KR20110079243A - Chamber having structure preventing grind - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A chamber having a grind preventing structure is provided to induce higher electricity generating efficiency by lowering an average driving temperature of a photovoltaic generation module because of an improved cooling effect. CONSTITUTION: A chamber body(51) has a structure whose top is opened. A chamber lid, coupled to an upper part of the chamber body, opens or closes the chamber. A sealing member, arranged on a coupling face between the chamber body and the chamber lid, performs a sealing function. The height of an outer coupled face in the chamber body is lower than that of an inner coupled face. When the chamber lid is coupled to the chamber body, the contact part between the inner coupled face and the chamber lid can be minimized.

Description

갈림방지구조를 갖는 챔버{Chamber having structure preventing grind}Chamber having structure preventing grind

본 발명은 LCD 등의 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 로드 락 챔버와 같은 챔버 구조물에서 상부 챔버(또는 챔버 바디)와 하부 챔버(또는 챔버 리드) 사이의 결합 구조에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel display device manufacturing apparatus such as an LCD, and more particularly, to a coupling structure between an upper chamber (or chamber body) and a lower chamber (or chamber lid) in a chamber structure such as a load lock chamber.

일반적으로 반도체나 평판표시소자(Flat Panel Display)를 제조하는 장치 등은 기판(반도체 웨이퍼, 글라스 등)의 표면처리 등을 실시하기 위한 챔버가 구비되고, 이 챔버로 기판을 반입하거나 반출하기 위하여 기판을 운반하는 반송로봇이 구비된다.In general, a device for manufacturing a semiconductor or a flat panel display is provided with a chamber for performing a surface treatment of a substrate (semiconductor wafer, glass, etc.), and a substrate for carrying in or taking out a substrate into the chamber. There is provided a transport robot for transporting.

이와 같은 챔버, 반송로봇 등은 반도체나 평판표시소자 제조장치 등에 모두 유사한 방식으로 적용되는 것으로서, 이하에서는 이 챔버, 반송로봇, 그리고 이들과 관련 있는 사항에 대하여 평판표시소자 제조장치에 적용된 것을 중심으로 하여 살펴보기로 한다.The chamber, the transfer robot, and the like are applied in a similar manner to both a semiconductor and a flat panel display device manufacturing apparatus. Hereinafter, the chamber, the transfer robot, and the matters related thereto are mainly applied to the flat panel display device manufacturing apparatus. Let's take a look.

평판표시소자에는 액정표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.The flat panel display devices include liquid crystal displays, plasma display panels, and organic light emitting diodes.

이러한 평판표시소자를 제조하기 위한 평판표시소자 제조장치로는 주로 진공처리 방식의 것이 사용되는데, 평판표시소자 제조장치는 생산성 향상을 위한 택트 타임(Tact time)을 줄이기 위해서 인라인 타입(In-Line type)에서 클러스터 타입(Cluster type)으로 변화되고 있다.The flat panel display device manufacturing apparatus for manufacturing such a flat panel display device is mainly a vacuum processing method, the flat panel display device manufacturing apparatus is an in-line type (In-Line type) in order to reduce the tact time for productivity improvement ) Is changing from cluster type to cluster type.

여기서 클러스터 타입(Cluster type)은 아래에서 설명될 하나의 로드 락 챔버(Load Lock Chamber)에 두 개 이상의 공정챔버가 연결되어 기판을 처리할 수 있도록 구성된 평판표시소자 제조장치이다.The cluster type is a flat panel display device manufacturing apparatus configured to process a substrate by connecting two or more process chambers to one load lock chamber to be described below.

도 1을 참조하여 클러스터 타입의 평판표시소자 제조장치에 대하여 간단히 살펴본다.A brief description will be given of a cluster type flat panel display device manufacturing apparatus with reference to FIG. 1.

평판표시소자 제조장치는 외부로부터 미처리된 기판을 받아서 보관하거나 처리된 기판(S)을 외부로 내보내는 로드 락 챔버(Load Lock Chamber)(10)와, 이 로드 락 챔버(10)로부터 반입된 기판을 진공 분위기 하에서 플라즈마 등을 이용하여 표면처리를 실시하는 등 기판을 처리하는 공정챔버(Process Chamber)(20)와, 이 공정챔버(20)와 상기 로드 락 챔버(10) 사이에 설치되어 기판(S)을 공정챔버(20)로 반입하거나 그 반대로 반출함에 있어 경유지의 역할을 하는 반송챔버(Transfer Chamber)(30)로 이루어진다.The flat panel display device manufacturing apparatus includes a load lock chamber 10 which receives an unprocessed substrate from the outside and stores the processed substrate S to the outside, and a substrate loaded from the load lock chamber 10. A process chamber 20 for processing a substrate such as surface treatment using a plasma or the like in a vacuum atmosphere, and a substrate S disposed between the process chamber 20 and the load lock chamber 10. ) Is transferred to the process chamber 20 or vice versa, the transfer chamber (Transfer Chamber) (30) that serves as a stopover.

여기서 상기 반송챔버(30)의 내부에는 기판을 로드 락 챔버(10)와 공정챔버(20)로 이송하는 반송로봇(R)이 설치되고, 이 반송로봇(R)에는 기판을 이송하는 이송암(Transfer Arm)이 구비된다.Here, a conveying robot (R) for transporting the substrate to the load lock chamber (10) and the process chamber (20) is installed in the conveying chamber (30), and the conveying robot (R) has a conveying arm (for conveying the substrate) Transfer Arm) is provided.

도 1에서 참조 번호 40은 각 챔버들 사이에 연결되어 기판(S)의 반입/반출을 위한 출입구인 게이트 밸브(Gate Valve)이다.In FIG. 1, reference numeral 40 denotes a gate valve connected between the chambers and serving as an entrance / exit for carrying in / out of the substrate S. Referring to FIG.

도 2는 상기 로드 락 챔버(10)를 개략적으로 도시한 도면으로서, 로드 락 챔버(10)는 기판을 보관할 수 있도록 공간을 형성하는 챔버 바디(11)와, 이 챔버 바디(11)의 상부에 결합되는 챔버 리드(13)로 구성될 수 있다.FIG. 2 is a schematic view of the load lock chamber 10. The load lock chamber 10 includes a chamber body 11 forming a space for storing a substrate and an upper portion of the chamber body 11. It may be composed of a chamber lid 13 to be coupled.

여기서 상기 챔버 바디(11)의 상부에는 상기 챔버 리드(13)가 결합될 수 있도록 결합면(11a)이 형성되는데, 이 결합면(11a)에는 밀봉 기능을 실현할 수 있도록 밀봉 부재인 오 링(15)이 설치된다. 즉, 챔버 바디(11)의 내측 상부의 결합면(11a)에 오 링(15)이 삽입되어 장착되는 그루브(11b)가 형성되고, 이 그루브(11b)에 오 링(15)이 삽입됨으로써 챔버 리드(13)가 닫힐 때, 챔버 리드(13)와 챔버 바디(11) 사이에서 오 링(15)이 압착되어 밀봉 기능을 실현할 수 있도록 구성되는 것이다.Here, a coupling surface 11a is formed at an upper portion of the chamber body 11 so that the chamber lid 13 may be coupled thereto, and the coupling surface 11a may be an o-ring 15 which is a sealing member to realize a sealing function. ) Is installed. That is, the groove 11b in which the o-ring 15 is inserted and mounted is formed in the engaging surface 11a of the inner upper portion of the chamber body 11, and the o-ring 15 is inserted into the groove 11b to form the chamber. When the lid 13 is closed, the o-ring 15 is squeezed between the chamber lid 13 and the chamber body 11 so as to realize a sealing function.

그러나 상기한 바와 같은 로드 락 챔버를 포함한 종래 챔버는, 챔버 리드(13)가 닫힌 상태에서 챔버 내에 진공압이 형성되면, 도 3에 도시된 바와 같이 챔버 리드(13)가 아래쪽 방향으로 처지게 되고, 이때 챔버 리드(13)가 챔버 바디(11)의 오 링(15) 설치 부분에 접촉되면서 갈림 현상이 발생하고, 이러한 갈림 현상으로 챔버 바디(11)가 마모되면서 파티클(particle)이 발생하여, 공정 불량의 원인으로 작용하게 되는 문제점이 발생되고 있다.However, in the conventional chamber including the load lock chamber as described above, when the vacuum pressure is formed in the chamber while the chamber lid 13 is closed, the chamber lid 13 sags downward as shown in FIG. 3. At this time, the chamber lead 13 is in contact with the O-ring 15 installation portion of the chamber body 11, the separation phenomenon occurs, the particle is generated as the chamber body 11 is worn by such a separation phenomenon, There is a problem that acts as a cause of process failure.

즉, 평판표시소자가 대형화됨에 따라 이를 수용하기 위한 챔버들도 대형화되어가는 추세에서, 챔버 내부에 진공압이 형성될 경우에 챔버 리드(13)가 도 3에서와 같이 변형(처짐)되면서 오 링(15)이 설치된 안쪽 부분에 접촉하게 된다. 이때 챔버 리드(13)와 챔버 바디(11)의 접촉 부분에 갈림 현상에 의한 파티클 발생으로, 챔버 내부에 이물질이 유입되고, 이러한 이물질 유입으로 인하여, 제품 불량의 원인으로 이어지는 문제들이 발생하고 있는 것이다.That is, as the flat panel display device becomes larger, the chambers for accommodating the same also become larger, and when the vacuum pressure is formed inside the chamber, the chamber lead 13 is deformed (sag) as shown in FIG. It comes into contact with the inner part where (15) is installed. At this time, due to particle generation due to the separation of the contact between the chamber lid 13 and the chamber body 11, foreign matter is introduced into the chamber, due to the introduction of such foreign matter, there are problems leading to product defects. .

이를 해결하기 위해, 오 링(15) 주변에 지지블록 등을 추가로 설치한 구성도 있으나, 장시간 사용하게 되면, 변형되는 등 문제가 발생하여 지지 기능이 떨어짐에 따라 자주 교체해주어야 하고, 제때 교체해주지 못하면 챔버의 갈림 현상이 발생하여 제품 불량으로 이어지게 되는 문제가 발생하는 것이다.In order to solve this problem, there is also a configuration in which a support block is additionally installed around the o-ring 15, but if it is used for a long time, problems such as deformation occur, so the support function is deteriorated frequently, and it is necessary to replace it in time. Failure to do so will cause the chamber to jam, leading to product defects.

이상 설명한 배경기술의 내용은 이 건 출원의 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.The contents of the background art described above are technical information that the inventor of the present application holds for the derivation of the present invention or acquired in the derivation process of the present invention and is a known technology disclosed to the general public prior to the filing of the present invention I can not.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 상부 챔버와 하부 챔버가 상호 밀착되는 부분의 접촉 구조를 변경하여, 진공압 형성시에 발생할 수 있는 상하 챔버 사이의 갈림 현상을 최소화하여, 챔버 내부로 유입되는 파티클 발생을 줄이고, 이를 통해 보다 우수한 공정 수행이 가능하도록 하여 제품의 불량 발생을 최소화할 수 있는 갈림방지구조를 갖는 챔버를 제공하는 데 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above problems, by changing the contact structure of the portion in which the upper chamber and the lower chamber is in close contact with each other, to minimize the phenomena between the upper and lower chambers that can occur when the vacuum pressure, the chamber It is an object of the present invention to reduce the generation of particles introduced into the inside, thereby enabling a better process performance to provide a chamber having an anti-crack structure that can minimize the occurrence of defects of the product.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 갈림방지구조를 갖는 챔버는, 상부가 개방된 구조를 갖는 챔버 바디와; 상기 챔버 바디의 상부에 결합되어 챔버를 개폐하는 챔버 리드와; 상기 챔버 바디와 챔버 리드의 결합면에 구비되어 밀봉 기능을 수행하는 밀봉부재를 포함하여 구성되되, 상기 밀봉부재를 중심으로 챔버 바디의 바깥쪽 결합면보다 챔버 바디의 안쪽 결합면 중 적어도 일부분 이상의 높이가 더 낮게 형성되어, 상기 챔버 리드가 챔버 바디에 결합될 때, 상기 챔버 바디의 안쪽 결합면과 챔버 리드 사이의 접촉 부분이 최소화될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다.The chamber having the anti-cracking structure according to the present invention for realizing the above object, the chamber body having an open top structure; A chamber lid coupled to an upper portion of the chamber body to open and close the chamber; It is configured to include a sealing member provided on the coupling surface of the chamber body and the chamber lid to perform a sealing function, the height of at least a portion of the inner coupling surface of the chamber body is greater than the outer coupling surface of the chamber body around the sealing member It is formed lower, characterized in that configured to minimize the contact portion between the inner mating surface of the chamber body and the chamber lid when the chamber lid is coupled to the chamber body.

상기 챔버 바디의 안쪽 결합면은, 챔버 바디의 바깥쪽 결합면보다 수평 방향으로 더 낮게 형성될 수 있다.The inner coupling surface of the chamber body may be formed lower in the horizontal direction than the outer coupling surface of the chamber body.

또한, 상기 챔버 바디의 안쪽 결합면은, 챔버의 안쪽을 향하여 점차 낮아지 게 경사지거나, 곡면으로 형성되는 것도 가능하다.In addition, the inner coupling surface of the chamber body, may be inclined to gradually lower toward the inside of the chamber, or may be formed in a curved surface.

또한, 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 갈림방지구조를 갖는 챔버는, 상부에 개방부가 구비된 챔버 바디와; 상기 챔버 바디의 개방부에 결합되어 챔버를 개폐하는 챔버 리드와; 상기 챔버와 챔버 리드의 결합면에 구비되어 밀봉 기능을 수행하는 밀봉부재를 포함하여 구성되되, 상기 밀봉부재를 중심으로 챔버 바디와 챔버 리드의 안쪽 결합면은 상기 챔버 리드가 챔버에 결합될 때, 상기 챔버 리드와 접촉되지 않도록 챔버 바디와 챔버 리드 중 어느 한쪽 결합면 중 적어도 일부분이 삭제된 구조로 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the chamber having a non-cracking structure according to the present invention for realizing the above object, the chamber body having an open portion at the top; A chamber lid coupled to the opening of the chamber body to open and close the chamber; It is configured to include a sealing member provided on the coupling surface of the chamber and the chamber lid to perform a sealing function, the inner coupling surface of the chamber body and the chamber lead around the sealing member when the chamber lid is coupled to the chamber, At least a portion of the coupling surface of any one of the chamber body and the chamber lead is formed in a structure in which it is not in contact with the chamber lead.

상기 챔버 리드의 안쪽 결합면은 챔버 바디와 접촉 부분이 최소화될 수 있도록 적어도 일부분이 홈 구조 또는 경사진 구조로 삭제되어 형성될 수 있다.The inner coupling surface of the chamber lid may be formed by removing at least a portion of the chamber lid into a groove structure or an inclined structure to minimize the contact portion with the chamber body.

상기한 바와 같은 본 발명의 챔버 리드는, 상기 챔버 바디의 안쪽에 삽입되는 삽입부가 형성되고, 이 삽입부의 외측면이 챔버 바디의 내벽에 접촉되지 않도록 챔버의 안쪽 방향으로 경사지게 형성될 수 있다.As described above, the chamber lid of the present invention has an insertion portion inserted into the chamber body, and may be formed to be inclined inwardly of the chamber so that the outer surface of the insertion portion does not contact the inner wall of the chamber body.

또한, 상기 챔버 바디의 바깥쪽 결합면과 챔버 리드 사이 또는 챔버 바디의 안쪽 결합면과 챔버 리드 사이에는, 갈림방지블록이 추가로 설치되는 구성도 가능하다.In addition, between the outer coupling surface and the chamber lid of the chamber body or between the inner coupling surface and the chamber lid of the chamber body, it is also possible to be configured to additionally block the block.

상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수 단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.The main problem solving means of the present invention as described above, will be described in more detail and clearly through examples such as 'details for the implementation of the invention', or the accompanying 'drawings' to be described below, wherein In addition to the main problem solving means as described above, various problem solving means according to the present invention will be further presented and described.

본 발명에 따른 갈림방지구조를 갖는 챔버는, 챔버 바디와 챔버 리드가 상호 밀착되는 접촉되는 부분 중 밀봉부재가 설치된 안쪽 부분이 상호 접촉되지 않도록 구성되기 때문에 챔버 리드를 닫거나, 챔버 내부의 진공압 형성될 때 처짐 현상이 발생하더라도 챔버 바디와 챔버 리드 사이의 갈림 현상을 최소화할 수 있고, 이로 인하여 챔버 내부로 유입되는 파티클 발생을 줄여 보다 우수한 공정 수행이 가능하도록 하여 제품 불량 발생을 최소화할 수 있는 효과를 제공한다.The chamber having the anti-cracking structure according to the present invention closes the chamber lid or forms a vacuum pressure inside the chamber because the inner part in which the sealing member is installed is not in contact with each other where the chamber body and the chamber lid are in close contact with each other. Even if the deflection occurs, the gap between the chamber body and the chamber lid can be minimized, thereby reducing the generation of particles introduced into the chamber, enabling better process performance and minimizing the occurrence of product defects. To provide.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다. 참고로, 본 발명의 여러 실시예들을 설명함에 있어서, 평판표시소자 제조장치에 이용되는 로드 락 챔버(이하 '챔버'라 함)를 중심으로 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. For reference, in describing various embodiments of the present invention, a load lock chamber (hereinafter referred to as a "chamber") used in a flat panel display device manufacturing apparatus will be described.

도 4는 본 발명에 따른 갈림방지구조를 갖는 챔버의 일실시예의 단면도이다.Figure 4 is a cross-sectional view of one embodiment of a chamber having a split prevention structure according to the present invention.

본 발명에 따른 갈림방지구조를 갖는 챔버(50)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상부가 개방된 구조를 갖는 챔버 바디(51)와, 이 챔버 바디(51)의 개방부에 결합되어 챔버를 개폐하는 챔버 리드(61)로 이루어진다.As shown in FIG. 4, the chamber 50 having the anti-cracking structure according to the present invention includes a chamber body 51 having an open top structure, and a chamber coupled to an opening of the chamber body 51. It consists of a chamber lid 61 for opening and closing.

챔버 바디(51)와 챔버 리드(61)의 상호 결합면은, 도 4에서와 같이 계단 구조를 갖도록 구성될 수 있는데, 이하에서 설명될 결합면(53)(63)은 챔버 바디(51)와 챔버 리드(61)가 대략 수평 방향으로 상호 밀착되는 부분으로 한정하여 설명한다.The mutual coupling surface of the chamber body 51 and the chamber lid 61 may be configured to have a stepped structure as shown in FIG. 4, and the coupling surfaces 53 and 63 to be described below may be connected to the chamber body 51. The chamber lid 61 is limited to the portions in which the chamber leads 61 are in close contact with each other in the substantially horizontal direction.

챔버 바디(51)의 결합면(53)에는 챔버 리드(61)가 챔버 바디(51)에 닫혔을 때, 밀봉 기능을 수행할 수 있도록 오 링과 같은 밀봉부재(70)가 설치된다. 이때, 챔버 바디(51)의 결합면(53)에는 밀봉부재(70)가 설치될 수 있도록 그루브(groove)(52)가 형성된다.The coupling surface 53 of the chamber body 51 is provided with a sealing member 70 such as an o-ring to perform a sealing function when the chamber lid 61 is closed to the chamber body 51. In this case, a groove 52 is formed on the coupling surface 53 of the chamber body 51 so that the sealing member 70 may be installed.

본 실시예에서는 그루브(52) 및 밀봉부재(70)가 모두 챔버 바디(51) 쪽에 구비된 구성을 설명하나, 챔버 리드(61) 쪽에 구비된 구성도 가능하고, 필요에 따라서는 챔버 바디(51)와 챔버 리드(61)의 양쪽에 모두 구비된 구성도 가능하다.In the present embodiment, the groove 52 and the sealing member 70 are both described in the configuration provided on the chamber body 51 side, but the configuration provided on the chamber lid 61 side is also possible, if necessary, the chamber body 51 ) And the chamber lid 61 are also provided.

본 발명에서 챔버 바디(51)의 결합면(53)은, 챔버 리드(61)가 결합될 때, 갈림 현상이 발생하지 않도록 구성되는데, 이하 본 발명에 따른 갈림방지구조의 여러 실시예에 대하여 설명한다.In the present invention, the coupling surface 53 of the chamber body 51, when the chamber lid 61 is coupled, is configured such that the cleavage phenomenon does not occur, it will be described with respect to various embodiments of the anti-crack structure according to the present invention do.

본 발명의 일 실시예의 갈림방지구조는, 밀봉부재(70)를 중심으로 챔버 바디(51)의 바깥쪽 결합면(53b) 보다 챔버 바디(51)의 안쪽 결합면(53a)의 높이가 더 낮게 형성되어, 상기 챔버 리드(61)가 챔버 바디(51)에 결합되어 닫힐 때, 상기 챔버 바디(51)의 안쪽 결합면(53a)과 챔버 리드(61) 사이의 접촉 부분이 최소화될 수 있게 구성된다.In the anti-crack structure of the embodiment of the present invention, the height of the inner coupling surface 53a of the chamber body 51 is lower than that of the outer coupling surface 53b of the chamber body 51 around the sealing member 70. Is formed so that when the chamber lid 61 is coupled to the chamber body 51 and closed, the contact portion between the inner coupling surface 53a of the chamber body 51 and the chamber lid 61 can be minimized. do.

즉, 도 4에 예시된 바와 같이 챔버 바디(51)의 안쪽 결합면(53a)의 높이가 바깥쪽 결합면(53b)의 높이보다 낮게 형성되어 높이차(h)를 갖도록 구성됨으로써, 챔버 바디(51)의 안쪽 결합면(53a)과 챔버 리드(61)의 결합면(63) 사이의 접촉 또는 마찰 등이 최소화되거나 발생하지 않게 된다.That is, as illustrated in FIG. 4, the height of the inner coupling surface 53a of the chamber body 51 is formed to be lower than the height of the outer coupling surface 53b so as to have a height difference h. The contact or friction between the inner engaging surface 53a of the 51 and the engaging surface 63 of the chamber lid 61 is minimized or not generated.

이와 같은 갈림방지구조는 챔버 바디(51)와 챔버 리드(61) 사이의 갈림 현상을 방지할 수 있고, 이를 통해 갈림 현상에 의해 발생하는 파티클 등의 이물질이 챔버(50) 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있게 된다.The anti-cracking structure can prevent the cleavage between the chamber body 51 and the chamber lid 61, thereby preventing foreign matters such as particles generated by the cleavage from being introduced into the chamber 50. You can do it.

도 4에 예시된 갈림방지구조는 챔버 바디(51)의 안쪽 결합면(53a)이 바깥쪽 결합면(53b) 보다 수평 방향으로 더 낮게 구성된 실시예를 설명하였다.The anti-crack structure illustrated in FIG. 4 described an embodiment in which the inner coupling surface 53a of the chamber body 51 is lower in the horizontal direction than the outer coupling surface 53b.

이하 설명될 여러 실시예들에서는 여러 가지 방법으로 안쪽 결합면(53a)이 바깥쪽 결합면(53b)보다 낮게 구성하여, 갈림 발생을 최소화하거나 발생하지 않도록 구성된다.In various embodiments to be described below, the inner coupling surface 53a is configured to be lower than the outer coupling surface 53b in various ways, thereby minimizing or not causing the occurrence of cleavage.

도 5에 예시된 갈림방지구조는, 챔버 바디(51)의 안쪽 결합면(53a)이, 챔버의 안쪽을 향하여 경사지게 형성되어 바깥쪽 결합면(53b)보다 높이가 점차 낮아지는 구조를 예시한 것이다.The anti-cracking structure illustrated in FIG. 5 illustrates a structure in which the inner coupling surface 53a of the chamber body 51 is formed to be inclined toward the inside of the chamber so that the height becomes lower than the outer coupling surface 53b. .

도 6에 예시된 갈림방지구조는, 챔버 바디(51)의 안쪽 결합면(53a)이, 챔버의 안쪽을 향하여 곡면 구조로 점차 낮아지게 형성되어 바깥쪽 결합면(53b)보다 높이가 점차 낮도록 구성된 구조를 예시한 것이다.In the anti-crack structure illustrated in FIG. 6, the inner coupling surface 53a of the chamber body 51 is formed to be gradually lowered into the curved structure toward the inside of the chamber so that the height is lower than the outer coupling surface 53b. The structure is illustrated.

도 7에 예시된 갈림방지구조는, 챔버 바디(51)의 안쪽 결합면(53a)이, 일부는 바깥쪽 결합면(53b)과 동일한 높이를 갖고, 이 부분에서 챔버의 안쪽으로는 점 차 낮아지는 경사 구조로 형성되어 바깥쪽 결합면(53b)보다 일부분의 높이가 낮도록 구성된 구조를 예시한 것이다.In the anti-crack structure illustrated in FIG. 7, the inner engaging surface 53a of the chamber body 51 has the same height as some of the outer engaging surfaces 53b, and is gradually lowered inwardly of the chamber in this portion. The paper is formed of an inclined structure and illustrates a structure configured to have a height lower than a portion of the outer coupling surface 53b.

도 8 내지 도 10은, 챔버 바디(51)와 챔버 리드(61) 사이에 갈림방지블록(80)을 추가로 설치하여 챔버 바디(51)와 챔버 리드(61) 사이의 안쪽 결합면(53a)(63)이 상호 접촉하지 않도록 이루어진 구조를 예시한 것이다.8 to 10, an additional anti-collision block 80 is installed between the chamber body 51 and the chamber lid 61 so that the inner coupling surface 53a between the chamber body 51 and the chamber lid 61 is provided. Illustrates the structure in which the 63 is not in contact with each other.

즉, 도 8에서는 챔버 바디(51)와 챔버 리드(61)의 바깥쪽 결합면(53b)(63b) 사이에 갈림방지블록(80)이 추가로 설치되고, 도 9에서는 챔버 바디(51)와 챔버 리드(61)의 바깥쪽 결합면(53b)(63b)과 안쪽 결합면(53a)(63a) 사이에 각각 갈림방지블록(80)이 추가로 설치되며, 도 10에서는 챔버 바디(51)와 챔버 리드(61)의 안쪽 결합면(53a)(63a) 사이에 갈림방지블록(80)이 추가로 설치된 구성을 보여준다.That is, in FIG. 8, the anti-branching block 80 is additionally installed between the chamber body 51 and the outer coupling surfaces 53b and 63b of the chamber lid 61. In FIG. 9, the chamber body 51 and An anti-cracking block 80 is additionally installed between the outer engaging surfaces 53b and 63b and the inner engaging surfaces 53a and 63a of the chamber lid 61, and the chamber body 51 and the chamber body 51 in FIG. The split prevention block 80 is further installed between the inner coupling surfaces 53a and 63a of the chamber lid 61.

여기서 갈림방지블록(80)은 PTFE, MC Nylon 소재 등으로 이루어진 블록으로 구성되는 것이 바람직하고, 챔버 바디(51)와 챔버 리드(61) 중 어느 한쪽에 고정하여 설치할 수 있다.The anti-cracking block 80 is preferably composed of a block made of PTFE, MC Nylon material, etc., can be fixed to one of the chamber body 51 and the chamber lead 61.

물론, 위와 같은 갈림방지블록(80)이 설치되더라도 도 4 내지 도 7에 예시된 바와 같이, 챔버 바디(51)의 안쪽 결합면(53a)은 바깥쪽 결합면(53b)보다 낮게 형성하여 구성하는 것이 가능하다. 또한 아래 도 11 및 도 12에 예시된 구조도 함께 적용하여 구성하는 것도 가능하다. Of course, even if the anti-branching block 80 is installed as shown in Figures 4 to 7, as shown in Figure 4 to 7, the inner coupling surface (53a) of the chamber body 51 is formed to form lower than the outer coupling surface (53b) It is possible. In addition, it is also possible to configure by applying the structure illustrated in Figures 11 and 12 below.

상기한 바와 같은 본 발명의 여러 실시예들에서는, 챔버 바디(51) 쪽의 안쪽 결합면(53a)을 낮게 형성하거나, 갈림방지블록(80)을 설치한 구성을 설명하였다.In various embodiments of the present invention as described above, the configuration in which the inner coupling surface 53a on the chamber body 51 side is formed low or the anti-cracking block 80 is installed.

이하 설명되는 본 발명의 실시예들은, 챔버 리드(61) 쪽에 갈림방지구조가 설치된 구성을 설명한다.Embodiments of the present invention described below describe a configuration in which an anti-crack structure is installed on the chamber lid 61 side.

도 11은 챔버 리드(61)에서 밀봉부재(70)와 접촉되는 부분{챔버 리드(61)에 밀봉부재(70)가 설치될 경우에 밀봉부재(70)가 설치되는 부분}을 중심으로 챔버 바디(51)와 접촉되는 안쪽 결합면(63a)의 일부를 삭제하여 홈 구조(포켓)를 형성함으로써, 챔버 바디(51)의 안쪽 결합면(53a)과의 접촉을 방지(갈림현상 방지)할 수 있도록 구성된다.FIG. 11 shows a chamber body centering on a portion of the chamber lid 61 in contact with the sealing member 70 (a portion where the sealing member 70 is installed when the sealing member 70 is installed on the chamber lead 61). By removing a part of the inner engaging surface 63a in contact with the 51 to form a groove structure (pocket), the contact with the inner engaging surface 53a of the chamber body 51 can be prevented (preventing separation). It is configured to be.

도 12는 도 11의 구조와 유사하나, 챔버 리드(61)의 안쪽 결합면(63a)이 챔버의 안쪽으로 갈수록 경사지게 점차 높아지는 구조로 형성된 구조를 예시한 것이다.FIG. 12 is similar to the structure of FIG. 11, but illustrates a structure in which the inner coupling surface 63a of the chamber lid 61 is gradually inclined toward the inside of the chamber.

또한 도 12에서와 같이, 챔버 리드(61)의 안쪽 결합면의 안쪽에 챔버 바디(51)의 내측으로 삽입되는 부분(이하 '삽입부'라 함)(65)이 형성되는데, 이 삽입부(65)의 외측면(65a)이 챔버 바디(51)의 벽면과 접촉될 수 있으므로, 수직 방향에 대하여 안쪽 방향으로 경사지게 형성하는 것도 가능하다.In addition, as shown in FIG. 12, a portion (hereinafter referred to as an “insertion portion”) 65 that is inserted into the inside of the chamber body 51 is formed inside the inner coupling surface of the chamber lid 61. Since the outer surface 65a of the 65 may be in contact with the wall surface of the chamber body 51, it is also possible to be inclined inward with respect to the vertical direction.

상기 본 실시예에서는, 로드 락 챔버를 중심으로 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 상기한 실시예의 구성과 동일 유사한 구조를 갖는 반도체 또는 평판표시소자를 제조하는 장치의 챔버에도 적용 가능하다.In the present embodiment, the load lock chamber has been described, but the present invention is not limited thereto, and the present invention can be applied to a chamber of an apparatus for manufacturing a semiconductor or flat panel display device having a structure similar to that of the above embodiment.

또한, 상기한 본 발명의 실시예에서는, 챔버 바디(51)와, 그 상부에 결합되 는 챔버 리드(61)를 중심으로 설명하였으나, 상부 챔버와 하부 챔버로 나누어 구성된 경우에도, 상기한 본 발명의 여러 실시예들을 동일하게 적용하여 구성할 수 있음은 물론이다.In addition, in the above-described embodiment of the present invention, the chamber body 51 and the chamber lid 61 coupled to the upper portion have been described. However, the present invention described above is divided into the upper chamber and the lower chamber. Various embodiments of the same can be applied to configure the same.

상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, the technical ideas described in the embodiments of the present invention can be performed independently of each other, and can be implemented in combination with each other. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications, and variations will be apparent to those skilled in the art. It is possible. Accordingly, the technical scope of the present invention should be determined by the appended claims.

도 1은 클러스터 타입의 평판표시소자 제조장치가 도시된 사시도,1 is a perspective view showing a cluster type flat panel display device manufacturing apparatus;

도 2는 종래 로드 락 챔버의 개략적인 단면도,2 is a schematic cross-sectional view of a conventional load lock chamber,

도 3은 종래 로드 락 챔버에서 갈림 발생을 보여주는 개략적인 단면도,Figure 3 is a schematic cross-sectional view showing the occurrence of creep in the conventional load lock chamber,

도 4는 본 발명에 따른 갈림방지구조를 갖는 챔버의 일 실시예의 단면도,4 is a cross-sectional view of an embodiment of a chamber having a anti-crack structure according to the present invention;

도 5 내지 도 12는 본 발명에 따른 갈림방지구조를 갖는 챔버의 다른 여러 실시예들을 보여주는 주요부 단면도들이다.5 to 12 are main cross-sectional views showing various other embodiments of a chamber having an anti-crack structure according to the present invention.

Claims (7)

상부가 개방된 구조를 갖는 챔버 바디와;A chamber body having an open top structure; 상기 챔버 바디의 상부에 결합되어 챔버를 개폐하는 챔버 리드와;A chamber lid coupled to an upper portion of the chamber body to open and close the chamber; 상기 챔버 바디와 챔버 리드의 결합면에 구비되어 밀봉 기능을 수행하는 밀봉부재를 포함하여 구성되되,It is configured to include a sealing member provided on the coupling surface of the chamber body and the chamber lid to perform a sealing function, 상기 밀봉부재를 중심으로 챔버 바디의 바깥쪽 결합면보다 챔버 바디의 안쪽 결합면 중 적어도 일부분 이상의 높이가 더 낮게 형성되어, 상기 챔버 리드가 챔버 바디에 결합될 때, 상기 챔버 바디의 안쪽 결합면과 챔버 리드 사이의 접촉 부분이 최소화될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 갈림방지구조를 갖는 챔버.The height of at least a portion of the inner coupling surface of the chamber body is lower than the outer coupling surface of the chamber body around the sealing member, so that when the chamber lid is coupled to the chamber body, the inner coupling surface of the chamber body and the chamber A chamber with a tear prevention structure, characterized in that the contact portion between the leads is configured to be minimized. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 챔버 바디의 안쪽 결합면은, 챔버 바디의 바깥쪽 결합면보다 수평 방향으로 더 낮게 형성된 것을 특징으로 하는 갈림방지구조를 갖는 챔버.The inner coupling surface of the chamber body, the chamber having a split prevention structure, characterized in that formed in the horizontal direction lower than the outer coupling surface of the chamber body. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 챔버 바디의 안쪽 결합면은, 챔버의 안쪽을 향하여 점차 낮아지게 경사지거나, 곡면으로 형성된 것을 특징으로 하는 갈림방지구조를 갖는 챔버.The inner coupling surface of the chamber body, the chamber having an anti-crack structure, characterized in that it is inclined to gradually lower toward the inside of the chamber, or formed in a curved surface. 상부에 개방부가 구비된 챔버 바디와;A chamber body having an opening at the top; 상기 챔버 바디의 개방부에 결합되어 챔버를 개폐하는 챔버 리드와;A chamber lid coupled to the opening of the chamber body to open and close the chamber; 상기 챔버와 챔버 리드의 결합면에 구비되어 밀봉 기능을 수행하는 밀봉부재를 포함하여 구성되되,It is configured to include a sealing member provided on the coupling surface of the chamber and the chamber lid to perform a sealing function, 상기 밀봉부재를 중심으로 챔버 바디와 챔버 리드의 안쪽 결합면은 상기 챔버 리드가 챔버에 결합될 때, 상기 챔버 리드와 접촉되지 않도록 챔버 바디와 챔버 리드 중 어느 한쪽 결합면 중 적어도 일부분이 삭제된 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 갈림방지구조를 갖는 챔버.The inner coupling surface of the chamber body and the chamber lid around the sealing member has a structure in which at least a portion of one of the coupling surfaces of the chamber body and the chamber lid is removed so that the chamber lid is not in contact with the chamber lid when the chamber lid is coupled to the chamber. Chamber having a split prevention structure, characterized in that formed in. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 챔버 리드의 안쪽 결합면은 챔버 바디와 접촉 부분이 최소화될 수 있도록 적어도 일부분이 홈 구조 또는 경사진 구조로 삭제되어 형성된 것을 특징으로 하는 갈림방지구조를 갖는 챔버.The inner coupling surface of the chamber lid is at least a portion formed so that the groove body or the inclined structure is removed so that the contact portion with the chamber body can be minimized. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 챔버 리드는, 상기 챔버 바디의 안쪽에 삽입되는 삽입부가 형성되고, 이 삽입부의 외측면이 챔버 바디의 내벽에 접촉되지 않도록 챔버의 안쪽 방향으로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 갈림방지구조를 갖는 챔버.The chamber lid has an insertion portion inserted into the chamber body, the chamber having an anti-crack structure, characterized in that the outer surface of the insertion portion is formed to be inclined in the inward direction of the chamber so as not to contact the inner wall of the chamber body. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 챔버 바디의 바깥쪽 결합면과 챔버 리드 사이 또는 챔버 바디의 안쪽 결합면과 챔버 리드 사이에는, 갈림방지블록이 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 갈림방지구조를 갖는 챔버.Between the outer engaging surface of the chamber body and the chamber lid or between the inner engaging surface of the chamber body and the chamber lid, the chamber having a split prevention structure, characterized in that further installed.
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