KR20110131838A - 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치에 관한 것이다. 본 발명의 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치는 하나의 입력 전류를 복수 개의 채널로 분배하는 전류 분배 회로에 있어서, 상기 전류 분배 회로는 전류의 상호 균형을 조절하여 분배하는 전류 균형 회로를 포함하고, 상기 전류 균형 회로는 임피던스 전환 회로를 포함한다. 본 발명의 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치에 의하면, 임피던스 전환기를 사용하여 전류 분배 회로를 통해 다중 분할 전극 세트로 분배된 전류의 낮아진 임피던스 값을 보상함으로써 전류 분배 회로의 입력과 출력단에서의 임피던스 값이 균형을 이루게 한다. 또한 임피던스 값이 보상됨으로써 플라즈마 챔버 내부에 균일한 플라즈마 방전을 유도할 수 있다. 또한, 동축 케이블을 사용하여 전원 공급원으로부터 고주파 전력이 급전되는 과정에서 공중으로 방사되는 것을 차폐하여 방사 손실이 발생되는 것을 최소화한다. 더불어 전류 균형 분배 회로에 의해 분배된 전류가 상호 균형을 이룰 수 있도록 함으로써 플라즈마 챔버 내부에 보다 균일한 플라즈마 방전이 이루어진다.

Description

다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치{POWER FEEDING DEVICE FOR MULTI DIVIDED ELECTRODE SET}
본 발명은 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치에 관한 것으로, 구체적으로는 균일한 플라즈마 발생과 전력 손실을 저감할 수 있는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치에 관한 것이다.
플라즈마는 여러 산업 분야에 널리 사용되고 있다. 반도체 산업 분야의 경우 플라즈마를 이용한 피처리 기판의 처리 공정들 예를 들어, 증착, 식각, 세정 등에 사용되고 있다.
플라즈마를 발생하기 위한 플라즈마 소스는 여러 가지가 있는데 무선 주파수(radio frequency)를 사용한 용량 결합 플라즈마(capacitive coupled plasma)와 유도 결합 플라즈마(inductive coupled plasma)가 그 대표적인 예이다. 이러한 용량 결합 플라즈마와 유도 결합 플라즈마는 전원 공급원으로부터 임피던스 정합기를 통해 용량 결합 전극과 안테나로 고주파 전력을 제공하여 생성된다.
최근 반도체 제조 산업에서는 반도체 소자의 초미세화, 반도체 회로를 제조하기 위한 실리콘 웨이퍼 기판이나 유리 기판 또는 플라스틱 기판과 같은 피처리 기판의 대형화 그리고 새로운 처리 대상 물질이 개발되고 있는 등과 같은 여러 요인으로 인하여 더욱 향상된 플라즈마 처리 기술이 요구되고 있다. 특히, 대면적의 피처리 기판에 대한 우수한 처리 능력을 갖는 향상된 플라즈마 소스 및 플라즈마 처리 기술이 요구되고 있다. 즉, 대형화되는 피처리 기판을 균일하게 처리하기 위하여 대면적의 플라즈마를 균일하게 생성하는 것이 요구된다.
이러한 요구를 충족시키는 한 방법으로 용량 결합 전극과 안테나에 전류를 균형적으로 공급하기 위한 전류 분배 회로를 구성할 수 있다. 전류 분배 회로는 하나의 입력 전류를 다수 개의 채널로 분배하고, 각 채널은 용량 결합 전극 또는 안테나가 연결되기 때문에 용량 결합 전극 또는 안테나로 전류가 분배되면서 균일한 플라즈마가 발생된다.
그러나 전류 분배 회로로 입력된 전류는 전류 분배 회로를 통해 분배되면서 임피던스 값이 낮아지게 된다. 즉, 전류 분배 회로의 입력단에서의 임피던스 값과 출력단에서의 임피던스 값이 동일하지 않게 된다. 그러므로 임피던스 값의 불균형으로 인하여 대면적의 플라즈마를 균일하게 생성하기 어렵게 된다.
본 발명의 목적은 대면적의 균일한 플라즈마를 생성하기 위한 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 임피던스 전환 회로를 통해 전류 균형 분배 회로의 입력과 출력시의 임피던스 값 차이를 보상하여 플라즈마를 균일하게 할 수 있는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치를 제공하는데 있다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일면은 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치에 관한 것이다. 본 발명의 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치는 하나의 입력 전류를 복수 개의 채널로 분배하는 전류 분배 회로에 있어서, 상기 전류 분배 회로는 전류의 상호 균형을 조절하여 분배하는 전류 균형 회로를 포함하고, 상기 전류 균형 회로는 임피던스 전환 회로를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 전류 균형 분배 회로는 전류 균형을 이루는 다수 개의 변압기로 구성되어 반복된 분기 구조이다.
일 실시예에 있어서, 상기 다수 개의 변압기는 양단 출력이 전류 균형을 이루는 다수 개의 차동 변압기로 구성된다.
일 실시예에 있어서, 상기 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치는 다수 개의 단위 분할 전극을 갖는 다중 분할 전극 세트를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 임피던스 전환 회로는 적어도 하나의 차동 변압기로 구성된다.
일 실시예에 있어서, 상기 임피던스 전환 회로는 상기 전류 균형 회로의 전류가 입력되는 입력단에 구성된다.
일 실시예에 있어서, 상기 임피던스 전환 회로는 상기 전류 균형 회로의 전류가 출력되는 출력단에 구성된다.
일 실시예에 있어서, 상기 임피던스 전환 회로는 적어도 하나의 인덕터가 구성된다.
일 실시예에 있어서, 상기 인덕터는 일단이 상기 전류 균형 회로의 출력단에 연결되고, 타단은 접지로 연결되어 상기 인덕터의 일단과 타단 사이에서 멀티탭이 구성된다.
일 실시예에 있어서, 상기 멀티탭은 스위치에 의해 선택적으로 연결되어 상기 다수 개의 단위 분할 전극으로 공급된다.
일 실시예에 있어서, 상기 임피던스 전환 회로는 적어도 하나의 캐패시터가 구성된다.
일 실시예에 있어서, 상기 캐패시터는 일단이 상기 전류 균형 회로의 출력단에 연결되고, 타단은 접지로 연결되어 상기 캐패시터의 일단과 타단 사이에서 멀티탭이 구성된다.
일 실시예에 있어서, 상기 멀티탭은 스위치에 의해 선택적으로 연결되어 상기 다수 개의 단위 분할 전극으로 공급된다.
일 실시예에 있어서, 상기 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치는 전원 공급원에서 발생된 고주파의 방사를 차폐하기 위한 다수 개의 동축 케이블을 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치는 다중 분할 전극 세트에 구비된 다수 개의 단위 분할 전극에 직렬로 연결되는 캐패시터를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치는 다중 분할 전극 세트에 구비된 다수 개의 단위 분할 전극으로 위상을 반전시켜 제공하기 위한 위상 전환기를 포함한다.
본 발명의 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치에 의하면, 임피던스 전환기를 사용하여 전류 분배 회로를 통해 다중 분할 전극 세트로 분배된 전류의 낮아진 임피던스 값을 보상함으로써 전류 분배 회로의 입력과 출력단에서의 임피던스 값이 균형을 이루게 한다. 또한 임피던스 값이 보상됨으로써 플라즈마 챔버 내부에 균일한 플라즈마 방전을 유도할 수 있다. 또한, 동축 케이블을 사용하여 전원 공급원으로부터 고주파 전력이 급전되는 과정에서 공중으로 방사되는 것을 차폐하여 방사 손실이 발생되는 것을 최소화한다. 더불어 전류 균형 분배 회로에 의해 분배된 전류가 상호 균형을 이룰 수 있도록 함으로써 플라즈마 챔버 내부에 보다 균일한 플라즈마 방전이 이루어진다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치의 개략적인 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치의 개략적인 구성을 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 제2 임피던스 전환기를 스위칭 회로로 구성한 도면이다.
도 4는 캐패시터로 제2 임피던스 전환기를 구성한 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 제2 임피던스 전환기를 스위칭 회로로 구성한 도면이다.
도 6은 가변 캐패시터로 제2 임피던스 전환기를 구성한 도면이다.
도 7은 단위 분할 전극에 위상 전환기를 구성한 예를 보여주는 도면이다.
도 8은 단위 분할 전극에 캐패시터를 직렬로 구성한 도면이다.
본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공 되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치의 개략적인 구성을 보여주는 도면이다.
도 1을 참조하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라즈마 챔버(200)는 다수 개의 단위 분할 전극(212)으로 구성되는 다중 분할 전극 세트(210)를 구비한다. 단위 분할 전극(212)은 선형 구조를 갖고 병렬로 배열되어 플라즈마 챔버(200)의 내측 천장에 설치될 수 있다. 가스 공급은 병렬로 배열된 단위 분할 전극(212)의 사이로 주입되어 플라즈마 챔버(200) 내부로 공급될 수 있다. 다중 분할 전극 세트(210)는 단위 분할 전극(212) 사이에 접지 전극(214)을 교대적으로 배열하여 구성될 수 있다. 즉, 동일한 구조의 다수 개의 단위 분할 전극(212)과 다수 개의 접지 전극(214)이 교대적으로 배열됨으로서 전극들 사이에서 플라즈마 방전이 이루어진다. 또한 모든 단위 분할 전극(212, 214)에 전력을 공급하여 다중 분할 전극 세트(210)를 구성할 수도 있다.
전원 공급원(100)으로부터 임피던스 정합기(110)를 통하여 고주파 전력이 다중 분할 전극 세트(210)로 공급된다. 여기서, 전원 공급원(100)으로부터 공급되는 고주파 전력은 전류가 상호 균형을 이루도록 분배하는 제1, 2 전류 균형 분배 회로(120, 140)를 통해 다중 분할 전극 세트(210)의 단위 분할 전극(212)으로 제공된다. 그러므로 플라즈마 챔버(200)의 내부에 보다 균일한 플라즈마 방전이 이루어지도록 한다.
제1, 2 전류 균형 분배 회로(120, 140)는 다수 개의 변압기를 사용하여 반복된 분기 구조로 구성할 수 있다. 예를 들어, 차동 변압기를 사용하여 구성될 수 있다. 제1, 2 전류 균형 분배 회로(120, 140)의 첫 번째 분기 구조를 구성하는 차동 변압기(122a, 142a)의 출력단에 각각 차동 변압기(122b, 142b)를 하나씩 연결함으로써 최종 분기 구조를 구성한다. 이러한 방식으로 반복된 분기 구조를 형성할 수 있다. 최종 분기 구조를 구성하는 차동 변압기(122b, 142b)의 출력단에서 출력되는 전류는 동일하게 균형을 이룬다. 본 발명에서는 제1 전류 균형 분배 회로(120)에서 최종 분기 구조를 구성하는 차동 변압기(122b)의 출력단에 각각 차동 변압기가 반복된 분기구조로 형성된 제2 전류 균형 분배 회로(140)가 연결된다.
여기서, 제1, 2 전류 균형 분배 회로(120, 140)로 입력되는 전류는 제1, 2 전류 균형 분배 회로(120, 140)에 의해 분배되면서 임피던스 값이 점차 낮아지게 된다. 그러므로 본 발명에서는 제1, 2 전류 균형 분배 회로(120, 140)로 전류가 입력되는 입력단에 제1, 2 임피던스 전환기(130a, 130b)를 구비하여 낮아진 임피던스 값이 보상됨으로써 임피던스 값의 균형이 이루어진다. 즉, 제1 전류 균형 분배 회로(120)를 통해 분배된 전류의 임피던스 값은 제1 임피던스 전환기(130a)에 의해 보상되고, 제2 전류 균형 분배 회로(140)를 통해 분배된 전류의 임피던스 값은 제2 임피던스 전환기(130b)에 의해 보상된다, 제1, 2 전류 균형 분배 회로(120, 140)의 전류 입력단과 출력단에서의 임피던스 값이 균형을 이룬다. 임피던스 값이 균형적으로 단위 분할 전극(212)으로 제공되므로 균일한 플라즈마 방전을 유도할 수 있다.
임피던스 전환기(130)는 차동 변압기를 사용하여 구성된다. 차동 변압기는 하나의 입력 전류를 하나의 출력 전류로 출력한다. 제1 임피던스 전환기(130a)의 일단은 임피던스 정압기(110)의 출력단에 연결되고, 타단은 제1 전류 균형 분배 회로(120)에 구성되는 첫 번째 분기 구조를 구성하는 차동 변압기(122a)의 입력단에 연결된다. 또한 제2 임피던스 전환기(130b)의 일단은 제1 전류 균형 분배 회로(120)에 구성되는 두 번째 분기 구조를 구성하는 차동 변압기(122b)의 출력단에 연결되고, 타단은 제2 전류 균형 분배 회로(140)에 구성되는 첫 번째 분기 구조를 구성하는 차동 변압기(142a)의 입력단에 연결된다. 제2 전류 균형 분배 회로(140)에 구성되는 두 번째 분기 구조를 구성하는 차동 변압기(142b)의 출력단은 고주파 방사 차폐 분배기(150)에 구성된 동축 케이블(152)로 단위 분할 전극(212)과 연결된다. 고주파 방사 차폐 분배기(150)는 고주파 전력이 전원 공급원(100)으로부터 다중 분할 전극 세트(210)로 급전되는 과정에서 공중으로 방사되는 것을 차폐한다. 그럼으로 다중 분할 전극 세트(210)로 고주파 전력이 급전되는 과정에서 방사 손실이 발생되는 것을 최소화한다. 동축 케이블(150)은 전원 공급원(100)으로부터 제공되는 고주파 전력이 공중으로 방사되지 않도록 차폐하여 급전 과정에서 전력 손실을 방지한다. 동축 케이블(150)의 길이는 고주파 전력의 주파수와 상관되며, 바람직하게는 1/4 람다를 갖는다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치의 개략적인 구성을 보여주는 도면이다.
도 2를 참조하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라즈마 챔버(200)는 상술한 제1 실시예와 동일한 구성을 갖는다. 다만, 제2 전류 균형 분배 회로(140)의 출력단에 제2 임피던스 전환기(160)를 구비한다. 즉, 제2 임피던스 전환기(160)는 일단은 제2 전류 균형 분배 회로(140)와 연결되고, 타단은 단위 분할 전극(212)과 연결되어 제2 전류 균형 분배 회로(140)를 지난 고주파 전류의 임피던스 값을 보상하여 단위 분할 전극(212)으로 제공한다.
또한 제1 전류 균형 분배회로(120)와 제2 전류 균형 분배 회로(140)는 동축 케이블(150)로 연결된다. 즉, 제1 전류 균형 분배 회로(120)의 두 번째 분기 구조를 구성하는 차동 변압기(120b)의 출력단은 각각 동축 케이블(150)을 사용하여 제2 전류 균형 분배 회로(140)의 첫 번째 분기 구조를 구성하는 차동 변압기(140a)의 입력단과 연결된다. 여기서, 제2 전류 균형 분배 회로(140)의 첫 번째 분기 구조를 구성하는 차동 변압기(140a)와 같이, 전류의 용량에 따라 변압기의 갯수를 조절하여 구성할 수도 있다. 본 발명의 실시예에서는 제2 임피던스 전환기(160)로 인덕터(162)를 사용한다. 인덕터(162)는 일단은 제2 전류 균형 분배 회로(140)의 마지막 분기 구조를 구성하는 차동 변압기(140b)의 출력단과 연결되고, 타단은 접지로 연결된다. 인덕터(162)의 일단과 타단 사이의 임의의 지점에서 탭을 단위 분할 전극(212)에 연결함으로써 전압 레벨을 조절할 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 제2 임피던스 전환기를 스위칭 회로로 구성한 도면이다.
도 3을 참조하여, 제2 임피던스 전환기(160a)는 인덕터(164)의 멀티 탭을 스위치 회로(166)를 통해 선택적으로 단위 분할 전극(212)과 연결될 수 있다. 인덕터(164)는 일단은 제2 전류 균형 분배 회로(140)의 마지막 분기 구조를 구성하는 차동 변압기(140b)의 출력단과 연결되고, 타단은 접지로 연결된다. 인덕터(164)의 일단과 타단 사이에 구성된 멀티 탭은 선택적으로 스위치 회로(166)를 통해 단위 분할 전극(212)과 연결된다. 도면에서는 도시되지 않았으나, 제2 임피던스 전환기(140)는 도 2 또는 도 3과 동일한 구성으로 인덕터를 대신하여 가변 인덕터를 사용할 수도 있다.
도 4는 캐패시터로 제2 임피던스 전환기를 구성한 도면이다.
도 4를 참조하여, 제2 임피던스 전환기(160b)는 다수 개의 캐패시터(172)를 구비할 수 있다. 다수 개의 캐패시터(172)는 일단은 제2 전류 균형 분배 회로(140)의 마지막 분기 구조를 구성하는 차동 변압기(140b)의 출력단과 연결되고, 타단은 접지로 연결된다. 다수 개의 캐패시터(172) 사이에 구성된 탭은 단위 분할 전극(212)에 연결한다.
도 5는 도 4에 도시된 제2 임피던스 전환기를 스위칭 회로로 구성한 도면이고, 도 6은 가변 캐패시터로 제2 임피던스 전환기를 구성한 도면이다.
도 5를 참조하여 제2 임피던스 전환기(160c)는 다수 개의 캐패시터(174)로 구성되고, 다수 개의 캐패시터(174) 사이에 구성된 멀티 탭은 스위치 회로(166)를 통해 선택적으로 단위 분할 전극(212)과 연결될 수 있다. 캐패시터(174)는 일단은 제2 전류 균형 분배 회로(140)의 마지막 분기 구조를 구성하는 차동 변압기(142b)의 출력단과 연결되고, 타단은 접지로 연결된다. 다수 개의 캐패시터 사이에서 구성된 다수 개의 탭은 선택적으로 스위치 회로(166)를 통해 단위 분할 전극(212)과 연결된다. 또한 도 6를 참조하여, 제2 임피던스 전환기(160d)는 도 4 또는 도 5와 동일한 구성으로 캐패시터(174)를 대신하여 가변 캐패시터(176)를 사용할 수 있다.
도 7은 단위 분할 전극에 위상 전환기를 구성한 예를 보여주는 도면이다.
도 7을 참조하여, 단위 분할 전극(212)은 위상 전환기(190)를 통해 위상이 반전된 고주파 전력을 제공받는다. 위상 전환기(190)는 전원 공급원(100)으로부터 제공받은 주파수의 위상을 반전시켜 단위 분할 전극(212)에 제공함으로써 효율적으로 플라즈마 방전이 발생되도록 한다.
도 8은 단위 분할 전극에 캐패시터를 직렬로 구성한 도면이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 단위 분할 전극(212)은 직렬로 연결된 캐패시터(177)를 통해 고주파 전력을 제공받는다. 단위 분할 전극(212)과 직렬로 연결된 캐패시터(177)는 단위 분할 전극(212)으로 제공되는 전류를 보호하는 기능을 수행한다.
이상에서 설명된 본 발명의 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그럼으로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
100: 전원 공급원 110: 임피던스 정합기
120, 140: 제1, 2 전류 균형 분배 회로
122a, 122b, 140a, 140b: 차동 변압기
130a, 130b: 제1, 2 임피던스 전환기
150: 고주파 방사 차폐 분배기 150: 동축 케이블
160, 160a, 160b, 160c, 160d: 제2 임피던스 전환기
162, 164: 인덕터 166: 스위치 회로
172, 174, 177: 캐패시터 176: 가변 캐패시터
190: 위상 전환기 200: 플라즈마 챔버
210: 다중 분할 전극 세트 212: 단위 분할 전극
214: 접지 전극

Claims (16)

  1. 하나의 입력 전류를 복수 개의 채널로 분배하는 전류 분배 회로에 있어서,
    상기 전류 분배 회로는 전류의 상호 균형을 조절하여 분배하는 전류 균형 회로를 포함하고, 상기 전류 균형 회로는 임피던스 전환 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 전류 균형 분배 회로는 전류 균형을 이루는 다수 개의 변압기로 구성되어 반복된 분기 구조인 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 다수 개의 변압기는 양단 출력이 전류 균형을 이루는 다수 개의 차동 변압기로 구성되는 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치는 다수 개의 단위 분할 전극을 갖는 다중 분할 전극 세트를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 임피던스 전환 회로는 적어도 하나의 차동 변압기로 구성되는 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 임피던스 전환 회로는 상기 전류 균형 회로의 전류가 입력되는 입력단에 구성되는 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 임피던스 전환 회로는 상기 전류 균형 회로의 전류가 출력되는 출력단에 구성되는 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 임피던스 전환 회로는 적어도 하나의 인덕터가 구성된 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 인덕터는 일단이 상기 전류 균형 회로의 출력단에 연결되고, 타단은 접지로 연결되어 상기 인덕터의 일단과 타단 사이에서 멀티탭이 구성되는 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 멀티탭은 스위치에 의해 선택적으로 연결되어 상기 다수 개의 단위 분할 전극으로 공급되는 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 임피던스 전환 회로는 적어도 하나의 캐패시터가 구성된 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 캐패시터는 일단이 상기 전류 균형 회로의 출력단에 연결되고, 타단은 접지로 연결되어 상기 캐패시터의 일단과 타단 사이에서 멀티탭이 구성되는 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 멀티탭은 스위치에 의해 선택적으로 연결되어 상기 다수 개의 단위 분할 전극으로 공급되는 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치는 전원 공급원에서 발생된 고주파의 방사를 차폐하기 위한 다수 개의 동축 케이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치는 다중 분할 전극 세트에 구비된 다수 개의 단위 분할 전극에 직렬로 연결되는 캐패시터를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치는 다중 분할 전극 세트에 구비된 다수 개의 단위 분할 전극으로 위상을 반전시켜 제공하기 위한 위상 전환기를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 분할 전극 세트를 위한 급전 장치.
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