KR20110122483A - 오더 스펙트럼 분석 기능을 구비한 빌트인 진동모니터 및 이를 이용한 가변회전 기계장치의 결함진단방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 진동모니터는 기계장치에 부착되는 모니터본체(1), 기계장치의 구조체에 부착되는 진동센서(2), 그리고 기계장치의 구동축의 회전속도를 감지하는 회전속도센서(3)로 구성된다. 모니터본체(1)는 케이스(11), 진동센서(2)가 감지한 아날로그 진동신호를 디지털 데이터로 변환하여 디지털 진동신호를 생성하는 진동신호처리모듈(12), 진동신호처리모듈(12)을 통과한 디지털 진동신호를 주파수변환을 하여 진동신호의 스펙트럼을 구하는 FFT모듈(13), 회전속도센서(3)에서 감지한 신호로부터 구동축의 회전속도를 계산하는 회전속도계산모듈(14), FFT모듈(13)에서 구한 진동신호 스펙트럼의 주파수를 구동축의 회전속도로 나눈 값으로 나타내어 오더 스펙트럼을 구하는 오더변환모듈(15), 상기 오더변환모듈(15)에서 변환된 오더 스펙트럼으로부터 기계장치의 이상 유무를 판정하는 판정모듈(16), 판정결과를 출력하는 출력모듈(17), 그리고 기계장치의 이상 유무를 표시하는 표시장치(18)를 포함하여 구성된다.
본 발명의 진동모니터링 방법을 적용하면, 운전상태에 따라 회전수가 변하거나 움직이는 복잡한 기계장치의 고장 징후와 고장부위를 정확히 진단할 수 있고, 고장의 징후에 따라 예방정비를 할 수 있게 한다.

Description

오더 스펙트럼 분석 기능을 구비한 빌트인 진동모니터 및 이를 이용한 가변회전 기계장치의 결함진단방법{Built-in Vibration Monitor Having Order Spectrum Analysis Function and Fault Diagnosis Method of Variable Rotating Speed Machine Using the Monitor}

본 발명은 기계의 상태를 모니터링하기 위한 진동 계측 및 분석기술에 관한 것으로서, 좀더 자세하게는 기계의 몸체에 상시적으로 부착시켜 두고 기계의 가동 중 기계에서 발생하는 진동과 회전속도를 측정하여 기계의 이상 유무를 파악할 수 있는 진동모니터와 결함진단방법에 관한 것이다.

산업용 로봇을 포함한 자동화 기계장치들은 구동모터와 함께 복잡한 동력전달 체계를 구비하여 작동되는데, 통상적으로 내부에 다수 쌍의 기어들이 맞물려 회전하고 있는 기어박스를 구비하고 있는 것이 보통이다. 이러한 기어박스 내부에는 다양한 속도로 회전하는 회전축들이 있고, 이들 축들을 지지하는 베어링이 내장되어 있다.

기어박스는 내부에 장착된 회전체들의 불평형 질량(Unbalance Mass), 축의 휨, 베어링 마모, 기어 치면의 손상 등의 원인으로 가동중 필연적으로 진동이 발생하는데, 고장의 징후가 있으면 그 고장의 원인과 관계가 있는 특정 주파수 성분의 진동이 급격히 증가한다. 따라서 기계장치의 진동상태를 지속적으로 모니터링하면, 고장의 징후를 미리 탐지할 수 있고, 또한 고장부위까지 사전에 인지할 수 있다.

만약 기계에 고장징후가 탐지되고, 예상되는 고장부위를 사전에 감지하면, 적절한 예방정비를 하여 중요한 기계장치가 불시에 고장을 일으켜 전체 생산 공정에 차질을 초래하거나, 주변 작업인원이 신체적 피해를 입는 등의 불측의 치명적인 피해를 사전에 방지할 수 있다. 이와 같이 기계의 진동을 모니터링하여 기계장치의 고장징후와 고장원인을 사전에 미리 예측하는 기법을 진동모니터링이라고 한다.

상기와 같은 진동모니터링을 위하여, 종래에는 진동을 유발하는 기계에 고가의 진동 가속도계(Vibration Accelerometer)등의 센서를 부착하여 두고, 이 센서를 신호케이블로 신호처리장치 또는 신호처리가 가능한 컴퓨터 등과 연결한 별도의 진동모니터링 시스템을 구비하여 기계의 진동을 모니터링하였다. 이 경우 센서, 증폭기 등의 신호조정장치, 그리고 신호처리장치 등의 구성장비들이 아주 고가이고, 길게 연결된 신호케이블로 잡음신호(Noise, 이하 노이즈라 칭함.)가 유입되어 신뢰도가 저하되고, 시스템이 복잡하여 진동에 대하여 상당한 지식이 있는 고급인력이 있어야 운용할 수 있는 문제점이 있었다. 따라서 지금까지는 아주 고가의 대형설비 등에만 부분적으로 진동모니터링을 하고 있는 실정이다.

진동모니터링은 측정된 진동신호의 시간영역 데이터(Time Domain Data)를 바로 이용하거나, 측정된 진동신호를 주파수분석하여 주파수영역 데이터(Frequency Domain Data)를 이용하는 방법이 알려져 있다.

시간영역 데이터를 이용하는 진동모니터링 방법으로는 Crest Factor를 이상 유무의 판정기준으로 하는 방법이 있는데, Crest Factor는 진동 진폭의 RMS 값에 대한 Peak 값의 비(Peak/RMS)로 정의된다. Crest Factor를 이용하는 방법은 충격성 신호(Impulse Signal)성분이나 단기 현상(Short Event)에 의한 신호를 검출하여 기계의 상태를 모니터링을 하는 방법으로서, 베어링파손, 기어파손 등에 의하여 발생하는 순간적인 진동의 변화를 감지함으로써 이러한 원인에 의한 기계의 고장을 예측한다.

예를 들어 정상적인 기계작동 상태에서는 Crest Factor가 2.5 내지 3,5의 범위에 있는데, 베어링이 손상될 경우 3.5 이상으로 증가하고, 베어링 파손 직전에는 7 이상으로 급증한다. 이와 같은 Crest Factor를 이용한 기계의 고장 판정기준과 예상되는 고장원인에 대해서는 많이 알려져 있다.(국내 등록특허 10-0456573호, 진동소음품질 검사장치(발명자 최현) 참조)

주파수영역 데이터를 이용하는 진동모니터링 방법으로는 Peak 검사법, Band 검사법, Overall 검사법 등이 있다. 기계에 고장의 징후가 있을 경우, 그 고장의 원인과 관련이 있는 특정 주파수의 진동성분이 증가하게 된다. 이와 같이 증가하는 진동의 주파수는 고장 부위의 회전수, 문제가 있는 기어의 치면 접촉주파수, 문제가 있는 베어링의 볼 회전 주파수 등인데, 진폭이 증가하는 진동의 주파수를 알면 그 고장원인까지 진단할 수 있다.

Peak 검사법은 특정주파수 성분에 해당하는 진동 진폭(Amplitude)를 이상 유무의 판정기준으로 하는 방법으로서, 기계에서 발생하는 진동신호의 주파수가 일정한 값인 경우(예 : AC 모터에서 120Hz의 자기진동성분이 지배적인 것 등)에 적용된다. Band 검사법은 일정한 특정 주파수 대역폭에서 계산된 진동값의 합을 이상 유무의 판정기준으로 하는 방법이다. Overall 검사법은 검사주파수 대역 내에서 측정된 진동값의 합을 이상 유무의 판정기준으로 하는 방법이다.

따라서 상기 주파수영역 데이터를 이용하는 진동모니터링은 일정한 회전속도로 회전하는 기계에 대해서는 유용하다. 그러나 기계의 운전상태에 따라 회전체의 회전속도가 계속 변하는 기계의 경우, 검사 대상이 되는 진동의 주파수를 특정할 수가 없으므로 진동모니터링이 불가능하다.

특히 기계장치가 정지해 있지 않고 회전을 하거나 직선운동을 하는 것이라면, 신호케이불을 사용할 수 없으므로 진동모니터링이 더욱 어려워진다.

상기와 같이 진동모니터링에 있어서, 운전상태에 따라 회전수가 변하는 복잡한 기계장치는 종래의 진동모니터링 방법으로는 기계의 고장 징후와 원인을 정확히 진단할 수 없는 문제점이 있다.

따라서 작동 상태에 따라 회전속도가 계속 변하는 기계장치의 진동을 모니터링 할 수 있는 진동모니터링 방법과 이를 구현할 수 있는 진동모니터가 필요하다. 이와 같은 진동모니터는 모니터링 결과를 무선으로 외부로 송출할 수 있게 하여, 움직이는 기계장치의 진동도 모니터링할 수 있어야 한다.

본 발명의 진동모니터는 복잡한 진동을 유발하는 기계장치에 부착되는 모니터본체(1), 기계장치의 구조체에 부착되는 진동센서(2), 그리고 기계장치의 구동축의 회전속도를 감지하는 회전속도센서(3)로 구성된다.

그리고 모니터본체(1)는 구성품들을 내장하고 있는 케이스(11), 진동센서(2)가 감지한 아날로그 진동신호를 디지털 데이터로 변환하여 디지털 진동신호를 생성하는 진동신호처리모듈(12), 진동신호처리모듈(12)을 통과한 디지털 진동신호를 주파수변환을 하여 진동신호의 스펙트럼을 구하는 FFT모듈(13), 회전속도센서(3)에서 감지한 신호로부터 구동축의 회전속도(RPS, Revolution Per Second)를 계산하는 회전속도계산모듈(14), 상기 FFT모듈(13)에서 구한 진동신호 스펙트럼의 주파수를 구동축의 회전속도로 나눈 값으로 나타내어 오더 스펙트럼을 구하는 오더변환모듈(15), 상기 오더변환모듈(15)에서 변환된 오더 스펙트럼으로부터 기계장치의 이상 유무를 판정하는 판정모듈(16), 판정결과를 출력하는 출력모듈(17), 그리고 기계장치의 이상 유무를 표시하는 표시장치(18)를 포함하여 구성된다.

본 발명의 진동모니터링 방법을 적용하면, 운전상태에 따라 회전수가 변하는 복잡한 기계장치의 고장 징후와 고장부위를 정확히 진단할 수 있다.

본 발명의 진동모니터는 움직이는 기계장치의 진동도 모니터링할 수 있고, 모니터링결과를 유선 또는 무선으로 외부로 송출할 수 있어 기계가 가동하고 있을 동안 실시간으로 기계의 이상 유무를 판단하고, 고장의 징후에 따라 예방정비를 할 수 있게 한다.

도 1은 본 발명의 중요 구성품의 배치도이다.
도 2는 모니터본체의 구성도이다.
도 3은 진동신호의 시간영역 그래프이다.
도 4는 진동신호의 스펙트럼이다.
도 5는 진동신호의 오더스펙트럼이다.
도 6은 결함오더스펙트럼이다.
도 7은 진동신호의 오더스펙트럼과 결함오더스펙트럼을 비교한 그래프이다.

본 발명의 진동모니터는 도 1에 도시한 바와 같이, 복잡한 진동을 유발하는 기계장치에 부착되는 모니터본체(1), 기계장치의 구조체에 부착되는 진동센서(2), 그리고 기계장치의 구동축의 회전속도를 감지하는 회전속도센서(3)로 구성된다.

진동모니터링의 대상이 되는 기계장치는 회전속도가 임의로 조절되는 모터 또는 일정한 속도로 회전하는 모터에 조속기를 구비하여 작동 중에 구동축의 회전속도가 계속 변하고, 다수개의 회전축과 여러 쌍 그리고 다수 개의 베어링 등을 구비하여 복잡한 진동이 발생하는 기계장치이다.

모니터본체(1)는 도 2에 도시한 바와 같이, 구성품들을 내장하고 있는 케이스(11), 진동센서(2)가 감지한 아날로그 진동신호를 디지털 데이터로 변환하여 디지털 진동신호를 생성하는 진동신호처리모듈(12), 진동신호처리모듈(12)을 통과한 디지털 진동신호를 주파수변환을 하여 진동신호의 스펙트럼을 구하는 FFT모듈(13), 회전속도센서(3)에서 감지한 신호로부터 구동축의 회전속도(RPS, Revolution Per Second)를 계산하는 회전속도계산모듈(14), 상기 FFT모듈(13)에서 구한 진동신호 스펙트럼의 주파수를 구동축의 회전속도로 나눈 값으로 나타내어 오더 스펙트럼을 구하는 오더변환모듈(15), 상기 오더변환모듈(15)에서 변환된 오더 스펙트럼으로부터 기계장치의 이상 유무를 판정하는 판정모듈(16), 판정결과를 출력하는 출력모듈(17), 그리고 기계장치의 이상 유무를 표시하는 표시장치(18)를 포함하여 구성된다.

상기 진동신호처리모듈(12), FFT모듈(13), 회전속도계산모듈(14), 오더변환모듈(15), 판정모듈(16), 그리고 출력모듈(17)은 하나의 인쇄회로 기판에 각각의 기능을 수행하는 개별 연산모듈로 구성할 수도 있고, 상기와 같은 신호처리와 연산기능을 모두 처리할 수 있는 하나의 연산모듈 집적하여 소프트웨어적으로 각각의 독립된 기능이 구현되도록 구성할 수도 있다.

진동신호처리모듈(12)은 센서(2)가 감지한 진동신호를 증폭하는 신호증폭기, 진동신호에서 노이즈를 제거하는 필터, 그리고 센서가 감지한 아날로그 신호를 디지털 데이터로 변환하는 A/D컨버터 등을 포함하여 구성된다. 이 진동신호처리모듈(12)을 통과한 진동신호는 도 3에 도시한 바와 같이 횡축을 시간축으로 하고 종축을 진폭으로 하는 시간영역 그래프가 생성되는데, 이를 직접 판정모듈(16)로 보내어 기계장치의 이상 유무를 판정하는 자료로 이용할 수 있다.

FFT모듈(13)은 상기 진동신호처리모듈(12)에서 받은 진동신호의 시간영역 데이터를 고속퓨리에변환(Fast Fourier Transformation)을 하여 주파수영역 데이터로 변환한다. 이와 같은 고속퓨리에변환방법은 진동신호분석에 많이 이용되고 있고, 퓨리에변환을 하는 모듈이 하나의 인쇄회로기판 형태로 제작되어 시판되고 있다.

FFT모듈(13)을 통과한 진동신호는 도 4에 도시한 바와 같이 종축을 진폭으로, 그리고 횡축을 주파수 축으로 하는 진폭-주파수 선도가 생성된다.(이와 같은 진폭-주파수 선도를 "진동 스펙트럼"이라고 부른다.) 통상의 진동모니터링 방법에서는 이렇게 생성된 주파수영역 데이터를 직접 이상 유무 판정의 기초 데이터로 이용하는데, 구동축의 회전속도가 일정하지 않은 경우, 이 주파수영역의 주파수 피크들이 주파수가 높아지거나 낮아지는 쪽으로, 즉 주파수 축을 따라 계속 움직이기 때문에 진동 스팩트럼 데이터만으로 기계의 고정 징후와 고장원인을 짐작하기 어렵다.

회전속도계산모듈(14)은 회전속도센서(3)에서 감지한 신호로부터 구동축의 회전속도를 회전주파수인 초당 회전속도(RPS, Revolution Per Second)로 계산한다. 총상의 회전속도계는 회전체의 분당 회전속도(RPM, Revolution Per Minute)로 측정하므로 이 분당회전속도를 60으로 나누면 초당회전속도가 된다.

오더변환모듈(15)은 상기 FFT모듈(13)을 통과하여 구해진 진동스펙트럼의 가로축인 주파수를 상기 회전속도계산모듈(14)에서 구한 구동축의 회전주파수로 나눈 오더로 표시하여 도 5에 도시한 바와 같은 주파수-오더 선도를 구한다.(본 명세서에서는 이와 같은 이와 같이 구한 주파수-오더 선도를 "오더스팩트럼(Order Spectrum)"이라 부르기로 한다.) 이렇게 구한 오더스펙트럼은 기계의 운전회전수와는 무관하게 진동 진폭 피크의 오더값이 일정하게 유지되므로 결함오더의 검출 및 진단이 용이하다.

오더스펙트럼에서는 기계장치의 지정된 구동축의 오더는 항상 1로 표시되고, 그외의 오더는 구동축 회전주파수의 배수를 내타낸다. 예를 들어 오더가 5이면 이는 구동축의 회전주파수에 5를 곱한 주파수를 의미한다.

판정모듈(16)에는 도 6에 도시한 바와 같은 특정 기계장치에서 고정판단의 기준이 되는 오더(이를 "결함오더"라 칭함)와 그 진폭범위를 설정한 판정기준(이를 "결함진폭"이라 칭함.)이 입력되어 있다.(본 명세서에서는 이와 같이 가로축이 오더, 세로축이 결함진폭인 그래프를 " 결함오더스펙트럼"이라 칭함.) 결함오더스펙트럼의 각 결함진폭에서 크기가 낮은 쪽부터 "정상(Normal)", "주의(Warning)", 그리고 "위험(Alarm)"으로 구분되어 있는데, 상기 오더스팩트럼에서 각 결함오더의 진폭이 어느 범위에 드는지로 기계장치의 이상 유무를 판정한다.

통상의 기계장치의 경우, 고장의 징후가 있으면 특정 오더의 진폭이 급격히 증가하는데, 이 오더는 구동축의 주파수와 밀접한 관련이 있다. 예를 들어 오더 1의 진폭이 급격히 증가하면 구동축 자체에 편심질량이 생겼거나 휜 경우이고, 오더 3의 진폭이 급격히 증가하면 구동축의 3배로 회전하는 회전체에 이상이 발생한 것이고, 오더 9의 진폭이 급격히 증가하면 주축에 결합된 잇수 15개의 기어에 이상이 발생한 경우 등이다.

많은 연구에 의하여 여러 가지 기계요소의 결함주파수가 제시되어 있다. 예를 들어 베어링의 경우 각 부위의 결함주파수가 축의 회전속도, 볼의 직경, 축의 직경, 볼의 개 수, 압력값 등을 변수로 하여 제시되어 있는데, 이 결함 주파수를 구동축의 회전주파수로 나누면 결함오더가 된다.

상기 오더변환모듈(15)에서 구한 오더스펙트럼을 도 7에 도시한 바와 같이 판정모듈(16)에 입력된 결함오더스펙트럼과 비교하여, 기계의 이상 유무와 고장 부위를 판정한다. 예를 들어 종동축 기어의 결함오더가 9인데 이 결함오더에 근접하는 진동의 진폭이 크게 나타날 경우, 그 진폭이 일정 이하이면 "정상", 일정 이상이면 "위험", 그 중간이면 "주의", 이상 부위는 "종동축 기어" 등으로 판정한다.(도 7의 경우 오더 1은 "정상", 오더 5는 "위험", 오더 7은 "주의", 오더 9는 "주의"로 판정된다.)

출력모듈(17)은 상기 판정모듈(16)에서 판정한 기계의 이상 유무 및 이상 부위 등 판정 자료를 당해 기계 운용자 등에게 보내어 기계의 운용에 참고할 수 있게 한다. 그리고 판정결과를 표시장치(18)에 보내어 기계의 이상 유무를 표시하게 한다. 가장 간단한 표시장치로는 녹색, 황색, 그리고 적색 램프로 구성하고 이들 램프들을 케이스(11)의 상단에 부착하여, 녹색 램프가 점등되어 있으면 정상, 황색 램프가 점등되어 있으면 주의, 그리고 적색 램프가 점등되어 있으면 위험 등으로 기계의 이상 유무를 확인하게 할 수 있다.

진동센서(2)는 기계장치의 구조체에 부착되어 진동을 감지하는 기능을 하는 것으로서, 진동을 감지할 수 있는 모든 종류의 진동센서를 사용할 수 있으나 진동가속도계(Accelerometer)를 사용하는 것이 보통이다.

회전속도센서(3)는 오더 계산의 기초가 되는 축(본 명세서의 구동축)의 회전속도를 감지하는 기능을 한다. 회전하는 축의 회전속도를 측정하는 방법은 많이 개발되어 있는데, 축의 일부에 리플렉터(Reflector, 반사체)를 부착하거나 자석(Magnet)을 설치하고, 축의 외곽에 적외선 센서 또는 픽업(pick-up) 등의 근접센서를 이용하여 회전 속도를 측정하는 방법, 축의 일부에 일정한 각도마다 RPM홈(RPM hole)을 만들어 엘이디(LED)와 포토다이오드 사이를 지나가도록 하여 회전방향과 속도를 측정하는 방법, 와류 센서를 이용하는 방법 등 다양한 방법이 알려져 있는데, 본 발명에 사용되는 회전속도센서(3)는 상기 어느 방법의 회전속도 센서를 사용해도 무방하다.

상기와 같이 구성된 진동모니터를 이용하여 기계의 진동을 진동모니터링하는 방법은 다음의 단계를 순차적으로 수행하여 행해진다.

제1단계 : 진동모니터링의 대상이 되는 기계장치에 부착된 진동센서(2)로 진동을 측정하고, 기계장치의 구동축에 구비된 회전속도센서(3)로 구동축의 회전속도를 측정하는 진동 및 회전수 측정단계;

제2단계 : 상기 제1단계에서 측정된 시간영역 아날로그 진동신호를 가공하여 디지털 진동신호로 변환하는 신호처리단계;

제3단계 : 상기 제2단계에서 측정한 시간영역 디지털 진동신호를 주파수 변환을 하여 진동신호의 스펙트럼을 구하는 주파수변환단계;

제4단계 : 상기 제4단계에서 구한 진동신호의 스펙트럼의 주파수를 상기 제1단계에서 측정한 구동축의 회전속도인 초당 회전수로 나누어 진동신호의 오더스펙트럼을 구하는 오더스펙트럼변환단계;

제5단계 : 상기 제4단계에서 구한 오더스펙트럼을 미리 입력된 기계장치의 결함오더 판정기준과 비교하여 기계의 이상 유무를 판정하는 이상 유무판정단계;

상기와 같은 모니터링 단계를 거쳐 판정된 기계의 이상 유무 및 이상 부위 등을 포함하는 판정자료는 당해 기계의 운용자 등에게 보내어 기계의 운용에 참고할 수 있게 한다.

1 : 모니터본체, 2 : 진동센서, 3 : 회전속도센서,
11 : 케이스, 12 : 진동신호처리모듈, 13 : FFT모듈,
14 : 회전속도계산모듈, 15 : 오더변환모듈, 16 : 판정모듈,
17 : 출력모듈, 18 : 표시장치.

Claims (2)

1. 진동모니터링의 대상이 되는 기계장치에 부착되는 것으로서, 구성품들을 내장하고 있는 케이스(11), 하기 진동센서(2)가 감지한 아날로그 진동신호를 디지털 데이터로 변환하여 디지털 진동신호를 생성하는 진동신호처리모듈(12), 진동신호처리모듈(12)을 통과한 디지털 진동신호를 주파수변환을 하여 진동신호의 스펙트럼을 구하는 FFT모듈(13), 하기 회전속도센서(3)에서 감지한 신호로부터 구동축의 회전속도를 초당회전수로 계산하는 회전속도계산모듈(14), 상기 FFT모듈(13)에서 구한 진동신호 스펙트럼의 주파수를 구동축의 회전속도로 나눈 값으로 나타내어 오더 스펙트럼을 구하는 오더변환모듈(15), 상기 오더변환모듈(15)에서 변환된 오더 스펙트럼으로부터 기계장치의 이상 유무를 판정하는 판정모듈(16), 판정모듈(16)에서 판정한 판정결과를 출력하는 출력모듈(17), 그리고 출력모듈(17)로부터 받은 판정결과로부터 기계장치의 이상 유무를 표시하는 표시장치(18)를 포함하여 구성되는 모니터본체(1);
   진동모니터링의 대상이 되는 기계장치의 구조체에 부착되어 진동을 감지하는 진동센서(2);
   그리고 진동모니터링의 대상이 되는 기계장치의 구동축의 회전속도를 감지하는 회전속도센서(3);
   를 포함하여 구성되는, 빌트인 진동모니터.
2. 기계장치의 진동을 측정하고 분석하여 당해 기계장치의 이상 유무를 진단하는 진동모니터링 방법에 있어서,
   제1단계 : 진동모니터링의 대상이 되는 기계장치에 부착된 진동센서(2)로 진동을 측정하고, 기계장치의 구동축에 구비된 회전속도센서(3)로 구동축의 회전속도를 측정하는 진동 및 회전수 측정단계;
   제2단계 : 상기 제1단계에서 측정된 시간영역 아날로그 진동신호를 가공하여 시간영역 디지털 진동신호를 생성하는 신호처리단계;
   제3단계 : 상기 제2단계에서 측정한 시간영역 디지털 진동신호를 주파수변환을 하여 진동신호의 스펙트럼을 구하는 주파수변환단계;
   제4단계 : 상기 제4단계에서 구한 진동신호의 스펙트럼의 주파수를 상기 제1단계에서 측정한 구동축의 회전속도인 초당 회전수로 나누어 진동신호의 오더스펙트럼을 구하는 오더스펙트럼변환단계;
   제5단계 : 상기 제4단계에서 구한 오더스펙트럼을 미리 입력된 기계장치의 결함오더 판정기준과 비교하여 기계의 이상 유무를 판정하는 이상 유무판정단계;
   의 단계를 순차적으로 수행하여, 기계장치의 이상 유무를 진단하는 것을 특장으로 하는, 진동모니터링 방법

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