KR20110015799A - Roll-brush gap adjusting device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 롤브러시의 간격 조정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판 디스플레이 제조공정에서 기판의 세정을 위한 상부 롤브러시와 하부 롤브러시의 간격을 조정하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for adjusting the gap between roll brushes, and more particularly, to an apparatus for adjusting an interval between an upper roll brush and a lower roll brush for cleaning a substrate in a flat panel display manufacturing process.
일반적으로 평판 디스플레이 제조과정에서는 대형의 유리 기판에 박막의 증착, 마스크의 형성, 식각 등의 공정이 선택적으로 반복되어 요구되는 소자들을 제조한다. 이와 같은 공정의 진행과정에서 해당 공정의 전이나 후, 또는 전후에 기판에서 이물을 제거하는 세정 공정이 진행된다.In general, a flat panel display manufacturing process, such as the deposition of a thin film, the formation of a mask, the etching, etc. are selectively repeated on a large glass substrate to manufacture the devices required. In the process of such a process, a cleaning process is performed to remove foreign substances from the substrate before, after, or before and after the process.
이와 같은 세정공정의 일부에서는 기판의 상부와 하부에 직접 접촉되어 회전하면서 기판을 세정하는 상부 롤브러시와 하부 롤브러시를 사용하고 있다. 상기 상부 롤브러시와 하부 롤브러시는 기판과의 이격된 거리의 조정이 필요하며, 종래에는 이와 같은 롤브러시의 간격을 조절하기 위하여 복잡한 구성의 구동장치를 사용하였다.In some of such cleaning processes, an upper roll brush and a lower roll brush for cleaning the substrate while rotating in direct contact with the upper and lower portions of the substrate are used. The upper roll brush and the lower roll brush require adjustment of the distance away from the substrate, and in the related art, a drive device having a complicated configuration is used to adjust the distance between the roll brushes.
종래 상부 롤브러시와 하부 롤브러시의 간격을 조절하는 장치는 본 출원인이 특허출원한 공개특허 10-2007-0067942호(2007년 6월 29일 공개)에 상세하게 기재되어 있다.Conventionally, the apparatus for adjusting the gap between the upper roll brush and the lower roll brush is described in detail in Japanese Patent Application Publication No. 10-2007-0067942 (published June 29, 2007).
상기 공개특허 10-2007-0067942호에 기재된 바와 같이 종래의 롤브러시 간격을 조정하는 장치들은 롤브러시가 위치하여 기판을 세정하는 세정공간인 상부 배스 하부에 별도로 마련된 공간인 하부 배스에 대부분의 구동 및 지지장치들이 위치하기 때문에 그 하부 배스의 공간 사용효율이 저하되는 문제점이 있었다.As described in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2007-0067942, the apparatus for adjusting the roll brush spacing in the related art is mostly driven in the lower bath, which is a space provided separately under the upper bath, in which the roll brush is positioned to clean the substrate. Since the support devices are located there is a problem that the space use efficiency of the lower bath is reduced.
아울러 상부 배스와 하부 배스의 사이에 다수의 축들이 지나는 통로가 마련되어야 하기 때문에 세정공간인 상부 배스의 기밀 유지가 쉽지 않은 문제점이 있었으며, 장치의 무게가 상대적으로 많이 나가며 제조비용도 증가하는 문제점이 있었다.In addition, there is a problem that it is difficult to maintain the airtightness of the upper bath, which is a cleaning space, because a passage through which a plurality of axes pass between the upper bath and the lower bath is difficult, and the weight of the device is relatively high and the manufacturing cost is also increased. there was.
또한 정확한 간격조정이 이루어졌는지 확인하게 위하여 작업자가 측정도구로 그 간격을 측정해야 하며, 배스내에서 측정작없이 이루어지게 되어 측정자가 육안으로 정화간 간격을 확인하기가 어려워 정확한 간격의 조정이 쉽지 않은 문제점이 있었다.In addition, the operator should measure the gap with a measuring tool to confirm that the correct interval adjustment has been made, and since it is done without measurement in the bath, it is difficult for the operator to check the interval between purifications with the naked eye. There was a problem.
상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 상부 배스측에만 위치하며, 간단한 구조를 가지는 롤브러시의 간격 조정장치를 제공함에 있다.The problem to be solved by the present invention in view of the above problems is to provide a roll brush spacing adjusting device which is located only on the upper bath side, and has a simple structure.
또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 사용자가 육안으로 측정하지 않더라도 롤브러시의 간격을 쉽게 확인할 수 있는 롤브러시의 간격 조정장치를 제공함에 있다.In addition, another problem to be solved by the present invention is to provide a roll brush spacing adjusting device that can easily check the gap of the roll brush even if the user does not measure visually.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 롤브러시의 간격 조정장치는, 상부 롤브러시의 측면측 배스 외측에서 그 상부 롤브러시의 회전축의 측면측에서 그 상부 롤브러시의 회전축을 원호형으로 이동시시키는 상부 간격조정부와; 하부 롤브러시의 측면측 배스 외측에서 그 하부 롤브러시의 회전축의 측면측에서 그 하부 롤브러시의 회전축을 원호형으로 이동시키는 하부 간격조정부를 포함한다.The gap adjusting device of the roll brush of the present invention for solving the above problems is an upper portion for moving the rotary shaft of the upper roll brush in an arc shape on the side of the rotary shaft of the upper roll brush from the side of the upper side side bath of the upper roll brush. A spacing adjuster; And a lower gap adjusting portion for moving the rotary shaft of the lower roll brush in an arc shape on the side of the rotary shaft of the lower roll brush on the outside of the side roll of the lower roll brush.
본 발명은 세정공정이 이루어지는 상부 배스의 측면측에 위치하여 롤브러시의 간격을 조정할 수 있게 되어, 하부 배스에 공간을 보다 여유롭게 사용할 수 있으며, 또한 상부 배스와 하부 배스를 관통하는 구조를 사용하지 않게 되어 세정공 간의 기밀상태 유지가 보다 용이한 효과가 있다.The present invention is located on the side of the upper bath where the cleaning process is performed to adjust the interval of the roll brush, so that the space can be used more leisurely in the lower bath, and do not use a structure that penetrates the upper bath and the lower bath As a result, it is easier to maintain the airtight state between the cleaning holes.
또한 본 발명은 링크구조를 사용하여 임의의 간격으로 상부 롤브러시와 하부 롤브러시를 조정할 수 있게 되어, 그 구조를 단순화함으로써 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention can adjust the upper roll brush and the lower roll brush at any interval using the link structure, there is an effect that can reduce the cost by simplifying the structure.
그리고 본 발명은 링크에 의해 상하 간격이 조정되는 상부 롤브러시와 하부 롤브러시의 간격을 측정하는 게이지를 직접 설치하여 용이하게 상부 롤브러시와 하부 롤브러시의 간격을 확인할 수 있어 정확한 간격의 조정이 가능한 효과가 있다.In addition, the present invention can easily check the gap between the upper roll brush and the lower roll brush by directly installing a gauge for measuring the gap between the upper roll brush and the lower roll brush, the upper and lower intervals of which are adjusted by the link, so that accurate gap adjustment is possible. It works.
이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예의 구성과 작용을 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the present invention configured as described above in detail.
도 1은 본 발명 롤브러시의 간격 조정장치의 구성도이고, 도 2는 도 1의 사시도이다.1 is a configuration diagram of the gap adjusting device of the roll brush of the present invention, Figure 2 is a perspective view of FIG.
도 1 및 도 2를 각각 참조하면 본 발명 롤브러시의 간격 조정장치는, 상부 롤브러시(10)의 측면측 배스(30) 외측에서 그 상부 롤브러시(10)의 회전축(11)의 측면측에서 그 상부 롤브러시(10)의 회전축(11)을 원호형으로 이동시시키는 상부 간격조정부(100)와, 하부 롤브러시(20)의 측면측 배스(30) 외측에서 그 하부 롤브러시(20)의 회전축(21)의 측면측에서 그 하부 롤브러시(20)의 회전축(21)을 원호형으로 이동시키는 하부 간격조정부(200)를 포함하여 구성된다.1 and 2 respectively, the gap adjusting device of the roll brush of the present invention is located at the side of the
상기 상부 간격조정부(100)는 모터 등의 구동수단(도면 미도시)에 의해 회전하면서 리드스크류(120)를 직선운동시키는 동력전달부(110)와, 상기 리드스크류(120)의 일단에 일측이 힌지결합되어 그 리드스크류(120)의 이동에 따른 힘을 전달하는 링크(130)와, 상기 링크(130)의 타측이 힌지 결합되며, 중앙부에서 상기 상부 롤브러시(10)의 회전축(11)을 회전가능한 상태로 지지하고, 상기 링크(130)가 힌지 결합된 부분과 편심된 위치에서 상기 배스(30)에 힌지 결합되어 상기 링크(130)의 직선운동에 따라 원호형으로 운동하는 상부 회전축지지부(140)를 포함하여 구성된다.The upper
상기 하부 간격조정부(200)는 모터 등의 구동수단에 의해 회전하면서 리드스크류(220)를 직선운동시키는 동력전달부(210)와, 상기 리드스크류(220)의 일단에 일측이 힌지결합되어 그 리드스크류(220)의 이동에 따른 힘을 전달하는 링크(230)와, 상기 링크(230)의 타측이 힌지 결합되며, 중앙부에서 상기 하부 롤브러시(20)의 회전축(21)을 회전가능한 상태로 지지하고, 상기 링크(230)가 힌지 결합된 부분과 편심된 위치에서 상기 배스(30)에 힌지 결합되어 상기 링크(230)의 직선운동에 따라 원호형으로 운동하는 하부 회전축지지부(240)를 포함하여 구성된다.The lower
이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤브러시 간격 조정장치의 구성과 작용을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the roll brush spacing device according to a preferred embodiment of the present invention configured as described above in more detail.
먼저, 상부 간격조정부(100)의 동력전달부(110)와 하부 간격 조정부(200)의 동력전달부(210)는 각각 도면에서는 생략된 모터 등의 구동수단에 의해 회전하는 주동기어(111,211)와, 그 주동기어(111,211)의 회전방향을 90도 회전시키는 종동기어(112,212)를 포함하는 베벨기어를 사용할 수 있다.First, the
이와 같은 구성은 동력전달부(110,210)의 일예일 뿐이며 래크와 피니언을 사용하여 회전운동을 리드스크류(120,220)의 직선운동으로 변환시키는 등 모터의 구동력을 리드스크류(120)의 직선운동으로 변경할 수 있는 구성이면 그 구체적인 구성에 무관하게 본 발명에 적용할 수 있다.Such a configuration is only one example of the
이처럼 상기 동력전달부(110,210)를 통해 동력을 전달받은 리드스크 류(120,220)는 직선운동을 하게 된다. 상기 도 1 및 도 2에서는 종동기어(112,212)에 내삽되어 그 종동기어(112,212)의 회전에 의해 리드스크류(120,220)가 회전하면서 직선운동을 하는 구조를 도시하였다.As such, the
상기 리드스크류(120,220)의 끝단에는 링크(130,230)의 일단이 힌지축(131,231)에 의해 회전가능하게 결합된다. 또한 그 리드스크류(120,220)는 직선운동시 자체가 회전을 하는 구성이나 그 링크(130,230)와의 결합부분은 회전하지 않고 직선운동이 가능한 구조가 되도록 한다.One end of the
도 3은 상기 리드스크류(120)의 일실시 구성도이다.3 is a configuration diagram of the
도 3을 참조하면 그 리드스크류(120)와 링크(130)의 연결부분에는 캡(121)의 내측에 리드스크류(120)의 스크류(122)가 삽입되며, 그 스크류(122)가 회전할 때 캡(121)이 회전하지 않고 직선운동만을 할 수 있도록 베어링(123)이 형성된 것일 수 있다. 상기 캡(121)은 상기 링크(130)와 힌지축(131)에 의해 결합된다.Referring to FIG. 3, a
상기 상부 간격조정부(100)의 링크(130)와 상기 하부 간격조정부(200)의 링크(230) 각각의 타단은 각각 상부 간격조정부(100)의 상부 회전축지지부(140)와 하부 간격조정부(200)의 하부 회전축지지부(240)의 일측에 힌지축(132,232)에 의해 힌지 결합된다.The other end of each of the
이때 상기 링크(130,230)는 각각 소정의 각도로 경사지게 상기 상부 회전축지지부(140)와 리드스크류(120), 하부 회전축지지부(240)와 리드스크류(220)에 연 결되어 있다.At this time, the
상기 상부 간격조정부(140)와 하부 간격조정부(240) 각각은 상기 힌지축(132,232)외에 상기 베스(30)에 힌지축(141,241)에 의해 힌지결합되어 있다. 상기 링크(130,230)에 연결되는 힌지축(132,232)과 상기 베스(30)에 연결되는 힌지축(141,241)은 상호 편심된 위치에 위치한다.Each of the upper
이와 같은 구조에 의해 상기 상부 간격조정부(100)의 리드스크류(120)가 직선운동하여 그 캡(121)이 상기 상부 회전축지지부(140)에 가까워지는 방향으로 이동하면, 상기 링크(130)에 의한 힘은 상부 회전축지지부(140)를 상향으로 이동시키는 방향으로 작용하며, 그 상부 회전축지지부(140)가 베스(30)에 힌지축(141)을 중심으로 회전하게 된다.When the
따라서 상부 회전축지지부(140)의 중앙측에서 회전가능한 상태로 고정되어 있는 상부 롤브러시(10)의 회전축(11)은 그 상부 회전축지지부(140)의 회전과 함께 반시계방향으로 원호를 따라 이동하게 된다.Therefore, the
이처럼 상부 롤브러시(10)의 회전축(11)이 원호방향으로 이동하게 되면, 그 상부 롤브러시(10)는 세정대상물인 기판의 상면으로부터 거리가 멀어지게 되며, 상기 리드스크류(120)가 반대로 회전하여 캡(121)이 그 상부 회전축지지부(140)로부터 멀어지는 방향으로 이동하면 링크(130)에 의해 상부 회전축지지부(140)는 시계 방향으로 회전하게 되어 그 회전축(11)이 원호를 따라 하향 이동하게 된다.As such, when the
이처럼 본 발명은 링크(130)를 사용하여 상부 롤브러시(10)와 기판 상면 간의 간격을 조정할 수 있게 된다.As such, the present invention may adjust the gap between the
이와 동일한 원리로 상기 하부 간격조정부(200)의 리드스크류(120)의 직선운동의 방향에 따라 상기 하부 롤브러시(20)의 회전축(21)을 회전가능한 상태로 지지하는 하부 회전축지지부(240)도 원호를 따라 회전하면서 하부 롤브러시(20)의 간격을 조정할 수 있게 된다.In the same principle, the lower rotating shaft support
상기 상부 회전축지지부(140)는 시계반대 방향으로 회전할 때 회전축(11)을 상향으로 올려 간격을 넓히는 것이나, 상기 하부 회전축지지부(240)는 시계방향으로 회전할 때 회전축(21)을 하향으로 이동시켜 간격을 넓히는 것으로, 이와 같은 방향성은 상부 롤브러시(10)와 하부 롤브러시(20)가 중앙의 기판을 기준으로 간격을 조정하는 구조에 의해 발생된다.The upper
위에서 상세히 설명한 본 발명 상부 간격조정부(100)와 하부 간격조정부(200)의 구성은 베스(10)의 일측면 또는 양측면에 마련될 수 있다.The configuration of the upper
상기 상부 간격조정부(100) 및 하부 간격조정부(200)의 이동 정도를 검출하 기 위하여 도 1과 도 2에 도시한 바와 같이 게이지(40,50)가 마련될 수 있으며, 그 게이지(40,50)의 측정결과에 따라 상기 상부 롤브러시(10) 및 하부 롤브러시(20)의 간격을 다시 조정하거나 조정 목표까지의 조정이 보다 빠르고 용이하게 된다.
상기 게이지(40,50)는 탐침부분의 눌림정도에 따라 거리를 측정하는 것으로 아날로그 또는 디지털 방식의 게이지(40,50)를 모두 사용할 수 있다.The
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤브러시의 간격 조정장치의 구성도이다.1 is a block diagram of an apparatus for adjusting a gap of a roll brush according to a preferred embodiment of the present invention.
도 2는 도 1의 사시도이다.2 is a perspective view of FIG. 1.
도 3은 도 1에서 리드스크류의 일실시 상세 구성도이다. 3 is a detailed configuration diagram of one embodiment of the lead screw in FIG.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
10:상부 롤브러시 11,21:회전축10:
20:하부 롤브러시 30:배스20: Lower roll brush 30: Bath
100:상부 간격조정부 110,210:동력전달부100: upper gap adjustment unit 110,210: power transmission unit
120,220:리드스크류 130,230:링크120,220: Lead screw 130,230: Link
140:상부 회전축지지부 240:하부 회전축지지부140: upper rotary shaft support 240: lower rotary shaft support
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