KR20110028330A - 배선 기판 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 8 및 도 9는 실시예에 따른 양면 배선 기판의 다른 실시예들이다.
도 10 내지 도 12는 실시예에 따른 편면 배선 기판의 실시예들이다.
도 13 내지 도 18은 다른 실시예에 따른 편면 배선 기판의 제조 공정을 보여주는 순서도들이다.
Claims (16)
- 제 1 면 및 상기 제 1 면과 대향하는 제 2 면을 갖는 기판을 준비하는 단계;
상기 제 1면과 제 2면을 관통하는 비아홀을 형성하는 단계;
상기 기판의 제 2 면에 금속막을 형성하는 단계;
상기 제 1면과, 상기 비아홀에 의해 노출된 상기 금속막의 상면을 포함하는 비아홀 내부에 무전해 도금공정으로 도체층을 형성하는 단계; 및
상기 제 1면에 형성된 도체층 및 상기 제 2면에 형성된 금속막을 패터닝하여 상기 기판의 양면에 회로부를 형성하는 단계를 포함하는 배선 기판의 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 기판을 준비하는 단계는
상기 제 1면이 표면처리된 기판을 준비하는 단계를 포함하는 배선기판의 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 금속막 형성 단계 이후에 상기 제 1면과, 상기 비아홀에 의해 노출된 상기 금속막의 상면을 포함하는 비아홀 내부를 표면 활성화 처리하는 단계가 더 포함되는 배선 기판의 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 도체층을 형성하는 단계는
도금액 첨가제를 조절하여 상기 제 1 면에서의 도금속도보다 상기 비아홀 내부에서의 도금속도를 빠르게 하여 도체층을 형성하는 단계를 포함하는 배선 기판의 제조 방법. - 제 4항에 있어서,
상기 첨가제는 환원제, 가속제 및 감속제 중 적어도 하나를 포함하는 배선 기판의 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 회로부를 형성하는 단계 이후에,
상기 회로부의 일부를 덮는 솔더 레지스트를 형성하는 단계;
상기 솔더 레지스트 상에 반도체 칩을 실장하는 단계; 및
상기 비아홀과 대응하는 도체층 상에 솔더볼을 형성하는 단계를 포함하는 배선 기판의 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 무전해 도금 공정 시간에 따라 상기 비아홀과 대응하는 위치의 도체층 상면은 오목형상, 볼록 형상 및 평면 형상 중 적어도 어느 하나의 형상을 갖는 배선 기판의 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 제 1 면에 형성된 도체층을 연마하여 상기 기판의 제 1면을 노출시키는 단계를 더 포함하는 배선 기판의 제조 방법. - 제 2항에 있어서,
상기 표면 처리는 NH3 플라즈마 처리 및 공중합체 반응 처리 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 표면 활성화 처리 단계는, 염화 주석(SnCl2)을 이용한 주석 민감화(Sn sensitization) 단계 또는 염화 팔라듐(PdCl2)을 이용한 팔라듐 활성화(Pd activation) 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 회로부는 상기 금속막으로 형성된 하부 회로패턴과, 상기 비아홀 내부에 형성된 도체층과 일체로 형성된 상부 회로패턴을 포함하며,
상기 하부 회로패턴은 상기 상부 회로패턴과 일체로 형성된 도체층에 의해 상기 상부 회로패턴과 전기적으로 연결되는 배선 기판의 제조 방법. - 적어도 하나의 비아홀을 갖는 기판;
상기 기판의 제 1면 상에 형성된 제 1 회로패턴;
상기 기판의 제 2면 상에 형성된 제 2 회로패턴; 및
상기 기판의 비아홀 내에 형성되며, 상기 제 1회로 패턴과 제 2 회로 패턴을 전기적으로 연결하는 도체층 패턴을 포함하며,
상기 제 1 회로 패턴 및 도체층 패턴은 무전해 도금 공정으로 형성된 것을 특징으로 하는 배선 기판. - 제 12항에 있어서,
상기 제 1 회로 패턴 및 도체층 패턴은 상기 무전해 도금 공정에 의해 일체로 형성되는 배선 기판. - 제 12항에 있어서,
상기 비아홀과 대응하는 상기 도체층 패턴의 상면은 오목 형성, 볼록 형성 및 평면 형상 중 적어도 어느 하나의 형상을 갖는 배선 기판. - 제 14항에 있어서,
상기 도체층 패턴의 상면에 접속되는 외부접속 단자를 더 포함하는 배선 기판. - 제 12항에 있어서,
상기 도체층 패턴 및 제 1 회로 패턴 중 적어도 하나의 표면 조도는 상기 금속 패턴의 표면 조도보다 낮은 배선 기판.
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