KR20110056867A - 튜브형 압전 에너지 발생 장치 및 그 제조방법 - Google Patents
튜브형 압전 에너지 발생 장치 및 그 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (11)
- 제1튜브;상기 제1튜브의 내부 표면에 형성된 제1전극;상기 제1전극 상에 형성되고, 압전 특성을 갖는 복수의 나노와이어;상기 제1튜브의 내부에 구비된 코어부; 및상기 코어부 외부 표면에 구비되고, 상기 나노와이어와 전기적 접촉을 형성하는 제2전극;을 포함하는 튜브형 압전 에너지 발생 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 나노와이어는 반도체 재료로 이루어져 있고, 상기 제2전극은 상기 나노와이어와 쇼트키 접촉(Schottky contact)을 형성할 수 있는 쇼트키 전극인 튜브형 압전 에너지 발생 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 코어부는 유연한 재료로 이루어진 제2튜브로서, 그 내부를 흐르는 유체에 의해서 지름 방향으로 수축 및 팽창이 가능하여 상기 나노와이어에 압력을 가할 수 있는 튜브형 압전 에너지 발생 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 코어부는 그 내부가 채워진 막대 구조물로서, 길이 방향으로 진동하여 그 마찰에 의해 상기 나노와이어에 압력을 가할 수 있는 튜브형 압전 에너지 발생 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 코어부는 표면에 제2전극으로 코팅된 복수의 나노구조물을 더 구비하고 있는 튜브형 압전 에너지 발생 장치.
- 제1튜브;상기 제1튜브의 내부 표면에 구비된 제1전극;상기 제1튜브의 내부에 구비된 코어부;상기 코어부 외부 표면에 형성된 제2전극; 및상기 제2전극 상에 형성되고, 압전 특성을 갖는 복수의 나노와이어;를 포함하는 튜브형 압전 에너지 발생 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 나노와이어는 반도체 재료로 이루어져 있고, 상기 제1전극은 상기 나노와이어와 쇼트키 접촉(Schottky contact)을 형성할 수 있는 쇼트키 전극인 튜브형 압전 에너지 발생 장치.
- 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 코어부는 유연한 재료로 이루어진 제2튜브로서, 그 내부를 흐르는 유체에 의해서 지름 방향으로 수축 및 팽창이 가능하여 상기 나노와이어에 압력을 가할 수 있는 튜브형 압전 에너지 발생 장치.
- 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,제3튜브가 상기 제1튜브 외부에 더 구비되어, 상기 제1튜브 및 제3튜브 사이에 유체가 흘러 상기 제1튜브가 수축 및 팽창하게 되면, 상기 제1튜브의 내부 표면에 의해 상기 나노와이어에 압력을 가할 수 있는 튜브형 압전 에너지 발생 장치.
- 기판 상에 제1전극을 형성하는 단계;상기 제1전극 상에 나노와이어를 성장시키는 단계;상기 나노와이어와 쇼트키 콘택을 형성할 수 있는 제2전극을 코어부 상에 형성하는 단계; 및상기 나노와이어가 내부로 가며 상기 코어부를 감싸도록 상기 기판을 말아 튜브를 만드는 단계;를 포함하는 튜브형 압전 에너지 발생 장치의 제조방법.
- 제1기판 상에 제1전극을 형성하는 단계;상기 제1전극 상에 나노와이어를 성장시키는 단계;상기 나노와이어가 외부로 가도록 상기 기판을 말아 튜브를 만드는 단계; 및상기 나노와이어와 쇼트키 콘택을 형성할 수 있는 제2전극을 제2기판 상에 형성하는 단계; 및상기 제2기판을 상기 제2전극이 내부로 가면서, 상기 나노와이어가 형성된 튜브를 감싸도록 말아 튜브를 만드는 단계;를 포함하는 튜브형 압전 에너지 발생 장치의 제조방법.
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101293781B1 (ko) * | 2012-06-18 | 2013-08-06 | 인하대학교 산학협력단 | 다층형 나노발전기 및 그 제조방법 |
WO2014015674A1 (zh) * | 2012-07-26 | 2014-01-30 | 纳米新能源(唐山)有限责任公司 | 纳米超声振动机 |
KR101411337B1 (ko) * | 2013-02-15 | 2014-06-25 | 전자부품연구원 | 적층구조를 가지는 액체를 이용한 에너지 전환 장치 |
WO2016010263A1 (ko) * | 2014-07-15 | 2016-01-21 | 전자부품연구원 | 액체를 이용한 전극 적층 구조 에너지 전환 장치 |
CN105820949A (zh) * | 2016-05-05 | 2016-08-03 | 苏州百源基因技术有限公司 | 一种核酸提取仪及其注射装置和注射装置控制方法 |
CN112786775A (zh) * | 2021-01-04 | 2021-05-11 | 国网内蒙古东部电力有限公司电力科学研究院 | 无源自供能用压电纳米阵列传感器及其制备方法 |
KR20210086145A (ko) | 2019-12-31 | 2021-07-08 | 부산대학교 산학협력단 | 붕화질소 압전장치 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001197758A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-07-19 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータ |
JP2004273709A (ja) * | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Toko Inc | 圧電トランス |
JP2006507692A (ja) * | 2002-09-30 | 2006-03-02 | ナノシス・インコーポレイテッド | 大面積ナノ可能マクロエレクトロニクス基板およびその使用 |
JP2009521203A (ja) * | 2005-12-20 | 2009-05-28 | ジョージア・テック・リサーチ・コーポレーション | 結合型の圧電半導体ナノ発電機 |
-
2009
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001197758A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-07-19 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータ |
JP2006507692A (ja) * | 2002-09-30 | 2006-03-02 | ナノシス・インコーポレイテッド | 大面積ナノ可能マクロエレクトロニクス基板およびその使用 |
JP2004273709A (ja) * | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Toko Inc | 圧電トランス |
JP2009521203A (ja) * | 2005-12-20 | 2009-05-28 | ジョージア・テック・リサーチ・コーポレーション | 結合型の圧電半導体ナノ発電機 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101293781B1 (ko) * | 2012-06-18 | 2013-08-06 | 인하대학교 산학협력단 | 다층형 나노발전기 및 그 제조방법 |
WO2014015674A1 (zh) * | 2012-07-26 | 2014-01-30 | 纳米新能源(唐山)有限责任公司 | 纳米超声振动机 |
KR101411337B1 (ko) * | 2013-02-15 | 2014-06-25 | 전자부품연구원 | 적층구조를 가지는 액체를 이용한 에너지 전환 장치 |
WO2016010263A1 (ko) * | 2014-07-15 | 2016-01-21 | 전자부품연구원 | 액체를 이용한 전극 적층 구조 에너지 전환 장치 |
US10291153B2 (en) | 2014-07-15 | 2019-05-14 | Korea Electronics Technology Institute | Electrode stacked energy conversion device using liquid |
CN105820949A (zh) * | 2016-05-05 | 2016-08-03 | 苏州百源基因技术有限公司 | 一种核酸提取仪及其注射装置和注射装置控制方法 |
CN105820949B (zh) * | 2016-05-05 | 2018-05-18 | 苏州百源基因技术有限公司 | 一种核酸提取仪及其注射装置和注射装置控制方法 |
KR20210086145A (ko) | 2019-12-31 | 2021-07-08 | 부산대학교 산학협력단 | 붕화질소 압전장치 |
CN112786775A (zh) * | 2021-01-04 | 2021-05-11 | 国网内蒙古东部电力有限公司电力科学研究院 | 无源自供能用压电纳米阵列传感器及其制备方法 |
CN112786775B (zh) * | 2021-01-04 | 2022-11-11 | 国网内蒙古东部电力有限公司电力科学研究院 | 无源自供能用压电纳米阵列传感器及其制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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