KR20110067866A - Gas scrubber having improved protecting function of outlet pipe - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A gas scrubber is provided to prevent the corrosion of an exhaust line by hydrochloric acid, and to easily discharge acid and the absorbed moisture to the lower side. CONSTITUTION: A gas scrubber includes a dust collecting unit for exhausting flowed in exhaust gas, an ion exchange filter unit, and a cartridge unit. The cartridge unit comprises an upper material, a lower material(143) including a flow path hole(143b) inside an internal member(147), an external member(145) in a pipe shape with plural through-holes, the internal member with the plural through-holes(147a), and a filler(149) for absorbing acid from the exhaust gas.

Description

배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버{Gas Scrubber Having Improved Protecting Function Of Outlet Pipe}Gas Scrubber Having Improved Protecting Function Of Outlet Pipe}

본 발명은 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버에 관한 것으로, 배출가스 중 입자성 분진, 산성 가스, 알카리성 가스등을 흡착하며, 배출관이 산 특히 염산에 의하여 부식되는 것을 방지하며, 카트리지부를 교체하는 경우에도 작동을 멈출 필요가 없는 가스 스크러버에 관한 것이다.The present invention relates to a gas scrubber with improved discharge tube protection, adsorbs particulate dust, acid gas, alkaline gas, etc. in the discharge gas, and prevents the discharge pipe from being corroded by acid, especially hydrochloric acid, even when the cartridge portion is replaced Relates to a gas scrubber that does not have to stop.

화학 공정이나 반도체 제조 등에서 배출되는 폐가스는 유독성, 폭발성 및 부식성이 강하기 때문에 인체에 위해를 가할 뿐만 아니라, 폐가스가 대기 중으로 배출될 경우에는 환경 오염을 유발시키게 되므로, 이러한 폐가스는 허용 농도 이하로 정화시켜 배출시켜야 한다.Waste gases emitted from chemical processes and semiconductor manufacturing are highly toxic, explosive, and corrosive, which not only harms the human body, but also causes environmental pollution when the waste gases are released into the atmosphere. Should be discharged.

가스 스크러버는 일반적으로 반도체나 액정의 제조공정에서 배출되는 가스를 처리하는 장치를 말하는데, 이러한 가스 스크러버는 건식 가스 스크러버, 연소식 가스 스크러버, 습식 가스 스크러버로 구분되며, 연소식과 습식 또는 연소식과 건식을 혼합한 형태 등 변형된 제품도 생산되고 있다.Gas scrubbers generally refer to a device for treating gases emitted from semiconductor or liquid crystal manufacturing processes, which are classified into dry gas scrubbers, combustible gas scrubbers, and wet gas scrubbers. Modified products such as dry blends are also produced.

종래에 일반적으로 널리 사용되는 가스 스크러버는 챔버를 통과하는 가스에 물을 분사시켜 정화 및 냉각을 행하는 습식 가스 스크러버이다. 습식 가스 스크러버는 단순한 공정과 간단한 구조로 제작이 용이하고 대용량화할 수 있는 장점이 있다.BACKGROUND ART A gas scrubber generally widely used is a wet gas scrubber that purifies and cools by spraying water on a gas passing through a chamber. Wet gas scrubber has the advantage of easy manufacturing and large capacity in a simple process and simple structure.

도 1은 종래 기술에 의한 습식 가스 스크러버를 설명하기 위하여 도시한 구조도이며, 도 2는 배출관의 단면을 도시한 것이다.1 is a structural diagram illustrating a wet gas scrubber according to the prior art, Figure 2 is a cross-sectional view of the discharge pipe.

도 1에 도시한 바와 같이 종래의 습식 가스 스크러버(1)는 일측으로 배출가스가 유도되는 유입관(11)이 연결된 중공의 케이스(13)와, 상기 케이스(13) 내측으로 설치되어 유입관(11)을 통하여 유도된 배출가스가 통과하는 집진부(15)를 구비한다. 상기 집진부(15)에는 분무수단(16)을 통하여 물이 분사되며, 배출가스와 분사되는 물은 집진부(15)에서 접촉하면서 배출가스에 포함된 입자성 물질은 하부로 분사되는 물과 함께 회수된다. 상기 집진부(15)의 하부로는 입자성 물질과 함께 회수되는 물이 모이는 제1 탱크(19)가 구비된다. 상기 제1 탱크(19)에는 제1 순환관(17)이 연결되어 펌프(P)의 작동에 의하여 제1 탱크(19)에 회수된 물은 다시 분부수단(16)을 통하여 집진부(15)로 분사되어 순환한다. 도 1에서 도면부호 12는 상기 제1 탱크(19)로 물을 보충하는 급수관을, 14는 제1 탱크(19)로부터 물을 배출시키는 드레인관을 도시한 것이다. 상기 집진부(15)에는 복수의 입자성 폴링(15a)이 충진된다. 상기 폴링(15a)들을 구비함으로써 상기 집진부(15)는 물 액적과의 접촉 면적과 접촉 시간을 최대화함으로써 포집 효율을 증대시킬 수 있다.As shown in FIG. 1, the conventional wet gas scrubber 1 has a hollow case 13 connected to an inlet pipe 11 to guide exhaust gas to one side thereof, and is installed inside the case 13 to provide an inlet pipe ( 11) is provided with a dust collecting portion 15 through which the exhaust gas induced through. Water is injected into the dust collecting unit 15 through the spraying means 16, and the discharged gas and the sprayed water are contacted by the dust collecting unit 15, and the particulate matter contained in the exhaust gas is recovered together with the water sprayed downward. . The lower part of the dust collecting part 15 is provided with a first tank 19 for collecting water collected together with the particulate matter. The first circulation pipe 17 is connected to the first tank 19 so that the water recovered in the first tank 19 by the operation of the pump P is returned to the dust collecting part 15 through the distributing means 16. Sprayed and circulated. In FIG. 1, reference numeral 12 denotes a water supply pipe for replenishing water to the first tank 19, and 14 illustrates a drain pipe for discharging water from the first tank 19. The dust collecting part 15 is filled with a plurality of particulate pollings 15a. By providing the polling 15a, the dust collecting part 15 may increase the collection efficiency by maximizing the contact area and the contact time with the water droplets.

입자성 물질이 제거된 배출가스는 연결부재(21)를 통하여 케이스(23) 내에 구비되는 이온교환필터부(25)를 통과하게 된다. 상기 이온교환필터부(25)에서는 가스 중 SOx, NOx, 황산, HF, 염산, 황화 수소 등과 같은 산성가스와 암모니아, 중금속, 아민 등과 알카리성 가스등을 흡착하게 된다. 상기 이온교환필터부(25)에 사용되는 필터의 예로 이온교환 부직포 필터를 들 수 있다. 상기 필터로는 양이온 교환필터와 음이온 교환 필터가 사용되는데, 처리하고자 하는 가스에 따라 선택할 수 있다. 상기 이온교환필터부(25)의 하부에 설치되는 제2 탱크(29)에는 재생용액이 들어 있어 제2 순환관(27)을 통하여 순환되어 분무수단(26)에 의하여 재생용액은 이온교환필터부(25)로 분사된다. 상기 재생용액의 예로 양이온 교환 필터용은 3∼4%의 황산, 음이온 교환 필터용은 Na2CO3을 들 수 있다. 이 재생용액은 부직포형인 필터를 타고 자연 낙하속도로 내려오면서 이온교환필터에 붙어 있는 물질들과 이온 교환하면서 필터를 재생시킨다. 그리고 이 필터를 통과한 재생 용액은 다시 모아져서 제2 탱크(29)로 되돌아온다. 도 1에서 도면부호 22는 재생용액 급수관을, 24는 제2 탱크(29)로부터 재생 용액을 배출하는 드레인관을 도시한 것이다.Exhaust gas from which the particulate matter is removed passes through the ion exchange filter part 25 provided in the case 23 through the connection member 21. The ion exchange filter unit 25 adsorbs acid gases such as SOx, NOx, sulfuric acid, HF, hydrochloric acid, hydrogen sulfide, and alkaline gases such as ammonia, heavy metals, amines, and the like. An example of the filter used for the ion exchange filter unit 25 is an ion exchange nonwoven filter. As the filter, a cation exchange filter and an anion exchange filter are used, which may be selected according to the gas to be treated. The second tank 29 installed below the ion exchange filter unit 25 contains a regeneration solution, and is circulated through the second circulation pipe 27 so that the regeneration solution is sprayed by the spray means 26. Sprayed at 25. Examples of the regeneration solution include 3 to 4% sulfuric acid for cation exchange filter and Na 2 CO 3 for anion exchange filter. The regenerated solution is regenerated by ion exchange with materials attached to the ion exchange filter as it descends at a natural fall rate through a nonwoven filter. The regeneration solution passing through the filter is collected again and returned to the second tank 29. In Fig. 1, reference numeral 22 denotes a regeneration solution water supply pipe, and 24 denotes a drain pipe for discharging the regeneration solution from the second tank 29.

이온교환필터부(25)를 통과한 배출가스는 배출가스에 포함된 수분을 제거하는 데미스터(31)를 통과한다. 상기 데미스터(31)의 예로 그물코를 여러 겹으로 포갠 망체나, 1회 이상 절곡되며 나란하게 구비되어 미로를 형성하는 복수의 판재를 들 수 있다.The exhaust gas passing through the ion exchange filter unit 25 passes through a demister 31 for removing moisture contained in the exhaust gas. Examples of the demister 31 may include a mesh that has several layers of meshes, or a plurality of plates that are bent one or more times and provided side by side to form a maze.

도 1에 도시한 가스 스크러버(1)는 배출가스에 포함된 산성 가스 특히, 염산이 제거되지 충분히 제거되지 않는 경우, 배출가스에 포함된 수분과 결합하고 도 2에 도시한 바와 같이 배출관(28) 내부에 응결하는 흡착물(33)로 되어 배출관(28)의 부식 원인이 되는 문제점이 있었다. The gas scrubber 1 shown in FIG. 1 is combined with moisture contained in the exhaust gas when the acidic gas included in the exhaust gas, in particular, hydrochloric acid is not sufficiently removed, and discharge tube 28 as shown in FIG. 2. There was a problem that the adsorbent 33 condensed inside, causing corrosion of the discharge pipe 28.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 이온교환필터부를 통과한 배출가스가 유도되어 배출가스에 포함된 수분과 산성가스를 흡착하고, 용이하게 배출되도록 하여 배출관이 부식되는 것을 방지할 수 있는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been proposed to solve the above problems, the exhaust gas is passed through the ion exchange filter unit is induced to adsorb moisture and acid gas contained in the exhaust gas, to be easily discharged to prevent corrosion of the discharge pipe It is an object to provide a gas scrubber with improved discharge line protection.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 유입관을 통하여 유입된 배출가스가 차례로 통과되는 집진부, 이온교환필터부, 카트리지부로 이루어지며; 상기 카트리지부는 상부재와, 상부재로부터 이격되어 위치하며 내측부재의 내측으로 유로공이 형성된 하부재와, 일단이 상기 상부재에 연결되고 타단은 상기 하부재에 연결되며 다수의 통공이 형성된 파이프 형태의 외측부재와, 일단이 상기 상부재에 연결되고 타단은 상기 하부재에 연결되며 다수의 통공이 형성된 파이프 형태인 내측부재와, 상기 내측부재와 외측부재 사이에는 간격이 형성되어 상기 내측부재와 외측부재 사이에 구비되며 배출가스 중에 포함된 산을 흡착하는 충진재로 이루어져; 배출가스는 하부재의 유로공과, 내측부재의 통공과, 충진재와, 외측부재의 통공을 통하여 배출관으로 유도되는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention comprises a dust collecting unit, an ion exchange filter unit, a cartridge unit in which the exhaust gas introduced through the inlet pipe is passed in turn; The cartridge portion has a top member, a lower member which is spaced apart from the upper member, and has a flow path formed inwardly of the inner member, and one end is connected to the upper member and the other end is connected to the lower member, and has a plurality of through holes. An inner member, one end is connected to the upper member and the other end is connected to the lower member, the inner member in the form of a pipe formed with a plurality of through holes, and a gap is formed between the inner member and the outer member, the inner member and the outer member It is provided between the filling material for adsorbing the acid contained in the exhaust gas; Exhaust gas provides a gas scrubber with improved discharge pipe protection function guided to the discharge pipe through the passage hole of the lower member, the through hole of the inner member, the filler and the through hole of the outer member.

또한, 본 발명은 상기 카트리지부는 복열로 구비되며, 이온교환필터부를 통 과한 배출가스가 카트리지부로 유도되는 연결부는 분기되어 제2 연결부를 통하여 각 카트리지부로 연결되며, 연결부의 분기된 부분에는 복열의 카트리지부 중 하나로 배출가스를 유도하도록 작용하는 방향전환밸브가 구비되는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버를 제공한다.In addition, the present invention is provided with the cartridge unit in a double row, the connecting portion for the discharge gas passing through the ion exchange filter unit is led to the cartridge portion is branched and connected to each cartridge portion through the second connection portion, the branched portion of the connection portion cartridge One of the parts provides an improved gas scrubber with a discharge pipe protection function provided with a directional valve acting to induce exhaust gas.

또한, 본 발명은 상기 카트리지부에 구비되는 하부재는 유로공이 형성된 방향으로 돌출된 원추형으로 형성되며, 상기 외측부재가 연결된 외측으로는 복수의 통공이 형성된 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버를 제공한다.In addition, the present invention provides a gas scrubber having a lower member provided in the cartridge portion is formed in a conical shape protruding in the direction in which the flow path hole is formed, the discharge pipe protection function has a plurality of through-holes formed on the outside connected to the outer member.

또한, 본 발명은 상기 상부재, 외측부재, 내측부재, 하부재는 일측이 배출관으로 연결되고 타측이 제2 연결부로 연결되며 상기 하부재의 하부에 하향할수록 단면적이 감소하는 경사부를 구비하는 중공의 제1 케이스 내에 구비되며; 상기 제2 연결부는 제2 연결부에서 분기되어 하향 연장된 배수관을 구비하며 상기 제2 연결부는 배수관이 분기된 부분으로 제2 연결부 내측 상부에 돌출 구비되어 경사부를 통하여 하향하는 회수액을 배수관으로 유도하는 격벽부재를 구비하는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버를 제공한다.In addition, the present invention, the upper member, the outer member, the inner member, the lower member is made of hollow having one side is connected to the discharge pipe, the other side is connected to the second connection portion and the inclined portion is reduced in cross-sectional area as the lower portion below the lower member Is provided in one case; The second connection part has a drain pipe branched downward from the second connection part and the second connection part is a partition wall which protrudes in the upper portion of the second connection part as a branched part to guide the recovery liquid downward through the slope to the drain pipe. Provided is a gas scrubber with improved discharge pipe protection provided with a member.

또한, 본 발명은 상기 하부재에서 이격하여 하부재와 상부재 사이로 외측부재와 제1 케이스 사이에는 제1 격벽판이 구비되는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버를 제공한다.In addition, the present invention provides a gas scrubber with improved discharge pipe protection function is provided with a first partition wall between the outer member and the first case between the lower member and the upper member spaced apart from the lower member.

본 발명에 따르는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버는 이온교환필터부를 통과하여 유도되어 온 배출가스에 포함된 염산을 수분과 함께 흡착하여 하부 로 배출하므로 배출관이 산 특히 염산에 의하여 부식되는 것을 방지할 수 있으며, 흡착된 수분과 산을 하부로 용이하게 배출할 수 있는 구조이며, 카트리지부를 복열로 구비하여 어느 하나의 카트리지부를 교체하는 경우에도 작동을 멈출 필요가 없는 효과가 있다.The gas scrubber with improved discharge tube protection function according to the present invention absorbs hydrochloric acid contained in the discharged gas introduced through the ion exchange filter unit with moisture and discharges it to the lower portion, thereby preventing the discharge tube from being corroded by acid, especially hydrochloric acid. In addition, it is a structure that can easily discharge the adsorbed moisture and acid to the lower portion, there is an effect that does not need to stop the operation even if any one of the cartridge unit is replaced by the cartridge unit in a double row.

이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따르는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버에 대하여 상세하게 설명한다. 상세한 설명에 있어서 종래 기술과 동등한 구성에 대해서는 동일한 명칭을 사용한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail with respect to the gas scrubber improved discharge pipe protection function according to the present invention. In the detailed description, the same name is used for the configuration equivalent to the prior art.

도 3은 본 발명에 따르는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버를 도시한 구조도이며, 도 4는 본 발명 가스 스크러버에 구비되는 카트리지부를 설명하기 위하여 도시한 것이며, 도 5는 본 발명 가스 스크러버에 구비되는 카트리지부의 일부를 도시한 단면도이다.Figure 3 is a structural diagram showing a gas scrubber with improved discharge pipe protection function according to the present invention, Figure 4 is shown to explain the cartridge portion provided in the gas scrubber of the present invention, Figure 5 is a cartridge provided in the gas scrubber of the present invention It is sectional drawing which shows a part of part.

도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따르는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버(100)는 유입관(111)을 통하여 유입된 배출가스가 차례로 통과되는 집진부(115), 이온교환필터부(125), 카트리지부(130)로 이루어진다.As shown in FIG. 3, the gas scrubber 100 having improved discharge pipe protection function according to the present invention includes a dust collecting part 115 and an ion exchange filter part 125 through which the exhaust gas introduced through the inlet pipe 111 is sequentially passed. , The cartridge unit 130.

상기 집진부(115)에는 복수의 입자성 폴링(115a)이 충진되며, 분무수단(116)에서 분사되는 물은 폴링(115a) 표면에 막을 형성하며 폴링(115a) 사이를 흐르고, 배출가스도 폴링(115a)을 통과하여 서로 접촉하면서, 배출가스에 포함된 입자성 물질이나 수용성 가스 성분은 물과 함께 흘러 제1 탱크(119)로 회수된다. 도 3에서 도면부호 112는 상기 제1 탱크(119)로 물을 보충하는 급수관을, 114는 제1 탱 크(119)로 회수된 입자성 물질을 물과 함께 배출하는 드레인관을, 113은 상기 집진부(113)가 구비되는 중공의 케이스를 도시한 것이다.The dust collecting unit 115 is filled with a plurality of particulate polling (115a), the water sprayed from the spray means 116 forms a film on the surface of the polling (115a) and flows between the polling (115a), the exhaust gas polling ( While contacting each other through 115a), the particulate matter or the water-soluble gas component contained in the exhaust gas flows with water and is recovered to the first tank 119. In FIG. 3, reference numeral 112 denotes a water supply pipe for replenishing water to the first tank 119, 114 denotes a drain pipe for discharging particulate matter recovered in the first tank 119 together with water, and 113 denotes the above. The hollow case in which the dust collecting part 113 is provided is shown.

상기 집진부(115)를 통과하면서 입자성 물질과 수용성 가스의 일부가 제거된 배출가스는 연결부재(121)를 통하여 이온교환필터부(125)로 유도된다. 상기 연결부재(121)의 예로 중공의 배관을 들 수 있다.Exhaust gas from which a part of the particulate matter and the water-soluble gas are removed while passing through the dust collecting unit 115 is led to the ion exchange filter unit 125 through the connecting member 121. An example of the connection member 121 may be a hollow pipe.

상기 이온교환필터부(125)를 통과하면서 배출가스에 포함된 산성가스나 염기성 가스가 제거된다. 이온교환필터부(125)는 종래 기술과 동등한 것으로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. 도 3에서 도면부호 123은 이온교환필터부(125)가 구비되는 중공의 케이스를, 122는 제2 탱크(129)로 재생용액을 공급하는 급수관을, 124는 제2 탱크(129)의 재생용액을 배출하는 드레인관을, 127은 제2 탱크(129)의 재생용액을 순환시켜 분무수단(126)을 통하여 이온교환필터부(125)로 분사시키는 제2 순환관을 도시한 것이다.The acid gas or the basic gas contained in the exhaust gas is removed while passing through the ion exchange filter unit 125. The ion exchange filter unit 125 is equivalent to the prior art and a detailed description thereof will be omitted. In FIG. 3, reference numeral 123 denotes a hollow case provided with an ion exchange filter unit 125, 122 a water supply pipe for supplying a regeneration solution to the second tank 129, and 124 a regeneration solution of the second tank 129. 127 shows a second circulation tube for circulating the regeneration solution of the second tank 129 and spraying it to the ion exchange filter unit 125 through the spraying means 126.

상기 이온교환필터부(125)를 통과하면서 산성가스나 염기성 가스가 제거된 배출가스는 연결부(131)를 통하여 카트리지부(130)로 유도된다. 상기 카트리지부(130)는 상기 이온교환필터부(125)와 이웃하게 하나의 케이스(123)에 구비되는 것도 가능하며, 별도의 케이스에 구비될 수도 있다. 물론 상기 집진부(115), 이온교환필터부(125), 카트리지부(130)를 하나의 중공의 케이스에 설치하는 것도 가능하다.The exhaust gas from which the acid gas or the basic gas is removed while passing through the ion exchange filter unit 125 is led to the cartridge unit 130 through the connection unit 131. The cartridge unit 130 may be provided in one case 123 adjacent to the ion exchange filter unit 125, or may be provided in a separate case. Of course, the dust collector 115, the ion exchange filter 125, and the cartridge 130 may be installed in one hollow case.

상기 카트리지부(130)는 상부재(141)와, 상부재(141)로부터 이격되어 위치하며 내측부재(147)의 내측으로 유로공(143b)이 형성된 하부재(143)와, 일단이 상기 상부재(141)에 연결되고 타단은 상기 하부재(143)에 연결되며 다수의 통공(145a)이 형성된 파이프 형태의 외측부재(145)와, 일단이 상기 상부재(141)에 연결되고 타단은 상기 하부재(143)에 연결되며 다수의 통공(147a)이 형성된 파이프 형태인 내측부재(147)와, 상기 내측부재(147)와 외측부재(145) 사이에는 간격이 형성되어 상기 내측부재(147)와 외측부재(145) 사이에 구비되며 배출가스 중에 포함된 산을 흡착하는 충진재(149)로 이루어진다. 상기 연결부(131)를 통하여 카트리지부(130)로 유되된 배출가스는 하부재(143)의 유로공(143b)과, 내측부재(147)의 통공(147a)과, 충진재(149)와, 외측부재(145)의 통공(145a)을 통하여 배출관(128)으로 유도된다.The cartridge unit 130 is the upper member 141, the lower member 143 is located spaced apart from the upper member 141 and the flow path hole 143b is formed in the inner member 147, one end is the upper It is connected to the member 141 and the other end is connected to the lower member 143, the outer member 145 of the pipe form formed with a plurality of through holes 145a, one end is connected to the upper material 141 and the other end is An inner member 147 connected to the lower member 143 and having a plurality of through holes 147a is formed in a pipe shape, and a gap is formed between the inner member 147 and the outer member 145 so that the inner member 147 is formed. And a filler 149 provided between the outer member 145 and adsorbing the acid contained in the exhaust gas. Exhaust gas flowed into the cartridge unit 130 through the connection part 131 may include a flow path hole 143b of the lower member 143, a through hole 147a of the inner member 147, a filler 149, and an outer side thereof. It is led to the discharge pipe 128 through the through hole 145a of the member 145.

상기 상부재(141)는 원형 판재로 하는 것이 가능하고, 상기 외측부재(145)와 내측부재(147)는 단면이 원형인 파이프재로 하는 것이 가능하다. 상기 외측부재(145)의 내경을 내측부재(147)의 외경보다 크게 하여 외측부재(145)와 내측부재(147) 사이에 간격을 가지도록 한다. 상부재(141), 하부재(143), 외측부재(145) 및 내측부재(147)에 의하여 반지름 방향으로 두께를 가지는 원통형인 공간이 형성되고, 이 공간에 충진재(149)가 투입되어 충진된다.The upper member 141 may be a circular plate, and the outer member 145 and the inner member 147 may be a pipe having a circular cross section. The inner diameter of the outer member 145 is greater than the outer diameter of the inner member 147 to have a gap between the outer member 145 and the inner member 147. A cylindrical space having a thickness in the radial direction is formed by the upper member 141, the lower member 143, the outer member 145, and the inner member 147, and the filler 149 is introduced and filled in the space. .

상기 충진재(149)의 예로 배출가스에 잔류하는 산성 가스, 특히 염산을 흡착할 수 있는 첨착 활성탄, 첨착 알루미나, 제올라이트 등을 들 수 있다.Examples of the filler 149 include impregnated activated carbon, impregnated alumina, zeolite, and the like, capable of adsorbing an acid gas remaining in the exhaust gas, particularly hydrochloric acid.

도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 카트리지부(130)에 구비되는 하부재(143)는 유로공(143b)이 형성된 방향으로 돌출된 원추형으로 형성되며, 상기 외측부재(145)가 연결된 외측으로는 복수의 통공(143a)이 형성된다. 내측부재(147), 충진재(149), 외측부재(145)를 통과하며서 배출가스에 포함된 산성가스 특히 염산 과 수분(보다 상세하게는 수분과 수분과 결합한 염산)은 충진재(149)에 의하여 흡착 포집되며 하향 유동하게 된다. 이때, 하부재(143)에 이른 염산 및 수분은 경사진 하부재(143)를 따라 외측으로 유동하고, 외측부재(145)의 외측으로 형성된 복수의 통공(143a)을 통하여 하향 배출된다.4 and 5, the lower member 143 provided in the cartridge unit 130 is formed in a conical shape protruding in the direction in which the flow path hole (143b) is formed, the outer member 145 is connected On the outside, a plurality of through holes 143a are formed. Acid gas contained in the exhaust gas passing through the inner member 147, the filler 149 and the outer member 145, in particular hydrochloric acid and moisture (more specifically, hydrochloric acid combined with moisture and moisture) is adsorbed by the filler 149. It is captured and flows downward. At this time, hydrochloric acid and water reaching the lower member 143 flow outward along the inclined lower member 143 and are discharged downward through the plurality of through holes 143a formed to the outside of the outer member 145.

도 4에서 도면부호 138은 상기 하부재(143)의 상부로 이격되어 외측부재(145)와 제1 케이스(133) 사이에 구비되는 제1 격벽판을 도시한 것이다. 상기 제1 격벽판(138)이 구비되어, 하부재(143)의 통공(143a)을 통하여 상승한 배출가스는 제1 격벽판(138)에 의하여 안내되어 충진재(149)를 통과하게 된다.In FIG. 4, reference numeral 138 illustrates a first partition wall spaced apart from an upper portion of the lower member 143 and provided between the outer member 145 and the first case 133. The first partition plate 138 is provided, and the exhaust gas that rises through the through hole 143a of the lower member 143 is guided by the first partition plate 138 to pass through the filler 149.

상기 카트리지부(130)는 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이 복열로 구비되며, 이온교환필터부(125)를 통과한 배출가스가 카트리지부(130)로 유도되는 연결부(131)는 분기되어 제2 연결부(132)를 통하여 각 카트리지부(130)로 연결되며, 연결부(131)의 분기된 부분에는 복열의 카트리지부 중 하나로 배출가스를 유도하도록 작용하는 방향전환밸브(135)가 구비된다. 상기와 같이 카트리지부(130)가 복열로 구비되므로 어느 일측의 카트리지부(130)를 교체하거나 보수하는 경우에도 작동을 중단시킬 염려가 없다. The cartridge unit 130 is provided in a double row as shown in Figures 3 and 4, the connecting portion 131, the discharge gas passing through the ion exchange filter unit 125 is led to the cartridge unit 130 is branched It is connected to each cartridge unit 130 through the second connecting portion 132, the branched portion of the connecting portion 131 is provided with a direction switching valve 135 to act to induce the exhaust gas to one of the cartridge unit of the double row. Since the cartridge unit 130 is provided in a double row as described above, there is no fear of stopping the operation even when the cartridge unit 130 of any one side is replaced or repaired.

도 4에 도시한 바와 같이 상기에서 상부재(141), 외측부재(145), 내측부재(147), 하부재(143)는 일측이 배출관(128)으로 연결되고 타측이 제2 연결부(132)로 연결되며 상기 하부재(143)의 하부에 하향할수록 단면적이 감소하는 경사부(133a)를 구비하는 중공의 제1 케이스(133) 내에 구비된다. 상기 제2 연결부(132)는 제2 연결부(132)에서 분기되어 하향 연장된 배수관(139)을 구비한다.As shown in FIG. 4, the upper member 141, the outer member 145, the inner member 147, and the lower member 143 have one side connected to the discharge pipe 128 and the other side connected to the second connecting portion 132. It is connected to the lower portion of the lower member 143 is provided in the hollow first case 133 having an inclined portion (133a) is reduced in cross-sectional area as the downward. The second connector 132 has a drain pipe 139 branched from the second connector 132 and extending downward.

상기 외측부재(145)의 외측으로 하부재(143)에 형성된 복수의 통공(143a)을 통하여 하향 배출된 염산 및 수분은 경사부(133a)를 따라 하향 유동하여 제2 연결부(132)에서 하향 분기된 배수관(139)을 통하여 제2 탱크(129)로 유도된다. Hydrochloric acid and moisture discharged downward through the plurality of through holes 143a formed in the lower member 143 to the outside of the outer member 145 flow downward along the inclined portion 133a to branch downward from the second connection portion 132. It is led to the second tank 129 through the drain pipe 139.

상기 제2 연결부(132)는 배수관(139)이 분기된 부분으로 제2 연결부(132) 내측 상부에 돌출 구비되어 경사부(133a)를 통하여 하향하는 회수액을 배수관(139)으로 유도하는 격벽부재(134)를 구비한다. 따라서 경사부(133a)를 따라 하향 유동하는 염산 및 수분은 제2 연결부(132)로 유동하지 않고, 배수관(139)으로 안내된다.The second connecting portion 132 is a partitioned portion of the drain pipe 139 is provided with a protrusion protruding in the upper upper portion of the second connecting portion 132, the partition member for guiding the downward liquid through the inclined portion 133a to the drain pipe 139 ( 134). Therefore, hydrochloric acid and moisture flowing downward along the inclined portion 133a are guided to the drain pipe 139 without flowing to the second connection portion 132.

도 4에서 도면부호 137은 카트리지부(130)의 분리를 용이하게 하도록 한 플랜지부를 도시한 것이며, 148은 상기 제1 케이스(148)의 단부에 구비되어 제1 케이스(148)에서 배출관(128) 방향으로만 배출가스가 유동하도록 작용하는 체크밸브를 도시한 것이다. 상기 배수관(139)을 연결하는 플랜지부에 대한 도시는 생략하였다.In FIG. 4, reference numeral 137 denotes a flange portion for facilitating separation of the cartridge unit 130, and 148 is provided at an end of the first case 148 to discharge tube 128 from the first case 148. The check valve acts to allow the exhaust gas to flow only in the direction of). Illustration of the flange portion connecting the drain pipe 139 is omitted.

이상에서 본 발명에 대하여 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명이 보호 범위는 이에 한정되는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 변형할 수 있는 범위는 본 발명의 보호 범위에 속하는 것으로 해석하여야 한다.Although the present invention has been described above with reference to the drawings, the scope of the present invention is not limited thereto, and the scope of the present invention may be easily modified by those skilled in the art to which the present invention pertains. Should be interpreted as being within the scope.

도 1은 가스 스크러버를 도시한 구조도이다.1 is a structural diagram showing a gas scrubber.

도 2는 종래 가스 스크러버에 구비되는 배출관의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a discharge pipe provided in a conventional gas scrubber.

도 3은 본 발명에 따르는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버를 도시한 구조도이다.3 is a structural diagram showing a gas scrubber with improved discharge pipe protection function according to the present invention.

도 4는 본 발명 가스 스크러버에 구비되는 카트리지부를 설명하기 위하여 도시한 것이다.Figure 4 is shown for explaining the cartridge portion provided in the gas scrubber of the present invention.

도 5는 본 발명 가스 스크러버에 구비되는 카트리지부의 일부를 도시한 단면도이다.5 is a cross-sectional view showing a part of the cartridge portion provided in the gas scrubber of the present invention.

Claims (5)

유입관(111)을 통하여 유입된 배출가스가 차례로 통과되는 집진부(115), 이온교환필터부(125), 카트리지부(130)로 이루어지는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버에 있어서; 상기 카트리지부(130)는 상부재(141)와, 상부재(141)로부터 이격되어 위치하며 내측부재(147)의 내측으로 유로공(143b)이 형성된 하부재(143)와, 일단이 상기 상부재(141)에 연결되고 타단은 상기 하부재(143)에 연결되며 다수의 통공(145a)이 형성된 파이프 형태의 외측부재(145)와, 일단이 상기 상부재(141)에 연결되고 타단은 상기 하부재(143)에 연결되며 다수의 통공(147a)이 형성된 파이프 형태인 내측부재(147)와, 상기 내측부재(147)와 외측부재(145) 사이에는 간격이 형성되어 상기 내측부재(147)와 외측부재(145) 사이에 구비되며 배출가스 중에 포함된 산을 흡착하는 충진재(149)로 이루어져; 배출가스는 하부재(143)의 유로공(143b)과, 내측부재(147)의 통공(147a)과, 충진재(149)와, 외측부재(145)의 통공(145a)을 통하여 배출관(128)으로 유도되는 것을 특징으로 하는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버(100).In the gas scrubber with improved discharge tube protection function consisting of a dust collecting unit 115, the ion exchange filter unit 125, the cartridge unit 130 through which the exhaust gas introduced through the inlet pipe 111 is sequentially passed; The cartridge unit 130 is the upper member 141, the lower member 143 is located spaced apart from the upper member 141 and the flow path hole 143b is formed in the inner member 147, one end is the upper It is connected to the member 141 and the other end is connected to the lower member 143, the outer member 145 of the pipe form formed with a plurality of through holes 145a, one end is connected to the upper material 141 and the other end is An inner member 147 connected to the lower member 143 and having a plurality of through holes 147a is formed in a pipe shape, and a gap is formed between the inner member 147 and the outer member 145 so that the inner member 147 is formed. And a filler 149 provided between the outer member and the outer member 145 to adsorb the acid contained in the exhaust gas; The exhaust gas is discharged through the flow path 143b of the lower member 143, the through hole 147a of the inner member 147, the filler 149, and the through hole 145a of the outer member 145. Improved gas scrubber 100, characterized in that induced to the discharge pipe protection. 제1 항에 있어서, 상기 카트리지부(130)는 복열로 구비되며, 이온교환필터부(125)를 통과한 배출가스가 카트리지부(130)로 유도되는 연결부(131)는 분기되어 제2 연결부(132)를 통하여 각 카트리지부(130)로 연결되며, 연결부(131)의 분기된 부분에는 복열의 카트리지부 중 하나로 배출가스를 유도하도록 작용하는 방향전환 밸브(135)가 구비되는 것을 특징으로 하는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버(100).The method of claim 1, wherein the cartridge unit 130 is provided in a double row, the connection portion 131, the discharge gas passing through the ion exchange filter unit 125 is led to the cartridge unit 130 is branched to the second connection unit ( 132 is connected to each cartridge 130, the branched portion of the connection portion 131, the discharge pipe, characterized in that the diverter valve 135 is provided to act to induce the exhaust gas to one of the cartridge of the double row Gas scrubber 100 with improved protection. 제1 항에 있어서, 상기 카트리지부(130)에 구비되는 하부재(143)는 유로공(143b)이 형성된 방향으로 돌출된 원추형으로 형성되며, 상기 외측부재(145)가 연결된 외측으로는 복수의 통공(143a)이 형성된 것을 특징으로 하는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버(100).According to claim 1, wherein the lower member 143 provided in the cartridge unit 130 is formed in a conical shape protruding in the direction in which the flow path hole (143b) is formed, the outer member 145 is connected to a plurality of outside Gas scrubber (100) with improved discharge pipe protection function, characterized in that the through-hole (143a) is formed. 제2 항에 있어서, 상기 상부재(141), 외측부재(145), 내측부재(147), 하부재(143)는 일측이 배출관(128)으로 연결되고 타측이 제2 연결부(132)로 연결되며 상기 하부재(143)의 하부에 하향할수록 단면적이 감소하는 경사부(133a)를 구비하는 중공의 제1 케이스(133) 내에 구비되며; 상기 제2 연결부(132)는 제2 연결부(132)에서 분기되어 하향 연장된 배수관(139)을 구비하며 상기 제2 연결부(132)는 배수관(139)이 분기된 부분으로 제2 연결부(132) 내측 상부에 돌출 구비되어 경사부(133a)를 통하여 하향하는 회수액을 배수관(139)으로 유도하는 격벽부재(134)를 구비하는 것을 특징으로 하는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버(100).The method of claim 2, wherein the upper member 141, the outer member 145, the inner member 147, the lower member 143 is connected to one side of the discharge pipe 128 and the other side is connected to the second connecting portion 132 It is provided in the hollow first case 133 having the inclined portion (133a) is reduced in the cross-sectional area as the downward downward portion of the lower member (143); The second connection portion 132 has a drain pipe 139 branched downward from the second connection portion 132 and the second connection portion 132 is a portion in which the drain pipe 139 is branched to the second connection portion 132. A gas scrubber (100) having an improved discharge pipe protection function, comprising a partition member (134) protruding from an upper portion of the upper part to guide the recovery liquid downward through the inclined portion (133a) to the drain pipe (139). 제4 항에 있어서, 상기 하부재(143)에서 이격하여 하부재(143)와 상부재(141) 사이로 외측부재(145)와 제1 케이스(133) 사이에는 제1 격벽판(138)이 구비되는 것을 특징으로 하는 배출관 보호 기능이 향상된 가스 스크러버(100).The first partition wall plate 138 is disposed between the outer member 145 and the first case 133 between the lower member 143 and the upper member 141 to be spaced apart from the lower member 143. Gas scrubber 100, characterized in that the discharge pipe protection is improved.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103084051A (en) * 2011-11-03 2013-05-08 无锡华润上华科技有限公司 Scrubbing tower used for acidic and alkaline exhaust gas of semiconductor plants
CN108744963A (en) * 2018-06-27 2018-11-06 贵州大学 A kind of thermal power station's waste gas filter

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102022105258A1 (en) * 2022-03-07 2023-09-07 Das Environmental Expert Gmbh Device and method for cleaning a gas stream

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3870375B2 (en) 2002-12-24 2007-01-17 清水建設株式会社 Air purification device
KR100545696B1 (en) * 2003-09-19 2006-01-26 (주)파이런텍 Waste gas scrubber integral with vaccum pump
KR100664805B1 (en) 2005-11-30 2007-01-04 동부일렉트로닉스 주식회사 Gas treatment apparatus of gas scrubber and gas treatment method
KR100774810B1 (en) 2006-07-19 2007-11-07 동부일렉트로닉스 주식회사 Apparatus for trapping hf gas and moisture

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103084051A (en) * 2011-11-03 2013-05-08 无锡华润上华科技有限公司 Scrubbing tower used for acidic and alkaline exhaust gas of semiconductor plants
CN108744963A (en) * 2018-06-27 2018-11-06 贵州大学 A kind of thermal power station's waste gas filter

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