KR20110107476A - 인조 단결정 강옥 잉곳 절단 방법 - Google Patents

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KR20110107476A
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Abstract

본 발명은 R축 방향의 인조 단결정 강옥 잉곳을 절단함에 있어, 절단 시간과 와이어의 소모량을 절감시킬 수 있는 잉곳 절단 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 잉곳 절단 방법은 밑면이 R면
Figure pat00052
인 원통형의 잉곳(ingot)을 웨이퍼 형태로 절단(slicing)하는 방법으로, 잉곳을
Figure pat00053
,
Figure pat00054
,
Figure pat00055
및
Figure pat00056
방향과 평행한 방향을 제외한 방향으로 절단한다. 특히, 잉곳을 잉곳의 밑면의 면 방향
Figure pat00057
과 직교하는 방향으로 절단하되,
Figure pat00058
방향과 30° 내지 60° 범위의 각도를 이루는 방향, 120° 내지 150° 범위의 각도를 이루는 방향, 210° 내지 240° 범위의 각도를 이루는 방향 및 300° 내지 330° 범위의 각도를 이루는 방향 중 어느 한 방향과 평행한 방향으로 절단하면, 보다 용이하게 절단할 수 있다.

Description

인조 단결정 강옥 잉곳 절단 방법{Method of slicing artificial single crystal corundum ingot}
본 발명은 인조 단결정 강옥, 인조 단결정 사파이어 또는 사파이어(이하에서 '인조 단결정 강옥, 인조 단결정 사파이어 또는 사파이어'를 '사파이어'로 통칭한다) 잉곳을 절단하는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 절단 시간과 와이어 소모량을 절감시킬 수 있는 잉곳 절단 방법에 관한 것이다.
발광다이오드(light emitting diode, LED)는 기존 조명용 광원(형광등, 백열등)과 비교하여 소비전력 대비 밝기가 우수하며, 부피가 작고, 두께가 얇고, 수은 등의 유해 물질이 포함되지 않는 장점이 있다. 그리고 발광다이오드는 방향성 광원으로 영역별 선택 조명이 가능하므로, 각종 조명, 신호등, 전광판 등에 이용되고 있다. 또한, 발광다이오드는 현재 휴대폰과 LCD 등의 디스플레이의 백라이트유닛(back light unit, BLU)으로 널리 이용되고 있다.
특히, 1995년 청색 발광다이오드가 개발됨에 따라 모든 색상을 구현하는 것이 가능하게 된 이후, 3색 발광다이오드를 배합하여 원하는 색상의 빛을 구현할 수 있게 되어, 응용분야가 더욱 다양해지고 있다. 청색과 녹색 계열의 발광다이오드는 일반적으로 사파이어 기판 상에 GaN계 활성층을 에피(epi) 성장시켜 제조한다.
현재 발광다이오드용 사파이어 기판은 원통형의 사파이어(sapphire) 잉곳(ingot)을 웨이퍼 형태로 절단(slicing)한 후, 양면 랩핑(lapping) 공정, 모서리 가공(edge grinding) 공정, 경면 연마(polishing) 공정 등을 통해 제조되는 것이 일반적이다. 사파이어 기판을 제조하는 여러 공정 중, 가장 큰 비용이 소요되는 공정은 사파이어 잉곳의 절단 공정이다. 따라서 사파이어 기판 제조의 생산성을 높이기 위해서는 사파이어 잉곳을 절단할 때 소요되는 시간과 비용을 감소시킬 필요가 있다. 또한, 사파이어 잉곳 절단시 두께 편차를 작게 하여야, 후속 공정의 시간과 비용을 절감시킬 수 있다. 따라서 사파이어 잉곳을 절단할 때 소요되는 시간과 비용을 감소시키면서 절단된 기판의 두께 편차가 작게 되도록 하는 사파이어 잉곳 절단 방법에 대한 필요성이 증대되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 R축 방향의 사파이어 잉곳을 절단함에 있어, 절단 시간과 와이어의 소모량을 절감시킬 수 있는 사파이어 잉곳 절단 방법을 제공하는 데에 있다.
상기의 기술적 과제를 해결하기 위한, 본 발명에 따른 사파이어 잉곳 절단 방법은 밑면이 R면
Figure pat00001
인 원통형의 사파이어(sapphire) 잉곳(ingot)을 웨이퍼 형태로 절단(slicing)하는 방법에 있어서, 상기 사파이어 잉곳을
Figure pat00002
,
Figure pat00003
,
Figure pat00004
및
Figure pat00005
방향과 평행한 방향을 제외한 방향으로 절단한다.
상기 사파이어 잉곳의 절단된 면이 상기 사파이어 잉곳의 밑면인 R면
Figure pat00006
과 3°이하의 각도 범위를 갖도록 상기 사파이어 잉곳을 절단할 수 있다.
상기 사파이어 잉곳을 상기 사파이어 잉곳의 밑면의 결정면 축방향인
Figure pat00007
방향과 직교하는 방향으로 절단하되,
Figure pat00008
방향과 30° 내지 60° 범위의 각도를 이루는 방향, 120° 내지 150° 범위의 각도를 이루는 방향, 210° 내지 240° 범위의 각도를 이루는 방향 및 300° 내지 330° 범위의 각도를 이루는 방향 중 어느 한 방향과 평행한 방향으로 절단할 수 있다.
상기 사파이어 잉곳의 플랫(flat)면은
Figure pat00009
면 및
Figure pat00010
면 중 어느 하나일 수 있다.
상기 사파이어 잉곳의 절단은 다이아몬드가 코팅되어 있는 와이어를 구비한 와이어 쏘를 이용하여 수행될 수 있다.
본 발명에 제안된 방법으로 R축 방향의 사파이어 잉곳을 절단하면, R축 방향의 사파이어 잉곳을 용이하게 절단할 수 있으므로, 사파이어 잉곳 절단시에 소요되는 시간과 비용을 절감시킬 수 있다. 또한, 본 발명에서 제안된 방법으로 사파이어 잉곳을 절단하면, 종래에 비해 절단된 기판의 두께 편차가 감소되어, 후속 공정의 비용과 시간이 감소되며, 보다 양질의 사파이어 기판을 제조할 수 있게 된다.
도 1은 사파이어 잉곳을 절단하는 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 사파이어 결정 유닛 셀의 개략적인 구조를 나타낸 도면이다.
도 3은 R축 방향의 사파이어 잉곳을 나타낸 도면으로, 도 3(a)는 R축 방향의 사파이어 잉곳의 사시도이고, 도 3(b)는 R축 방향의 사파이어 잉곳의 밑면을 나타내는 평면도이며, 도 3(c)는 사파이어 잉곳 옆면을 나타내는 측면도이다.
도 4는 본 발명에 따라 R축 방향의 사파이어 잉곳을 절단할 때, 절단 방향을 나타내는 도면이다.
도 5는 R축 사파이어 잉곳의 절단 방향과 R축 사파이어 잉곳의 밑면인 R 평면 사이의 각도를 나타낸 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 6은 도 4의 방법으로 R축 사파이어 잉곳을 절단한 경우의 절단 bow를 나타낸 도면이다.
이하에서 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 사파이어 잉곳 절단 방법의 바람직한 실시예에 대해 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도 1은 사파이어(sapphire) 잉곳(ingot)을 절단(slicing)하는 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 원통형의 사파이어 잉곳(110)은 와이어 쏘(wire saw)(160)를 이용하여 절단한다. 와이어 쏘(160)는 고속 왕복하는 와이어(170)와 연삭재를 이용하여 사파이어 잉곳(110)를 절단하는 장치로서, 와이어(170)는 잉곳 길이 전체를 커버할 수 있는 길이의 워크 롤라(180)에 일정한 피치(pitch)로 감겨져 있다. 워크 롤라(180)는 내부의 강철 코어(core)에 폴리 우레탄 플레이팅이 되어 있으며, 폴리 우레탄은 정밀하게 원통 가공 및 와이어 홈 가공이 되어 있어, 홈에 와이어(170)가 감겨져 운동한다. 사파이어 잉곳(110)을 절단할 때 와이어(170)와 사파이어 잉곳(110)의 접촉 면적을 최소화하기 위해, 워크 롤라(180)는 전체가 요동 운동을 하도록 설계되어 있다.
와이어(170)는 워크 롤라(180)를 중심으로 공급측과 회수측으로 나뉘어 있으며, 공급측으로부터 회수측까지 한 가닥으로 이어져 있다. 와이어 공급측, 워크롤라, 와이어 회수측은 서로 연동되어 같은 속도로 고속 왕복 운동하며, 공급측에서 회수측 방향으로 계속하여 새로운 와이어가 공급되면서 마모된 와이어는 회수측으로 제거되도록 설정된다. 또한, 와이어(170)는 일정한 텐션(tension)을 가질 수 있도록 설치된다.
사파이어는 자연계에서 다이아몬드 다음의 경도를 가지고 있으므로, 사파이어 잉곳(110)을 절단하기 위해서는 다이아몬드가 주로 사용된다. 와이어 쏘(160)는 크게 다이아몬드 슬러리를 이용한 것과 다이아몬드가 코팅된 와이어를 이용한 것으로 구분되는데, 다이아몬드가 코팅된 와이어를 이용하는 것이 절단 시간이 단축되고, 소모되는 와이어 양이 적으므로 본 실시예에서는 다이아몬드가 코팅된 와이어를 구비한 와이어 쏘(160)를 통해 사파이어 잉곳(110)을 절단한다.
사파이어 잉곳(110)은 워크 테이블(120)에 장착되어 와이어(170)의 위에서 아래 방향으로 미세하게 움직이면서 절단되는데, 사파이어 잉곳(110)이 완전히 통과되면 절단이 완료된다. 이를 위해, 워크 테이블은 수직 이동하도록 정밀 가공된다. 사파이어 잉곳(110)을 절단할 경우, 절단이 완료되면, 깨지기 쉬울 정도로 얇은 웨이퍼 형태의 기판이 된다. 따라서 절단이 거의 완료되는 시점에서는 사파이어 잉곳(110)을 보조적으로 지지해주어 깨지지 않도록 하여야 한다. 이를 위해 사파이어 잉곳(110)은 워크 테이블(120)에 설치되어 있는 더미 빔(dummy beam)(130)에 에폭시 접착제를 통해 부착시킨 후, 절단하게 된다. 따라서 절단이 완료되면, 와이어(170)가 사파이어 잉곳(110)은 완전히 통과하고 더비 빔(130)은 2 ~ 3 mm 정도만 절단시키게 되므로, 기판은 더미 빔(130)에 의해 지지되어 깨지지 않게 된다.
사파이어는 육방정계(hexagonal) 구조의 대칭성을 갖는 결정체로, 사파이어 결정 유닛 셀의 개략적인 구조를 도 2에 나타내었다. 사파이어는 C축 방향으로 13.001Å의 격자상수를 갖고, A축 방향으로 4.765Å의 격자상수를 갖는다. 사파이어의 안정된 로우 인덱스 평면(low index plane)은 C축 방향을 갖는 C-평면(0001)과, C-평면과 57.6° 기울어져 있는 R-평면
Figure pat00011
과, C-평면과 90° 기울어져 있는 M-평면
Figure pat00012
과, A-평면
Figure pat00013
이 있다. 사파이어 기판은 면 방향에 따라 기판의 종류가 구분된다. 사파이어 잉곳도 마찬가지로 밑면의 면 방향에 따라 C축 잉곳, A축 잉곳, M축 잉곳 및 R축 잉곳으로 구분된다. C축 잉곳은 잉곳 밑면이 C-평면인 잉곳이고, A축 잉곳은 잉곳 밑면이 A-평면인 잉곳이고, M축 잉곳은 잉곳 밑면이 M-평면인 잉곳이며, R축 잉곳은 잉곳 밑면이 R-평면인 잉곳이다. 청색 발광다이오드는 C축 잉곳을 절단하여 제조된 C-평면을 갖는 사파이어 기판이 많이 이용되고, 비극성 GaN 성장을 위해서는 R-평면을 갖는 사파이어 기판이 많이 이용된다. 이러한 잉곳의 종류에 따라 절단 강도가 상이하므로, 잉곳의 종류에 따라 잉곳 절단시간과 와이어 소모량이 달라진다.
특히, R축 잉곳은 다른 잉곳에 비해 절단 강도가 커서 절단하는 것이 용이치 않다. 그리고 R축 잉곳은 다른 잉곳에 비해 등방성이 약하여, R축 잉곳을 절단하는 방향에 따라 절단시간과 와이어 소모량이 크게 달라지게 된다.
도 3은 R축 사파이어 잉곳을 나타낸 도면으로, 도 3(a)는 R축 방향의 사파이어 잉곳의 사시도이고, 도 3(b)는 R축 방향의 사파이어 잉곳의 밑면을 나타내는 평면도이며, 도 3(c)는 사파이어 잉곳 옆면을 나타내는 측면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, R축 사파이어 잉곳(310)은 기판의 직경 크기로 원통 형상으로 가공되어 있다. R축 사파이어 잉곳(310)의 밑면(320)은 면 방향이 R축 방향
Figure pat00014
인 R-평면이다. R축 사파이어 잉곳(310)의 플랫(flat)면(330)은 A-평면 중
Figure pat00015
면 또는
Figure pat00016
면일 수 있다. 도 3에서는 R축 사파이어 잉곳(310)의 플랫면(330)이
Figure pat00017
면인 경우를 나타내었다. 도 3(b)에 점선으로 표시된 M축과 C축은 각각 M축과 C축이 R-평면
Figure pat00018
에 투영된 것을 나타낸 것이다. 실제로는 도 3(c)에 도시된 바와 같이, R축과 M축은 32.4°의 각도를 갖고, R축과 C축은 57.6°의 각도를 갖는다.
보통의 경우 잉곳의 플랫면을 더미 빔(130)에 접착한 후, 와이어 쏘(160)를 이용하여 절단하게 된다. 즉, 플랫면의 결정면 축방향과 평행한 방향으로 잉곳을 절단한다. 그러나 R축 사파이어 잉곳(310)을 보통의 절단 방향으로 절단하면, R축 사파이어 잉곳(310)은 거의 절단되지 않는다. 즉, R축 사파이어 잉곳(310)을
Figure pat00019
방향 또는
Figure pat00020
방향으로 절단하면, R축 사파이어 잉곳(310)은 거의 절단되지 않는다. 그리고 A축 방향과 수직한 방향, 즉
Figure pat00021
방향 또는
Figure pat00022
방향과 평행한 방향으로 절단하면, R축 사파이어 잉곳(310)이 절단은 가능하지만, 절단 후, 웨이퍼 내의 두께 편차가 100μm 이상이고, 절단 bow값은 200μm 이상이므로, 절단된 기판의 특성이 좋지 않아 후속 공정을 진행하는 것이 용이치 않다.
결과적으로, R축 사파이어 잉곳(310)을
Figure pat00023
방향,
Figure pat00024
방향,
Figure pat00025
방향 및
Figure pat00026
방향 중 어느 한 방향과 평행한 방향으로 절단하면, 절단이 어렵거나 절단된 기판의 특성이 나쁘게 된다. 따라서 본 실시예에서는 R축 사파이어 잉곳(310)을
Figure pat00027
방향,
Figure pat00028
방향,
Figure pat00029
방향 및
Figure pat00030
방향 중 어느 한 방향과 평행한 방향을 제외한 방향으로 절단한다. 바람직하게는
Figure pat00031
방향을 기준으로, 30° 내지 60° 범위의 각도를 이루는 방향, 120° 내지 150° 범위의 각도를 이루는 방향, 210° 내지 240° 범위의 각도를 이루는 방향 및 300° 내지 330° 범위의 각도를 이루는 방향 중 어느 한 방향과 평행한 방향으로 절단한다. 그리고 상기의 절단 방향 중 어떠한 절단 방향도 R축 방향인
Figure pat00032
방향과 직교하는 방향으로 설정한다. 본 실시예의 R축 사파이어 잉곳(310)의 절단 방향을 도 4에 자세히 나타내었다.
도 4는 본 발명에 따라 R축 방향의 사파이어 잉곳을 절단할 때, 절단 방향을 나타내는 도면으로, 절단 방향을 R축 사파이어 잉곳의 밑면인 R-평면
Figure pat00033
에 표시한 도면이다. 절단된 면의 면 방향이 R축 방향과 동일하도록 도 4에 나타낸 절단 방향은 모두 사파이어 잉곳(310)의 밑면인 R-평면
Figure pat00034
과 평행한 방향, 즉 R축 방향인
Figure pat00035
방향과는 직교하도록 설정한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 R축 사파이어 잉곳은 참조번호 410, 420, 430 및 440으로 표시된 영역 내의 방향 중 어느 한 방향과 평행한 방향으로 절단한다. 참조번호 410으로 표시된 영역 내의 절단 방향은
Figure pat00036
방향을 기준으로 30° 내지 60°의 각도 범위에 있는 방향이다. 즉, 참조번호 410으로 표시된 영역 내의 절단 방향은 도 4의 참조번호 411로 표시된 제1방향(30°)과 참조번호 412로 표시된 제2방향(60°)의 사이 방향에 해당한다. 참조번호 420으로 표시된 영역 내의 절단 방향은
Figure pat00037
방향을 기준으로 120° 내지 150°의 각도 범위에 있는 방향이다. 즉, 참조번호 420으로 표시된 영역 내의 절단 방향은 도 4의 참조번호 421로 표시된 제3방향(120°)과 참조번호 422로 표시된 제4방향(150°)의 사이 방향에 해당한다. 참조번호 430으로 표시된 영역 내의 절단 방향은
Figure pat00038
방향을 기준으로, 210° 내지 240°의 각도 범위에 있는 방향이다. 즉, 참조번호 430으로 표시된 영역 내의 절단 방향은 도 4의 참조번호 431로 표시된 제5방향(210°)과 참조번호 432로 표시된 제6방향(240°)의 사이 방향에 해당한다. 참조번호 440으로 표시된 영역 내의 절단 방향은
Figure pat00039
방향을 기준으로, 300° 내지 330°의 각도 범위에 있는 방향이다. 즉, 참조번호 440으로 표시된 영역 내의 절단 방향은 도 4의 참조번호 441로 표시된 제7방향(300°)과 참조번호 442로 표시된 제8방향(330°)의 사이 방향에 해당한다.
따라서 본 실시예에서는 R축 사파이어 잉곳을
Figure pat00040
방향과 30° 내지 60° 범위의 각도를 이루는 방향(410), 120° 내지 150° 범위의 각도를 이루는 방향(420), 210° 내지 240° 범위의 각도를 이루는 방향(430) 및 300° 내지 330° 범위의 각도를 이루는 방향(440) 중 어느 한 방향과 평행한 방향으로 절단한다. 이와 같은 방향으로 R축 사파이어 잉곳을 절단하면, 절단 시간을 감소시킬 수 있고, 절단시 소모되는 와이어의 양을 감소시킬 수 있다. 그리고 절단된 면의 두께 편차도 작아 후속 공정의 시간과 비용을 절감시킬 수 있다.
상기와 같은 절단 방향은 모두 R-평면 상에 위치하는 방향, 즉 R축 방향과 직교하는 방향들이므로, 절단된 면은 R-평면과 평행하게 된다. 그러나 정확히 R-평면과 평행하게 절단하는 것은 어려울 뿐만 아니라, 특별한 목적에 의해서 R-평면을 회전시켜 절단할 수 있으므로, 엄밀히 말하면 절단 방향은 상기의 절단 방향과 정확히 일치하지 않을 수 있다. 그렇다고 하더라도, 절단된 면은 R-평면과 소정의 각도 범위를 갖도록 절단하여야 한다. 이를 도 5에 나타내었다.
도 5에서 참조번호 510으로 표시된 평면이 R-평면이고, 참조번호 520으로 표시된 평면이 절단된 면이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 절단된 면은 R-평면이 이루는 각도(θ)는 3°이하가 되도록 R축 사파이어 잉곳을 절단한다. 즉, 오차 범위가 ±3°이하가 되도록 한다.
일반적으로 잉곳을 절단하는 경우에는 더미 빔(130)에 플랫면을 부착시키지만, 본 실시예에서와 같이 R축 사파이어 잉곳(310)을 절단하는 경우에는 플랫면(330)을 더미 빔(130)에 부착시킨 후, R축 사파이어 잉곳(310)을 절단하는 것이 용이치 않다. 따라서 본 실시예에서는 도 4에 도시된 방향으로, 잉곳(310)을 해당 각도로 회전시킨 후, 더미 빔(130)에 부착시킨다. 즉,
Figure pat00041
의 방향과 더미 빔(130)에 부착된 면의 방향은 해당 각도 차이가 있게 된다. 이와 같이 R축 사파이어 잉곳(310)을 더미 빔(130)에 부착시킨 후, 와이어 쏘(160)를 이용하여 R축 사파이어 잉곳(310)을 절단하면, R축 사파이어 잉곳(310)을 용이하게 절단할 수 있다. 본 발명에 의한 방법으로 R축 사파이어 잉곳을 절단한 경우의 절단 bow를 도 6에 나타내었다.
도 6에 도시된 바와 같이, 도 4에 도시된 방법으로 R축 사파이어 잉곳을 절단하여 절단 bow의 최대값을 30μm 이내로 제어할 수 있었다.
도 4의 방법으로 절단된 기판을 양면 랩핑 공정, 모서리 가공 공정, 경면 연마 공정 등을 수행하여 완성된 사파이어 기판 66매를 검사한 결과를 표 1에 나타내었다. 표 1에서 TTV(total thickness variation, 기판의 두께 최고치와 최소치 사이의 차)는 기판 전체에서의 두께 편차를 나타낸 것이고, LTV(local thickness variation)는 5mm×5mm 크기로 분할한 국소 부위에서의 TTV에 해당한다. 그리고 LTV(max)는 LTV 중 최대값을 나타낸 것이다.
최상단 가로줄은 TTV와 LTV 수치를, 그 아래의 숫자는 그 수치에 해당하는 TTV 또는 LTV를 가진 기판 개수를 나타낸다. 표 1에서 단위는 마이크로미터(μm)이다.
0∼1 1∼2 2∼3 3∼4 4∼5 5∼6 6∼7 7∼8 8∼9 9∼10
TTV 0 1 4 6 22 21 7 3 1 1
LTV(max) 5 11 45 3 1 1 0 0 0 0
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

Claims (5)

  1. 밑면이 R면
    Figure pat00042
    인 원통형의 사파이어(sapphire) 잉곳(ingot)을 웨이퍼 형태로 절단(slicing)하는 방법에 있어서,
    상기 사파이어 잉곳을
    Figure pat00043
    ,
    Figure pat00044
    ,
    Figure pat00045
    및
    Figure pat00046
    방향과 평행한 방향을 제외한 방향으로 절단하는 것을 특징으로 하는 사파이어 잉곳 절단 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 사파이어 잉곳의 절단된 면이 상기 사파이어 잉곳의 밑면인 R면
    Figure pat00047
    과 ±3°이하의 각도 범위를 갖도록 상기 사파이어 잉곳을 절단하는 것을 특징으로 하는 사파이어 잉곳 절단 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 사파이어 잉곳을 상기 사파이어 잉곳의 밑면의 결정면 축방향인
    Figure pat00048
    방향과 직교하는 방향으로 절단하되,
    Figure pat00049
    방향과 30° 내지 60° 범위의 각도를 이루는 방향, 120° 내지 150° 범위의 각도를 이루는 방향, 210° 내지 240° 범위의 각도를 이루는 방향 및 300° 내지 330° 범위의 각도를 이루는 방향 중 어느 한 방향과 평행한 방향으로 절단하는 것을 특징으로 하는 사파이어 잉곳 절단 방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 사파이어 잉곳의 플랫(flat)면은
    Figure pat00050
    면 및
    Figure pat00051
    면 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 사파이어 잉곳 절단 방법.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 사파이어 잉곳의 절단은 다이아몬드가 코팅되어 있는 와이어를 구비한 와이어 쏘를 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 사파이어 잉곳 절단 방법.
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