KR20110068408A - 정전척 냉각 라인 세정 장치 및 방법 - Google Patents

정전척 냉각 라인 세정 장치 및 방법 Download PDF

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이문기
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Abstract

본 발명은 정천척의 냉각 라인을 세정하여, 정전척의 냉각 효율을 증가시킬 수 있도록 하기 위한 정전척 냉각 라인 세정 장치 및 방법에 관한 것이다.
이를 위해 내부에 불산수를 구비하는 불산수 탱크와, 불산수 탱크에 연결되어, 불산수를 펌핑하여 공급하는 펌프와, 탈이온수를 공급하는 탈이온수 공급 라인과, 펌프 및 탈이온수 공급 라인에 선택적으로 연결되어 불산수 및 탈이온수를 선택적으로 정전척의 냉각 라인에 공급하여 상기 냉각 라인을 세정하는 세정부를 포함하는 정전척 냉각 라인 세정 장치가 개시된다.
정전척, ESC, 냉각, 라인, 세정

Description

정전척 냉각 라인 세정 장치 및 방법{Apparatus And Method For Cleaning Cooling Line Of Electrostatic Chuck}
본 발명은 정전척 냉각 라인 세정 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 정천척의 냉각 라인을 세정하여, 정전척의 냉각 효율을 증가시킬 수 있도록 하기 위한 정전척 냉각 라인 세정 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 장비에서는 웨이퍼(wafer)를 이동하거나 공정을 진행하기 위해 정전척(Electrostatic Chuck, ESC)을 이용한다. 그리고 정전척은 웨이퍼에 적정한 온도를 유지하기 위해 그 하부에 냉각 라인(Coolong Line)을 구비하게 된다.
그런데 점점 장비가 노화됨에 따라, 이러한 냉각 라인의 가장자리에 불순물이 쌓이게 되어, 냉각 라인 내에서 냉각수(탈이온수)의 이동 경로가 좁아지게 되는 현상이 발생한다. 그리고 이렇게 냉각수의 이동 경로가 좁아지게 되면, 냉각수에 의한 정전척 냉각 성능이 저하된다. 즉, 정전척의 냉각이 원활하게 이루어지지 않 게 되며, 이것은 공정 사고가 발생하는 원인이 된다.
종래에는 이러한 문제점을 해결하기 위해, 정전척을 새로운 정전척으로 교체하여 왔다. 그러나, 정전척의 비용은 상당히 고가이기 때문에 교체에 의한 방법은 유지 비용이 많이 들게 되는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 정천척의 냉각 라인을 세정하여, 정전척의 냉각 효율을 증가시킬 수 있도록 하기 위한 정전척 냉각 라인 세정 장치 및 방법을 제공함에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 장치는 내부에 불산수를 구비하는 불산수 탱크; 상기 불산수 탱크에 연결되어, 상기 불산수를 펌핑하여 공급하는 펌프; 탈이온수를 공급하는 탈이온수 공급 라인; 및 상기 펌프 및 탈이온수 공급 라인에 선택적으로 연결되어, 상기 불산수 및 탈이온수를 선택적으로 정전척의 냉각 라인에 공급하여 상기 냉각 라인을 세정하는 세정부를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 불산수 탱크는 내부에 상기 불산수를 여과하기 위한 필터를 포함할 수 있다.
그리고 상기 불산수 탱크는 상기 불산수를 구성하는 불산의 부피 비율이 5% 내지 15%가 되도록 구비할 수 있다.
또한, 상기 펌프는 다이어프램 펌프(Diaphragm Pump)일 수 있다.
또한, 상기 세정부는 상기 냉각 라인을 통과한 불산수를 순환 라인을 통해 상기 불산수 탱크로 순환시키고, 상기 냉각 라인을 통과한 상기 탈이온수를 배출 라인을 통해 배출시킬 수 있다.
또한, 상기 세정부를 통해 상기 냉각 라인에 공기를 공급하여 상기 냉각 라인을 건조시키는 공기 공급 라인이 더 연결될 수 있다.
또한, 상기 세정부는 상기 펌프 및 탈이온수 공급 라인을 상기 냉각 라인과 선택적으로 연결하는 제 1 밸브; 및 상기 불산수를 상기 불산수 탱크로 순환시키는 순환 라인 및 상기 탈이온수를 배출하는 배출 라인을 상기 냉각 라인과 선택적으로 연결하는 제 2 밸브를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제 1 밸브에는 공기 공급 라인이 더 연결되어, 상기 제 1 밸브는 상기 펌프, 탈이온수 공급 라인 및 공기 공급 라인 중에서 선택된 어느 하나를 상기 냉각 라인과 연결할 수 있다.
또한, 상기 제 1 밸브가 상기 공기 공급 라인과 연결되어 상기 공기 공급 라인으로부터 공기가 상기 냉각 라인에 공급되는 경우 상기 제 2 밸브가 상기 배출 라인과 연결되어 상기 공기가 상기 배출 라인을 통해 배출되도록 할 수 있다.
또한, 상기 제 1 밸브와 상기 냉각 라인의 사이에는 상기 냉각 라인으로의 공급을 개폐하는 제 3 밸브가 더 형성될 수 있다.
더불어, 상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 방법은 펌프가 불산수 탱크로부터 불산수를 냉각 라인에 공급하여 상기 냉각 라인을 세정하는 불산수 세정 단계; 및 탈이온수 공급 라인이 탈이온수를 상기 냉각 라인에 공급하여 상기 냉각 라인을 세정하는 탈이온수 세정 단계를 포함할 수 있 다.
여기서, 상기 불산수 세정 단계는 제 1 밸브가 상기 펌프와 상기 냉각 라인을 선택적으로 연결하여 상기 냉각 라인에 상기 불산수를 공급하고, 제 2 밸브가 상기 냉각 라인과 순환 라인을 선택적으로 연결하여 상기 불산수를 상기 불산수 탱크로 순환시키는 것일 수 있다.
그리고 상기 탈이온수 세정 단계는 제 1 밸브가 상기 탈이온수 공급 라인과 상기 냉각 라인을 선택적으로 연결하여 상기 냉각 라인에 상기 탈이온수를 공급하고, 제 2 밸브가 상기 냉각 라인과 배출 라인을 선택적으로 연결하여 상기 탈이온수를 상기 배출 라인을 통해 외부로 배출하는 것일 수 있다.
또한, 상기 탈이온수 세정 단계의 이후에는 공기 공급 라인이 상기 냉각 라인에 공기를 공급하여 상기 냉각 라인을 건조하는 공기 건조 단계가 더 이루어질 수 있다.
또한, 상기 공기 건조 단계는 제 1 밸브가 상기 공기 공급 라인과 상기 냉각 라인을 선택적으로 연결하여 상기 냉각 라인에 공기를 공급하고, 제 2 밸브가 상기 냉각 라인과 배출 라인을 선택적으로 연결하여 상기 공기를 상기 배출 라인을 통해 외부로 배출하는 것일 수 있다.
상기와 같이 하여 본 발명에 의한 정전척 냉각 라인 세정 장치는 세정부를 통해 불산수 탱크, 탈이온수 공급 라인 및 공기 공급 라인을 냉각 라인과 선택적으 로 연결하여, 냉각 라인에 불산수, 탈이온수 및 공기가 선택적으로 공급되도록 함으로써, 냉각 라인을 용이하게 세정하여 냉각 라인을 통한 냉각 효율을 증가시킬 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
이하에서는 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 장치(100)의 구성을 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 장치(100)를 도시한 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 장치(100)는 불산수 탱크(110), 상기 불산수 탱크(110)에 연결된 펌프(120), 탈이온수를 공급하는 탈이온수 공급 라인(130), 상기 펌프(120) 및 탈이온수 공급 라인(130)에 연결된 세정부(150)를 포함한다. 또한, 상기 세정부(150)에는 공기를 공급하는 공기 공급 라인(140)이 더 연결될 수도 있다.
상기 불산수 탱크(110)는 내부에 불산수를 포함하고 있다. 상기 불산수는 불 산과 탈이온수를 혼합하여 형성될 수 있다. 상기 불산수는 산성이 있기 때문에 하기할 바와 같이, 정전척(ESC)의 냉각 라인(Cooling Line, CL)을 세정하는데 이용된다. 그리고 상기 불산수는 불산의 부피 비율이 5% 내지 15%일 수 있다. 상기 불산수에서 불산의 부피 비율이 5% 미만인 경우에는 세정력이 약해서 세정 시간이 과다하게 필요하게 된다. 또한, 상기 불산의 부피 비율이 15%를 초과하는 경우에는 상기 냉각 라인(CL)의 내부면에서 산화가 발생할 수 있다.
상기 불산수 탱크(110)는 내부에 상기 불산수를 여과하기 위한 필터(111)를 포함할 수 있다. 상기 불산수(110)는 상기 정전척의 냉각 라인(CL)을 세정한 이후에도 외부로 배출되지 않으며, 상기 불산수 탱크(110)의 내부로 다시 순환된다. 이 경우, 상기 필터(111)는 상기 불산수를 여과하여 상기 불산수가 다시 냉각 라인(CL)의 세정에 사용될 수 있도록 한다.
상기 펌프(120)는 상기 불산수 탱크(110)에 연결된다. 상기 펌프(120)는 상기 불산수 탱크(110)로부터 상기 불산수를 펌핑하여 상기 세정부(150)로 공급한다. 그리고 이 경우, 상기 불산수는 상기 불산수 탱크(110)의 필터(111)를 통과하여 여과된 상태에서 상기 펌프(120)에 의해 펌핑된다. 또한, 상기 불산수는 산성이 있기 때문에 상기 펌프(120)로는 이를 압송하기에 적합한 다이어프램 펌프(Diaphragm Pump)가 사용될 수 있다.
상기 탈이온수 공급 라인(130)은 상기 냉각 라인(CL)에 탈이온수를 공급하기 위해 구비된다. 상기 탈이온수 공급 라인(130)은 상기 세정부(150)를 통해 상기 냉각 라인(CL)에 상기 탈이온수를 공급하며, 상기 불산수에 의해 세정된 상기 냉각 라인(CL)을 탈이온수로 다시 세정한다. 상기 탈이온수에 의해 상기 냉각 라인(CL)내에 잔존하는 불순물 및 불산수가 제거된다. 따라서, 상기 냉각 라인(CL)의 불순물 제거에 따른 세정 효과가 향상되며, 잔존하던 상기 불산수에 의해 상기 냉각 라인(CL)이 산화되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 탈이온수 공급 라인(130)은 상기 냉각 라인(CL)의 세정이 완료된 후에는 상기 냉각 라인(CL)을 냉각하기 위한 탈이온수를 공급하기 위해 사용될 수 있다.
상기 공기 공급 라인(140)은 상기 냉각 라인(CL)에 공기를 공급하기 위해 구비된다. 상기 공기 공급 라인(140)은 상기 세정부(150)를 통해 상기 냉각 라인(CL)에 상기 공기를 공급하며, 상기 공기에 의해 상기 냉각 라인(CL)을 건조시킨다. 상기 공기 공급 라인(140)은 상기 냉각 라인(CL)에 잔존하는 상기 탈이온수를 증발시켜, 상기 냉각 라인(CL)에 상기 탈이온수와의 반응에 따른 산화가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
상기 세정부(150)는 상기 펌프(120), 탈이온수 공급 라인(130) 및 공기 공급 라인(140)에 선택적으로 연결된다. 또한, 상기 세정부(150)는 상기 냉각 라인(CL)에 연결된다. 상기 세정부(150)는 상기 냉각 라인(CL)에 불산수를 공급하는 경우 상기 펌프(120)와 연결되고, 탈이온수를 공급하는 경우 상기 탈이온수 공급 라 인(130)과 연결되며, 공기를 공급하는 경우 공기 공급 라인(140)과 연결된다. 상기 세정부(150)는 상기 불산수가 공급된 경우에는 순환 라인(Circulating Line, CCL)을 연결하여 상기 불산수를 상기 불산수 탱크(110)로 순환시킨다. 또한, 상기 세정부(150)는 상기 탈이온수 또는 공기가 공급된 경우에는 배출 라인(Exhausting Line, EL)을 연결하여 상기 탈이온수 또는 공기를 외부로 배출한다.
상기 세정부(150)는 상기 펌프(120), 탈이온수 공급 라인(130) 및 공기 공급 라인(140)과 상기 냉각 라인(CL)의 사이에 구비된 제 1 밸브(151), 상기 냉각 라인(CL)과 순환 라인(CCL) 및 배출 라인(EL)의 사이에 구비된 제 2 밸브(152)를 포함한다. 또한, 상기 세정부(150)는 상기 제 1 밸브(151) 및 냉각 라인(CL)의 사이에 구비된 공급 라인(Providing Line, PL)의 개폐를 담당하는 제 3 밸브(153)를 더 포함할 수도 있다.
상기 제 1 밸브(151)는 상기 펌프(120), 탈이온수 공급 라인(130) 및 공기 공급 라인(140) 중에서 선택된 하나를 상기 냉각 라인(CL)과 연결한다. 상기 제 1 밸브(151)는 먼저, 상기 펌프(120)를 통해 상기 불산수 탱크(110)와 연결되어 상기 불산수를 상기 냉각 라인(CL)에 공급하여, 불산수에 의한 세정이 이루어지도록 한다. 이후, 상기 제 1 밸브(151)는 상기 탈이온수 공급 라인(130)에 연결되어 상기 탈이온수를 상기 냉각 라인(CL)에 공급하여, 상기 탈이온수에 의한 세정이 이루어지도록 한다. 그리고 그 이후 상기 제 1 밸브(151)는 상기 공기 공급 라인(140)에 연결되어 상기 공기를 상기 냉각 라인(CL)에 공급하여, 상기 공기에 의한 건조가 이루어지도록 한다. 한편, 상기 냉각 라인(CL)에 대한 세정이 완료되면, 상기 제 1 밸브(151)는 상기 탈이온수 공급 라인(130)에 연결되어, 상기 냉각 라인(CL)이 상기 탈이온수에 의해 냉각되도록 할 수 있다.
상기 제 2 밸브(152)는 상기 냉각 라인(CL)을 상기 순환 라인(CCL) 및 배출 라인(EL) 중에서 선택된 하나와 연결시킨다. 상기 제 2 밸브(152)는 상기 냉각 라인(CL)에 불산수가 공급된 경우, 상기 순환 라인(CCL)을 연결하여, 상기 불산수가 상기 불산수 탱크(110)로 순환할 수 있도록 한다. 또한, 상기 제 2 밸브(152)는 상기 냉각 라인(CL)에 탈이온수 또는 공기가 공급된 경우, 상기 배출 라인(EL)을 연결하여 상기 탈이온수 또는 공기가 외부로 배출될 수 있도록 한다.
상기 제 3 밸브(153)는 선택적으로 상기 공급 라인(PL)을 통해 상기 제 1 밸브(151)에 연결되며, 상기 냉각 라인(CL)과 연결된다. 상기 제 3 밸브(153)는 개폐 동작을 통해 상기 냉각 라인(CL)으로 불산수, 탈이온수 및 공기가 공급되는 것을 제어한다. 따라서, 상기 제 3 밸브(153)는 상기 냉각 라인(CL)을 통해 정전척(Electrostatic Chuck, ESC)을 냉각하거나, 상기 냉각 라인(CL)을 세정하는 경우에만 연결되고, 그 외에는 폐쇄되어 동작의 신뢰성을 확보할 수 있다.
상기와 같이 하여, 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 장치(100)는 세정부(150)를 통해 불산수 탱크(110), 탈이온수 공급 라인(130) 및 공기 공급 라인(140)을 냉각 라인(CL)과 선택적으로 연결하여, 냉각 라인(CL)에 불산수, 탈이온수 및 공기가 선택적으로 공급되도록 함으로써, 냉각 라인(CL)을 용이하게 세정할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 장치(100)는 냉각 라 인(CL)을 통한 냉각 효율을 증가시킴으로써, 제품의 수율을 증가시킬 수 있고, 유지 비용을 절감할 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 장치(100)의 동작 및 정전척 냉각 라인 세정 방법을 함께 설명하도록 한다.
도 2는 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 방법을 설명하기 위한 플로우 챠트이다. 도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 방법을 설명하기 위한 동작 과정을 도시한 것이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 공정은 불산수 세정 단계(S1), 탈이온수 세정 단계(S2), 공기 건조 단계(S3)를 포함한다. 또한, 상기 공기 건조 단계(S4)의 이후에는 냉각 라인(CL)에 대한 냉각 단계(S4)가 이루어질 수 있다. 이하에서는 도 2의 각 단계들을 도 3 내지 도 5를 함께 참조하여 설명하도록 한다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 먼저 불산수를 통해 냉각 라인(CL)을 세정하는 불산수 세정 단계(S1)가 이루어진다. 상기 불산수 세정 단계(S1)에서는 ① 경로를 통해, 불산수가 냉각 라인(CL)에 공급된다. 보다 자세히 설명하면, 세정부(150)의 제 1 밸브(151)가 선택적으로 펌프(120)와 연결된다. 그리고 불산수 탱크(110)로부터 필터(111)에 의해 여과된 불산수가 펌프(120)에 의해 펌핑되어 세정부(150)의 제 1 밸브(151)에 연결된 공급 라인(PL)에 공급된다. 그리고 상기 공급 라인(PL)과 연결 된 제 3 밸브(153)를 통해 상기 불산수는 상기 냉각 라인(CL)에 공급된다. 따라서, 정전척(ESC)의 하부에 형성된 냉각 라인(CL)은 상기 불산수에 의해 세정된다.
이후 ② 경로를 통해, 상기 불산수가 상기 불산수 탱크(110)으로 순환된다. 즉, 제 2 밸브(152)가 상기 냉각 라인(CL)과 순환 라인(CCL)을 선택적으로 연결하여, 상기 불산수가 순환 라인(CCL)을 따라 상기 불산수 탱크(110)로 순환할 수 있도록 한다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 이후 탈이온수를 통해 상기 냉각 라인(CL)을 세정하는 탈이온수 세정 단계(S2)가 이루어진다. 상기 탈이온수 세정 단계(S2)에서는 ③ 경로를 통해, 탈이온수가 상기 냉각 라인(CL)에 공급된다. 상기 제 1 밸브(151)는 먼저 탈이온수 공급 라인(130)과 연결된다. 따라서, 상기 탈이온수 공급 라인(130)의 탈이온수는 상기 제 1 밸브(151)에 연결된 공급 라인(PL)에 공급된다. 그리고 상기 제 3 밸브(153)는 공급 라인(PL)을 선택적으로 냉각 라인(CL)과 연결한다. 따라서, 상기 냉각 라인(CL)에 상기 탈이온수가 공급되어, 상기 냉각 라인(CL)에 잔존하던 불순물과 불산수를 세정하게 된다.
이후 ④ 경로를 통해, 상기 탈이온수가 외부로 배출된다. 냉각 라인(CL)에 연결된 제 2 밸브(152)는 배출 라인(EL)에 연결된다. 따라서, 상기 냉각 라인(CL)을 통과한 탈이온수는 상기 배출 라인(EL)을 통해 외부로 배출된다.
도 2 및 도 5를 참조하면, 공기를 통해 상기 냉각 라인(CL)을 건조시키는 공 기 건조 단계(S3)가 이루어진다. 상기 공기 건조 단계(S3)에서는 ⑤ 경로를 통해, 공기가 상기 냉각 라인(CL)에 공급된다. 먼저, 상기 제 1 밸브(151)는 공기 공급 라인(140)에 연결된다. 따라서, 상기 공기 공급 라인(140)의 공기는 상기 제 1 밸브(151)에 연결된 공급 라인(PL)에 공급된다. 그리고 상기 제 3 밸브(153)는 공급 라인(PL)을 선택적으로 상기 냉각 라인(CL)과 연결한다. 따라서, 상기 냉각 라인(CL)에 상기 공기가 공급되어, 상기 냉각 라인(CL)에 잔존하던 탈이온수를 증발시켜, 상기 냉각 라인(CL)에서의 산화를 방지한다.
이후 ⑥ 경로를 통해, 상기 공기가 외부로 배출된다. 상기 냉각 라인(CL)에 연결된 제 2 밸브(152)는 상기 배출 라인(EL)에 연결된 상태를 유지한다. 따라서, 상기 냉각 라인(CL)을 통과한 상기 공기는 상기 배출 라인(EL)을 통해 외부로 배출된다.
또한, 별도로 도시하지는 않았지만, 상기 공기 건조 단계(S3)의 이후에는 탈이온수를 상기 냉각 라인(CL)에 공급하여 정전척(ESC)을 냉각하는 냉각 단계(S4)가 이루어질 수 있다. 상기 냉각 단계(S4)에서 탈이온수가 공급되는 방법은 상기 탈이온수 세정 단계(S2)의 방법과 동일하다.
상기와 같이 하여, 정전척 냉각 라인 세정이 수행될 수 있으며, 상술한 바와 같이 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 장치(100)를 이용한 세정 방법은 냉각 라인(CL)에 불산수, 탈이온수 및 공기가 선택적으로 공급되도록 함으로써, 냉각 라 인(CL)을 용이하게 세정할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 방법을 설명하기 위한 플로우 챠트이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 방법을 설명하기 위한 동작 과정을 도시한 것이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100; 본 발명에 따른 정전척 냉각 라인 세정 장치
110; 불산수 탱크 120; 펌프
130; 탈이온수 공급 라인 140; 공기 공급 라인
150; 세정부 151; 제 1 밸브
152; 제 2 밸브 153; 제 3 밸브
PL; 공급 라인 CL; 냉각 라인
EL; 배출 라인 CCL; 순환 라인

Claims (15)

  1. 내부에 불산수를 구비하는 불산수 탱크;
    상기 불산수 탱크에 연결되어, 상기 불산수를 펌핑하여 공급하는 펌프;
    탈이온수를 공급하는 탈이온수 공급 라인; 및
    상기 펌프 및 탈이온수 공급 라인에 선택적으로 연결되어, 상기 불산수 및 탈이온수를 선택적으로 정전척의 냉각 라인에 공급하여 상기 냉각 라인을 세정하는 세정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척 냉각 라인 세정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 불산수 탱크는 내부에 상기 불산수를 여과하기 위한 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척 냉각 라인 세정 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 불산수 탱크는 상기 불산수를 구성하는 불산의 부피 비율이 5% 내지 15%가 되도록 하는 것을 특징으로 하는 정전척 냉각 라인 세정 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 펌프는 다이어프램 펌프(Diaphragm Pump)인 것을 특징으로 하는 정전척 냉각 라인 세정 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 세정부는 상기 냉각 라인을 통과한 불산수를 순환 라인을 통해 상기 불산수 탱크로 순환시키고, 상기 냉각 라인을 통과한 상기 탈이온수를 배출 라인을 통해 배출시키는 것을 특징으로 하는 정전척 냉각 라인 세정 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 세정부를 통해 상기 냉각 라인에 공기를 공급하여 상기 냉각 라인을 건조시키는 공기 공급 라인이 더 연결된 것을 특징으로 하는 정전척 냉각 라인 세정 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 세정부는
    상기 펌프 및 탈이온수 공급 라인을 상기 냉각 라인과 선택적으로 연결하는 제 1 밸브; 및
    상기 불산수를 상기 불산수 탱크로 순환시키는 순환 라인 및 상기 탈이온수를 배출하는 배출 라인을 상기 냉각 라인과 선택적으로 연결하는 제 2 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척 냉각 라인 세정 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 밸브에는 공기 공급 라인이 더 연결되어, 상기 제 1 밸브는 상기 펌프, 탈이온수 공급 라인 및 공기 공급 라인 중에서 선택된 어느 하나를 상기 냉각 라인과 연결하는 것을 특징으로 하는 정전척 냉각 라인 세정 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 밸브가 상기 공기 공급 라인과 연결되어 상기 공기 공급 라인으로부터 공기가 상기 냉각 라인에 공급되는 경우 상기 제 2 밸브가 상기 배출 라인과 연결되어 상기 공기가 상기 배출 라인을 통해 배출되도록 하는 것을 특징으로 하는 정전척 냉각 라인 세정 장치.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 밸브와 상기 냉각 라인의 사이에는 상기 냉각 라인으로의 공급을 개폐하는 제 3 밸브가 더 형성된 것을 특징으로 하는 냉각 라인 세정 장치.
  11. 펌프가 불산수 탱크로부터 불산수를 냉각 라인에 공급하여 상기 냉각 라인을 세정하는 불산수 세정 단계; 및
    탈이온수 공급 라인이 탈이온수를 상기 냉각 라인에 공급하여 상기 냉각 라인을 세정하는 탈이온수 세정 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척 냉각 라인 세정 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 불산수 세정 단계는 제 1 밸브가 상기 펌프와 상기 냉각 라인을 선택적으로 연결하여 상기 냉각 라인에 상기 불산수를 공급하고, 제 2 밸브가 상기 냉각 라인과 순환 라인을 선택적으로 연결하여 상기 불산수를 상기 불산수 탱크로 순환시키는 것을 특징으로 하는 정전척 냉각 라인 세정 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 탈이온수 세정 단계는 제 1 밸브가 상기 탈이온수 공급 라인과 상기 냉각 라인을 선택적으로 연결하여 상기 냉각 라인에 상기 탈이온수를 공급하고, 제 2 밸브가 상기 냉각 라인과 배출 라인을 선택적으로 연결하여 상기 탈이온수를 상기 배출 라인을 통해 외부로 배출하는 것을 특징으로 하는 정전척 냉각 라인 세정 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 탈이온수 세정 단계의 이후에는 공기 공급 라인이 상기 냉각 라인에 공기를 공급하여 상기 냉각 라인을 건조하는 공기 건조 단계가 더 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전척 냉각 라인 세정 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 공기 건조 단계는 제 1 밸브가 상기 공기 공급 라인과 상기 냉각 라인 을 선택적으로 연결하여 상기 냉각 라인에 공기를 공급하고, 제 2 밸브가 상기 냉각 라인과 배출 라인을 선택적으로 연결하여 상기 공기를 상기 배출 라인을 통해 외부로 배출하는 것을 특징으로 하는 정전척 냉각 라인 세정 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20220057786A (ko) * 2020-10-30 2022-05-09 정성헌 웨이퍼 냉각 척 세척 장치

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