KR20120066847A - Contact type cleaning device for large area substrate - Google Patents

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KR20120066847A
KR20120066847A KR1020100128140A KR20100128140A KR20120066847A KR 20120066847 A KR20120066847 A KR 20120066847A KR 1020100128140 A KR1020100128140 A KR 1020100128140A KR 20100128140 A KR20100128140 A KR 20100128140A KR 20120066847 A KR20120066847 A KR 20120066847A
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정희철
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

PURPOSE: A contact type cleaning device for a large-area substrate is provided to set a position for mounting a roll brush by applying an optical sensor comprising a light emitting unit and light receiving unit in a supporting panel supporting the roll brush so that torsion is detected on a real time basis. CONSTITUTION: A contact type cleaning device for a large-area substrate comprises a pair of supporting panels(20,30), an optical sensor(40), and a vertical height control unit(50). The pair of the supporting panels supports both end part of a roll brush to be vertically moved or rotated. The optical sensor comprises a plurality of light emitting units(41) and light receiving units(42). The optical sensor is referred to set a position for mounting the roll brush. The optical sensor senses torsion. The vertical height control unit controls a height by vertically moving the roll brush.

Description

대면적 기판의 접촉식 세정장치{CONTACT TYPE CLEANING DEVICE FOR LARGE AREA SUBSTRATE}CONTACT TYPE CLEANING DEVICE FOR LARGE AREA SUBSTRATE}

본 발명은 대면적 기판의 접촉식 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 구조를 단순화하고, 롤브러시의 설치 위치를 정확하게 판단할 수 있으며, 세정장치의 이상을 실시간으로 검출할 수 있는 대면적 기판의 접촉식 세정장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a contact cleaning apparatus for a large area substrate, and more particularly, a large area substrate capable of simplifying the structure, accurately determining the installation position of the roll brush, and detecting abnormality of the cleaning apparatus in real time. It relates to a contact cleaning device of.

일반적으로 평판 디스플레이의 제조에 사용되는 대면적의 유리 기판을 물리적으로 세정하기 위한 접촉식 세정장치로서 롤브러시를 사용한다.
In general, a roll brush is used as a contact cleaning apparatus for physically cleaning a large-area glass substrate used in the manufacture of flat panel displays.

대면적 유리기판의 크기가 점차 대형화되면서 그 롤브러시 또한 점차 그 길이가 길어지고 있으며, 그 장축의 롤브러시를 장착할 때 좌우의 위치를 동일한 수준으로 맞추기가 용이하지 않게 된다.
As the size of the large-area glass substrate is gradually increased, the length of the roll brush is also gradually increasing, and when the roll brush of the long axis is mounted, it is not easy to adjust the position of the left and right to the same level.

이와 같은 문제점을 감안한 종래 접촉식 세정장치는 롤브러시의 주변으로 다수의 기준축들을 마련하여, 각 기준축과의 설치 거리 및 각도를 맞춰 롤브러시를 장착하게 되며, 이와 같은 종래 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.
The conventional contact cleaning device in view of such a problem is provided with a plurality of reference axes around the roll brush, and the roll brush is mounted in accordance with the installation distance and angle with each reference axis, such a conventional large area contact of the substrate The configuration and operation of the type washing apparatus will be described in more detail.

도 1은 종래 접촉식 세정장치의 개략적인 사시도이다.1 is a schematic perspective view of a conventional contact cleaning device.

도 1을 참조하면 종래 접촉식 세정장치는, 상하로 2열로 배치되는 구조가 2단으로 마련되어 대면적 기판의 상면과 저면에 접촉되어 세정하는 다수의 롤브러시(1)와, 상기 롤브러시(1)들의 양단을 각각 고정하며, 상기 롤브러시(1)들이 원호를 따라 상향 또는 하향으로 이동할 수 있는 원호형 장공을 포함하는 한 쌍의 고정패널(2)과, 상기 한 쌍의 고정패널(2)을 상호 연결하되, 상기 롤브러시(1)들과는 소정의 간격으로 이격된 위치에 위치하여, 상기 롤브러시(1)의 장착시 장착위치의 기준으로 사용되는 기준축들(3)과, 상기 고정패널(2)의 외측에 각각 위치하며, 상기 롤브러시(1)를 원호형을 따라 상향 또는 하향 이동하여 기판과의 거리를 조정하는 높이제어부(4)를 포함하여 구성된다.
Referring to FIG. 1, a conventional contact cleaning apparatus includes a plurality of roll brushes 1 having two structures arranged in two rows in an up and down direction and contacting and cleaning upper and lower surfaces of a large-area substrate, and the roll brushes 1. And a pair of fixed panels 2 and a pair of fixed panels 2 each having an arc-shaped hole in which the roll brushes 1 can move upward or downward along an arc. Interconnection, but are positioned at a position spaced apart from the roll brushes 1 at predetermined intervals, the reference shafts 3 used as a reference of the mounting position when the roll brush 1 is mounted, and the fixed panel. Located on the outside of the (2), and comprises a height control unit (4) for adjusting the distance to the substrate by moving the roll brush (1) up or down along the arc.

이하, 상기와 같이 구성되는 종래 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, the configuration and operation of a conventional contact cleaning device of a large-area substrate configured as described above will be described in more detail.

먼저, 롤브러시(1)는 상부 롤브러시와 하부 롤브러시를 포함하며, 세정의 효과를 높이기 위하여 기판의 진행방향에 대하여 2단으로 배치되는 구조를 사용한다. 이러한 구조는 필요에 따라 변경될 수 있다.First, the roll brush 1 includes an upper roll brush and a lower roll brush, and uses a structure arranged in two stages with respect to the advancing direction of the substrate in order to increase the cleaning effect. This structure can be changed as necessary.

상기 롤브러시(1)는 하나 또는 다수로 필요에 따라 적용될 수 있는 것이며, 그 롤브러시(1)의 양단은 고정패널(2)에 의해 지지되며, 그 고정패널(2)의 외측에는 도면에서는 생략되었지만 그 롤브러시(1)를 회전시키는 구동부가 위치하여 롤브러시(1)를 회전시킨다.One or more of the roll brushes 1 may be applied as necessary, and both ends of the roll brushes 1 are supported by the fixing panel 2, and the outer side of the fixing panel 2 is omitted in the drawings. However, the driving unit for rotating the roll brush 1 is located to rotate the roll brush (1).

상기 롤브러시(1)는 필요에 따라 높이가 조절되어야 하며, 이를 위해 실린더의 수평왕복운동을 원호형의 운동으로 전환가능한 링크구조를 사용하는 높이제어부(4)가 마련되어 있다.
The roll brush 1 is to be adjusted in height as necessary, for this purpose is provided with a height control unit 4 using a link structure capable of converting the horizontal reciprocating motion of the cylinder into arc-shaped motion.

상기 롤브러시(1)의 길이가 점차 길어지게 됨에 따라 롤브러시(1)를 최초 장착할 때나 브러시포의 교체 등을 위해 탈거한 후, 재장착할 때 사용할 때 롤브러시(1)의 양단 위치를 정확하게 맞추기 위하여 상기 고정패널(2)에는 다수의 기준축(3)이 그 롤브러시(1)와 평행한 방향으로 마련되어 있어, 롤브러시(1)의 장착시 그 기준축(3)들과의 거리와 각도를 측정하여 설치를 하게 된다.
As the length of the roll brush 1 becomes gradually longer, the position of both ends of the roll brush 1 is used when the roll brush 1 is first mounted or when it is removed for replacement of a brush cloth or the like. In order to accurately fit, the fixing panel 2 is provided with a plurality of reference axes 3 in a direction parallel to the roll brush 1, so that the distance to the reference axes 3 when the roll brush 1 is mounted. It is installed by measuring angle with.

그러나 기준축(3)들에 간섭되어 롤브러시(1)를 장착하기가 용이하지 않아, 롤브러시(1)의 장착 및 수리, 교체 등의 작업이 매우 어려운 문제점이 있었다. 또한 장치가 크고 중량이 무거우며, 제조비용이 증가하는 문제점이 있었다. However, since it is not easy to mount the roll brush 1 due to interference with the reference shafts 3, there is a problem that the installation, repair, and replacement of the roll brush 1 are very difficult. In addition, the device is large and heavy, there was a problem that the manufacturing cost increases.

아울러 장기간 사용을 하다 보면, 장축의 롤브러시(1)와 기준축(3)들의 사용에 의해 양측의 위치가 서로 다른 틀어짐 현상이 발생할 수 있다. In addition, long-term use, the use of the long axis of the roll brush (1) and the reference axis (3) may cause a distorted phenomenon different from each other.

이러한 틀어짐 현상은 새로운 기준점을 사용하여 측정하지 않고서는 육안으로의 판단이 어려우며, 틀어짐의 발생에 의해 기판의 일부가 세정되지 않거나, 기판이 손상되는 등의 불량이 발생할 수 있다.
This distortion phenomenon is difficult to visually determine without measuring using a new reference point, the defect may occur, such as a part of the substrate is not cleaned or the substrate is damaged by the generation of the distortion.

아울러 종래 롤브러시의 높이 조절은 롤브러시(1)를 원호를 따라 이동하면서 높이가 조절되도록 구성되며, 이와 같은 높이의 조절에서는 원호를 따라 이동하는 높이의 예측이 어려워, 제어량에 따른 정확한 높이의 제어가 용이하지 않은 문제점이 있었다.In addition, the height adjustment of the conventional roll brush is configured to adjust the height while moving the roll brush (1) along the arc, the height of the adjustment is difficult to predict the height moving along the arc, the control of the exact height according to the control amount There was a problem that was not easy.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 틀어짐의 발생을 실시간으로 검출할 수 있는 대면적 기판의 접촉식 세정장치를 제공함에 있다.The problem to be solved by the present invention in view of the above problems is to provide a contact cleaning apparatus for a large-area substrate that can detect the occurrence of distortion in real time.

또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 롤브러시를 장착, 수리, 교체할 때 주변설비에 간섭되는 것을 방지할 수 있는 대면적 기판의 접촉식 세정장치를 제공함에 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a contact cleaning apparatus for a large-area substrate that can prevent interference with peripheral equipment when mounting, repairing, or replacing a roll brush.

그리고 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 장치를 간소화하고 경량화할 수 있는 대면적 기판의 접촉식 세정장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a contact cleaning apparatus for a large area substrate which can simplify and reduce the weight of the apparatus.

아울러 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 수직방향으로 롤브러시의 높이를 조절할 수 있는 대면적 기판의 접촉식 세정장치를 제공함에 있다.
In addition, another object of the present invention is to provide a contact cleaning apparatus for a large-area substrate that can adjust the height of the roll brush in the vertical direction.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 대면적 기판의 접촉식 세정장치는, 롤브러시의 양단을 상하 이동 및 회전 가능하도록 지지하는 한 쌍의 지지패널과, 상기 한 쌍의 지지패널 각각에 발광부와 수광부가 다수로 위치하여 상기 롤브러시의 장착위치의 기준이되며, 틀어짐을 감지하는 광센서와, 상기 한 쌍의 지지패널 각각의 외측에서 동기를 맞춰 상기 롤브러시를 수직방향으로 상하 이동시켜 높이를 조절하는 수직높이조절부를 포함한다.
In order to solve the above problems, the contact cleaning apparatus of a large-area substrate of the present invention includes a pair of support panels for supporting both ends of the roll brush so as to be movable up and down and rotatable, and a light emitting part on each of the pair of support panels. And a plurality of light-receiving units are used as a reference for the mounting position of the roll brush, and the roll brush is moved vertically in the vertical direction in synchronization with the outside of each of the pair of support panels and an optical sensor for detecting the twist. It includes a vertical height adjustment to adjust.

본 발명 대면적 기판의 접촉식 세정장치는, 롤브러시를 지지하는 지지패널에 발광부와 수광부를 포함하는 광센서를 적용하여 롤브러시의 장착 위치를 설정하며, 틀어짐의 발생을 실시간으로 감시할 수 있어, 기판의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.The contact cleaning apparatus of the large-area substrate of the present invention applies an optical sensor including a light emitting unit and a light receiving unit to a support panel for supporting a roll brush to set the mounting position of the roll brush, and to monitor the occurrence of distortion in real time. There is an effect that can prevent damage to the substrate.

또한 기준축을 사용하지 않기 때문에 주변 설비에 간섭되지 않고, 롤브러시를 장착, 수리, 교체 할 수 있어, 작업시간을 단축하고 작업의 편의성을 향상시킬 수 있는 효과가 있고, 장치의 중량을 줄일 수 있는 효과가 있다.In addition, since the reference axis is not used, the roll brush can be installed, repaired, and replaced without interfering with the surrounding equipment, thereby reducing the work time and improving the convenience of work, and reducing the weight of the device. It works.

그리고 본 발명은 모터를 사용하여 롤브러시를 상향 또는 하향으로 높이 조절을 할 수 있도록 구성되어, 롤브러시의 높이를 보다 정확하게 조절할 수 있는 효과가 있다.
And the present invention is configured to be able to adjust the height of the roll brush up or down by using a motor, there is an effect that can more accurately adjust the height of the roll brush.

도 1은 종래 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 사시도이다.
도 3은 도 2에서 높이조절부의 상세 구성도이다.1 is a perspective view of a conventional contact cleaning device of a large area substrate.
2 is a perspective view of a contact cleaning apparatus for a large area substrate according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is a detailed configuration diagram of the height adjustment unit in FIG.

이하, 본 발명 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
Hereinafter, with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the contact cleaning apparatus of the present invention a large-area substrate will be described in detail.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 구성도이다.2 is a block diagram of a contact cleaning apparatus for a large area substrate according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 접촉식 세정장치는, 다수의 롤브러시(10)의 양단을 지지하는 한 쌍의 지지패널(20,30)과, 상기 한 쌍의 지지패널(20,30)에 발광부(41)와 수광부(42)가 각각 부착되어 상기 지지패널(20,30)의 틀어짐을 검출하는 광센서(40)와, 상기 한 쌍의 지지패널(20,30) 각각에 마련되어 상기 롤브러시(10)의 높이를 수직방향으로 조절하는 수직높이제어부(50)를 포함하여 구성된다.
Referring to FIG. 2, a contact cleaning apparatus for a large area substrate according to a preferred embodiment of the present invention includes a pair of support panels 20 and 30 for supporting both ends of a plurality of roll brushes 10, and the pair The light emitting unit 41 and the light receiving unit 42 are attached to the support panels 20 and 30 of the optical sensor 40 to detect the distortion of the support panels 20 and 30, and the pair of support panels ( 20 and 30 are provided in each of the vertical height control unit 50 for adjusting the height of the roll brush 10 in the vertical direction.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, the configuration and operation of the contact cleaning apparatus for a large area substrate according to a preferred embodiment of the present invention configured as described above will be described in more detail.

먼저, 다수의 롤브러시(10)는 상하배치 단위로 기판(도면 미도시)의 이송방향에 대하여 2단으로 배치된다. 이는 하나의 예이며, 상하 한 쌍의 롤브러시(10) 만을 사용할 수도 있다.
First, the plurality of roll brushes 10 are disposed in two stages with respect to the transfer direction of the substrate (not shown) in units of vertical arrangement. This is an example, and only a pair of top and bottom roll brushes 10 may be used.

상기 롤브러시(10)의 양단은 한 쌍의 지지패널(20,30)에 의해 지지되며, 이때의 지지상태는 그 지지패널(20,30)에 마련된 수직 장공에 롤브러시(10)의 회전축이 삽입된 상태이며, 롤브러시(10)의 회전과 수직방향으로의 이동이 가능한 구조이다.
Both ends of the roll brush 10 are supported by a pair of support panels 20 and 30, and the support state at this time is the axis of rotation of the roll brush 10 in the vertical slot provided in the support panels 20 and 30. In the inserted state, the roll brush 10 can rotate and move in the vertical direction.

도면에는 생략되었지만 상기 롤브러시(10)는 지지패널(20)의 외측에 마련된 모터에 의해 구동력을 전달받아 회전하면서, 이송되는 기판에 접촉되어 그 기판을 세정하게 된다.
Although not shown in the drawing, the roll brush 10 is rotated while receiving a driving force by a motor provided on the outside of the support panel 20 to be in contact with the substrate being transported to clean the substrate.

상기 지지패널(20)의 안쪽면에는 발광부(41)가 다수로 마련되어 있으며, 그 지지패널(20)과 마주하는 지지패널(30)의 안쪽면에는 그 발광부(41)에 대응하는 위치에 수광부(42)가 마련되어 있다. The inner surface of the support panel 20 is provided with a plurality of light emitting portion 41, the inner surface of the support panel 30 facing the support panel 20 in the position corresponding to the light emitting portion 41 The light receiving part 42 is provided.

즉, 상기 발광부(41)와 수광부(42)를 포함하는 광센서(40)가 다수로 마련되어 있으며, 상기 롤브러시(10)의 중량과 회전, 장기간의 사용에 따라 틀어짐이 발생하는 경우 그 발광부(41)의 광이 수광부(42)에 수광되지 않으며, 이를 경보 등의 알림수단을 통해 작업자에게 실시간으로 알림으로써, 롤브러시(10)의 틀어짐으로 인해 발생할 수 있는 공정불량 또는 기판손상을 방지할 수 있게 된다.
That is, a plurality of optical sensors 40 including the light emitting part 41 and the light receiving part 42 are provided, and when the roll brush 10 is distorted due to the weight and rotation of the roll brush 10 and long-term use, the light is emitted. The light of the unit 41 is not received by the light receiving unit 42, and this is notified to the worker in real time through a notification means such as an alarm, thereby preventing a process defect or substrate damage that may occur due to the roll brush 10 being distorted. You can do it.

또한 상기 발광부(41)의 광은 상기 롤브러시(10)의 설치시 그 롤브러시(10)의 설치위치를 특정할 수 있는 기준으로 사용될 수 있다. 종래에는 이러한 기준으로 기준축을 사용하였으나, 본 발명에서는 광을 기준으로 하기 때문에 접촉식 세정장치의 중량을 대폭 줄일 수 있다.
In addition, the light of the light emitting part 41 may be used as a reference for specifying the installation position of the roll brush 10 when the roll brush 10 is installed. Conventionally, the reference axis is used as such a reference, but in the present invention, since the reference is based on light, the weight of the contact cleaning device can be greatly reduced.

또한 롤브러시(10)의 장착, 수리, 교체 과정에서 종래의 기준축과 같이 간섭을 일으키는 설비가 없기 때문에 장착 및 수리를 할 때 공구를 사용하기가 보다 용이하게 되며, 따라서 장착, 수리 및 교체 작업시간을 단축할 수 있다.In addition, since there is no equipment that causes interference in the process of mounting, repairing, or replacing the roll brush 10, the tool is easier to use when mounting and repairing, and thus, mounting, repairing, and replacement work is performed. It can save time.

이와 같은 작업시간의 단축은 생산성을 향상시키는 효과가 있고, 또한 작업자의 작업 편의성을 확보할 수 있게 된다.
This shortening of the working time has the effect of improving the productivity, and also it is possible to ensure the convenience of the worker's work.

도 3은 상기 수직높이제어부(50)의 구성도이다.3 is a configuration diagram of the vertical height control unit 50.

도 3을 참조하면 상기 수직높이제어부(50)는, 지지패널(20)의 외측에서 상부측 롤브러시의 회전축(11)을 지지하는 상부지지블록(55)과, 상기 상부지지블록(55)의 하부에서 하부측 롤브러시의 회전축(12)을 지지하는 하부지지블록(56)과, 상기 상부지지블록(55)의 상단 중앙과 상기 하부지지블록(56)의 하단 중앙에 각각 위치하여 상부모터(51) 및 하부모터(51)의 스크류회전에 의새 상기 상부지지블록(55)과 하부지지블록(56)의 높이를 조절하는 상부볼스크류(53) 및 하부볼스크류(54)와, 상기 상부지지블록(55)과 하부지지블록(56)의 양측면에서 이동을 가이드하는 가이드부(57)를 포함하여 구성된다.
Referring to FIG. 3, the vertical height control unit 50 includes an upper support block 55 for supporting the rotation shaft 11 of the upper roll brush on the outside of the support panel 20, and an upper support block 55 of the upper support block 55. A lower support block 56 supporting the rotating shaft 12 of the lower roll brush at a lower portion thereof, and an upper motor positioned at an upper center of the upper support block 55 and a lower center of the lower support block 56, respectively. 51 and the upper ball screw 53 and the lower ball screw 54 to adjust the height of the upper support block 55 and the lower support block 56 by screw rotation of the lower motor 51, and the upper support It comprises a guide portion 57 for guiding movement in both sides of the block 55 and the lower support block 56.

상기 지지패널(20)에는 상하로 긴형태의 장공(21)이 마련되어 있으며, 그 장공(21)에 삽입된 회전축(11,12)들은 상부지지블록(55)과 하부지지블록(56)에 각각 회전가능하게 지지된다.
The support panel 20 is provided with an elongated long hole 21, and the rotary shafts 11 and 12 inserted into the long hole 21 are respectively provided on the upper support block 55 and the lower support block 56, respectively. Rotatably supported.

상기 상부지지블록(55)의 상부측에 상기 상부모터(51)가 위치하며, 그 상부모터(51)는 상기 상부볼스크류(53)에 삽입된 스크류를 회전시킨다. 이때 회전방향과 회전수에 따라 상기 상부지지블록(55)의 상하 이동방향과 정도가 결정된다.The upper motor 51 is located on the upper side of the upper support block 55, the upper motor 51 rotates the screw inserted into the upper ball screw (53). At this time, the up and down movement direction and the degree of the upper support block 55 is determined according to the rotation direction and the rotation speed.

하부지지블록(55)의 이동도 상기 상부지지블록(55)의 이동과 마찬가지로, 하부지지블록(55)의 하부측에 위치하는 하부모터(52)에 의해 회전하는 스크류가 삽입된 하부볼스크류(54)에 의해 상하 이동이 되며, 그 방향과 정도는 역시 하부모터(52)의 회전수에 따라 결정된다.
Like the movement of the upper support block 55, the movement of the lower support block 55, the lower ball screw is inserted into the rotating screw by the lower motor 52 located on the lower side of the lower support block 55 ( 54) is moved up and down, the direction and the degree is also determined according to the rotational speed of the lower motor (52).

상기 지지패널(20)과 한 쌍을 이루는 지지패널(30)에도 동일한 수직높이제어부(50)가 마련되어 있으며, 상부모터(51)와 하부모터(52) 각각의 동기를 맞춰 제어를 함으로써 정확한 높이의 조절이 가능하게 된다.The same vertical height control unit 50 is also provided in the support panel 30 which is paired with the support panel 20, and controls the upper motor 51 and the lower motor 52 in synchronization with each other to achieve a precise height. Adjustment is possible.

상기 상부지지블록(55)과 하부지지블록(56)의 양측단은 엘엠가이드 등의 가이드부(57)에 의해 지지되어, 그 수직 방향으로의 이동이 안정되게 지지된다.Both end portions of the upper support block 55 and the lower support block 56 are supported by the guide portion 57 such as the LM guide, so that the movement in the vertical direction is stably supported.

상기 높이의 조절로 인하여 기판이 통과하는 간격은 디지털 인디케이터(digital indicator)로 측정이 가능하다.
Due to the adjustment of the height, the interval through which the substrate passes can be measured by a digital indicator.

이와 같은 구성에 의하여 본 발명에 따른 대면적 기판의 접촉식 세정장치는 설치, 보수 및 교체 작업이 보다 용이하게 되며, 실시간으로 틀어짐 등의 이상 발생여부를 확인할 수 있고, 롤브러시의 높이를 정확하게 제어함이 가능하다.
By such a configuration, the contact cleaning apparatus for the large-area substrate according to the present invention can be more easily installed, repaired, and replaced, and it is possible to check whether abnormalities such as twisting occur in real time, and precisely control the height of the roll brush. It is possible.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 대면적 기판의 접촉식 세정장치에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.
As described above, the contact cleaning apparatus for a large-area substrate according to the present invention has been described in detail with reference to a preferred embodiment, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, but the claims and the detailed description of the invention and It is possible to carry out various modifications within the scope of the accompanying drawings, which also belongs to the present invention.

10:롤브러시 11,12:회전축
20,30:지지패널 40:광센서
41:발광부 42:수광부
50:수직높이제어부10: roll brush 11, 12: rotating shaft
20,30: support panel 40: light sensor
41: light emitting unit 42: light receiving unit
50: vertical height control unit

Claims (2)

롤브러시의 양단을 상하 이동 및 회전 가능하도록 지지하는 한 쌍의 지지패널;
상기 한 쌍의 지지패널 각각에 발광부와 수광부가 다수로 위치하여 상기 롤브러시의 장착위치의 기준이되며, 틀어짐을 감지하는 광센서; 및
상기 한 쌍의 지지패널 각각의 외측에서 동기를 맞춰 상기 롤브러시를 수직방향으로 상하 이동시켜 높이를 조절하는 수직높이조절부를 포함하는 대면적 기판의 접촉식 세정장치.
A pair of support panels for supporting both ends of the roll brush so as to be movable upward and downward;
A plurality of light sensors and light receivers disposed on each of the pair of support panels, the optical sensor being a reference of the mounting position of the roll brush, and detecting a misalignment; And
A contact cleaning apparatus for a large-area substrate comprising a vertical height adjustment unit for adjusting the height by moving the roll brush up and down in the vertical direction in synchronization with the outside of each of the pair of support panels.
제1항에 있어서,
상기 수직높이조절부는,
상기 한 쌍의 지지패널 외측에서 상기 롤브러시의 양단을 회전가능하게 지지하는 지지블록;
스크류를 회전시키는 모터;
상기 스크류가 삽입되어 스크류의 회전에 의한 변위를 상기 지지블록에 전달하는 볼스크류; 및
상기 지지블록의 상하 이동을 지지하는 가이드부를 포함하는 대면적 기판의 접촉식 세정장치.The method of claim 1,
The vertical height adjustment unit,
A support block rotatably supporting both ends of the roll brush outside the pair of support panels;
A motor for rotating the screw;
A ball screw to which the screw is inserted to transfer a displacement due to the rotation of the screw to the support block; And
Contact cleaning apparatus for a large area substrate comprising a guide for supporting the vertical movement of the support block.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160076325A (en) * 2014-12-22 2016-06-30 주식회사 케이씨텍 Device of setting brush posture of brush cleaning apparatus and setting method using same

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