KR20110004605U - LCD Pannel Test Probe apparatus having Film Sheet type - Probe - Google Patents

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Abstract

테스트 프로브 장치를 개시한다. 장치는 저면 선단에 경사면을 가진 프로브 블록과, 일단에 액정 패널의 신호단자들에 직접 접촉되는 복수의 프로브 단자들이 형성되고, 타단에 테스트 신호를 입력하기 위한 복수의 입력단자들을 구비하고, 복수의 프로브 단자들이 형성된 일단이 프로브 블록의 경사면 선단에 대응되게 설치되는 프로브 시트와, 프로브 블록의 경사면 선단부를 제외하고 나머지 저면과 측면을 덮는 커버를 가진다. 따라서 프로브 시트의 프로그 단자의 뾰족한 에지가 액정 패널의 신호 단자에 직접 접촉되므로 접촉 특성이 양호하여 테스트 신뢰성을 향상시킬 수 있다. A test probe device is disclosed. The apparatus includes a probe block having an inclined surface at a bottom end thereof, a plurality of probe terminals formed at one end thereof in direct contact with signal terminals of the liquid crystal panel, and a plurality of input terminals for inputting a test signal at the other end thereof, One end of which the probe terminals are formed has a probe sheet installed to correspond to the inclined front end of the probe block, and a cover that covers the remaining bottom and side surfaces except for the inclined front end of the probe block. Therefore, since the sharp edge of the probe terminal of the probe sheet is in direct contact with the signal terminal of the liquid crystal panel, the contact characteristics are good, thereby improving test reliability.

Description

필름 시트 형 프로브를 가진 액정 패널 테스트 프로브 장치 {LCD Pannel Test Probe apparatus having Film Sheet type - Probe}Liquid Crystal Panel Test Probe Device with Film Sheet Probe {LCD Pannel Test Probe apparatus having Film Sheet type-Probe}

본 고안은 테스트 프로브 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 LCD(액정표시장치)의 제조 과정에서 제조된 액정패널의 불량여부를 검사하기 위하여 필름 시트형 프로브를 가진 테스트 프로브 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a test probe device, and more particularly, to a test probe device having a film sheet-type probe for inspecting whether a liquid crystal panel manufactured in a manufacturing process of an LCD (liquid crystal display device) is defective.

LCD는 패널 가장자리 부분에 전기적 신호(영상신호, 동기신호, 색상신호 등)가 인가되도록 하는 수 십 내지 수 백 개의 신호단자들이 고밀도로 배치되도록 하고 있다. 화면 해상도가 높아질 수록 이들 신호단자들의 패턴 사이즈 및 각 단자들 사이의 간격은 수백 마이크로미터에서 수십 마이크로미터로 더욱 더 미세해지고 있다. LCDs have high density of dozens or hundreds of signal terminals that allow electrical signals (video signals, sync signals, color signals, etc.) to be applied to panel edges. As the screen resolution increases, the pattern size of these signal terminals and the spacing between the terminals become even finer, from hundreds of micrometers to tens of micrometers.

LCD 패널의 생산단계에서 최종 모듈 작업 전에 패널이 정상적으로 제작되었는지를 검사하기 위해 점등 검사를 하게 된다. 이는 LCD 패널이 정상적으로 제작되었는지를 검사하는 공정으로 전기적인 신호를 LCD 패널의 신호단자에 인가하여 주는 탐침과 이를 지지하는 지지도구가 필요하게 되는 데 이 탐침 부위를 테스트 프로브 유니트라 한다. 테스트 프로브 유니트는 탐침 형상에 따라 크게 니들형과 필 름 시트형으로 구분된다. In the production stage of the LCD panel, the lighting test is conducted to check whether the panel is normally manufactured before the final module operation. This is a process of checking whether the LCD panel is manufactured normally. A probe for applying an electrical signal to the signal terminal of the LCD panel and a supporting tool for supporting the same are required. This probe portion is called a test probe unit. The test probe unit is divided into needle type and film sheet type according to the probe shape.

종래의 니들형 테스트 프로브 유니트는 프로브 마운트에 고정되는 프로브 블록과 액정패널의 신호단자에 접촉되는 탐침부재와, 탐침부재와 전기적으로 접속되는 구동필름부재와, 플랙시블 접속부재를 포함한다. 따라서, 테스트 제어부에서 제공된 전기적 신호는 플랙시블 접속부재-구동필름부재-탐침부재를 통하여 액정패널의 신호단자에 인가된다. The conventional needle type test probe unit includes a probe block fixed to a probe mount, a probe member contacting a signal terminal of a liquid crystal panel, a driving film member electrically connected to the probe member, and a flexible connection member. Therefore, the electrical signal provided from the test control unit is applied to the signal terminal of the liquid crystal panel through the flexible connection member-driving film member-probe member.

탐침부재는 초기에는 수백 마이크로미터의 두께를 가진 수십 개의 금속 탐침들을 수십 내지 수백 마이크로 미터 간격으로 배열하는 구조로 형성되었다. 이와 같은 금속 탐침구조는 액정 화면의 해상도가 높아질수록 고정밀의 미세 가공이 요구되므로 가공비용이 상승되어 테스트 장비 값을 상승시키는 주요 원인 이었다. The probe member was initially formed with a structure in which dozens of metal probes having a thickness of several hundred micrometers are arranged at intervals of several tens to hundreds of micrometers. Such a metal probe structure is a major cause of the increase in the cost of the test equipment because the processing cost is increased because the high resolution of the liquid crystal screen is required to fine processing.

등록특허 제586007호, 제720378호, 공개특허 제2006-89968호, 제2007-51246호 등에서는 고가의 금속 탐침을 없애고, 구동 필름 부재에 형성된 신호단자들을 직접 액정 패널의 신호단자들과 접촉시키는 프로브 탐침으로 사용하는 필름 시트형 테스트 프로브 장치를 개시한다. Patent Nos. 586007, 720378, Published Patent Nos. 2006-89968, 2007-51246, etc. eliminate expensive metal probes, and directly contact signal terminals formed on the driving film member with signal terminals of the liquid crystal panel. Disclosed is a film sheet test probe device for use as a probe probe.

이들 특허들은 테스트 제어부와 액정 패널의 신호단자 사이의 전송 라인이 짧아져 신호의 노이즈를 감소시켜 검사 오류를 방지할 수 있고, 테스트 프로브 장치의 구성부품을 감소시켜서 테스트 장비 값을 다운시킬 수 있는 장점이 있다.These patents have the advantage of shortening the transmission line between the test control unit and the signal terminal of the liquid crystal panel to reduce the noise of the signal, thereby preventing inspection error, and reducing the test equipment value by reducing the components of the test probe device. There is this.

그러나 종래의 필름형 탐침 방식들은 필름에 인쇄회로기판 방식으로 형성된 단자패턴들을 프로브 탐침으로 사용함에 있어서 프로브 블록의 저면 수평면에 필름을 접착시킨 구조를 사용하므로 단자들 간의 수직 오차나 먼지 등에 의한 단자면의 오염 등으로 여전히 접속상태가 불안정하여 라인 결함과 프로빙 누락 중 어느 것에 의한 불량인지의 판별이 불명확하여 검사의 신뢰성이 낮은 문제점이 지적되고 있다. However, the conventional film type probe method uses a structure in which a film is adhered to the bottom horizontal surface of the probe block in using terminal patterns formed by using a printed circuit board method on a film as a probe probe. The connection status is still unstable due to contamination, etc., and it is unclear whether the defect is caused by a line defect or a missing probing.

따라서 본 고안의 목적은 프로브 블록의 저면 선단을 경사면으로 형성함으로써 필름에 형성된 프로브 단자들의 에지가 액정 패널의 신호단자들에 접촉되게 하여 프로브 단자들의 수직 오차에 의한 접촉 불량이나 먼지 등의 오염원에 의한 접촉 불량 등을 줄일 수 있어서 보다 정확한 검사가 가능하므로 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있는 테스트 프로브 장치를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to form the bottom end of the probe block as an inclined surface so that the edges of the probe terminals formed on the film contact the signal terminals of the liquid crystal panel so that the contact terminals due to the vertical error of the probe terminals or contamination source such as dust The present invention provides a test probe device that can improve inspection reliability because contact defects can be reduced and more accurate inspection can be performed.

본 고안의 다른 목적은 프로브 단자들과 액정 패널 신호단자들 사이의 얼라인이 용이한 테스트 프로브 장치를 제공하는 데 있다. Another object of the present invention is to provide a test probe device that can be easily aligned between probe terminals and liquid crystal panel signal terminals.

본 고안의 또 다른 목적은 프로브 단자들의 먼지 등으로부터의 오염을 감소시킬 수 있는 테스트 프로브 장치를 제공하는 데 있다. Still another object of the present invention is to provide a test probe device capable of reducing contamination from dust and the like of probe terminals.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 장치는 저면 선단에 경사면을 가진 프로브 블록과, 일단에 액정 패널의 신호단자들에 직접 접촉되는 복수의 프로브 단자들이 형성되고, 타단에 테스트 신호를 입력하기 위한 복수의 입력단자들을 구비하고, 복수의 프로브 단자들이 형성된 일단이 프로브 블록의 경사면 선단에 대응되게 설치되는 프로브 시트와, 프로브 블록의 경사면 선단부를 제외하고 나머지 저면과 측면을 덮는 커버를 가진 것을 특징으로 한다. The apparatus of the present invention for achieving the above object is a probe block having an inclined surface at the bottom end, a plurality of probe terminals directly contacting the signal terminals of the liquid crystal panel is formed at one end, a plurality for inputting a test signal at the other end It is characterized in that it has an input terminal of the probe sheet, one end of which a plurality of probe terminals are formed is installed to correspond to the inclined front end of the probe block, and a cover covering the remaining bottom and side except for the inclined front end of the probe block .

또한 테스트 프로브 장치는 프로브 시트와 프로브 블록의 경사면 사이에 완충 시트를 더 구비하고, 복수의 프로브 단자들이 형성된 접촉면에 먼지 오염을 방 지하기 위한 코팅층이 형성된 것이 바람직하다. In addition, the test probe device preferably further includes a buffer sheet between the probe sheet and the inclined surface of the probe block, and a coating layer for preventing dust contamination is formed on the contact surface on which the plurality of probe terminals are formed.

또한 테스트 프로브 장치는 프로브 시트 선단 양측에 얼라인 가이드 홈이 형성된 것이 바람직하다.In addition, the test probe device preferably has alignment guide grooves formed on both sides of the probe sheet tip.

본 고안의 일 실시예에 따른 테스트 프로브 장치는 필름 시트에 형성된 프로브 단자들의 에지가 액정 패널의 신호 단자들에 직접 접촉되므로 프로빙 누락에 의한 오검사를 줄일 수 있어서 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 또한 프로브 단자들의 접촉부를 제외한 나머지 부분들은 코팅하여 먼지의 접촉을 차단할 수 있으므로 먼지 등의 오염으로 인한 검사 불량을 방지할 수 있다. 그리고 양 측에는 얼라인 가이드 홈이 형성되어 있으므로 얼라인을 용이하게 한다. 또한 완충시트가 장착되어 단자들 사이의 수직 오차로 인한 접촉 불량을 줄일 수 있다. In the test probe device according to the exemplary embodiment of the present invention, since the edges of the probe terminals formed on the film sheet are in direct contact with the signal terminals of the liquid crystal panel, it is possible to reduce the erroneous inspection due to missing probing, thereby improving inspection reliability. In addition, the remaining parts except the contacts of the probe terminals may be coated to block the contact of dust, thereby preventing inspection defects caused by contamination such as dust. And alignment guide grooves are formed on both sides to facilitate alignment. In addition, the buffer sheet is mounted to reduce the poor contact due to the vertical error between the terminals.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 고안을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 본 고안은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 고안을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 고안의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail the present invention. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

도 1은 본 고안에 의한 필름 시트형 프로브를 가진 테스트 프로브 장치의 바람직한 일 실시예의 사시도이고, 도 2는 도 1의 측면도이고, 도 3은 도 2의 A 부분 의 확대도이고, 도 4는 도 1의 정면도이고, 도 5는 도 1의 저면도이다. 1 is a perspective view of a preferred embodiment of a test probe device having a film sheet-like probe according to the present invention, FIG. 2 is a side view of FIG. 1, FIG. 3 is an enlarged view of a portion A of FIG. 2, and FIG. 4 is FIG. 5 is a bottom view of FIG. 1.

도면을 참조하면 본 고안에 따른 프로브 장치(100)는 프로브 블록(110), 프로브 시트(120), 커버(130), 접촉시트(140)를 포함한다. Referring to the drawings, the probe device 100 according to the present invention includes a probe block 110, a probe sheet 120, a cover 130, and a contact sheet 140.

프로브 블록(110)은 상부 블록(112)과 하부 블록(114)을 포함한다. 상부 블록(112)은 상면에 고정나사 구멍(112a)과 가이드 홈(112b)이 형성되어 프로브 마운트에 고정나사로 고정된다. 하부 블록(114)은 상부 블록에 결합되고 저면(114a)과 정면(114b)은 경사면을 이룬다. 저면(114a)과 정면(114b)은 서로 만나는 모서리에서 예각을 이룬다. 즉 정면(114b)은 가상 수직선을 기준으로 마이너스 방향(시계방향)으로 소정 각도 예컨대 2~15°정도 기울어진 경사면을 이루고 저면(114a)은 가상 수평선을 기준으로 플러스 방향(반시계방향)으로 소정 각도 예컨대 5~20° 정도 기울어진 경사면을 이룬다.The probe block 110 includes an upper block 112 and a lower block 114. The upper block 112 has a fixing screw hole 112a and a guide groove 112b formed on the upper surface thereof, and is fixed to the probe mount with the fixing screw. The lower block 114 is coupled to the upper block and the bottom surface 114a and the front surface 114b form an inclined surface. The bottom surface 114a and the front surface 114b form an acute angle at the corners which meet each other. That is, the front surface 114b forms an inclined surface inclined at a predetermined angle, for example, 2 to 15 ° in the negative direction (clockwise) with respect to the virtual vertical line, and the bottom surface 114a is predetermined in the positive direction (counterclockwise) with respect to the virtual horizontal line. Make an inclined plane at an angle of, for example, 5 to 20 degrees.

하부 블록(114)의 저면(114a) 선단부 경사면에는 프로브 시트(120)가 접합된다. 또한 하부 블록(114)의 저면과 양 측면은 커버(130)에 의해 감싸여진다. 커버(130)는 양측판이 체결나사(132)에 의해 하부 블록(114)의 양측면에 체결된다. The probe sheet 120 is bonded to the inclined surface of the front end portion 114a of the lower block 114. In addition, the bottom and both sides of the lower block 114 is wrapped by the cover 130. Both sides of the cover 130 are fastened to both sides of the lower block 114 by fastening screws 132.

프로브 시트(120)는 통상의 프로브 유니트의 구동 집적회로(미도시)가 실장되는 플렉시블 회로기판으로 구동 집적회로를 중심으로 일측에는 구동 집적회로의 출력단자들과 연결되는 복수의 프로브 단자 배선들이 일정 간격으로 형성되고 타측에는 구동 집적회로의 입력단자들과 연결되는 복수의 입력 단자 배선들이 일정 간격으로 형성된다. The probe sheet 120 is a flexible circuit board on which a driving integrated circuit (not shown) of a conventional probe unit is mounted, and a plurality of probe terminal wires connected to output terminals of the driving integrated circuit are constant at one side of the driving integrated circuit. The plurality of input terminal wires formed at intervals and connected to the input terminals of the driving integrated circuit are formed at regular intervals.

접촉 시트(140)는 플렉시블 인쇄회로기판(FPC) 필름 시트로 형성되고 검사 장치의 제어부와 프로브 시트(120) 사이에 테스트 신호를 연결한다. The contact sheet 140 is formed of a flexible printed circuit board (FPC) film sheet and connects a test signal between the control unit of the inspection apparatus and the probe sheet 120.

커버(130)는 프로브 블록(110) 저면에서 프로브 시트(120)과 접촉시트(140)의 연결부를 보호하기 위한 것이다. The cover 130 is to protect the connection between the probe sheet 120 and the contact sheet 140 on the bottom surface of the probe block 110.

프로브 시트(120)는 완충 시트(122), 절연시트(124), 코팅층(126)을 포함한다. 절연시트(124)에는 프로브 단자들로 제공되는 도전 전극층(124a)이 일정 간격으로 복수개 배열된다. The probe sheet 120 includes a buffer sheet 122, an insulating sheet 124, and a coating layer 126. In the insulating sheet 124, a plurality of conductive electrode layers 124a provided as probe terminals are arranged at regular intervals.

완충 시트(122)는 프로브 단자(124a) 접촉시에 접촉 압력의 일부를 흡수하고 접촉 압력에 제거되면 원래의 두께로 복원되는 탄성 특성을 가진다. 따라서 접촉부의 각 단자들이 서로 다른 수직 오차를 가지더라도 완충 시트(122)에 의해 이들 오차를 흡수하여 접촉불량을 완화시킨다. 완층 시트(122)는 절연시트(124)의 사이즈 보다 크게 제작되어 절연시트 에지로부터 일정 간격의 얼라인 공간을 형성한다. 따라서 절연시트(124)의 좌우 양측에서는 얼라인 가이드 홈(128)을 형성하게 된다. (검토요망) The buffer sheet 122 has an elastic characteristic that absorbs a part of the contact pressure upon contact with the probe terminal 124a and is restored to its original thickness when removed to the contact pressure. Therefore, even though each terminal of the contact portion has a different vertical error, the buffer sheet 122 absorbs these errors to alleviate the contact failure. The complete sheet 122 is made larger than the size of the insulating sheet 124 to form an align space of a predetermined interval from the edge of the insulating sheet. Therefore, the alignment guide grooves 128 are formed at both left and right sides of the insulating sheet 124. (Please review)

절연시트(124)는 폴리 아미드와 같은 통상적인 FPC의 베이스로 형성되고 그 위에 통상의 인쇄회로패턴 형성기술로 복수의 프로브 단자들이 형성된다. The insulating sheet 124 is formed of a base of a conventional FPC such as polyamide, and a plurality of probe terminals are formed thereon by a conventional printed circuit pattern forming technique.

완층시트(122)의 선단은 경사면(114a)의 선단에 얼라인되게 저면에 접착되고 완충시트(122)에 얼라인 간격을 두고 절연시트(124)가 접착된다.The front end of the complete sheet 122 is bonded to the bottom surface to be aligned with the front end of the inclined surface 114a, and the insulating sheet 124 is bonded to the buffer sheet 122 at an alignment interval.

절연시트(124)의 선단부의 접촉부 간격(d)을 제외하고 나머지 배선영역들은 코팅층(126)으로 코팅된다. 코팅층(126)은 완충시트(122)와 달리 딱딱한 재질로 구성되어 먼지 등으로 오염되는 것을 방지할 뿐만 아니라 접촉부가 접촉시 일률적으 로 동일 수평면을 이루면서 접촉되게 한다. Except for the contact spacing d of the tip of the insulating sheet 124, the remaining wiring areas are coated with the coating layer 126. Unlike the buffer sheet 122, the coating layer 126 is made of a hard material to prevent contamination with dust and the like, and to make contact with the contact part while forming the same horizontal plane.

절연시트(124)의 프로브 단자들의 수는 액정 표시 장치의 TAB IC 블록에 해당하는 패드 수와 동일하다. 즉, SXGA(1280x1024의 해상도)의 경우에는 3840개의 패드가 형성되어 있고, TAB IC는 10개가 부착되므로, TAB IC 블록에 해당하는 패드 수는 384개가 된다. 따라서, 384개의 프로브로 단자들을 가진다. The number of probe terminals of the insulating sheet 124 is equal to the number of pads corresponding to the TAB IC block of the liquid crystal display. That is, in the case of SXGA (1280x1024 resolution), 3840 pads are formed and 10 TAB ICs are attached, so the number of pads corresponding to the TAB IC block is 384. Thus, 384 probes have terminals.

이와 같이 구성된 본 고안의 프로브 장치는 프로브 블록(110)의 저면이 경사면을 이루고 이 경사면에 필름 시트 형 프로브 단자들이 접착된 구조를 가지므로 프로브 단자의 선단 에지가 액정패널의 신호단자의 접촉면에 접촉된다. 따라서 접촉이 정확하고 완벽하게 이루어지므로 접촉불량에 의한 검사 오류를 방지할 수 있다. The probe device of the present invention configured as described above has a structure in which a bottom surface of the probe block 110 forms an inclined surface and a film sheet type probe terminal is bonded to the inclined surface, so that the leading edge of the probe terminal contacts the contact surface of the signal terminal of the liquid crystal panel. do. Therefore, the contact is made accurately and completely, thereby preventing inspection errors due to poor contact.

상술한 바와 같이 본 고안은 액정 패널의 생산라인에서 패널의 제조불량 검사시에 프로빙 불량을 현저하게 줄일 수 있으므로 검사 신뢰성을 향상시키고 검사 장비의 제작비용을 절감시킬 수 있어서 액정 패널의 생산원가를 다운시킬 수 있다. 또한 프로브 시트만 교체하면 다양한 제품군에 대한 검사가 가능하므로 검사 장비의 호환성을 향상시킨다. As described above, the present invention can significantly reduce probing defects during poor manufacturing inspection of the panel in the production line of the liquid crystal panel, thereby improving inspection reliability and reducing the manufacturing cost of the inspection equipment, thereby reducing the production cost of the liquid crystal panel. You can. In addition, the replacement of the probe sheet allows inspection of a wide range of products, improving the compatibility of the inspection equipment.

도 1은 본 고안에 의한 필름 시트형 프로브를 가진 테스트 프로브 장치의 바람직한 일 실시예의 사시도. 1 is a perspective view of a preferred embodiment of a test probe device having a film sheet-like probe according to the present invention.

도 2는 도 1의 측면도. 2 is a side view of FIG. 1;

도 3은 도 2의 A 부분의 확대도.3 is an enlarged view of a portion A of FIG. 2.

도 4는 도 1의 정면도.4 is a front view of FIG. 1;

도 5는 도 1의 저면도.5 is a bottom view of FIG. 1.

Claims (4)

저면 선단에 경사면을 가진 프로브 블록;A probe block having an inclined surface at a bottom end thereof; 일단에 액정 패널의 신호단자들에 직접 접촉되는 복수의 프로브 단자들이 형성되고, 타단에 테스트 신호를 입력하기 위한 복수의 입력단자들을 구비하고, 상기 복수의 프로브 단자들이 형성된 일단이 상기 프로브 블록의 경사면 선단에 대응되게 설치되는 프로브 시트;At one end, a plurality of probe terminals directly contacting the signal terminals of the liquid crystal panel are formed, and a plurality of input terminals for inputting a test signal at the other end thereof, and one end at which the plurality of probe terminals are formed is an inclined surface of the probe block. A probe sheet installed to correspond to the tip; 상기 프로브 블록의 경사면 선단부를 제외하고 나머지 저면과 측면을 덮는 커버를 가진 것을 특징으로 하는 필름 시트형 테스트 프로브 장치.A film sheet type test probe device having a cover covering the remaining bottom and side except for the inclined front end portion of the probe block. 제1항에 있어서, 상기 테스트 프로브 장치는 The method of claim 1, wherein the test probe device 상기 프로브 시트와 상기 프로브 블록의 경사면 사이에 완충 시트를 더 구비한 것을 특징으로 하는 필름 시트형 테스트 프로브 장치.And a buffer sheet is further provided between the probe sheet and the inclined surface of the probe block. 제1항에 있어서, 상기 테스트 프로브 장치는 The method of claim 1, wherein the test probe device 상기 복수의 프로브 단자들이 형성된 접촉면에 먼지 오염을 방지하기 위한 코팅층이 형성된 것을 특징으로 하는 필름 시트형 테스트 프로브 장치. The film sheet type test probe device, characterized in that the coating layer is formed on the contact surface formed with the plurality of probe terminals to prevent dust contamination. 제1항에 있어서, 상기 테스트 프로브 장치는 The method of claim 1, wherein the test probe device 상기 프로브 시트 선단 양측에 얼라인 가이드 홈이 형성된 것을 특징으로 하 는 필름 시트형 테스트 프로브 장치. Film sheet type test probe device, characterized in that the alignment guide grooves are formed on both sides of the probe sheet front end.
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CN105280122A (en) * 2014-07-25 2016-01-27 可迪爱思株式会社 Device and method for testing display panel

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