KR20110133881A - 표시 장치용 플렉서블 기판 및 그의 제조 방법 - Google Patents

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KR20110133881A
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유진태
김영배
양재우
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Abstract

본 발명은 표시 장치용 플렉서블 기판 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 플렉서블 기판을 단위 플렉서블 기판으로 분리하는 과정에서 플렉서블 기판의 무기층이 손상되는 것을 억제하기 위한 것이다. 본 발명에 따르면, 복수의 단위 플렉서블 기판으로 제조할 수 있는 플라스틱 소재의 베이스 필름을 준비하고, 베이스 필름의 적어도 일면에 단위 플렉서블 기판으로 분리될 영역에 각각 대응되게 분리된 복수의 무기 패턴을 형성한다. 그리고 복수의 무기 패턴과, 복수의 무기 패턴이 형성된 베이스 필름의 면을 덮는 고분자 플라스틱 소재의 보호층을 형성한다. 이때 복수의 무기 패턴 사이의 영역을 따라서 베이스 필름을 절단하여 단위 플렉서블 기판으로 분리함으로써, 단위 플렉서블 기판을 분리하는 과정에서 발생되는 무기 패턴의 손상을 방지할 수 있다.

Description

표시 장치용 플렉서블 기판 및 그의 제조 방법{flexible substrate for display apparatus and manufacturing method thereof}
본 발명은 표시 장치용 플렉서블 기판(flexible substrate) 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 무기층이 단위 플렉서블 기판으로 분리된 영역에 대응되게 패턴화되어 형성된 표시 장치용 플렉서블 기판 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
최근, 액정 및 OLED 등의 표시 장치는 경박화, 대형화에 더하여 장기신뢰성, 형상의 자유도, 곡면표시 등 더욱 고도한 특성이 요구되고 있다. 특히, 휴대용 컴퓨터, 휴대전화 등 휴대용 전자기기의 발달에 따라 무겁고 두꺼우며, 깨지기 쉽고 휘어지기 어려운 종래의 유리 기판에 대한 대안으로서 플라스틱을 소재로 하는 플렉서블 기판(flexible substrate)에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있으며, 일부는 실용화 단계에 있다.
이와 같은 플렉서블 기판을 이용한 플렉서블 표시 장치는 유리 기판을 사용하는 기존의 표시 장치에 비하여 더 얇고 더 가볍고 외곽 디자인이 자유로우며 깨지지 않을 뿐 아니라 유연한 성질을 가지는 대표적인 차세대 표시 장치 중의 하나이다. 플렉서블 기판은 고분자 플라스틱 수지로 이루어진 베이스 필름을 기반으로 한다.
이와 같은 플렉서블 기판은 제조할 표시 장치에 크게 맞게 개별적으로 제조되기 보다 플렉서블 기판의 제조 비용을 낮추기 위해서 복수의 표시 장치에 제조에 사용될 복수의 단위 플렉서블 기판을 포함할 수 있도록 제조된다. 플렉서블 기판은 표시 장치의 제조 공정으로 제공되기 전에 절단기를 이용하여 단위 플렉서블 기판으로 분리된다.
그런데 플렉서블 기판은 유리 기판과는 다르게 산소, 수분 등을 통과시키는 단점이 있다. 즉, 플렉서블 기판을 구성하는 고분자 플라스틱 수지는 산소, 수분 등을 통과시킨다. 플렉서블 기판으로 침투한 산소, 수분 등은 액정층 및 박막트랜지스터에 치명적인 영향을 미치게 된다.
이와 같은 산소, 수분 등이 플렉서블 기판 안으로 침투하는 것을 방지하기 위해서, 베이스 필름 위에 금속 산화물층을 형성할 수 있다. 그런데 금속 산화물층은 플렉서블 기판을 단위 플렉서블 기판으로 분리하는 과정에서 손상될 수 있다. 즉 금속 산화물층은 베이스 기판의 전면에 형성되기 때문에, 절단기로 분리할 때 베이스 필름과 함께 금속 산화물층도 함께 분리된다. 이때 분리하는 과정에서 절단기는 금속 산화물층에 물리적인 스트레스를 작용하고, 금속 산화물층에 작용한 물리적인 스트레스에 의해 단위 플렉서블 기판의 분리된 면의 안쪽의 금속 산화물층으로 크랙이 발생될 수 있다.
이와 같이 금속 산화물층을 갖는 플렉서블 기판은 단위 플렉서블 기판으로 분리하는 과정에서 발생되는 금속 산화물층의 크랙으로 인해 단위 플렉서블 기판이 불량 처리되는 문제점이 있다.
그리고 크랙이 형성된 금속 산화물층을 포함하는 단위 플렉서블 기판을 표시 장치의 제조에 사용할 경우, 금속 산화물층에 형성된 크랙은 산소, 수분 등이 침투할 수 있는 경로를 제공하여 제조되는 표시 장치의 제품 신뢰성을 떨어뜨릴 수 있다.
따라서 본 발명의 목적은 플렉서블 기판을 단위 플렉서블 기판으로 분리하는 과정에서 무기층이 손상되는 것을 방지할 수 있는 표시 장치용 플렉서블 기판 및 그의 제조 방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 플라스틱 소재의 베이스 필름, 제1 무기 패턴 및 제1 보호층을 포함하는 복수의 단위 플렉서블 기판으로 제조될 표시 장치용 플렉서블 기판을 제공한다. 상기 복수의 제1 무기 패턴은 상기 베이스 필름의 일면에 형성되며, 상기 단위 플렉서블 기판으로 분리될 영역에 각각 대응되게 분리 형성된다. 그리고 고분자 플라스틱 소재의 상기 제1 보호층은 상기 복수의 제1 무기 패턴과, 상기 복수의 제1 무기 패턴이 형성된 상기 베이스 필름의 일면을 덮는다.
본 발명에 따른 표시 장치용 플렉서블 기판에 있어서, 상기 복수의 제1 무기 패턴은 서로 일정 간격 이격되어 상기 베이스 필름의 일면에 매트릭스 형태로 배열될 수 있다.
본 발명에 따른 표시 장치용 플렉서블 기판에 있어서, 상기 복수의 제1 무기 패턴 간의 거리는 절단기로 분리할 폭보다는 적어도 넓게 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 표시 장치용 플렉서블 기판에 있어서, 상기 제1 보호층 위에 형성된 전극층을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 표시 장치용 플렉서블 기판은 상기 베이스 필름의 타면에 형성된 복수의 제2 무기 패턴 및 제2 보호층을 더 포함할 수 있다. 상기 복수의 제2 무기 패턴은 상기 베이스 필름의 일면에 반대되는 타면에 형성되며, 상기 단위 플렉서블 기판으로 분리될 영역에 각각 대응되게 분리 형성된다. 고분자 플라스틱 소재의 상기 제2 보호층은 상기 복수의 제2 무기 패턴과, 상기 복수의 제2 무기 패턴이 형성된 상기 베이스 필름의 타면을 덮는다.
본 발명에 따른 표시 장치용 플렉서블 기판에 있어서, 상기 복수의 제1 및 제2 무기 패턴은 상기 베이스 필름을 중심으로 상하로 서로 대응되는 위치에 형성될 수 있다.
본 발명은 또한, 복수의 단위 플렉서블 기판으로 제조할 수 있는 플라스틱 소재의 베이스 필름을 준비하는 단계, 상기 베이스 필름의 적어도 일면에 상기 단위 플렉서블 기판으로 분리될 영역에 각각 대응되게 분리된 복수의 무기 패턴을 형성하는 단계, 상기 복수의 무기 패턴과, 상기 복수의 무기 패턴이 형성된 상기 베이스 필름의 면을 덮는 고분자 플라스틱 소재의 보호층을 형성하는 단계를 포함하는 표시 장치용 플렉서블 기판의 제조 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 표시 장치용 플렉서블 기판의 제조 방법에 있어서, 상기 무기 패턴을 형성하는 단계는, 상기 베이스 필름의 적어도 일면을 덮는 무기층을 형성하는 단계와, 상기 무기층 중 상기 단위 플렉서블 기판으로 분리될 영역의 외곽을 제거하여 상기 복수의 무기 패턴을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 표시 장치용 플렉서블 기판의 제조 방법에 있어서, 상기 보호층을 형성하는 단계 이후에 수행되는, 상기 제1 보호층 위에 전극층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
그리고 본 발명에 따른 표시 장치용 플렉서블 기판의 제조 방법에 있어서, 상기 전극층을 형성하는 단계 이후에 수행되는, 상기 복수의 무기 패턴 사이의 영역을 따라서 상기 베이스 필름을 절단하여 단위 플렉서블 기판으로 분리하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 플렉서블 기판에 무기층이 단위 플렉서블 기판으로 분리된 영역에 대응되게 패터닝되어 있기 때문에, 플렉서블 기판을 단위 플렉서블 기판으로 분리하는 과정에서 무기층이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 즉 개별 단위 플렉서블 기판으로 분리되는 절단 영역에서 이격된 기판 영역에 개별적으로 패터닝된 무기층이 형성되기 때문에, 플렉서블 기판을 절단기로 분리하는 과정에서 무기층이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이와 같이 무기층의 손상을 근본적으로 차단할 수 있기 때문에, 무기층 손상으로 인한 표시 장치의 초기 불량을 개선하고 제조되는 표시 장치의 수명을 연장시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치용 플렉서블 기판을 보여주는 평면도이다.
도 2는 도 1의 2-2선 단면도이다.
도 3은 내지 도 8은 도 1의 표시 장치용 플렉서블 기판의 제조 방법에 따른 각 단계를 보여주는 도면들이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 표시 장치용 플렉서블 기판을 보여주는 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하자고 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치용 플렉서블 기판을 보여주는 평면도이다. 도 2는 도 1의 2-2선 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 제1 실시예에 따른 표시 장치용 플렉서블 기판(100)은 복수의 단위 플렉서블 기판(50)을 포함하며, 복수의 단위 플렉서블 기판(50)은 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 복수의 단위 플렉서블 기판(50)은 절단기를 이용한 절단 공정을 통하여 개별 단위 플렉서블 기판(50)으로 분리된다.
이와 같은 제1 실시예에 따른 플렉서블 기판(100)은 베이스 필름(10), 복수의 무기 패턴(20) 및 보호층(30)을 포함하며, 보호층(30) 위에 형성된 전극층(40)을 더 포함할 수 있다. 베이스 필름(10)은 유연성을 갖는 플라스틱 소재의 필름이다. 복수의 무기 패턴(20)은 베이스 필름(10)의 제1 면(12)에 형성되며, 단위 플렉서블 기판(50)으로 분리될 기판 영역(23)에 각각 대응되게 분리 형성된다. 보호층(30)은 고분자 플라스틱 소재로 형성되며, 복수의 무기 패턴(20)과, 복수의 무기 패턴(20)이 형성된 베이스 필름(10)의 제1 면(12)을 덮도록 형성된다. 그리고 전극층(40)은 보호층(30) 위에 형성된다. 즉 제1 실시예에 따른 플렉서블 기판(100)은 복수의 단위 플렉서블 기판(50)으로 형성될 기판 영역(23)과, 기판 영역(23) 사이에 형성되는 절단 영역(25)을 포함하며, 절단 영역(25)에서 이격된 기판 영역(25) 안에 무기 패턴(20)이 형성된 구조를 갖는다.
이와 같이 제1 실시예에 따른 플렉서블 기판(100)은 무기층이 단위 플렉서블 기판(50)으로 분리된 기판 영역(23)에 대응되게 패터닝되어 무기 패턴(20)으로 형성되기 때문에, 플렉서블 기판(100)을 단위 플렉서블 기판(50)으로 분리하는 과정에서 무기 패턴(20)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 즉 개별 단위 플렉서블 기판(50)으로 분리되는 절단 영역(25)의 안쪽에 개별적으로 패터닝된 무기 패턴(20)이 형성되기 때문에, 플렉서블 기판(100)을 절단기로 분리하는 과정에서 무기 패턴(20)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이와 같이 무기 패턴(20)의 손상을 근본적으로 차단할 수 있기 때문에, 무기 패턴(20)의 손상으로 인한 표시 장치의 초기 불량을 개선하고 제조되는 표시 장치의 수명을 연장시킬 수 있다.
제1 실시예에 따른 플렉서블 기판(100)에 대해서 상세히 설명하면 다음과 같다.
베이스 필름(10)은 플렉서블 기판(100)의 기초가 되는 유연성을 갖는 플라스틱 소재의 기판으로, 적어도 한 층 이상으로 형성될 수 있다. 베이스 필름(10)은 제1 면(12)과, 제1 면(12)에 반대되는 제2 면(14)을 갖는 사각판 형태로 형성될 수 있다. 이때 베이스 필름(10)의 소재로는 폴리노보넨, 아로마틱 플로렌 폴리에스테르, 폴리에테르설폰, 비스페놀에이폴리설폰, 폴리이미드, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈렌, 폴리아릴레이트, 폴리카보네이트 등이 사용될 수 있다.
복수의 무기 패턴(20)은 베이스 필름(10)을 통한 산소, 수분 등의 침투를 방지하기 위한 투습 방지층으로서, 베이스 필름(10) 위에 박막으로 형성된다. 특히 복수의 무기 패턴(20)은 베이스 필름(10) 위에 무기층을 형성한 이후에 단위 플렉서블 기판(50)으로 분리된 기판 영역(23)의 외곽을 제거하여 형성할 수 있다. 이때 절단기를 이용한 절단 공정을 용이하게 진행할 수 있도록, 복수의 무기 패턴(20)은 서로 일정 간격(d) 이격되어 베이스 필름(10)의 제1 면(12)에 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 무기 패턴(20) 간의 거리(d)는 절단기로 분리할 폭보다는 적어도 넓게 형성된다.
이때 무기 패턴(20)은 산화층 또는 질화층으로 형성된 군에서 선택된 적어도 하나의 소재로 형성될 수 있다. 예컨대 무기 패턴(20)의 소재로는 SiOX, Al2O3, TiO2, MgO, Ta2O5, SiNX, TiNX 등이 사용될 수 있다. 무기 패턴(20)은 적어도 한 층 이상으로 형성될 수 있으며, 복수층으로 형성할 경우 상기한 소재 중에 적어도 두 개를 이용할 수 있다. 그리고 무기 패턴(20)은 증착 방법, 스퍼터링 방법, CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법, ALE(Atomic Layer Epitaxy) 방법, MBE(Molecular Beam Epitaxy) 방법 등이 사용될 수 있다.
보호층(30)은 외부 환경으로부터 무기 패턴(20)을 보호하고, 플렉서블 기판(100)의 수축율을 보상하고, 플렉서블 기판(100)의 방습 특성을 향상시키고, 무기 패턴(20)이 형성된 베이스 필름(10)의 제1 면(12)을 평탄화하는 기능을 수행한다. 이때 보호층(30)은 다양한 방법으로 형성될 수 있다. 예컨대 보호층(30)은 고분자 물질로 이루어진 필름을 라미네이션 방법으로 베이스 필름(10) 위에 부착하여 형성할 수 있다. 또는 보호층(30)은 안정성이 우수하고 투습성이 적은 에폭시, 실리콘, 불소 수지, 아크릴 수지, 우레탄 수지, 페놀 수지 등의 고분자 수지를 베이스 필름(10) 위에 인쇄 또는 코팅하는 방법으로 형성할 수 있다. 또는 보호층(30)은 안정성이 우수하고 투습성이 적은 패릴렌(parylene) 등의 코팅제를 사용하여 실온에서 화학적인 증착 방법 또는 열 증착 방법을 사용하여 베이스 필름(10) 위에 형성할 수 있다.
그리고 전극층(40)은 보호층(30) 위에 형성되며, 투명 전극으로 형성될 수 있다. 예컨대 전극층(40)의 소재로는 ITO(Indium Tin Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), PTO(Potassium Tin Oxide), ATO(Antimony Tin Oxide), AZO(Antimony Zinc Oxide), 전도성 고분자 물질 등이 사용될 수 있다.
이와 같은 제1 실시예에 따른 플렉서블 기판(100)은 절단 영역(25)을 따라서 분리함으로써, 개별 단위 플렉서블 기판(50)을 획득할 수 있다. 이때 절단 영역925)의 안쪽에 무기 패턴(20)이 형성되어 있기 때문에, 플렉서블 기판(100)을 절단하는 과정에서 무기 패턴(20)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
한편 도 1에 개시된 플렉서블 기판(100)은 3행4렬의 매트릭스 형태로 배열된 단위 플렉서블 기판(50)을 포함하는 예를 개시하였지만 이것에 한정되는 것은 아니다. 플렉서블 기판(100)은 N형M렬(N, M은 자연수로, 둘 중 적어도 하나는 2이상의 자연수)의 다양한 매트릭스 형태로 배열된 단위 플렉서블 기판(50)을 포함할 수 있다.
제1 실시예에 따른 플렉서블 기판(100)의 제조 방법을 도 1 내지 도 8을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 도 3은 내지 도 8은 도 1의 표시 장치용 플렉서블 기판의 제조 방법에 따른 각 단계를 보여주는 도면들이다.
먼저 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 단위 플렉서블 기판으로 제조할 수 있는 플라스틱 소재의 베이스 필름(10)을 준비한다. 이때 베이스 필름(10)은 제1 면(12)과, 제1 면(12)에 반대되는 제2 면(14)을 갖는 사각판 형태로 형성될 수 있다.
다음으로 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 베이스 필름(10)의 제1 면(12)에 단위 플렉서블 기판으로 분리된 기판 영역에 각각 대응되게 분리된 복수의 무기 패턴(20)을 형성한다. 즉 도 4에 도시된 바와 같이, 베이스 필름(10)의 제1 면(12)에 일정 두께로 무기층(21)을 형성한다. 이때 무기층(21)은 증착 방법, 스퍼터링 방법, CVD 방법, ALE 방법, MBE 방법 등으로 형성될 수 있으며, 적어도 한 층 이상으로 형성될 수 있다. 이어서 도 5에 도시된 바와 같이, 무기층(도 4의 21) 중 단위 플렉서블 기판으로 분리될 기판 영역의 외곽을 제거하여 복수의 무기 패턴(20)을 형성한다. 이때 무기층(21)을 패터닝하는 방법으로는 사진 공정이 사용될 수 있다. 무기층(21)을 패터닝할 때, 절단기로 절단되는 절단 영역의 폭보다는 넓게 무기층(21)을 패터닝한다. 즉 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 무기 패턴(20) 간의 거리(d)는 절단 영역(25)의 폭보다는 적어도 넓게 형성된다.
다음으로 도 6에 도시된 바와 같이, 베이스 필름(10)의 제1 면(12)에 고분자 플라스틱 소재의 보호층(30)을 형성한다. 즉 보호층(30)은 복수의 무기 패턴(20)과, 복수의 무기 패턴(20)이 형성된 베이스 필름(10)의 제1 면(12)을 덮도록 형성된다. 보호층(30)의 표면은 평탄하게 형성된다. 예컨대 보호층(30)은 라미네이션 방법, 인쇄 방법, 코팅 방법, 화학적인 증착 방법, 열 증착 방법 등으로 형성할 수 있다. 이때 보호층(30)을 형성한 이후에 표면을 평탄화하기 위한 평탄화 공정을 더 수행할 수 있다.
이어서 도 7에 도시된 바와 같이, 보호층(30)을 덮는 전극층(40)을 형성한다. 이때 전극층(40)은 물리적인 증착법인 진공증착법 또는 스퍼터링법으로 형성할 수 있다. 이때 전극층(40)은 ITO, ITZO, IZO, PTO, ATO, AZO, 전도성 고분자 물질 등으로 형성할 수 있다.
그리고 도 1, 도 2 및 도 8에 도시된 바와 같이, 절단 영역(25)을 따라서 플렉서블 기판(100)을 절단기(60)로 절단함으로써, 플렉서블 기판(100)을 단위 플렉서블 기판(50)으로 분리할 수 있다. 즉 복수의 무기 패턴(20) 사이의 절단 영역(25)을 따라서 플렉서블 기판(100)을 절단함으로써 개별 단위 플렉서블 기판(50)으로 분리할 수 있다. 이때 절단기(60)로는 물리적인 절단날을 구비한 절단기, 또는 레이저 절단기가 사용될 수 있다.
한편 제1 실시예에 따른 플렉서블 기판(100)은 전극층(40)이 형성되는 베이스 필름(10)의 제1 면(12)에 무기 패턴(20)이 형성된 예를 개시하였지만 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 도 9에 도시된 바와 같이, 베이스 필름(10)의 양면에 무기 패턴(20,70)이 형성될 수 있다. 여기서 도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 표시 장치용 플렉서블 기판(200)을 보여주는 단면도이다.
도 9를 참조하면, 제2 실시예에 따른 플렉서블 기판(200)은 베이스 필름(10)의 제1 면(12)에 제1 무기 패턴(20)을 포함한 제1 보호층(30) 및 전극층(40)이 형성되고, 베이스 필름(10)의 제2 면(14)에 제2 무기 패턴(70) 및 제2 보호층(80)이 형성된 구조를 갖는다.
이때 단위 플렉서블 기판으로 분리하는 과정에서 무기 패턴(20)이 손상되는 것을 방지하기 위해서, 제1 및 제2 무기 패턴(20,70)은 베이스 필름(10)을 중심으로 상하로 서로 대응되게 위치에 형성된다.
이와 같이 베이스 필름(10)의 양면(12,14)에 각각 무기 패턴(20,70)을 포함한 보호층(40,80)을 형성함으로써, 플렉서블 기판(200)의 방습 특성을 더욱 향상시킬 수 있다.
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 실시예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 것이다.
10 : 베이스 기판 12 : 제1 면
14 : 제2 면 20 : 무기 패턴
21 : 무기층 23 : 기판 영역
25 : 절단 영역 30 : 보호층
40 : 전극층 50 : 단위 플렉서블 기판
60 : 절단기 100 : 플렉서블 기판

Claims (10)

  1. 복수의 단위 플렉서블 기판으로 제조될 표시 장치용 플렉서블 기판으로,
    플라스틱 소재의 베이스 필름;
    상기 베이스 필름의 일면에 형성되며, 상기 단위 플렉서블 기판으로 분리될 영역에 각각 대응되게 분리 형성된 복수의 제1 무기 패턴;
    상기 복수의 제1 무기 패턴과, 상기 복수의 제1 무기 패턴이 형성된 상기 베이스 필름의 일면을 덮는 고분자 플라스틱 소재의 제1 보호층;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치용 플렉서블 기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 복수의 제1 무기 패턴은
    서로 일정 간격 이격되어 상기 베이스 필름의 일면에 매트릭스 형태로 배열된 것을 특징으로 하는 표시 장치용 플렉서블 기판.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 제1 무기 패턴 간의 거리는 절단기로 분리할 폭보다는 적어도 넓게 형성된 것을 특징으로 하는 표시 장치용 플렉서블 기판.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 보호층 위에 형성된 전극층;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치용 플렉서블 기판.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 베이스 필름의 일면에 반대되는 타면에 형성되며, 상기 단위 플렉서블 기판으로 분리될 영역에 각각 대응되게 분리 형성된 복수의 제2 무기 패턴;
    상기 복수의 제2 무기 패턴과, 상기 복수의 제2 무기 패턴이 형성된 상기 베이스 필름의 타면을 덮는 고분자 플라스틱 소재의 제2 보호층;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치용 플렉서블 기판.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 복수의 제1 및 제2 무기 패턴은 상기 베이스 필름을 중심으로 상하로 서로 대응되는 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 표시 장치용 플렉서블 기판.
  7. 복수의 단위 플렉서블 기판으로 제조할 수 있는 플라스틱 소재의 베이스 필름을 준비하는 단계;
    상기 베이스 필름의 적어도 일면에 상기 단위 플렉서블 기판으로 분리될 영역에 각각 대응되게 분리된 복수의 무기 패턴을 형성하는 단계;
    상기 복수의 무기 패턴과, 상기 복수의 무기 패턴이 형성된 상기 베이스 필름의 면을 덮는 고분자 플라스틱 소재의 보호층을 형성하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치용 플렉서블 기판의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 무기 패턴을 형성하는 단계는,
    상기 베이스 필름의 적어도 일면을 덮는 무기층을 형성하는 단계;
    상기 무기층 중 상기 단위 플렉서블 기판으로 분리될 영역의 외곽을 제거하여 상기 복수의 무기 패턴을 형성하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치용 플렉서블 기판의 제조 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 보호층을 형성하는 단계 이후에 수행되는,
    상기 제1 보호층 위에 전극층을 형성하는 단계;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치용 플렉서블 기판의 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 전극층을 형성하는 단계 이후에 수행되는,
    상기 복수의 무기 패턴 사이의 영역을 따라서 상기 베이스 필름을 절단하여 단위 플렉서블 기판으로 분리하는 단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치용 플렉서블 기판의 제조 방법.
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