KR20110121898A - Transfer robot - Google Patents
Transfer robot Download PDFInfo
- Publication number
- KR20110121898A KR20110121898A KR1020100041402A KR20100041402A KR20110121898A KR 20110121898 A KR20110121898 A KR 20110121898A KR 1020100041402 A KR1020100041402 A KR 1020100041402A KR 20100041402 A KR20100041402 A KR 20100041402A KR 20110121898 A KR20110121898 A KR 20110121898A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- pair
- fingers
- hand
- robot
- transfer
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
- B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
- B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
- B25J15/0683—Details of suction cup structure, e.g. grooves or ridges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
- B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/141—Associated with semiconductor wafer handling includes means for gripping wafer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 패널이나 웨이퍼 등의 이송 대상물을 이송하기 위한 이송 로봇에 관한 것이다. The present invention relates to a transfer robot for transferring a transfer object such as a panel or a wafer.
이송 로봇은 패널이나 웨이퍼 등을 이송하기 위한 장치로, 이러한 이송로봇은 패널이나 웨이퍼 등의 이송 대상물을 잡기 위한 로봇 핸드와, 다관절로 이루어져 로봇 핸드가 이송 대상물이 위치한 곳에서 이송 대상물의 이송 목적지로 이동하도록 하는 로봇 암 등의 구성을 포함한다. The transfer robot is a device for transferring a panel or wafer, and the transfer robot is composed of a robot hand for holding a transfer object such as a panel or wafer, and a multi-joint robot hand to transfer the transfer object at the place where the transfer object is located. A robotic arm or the like for moving to.
로봇 핸드는 핸드 바디와, 핸드 바디로 부터 연장된 한 쌍의 핑거를 포함하며, 핑거에는 음압의 공기압이 전달되는 흡착부가 마련된다. The robot hand includes a hand body and a pair of fingers extending from the hand body, and the finger is provided with an adsorption portion through which negative air pressure is transmitted.
따라서, 로봇 핸드의 핑거에 마련된 흡착부에 이송 대상물이 흡착되도록 한 후, 이송 대상물이 흡착된 로봇 핸드가 로봇 암에 의해 이송 목적지로 이동하도록 하고, 이송 목적지에 로봇 핸드가 도착한 후에는 흡착부에 전달되던 음압의 공기압을 해제하여 이송 대상물이 핑거로부터 분리되도록 함으로써, 이송 대상물의 이송은 완료된다. Therefore, after the transfer object is adsorbed to the adsorption unit provided on the finger of the robot hand, the robot hand to which the transfer object is adsorbed is moved to the transfer destination by the robot arm, and after the robot hand arrives at the transfer destination, By releasing the air pressure of the negative pressure that has been delivered to separate the transfer object from the finger, the transfer of the transfer object is completed.
본 발명의 일 측면은 다양한 크기의 이송 대상물을 이송할 수 있는 이송 로봇에 관한 것이다. One aspect of the present invention relates to a transfer robot capable of transferring a transfer object of various sizes.
본 발명의 일 측면에 따른 이송 로봇은 로봇 핸드를 포함하며, 로봇핸드는 핸드 바디와, 제 1 방향으로 각각 연장되며 핸드 바디에 제 1 방향과 직각인 제 2 방향으로 서로 이격 배치된 한 쌍의 핑거와, 공압을 통해 한 쌍의 핑거를 제 2 방향으로 이동시켜 한 쌍의 핑거 사이의 간격을 조절하는 한 쌍의 간격조절장치를 포함한다. According to an aspect of the present invention, a transfer robot includes a robot hand, and the robot hand extends in the first direction and is spaced apart from each other in a second direction perpendicular to the first direction on the hand body. And a pair of gap adjusting devices for adjusting a gap between the pair of fingers by moving the pair of fingers in a second direction through the pneumatic pressure.
또한 한 쌍의 간격조절장치는 제 2 방향으로 연장되며 한 쌍의 핑거 중 어느 하나가 이동 가능하게 설치되는 가이드레일과, 가이드레일에 제 2 방향으로 이동 가능하게 설치되며 핑거가 고정되는 가이드부재와, 공압을 전달받아 핑거를 제 2 방향으로 진퇴이동 시키는 액추에이터를 각각 포함한다. In addition, the pair of gap adjusting device extends in the second direction and any one of the pair of fingers is installed to move the guide rail, the guide member is installed to be movable in the second direction on the guide rail and the finger is fixed and Each actuator includes an actuator for receiving the pneumatic pressure to move the finger forward and backward in the second direction.
또한 한 쌍의 간격조절장치는 제 1 방향으로 서로 이격 배치된 한 쌍의 가이드레일과, 한 쌍의 가이드레일에 각각 이동 가능하게 설치되는 한 쌍의 가이드부재를 각각 포함한다. In addition, the pair of gap adjusting devices each include a pair of guide rails spaced apart from each other in the first direction, and a pair of guide members that are installed to be movable on the pair of guide rails, respectively.
또한 액추에이터는 공압이 전달되는 실린더와, 실린더에 전달된 공압에 따라 진퇴이동 하는 플런저를 포함한다. The actuator also includes a cylinder through which pneumatics are delivered, and a plunger that moves back and forth in accordance with the pneumatics delivered to the cylinders.
또한 핸드 바디는 내부에 한 쌍의 간격조절장치가 수용되는 수용부가 마련되며 한 쌍의 핑거가 제 2 방향으로 이동 가능하게 설치되는 한 쌍의 가이드슬릿이 마련된 핸드 케이스와, 수용부를 덮는 핸드 커버를 포함한다. In addition, the hand body is provided with an accommodating portion for accommodating a pair of gap adjusting devices therein, and a hand case provided with a pair of guide slits provided with a pair of fingers movable in a second direction, and a hand cover covering the accommodating portion. Include.
또한 한 쌍의 핑거에 각각 마련되어 음압의 공기압이 전달되는 복수의 흡착부를 포함한다. It also includes a plurality of adsorption portion provided on each of the pair of fingers, the air pressure of the negative pressure is transmitted.
또한 한 쌍의 핑거에 각각 마련되어 이송 대상물의 유무를 감지하는 감지센서를 더 포함한다. In addition, each of the pair of fingers further comprises a detection sensor for detecting the presence or absence of the object to be transferred.
상술한 바와 같이 이송 대상물의 크기에 따라 간격조절장치를 통해 핑거 사이의 간격을 조절할 수 있게 되므로, 다양한 크기의 이송 대상물을 안전하게 이송할 수 있다. As described above, since the distance between the fingers can be adjusted according to the size of the object to be conveyed, the object can be safely conveyed in various sizes.
또한 이송 대상물을 흡착하기 위해 사용되는 공압 시스템을 액추에이터의 구동을 위해 사용할 수 있게 되므로, 이송 로봇의 구조가 보다 간단해지게 되는 효과가 있다. In addition, since the pneumatic system used to absorb the transfer object can be used for driving the actuator, the structure of the transfer robot becomes simpler.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 로봇에 적용된 로봇 핸드의 사시도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 로봇에 적용된 로봇 핸드의 분해 사시도이다. 1 is a perspective view of a robot hand applied to a transfer robot according to an embodiment of the present invention.
2 and 3 are exploded perspective views of the robot hand applied to the transfer robot according to an embodiment of the present invention.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 로봇을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, a transfer robot according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1에 도시한 바와 같이 본 실시예에 따른 이송 로봇에 적용되는 로봇 핸드는 핸드 바디(10)와, 제 1 방향으로 연장되며 핸드 바디(10)에 제 1 방향과 직각인 제 2 방향으로 서로 이격 배치된 한 쌍의 핑거(20)를 포함한다. As shown in FIG. 1, the robot hand applied to the transfer robot according to the present exemplary embodiment is connected to the
로봇 핸드는 다양한 크기의 패널이나 웨이퍼 등의 이송 대상물을 이송할 수 있도록 두 핑거(20) 사이의 간격을 조절할 수 있도록 되어 있다. 이를 위해 핸드 바디(10) 내에는 도 2에 도시한 바와 같이 두 핑거(20)를 제 2 방향으로 각각 진퇴이동 시켜 두 핑거(20) 사이의 간격이 조절되도록 하는 한 쌍의 간격조절장치(30)가 설치되어 있다. The robot hand is adapted to adjust the distance between the two
핸드 바디(10)는 내부에 한 쌍의 간격조절장치(30)가 설치되는 수용부(11a)가 마련된 핸드 케이스(11)와, 수용부(11a)를 덮어 가리는 핸드 커버(12)를 포함한다. 핸드 바디(10)의 일측에는 제 2 방향으로 연장 형성되어 두 핑거(20)가 각각 제 2 방향으로 이동가능하게 설치되는 한 쌍의 가이드슬릿(11b)이 마련된다. The
두 간격조절장치(30)는 제 2 방향으로 연장되어 핑거(20)의 제 2 방향으로의 이동을 안내하는 가이드레일(31)과, 가이드레일(31)에 제 2 방향으로 이동 가능하게 설치되며 핑거(20)에 고정되어 핑거(20)가 가이드레일(31)을 따라 이동하도록 안내하는 가이드부재(32)와, 공압을 전달받아 핑거(20)가 제 2 방향으로 진퇴이동 하도록 하는 액추에이터(33)를 각각 포함한다. The two
또한 두 간격조절장치(30)는 핑거(20)의 제 2 방향으로의 이동이 안정적으로 이루어질 수 있도록 하기 위해 제 1 방향으로 이격 배치된 한 쌍의 가이드레일(31)과 두 가이드레일(31)에 각각 이동 가능하게 설치되는 한 쌍의 가이드부재(32)를 각각 포함하여, 각 핑거(20)의 두 부위가 두 가이드레일(31) 및 두 가이드부재(32)를 통해 제 2 방향으로 각각 이동 가능하게 설치된다. 즉, 본 실시예에 따른 로봇 핸드는 총 네 개의 가이드레일(31)과 네 개의 가이드부재(32)를 포함한다. In addition, the two
액추에이터(33)는 공압이 전달되는 실린더(33a)와, 실린더(33a)에 전달된 공압에 의해 제 2 방향으로 진퇴이동하는 플런저(33b)를 포함하며, 플런저(33b)의 선단은 핑거(20)에 연결된다. 따라서, 플런저(33b)의 진퇴이동에 따라 핑거(20)가 제 2 방향으로 진퇴이동한다. 이러한 액추에이터(33)는 두 간격조절장치(30)가 서로 독립적으로 동작할 수 있도록 각 간격조절장치(30)에 하나씩 구비되어, 로봇 핸드에는 총 두 개가 포함된다. The
본 실시예에서 액추에이터(33)는 두 핑거(20)의 외측에 각각 설치되어 플런저(33b)가 실린더(33a)로부터 돌출됨에 따라 두 핑거(20) 사이의 간격이 좁아져 작은 이송 대상물을 흡착하기 적당한 상태가 되며, 플런저(33b)가 실린더(33a) 내측으로 진입함에 따라 두 핑거(20) 사이의 간격이 넓어져 큰 이송 대상물을 흡착하기 적당한 상태가 된다. In this embodiment, the
핸드 케이스(11)의 수용부(11a) 내에는 상술한 네 개의 가이드레일(31)과 두 개의 액추에이터(33)가 각각 설치되는 베이스 플레이트(13)가 배치된다. In the
각 핑거(20)에는 음압의 공기압이 전달되는 복수의 흡착부(21)와, 핑거(20)의 상측에 이송 대상물이 존재하는지의 유무를 감지하는 감지센서(22)가 상측에 배치되어 있다. 따라서, 흡착부(21)에 음압의 공기압이 전달되도록 함으로써 흡착부(21)를 통해 이송 대상물을 핑거(20)에 흡착하여 이송 대상물이 로봇 핸드를 통해 이송되는 과정에서 핑거(20)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다. Each
다음은 이와 같이 구성된 이송 로봇에 적용된 로봇 핸드의 동작을 도면을 참조하여 설명한다. Next, the operation of the robot hand applied to the transfer robot configured as described above will be described with reference to the drawings.
크기가 작은 이송 대상물을 이송할 경우에는 실린더(33a)에 전달되는 공기압을 조절하여 플런저(33b)가 실린더(33a)로부터 돌출되도록 한다. 플런저(33b)가 실린더(33a)로부터 돌출함에 따라 두 핑거(20)는 플런저(33b)에 의해 이웃한 핑거(20)를 향하여 이동하므로, 두 핑거(20) 사이의 간격은 도 1에 점선으로 도시한 바와 같이 좁아져 로봇 핸드는 작은 크기의 이송 대상물을 흡착하기 적당한 상태가 된다. In the case of transferring a small transfer object, the air pressure transmitted to the
또한 상대적으로 크기가 큰 이송 대상물을 이송할 경우에는 실린더(33a)에 전달되는 공기압을 조절하여 플런저(33b)가 실린더(33a) 내로 진입하도록 한다. 플런저(33b)가 실린더(33a) 내로 진입함에 따라 핑거(20)는 플런저(33b)에 의해 이웃한 핑거(20)로부터 멀어지므로, 두 핑거(20) 사이의 간격은 도 1에 실선으로 도시한 바와 같이 넓어져 로봇 핸드는 큰 크기의 이송 대상물을 흡착하기 적당한 상태가 된다. In addition, in the case of transferring a relatively large transfer object, the
따라서, 로봇 핸드는 이송 대상물의 크기에 따라 핑거(20) 사이의 간격을 조절할 수 있어, 다양한 크기의 이송 대상물의 안정적으로 흡착하여 이송할 수 있게 된다. Therefore, the robot hand can adjust the distance between the
또한 이송 로봇에는 이송 대상물을 흡착하기 위해, 공압 시스템이 기본적으로 내장되는데, 상기와 같이 액추에이터(33)가 공압에 의해 동작되도록 하면, 흡착을 위해 사용되는 공압 시스템을 액추에이터(33)를 동작시키는데 활용할 수 있게 되므로 이송 로봇의 내부 구성을 보다 간단하게 구성할 수 있다. In addition, the transfer robot is basically equipped with a pneumatic system to suck the object to be transported, if the
본 발명은 상기에서 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.
10: 핸드 바디 11: 핸드 케이스
12: 핸드 커버 20: 핑거
21: 흡착부 22: 감지센서
30: 간격조절장치 31: 가이드레일
32: 가이드부재 33: 액추에이터10: hand body 11: hand case
12: hand cover 20: finger
21: adsorption unit 22: detection sensor
30: spacer 31: guide rail
32: guide member 33: actuator
Claims (7)
상기 로봇핸드는 핸드 바디와, 제 1 방향으로 각각 연장되며 상기 핸드 바디에 상기 제 1 방향과 직각인 제 2 방향으로 서로 이격 배치된 한 쌍의 핑거와, 공압을 통해 상기 한 쌍의 핑거를 제 2 방향으로 이동시켜 한 쌍의 상기 핑거 사이의 간격을 조절하는 한 쌍의 간격조절장치를 포함하는 이송 로봇. Includes a robot hand,
The robot hand includes a hand body, a pair of fingers extending in a first direction and spaced apart from each other in a second direction perpendicular to the first direction, and the pair of fingers through pneumatics. A transfer robot comprising a pair of gap adjusting devices for moving in two directions to adjust the gap between the pair of fingers.
한 쌍의 상기 간격조절장치는 상기 제 2 방향으로 연장되며 한 쌍의 상기 핑거 중 어느 하나가 이동 가능하게 설치되는 가이드레일과, 상기 가이드레일에 상기 제 2 방향으로 이동 가능하게 설치되며 상기 핑거가 고정되는 가이드부재와, 공압을 전달받아 상기 핑거를 상기 제 2 방향으로 진퇴이동 시키는 액추에이터를 각각 포함하는 이송 로봇.The method of claim 2,
The pair of gap adjusting devices may include a guide rail extending in the second direction and one of the pair of fingers installed to be movable, and installed on the guide rail to be movable in the second direction. And a guide member which is fixed and an actuator which receives the pneumatic pressure and moves the finger in the second direction.
한 쌍의 상기 간격조절장치는 상기 제 1 방향으로 서로 이격 배치된 한 쌍의 가이드레일과, 한 쌍의 상기 가이드레일에 각각 이동 가능하게 설치되는 한 쌍의 가이드부재를 각각 포함하는 이송로봇. The method of claim 2,
The pair of gap adjusting devices each include a pair of guide rails spaced apart from each other in the first direction, and a pair of guide members that are movably installed on the pair of guide rails, respectively.
상기 액추에이터는 공압이 전달되는 실린더와, 상기 실린더에 전달된 공압에 따라 진퇴이동 하는 플런저를 포함하는 이송 로봇. The method of claim 2,
The actuator includes a cylinder through which pneumatic pressure is transmitted, and a plunger moving forward and backward according to the pneumatic pressure transmitted to the cylinder.
상기 핸드 바디는 내부에 상기 한 쌍의 간격조절장치가 수용되는 수용부가 마련되며 한 쌍의 상기 핑거가 제 2 방향으로 이동 가능하게 설치되는 한 쌍의 가이드슬릿이 마련된 핸드 케이스와, 상기 수용부를 덮는 핸드 커버를 포함하는 이송 로봇. The method of claim 1,
The hand body is provided with an accommodating part for accommodating the pair of gap adjusting devices therein, and a hand case provided with a pair of guide slits provided with a pair of the fingers movable in a second direction, and covering the accommodating part. Transfer robot comprising a hand cover.
한 쌍의 상기 핑거에 각각 마련되어 음압의 공기압이 전달되는 복수의 흡착부를 포함하는 이송 로봇. The method of claim 1,
And a plurality of adsorption parts provided on each of the pair of fingers, through which air pressure of negative pressure is transmitted.
한 쌍의 상기 핑거에 각각 마련되어 이송 대상물의 유무를 감지하는 감지센서를 더 포함하는 이송 로봇. The method of claim 1,
And a sensing sensor provided on each of the pair of fingers to detect the presence or absence of a transfer object.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100041402A KR101215093B1 (en) | 2010-05-03 | 2010-05-03 | transfer robot |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100041402A KR101215093B1 (en) | 2010-05-03 | 2010-05-03 | transfer robot |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20110121898A true KR20110121898A (en) | 2011-11-09 |
KR101215093B1 KR101215093B1 (en) | 2012-12-24 |
Family
ID=45392609
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020100041402A KR101215093B1 (en) | 2010-05-03 | 2010-05-03 | transfer robot |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101215093B1 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103354216A (en) * | 2013-07-02 | 2013-10-16 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | Atmosphere manipulator terminal holder transferring solar cell pieces in batch |
KR20160107370A (en) * | 2015-03-03 | 2016-09-19 | 현대중공업 주식회사 | Apparatus for Transferring Substrate and Supporting Hand Device for Transferring Substrate |
KR20200108504A (en) * | 2018-02-15 | 2020-09-18 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | Device for handling various sized substrates |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102299106B1 (en) * | 2015-04-22 | 2021-09-07 | 현대중공업지주 주식회사 | Transfer robot with multi arm |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007203402A (en) | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Nidec Sankyo Corp | Hand for robot and conveyance robot provided with this hand |
-
2010
- 2010-05-03 KR KR1020100041402A patent/KR101215093B1/en active IP Right Grant
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103354216A (en) * | 2013-07-02 | 2013-10-16 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | Atmosphere manipulator terminal holder transferring solar cell pieces in batch |
KR20160107370A (en) * | 2015-03-03 | 2016-09-19 | 현대중공업 주식회사 | Apparatus for Transferring Substrate and Supporting Hand Device for Transferring Substrate |
KR20200108504A (en) * | 2018-02-15 | 2020-09-18 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | Device for handling various sized substrates |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101215093B1 (en) | 2012-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108687791B (en) | Jig and robot system | |
TWI542266B (en) | Transfer method, holding device and transfer system | |
KR101215093B1 (en) | transfer robot | |
US8915527B2 (en) | Workpiece taking-out method using robot including holding nails | |
TWI470244B (en) | Disposers, and parts inspection devices | |
WO2007149628A3 (en) | Robotic gripper for transporting multiple object types | |
KR102233207B1 (en) | Substrate gripping mechanism, substrate transfer device, and substrate processing system | |
ITUD20050158A1 (en) | ROBOTIC DEVICE FOR HANDLING AN OBJECT | |
WO2018139574A1 (en) | Conveyance system and operation method thereof | |
JP2010023946A (en) | Workpiece conveying device and workpiece handling device | |
US10336558B2 (en) | Transfer apparatus, transfer system, and transfer method | |
JP2019188600A (en) | Gripper, and robot system | |
CN103569672A (en) | Silicon wafer and glass substrate compatible conveying device | |
WO2020048262A1 (en) | Cable-less power supply device for linear transmission system | |
WO2020048263A1 (en) | Gas source access device for linear conveying system | |
CN103863821A (en) | Mask transmission device and method | |
JP2013000857A (en) | Robot hand | |
JP2008162760A (en) | Glass carrying robot hand | |
TW202025597A (en) | Wireless valve manifold | |
KR101382641B1 (en) | Gripping device having gripping function and suction function of object | |
JP2011199229A (en) | Wafer holding device | |
TWM630282U (en) | Suction cup used with robotic arm | |
JP7158897B2 (en) | Lid member mounting device and system | |
US20110129322A1 (en) | Wafer conveying system | |
JP4687120B2 (en) | Article alignment device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191129 Year of fee payment: 8 |