KR20110026463A - 다층 미러 및 리소그래피 장치 - Google Patents
다층 미러 및 리소그래피 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20110026463A KR20110026463A KR1020117000110A KR20117000110A KR20110026463A KR 20110026463 A KR20110026463 A KR 20110026463A KR 1020117000110 A KR1020117000110 A KR 1020117000110A KR 20117000110 A KR20117000110 A KR 20117000110A KR 20110026463 A KR20110026463 A KR 20110026463A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- layer
- compound
- layers
- multilayer mirror
- radiation beam
- Prior art date
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 121
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- 229910052770 Uranium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 229910052776 Thorium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 145
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 50
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 36
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910017768 LaF 3 Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 310
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 6
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 5
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000009304 pastoral farming Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/7095—Materials, e.g. materials for housing, stage or other support having particular properties, e.g. weight, strength, conductivity, thermal expansion coefficient
- G03F7/70958—Optical materials or coatings, e.g. with particular transmittance, reflectance or anti-reflection properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/22—Masks or mask blanks for imaging by radiation of 100nm or shorter wavelength, e.g. X-ray masks, extreme ultraviolet [EUV] masks; Preparation thereof
- G03F1/24—Reflection masks; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/06—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diffraction, refraction or reflection, e.g. monochromators
- G21K1/062—Devices having a multilayer structure
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K2201/00—Arrangements for handling radiation or particles
- G21K2201/06—Arrangements for handling radiation or particles using diffractive, refractive or reflecting elements
- G21K2201/067—Construction details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
다층 미러는 2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된다. 상기 다층 미러는 Cr 층과 Sc 층, Cr 층과 C 층, C 층과 B4C 층, U 층과 B4C 층, Th 층과 B4C 층, C 층과 B9C 층, La 층과 B9C 층 U 층과 B9C 층, Th 층과 B9C 층, La 층과 B 층, C 층과 B 층, U 층과 B 층, Th 층과 B 층으로 이루어진 그룹에서 선택된다.
Description
관련 출원의 상호 참조
본 출원은 2008년 6월 4일에 출원된 미국 가출원 제61/129,0873호에 대해 우선권을 주장하며, 그 내용 전부는 인용에 의해 본 출원에 포함된다.
본 발명은 다층 미러 및 이러한 다층 미러를 포함하는 리소그래피 장치에 관한 것이다.
리소그래피 장치는 기판 상에 통상적으로는 기판의 타겟 영역 상에 원하는 패턴을 부여하는 장치이다. 리소그래피 장치는 예컨대 집적회로(IC)의 제조시에 사용될 수 있다. 그 경우, 마스크 또는 레티클(reticle)로 지칭되는 패터닝 장치가 집적회로(IC)의 개개의 층 상에 형성될 회로 패턴을 생성하기 위해 사용될 수 있다. 이 패턴은 기판(예컨대, 실리콘 웨이퍼) 상의 타겟 영역(예컨대, 하나의 다이(die)의 일부분, 하나의 다이, 또는 여러 개의 다이를 포함) 상으로 전사(transfer)될 수 있다. 패턴의 전사는 통상적으로 기판 상에 제공된 방사선-감응재(레지스트)층 위에의 이미징(imaging)을 통해 수행된다. 일반적으로, 단일 기판은 연속적으로 패터닝되는 인접한 타겟 영역들의 네트워크를 포함할 것이다.
리소그래피는 직접회로(IC)와 다른 다비이스들 및/또는 구조체의 제조에 핵심 단계 중 하나로 널리 인식되어 있다. 그러나, 리소그래피를 이용하여 만들어지는 특징부의 치수가 더욱 작아짐에 따라, 리소그래피는 소형의 직접회로(IC)와 다른 다비이스들 및/또는 구조체의 제조를 가능하게 하기 위한 더욱 중요한 인자가 되고 있다.
리소그래피 장치는 일반적으로 방사 빔을 컨디셔닝하도록 구성된 조명 시스템; 방사 빔의 단면에 패턴을 부여하여 패터닝된 방사 빔을 형성할 수 있는 패터닝 디바이스, 주로 마스크 또는 레티클을 지지하도록 구성되는 지지 구조체; 및 패터닝된 방사 빔을 기판의 타켓 영역 상으로 투영하도록 구성된 투영 시스템을 포함한다.
패턴 프린팅의 이론적인 추정치는 아래의 식 (1)로 나타낸 바와 같은 레일리 기준(Rayleigh criterion)에 의해 주어질 수 있다:
위의 식에서 λ는 사용된 방사선의 파장이고, NAPS는 패턴을 프린트하기 위해 사용된 투영 시스템의 개구수이며, k1은 레일리 상수(Rayleigh constant)라고도 하는 프로세스에 의존하는 조정 인자(process dependent adjustment factor)이며, CD는 프린트된 특징부의 특징부 크기(또는 임계 치수)이다. 식 (1)로부터 특징부의 최소 프린트 가능한 크기의 감소는 세 가지 방법: 노광 파장 λ를 단축시킴으로써, 개구수 NAPS를 증가시킴으로써 또는 k1은을 감소시킴으로써 얻을 수 있다.
노광 파장을 단축시키고, 따라서 최소 프린트 가능한 크기를 감소시키기 위해서는, 극자외선(extreme ultraviole, EUV) 방사 소스를 사용하는 것이 제안되었다. EUV 방사 소스는 약 13.5 nm의 방사 파장을 출력하도록 구성되어 있다. 따라서, EUV 방사 소스는 작은 특징부의 프린팅을 실현에 중요한 단계를 구성할 수 있다. 그러한 방사선은 극자외선 또는 소프트 엑스선(x-ray)이라고 일컬어지며, 가능한 소스로는, 예컨대 레이저 생성 플라즈마 소스(layer-produced plasma source), 방전 플라즈마 소스, 전자 스토리지 링으로부터의 싱크로트론 방사를 포함한다.
바람직하게는, 조명 시스템과 투영 시스템 모두는 패터닝 디바이스와 기판 상의 원하는 위치에 방사선을 집속하기 위하여 복수의 광 요소를 포함한다. 유감스럽게도, 저 밀도의 일부 가스를 제외하고는, EUV 방사선에 대해 투과성이 있는 것으로 알려진 물질이 없다. 그러므로, EUV 방사선을 사용하는 리소그래피 장치는 조명 시스템과 투명 시스템에 렌즈를 채용하지 않는다. 대신에, 조명 시스템과 투영 시스템은 미러를 포함하는 것이 바람직하다. 또, 같은 이유로, 패터닝 디바이스는 반사 디바이스, 즉 반사면(reflective surface) 상에 흡수성의 재료로 형성된 패턴을 구비한 반사면을 가지는 미러인 것이 바람직하다.
약 13.5 nm의 파장을 가지는 EUV 방사선을 반사하기 위해, Si와 Mo의 교번 층(alternating layer)을 가지는 미러가 제안되었다. 이러한 다층 미러는 브래그(Bragg)의 법칙에 따라 EUV 방사선를 반사한다. 그러나, 이러한 미러들은 훨씬 더 짧은 파장을 가지는 방사선을 반사하기에 적합한 것 같지 않다.
6.9 nm 이하의 파장을 가지는 방사선을 반사하는 데 적합한 반사 특성을 가지는 미러를 구성 가능한 것이 바람직하다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 미러가 제공된다. 다층 미러는 교번 층을 포함한다. 상기 교번 층은 제1 층과 제2 층을 포함한다. 상기 제1 층과 제2 층은, Cr 층과 Sc 층, Cr 층과 C 층, La 층과 B4C 층, C 층과 B4C 층, U 층과 B4C 층, Th 층과 B4C 층, C 층과 B9C 층, La 층과 B9C, 층 U 층과 B9C 층, Th 층과 B9C 층, La 층과 B 층, C 층과 B 층, U 층과 B 층, Th 층과 B 층, La 화합물 층과 B4C 층, U 화합물 층과 B4C 층, Th 화합물 층과 B4C 층, La 화합물 층과 B9C 층, U 화합물 층과 B9C 층, Th 화합물 층과 B9C 층, La 화합물 층과 B 층, U 화합물 층과 B 층, 및 Th 화합물 층과 B 층으로 이루어진 그룹에서 선택된다. 상기 다층 미러는 Ru, Rh, Ta, Ti, Cs, Ba, C, Li, Ca 또는 이들의 임의 조합을 포함하는 캡핑층(capping layer)을 구비한 반사면을 가질 수 있다.
상기 La 화합물은 LaH2, LaH3, LaF3, LaCl3, LaI3, La2O3, LaSe 및 LaTe로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다. 상기 U 화합물은 UF3, UF4, UF5, UCl3, UCl4, UCl5, UI3, UI4, UO, UO2, UO3, U3O8, U2O5, U3O7, U4O9, UTe2, UTe3, UN, U2N3 및 U3N2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다. 상기 Th 화합물은 ThO2, ThCl4, ThN, ThF3, ThF4, ThI2, ThI3, ThI4, ThH2, 및 ThSe2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다.
상기 다층 미러는 방사 빔의 단면에 패턴을 부여하도록 구성 및 배치된, 마스크 또는 레티클과 같은 패터닝 디바이스일 수 있다. 상기 레티클 또는 마스크는 패턴을 형성하도록 구성된 흡수성의 재료를 가지는 구조체를 구비할 수 있으며, 상기 흡수성의 재료는 Cr, Ta, Ti, Si, Ru, Mo, Al, 또는 이들의 임의의 조합이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 2-8 nm 범위 내, 예컨대 2.9-3.3 nm 범위 내, 4.1-4.7 nm 범위 내 또는 6.2-6.9 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 다층 미러가 제공된다. 상기 다층 미러는 Ru, Rh, Ta, Ti, Cs, Ba, C, Li, Ca 또는 이들의 임의 조합을 포함하는 캡핑 층을 구비한 반사면을 가질 수 있다. 상기 캡핑 층은 상기 다층 미러의 반사면 상에 직접 위치될 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 패터닝된 방사 빔을 기판의 타겟 영역 상으로 투영하도록 구성된 투영 시스템이 제공된다. 상기 투영 시스템은 2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 다층 미러를 포함한다. 상기 다층 미러는 교번 층들을 포함한다. 상기 교번 층은 제1 층과 제2 층을 포함한다. 상기 제1 층과 제2 층은, Cr 층과 Sc 층, Cr 층과 C 층, C 층과 B4C 층, U 층과 B4C 층, Th 층과 B4C 층, C 층과 B9C 층, La 층과 B9C 층, U 층과 B9C 층, Th 층과 B9C 층, La 층과 B 층, C 층과 B 층, U 층과 B 층, Th 층과 B 층, La 화합물 층과 B4C 층, U 화합물 층과 B4C 층, Th 화합물 층과 B4C 층, La 화합물 층과 B9C 층, U 화합물 층과 B9C 층, Th 화합물 층과 B9C 층, La 화합물 층과 B 층, U 화합물 층과 B 층, 및 Th 화합물 층과 B 층으로 이루어진 그룹에서 선택된다.
상기 La 화합물은 LaH2, LaH3, LaF3, LaCl3, LaI3, La2O3, LaSe 및 LaTe로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다. 상기 U 화합물은 UF3, UF4, UF5, UCl3, UCl4, UCl5, UI3, UI4, UO, UO2, UO3, U3O8, U2O5, U3O7, U4O9, UTe2, UTe3, UN, U2N3 및 U3N2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다. 상기 Th 화합물은 ThO2, ThCl4, ThN, ThF3, ThF4, ThI2, ThI3, ThI4, ThH2, 및 ThSe2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 패터닝된 방사빔을 기판의 타겟 영역 상으로 투영하도록 구성된 투영 시스템이 제공된다. 상기 투영 시스템은 2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 다층 미러를 포함한다. 상기 다층 미러는 Ru, Rh, Ta, Ti, Cs, Ba, C, Li, Ca 또는 이들의 임의 조합을 포함하는 캡핑 층을 구비한 반사면을 가진다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 방사 빔을 컨디셔닝하도록 구성된 조명 시스템이 제공된다. 상기 조명 시스템은 2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 다층 미러를 포함한다. 상기 다층 미러는 교번 층들을 포함한다. 상기 교번 층은 제1 층과 제2 층을 포함한다. 상기 제1 층과 상기 제2 층은 Cr 층과 Sc 층, Cr 층과 C 층, C 층과 B4C 층, U 층과 B4C 층, Th 층과 B4C 층, C 층과 B9C 층, La 층과 B9C 층, U 층과 B9C 층, Th 층과 B9C 층, La 층과 B 층, C 층과 B 층, U 층과 B 층, Th 층과 B 층, La 화합물 층과 B4C 층, U 화합물 층과 B4C 층, Th 화합물 층과 B4C 층, La 화합물 층과 B9C 층, U 화합물 층과 B9C 층, Th 화합물 층과 B9C 층, La 화합물 층과 B 층, U 화합물 층과 B 층, 및 Th 화합물 층과 B 층으로 이루어진 그룹에서 선택된다.
상기 La 화합물은 LaH2, LaH3, LaF3, LaCl3, LaI3, La2O3, LaSe 및 LaTe로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다. 상기 U 화합물은 UF3, UF4, UF5, UCl3, UCl4, UCl5, UI3, UI4, UO, UO2, UO3, U3O8, U2O5, U3O7, U4O9, UTe2, UTe3, UN, U2N3 및 U3N2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다. 상기 Th 화합물은 ThO2, ThCl4, ThN, ThF3, ThF4, ThI2, ThI3, ThI4, ThH2, 및 ThSe2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 방사 빔을 컨디셔닝하도록 구성된 조명 시스템이 제공된다. 상기 조명 시스템은 2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 다층 미러를 포함한다. 상기 다층 미러는 Ru, Rh, Ta, Ti, Cs, Ba, C, Li, Ca 또는 이들의 임의 조합을 포함하는 캡핑 층을 구비한 반사면을 가진다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 패터닝 디바이스로부터의 패턴을 기판 상으로 투영하도록 배치된 리소그래피 투영 장치가 제공된다. 상기 리소그래피 투영 장치는 2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 다층 미러를 포함한다. 상기 다층 미러는 교번 층을 포함한다. 상기 교번 층은 제1 층과 제2 층을 포함한다. 상기 제1 층과 제2 층은, Cr 층과 Sc 층, Cr 층과 C 층, C 층과 B4C 층, U 층과 B4C 층, Th 층과 B4C 층, C 층과 B9C 층, La 층과 B9C 층, U 층과 B9C 층, Th 층과 B9C 층, La 층과 B 층, C 층과 B 층, U 층과 B 층, Th 층과 B 층, La 화합물 층과 B4C 층, U 화합물 층과 B4C 층, Th 화합물 층과 B4C 층, La 화합물 층과 B9C 층, U 화합물 층과 B9C 층, Th 화합물 층과 B9C 층, La 화합물 층과 B 층, U 화합물 층과 B 층, 및 Th 화합물 층과 B 층으로 이루어진 그룹에서 선택된다.
상기 La 화합물은 LaH2, LaH3, LaF3, LaCl3, LaI3, La2O3, LaSe 및 LaTe로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다. 상기 U 화합물은 UF3, UF4, UF5, UCl3, UCl4, UCl5, UI3, UI4, UO, UO2, UO3, U3O8, U2O5, U3O7, U4O9, UTe2, UTe3, UN, U2N3 및 U3N2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다. 상기 Th 화합물은 ThO2, ThCl4, ThN, ThF3, ThF4, ThI2, ThI3, ThI4, ThH2, 및 ThSe2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 패터닝 디바이스로부터의 패턴을 기판 상으로 투영하도록 배치된 리소그래피 투영 장치가 제공된다. 상기 리소그래피 투영 장치는 2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 다층 미러를 포함한다. 상기 다층 미러는 Ru, Rh, Ta, Ti, Cs, Ba, C, Li, Ca 또는 이들의 임의 조합을 포함하는 캡핑 층을 구비한 반사면을 가진다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 방사 빔을 컨디셔닝하도록 구성된 조명 시스템 및 패터닝 디바이스를 유지하도록 구성된 지지 구조체를 포함하는 리소그래피 장치가 제공된다. 상기 패터닝 디바이스는 방사 빔의 단면에 패턴을 부여하여 패터닝된 방사 빔을 형성할 수 있다. 상기 리소그래피 장치는 또한 기판을 유지하도록 구성된 기판 테이블, 및 상기 패터닝된 방사 빔을 상기 기판의 타겟 영역 상으로 투영하도록 구성된 투영 시스템을 포함한다. 상기 조명 시스템 및/또는 상기 투영 시스템은 2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 다층 미러를 포함한다. 상기 다층 미러는 교번 층들을 포함한다. 상기 교번 층은 제1 층과 제2 층을 포함한다. 상기 제1 층과 상기 제2 층은 Cr 층과 Sc 층, Cr 층과 C 층, C 층과 B4C 층, U 층과 B4C 층, Th 층과 B4C 층, C 층과 B9C 층, La 층과 B9C 층, U 층과 B9C 층, Th 층과 B9C 층, La 층과 B 층, C 층과 B 층, U 층과 B 층, Th 층과 B 층, La 화합물 층과 B4C 층, U 화합물 층과 B4C 층, Th 화합물 층과 B4C 층, La 화합물 층과 B9C 층, U 화합물 층과 B9C 층, Th 화합물 층과 B9C 층, La 화합물 층과 B 층, U 화합물 층과 B 층, 및 Th 화합물 층과 B 층으로 이루어진 그룹에서 선택된다.
상기 La 화합물은 LaH2, LaH3, LaF3, LaCl3, LaI3, La2O3, LaSe 및 LaTe로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다. 상기 U 화합물은 UF3, UF4, UF5, UCl3, UCl4, UCl5, UI3, UI4, UO, UO2, UO3, U3O8, U2O5, U3O7, U4O9, UTe2, UTe3, UN, U2N3 및 U3N2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다. 상기 Th 화합물은 ThO2, ThCl4, ThN, ThF3, ThF4, ThI2, ThI3, ThI4, ThH2, 및 ThSe2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물일 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 방사 빔을 컨디셔닝하도록 구성된 조명 시스템, 및 패터닝 디바이스를 유지하도록 구성된 지지 구조체를 포함하는 리소그래피 장치가 제공된다. 상기 패터닝 디바이스는 방사 빔의 단면에 패턴을 부여하여 패터닝된 방사 빔을 형성할 수 있다. 상기 리소그래피 장치는 또한 기판을 유지하도록 구성된 기판 테이블, 및 상기 패터닝된 방사 빔을 상기 기판의 타겟 영역 상으로 투영하도록 구성된 투영 시스템을 포함한다. 상기 조명 시스템 및/또는 상기 투영 시스템은 2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 다층 미러를 포함한다. 상기 다층 미러는 Ru, Rh, Ta, Ti, Cs, Ba, C, Li, Ca 또는 이들의 임의 조합을 포함하는 캡핑 층을 구비한 반사면을 가진다.
대응하는 도면부호가 대응하는 부분을 나타내는 개략적인 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 예로서 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 리소그래피 장치를 개략적으로 나타낸다.
도 2는 도 1의 리소그래피 투영 장치의 EUV 조명 시스템 및 투영 시스템의 개략 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 리소그래피 장치의 다층 미러를 개략적으로 나타낸다.
도 4a, 도 4b, 및 도 4c는 도 3의 다층 미러의 실시예의 반사율을 파장의 함수로 나타낸다.
도 5는 도 1의 리소그래피 장치의 다층 미러의 일 실시예를 나타낸다.
도 6은 도 1의 리소그래피 장치의 다층 미러의 일 실시예를 나타낸다.
도 7은 도 1의 리소그래피 장치의 다층 미러의 일 실시예를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 리소그래피 장치를 개략적으로 나타낸다.
도 2는 도 1의 리소그래피 투영 장치의 EUV 조명 시스템 및 투영 시스템의 개략 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 리소그래피 장치의 다층 미러를 개략적으로 나타낸다.
도 4a, 도 4b, 및 도 4c는 도 3의 다층 미러의 실시예의 반사율을 파장의 함수로 나타낸다.
도 5는 도 1의 리소그래피 장치의 다층 미러의 일 실시예를 나타낸다.
도 6은 도 1의 리소그래피 장치의 다층 미러의 일 실시예를 나타낸다.
도 7은 도 1의 리소그래피 장치의 다층 미러의 일 실시예를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 리소그래피 장치를 개략적으로 나타낸 것이다. 리소그래피 장치는, 방사 빔(B)(예컨대, EUV 방사)을 조절하도록 구성된 조명 시스템(조명기)(IL); 패터닝 디바이스(예컨대, 마스크 또는 레티클)(MA)를 지지하도록 구성되고, 또한 패터닝 디바이스를 정확히 위치시키도록 구성된 제1 위치결정기(PM)에 연결된 지지 구조체(예컨대, 마스크테이블)(MT); 기판(예컨대, 레지스트가 코팅된 웨이퍼)(W)을 유지하도록 구성되고, 기판(W)을 정확히 위치시키도록 구성된 제2 위치결정기(PW)에 연결된 기판 테이블(예컨대, 웨이퍼 테이블)(WT); 및 패터닝 디바이스(MA)에 의해 방사 빔(B)에 부여한 패턴을, 기판(W)의 타겟 영역(C)(예컨대, 하나 이상의 다이를 포함함) 상에 투영하도록 구성된 투영 시스템(예컨대, 굴절 투영 렌즈 시스템)(PS)을 포함한다.
조명 시스템(IL)은 방사선을 지향, 성형 또는 제어하기 위한 굴절식, 반사식, 자기식, 전자기식, 정전식, 또는 다른 형태의 광학 요소들 또는 이들의 임의의 조합과 같은, 다양한 형태의 광학 요소들을 포함할 수 있다.
지지 구조체(MT)는 패터닝 디바이스(MA)의 배향, 리소그래피 장치의 디자인, 및 예컨대 패터닝 디바이스가 진공 분위기에서 유지되는지의 여부와 같은 기타 조건들에 좌우되는 방식으로 패터닝 디바이스를 유지한다. 지지 구조체(MT)는 패터닝 디바이스(MA)를 유지하기 위해 기계식, 진공식, 정전식, 또는 다른 클램핑 기술들을 이용할 수 있다. 지지 구조체(MT)는, 예컨대 필요에 따라 고정되거나 이동시킬 수 있는 프레임(frame) 또는 테이블일 수도 있다. 지지 구조체(MT)는 패터닝 디바이스(MA)가 예컨대 투영 시스템(PS)에 대하여 요구된 위치에 있도록 보장할 수 있다.
본 명세서에서 사용되는 "패터닝 디바이스"라는 용어는, 기판의 타겟 영역에 패턴을 생성하기 위하여 방사 빔의 단면에 패턴을 부여하기 위해 사용될 수 있는 임의의 디바이스를 가리키는 것으로 폭넓게 해석되어야 한다. 방사 빔에 부여된 패턴은 집적 회로와 같이 타겟 영역에 생성될 디바이스 내의 특정 기능층에 대응할 수 있다.
패터닝 디바이스(MA)는 투과형일 수 있지만, 반사형인 것이 발맞기하다. 패터닝 디바이스(MA)의 예로는 마스크, 프로그램 가능한 미러 어레이, 및 프로그램 가능한 LCD 패널을 포함한다. 마스크는 리소그래피 분야에서 잘 알려져 있으며, 바이너리형, 교번 위상 반전형 및 감쇠 위상 반전형과 같은 마스크 타입뿐만 아니라 다양한 하이브리드 마스크 타입들을 포함한다. 프로그램 가능한 미러 어레이의 예로는 소형 미러들의 매트릭스 배열을 채용하며, 그 각각의 미러들은 입사하는 방사 빔을 상이한 방향으로 반사시키도록 개별적으로 경사질 수 있다. 경사진 미러들은 미러 매트릭스에 의해 반사되는 방사 빔에 패턴을 부여한다.
본 명세서에서 사용되는 "투영 시스템"이라는 용어는, 이용되고 있는 노광 방사에 대하여 적합하거나 또는 액침액의 사용 또는 진공의 사용과 같은 다른 요인들에 대하여 적합한, 굴절형, 반사형, 반사 굴절형(catadioptric), 자기형, 전자기형, 및 정전형 광학 시스템, 또는 이들의 임의의 조합을 포함하는 어떠한 타입의 투영 시스템도 포괄할 수 있다. 다른 가스들은 방사선 또는 전자를 너무 많이 흡수할 수 있기 때문에 EUV 또는 전자빔 방사를 위해 진공을 사용하는 것이 바람직할 수 있다. 그러므로 진공 분위기는 진공 벽 및 진공 범프를 사용하여 빔 경로 전체에 제공될 수 있다.
본 명세서에서 설명한 바와 같이, 리소그래피 장치는 투과형의 것(예컨대, 투과형 마스크를 채용함)이다. 이와 달리, 리소그래피 장치는 반사형의 것(예컨대, 반사형 마스크를 채용함)일 수도 있다.
리소그래피 장치는 2개(듀얼 스테이지) 이상의 기판 테이블(및/또는 두 개 이상의 기판 테이블)갖는 형태로 구성될 수 있다. 이러한 "다수 스테이지" 장치에서는, 추가의 테이블이 병행하여 사용될 수 있으며, 또는 하나 이상의 테이블 상에 예비 단계를 수행하면서 다른 하나 이상의 테이블을 노광용으로 사용할 수 있다.
도 1을 참조하면, 조명기(IL)는 방사 소스(SO)로부터 방사 빔(B)을 수광한다. 예컨대, 방사 소스(SO)가 엑시머 레이저인 경우, 방사 소스(SO)와 리소그래피 장치는 별도의 구성요소일 수도 있다. 이러한 경우, 방사 소스(SO)는 리소그래피 장치의 일부를 형성하는 것으로 고려되지 않으며, 방사 빔(B)은 예컨대 적합한 지향 미러 및/또는 빔 확장기(beam expander)를 포함하는 빔 전달 시스템(BD)을 이용하여 방사 소스(SO)로부터 조명기(IL)로 전달된다. 다른 경우에, 예컨대 방사 소스(SO)가 수은 램프인 경우에, 이 방사 소스(SO)는 리소그래피 장치에 통합된 부품일 수도 있다. 방사 소스(SO) 및 조명기(IL)은 필요에 따라 빔 전달 시스템(BD)과 함께 방사 시스템으로 지칭될 수도 있다.
조명기(IL)는 방사 빔의 각도 세기 분포(angular intensity distribution)를 조정하는 조정기를 포함할 수 있다. 일반적으로, 조명기의 퓨필 평면(pupil plane) 내의 세기 분포의 적어도 외측 반경 및/또는 내측 반경 범위(통상적으로, 각각 외측-σ 및 내측-σ라 함)가 조정될 수 있다. 또한, 조명기(IL)는 집속기(integrator) 및 집광기(condenser)와 같은 다양한 다른 구성요소들을 포함할 수 있다. 조명기(IL)는 방사 빔의 단면이 요구된 균일성 및 세기 분포를 갖도록 방사 빔을 컨디셔닝하는 데 사용될 수 있다.
방사 빔(B)은 지지 구조체(예컨대, 마스크 테이블)(MT) 상에 유지되어 있는 패터닝 디바이스(예컨대, 마스크)(MA) 상에 입사되며, 패터닝 디바이스(MA)에 의해 패터닝된다. 패터닝 디바이스(예컨대, 마스크)(MA)로부터 반사된 후, 방사 빔(B)은 투영 시스템(PS)을 통과하고, 투영 시스템(PS)은 방사 빔(B)을 기판(W)의 타겟 영역(C) 상에 집속(focusing)시킨다. 제2 위치결정기(PW) 및 위치 센서(IF2)(예컨대, 간섭계 디바이스, 선형 인코더, 또는 용량형 센서)를 이용하여, 예컨대 상이한 타겟 영역(C)을 방사 빔(B)의 경로 내에 위치시키도록 기판 테이블(WT)을 정확하게 이동시킬 수 있다. 마찬가지로, 제1 위치결정기(PM) 및 다른 위치 센서(IF1)를 이용하여, 방사 빔(B)의 경로에 대하여 패터닝 디바이스(MA)를 정확히 위치시키는 것이 가능하다. 패터닝 디바이스(예컨대, 마스크)(MA) 및 기판(W)은 마스크 정렬 마크(M1, M2) 및 기판 정렬 마크(P1, P2)를 이용하여 정렬될 수 있다.
도시된 장치는 다음 모드 중 하나 이상의 모드로 사용될 수 있다:
1. 스텝 모드에서는, 지지 구조체(예컨대, 마스크 테이블)(MT) 및 기판 테이블(WT)을 기본적으로 정지 상태로 유지한 채로, 방사 빔(B)에 부여한 패턴 전체를 한 번에 타겟 영역(C) 상에 투영한다(즉, 단일 정적 노광). 그리고나서, 다른 타겟 영역(C)이 노광될 수 있도록 기판 테이블(WT)을 X 방향 및/또는 Y 방향으로 이동시킨다.
2. 스캔 모드에서는, 지지 구조체(예컨대, 마스크 테이블)(MT) 및 기판 테이블(WT)을 동기적으로 스캐닝하면서, 방사 빔에 부여한 패턴을 타겟 영역(C) 상에 투영한다(즉, 단일 동적 노광). 지지 구조체(예컨대, 마스크 테이블)(MT)에 대한 기판 테이블(WT)의 속도 및 방향은 투영 시스템(PS)의 확대(축소) 및 상 반전 특성에 의하여 결정될 수 있다.
3. 또 다른 모드에서는, 프로그램 가능한 패터닝 디바이스를 유지한 채로 지지 구조체(예컨대, 마스크 테이블)(MT)를 기본적으로 정지 상태로 하고, 또한 기판 테이블(WT)을 이동시키거나 스캐닝하면서, 방사 빔에 부여한 패턴을 타겟 영역(C) 상에 투영한다. 이 모드에서는, 일반적으로 펄스 방사 소스가 채용되며, 프로그램 가능한 패터닝 디바이스는 기판 테이블(WT)의 각각의 이동 후에 또는 스캔 동안의 연속적인 방사 펄스의 사이에서 필요에 따라 업데이트된다. 이 작동 모드는, 앞서 언급한 바와 같은 타입의 프로그램 가능한 미러 어레이와 같은, 프로그램 가능한 패터닝 디바이스를 이용하는 마스크 없는 리소그래피(maskless lithography)에 용이하게 적용될 수 있다.
또한, 전술한 사용 모드들의 조합 및/또는 변형, 또는 전혀 다른 사용 모드들이 채용될 수도 있다.
도 2는 도 1의 리소그래피 장치를 더욱 자세하게 나타낸 것으로, 방사 시스템(42), 조명 광 유닛(44), 및 투영 시스템(PS)을 포함한다. 방사 시스템(42)은 방전 플라즈마(discharge plasma)에 의해 구성될 수 있는 방사 소스(SO)를 포함한다. EUV 방사는 가스 또는 증기, 예컨대 매우 고온(very hot)의 플라즈마를 생성하여 전자기 스펙트럼 중에서 EUV 범위 내의 방사선을 방출하는 Xe 가스, Li 증기 또는 Sn 증기에 의해 생성될 수 있다. 이 매우 고온의 플라즈마는 예컨대 전기 방전에 의해 적어도 부분적으로 이온화된 플라즈마에 의해 생성된다. Xe, Li, Sn 증기 또는 임의의 다른 적당한 가스 또는 증기의 분압은, 예컨대 10 Pa이 방사선의 효율적인 생성을 위해 바람직할 수 있다. 방사 소스(SO)에 의해 방출된 방사선은 소스 챔버(47)로부터 소스 챔버(47)의 개구 내에 또는 뒤에 위치한 가스 배리어 또는 오염물 트랩(contaminant trap)(49)을 통해 콜렉터 챔버(48) 내로 전달된다.
콜렉터 챔버(48)는 그레이징 입사 콜렉터(grazing incidence collector)로 구성될 수 있는 방사 콜렉터(50)를 포함한다. 방사 콜렉터(50)는 상류(upstream) 방사 콜렉터 측(50a)과 하류(downstream) 방사 콜렉터 측(50b)을 가진다. 콜렉터(50)를 지나간 방사선은 격자 스펙트럼 필터(51)에 반사되어 콜렉터 챔버(48)의 개구의 가상 소스 지점(virtual source point)(52) 내에 집속될 수 있다. 콜렉터 챔버(48)로부터, 방사 빔(56)은 조명 광 유닛(44) 내에서 수직 입사 반사기(normal incidence reflector)(53, 54)를 통해 레티클 또는 마스크 테이블(MT) 상에 위치된 레티클 또는 마스크 상으로 반사된다. 패터닝된 빔(57)은 투영 시스템(PS) 내에서 반사 요소(58, 59)를 통해 웨이퍼 스테이지 또는 기판 테이블(WT) 상으로 이미징되어 형성된다. 일반적으로 조명 광 유닛(44) 및 투영 시스템(PS) 내에는 도시된 것보다 더 많은 요소가 있을 수 있다. 격자 스펙트럼 필터(51)는 리소그래피 장치의 타입에 따라 선택적으로 존재할 수 있다. 또, 도면에 도시된 것보다 더 많은 미러가 있을 수 있다. 예컨대 반사 요소(58, 59)보다 1-4개 더 많은 반사 요소가 있을 수 있다. 방사 콜렉터(50)는 해당 기술분야에 공지되어 있다. 방사 콜렉터(50)는 반사기(142, 143, 146)을 구비한 중첩형(nested) 콜렉터일 수 있다. 두 개의 반사기, 예컨대 반사기(142)와 반사기(143) 사이에는 공간이 형성될 수 있다.
도 3은 다층 미러(1)의 일 실시예를 나타낸다. 다층 미러(1)는 2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치되어 있다. 다층 미러(1)는 기판(8)에 의해 지지된 교번 층(4, 6)을 가지는 층형 구조체(layered structure)(2)를 포함한다.
교번 층(4, 6)은 Cr 층과 Sc 층, Cr 층과 C 층, La 층과 B4C 층, C 층과 B4C 층, U 층과 B4C 층, Th 층과 B4C 층, C 층과 B9C 층, La 층과 B9C 층 U 층과 B9C 층, Th 층과 B9C 층, La 층과 B 층, C 층과 B 층, U 층과 B 층, 및 Th 층과 B 층으로 이루어진 그룹에서 선택될 수 있다.
일 실시예에서 교번 층(4, 6)은 U 층과 B4C 층, Th 층과 B4C 층, C 층과 B9C 층, U 층과 B9C 층, Th 층과 B9C 층, C 층과 B 층, U 층과 B 층, 및 Th 층과 B 층으로 이루어진 그룹에서 선택될 수 있다. 이러한 교번 층의 가능한 이점은 La 층 대신에 U 층 또는 Th 층이 각도뿐 아니라 물론 파장 면에서 넓은 대역폭을 제공할 것이라는 점이다. 광각 대역폭(broad angle bandwidth)은, 다층 미러를 6.6 nm 파장의 EUV 리소그래피 시의 광학기에 유용하게 하는 충분한 설계 자유도를 허용할 것이다. 또한, 광각 대역폭은, 다층 미러가 포함되어 있는 광 시스템의 퓨필이 세기에 있어 균일하게 채워질 수 있도록 해주고, 더 큰 개구수(NA)가 가능하게 해준다.
도 4a는 La 층과 B4C 층인 교번 층의 반사율(R)을 파장(λ)의 함수로 나타낸 그래프이다. 도시된 피크의 이른바 최고값의 1/2 지점에서의 파장의 폭(full width half maximum, FWHM)은 0.06 nm이다. 도 4b는 Th 층과 B4C 층(Th/B4C 층)인 교번 층의 반사율을 파장(λ)의 함수로 나타낸 것이다. 여기서, FWHM는 0.09 nm 이다. 도 4c는 U 층과 B4C 층(U/B4C 층)인 교번 층의 반사율을 파장(λ)의 함수로 나타낸 것이다. 여기서, FWHM는 0.15 nm 이다.
일 실시예에서는, Th/B4C 층과 U/B4C 층 각각 대신에 Th/B9C 층과 U/B9C 층 또는 Th/B 층과 U/B 층도 사용할 수 있다. B 퓨리티의 증가로 반사율이 더 양호 할 수 있으므로, 방사선의 흡수에 기인한 전력 손실을 잠재적으로 줄일 수 있다.
일 실시예에서, 교번 층은 C 층과 B4C 층, C 층과 B9C 층, 또는 C 층과 B 층이 될 수 있다. C는 La 만큼 능동적이지 않으므로, 이 교번 층은 La/B4C 층 만큼 층간 확산이 발생하지 않는다. 제1 층(4)의 두께와 제2 층(6)의 두께의 합은 3-3.5 nm 범위 내일 수 있다. 이 교번 층의 두께는 제1 층 또는 제2 층의 두께의 약 1.7배와 약 2.5배 사이의 주기적인 두께(period thickness)이다.
전술한 다층 미러(1)의 실시예들은 주로 3-3.5 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하는 데 적합하다. 일 실시예에서, 교번 층은 Cr 층과 Sc 층, 또는 Cr 층과 C 층이다. Cr/Sc 층은 2.9-3.3 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하는 데 적합한 것으로 밝혀졌다. Cr/C 층은 4.1 내지 4.7 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하는 데 적합한 것으로 밝혀졌다.
도 5에는 다층 미러(1)의 일 실시예가 도시되어 있다. 이 실시예는 반사 레티클이다. 도 3의 다층 미러의 특징에 외에, 도 5의 실시예는 표면 상에 패턴을 형성하도록 배치된 흡수성의 재료를 가지는 구조체를 구비할 수 있다. 흡수성의 재료로 채용될 수 있는 적당한 재료로는 Cr, Ti, Si, Ru, Mo, Ta, Al, 또는 이들의 임의 조합일 수 있다.
다층 미러(1)의 다층 구조체(2)는 기계적 취약성(mechanical vulnerability)을 감소시키기 위해 기판(8)에 의해 지지될 수 있다. 또한, 도 3 및 도 5에서 점선은 교번 층(4, 6)의 명시되지 않은 반복 회수를 나타낸다는 것에 유의하기 바란다. 보통, 다층 미러(1)의 다층 구조체(2)는 30 내지 200 주기 정도의 많은 교번 층으로 형성된다, 즉, 전체 층의 개수가 60과 400 사이이다. 또, 도면들은 단지 예시를 위한 개략도이고 비례를 맞춰 그린 도면이 아니라는 것에 유의하기 바란다.
도 6 및 도 7에는 다층 미러(1)의 추가적인 실시예가 나타나 있다. 도 6의 실시예는 도 3의 실시예와 매우 유사하다. 그러나, 도 6의 실시예에서는 층형 구조체(2)가 캡핑 층(12)을 구비한다. 이 캡핑 층(12)은 Ru, Ta, Ti, Rh, Cs, Ba, C, Li, Ca 또는 이들의 임의 조합을 포함할 수 있다. 이러한 캡핑 층(12)은 다층 미러(1)의 층형 구조체(2)를 화학 침식(chemical attack)으로부터 보호하기 위해 적절히 배치될 수 있다. 캡핑 층(12)의 적절한 두께는 0.5 내지 10 nm 범위 내의 어딘가 일 수 있다.
도 7에는 다른 실시예가 나타나 있다. 도 7의 실시예는 도 4의 실시예와 유사하다. 그러나, 도 7의 실시예에는 층형 구조체(2)가 캡핑 층(12)을 구비하고 있다. 도 6을 참조하여 설명한 것과 마찬가지로, 캡핑 층(12)은 Ru, 및/또는 Rh를 포함할 수 있고 다층 미러(1)를 화학 침식으로부터 보호하기 위해 적절히 배치될 수 있다.
본 명세서에서는, 집적회로(IC)의 제조에 있어서 리소그래피 장치의 사용에 대해 구체적으로 언급하였지만, 본 명세서에서 설명된 리소그래피 장치는 집적 광학 시스템, 자기 도메인 메모리(magnetic domain memory)용 유도 및 검출 패턴, 평판 디스플레이, 액정 디스플레이(LCD), 박막 자기 헤드 등의 제조와 같은 기타 응용예들을 가질 수 있음을 이해하여야 한다.
이상에서는 광학 리소그래피의 관점에서 본 발명의 실시예의 사용에 대하여 구체적인 참조가 이루어졌을 수도 있지만, 본 발명은 예컨대 임프린트 리소그래피와 같은 다른 응용분야에 사용될 수도 있으며, 또한 문맥이 허락하는 곳에서는 광학 리소그래피로 한정되지 않는다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
본 명세서에 사용된 "방사선" 및 "빔"이라는 용어는 자외선(UV) 방사선(예컨대, 365, 335, 248, 193, 157, 또는 126 nm의 파장을 가짐), 및 극자외선(EUV) 방사선(예컨대, 5∼20 nm의 파장 범위를 가짐)을 포함하는 모든 형태의 전자기 방사선 외에도 이온 빔이나 전자 빔과 같은 입자 빔을 포괄한다.
이상에서 본 발명의 특정 실시예들을 설명하였지만, 본 발명은 설명된 것과 다르게 실시될 수도 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 예컨대, 본 발명은 이상에서 개시된 바와 같은 방법을 기술하는 기계로 판독 가능한 명령어들의 하나 이상의 시퀀스들을 포함하는 컴퓨터 프로그램, 또는 이러한 컴퓨터 프로그램이 저장되는 데이터 저장 매체(예컨대, 반도체 메모리, 자기 디스크 또는 광학 디스크)의 형태를 취할 수도 있다.
전술한 설명내용은 예시를 위한 것으로, 본 발명을 제한하려는 것이 아니다. 따라서, 당업자라면 하기 청구항들의 범위를 벗어나지 않고서도 전술한 본 발명에 대한 변형이 이루어질 수도 있음을 이해할 수 있을 것이다.
Claims (31)
- 2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 다층 미러로서,
제1 층과 제2 층을 포함하는 교번 층을 포함하고,
상기 제1 층과 제2 층은, Cr 층과 Sc 층, Cr 층과 C 층, C 층과 B4C 층, U 층과 B4C 층, Th 층과 B4C 층, C 층과 B9C 층, La 층과 B9C 층 U 층과 B9C 층, Th 층과 B9C 층, La 층과 B 층, C 층과 B 층, U 층과 B 층, Th 층과 B 층, La 화합물 층과 B4C 층, U 화합물 층과 B4C 층, Th 화합물 층과 B4C 층, La 화합물 층과 B9C 층, U 화합물 층과 B9C 층, Th 화합물 층과 B9C 층, La 화합물 층과 B 층, U 화합물 층과 B 층, 및 Th 화합물 층과 B 층으로 이루어진 그룹에서 선택되는,
다층 미러. - 제1항에 있어서,
상기 La 화합물은 LaH2, LaH3, LaF3, LaCl3, LaI3, La2O3, LaSe 및 LaTe로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 다층 미러. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 U 화합물은 UF3, UF4, UF5, UCl3, UCl4, UCl5, UI3, UI4, UO, UO2, UO3, U3O8, U2O5, U3O7, U4O9, UTe2, UTe3, UN, U2N3 및 U3N2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 다층 미러. - 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 Th 화합물은 ThO2, ThCl4, ThN, ThF3, ThF4, ThI2, ThI3, ThI4, ThH2, 및 ThSe2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 다층 미러. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 층의 두께와 상기 제2 층의 두께의 합은 3-3.5 nm 범위 내인, 다층 미러. - 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 교번 층의 상기 제1 층 또는 상기 제2 층의 두께의 약 1.7배와 약 2.5배 사이의 주기적인 두께를 가지는, 다층 미러. - 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 다층 미러는 2.9-3.3 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치되는, 다층 미러. - 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 다층 미러는 4.1-4.7 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치되는, 다층 미러. - 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 다층 미러는 6.2-6.9 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치되는, 다층 미러. - 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 다층 미러는 방사 빔의 단면에 패턴을 부여하도록 구성 및 배치된 패터닝 디바이스인, 다층 미러. - 패터닝된 방사 빔을 기판의 타켓 영역 상으로 투영하도록 구성된 투영 시스템으로서,
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 다층 미러를 포함하는 투영 시스템. - 방사 빔을 컨디셔닝하도록 구성된 조명 시스템으로서,
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 다층 미러를 포함하는 조명 시스템. - 패터닝 디바이스로부터의 패턴을 기판 상으로 투영하도록 배치된 리소그래피 투영 장치로서,
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 다층 미러를 포함하는 리소그래피 투영 장치. - 제13항에 있어서,
방사 빔을 컨디셔닝하도록 구성된 조명 시스템;
상기 방사 빔의 단면에 패턴을 부여하여 패터닝된 방사 빔을 형성할 수 있는 패터닝 디바이스를 유지하도록 구성된 지지 구조체;
기판을 유지하도록 구성된 기판 테이블; 및
상기 패터닝된 방사 빔을 상기 기판의 타겟 영역 상으로 투영하도록 구성된 투영 시스템을 더 포함하는 리소그래피 투영 장치. - 방사 빔을 컨디셔닝하도록 구성된 조명 시스템;
상기 방사 빔의 단면에 패턴을 부여하여 패터닝된 방사 빔을 형성할 수 있는 패터닝 디바이스를 유지하도록 구성된 지지 구조체;
기판을 유지하도록 구성된 기판 테이블; 및
상기 패터닝된 방사 빔을 상기 기판의 타겟 영역 상으로 투영하도록 구성된 투영 시스템
을 포함하고,
상기 투영 시스템은 제11항에 따른 투영 시스템이고, 및/또는 상기 조명 시스템은 제12항에 따른 조명 시스템인,
리소그래피 장치. - 패터닝된 방사 빔을 기판의 타겟 영역 상으로 투영하도록 구성된 투영 시스템으로서,
2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 다층 미러를 포함하고,
상기 다층 미러는 제1층과 제2층을 포함하는 교번 층을 포함하며,
상기 제1 층과 제2 층은, Cr 층과 Sc 층, Cr 층과 C 층, C 층과 B4C 층, U 층과 B4C 층, Th 층과 B4C 층, C 층과 B9C 층, La 층과 B9C 층, U 층과 B9C 층, Th 층과 B9C 층, La 층과 B 층, C 층과 B 층, U 층과 B 층, Th 층과 B 층, La 화합물 층과 B4C 층, U 화합물 층과 B4C 층, Th 화합물 층과 B4C 층, La 화합물 층과 B9C 층, U 화합물 층과 B9C 층, Th 화합물 층과 B9C 층, La 화합물 층과 B 층, U 화합물 층과 B 층, 및 Th 화합물 층과 B 층으로 이루어진 그룹에서 선택되는,
투영 시스템. - 제16항에 있어서,
상기 La 화합물은 LaH2, LaH3, LaF3, LaCl3, LaI3, La2O3, LaSe 및 LaTe로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 투영 시스템. - 제16항 또는 제17항에 있어서,
상기 U 화합물은 UF3, UF4, UF5, UCl3, UCl4, UCl5, UI3, UI4, UO, UO2, UO3, U3O8, U2O5, U3O7, U4O9, UTe2, UTe3, UN, U2N3 및 U3N2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 투영 시스템. - 제16 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 Th 화합물은 ThO2, ThCl4, ThN, ThF3, ThF4, ThI2, ThI3, ThI4, ThH2, 및 ThSe2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 투영 시스템. - 방사 빔을 컨디셔닝하도록 구성된 조명 시스템으로서
2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 다층 미러를 포함하고,
상기 다층 미러는 제1층과 제2층을 포함하는 교번 층을 포함하며,
상기 제1 층과 제2 층은, Cr 층과 Sc 층, Cr 층과 C 층, C 층과 B4C 층, U 층과 B4C 층, Th 층과 B4C 층, C 층과 B9C 층, La 층과 B9C 층, U 층과 B9C 층, Th 층과 B9C 층, La 층과 B 층, C 층과 B 층, U 층과 B 층, Th 층과 B 층, La 화합물 층과 B4C 층, U 화합물 층과 B4C 층, Th 화합물 층과 B4C 층, La 화합물 층과 B9C 층, U 화합물 층과 B9C 층, Th 화합물 층과 B9C 층, La 화합물 층과 B 층, U 화합물 층과 B 층, 및 Th 화합물 층과 B 층으로 이루어진 그룹에서 선택되는,
조명 시스템. - 제20항에 있어서,
상기 La 화합물은 LaH2, LaH3, LaF3, LaCl3, LaI3, La2O3, LaSe 및 LaTe로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 조명 시스템. - 제20항 또는 제21항에 있어서,
상기 U 화합물은 UF3, UF4, UF5, UCl3, UCl4, UCl5, UI3, UI4, UO, UO2, UO3, U3O8, U2O5, U3O7, U4O9, UTe2, UTe3, UN, U2N3 및 U3N2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 조명 시스템. - 제20항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 Th 화합물은 ThO2, ThCl4, ThN, ThF3, ThF4, ThI2, ThI3, ThI4, ThH2, 및 ThSe2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 조명 시스템. - 패터닝 디바이스로부터의 패턴을 기판 상으로 투영하도록 배치된 리소그래피 투영 장치로서,
2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 다층 미러를 포함하고,
상기 다층 미러는 제1층과 제2층을 포함하는 교번 층을 포함하며,
상기 제1 층과 제2 층은, Cr 층과 Sc 층, Cr 층과 C 층, C 층과 B4C 층, U 층과 B4C 층, Th 층과 B4C 층, C 층과 B9C 층, La 층과 B9C 층, U 층과 B9C 층, Th 층과 B9C 층, La 층과 B 층, C 층과 B 층, U 층과 B 층, Th 층과 B 층, La 화합물 층과 B4C 층, U 화합물 층과 B4C 층, Th 화합물 층과 B4C 층, La 화합물 층과 B9C 층, U 화합물 층과 B9C 층, Th 화합물 층과 B9C 층, La 화합물 층과 B 층, U 화합물 층과 B 층, 및 Th 화합물 층과 B 층으로 이루어진 그룹에서 선택되는,
리소그래피 투영 장치. - 제24항에 있어서,
상기 La 화합물은 LaH2, LaH3, LaF3, LaCl3, LaI3, La2O3, LaSe 및 LaTe로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 리소그래피 투영 장치. - 제24항 또는 제25항에 있어서,
상기 U 화합물은 UF3, UF4, UF5, UCl3, UCl4, UCl5, UI3, UI4, UO, UO2, UO3, U3O8, U2O5, U3O7, U4O9, UTe2, UTe3, UN, U2N3 및 U3N2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 리소그래피 투영 장치. - 제24항 내지 제26항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 Th 화합물은 ThO2, ThCl4, ThN, ThF3, ThF4, ThI2, ThI3, ThI4, ThH2, 및 ThSe2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 리소그래피 투영 장치. - 방사 빔을 컨디셔닝하도록 구성된 조명 시스템;
상기 방사 빔의 단면에 패턴을 부여하여 패터닝된 방사 빔을 형성할 수 있는 패터닝 디바이스를 유지하도록 구성된 지지 구조체;
기판을 유지하도록 구성된 기판 테이블; 및
상기 패터닝된 방사 빔을 상기 기판의 타겟 영역 상으로 투영하도록 구성된 투영 시스템
을 포함하고,
상기 조명 시스템 및/또는 상기 투영 시스템은 2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된 다층 미러를 포함하며,
상기 다층 미러는 제1 층과 제2층을 포함하는 교번 층을 포함하고,
상기 제1 층과 제2 층은, Cr 층과 Sc 층, Cr 층과 C 층, C 층과 B4C 층, U 층과 B4C 층, Th 층과 B4C 층, C 층과 B9C 층, La 층과 B9C 층, U 층과 B9C 층, Th 층과 B9C 층, La 층과 B 층, C 층과 B 층, U 층과 B 층, Th 층과 B 층, La 화합물 층과 B4C 층, U 화합물 층과 B4C 층, Th 화합물 층과 B4C 층, La 화합물 층과 B9C 층, U 화합물 층과 B9C 층, Th 화합물 층과 B9C 층, La 화합물 층과 B 층, U 화합물 층과 B 층, 및 Th 화합물 층과 B 층으로 이루어진 그룹에서 선택되는,
리소그래피 투영 장치. - 제28항에 있어서,
상기 La 화합물은 LaH2, LaH3, LaF3, LaCl3, LaI3, La2O3, LaSe 및 LaTe로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 리소그래피 투영 장치. - 제28항 또는 제29항에 있어서,
상기 U 화합물은 UF3, UF4, UF5, UCl3, UCl4, UCl5, UI3, UI4, UO, UO2, UO3, U3O8, U2O5, U3O7, U4O9, UTe2, UTe3, UN, U2N3 및 U3N2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 리소그래피 투영 장치. - 제28항 내지 제30항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 Th 화합물은 ThO2, ThCl4, ThN, ThF3, ThF4, ThI2, ThI3, ThI4, ThH2, 및 ThSe2로 이루어진 그룹에서 선택된 화합물인, 리소그래피 투영 장치.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US12908708P | 2008-06-04 | 2008-06-04 | |
| US61/129,087 | 2008-06-04 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20110026463A true KR20110026463A (ko) | 2011-03-15 |
| KR101625934B1 KR101625934B1 (ko) | 2016-05-31 |
Family
ID=41035995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020117000110A KR101625934B1 (ko) | 2008-06-04 | 2009-05-20 | 다층 미러 및 리소그래피 장치 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20110080573A1 (ko) |
| EP (1) | EP2283396B1 (ko) |
| JP (1) | JP5497016B2 (ko) |
| KR (1) | KR101625934B1 (ko) |
| CN (1) | CN102047183B (ko) |
| NL (1) | NL2002908A1 (ko) |
| TW (1) | TWI452440B (ko) |
| WO (1) | WO2009147014A1 (ko) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9082521B2 (en) * | 2009-02-13 | 2015-07-14 | Asml Netherlands B.V. | EUV multilayer mirror with interlayer and lithographic apparatus using the mirror |
| US9377695B2 (en) * | 2011-02-24 | 2016-06-28 | Asml Netherlands B.V. | Grazing incidence reflectors, lithographic apparatus, methods for manufacturing a grazing incidence reflector and methods for manufacturing a device |
| JP2012222349A (ja) * | 2011-04-05 | 2012-11-12 | Asml Netherlands Bv | 多層ミラーおよびリソグラフィ装置 |
| JP5951010B2 (ja) * | 2011-06-15 | 2016-07-13 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 多層ミラー、多層ミラーを生成する方法およびリソグラフィ装置 |
| WO2019077735A1 (ja) * | 2017-10-20 | 2019-04-25 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光用ミラー及び極端紫外光生成装置 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH075296A (ja) * | 1993-06-14 | 1995-01-10 | Canon Inc | 軟ｘ線用多層膜 |
| JP3078163B2 (ja) * | 1993-10-15 | 2000-08-21 | キヤノン株式会社 | リソグラフィ用反射型マスクおよび縮小投影露光装置 |
| US5485499A (en) * | 1994-08-05 | 1996-01-16 | Moxtek, Inc. | High throughput reflectivity and resolution x-ray dispersive and reflective structures for the 100 eV to 5000 eV energy range and method of making the devices |
| JPH09260245A (ja) * | 1996-03-21 | 1997-10-03 | Canon Inc | マスクの異物除去装置 |
| TW561279B (en) * | 1999-07-02 | 2003-11-11 | Asml Netherlands Bv | Reflector for reflecting radiation in a desired wavelength range, lithographic projection apparatus containing the same and method for their preparation |
| US6763086B2 (en) * | 2002-09-05 | 2004-07-13 | Osmic, Inc. | Method and apparatus for detecting boron in x-ray fluorescence spectroscopy |
| EP1496521A1 (en) * | 2003-07-09 | 2005-01-12 | ASML Netherlands B.V. | Mirror and lithographic apparatus with mirror |
| JP2005331275A (ja) * | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Risotetsuku Japan Kk | Ｅｕｖ領域の単波長光の強度測定方法 |
| JP2006226733A (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Canon Inc | 軟ｘ線多層膜反射鏡の形成方法 |
| US7336416B2 (en) * | 2005-04-27 | 2008-02-26 | Asml Netherlands B.V. | Spectral purity filter for multi-layer mirror, lithographic apparatus including such multi-layer mirror, method for enlarging the ratio of desired radiation and undesired radiation, and device manufacturing method |
| JP2007198782A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Nikon Corp | 多層膜反射鏡及び露光装置 |
| JP2007329368A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Canon Inc | 多層膜ミラー、評価方法、露光装置及びデバイス製造方法 |
-
2009
- 2009-05-20 EP EP09757397A patent/EP2283396B1/en active Active
- 2009-05-20 CN CN2009801206210A patent/CN102047183B/zh active Active
- 2009-05-20 KR KR1020117000110A patent/KR101625934B1/ko active IP Right Grant
- 2009-05-20 JP JP2011512064A patent/JP5497016B2/ja active Active
- 2009-05-20 US US12/996,036 patent/US20110080573A1/en not_active Abandoned
- 2009-05-20 WO PCT/EP2009/056130 patent/WO2009147014A1/en active Application Filing
- 2009-05-20 NL NL2002908A patent/NL2002908A1/nl not_active Application Discontinuation
- 2009-06-04 TW TW098118588A patent/TWI452440B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2009147014A1 (en) | 2009-12-10 |
| CN102047183B (zh) | 2013-12-18 |
| EP2283396B1 (en) | 2013-03-13 |
| TW201003330A (en) | 2010-01-16 |
| EP2283396A1 (en) | 2011-02-16 |
| KR101625934B1 (ko) | 2016-05-31 |
| US20110080573A1 (en) | 2011-04-07 |
| NL2002908A1 (nl) | 2009-12-07 |
| WO2009147014A9 (en) | 2010-07-01 |
| JP2011522430A (ja) | 2011-07-28 |
| TWI452440B (zh) | 2014-09-11 |
| JP5497016B2 (ja) | 2014-05-21 |
| CN102047183A (zh) | 2011-05-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101694283B1 (ko) | 다층 거울 및 리소그래피 장치 | |
| JP5406602B2 (ja) | 多層ミラー及びリソグラフィ装置 | |
| EP2283388B1 (en) | Radiation system, radiation collector, radiation beam conditioning system, spectral purity filter for a radiation system and method of forming a spectral purity filter | |
| JP5752786B2 (ja) | 多層ミラー及びそのロバスト性を改善する方法 | |
| KR20110084950A (ko) | 컬렉터 조립체, 방사선 소스, 리소그래피 장치 및 디바이스 제조 방법 | |
| KR101625934B1 (ko) | 다층 미러 및 리소그래피 장치 | |
| TWI510821B (zh) | 光譜純度濾光器 | |
| US9046780B2 (en) | Multilayer mirror and lithographic apparatus | |
| JP2006194764A (ja) | 多層膜反射鏡および露光装置 | |
| JP4384082B2 (ja) | かすめ入射ミラー、かすめ入射ミラーを含むリソグラフィ装置、かすめ入射ミラーを提供する方法、かすめ入射ミラーのｅｕｖ反射を強化する方法、デバイス製造方法およびそれによって製造したデバイス | |
| JP2013505593A (ja) | スペクトル純度フィルタ、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 | |
| JP5162560B2 (ja) | フライアイインテグレータ、イルミネータ、リソグラフィ装置および方法 | |
| NL2007852A (en) | Multilayer mirror and lithographic apparatus |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| AMND | Amendment | ||
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| AMND | Amendment | ||
| E601 | Decision to refuse application | ||
| AMND | Amendment | ||
| J201 | Request for trial against refusal decision | ||
| B701 | Decision to grant | ||
| GRNT | Written decision to grant |