KR20110004685U - 대면적 기판의 언로딩 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 대면적 기판의 언로딩 장치에 관한 것으로, 기판을 이송하여 언로딩 위치에서 정지시키는 이송축들과, 상기 이송축들의 사이에 위치하여 그 이송되는 기판을 지지하는 아이들롤러를 구비하며, 상기 기판이 정지한 상태에서 하강하여 진입공간을 제공하는 아이들롤러부와, 상기 아이들롤러부의 하강시 상기 정지된 기판을 정렬시키는 정렬핀과, 상기 정렬된 기판을 언로딩하기 위하여 상기 진입공간에 진입하여 기판을 언로딩하는 로봇 아암을 포함한다. 이와 같은 구성의 본 고안은 기판을 정렬하는 수단과 로봇 아암이 진입할 수 있는 공간을 만드는 수단을 분리함으로써, 기판의 정렬과 로봇 아암의 진입 공간을 확보가 동시에 이루어지도록 하고, 기판을 로봇 아암이 언로딩할 때 초기상태로의 복귀가 가능하도록 하여 기판의 언로딩시간을 단축하여, 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

기판, 언로딩, 정렬

Description

대면적 기판의 언로딩 장치{Unloading apparatus for large area substrate}

본 고안은 대면적 기판의 언로딩 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 정렬시키고 로봇으로 언로딩하는 장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이 장치의 제조를 위한 대면적 기판은 다수의 이송축들에 의해 이송이 이루어지면서 공정의 처리가 이루어진다.

이와 같이 기판의 이송과 함께 공정의 처리가 이루어지는 설비들은 기판을 외부에서 로딩하는 로딩부와 처리가 완료된 기판을 외부로 언로딩하는 언로딩부를 포함하여 구성된다.

상기 로딩부와 언로딩부는 동일한 위치 또는 다른 위치에 설치될 수 있으며, 외부와 상기 로딩부 또는 언로딩부간의 기판의 이송은 로봇 아암(robot arm)을 사용하여 이루어진다.

상기 로봇 아암을 통한 이송의 경우 기판의 정렬 상태가 완전하게 이루어질 수 있도록 상하 이동이 가능한 정렬핀을 사용하고 있으며, 그 기판을 이송하는 이 송축들의 사이에는 상기 로봇 아암이 삽입될 수 있는 공간이 필요하게 된다.

종래에는 정렬핀을 상승시켜 기판을 정렬하고, 그 정렬핀을 더욱 상승시켜 기판을 들어올려 로봇 아암이 진입할 공간을 마련하였으며, 이와 같은 종래 대면적 기판의 언로딩 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1 내지 도 4는 각각 기판을 언로딩하는 종래 대면적 기판의 언로딩 장치의 동작상태 순서도이다.

도 1 내지 도 4를 각각 참조하면 종래 대면적 기판의 언로딩 장치는, 대면적의 기판(S)을 이송하는 이송축(1)과, 상기 이송축(1)에 의해 이송되는 기판(S)이 정지한 상태에서 그 기판(S)을 정렬시키는 정렬핀(2)과, 상기 정렬핀(2)이 기판(S)을 상승시켜 그 기판(S)을 상기 이송축(1)으로부터 이격시킨 상태에서 진입하여 기판(S)을 외부로 언로딩하는 로봇 아암(3)을 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 종래 대면적 기판의 언로딩 장치의 구성과 작용을 상기 도 1 내지 도 4의 동작 상태에 따라 구분하여 설명한다.

먼저, 도 1에 도시한 바와 같이 기판(S)이 이송축(1)을 통해 이송되어 언로딩 위치에서 정지한다.

그 다음, 도 2에 도시한 바와 같이 기판(S)의 이송방향에 대하여 수직인 방 향의 양측에서 상기 정렬핀(2)이 기판(S)측으로 이동하여 상기 기판(S)을 정렬시킨다.

도 5는 상기 도 2의 평면도로서, 이송축(1)들의 사이에서 그 이송축(1)의 길이 방향을 따라 정렬핀(2)들이 이동하여 기판(S)을 정렬시킨다.

그 다음 도 3에 도시한 바와 같이 상기 정렬핀(2)이 기판(S)을 들어올려 그 기판(S)과 이송축(1)의 사이에 공간을 마련하고, 그 공간에 로봇 아암(3)이 진입하도록 한다.

이와 같이 정렬핀(2)을 상승시킬 때 기판(S)에는 떨림이 발생할 수 있어 기판이 손상될 수 있으며, 그 떨림을 최소화하기 위해서는 상기 정렬핀(2)의 상승속도를 최소화해야 한다.

이와 같이 정렬핀(2)을 이용한 기판(S)의 상승은 시간이 많이 소요되는 과정이며, 그 과정이 완료되면 로봇 아암(3)이 상기 기판(S)의 상승으로 생긴 진입공간에 진입한다.

그 다음, 도 4에 도시한 바와 같이 상기 로봇 아암(3)이 기판(S)을 언로딩시키고, 다시 정렬핀(2)이 하부로 이동한 후, 최초의 위치로 복귀한다.

이와 같이 종래에는 정렬핀(2)을 이용하여 기판(S)의 정렬과 로봇 아암(3)이 진입할 수 있는 공간을 마련하기 때문에 언로딩에 필요한 단계가 많이 필요로 하 며, 기계적인 동작의 속도가 빠르지 않기 때문에 기판(S)을 정렬하고 언로딩시키는 시간이 많이 소요되어 생산성이 저하된다.

또한 상기와 같은 개별단계를 수행하는 시간의 지연, 즉 언로딩시간의 지체는 로딩과 언로딩이 동시에 이루어지는 장비에서는 더욱 심각하게 생산성을 저하시키는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 고안이 해결하고자 하는 과제는, 기판을 언로딩하는 시간을 단축할 수 있는 대면적 기판의 언로딩 장치를 제공함에 있다.

또한 기판을 정렬핀으로 상승시키지 않고 로봇 아암의 진입공간을 제공하여 기판의 떨림에 의한 손상을 방지할 수 있는 대면적 기판의 언로딩 장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 고안은, 기판을 이송하여 언로딩 위치에서 정지시키는 이송축들과, 상기 이송축들의 사이에 위치하여 그 이송되는 기판을 지지하는 아이들롤러를 구비하며, 상기 기판이 정지한 상태에서 하강하여 진입공간을 제공하는 아이들롤러부와, 상기 아이들롤러부의 하강시 상기 정지된 기판을 정렬시키는 정렬핀과, 상기 정렬된 기판을 언로딩하기 위하여 상기 진입공간에 진입하여 기판을 언로딩하는 로봇 아암을 포함한다.

상기와 같이 구성되는 본 고안은 기판을 정렬하는 수단과 로봇 아암이 진입할 수 있는 공간을 만드는 수단을 분리함으로써, 기판의 정렬과 로봇 아암의 진입 공간을 확보가 동시에 이루어지도록 하고, 기판을 로봇 아암이 언로딩할 때 초기상 태로의 복귀가 가능하도록 하여 기판의 언로딩시간을 단축하여, 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

이하, 상기와 같은 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 6 내지 도 8은 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 언로딩 장치의 동작 상태 순서도이다.

도 6 내지 도 8을 각각 참조하면 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 언로딩 장치는, 기판(S)을 이송하느 이송축(10)들의 사이에서 아이들(idle)방식으로 회전하며, 기판(S)이 정렬될 때 하강하고, 기판(S)이 언로딩 될 때 그 이송축(10)들과 동일한 높이로 회복되는 아이들롤러부(20)와, 상기 아이들롤러부(20)의 하강시 진입하여 기판(S)을 정렬시키는 정렬핀(30)과, 상기 아이들롤러부(20)의 하강시 발생되는 공간에 진입하여 상기 정렬핀(30)에 의한 기판(S)의 정렬이 완료되면 기판(S)을 언로딩하는 로봇 아암(40)을 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안 대면적 기판의 언로딩장치의 구성과 작용을 상기 도 6 내지 도 8의 처리 상태에 순서에 입각하여 상세히 설명한다.

먼저 도 6에 도시한 바와 같이 대면적 기판(S)이 이송축(10)들에 의해 이송될 때, 상기 아이들롤러부(20)는 그 이송축(10)들과 동일한 높이에 위치하여 기판(S)이 언로딩 위치로 이동이 가능하게 한다.

상기 언로딩 위치로 이동한 기판(S)은 그 이동이 중단되어 정지한다.

그 다음, 도 7에 도시한 바와 같이 상기 기판(S)이 완전히 정지된 상태에서 상기 아이들롤러부(20)는 아래로 이동하여 상기 로봇 아암(40)이 진입할 공간을 확보한다.

이와 같은 아이들롤러부(20)의 하강과 동시에 그 기판(S)의 좌우측에서는 정렬핀(30)이 진입하여 기판(S)의 측면부를 중앙으로 밀어 기판(S)을 정렬시킨다.

기판(S)의 정렬이 완료되면 로봇 아암(40)이 상기 아이들롤러부(20)의 하강으로 만들어지는 공간으로 진입한다.

즉, 본 고안은 기판(S)의 정렬과 함께 로봇 아암(40)이 기판(S)의 하부측에서 그 기판(S)을 들어올릴 수 있도록 진입하는 공간을 동시에 제공하게 되며, 이와 같은 처리는 종래 기판을 정렬한 후 다시 기판을 소정의 높이로 들어올리는 것에 비하여 소요시간의 많은 단축을 이룰 수 있다.

또한 종래에는 정렬핀을 이용하여 기판(S)을 소정의 높이로 상승시켜 로봇 아암이 진입하는 공간을 마련하였으나, 본 고안에서는 상기 아이들롤러부(20)를 하강시켜 로봇 아암(40)의 진입공간을 제공하기 때문에 기판(S)의 떨림 발생이 없어 기판이 손상되는 것을 방지하여, 언로딩에 대한 신뢰성이 향상된다.

그 다음, 도 8에 도시한 바와 같이 상기 아이들롤러부(20)의 하강으로 제공되는 공간에 진입된 로봇 아암(40)이 상기 기판(S)을 들어올려 언로딩한다.

이와 같은 언로딩과 동시에 상기 아이들롤러부(20)는 위쪽으로 상승하여 그 아이들롤러의 위치를 상기 이송축(10)과 동일한 높이에 위치시켜 다음 기판의 이송시 그 기판의 이송을 지지하게 된다.

이와 같이 본 고안은 기판(S)을 정렬시키는 수단과, 그 기판(S)의 로봇 아암(40)을 통한 언로딩의 처리가 가능하도록 진입공간을 제공하는 수단이 각각 분리되어 있기 때문에 정렬과 진입공간의 제공이 동시에 이루어질 수 있으며, 따라서 대면적 기판의 언로딩에 필요한 시간을 단축할 수 있게 된다.

도 1 내지 도 4는 종래 대면적 기판의 언로딩 장치의 동작 상태 순서도이다.

도 5는 종래 정렬핀의 진입을 설명하기 위한 평면도이다.

도 6 내지 도 8은 본 고안에 따른 대면적 기판의 언로딩 장치의 동작 상태 순서도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10:이송축 20:아이들롤러부

30:정렬핀 40:로봇 아암

Claims (3)

1. 기판을 이송하여 언로딩 위치에서 정지시키는 이송축들;

   상기 이송축들의 사이에 위치하여 그 이송되는 기판을 지지하는 아이들롤러를 구비하며, 상기 기판이 정지한 상태에서 하강하여 진입공간을 제공하는 아이들롤러부;

   상기 아이들롤러부의 하강시 상기 정지된 기판을 정렬시키는 정렬핀; 및

   상기 정렬된 기판을 언로딩하기 위하여 상기 진입공간에 진입하여 기판을 언로딩하는 로봇 아암을 포함하는 대면적 기판의 언로딩 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 아이들롤러부의 하강과 상기 정렬핀을 통한 기판의 정렬은 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 언로딩 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 로봇 아암이 상기 기판을 언로딩할 때 상기 아이들롤러부가 상승하여 상기 아이들롤러의 높이가 상기 이송축의 높이와 동일하게 하는 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 언로딩 장치.

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