KR20110138804A - 편광 노광 장치 - Google Patents

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KR20110138804A
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polarizing
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polarizer
cycloolefin
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최봉진
김용환
김병인
조오형
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동우 화인켐 주식회사
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Abstract

본 발명은 편광 노광 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 광원과 스테이지 사이에 편광 기판을 구비하고, 상기 편광 기판은 흡수형 편광자의 양면에 시클로올레핀계 폴리머 보호필름이 접합되어 구성됨으로써, 대면적의 기판을 균일하고 일회에 노광할 수 있고 가볍고 얇아 장치의 관리 및 이동이 용이한 편광 노광 장치에 관한 것이다.

Description

편광 노광 장치 {POLARIZED LIGHT EXPOSURING APPARATUS}
본 발명은 편광자의 편광성질을 이용하여 광원을 편광시키는 편광 노광 장치에 관한 것이다.
일반적으로 사람의 두 눈은 약 65㎜ 정도 떨어져 있어 물체를 볼 때 각각의 눈은 물체의 약간 다른 면을 보게 된다. 이를 알아 볼 수 있는 방법으로 한 물체를 손바닥으로 한쪽 눈을 가린 후 보이는 물체의 형태와, 또 다른 한 쪽을 가린 후 보이는 물체는 약간의 차이가 있다.
이를 좌우 양안에 의한 차이(Disparity)라고 하는데 이 차이가 뇌에서 합성되어 입체감을 가지는 상으로 지각된다. 이 원리가 3차원 입체 영상 재현에 응용되는 기본 원리이다.
3차원 입체 영상 기술은 양안 시차 방식(stereoscopic technique)과 복합 시차 방식(autostereoscopic technique)으로 크게 분류할 수 있다. 양안 시차 방식은 가장 입체효과가 큰 좌우 눈의 시차 영상을 이용하는 것으로서, 편광 안경 방식과 무안경 방식이 있다.
일본국 특개 평10-232365호, 한국특허공개 제2008-0108034호에서 기재된 바와 같이 편광 안경 방식의 3차원 입체영상장치를 설명하면 하기와 같다.
우안화상영역(R)과 좌안화상영역(L)을 갖는 액정패널, 상기 액정패널 전면에 배치되는 편광판, 상기 편광판 상에 배치되어 편광판을 통과한 우안화상 및 좌안화상의 편광축의 회전 방향이 서로 역방향인 원형 편광으로 출사하는 패턴화 리타더를 구비한 3차원 입체영상장치를 구비한다.
패턴화 리타더는 낱장의 기판 위에 배향 필름 또는 배향막을 형성하고, 편광 노광하여 제1 패턴화 영역을 형성한 다음 제1 패턴화 영역 생성법과 동일한 방법으로 제2 패턴화 영역을 형성한다.
편광 노광 시 편광을 부여하기 위한 방법은 브루스터각을 갖는 석영유리를 이용하는 것이다. 석영유리는 여러 장을 적층하여야 편광이 부여되므로 두께가 두꺼우며, 무거운 단점이 있다. 또한 노광 면적이 커지게 되면 균일한 편광을 유지하기 위한 별도의 장비가 요구된다.
편광을 부여하는 또 다른 방법은 편광유리를 이용하는 것이다. 그러나 노광 면적이 커지게 되면 편광유리의 면적도 동등 이상으로 커지게 되므로 불균일 노광의 원인이 되는 처짐 현상이 발생하는 단점이 있다.
본 발명은 대면적의 기판을 균일하고 일회에 노광할 수 있는 편광 노광 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 가볍고 얇아 장치의 관리 및 이동이 용이한 편광 노광 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
1. 광원과 스테이지 사이에 편광 기판을 구비하고, 상기 편광 기판은 흡수형 편광자의 양면에 시클로올레핀계 폴리머 보호필름이 접합되어 구성되는 것인 편광 노광 장치.
2. 위 1에 있어서, 상기 편광 기판은 입사되는 빛에 대해 실질적으로 90˚가 되도록 배치되는 편광 노광 장치.
3. 위 1에 있어서, 상기 흡수형 편광자의 양면에는 시클로올레핀 폴리머들, 시클로올레핀 코폴리머들, 또는 시클로올레핀 폴리머 및 시클로올레핀 코폴리머가 접합된 편광 노광 장치.
4. 위 1에 있어서, 상기 편광 기판은 그 두께가 15 내지 440㎛인 편광 노광 장치.
5. 위 1에 있어서, 상기 편광 기판은 상기 스테이지에 놓여지는 배향막이 형성된 기판보다 큰 편광 노광 장치.
6. 위 1에 있어서, 상기 편광 기판의 처짐을 방지하기 위한 립롤을 추가로 구비하는 편광 노광 장치.
7. 위 1에 있어서, 상기 흡수형 편광자는 폴리비닐알콜계 필름을 연신하여 제조된 것인 편광 노광 장치.
본 발명의 편광 노광 장치는 대면적의 기판도 일회에 노광할 수 있으므로, 광 조사 시간을 단축시킬 수 있고 광 조사량의 편차를 억제하여 생산성 및 제품의 품질을 향상시킬 수 있다.
또한 본 발명의 편광 노광 장치는 편광을 부여하는 장치로 가볍고 얇은 편광판을 사용하여 장치의 관리 및 이동이 용이하다.
또한 본 발명의 편광 노광 장치는 균일한 평탄도 유지가 가능하여 균일한 노광이 가능하므로 대면적의 기판 노광에 유리하다.
도 1은 본 발명에 따른 편광을 부여하는 편광 기판의 일례이고,
도 2는 본 발명에 따른 편광 노광 장치의 일례이다.
본 발명은 광원과 스테이지 사이에 편광 기판을 구비하고, 상기 편광 기판은 흡수형 편광자의 양면에 시클로올레핀계 폴리머 보호필름이 접합되어 구성됨으로써, 대면적의 기판을 균일하고 일회에 노광할 수 있고 가볍고 얇아 장치의 관리 및 이동이 용이한 편광 노광 장치에 관한 것이다.
이하 본 발명을 상세히 설명한다.
본 발명의 편광 노광 장치는 도 2와 같이 광원(20)과 스테이지(40) 사이에 편광 기판(10)을 구비한다.
광원은 비편광된 것을 사용하며, 전자빔 또는 전자파 등을 사용할 수 있다. 전자파는 공정성면에서 우수한 자외선을 사용하는 것이 바람직하다.
편광 기판(10)은 도 1과 같이 흡수형 편광자(13)의 양면에 시클로올레핀계 폴리머 보호필름이 접합된다.
구체적으로, 흡수형 편광자의 양면에는 시클로올레핀 폴리머들, 시클로올레핀 코폴리머들이 접합될 수 있다. 또는 흡수형 편광자의 일면에는 시클로올레핀 폴리머이 접합되고, 다른 일면에는 시클로올레핀 코폴리머가 접합될 수 있다.
편광 기판은 입사되는 빛에 대해 실질적으로 90°가 되도록 배치한다. 실질적으로 90°는 편광 기판과 입사되는 빛이 이루는 각도가 수직일 때와 거의 유사한 효과를 갖는 범위로 90±5°정도의 범위를 의미한다.
실질적으로 90°가 되면 광원에서 출사되는 빛의 투과량이 높아 에너지 효율적인 면에서 유리하다.
흡수형 편광자는 무편광(자연광) 또는 임의 편광된 전자기파(빛)으로부터 상기 편광자를 통해 특정하게 배향된 선편광을 유발하고 이외의 다른 편광들은 흡수시킨다. 이러한 흡수형 편광자는 편광도 및 투과율이 우수한 요오드계 흡수형 편광자인 폴리비닐알코올계 편광자를 사용하는 것이 바람직하다.
편광자를 구성하는 폴리비닐알콜계 수지는 폴리아세트산비닐계 수지를 비누화함으로써 제조할 수 있다. 폴리아세트산비닐계 수지의 예로는, 아세트산 비닐의 단독 중합체인 폴리아세트산비닐 이외에, 아세트산비닐과 공중합 가능한 다른 단량체와의 공중합체 등을 들 수 있다. 아세트산비닐과 공중합 가능한 다른 단량체의 구체적인 예로는, 불포화 카르복시산류, 불포화 술폰산류, 올레핀류, 비닐에테르류, 암모늄기를 갖는 아크릴아미드류 등을 들 수 있다. 또한, 폴리비닐알콜계 수지는 변성된 것일 수도 있는데, 예를 들면 알데히드류로 변성된 폴리비닐포르말 또는 폴리비닐아세탈 등도 사용할 수 있다. 폴리비닐알콜계 수지의 비누화도는 통상 85 내지 100몰% 이다. 바람직하게는 98몰% 이상일 수 있다. 또한, 폴리비닐알콜계 수지의 중합도는 통상 1,000 내지 10,000, 바람직하게는 1,500 내지 5,000이다.
이러한 폴리비닐알코올계 수지를 막으로 형성시켜 편광자로 사용한다. 폴리비닐알코올계 수지의 막 형성 방법은 특별히 제한되지 않으며, 공지된 다양한 방법을 이용할 수 있다. 폴리비닐알코올계 수지의 막 두께는 특별히 제한되지 않으며, 예를 들면 10 내지 150㎛일 수 있다.
편광자는 통상 상기와 같은 폴리비닐알코올계 필름을 일축연신하는 공정, 이색성 색소로 염색하여 흡착시키는 공정, 붕산 수용액으로 처리하는 공정 및 수세와 건조하는 공정을 경유하여 제조된다.
폴리비닐알코올계 필름을 일축연신하는 공정은 염색 전에 수행, 염색과 동시에 수행 또는 염색 후에 수행될 수 있다. 일축연신이 염색 후에 수행되는 경우에는 붕산 처리 전 또는 붕산 처리 중에 수행될 수도 있다. 물론, 이들 각각이 조합된 복수개의 단계로 일축 연신을 수행하는 것도 가능하다. 일축 연신은 주속이 다른 롤 또는 열 롤을 사용할 수 있으며, 대기 중에서 연신하는 건식 연신일 수도 있고 용매로 팽윤시킨 상태에서 연신하는 습식 연신일 수도 있다. 연신비는 통상 3 내지 8배이다.
연신된 폴리비닐알코올계 필름을 이색성 색소로 염색하는 공정은 예를 들면 이색성 색소를 함유하는 수용액에 폴리비닐알코올계 필름을 침지하는 방법이 이용될 수 있다. 이색성 색소의 구체적인 예로는 요오드 또는 이색성 유기염료가 이용된다. 또한, 폴리비닐알코올계 필름은 염색 전에 물에 미리 침지하여 팽윤시키는 것이 바람직하다.
이색성 색소로서 요오드를 사용하는 경우에는 통상 요오드 및 요오드화칼륨을 함유하는 염색용 수용액에 폴리비닐알코올계 필름을 침지하여 염색하는 방법을 이용할 수 있다. 통상 염색용 수용액에서의 요오드의 함량은 물(증류수) 100중량부에 대하여 0.01 내지 1중량부이고, 요오드화칼륨의 함량은 물 100중량부에 대하여 0.5 내지 20중량부이다. 염색용 수용액의 온도는 통상 20 내지 40℃이고, 침지시간 예컨대 염색시간은 통상 20 내지 1800초이다.
한편, 이색성 색소로서 이색성 유기염료를 이용하는 경우에는 통상 수용성 이색성 유기염료를 포함하는 염색용 수용액에 폴리비닐알코올계 필름을 침지하여 염색하는 방법을 이용할 수 있다. 염색용 수용액에서의 이색성 유기 염료의 함량은 물 100중량부에 대하여 통상 1×10-4 내지 10중량부, 바람직하게는 1×10-3 내지 1중량부인 것이 좋다. 염색용 수용액은 황산나트륨 등의 무기염을 염색 보조제로서 더 함유할 수 있다. 염색용 수용액의 온도는 통상 20 내지 80℃이고, 침지시간 예컨대 염색 시간은 통상 10 내지 1,800초이다.
염색된 폴리비닐알코올계 필름을 붕산 처리하는 공정은 붕산 함유 수용액에 침지함으로써 수행할 수 있다. 통상 붕산 함유 수용액에서의 붕산의 함량은 물 100중량부에 대하여 2 내지 15중량부, 바람직하게는 3 내지 12중량부인 것이 좋다. 이색성 색소로서 요오드를 이용한 경우의 붕산 함유 수용액은 요오드화칼륨을 함유하는 것이 바람직하며, 그 함량은 통상 물 100중량부에 대하여 0.1 내지 15중량부, 바람직하게는 5 내지 12중량부인 것이 좋다. 붕산 함유 수용액의 온도는 50℃ 이상, 바람직하게는 50 내지 85℃, 보다 바람직하게는 50 내지 80℃인 것이 좋다. 침지시간은 60 내지 1,200초, 바람직하게는 150 내지 600초, 보다 바람직하게는 200 내지 400초인 것이 좋다.
붕산 처리 후 폴리비닐알코올계 필름은 수세 및 건조된다. 수세처리는 붕산 처리된 폴리비닐알코올계 필름을 물에 침지함으로써 수행할 수 있으며, 수세처리 시 물의 온도는 5 내지 40℃이고, 침지시간은 1 내지 120초이다. 수세 후 건조됨으로써 편광자를 얻을 수 있다. 건조처리는 통상 열풍 건조기나 원적외선 가열기를 이용하여 수행할 수 있으며, 건조처리 온도는 통상 30 내지 100℃, 바람직하게는 50 내지 80℃이고, 건조시간은 통상 60 내지 600초, 바람직하게는 120 내지 600초인 것이 좋다.
편광자의 두께는 5 내지 40㎛일 수 있다.
또한 흡수형 편광자는 제조된 편광판의 두께 및 무게를 고려하면 연신 타입인 것이 바람직하다.
본 발명은 기계적으로 약한 흡수형 편광자를 보호하고, 내구성을 향상시키기 위하여 상기 편광자의 양면에 편광자 보호필름을 접합한다. 상기 편광자 보호필름은 광원 특히 자외선 영역을 투과할 수 있는 시클로올레핀 폴리머 또는 시클로올레핀 코폴리머 등을 사용할 수 있다.
시클로올레핀 폴리머 또는 시클로올레핀 코폴리머 보호필름은 250nm 미만의 파장을 흡수하지 않아 편광 형성에 방해가 되지 않으며, 내구성이 우수하여 편광자 보호에 효과적이다.
보호필름의 두께는 특별히 한정되지 않으나, 너무 얇으면 강도 및 가공성이 저하되고, 너무 두꺼우면 투명성이 저하되거나 편광자에 적층한 후 경화시간이 길어지는 문제가 있다. 보호필름의 두께는 각각 5 내지 200㎛, 바람직하게는 10 내지 150㎛, 보다 바람직하게는 20 내지 100㎛인 것이 좋다.
상기 접합은 당 분야에서 일반적으로 사용되는 접착제를 매개로 수행되며, 바람직하기로는 자외선계 접착제를 사용하는 것이 좋다.
또한, 보호필름과 접합되는 편광자의 표면에는 접착성을 높이기 위해, 플라즈마 처리, 코로나 처리, 자외선 조사 처리, 프레임(화염) 처리 또는 비누화 처리 등과 같은 표면 처리를 적절히 수행할 수 있다.
편광자에 보호필름을 접착제로 접합하는 방법은 당 분야에서 통상적으로 알려져 있는 방법을 이용할 수 있으며, 예를 들면 유연법, 와이어바 코팅법, 그라비아 코팅법, 다이 코팅법 또는 분무법 등에 의해 편광자, 보호필름 또는 이들 모두의 접합면에 접착제를 도포하고 이들을 접합시키는 방법을 들 수 있다. 여기서, 유연법이란 피도포물인 편광자 또는 보호필름을 대략 수직 방향, 대략 수평 방향, 또는 양자 간의 경사 방향으로 이동시키면서, 상기 피도포물의 표면에 접착제를 유하하여 확포(擴布)시키는 방법이다. 접착제를 도포한 후, 편광자와 보호필름을 접합롤 등에 끼워 접합시킨다.
상기 편광 기판은 그 두께가 15 내지 440㎛이다.
본 발명의 편광 기판은 상기 스테이지에 놓여지는 배향막이 형성된 기판보다 큰 것이 바람직하다.
또한 편광판은 대형 면적의 노광 시 장력 헌팅의 영향으로 발생되는 편광판의 처짐 현상 또는 시와(주름)를 방지 위한 립롤을 추가로 구비할 수 있다. 편광판의 처짐 현상이 발생되면 편광 노광된 영역의 균일성이 저하되는 문제가 있다. 립롤은 편광판의 양측에 배치되며, 편광판이 노광기에 유입되기 전과 후에 배치된다.
또한, 편광 기판과 배향막이 형성된 기판 사이에 배향막의 일부를 차폐시키는 차폐 마스크(30)를 포함할 수 있다. 차폐 마스크는 패턴 리타더 제조에 유용하게 사용될 수 있다.
차폐 마스크는 일회의 노광으로 배향막의 배향방향을 형성할 수 있도록 그 크기가 기판 크기에 대하여 동등 이상인 것이 바람직하다.
차폐 마스크는 특별히 한정하지는 않으며, 차광부와 투광부를 가진 것을 사용할 수 있다. 일례로 패턴 리타더를 제조하는 경우 배향막에 투광부 및 차광부를 갖는 제1 포토 마스크를 정렬하여 1차 노광공정을 수행한 후, 제1 포토 마스크의 투광부 및 차광부의 위치가 역전된 제2 포토 마스크를 정렬하여 2차 노광공정을 수행하여 서로 다른 광축을 갖도록 패턴화된 배향막을 제조할 수 있다.
편광 기판(10)의 하부에 배향막(60)이 형성된 기판(50)이 안치되는 스테이지(40)가 구비된다.
기판은 투명성, 기계적 강도, 열안정성, 수분차폐성 및 광학 등방성 등이 우수한 것을 사용하는 것이 바람직하다.
예를 들면 시클로올레핀폴리머(COP)와 시클로올레핀코폴리머(COC) 등 같이 고유 복굴절이 작은 재료로 된 필름을 사용할 수 있다. 또한 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리프로필렌(PP), 폴리카보네이트(PC), 폴리술폰(PSF) 및 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 등 같이 복굴절이 큰 재료로 된 필름도 분자상의 배향을 적절히 조절함으로써 광학 등방성을 부여하는 경우도 사용할 수 있다.
기판의 두께는 특별히 제한되는 것은 아니며, 통상 20 내지 500㎛일 수 있으며, 바람직하게는 20 내지 300㎛인 것이 좋다.
기판은 하기 배향막과의 밀착성이 충분히 발현되도록 하기 위하여 검화된 것일 수 있다. 구체적으로 배향막이 형성될 면에 코로나 방전 처리, 글로우 방전 처리, 화염 처리, 자외선 조사 처리, 플레임 플라즈마 처리와 같은 물리적 처리, 또는 오존 처리, 산 처리, 알칼리 처리 등에 의해 검화 처리될 수 있다.
배향막은 당 분야에서 일반적으로 사용되는 것으로 특별히 한정하지는 않으나, 유기 배향막을 사용하는 것이 바람직하다.
유기 배향막은 아크릴레이트계, 폴리이미드계 또는 폴리아믹산이 함유된 배향막 조성물을 사용하여 형성된다. 폴리아믹산은 디아민(di-amine)과 이무수물(dianhydride)을 반응시켜 얻어지는 폴리머이고 폴리이미드는 폴리아믹산을 이미드화하여 얻어지는 것으로 이들의 구조는 특별히 제한되지 않는다.
배향막 조성물은 적절한 점도를 유지하는 것이 중요하다. 점도가 지나치게 높으면 압력을 가해도 쉽게 유동하지 않아 균일한 두께의 배향막 형성이 어려우며, 점도가 지나치게 낮으면 퍼짐성은 좋으나 배향막의 두께 조절이 어렵다. 예컨데 8 내지 13cP인 것이 바람직하다.
또한 표면 장력, 고형분의 함량 및 용제의 휘발성 등을 고려하는 것이 좋다. 특히 고형분의 함량은 점도나 표면장력에 영향을 미치므로 배향막의 두께나 경화 특성 등을 동시에 고려하여 조절하는 것이 좋다.
고형분의 함량이 지나치게 높으면 점도가 높아 배향막의 두께가 두꺼워지며, 지나치게 낮을 경우에는 용매의 비율이 높아 용액의 건조 후 얼룩이 생기는 문제점이 있다. 예컨데 고형분의 함량이 2 내지 10중량%인 것이 바람직하다.
배향막 조성물은 아크릴레이트계, 폴리이미드계 또는 폴리아믹산 등의 고형분이 용매에 용해된 용액상인 것이 좋다. 용매는 고형분을 용해시킬 수 있는 것으로 특별히 한정하지 않으며, 구체적으로 부틸셀로솔브, 감마-부티로락톤, N-메틸-2-피롤리돈, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르 등이 사용될 수 있다.
이러한 용매는 용해도, 점도, 표면장력 등을 고려하여 균일한 배향막을 형성할 수 있도록 적절히 혼합하여 사용한다.
이외에 배향막 조성물은 효과적인 배향막 형성을 위하여 가교제 및 커플링제 등이 추가로 혼합될 수 있다.
배향막은 기재필름의 한 면에 배향막 조성물을 도포하여 제조된다.
도포는 당 분야에서 통상적으로 사용되는 방법이라면 특별히 제한되지 않는다. 예를 들면 도포는 배향막 조성물을 유동 주조법, 및 에어 나이프(air knife), 그라비아(gravure), 리버스 롤(reverse roll), 키스 롤(kiss roll), 스프레이(spray) 또는 블레이드(blade) 등의 도포방법을 이용하여 적당한 전개방식으로 직접 도포하여 형성할 수 있다.
배향막 조성물의 도포 효율을 향상시키기 위하여 건조 공정을 추가로 수행할 수 있다.
건조는 특별히 한정하지 않으며 통상 열풍 건조기나 원적외선 가열기를 이용하여 수행할 수 있으며, 건조온도는 통상 30 내지 100℃, 바람직하게는 50 내지 80℃이고, 건조시간은 통상 30 내지 600초, 바람직하게는 120 내지 600초인 것이 좋다.
이하, 본 발명의 이해를 돕기 위하여 바람직한 실시예를 제시하나, 하기 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐 본 발명의 범주 및 기술사상 범위 내에서 다양한 변경 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속하는 것도 당연한 것이다.
제조예: 편광자의 제조
평균 중합도가 2,400, 비누화도 99.9몰% 이상인 두께 75㎛의 폴리비닐올콜 필름(VF-PS, KURARAY사)을 건식으로 6.0배 1축 연신하고, 긴장 상태를 유지한 채로 60℃의 물(탈이온수)에 1분 동안 침지한 후, 요오드/요오드화칼륨/물의 중량비가 3.0/1.5/100인 28℃의 수용액에 60초 동안 침지하였다. 그 후, 요오드화칼륨/붕산/물의 중량비가 11/4/100인 55℃의 수용액에 300초 동안 침지하였다. 이어서, 10℃의 물로 20초 동안 세정한 후 65℃에서 건조하여 폴리비닐알콜 수지에 요오드가 흡착 배향된 편광자를 얻었다.
실시예 1 : 편광 기판의 제조
제조예에서 얻어진 편광자, 시클로올레핀계 필름의(아톤, 오쿠라㈜) 보호필름을 접착제로 접합하여 편광판을 제조하였다. 상기 편광판은 온도가 40℃이고, 습도가 55%RH인 분위기 하에서 48시간동안 양생(aging)하였다.
실시예 2 : 편광 노광 장치를 이용한 패턴 리타더의 제조
50㎛ 두께의 시클로올레핀계 기재필름(제온, 아톤, 오쿠라㈜)상에 아크릴레이트계 배향액을 스핀 코팅하고 40℃에서 120초간 열풍 건조하여 1,000Å 두께의 배향막을 형성하였다.
배향막 상에 투광부 및 차광부를 갖는 차폐 마스크(제1)를 정렬하고 14mW 노광 램프의 하부에 실시예 1의 편광판이 구비하여 편광된 자외선을 필름의 TD방향을 기준으로 75초간 조사하여 임의의 배향 방향을 가지는 배향막을 형성하였다.
이후에 상기 차폐 마스크의 투광부 및 차광부의 위치가 역전된 차폐 마스크(제2) 정렬하고 14mW 노광 램프의 하부에 실시예 1의 편광판이 구비하여 편광된 자외선을 필름의 TD방향을 기준으로 75초간 조사하여 임의의 배향 방향을 가지는 배향막을 형성하였다.
반응성 액정 단량체를 클로로포름에 용해시켜 제조된 25중량%(고형분 함량)의 액정 코팅용 조성물을 광 배향된 배향막 상에 코팅하고, 80℃에서 20초간 예비 건조 후, 110℃에서 5초간 건조하여 1.5㎛의 액정 코팅층을 형성하고, 이후, 14mW 노광 램프로 500초간 자외선으로 광경화하여 패턴화 리타더를 제조하였다.
10 ; 편광 기판
13 : 흡수형 편광자
15 : 보호필름
20 : 광원
30 : 차폐 마스크
40 : 스테이지
50 : 기판
60 : 배향막

Claims (7)

  1. 광원과 스테이지 사이에 편광 기판을 구비하고, 상기 편광 기판은 흡수형 편광자의 양면에 시클로올레핀계 폴리머 보호필름이 접합되어 구성되는 것인 편광 노광 장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 편광 기판은 입사되는 빛에 대해 실질적으로 90˚가 되도록 배치되는 편광 노광 장치.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 흡수형 편광자의 양면에는 시클로올레핀 폴리머들, 시클로올레핀 코폴리머들, 또는 시클로올레핀 폴리머 및 시클로올레핀 코폴리머가 접합된 편광 노광 장치.
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 편광 기판은 그 두께가 15 내지 440㎛인 편광 노광 장치.
  5. 청구항 1에 있어서, 상기 편광 기판은 상기 스테이지에 놓여지는 배향막이 형성된 기판보다 큰 편광 노광 장치.
  6. 청구항 1에 있어서, 상기 편광 기판의 처짐을 방지하기 위한 립롤을 추가로 구비하는 편광 노광 장치.
  7. 청구항 1에 있어서, 상기 흡수형 편광자는 폴리비닐알콜계 필름을 연신하여 제조된 것인 편광 노광 장치.
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