the substrate.
청구항 3에 있어서,
상기 경사 배출부의 이물질을 외부로 배출하기 위해 물을 공급하고, 경사 배출부에 연결되는 물 공급부 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
The method according to claim 3,
And a water supply unit for supplying water to discharge the foreign matters of the inclined discharge unit to the outside and connected to the inclined discharge unit.
청구항 1에 있어서,
상기 기판을 이송시키기 위한 기판 이송수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
The method according to claim 1,
Substrate drying apparatus further comprises a substrate transfer means for transferring the substrate.
청구항 6에 있어서,
상기 기판 이송수단은 구동롤러부와, 상기 구동롤러부에 결합되어 연동되는 피구동롤러부를 포함하고, 상기 기판은 피구동롤러부에 지지 또는 가압되어 이송되는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.The method of claim 6,
The substrate conveying means includes a driving roller and a driven roller unit coupled to and interlocked with the driving roller, wherein the substrate is conveyed by being supported or pressed by the driven roller.
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