KR20110000231A - 스크라이빙 헤드 및 이를 포함하는 기판 절단 장치 - Google Patents

스크라이빙 헤드 및 이를 포함하는 기판 절단 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20110000231A
KR20110000231A KR1020090057637A KR20090057637A KR20110000231A KR 20110000231 A KR20110000231 A KR 20110000231A KR 1020090057637 A KR1020090057637 A KR 1020090057637A KR 20090057637 A KR20090057637 A KR 20090057637A KR 20110000231 A KR20110000231 A KR 20110000231A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
scriber
substrate
elastic body
elasticity
driving unit
Prior art date
Application number
KR1020090057637A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101048068B1 (ko
Inventor
권병삼
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020090057637A priority Critical patent/KR101048068B1/ko
Publication of KR20110000231A publication Critical patent/KR20110000231A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101048068B1 publication Critical patent/KR101048068B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/033—Apparatus for opening score lines in glass sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/037—Controlling or regulating
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

스크라이빙 헤드는 구동부, 스크라이버, 제1 탄성체 및 제2 탄성체를 포함한다. 구동부는 직선 구동력을 제공한다. 스크라이버는 구동부의 하부에 배치되고, 하단부에 기판을 스크라이빙하기 위한 휠이 장착된다. 제1 탄성체는 구동부와 스크라이버의 사이를 연결하고, 구동부의 신장 구동에 의해서 스크라이버가 휠을 통해 기판을 가압하도록 제1 탄성을 제공한다. 제2 탄성체는 제1 탄성체와 인접한 위치에서 구동부와 스크라이버를 연결하고, 스크라이버가 기판을 가압할 때 스크라이버의 자체 무게에 의한 압력을 일부 상쇄시키기 위하여 제1 탄성과 반대되는 방향으로 제2 탄성을 제공한다. 따라서, 스크라이버가 기판을 가압할 때 스크라이버 자체 무게에 의한 압력을 일부 상쇄시킴으로써, 스크라이버의 가압력에 의해 박막화되는 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있다.

Description

스크라이빙 헤드 및 이를 포함하는 기판 절단 장치{SCRIBING HEAD AND APPARATUS FOR CUTTING A GLASS INCLUDING THE SAME}
본 발명은 스크라이빙 헤드 및 이를 포함하는 기판 절단 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 디스플레이 패널을 제조하는데 사용되는 유리 재질의 기판을 스크라이빙하기 위한 스크라이빙 헤드 및 이를 포함하여 상기 기판을 절단하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정을 이용하여 영상을 표시하는 디스플레이 패널은 유리 재질의 기판에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor) 또는 컬러 필러(color filter)를 형성하고, 상기 박막 트랜지스터가 형성된 기판과 상기 컬러 필터가 형성된 기판을 사이에 액정이 주입된 상태로 부착함으로써 제조된다.
이러한 기판은 상기 박막 트랜지스터 또는 상기 컬러 필터를 반도체 소자의 제조 공정과 유사한 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정 등을 통하여 상기 기판들 각각에 형성한 다음, 사용자가 원하는 사이즈로 절단하기 위하여 기판 절단 장치를 통해 절단 공정을 거치게 된다.
상기 기판 절단 장치는 상기 기판을 상부에 놓여진 상태로 이송시키기 위한 기판 이송부, 상기 기판의 상부에 배치되어 상기 기판을 스크라이빙하기 위한 스크라이빙 헤드, 상기 기판을 스크라이빙하도록 상기 스크라이빙 헤드를 이송시키기 위한 헤드 이송부 및 상기 스크라이빙된 기판을 절단하기 위한 기판 절단부를 포함한다.
여기서, 상기 스크라이빙 헤드는 직선 구동력을 제공하는 구동부, 상기 구동부의 하부에 배치되며 하단부에 상기 기판을 실질적으로 스크라이빙하기 위한 휠이 장착된 스크라이버 및 상기 구동부와 상기 스크라이버를 연결하여 상기 구동부의 신장 구동에 의해서 상기 스크라이버가 상기 휠을 통해 상기 기판을 가압하도록 탄성을 제공하는 탄성체를 포함한다.
그러나, 최근 디스플레이 패널의 박막화에 따라 상기 기판의 두께가 매우 얇아지는 추세에 있어서 상기 스크라이버가 상기 기판을 가압할 때 상기 스크라이버 자체 무게의 압력 때문에, 상기 휠의 마모로 상기 구동부의 신장 구동을 상승시킬 경우 상기 스크라이버의 가압력이 과압으로 작용하여 상기 기판을 파손시키는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 스크라이버 가압력에 의해 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있는 스크라이빙 헤드를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 스크라이빙 헤드를 포함하는 기판 절단 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 스크라이빙 헤드는 구동부, 스크라이버, 제1 탄성체 및 제2 탄성체를 포함한다.
상기 구동부는 직선 구동력을 제공한다. 상기 스크라이버는 상기 구동부의 하부에 배치되고, 하단부에 기판을 스크라이빙하기 위한 휠이 장착된다.
상기 제1 탄성체는 상기 구동부와 상기 스크라이버의 사이를 연결하고, 상기 구동부의 신장 구동에 의해서 상기 스크라이버가 상기 휠을 통해 상기 기판을 가압하도록 제1 탄성을 제공한다.
상기 제2 탄성체는 상기 제1 탄성체와 인접한 위치에서 상기 구동부와 상기 스크라이버를 연결하고, 상기 스크라이버가 상기 기판을 가압할 때 상기 스크라이버의 자체 무게에 의한 압력을 일부 상쇄시키기 위하여 상기 제1 탄성과 반대되는 방향으로 제2 탄성을 제공한다.
이에, 상기 스크라이빙 헤드는 상기 제2 탄성체와 상기 구동부의 사이 및 상 기 제2 탄성체와 상기 스크라이버의 사이 중 적어도 하나의 부위에서 상기 제2 탄성체에 연결된 상태로 상기 구동부 또는 상기 스크라이버에 체결되어 상기 제2 탄성을 조절하기 위한 조절 나사를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 스크라이빙 헤드는 상기 구동부와 상기 스크라이버의 일측에서 상기 구동부가 고정되면서 상기 스크라이버가 상하 방향으로 이동이 가능하도록 결합되는 지지 몸체를 더 포함할 수 있다.
이에, 상기 제2 탄성체는 상기 제1 탄성체와 상기 지지 몸체 사이에서 상기 구동부와 상기 스크라이버를 연결할 수 있다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 기판 절단 장치는 기판 이송부, 스크라이빙 헤드, 헤드 이송부 및 기판 절단부를 포함한다.
상기 기판 이송부는 상부에 놓여지는 기판을 이송한다. 상기 스크라이빙 헤드는 상기 기판의 상부에 배치된다. 이러한 스크라이빙 헤드는 지지 몸체, 상기 지지 몸체의 일측에 고정되어 직선 구동력을 제공하는 구동부, 상기 구동부의 하부에서 상기 지지 몸체에 상하 방향으로 이동이 가능하도록 결합되고 하단부에 휠이 장착된 스크라이버, 상기 구동부와 상기 스크라이버의 사이를 연결하고 상기 구동부의 신장 구동에 의해서 상기 스크라이버가 상기 휠을 통해 상기 기판을 가압하도록 제1 탄성을 제공하는 제1 탄성체 및 상기 제1 탄성체와 인접한 위치에서 상기 구동부와 상기 스크라이버를 연결하고 상기 스크라이버가 상기 기판을 가압할 때 상기 스크라이버의 자체 무게에 의한 압력을 일부 상쇄시키기 위하여 상기 제1 탄성과 반대되는 방향으로 제2 탄성을 제공하는 제2 탄성체를 포함한다.
상기 헤드 이송부는 상기 스크라이빙 헤드의 지지 몸체에 결합되고, 상기 지지 몸체를 이송시켜 상기 스크라이버의 휠을 통해 상기 기판이 스크라이빙되도록 한다.
상기 기판 절단부는 상기 휠에 의해 스크라이빙된 기판을 절단하기 위하여 상기 기판 이송부가 상기 기판을 이송하는 위치에 배치된다.
이러한 스크라이빙 헤드 및 이를 포함하는 기판 절단 장치에 따르면, 스크라이버가 휠을 통해 기판을 가압하도록 제1 탄성을 제공하는 제1 탄성체와 인접한 위치에 상기 제1 탄성과 반대되는 방향으로 제2 탄성을 갖는 제2 탄성체를 구성하여 상기 스크라이버의 자체 무게를 줄이지 않은 상태에서 상기 스크라이버의 가압력 중 상기 스크라이버의 자체 무게에 의한 압력을 일부 상쇄시킴으로써, 상기 스크라이버의 가압력이 상기 기판에 과압으로 작용하지 않도록 할 수 있다. 이로써, 상기 기판이 파손되는 것을 방지하여 상기 기판의 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 제2 탄성체와 연결된 조절 나사를 통하여 상기 제2 탄성도 조절하여 상기 스크라이버의 가압력을 제어하는 단위를 조정함으로써, 상기 스크라이버의 가압력을 보다 효율적으로 제어할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 헤드 및 이를 포함하는 기판 절단 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하 고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 절단 장치를 위에서 바라본 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단 장치(1000)는 기판 이송부(100), 스크라이빙 헤드(200), 헤드 이송부(300) 및 기판 절단부(400)를 포함한다.
상기 기판 이송부(100)는 상부에 놓여지는 기판(10)을 x축 방향으로 이송한다. 여기서, 상기 기판(10)은 액정을 이용하여 영상을 표시하는 디스플레이 패널에서 박막 트랜지스터가 형성된 박막 트랜지스터 기판 또는 컬러 필터가 형성된 컬러 필터 기판일 수 있다. 이러한 기판(10)은 유리 재질로 이루어진다.
상기 기판 이송부(100)는 상기 기판(10)을 충분한 힘으로 지지하기 위하여 x축과 수직한 y축 방향으로 서로 평행하게 배치된 다수의 롤러(110)들 및 상기 롤러(110)들에 감겨져서 상기 기판(10)을 실질적으로 지지하면서 이송하는 컨베어 벨트(120)를 포함할 수 있다.
상기 스크라이빙 헤드(200)는 상기 기판 이송부(100)에서 이송하는 기판(10)의 상부에 배치된다. 상기 스크라이빙 헤드(200)는 유리 재질의 기판(10)을 사용자 가 원하는 사이즈로 절단하기 위한 절단 라인(CL)이 상기 기판(10)에 형성되도록 상기 기판(10)을 스크라이빙한다.
이하, 상기 스크라이빙 헤드(200)에 대해서는 도 3 내지 도 6을 추가적으로 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 3은 도 1에 도시된 기판 절단 장치의 스크라이빙 헤드를 구체적으로 나타낸 사시 도면이고, 도 4는 도 3에 도시된 스크라이빙 헤드를 측면에서 바라본 도면이다.
도 3 및 도 4를 추가적으로 참조하면, 상기 스크라이빙 헤드(200)는 지지 몸체(210), 구동부(220), 스크라이버(230), 제1 탄성체(240) 및 제2 탄성체(250)를 포함한다.
상기 지지 몸체(210)는 x, y축에 수직한 z축으로 소정의 길이를 갖는 대략 판 형태로 이루어진다. 상기 지지 몸체(210)는 일측의 상부에는 고정부(212)가 구성되고, 그 하부에는 가이드부(214)가 구성된다.
상기 구동부(220)는 상기 지지 몸체(210)의 고정부(212)에 고정된다. 구체적으로, 상기 구동부(220)는 브라켓(222)과 한 몸체로 결합된 상태에서 상기 브라켓(222)을 상기 고정부(212)에 고정시킴으로써, 상기 지지 몸체(210)에 고정된다.
상기 구동부(220)는 z축 방향으로 직선 구동력을 제공한다. 이에, 상기 구동부(220)는 직접 직선 구동력을 발생하는 실린더로 구성될 수 있다. 이와 달리, 상기 구동부(220)는 구동 모터와 볼 스크류의 결합 방식을 통해 직선 구동력이 상기 구동 모터의 회전력을 통해 간접적으로 발생하도록 구성될 수 있다.
상기 스크라이버(230)는 상기 지지 몸체(210)의 가이드부(214)에 결합된다. 구체적으로, 상기 스크라이버(230)는 가이드 블록(232)과 한 몸체로 결합된 상태에서 상기 가이드 블록(232)을 상하 방향, 즉 z축 방향으로 이동 가능하도록 상기 가이드부(214)에 결합시킴으로써, 상기 지지 몸체(210)에 결합된다.
상기 스크라이버(230)는 하단부에 상기 기판(10)을 스크라이빙하기 위한 휠(235)이 장착된다. 이에, 상기 휠(235)은 유리 재질인 기판(10)을 스크라이빙하기 위하여 유리보다 높은 경도를 갖는 재질로 이루어진다. 이러한 휠(235)은 아무리 유리보다 높은 경도를 갖는다고 하여도 장시간 사용할 경우 마모가 발생하여 교체가 요구될 수 있다.
또한, 상기 스크라이버(230)는 자체의 무게만으로도, 상기 휠(235)을 통해 상기 기판(10)을 가압한다. 이에, 상기 스크라이버(230)는 최근 디스플레이 패널의 박막화에 따라 상기 기판(10)의 두께가 매우 얇아짐으로써, 자체 무게에 의한 가압을 최소화하기 위하여 알루미늄과 같은 경량화 재질을 사용함과 동시에 그 부피도 감소시켜서 제작된다.
그러나, 상기 휠(235)이 장착되는 구조 상 그 무게를 더욱더 얇아지는 기판(10)에 대응하도록 상기 스크라이버(230)를 제작하기에는 한계를 갖는다.
상기 제1 탄성체(240)는 상기 구동부(220)와 상기 스크라이버(230)의 사이를 연결한다. 상기 제1 탄성체(240)는 상기 구동부(220)의 신장 구동에 의해서 상기 스크라이버(230)가 상기 휠(235)을 통해 상기 기판(10)을 가압하도록 제1 탄성을 제공한다. 즉, 상기 제1 탄성는 상기 스크라이버(230)를 상기 구동부(220)로부터 밀려는 방향으로 형성된다.
이에, 상기 제1 탄성체(240)는 일 예로, 압축 스프링으로 이루어질 수 있다. 이럴 경우, 상기 구동부(220) 및 상기 스크라이버(230) 각각은 압축 스프링인 상기 제1 탄성체(240)의 양 단부들이 삽입 결합되는 제1 및 제2 돌기(224, 236)들을 포함할 수 있다.
이에 따라, 상기 스크라이버(230)가 상기 기판(10)을 가압하는 가압력은 기본적인 상기 스크라이버(230)의 무게에 상기 제1 탄성체(240)의 제1 탄성을 더함으로써, 형성된다.
상기 제2 탄성체(250)는 상기 제1 탄성체(240)와 인접한 위치에서 상기 구동부(220)와 상기 스크라이버(230)를 연결한다. 상기 제2 탄성체(250)는 상기 제1 탄성체(240)의 제1 탄성과 반대되는 방향으로 제2 탄성을 제공한다.
구체적으로, 상기 제2 탄성체(250)의 제2 탄성은 상기 스크라이버(230)를 상기 구동부(220)로 당기려는 방향으로 형성된다. 이에, 상기 제2 탄성체(250)는 일 예로, 압축 스프링과 반대되는 탄성을 갖도록 구성된 인장 스프링으로 이루어질 수 있다. 이로써, 상기 스크라이버(230)가 상기 기판(10)을 가압하는 가압력에서 상기 스크라이버(230) 자체 무게의 의한 압력을 일부 상쇄시킬 수 있다.
또한, 상기 제2 탄성체(250)는 상기 구동부(220)와 상기 스크라이버(230)가 상기 지지 몸체(210)에 고정 또는 결합된 상태에서 상기 제2 탄성을 안정적으로 제공하기 위하여 상기 제1 탄성체(240)와 상기 지지 몸체(210)의 사이에서 상기 구동부(220)와 상기 스크라이버(230)를 연결할 수 있다. 이와 달리, 상기 제2 탄성 체(250)는 다수가 상기 제1 탄성체(240)의 주위를 감싸는 구조로 상기 구동부(220)와 상기 스크라이버(230)를 연결할 수 있다.
이하, 도 5를 추가적으로 참조하여 상기 제2 탄성체(250)를 구성할 때와 구성하지 않을 때의 상기 스크라이버(230)의 휠(235)이 상기 기판(10)을 가압하는 깊이에 대하여 비교해보고자 한다.
도 5는 도 3에 도시된 스크라이빙 헤드에서 스크라이버에 가해지는 압력에 따라 가압되는 기판의 깊이를 나타낸 그래프이다.
도 5를 추가적으로 참조하면, 상기 제2 탄성체(250)를 구성하지 않았을 때의 제1 그래프(G1)에 대비하여 상기 제2 탄성체(250)를 구성할 때의 제2 그래프(G2)에서는 상기 구동부(220)의 신장 구동에 의하여 압력(P)이 증가함에 따라 상기 제1 그래프(G1)보다 낮은 깊이(D)로 상기 기판(10)을 가압하는 것으로 나타난다.
예를 들어, 상기 구동부(220)의 신장 구동이 제공되지 않는, 즉 압력(P)이 0 ㎏f/㎠인 경우 상기 제1 그래프(G1)에서는 상기 스크라이버(230) 자체의 무게로 인하여 상기 기판(10)을 약 300㎛의 깊이(D)로 가압하는 것으로 나타나는데 반하여, 상기 제2 그래프(G2)에서는 상기 제2 탄성체(250)의 제2 탄성에 의해서 상기 스크라이버(230) 자체의 무게에 따른 압력이 일부 상쇄되어 상기 기판(10)을 거의 가압하지 않는 것으로 나타난다.
또한, 상기 구동부(220)가 신장 구동하여 압력(P)이 약 0.1 ㎏f/㎠인 경우 상기 제1 그래프(G1)에서는 상기 스크라이버(230)의 자체 무게에 상기의 압력(P)에 의한 상기 제1 탄성체(240)의 제1 탄성이 그대로 더해져서 상기 기판(10)을 약 400 ㎛의 깊이(D)로 가압하는 것으로 나타나는데 반하여, 상기 제2 그래프(G2)에서는 상기 제2 탄성체(250)의 제2 탄성에 의해 상기 스크라이버(230)의 자체 무게에 따른 압력이 일부 상쇄되어 상기 기판(10)을 약 100㎛의 깊이(D)로 가압하는 것으로 나타난다.
이와 같이, 상기 제2 탄성체(250)를 추가로 구성할 경우에는 그러지 않은 경우보다 상기 스크라이버(230)가 상기 기판(10)을 가압하는 가압력 중 상기 스크라이버(230)의 자체 무게에 의한 압력의 일부를 상쇄시켜 미세한 압력으로 제어할 수 있음에 따라 상기 기판(10)을 스크라이빙하는 공정 상에서 충분한 마진을 확보할 수 있다.
또한, 도 5에서와 같이 상기 스크라이버(230)가 상기 기판(10)을 가압하는 깊이(D)를 약 0 내지 1100㎛의 범위에서 제어하고자 할 때 상기 제1 그래프(G1)에서는 상기 구동부(220)의 신장 구동에 따른 압력(P)을 약 0 내지 0.9 ㎏f/㎠의 범위에서 제어하는 것으로 나타나는데 반하여, 상기 제2 그래프(G2)에서는 상기의 압력(P)을 0.9 ㎏f/㎠ 이상의 범위에서도 제어할 수 있는 것으로 나타난다. 즉, 상기 제2 탄성체(250)를 구성할 경우, 상기 스크라이버(230)가 상기 기판(10)을 가압하는 가압력을 보다 넓은 범위에서 제어할 수 있다.
따라서, 상기 스크라이버(230)가 휠(235)을 통해 상기 기판(10)을 가압하도록 제1 탄성을 제공하는 상기 제1 탄성체(240)와 인접한 위치에 상기 제1 탄성과 반대되는 방향으로 제2 탄성을 갖는 상기 제2 탄성체(250)를 구성하여 상기 스크라이버(230)의 자체 무게를 줄이지 않은 상태에서 상기 스크라이버(230)의 가압력을 상기 스크라이버(230)의 자체 무게에 의한 압력을 일부 상쇄시켜 미세한 압력으로 정밀하게 제어함으로써, 상기 스크라이버(230)의 가압력이 상기 기판(10)에 과압으로 작용하지 않도록 할 수 있다.
구체적으로, 상기 스크라이버(230)에 장착된 휠(235)의 마모로 상기 스크라이버(230)의 가압력을 증가시키고자 상기 구동부(220)를 한 단계 더 신장 구동시킬 경우, 상기 제2 탄성체(250)를 통해 상기 스크라이버(230) 자체 무게에 의한 압력보다 낮은 미세한 압력이 상기 스크라이버(230)에 제공되도록 함으로써, 박막화되는 기판(10)이 파손되는 것을 방지할 수 있다. 이로써, 상기 기판(10)의 생산성을 향상시킬 수 있다.
한편, 상기 스크라이빙 헤드(200)는 상기 제2 탄성체(250)의 제2 탄성을 조절하기 위하여 제1 및 제2 조절 나사(260, 270)들을 더 포함한다. 상기 제1 조절 나사(260)는 상기 제2 탄성체(250)와 상기 구동부(220) 사이에 연결된다.
구체적으로, 상기 제1 조절 나사(260)는 상기 제2 탄성체(250)에 연결된 상태에서 상기 구동부(220)에 체결된다. 이하, 상기 제1 조절 나사(260)가 상기 제2 탄성체(250)에 연결된 구조에 대하여 도 6을 추가적으로 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 6은 도 4의 A부분을 확대한 도면이다.
도 6을 추가적으로 참조하면, 상기 제1 조절 나사(260)는 상기 제2 탄성체(250)와 연결되는 부위에 수평 방향으로 관통된 걸림홀(262)을 갖고, 상기 제2 탄성체(250)는 단부에 상기 걸림홀(262)에 삽입되어 후크 결합하는 고리(252)를 갖 는다.
이에, 상기 제2 탄성체(250)는 상기 고리(252)가 상기 걸림홀(262)에 걸린 상태에서 상기 제2 탄성을 통해 상기 스크라이버(230)를 상기 구동부(220)로 당기려고 한다. 또한 상기 제1 조절 나사(260)는 상기 구동부(220)와 한 몸체로 결합된 브라켓(222)의 제1 나사홀(223)에 체결된다.
이와 같이, 상기 제1 조절 나사(260)를 상기 제1 나사홀(223)에 체결된 상태에서 그 길이를 상부 방향 또는 하부 방향으로 돌리면서 그 길이를 조절함으로써, 상기 제2 탄성체(250)의 제2 탄성을 증가시키거나 감소시킬 수 있다.
이에, 상기 제2 탄성체(250)의 제2 탄성을 증가시키면, 상기 스크라이버(230)가 상기 기판(10)을 가압하는 가압력을 상대적으로 낮은 압력(P)이 제공되도록 할 수 있고, 반대로 감소시키면 상대적으로 높은 압력(P)이 제공되도록 할 수 있다.
상기 제2 조절 나사(270)는 상기 제2 탄성체(250)와 상기 스크라이버(230) 사이에 연결된다. 구체적으로, 상기 제2 조절 나사(270)는 상기 제2 탄성체(250)에 연결된 상태에서 상기 스크라이버(230)에 체결된다.
이때, 상기 제2 조절 나사(270)가 상기 제2 탄성체(250)에 연결된 상태는 상기 제1 조절 나사(260)가 상기 제2 탄성체(250)에 연결된 구조와 동일하므로, 그 중복되는 상세한 설명은 생략하기로 한다.
또한, 상기 제2 조절 나사(270)는 상기 스크라이버(230)와 한 몸체로 결합된 가이드 블록(232)의 제2 나사홀(234)에 체결된다. 이때, 상기 가이드 블록(232)은 상기 제2 나사홀(234)을 전체적으로 형성하기에는 불필요하므로, 하부에서 상부 방향으로 일정 깊이만큼 체결홈(233)을 구성하고, 상기 체결홈(233)의 상단 부위로부터 상기 제2 나사홀(234)이 형성될 수 있다.
이와 같은 상기 제2 조절 나사(270)는 상기 제1 조절 나사(260)와 마찬가지로, 상기 제2 나사홀(234)에 체결된 상태에서 그 길이를 조절함으로써, 상기 제2 탄성체(250)의 제2 탄성을 조절할 수 있다.
따라서, 상기 제2 탄성체(250)와 연결된 제1 및 제2 조절 나사(260, 270)들을 통하여 상기 제2 탄성도 조절하여 상기 스크라이버(230)의 가압력을 제어하는 단위를 조정함으로써, 상기 스크라이버(230)의 가압력을 보다 효율적으로 제어할 수 있다.
본 실시예에서는, 상기 제2 탄성체(250)의 제2 탄성을 조절하기 위하여 두 개의 제1 및 제2 조절 나사(260, 270)들이 모두 포함되도록 구성하였지만, 이들 중 어느 하나만 구성되어도 상기 제2 탄성체(250)의 제2 탄성을 조절할 수 있음을 이해할 수 있다.
상기 헤드 이송부(300)는 상기 스크라이빙 헤드(200)의 지지 몸체(210)에 결합된다. 구체적으로, 상기 헤드 이송부(300)는 상기 지지 몸체(210)의 상기 구동부(220)와 상기 스크라이버(230)가 고정 또는 결합된 일측과 반대되는 타측에 결합되며, y축 방향으로 길게 구성된다.
이러한 헤드 이송부(300)는 상기 지지 몸체(210)를 y축 방향으로 이송시킨다. 이로써, 상기 헤드 이송부(300)는 상기 스크라이버(230)의 휠(235)을 통해 상 기 기판(10)이 y축 방향으로 스크라이빙되도록 한다. 이로써, 상기 기판(10)에는 y축 방향으로 절단 라인(CL)이 형성된다.
한편, 상기 기판(10)은 상기 헤드 이송부(300)에 의한 이송이 정지된 상태에서 상기 기판 이송부(100)를 통해 x축 방향으로 이송시킴으로써, x축 방향으로 절단 라인(CL)이 형성될 수 있다.
상기 기판 절단부(400)는 상기 스크라이빙 헤드(200)를 기준으로 x축 방향을 따라 후단에서 상기 기판 이송부(100)가 상기 기판(10)을 이송하는 위치에 배치된다.
상기 기판 절단부(400)는 상기 스크라이버(230)의 휠(235)을 통하여 상기 절단 라인(CL)이 형성된 기판(10)을 상기 기판 이송부(100)로부터 전달 받는다. 이에, 상기 기판 절단부(400)는 타격 방식 등을 이용하여 상기 절단 라인(CL)을 기준으로 상기 기판(10)을 절단한다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
상술한 본 발명은 스크라이버가 휠을 통해 기판을 가압하도록 제1 탄성을 제공하는 제1 탄성체와 인접한 위치에 상기 제1 탄성과 반대되는 방향으로 제2 탄성 을 갖는 제2 탄성체를 구성하여 상기 스크라이버의 자체 무게에 의한 압력을 일부 상쇄시켜 상기 가압력을 보다 낮은 압력으로 제어함으로써, 박막화되는 기판이 상기 스크라이버의 가압력에 의해 파손되는 것을 방지할 수 있는 기판 절단 장치에 이용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 절단 장치를 위에서 바라본 도면이다.
도 3은 도 1에 도시된 기판 절단 장치의 스크라이빙 헤드를 구체적으로 나타낸 사시 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 스크라이빙 헤드를 측면에서 바라본 도면이다.
도 5는 도 3에 도시된 스크라이빙 헤드에서 스크라이버에 가해지는 압력에 따라 가압되는 기판의 깊이를 나타낸 그래프이다.
도 6은 도 4의 A부분을 확대한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 기판 100 : 기판 이송부
200 : 스크라이빙 헤드 210 : 지지 몸체
220 : 구동부 230 : 스크라이버
240 : 제1 탄성체 250 : 제2 탄성체
260 : 제1 조절 나사 270 : 제2 조절 나사
300 : 헤드 이송부 400 : 기판 절단부
1000 : 기판 절단 장치

Claims (4)

  1. 직선 구동력을 제공하는 구동부;
    상기 구동부의 하부에 배치되고, 하단부에 기판을 스크라이빙하기 위한 휠이 장착된 스크라이버;
    상기 구동부와 상기 스크라이버의 사이를 연결하고, 상기 구동부의 신장 구동에 의해서 상기 스크라이버가 상기 휠을 통해 상기 기판을 가압하도록 제1 탄성을 제공하는 제1 탄성체; 및
    상기 제1 탄성체와 인접한 위치에서 상기 구동부와 상기 스크라이버를 연결하고, 상기 스크라이버가 상기 기판을 가압할 때 상기 스크라이버의 자체 무게에 의한 압력을 일부 상쇄시키기 위하여 상기 제1 탄성과 반대되는 방향으로 제2 탄성을 제공하는 제2 탄성체를 포함하는 스크라이빙 헤드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2 탄성체와 상기 구동부의 사이 및 상기 제2 탄성체와 상기 스크라이버의 사이 중 적어도 하나의 부위에서 상기 제2 탄성체에 연결된 상태로 상기 구동부 또는 상기 스크라이버에 체결되어 상기 제2 탄성을 조절하기 위한 조절 나사를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 헤드.
  3. 제1항에 있어서, 상기 구동부와 상기 스크라이버의 일측에서 상기 구동부가 고정되면서 상기 스크라이버가 상하 방향으로 이동이 가능하도록 결합되는 지지 몸 체를 더 포함하며,
    상기 제2 탄성체는 상기 제1 탄성체와 상기 지지 몸체 사이에서 상기 구동부와 상기 스크라이버를 연결하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 헤드.
  4. 상부에 놓여지는 기판을 이송하는 기판 이송부;
    상기 기판의 상부에 배치되며, 지지 몸체, 상기 지지 몸체의 일측에 고정되어 직선 구동력을 제공하는 구동부, 상기 구동부의 하부에서 상기 지지 몸체에 상하 방향으로 이동이 가능하도록 결합되고 하단부에 휠이 장착된 스크라이버, 상기 구동부와 상기 스크라이버의 사이를 연결하고 상기 구동부의 신장 구동에 의해서 상기 스크라이버가 상기 휠을 통해 상기 기판을 가압하도록 제1 탄성을 제공하는 제1 탄성체 및 상기 제1 탄성체와 인접한 위치에서 상기 구동부와 상기 스크라이버를 연결하고 상기 스크라이버가 상기 기판을 가압할 때 상기 스크라이버의 자체 무게에 의한 압력을 일부 상쇄시키기 위하여 상기 제1 탄성과 반대되는 방향으로 제2 탄성을 제공하는 제2 탄성체를 포함하는 스크라이빙 헤드;
    상기 스크라이빙 헤드의 지지 몸체에 결합되고, 상기 지지 몸체를 이송시켜 상기 스크라이버의 휠을 통해 상기 기판이 스크라이빙되도록 하는 헤드 이송부; 및
    상기 휠에 의해 스크라이빙된 기판을 절단하기 위하여 상기 기판 이송부가 상기 기판을 이송하는 위치에 배치된 기판 절단부를 포함하는 기판 절단 장치.
KR1020090057637A 2009-06-26 2009-06-26 스크라이빙 헤드 및 이를 포함하는 기판 절단 장치 KR101048068B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090057637A KR101048068B1 (ko) 2009-06-26 2009-06-26 스크라이빙 헤드 및 이를 포함하는 기판 절단 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090057637A KR101048068B1 (ko) 2009-06-26 2009-06-26 스크라이빙 헤드 및 이를 포함하는 기판 절단 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110000231A true KR20110000231A (ko) 2011-01-03
KR101048068B1 KR101048068B1 (ko) 2011-07-11

Family

ID=43609103

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090057637A KR101048068B1 (ko) 2009-06-26 2009-06-26 스크라이빙 헤드 및 이를 포함하는 기판 절단 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101048068B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220051713A (ko) * 2020-10-19 2022-04-26 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
KR20220051714A (ko) * 2020-10-19 2022-04-26 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101279674B1 (ko) 2013-04-12 2013-07-17 주식회사 디엠텍 글라스기판 스크라이버
KR101279733B1 (ko) 2013-04-16 2013-07-05 주식회사 디엠텍 평판 디스플레이 장치용 글라스기판 스크라이버

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4317287A (en) 1979-09-10 1982-03-02 Sausele George J H Microidentification system
JP4257069B2 (ja) 2002-04-12 2009-04-22 Ｎｅｃ液晶テクノロジー株式会社 スクライブ装置
KR100693164B1 (ko) 2006-06-05 2007-03-14 엘지전자 주식회사 유리절단용 컷팅헤드와 이를 이용한 유리절단장치
JP5311796B2 (ja) 2007-10-31 2013-10-09 セントラル硝子株式会社 ガラス板への切筋線付与装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220051713A (ko) * 2020-10-19 2022-04-26 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
KR20220051714A (ko) * 2020-10-19 2022-04-26 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR101048068B1 (ko) 2011-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7401828B2 (en) Substrate conveyance device for fabrication of liquid crystal display device
KR101048068B1 (ko) 스크라이빙 헤드 및 이를 포함하는 기판 절단 장치
US20090250497A1 (en) Method and apparatus for separating a pane of brittle material from a moving ribbon of the material
KR20020026815A (ko) 취성기판의 제조방법 및 그 제조장치
KR20130036154A (ko) 접합 장치
KR101947805B1 (ko) 라미네이팅 장치
WO2011096388A1 (ja) 脆性材料基板のブレイク方法
KR102535656B1 (ko) 적층체의 박리 장치 및 박리 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법
KR102100160B1 (ko) 기판의 박리 장치 및 박리 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법
KR102471421B1 (ko) 적층체의 박리 장치 및 박리 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법
KR102010247B1 (ko) 보호 필름 박리장치 및 그를 포함하는 기능성 필름 부착시스템
JP5923281B2 (ja) 基板搬送装置及び基板処理装置
KR102274705B1 (ko) 유리판의 단부 가공 장치 및 단부 가공 방법
JP7418512B2 (ja) ガラスシートを分離する方法および装置
KR101372518B1 (ko) 필름 부착 장치 및 방법
KR102176870B1 (ko) 스크라이빙 장치의 제어 방법
KR101263338B1 (ko) 구동용 회로기판의 본딩장치
JP2010197434A (ja) 貼付装置および電気光学装置の製造方法
KR101723376B1 (ko) 유체토출장치의 헤드유닛
CN105084085A (zh) 层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法
KR20200006008A (ko) 기판 조립 장치 및 기판 조립 방법
KR20130091673A (ko) 스크라이브 장치
KR20100055784A (ko) 에어 분사 장치
KR102375467B1 (ko) 브레이킹 바 및 기판 분단 장치
KR102411042B1 (ko) 커버 글라스 합착 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140704

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee