KR20100125018A - Waste gas guidance equipment - Google Patents

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KR20100125018A
KR20100125018A KR1020090044009A KR20090044009A KR20100125018A KR 20100125018 A KR20100125018 A KR 20100125018A KR 1020090044009 A KR1020090044009 A KR 1020090044009A KR 20090044009 A KR20090044009 A KR 20090044009A KR 20100125018 A KR20100125018 A KR 20100125018A
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Abstract

PURPOSE: A waste gas guiding apparatus is provided to smoothly flow waste gas by including a spirally folded pipe on the inner wall. CONSTITUTION: Waste gas passes through a transfer path. Nitrogen gas with high temperature and high pressure is supplied to the transfer path of a high pressure gas chamber. A vibrator(153), a heating wire, and insulating materials(155) are installed on a flexible pipe(100-2) to secure the smooth flow of waste gas. A guide groove is continuously formed around the inner wall of the transfer path.

Description

폐기가스 유도장치{WASTE GAS GUIDANCE EQUIPMENT} Waste Gas Induction Device {WASTE GAS GUIDANCE EQUIPMENT}

본 발명은 반도체장비에 관한 것으로, 특히 플렉시블한 주름관을 사용하여 직각으로 꺾이었던 구간을 부드러운 곡선 구간으로 대치하는 동시에 꺾임 부위의 내벽에는 환형의 주름골이 아닌 연속적인 나선형의 주름골을 형성하여 폐기가스가 누적되지 않고 원활한 흐름을 지속적으로 유지할 수 있도록 한 폐기가스 유도장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor equipment. In particular, a flexible corrugated pipe is used to replace a section that has been angled at right angles with a smooth curved section. The present invention relates to a waste gas induction device that enables a continuous flow of gas without accumulation.

일반적으로, 반도체 제조 공정은 크게 전 공정(Fabrication 공정)과 후 공정(Assembly 공정)으로 이루어지며, 전 공정이라 함은 각종 프로세스 챔버(Chamber)내에서 웨이퍼(Wafer)상에 박막을 증착하고, 증착된 박막을 선택적으로 식각하는 과정을 반복적으로 수행하여 특정의 패턴을 가공하는 것에 의해 이른바, 반도체 칩(Chip)을 제조하는 공정을 말하고, 후 공정이라 함은 상기 전 공정에서 제조된 칩을 개별적으로 분리한 후, 리드프레임과 결합하여 완제품으로 조립하는 공정을 말한다.In general, a semiconductor manufacturing process is mainly composed of a pre-process (Fabrication process) and a post-process (Assembly process), the pre-process is to deposit a thin film on a wafer (wafer) in various process chambers (Chamber), the deposition It is a process of manufacturing a so-called semiconductor chip by repeatedly performing a process of selectively etching the prepared thin film, and processing a specific pattern, and the post process refers to the chips manufactured in the previous process individually. After separating, refers to the process of assembling the finished product by combining with the lead frame.

이때, 상기 웨이퍼 상에 박막을 증착하거나, 웨이퍼 상에 증착된 박막을 식각하는 공정은 프로세스 챔버 내에서 실란(Silane), 아르신(Arsine) 및 염화 붕소 등의 유해 가스와 수소 등의 프로세스 가스를 사용하여 고온에서 수행되며, 상기 공정이 진행되는 동안 프로세스 챔버 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유하는 폐기가스가 다량으로 발생한다. At this time, the process of depositing a thin film on the wafer or etching the thin film deposited on the wafer is a process gas such as hydrogen and toxic gases such as silane (Silane), arsine (Arsine) and boron chloride and a process gas such as hydrogen It is carried out at a high temperature using a large amount of waste gas is generated in the process chamber while the process is in progress, containing various ignitable gases, corrosive foreign substances and toxic components.

따라서 반도체 제조장비에는 도 1에서 볼 수 있는 바와 같이 프로세스 챔버(1)를 진공상태로 만들어 주는 진공펌프(2)의 후단에 상기 프로세스 챔버(1)에서 배출되는 폐기가스를 정화시킨 후 대기로 방출하는 스크루버(3,4 Scrubber)를 설치한다.Therefore, the semiconductor manufacturing equipment purifies the waste gas discharged from the process chamber 1 at the rear end of the vacuum pump 2 which makes the process chamber 1 in a vacuum state as shown in FIG. Install the scrubber (3,4 Scrubber).

하지만, 프로세스 챔버(1)로부터 배출되는 폐기가스는 대기와 접촉하거나 주변의 온도가 낮으면 고형화되어 파우더로 변하게 되는데, 상기 파우더는 진공라인에 고착되어 배기압력을 상승시킴과 동시에 진공펌프(2)로 유입될 경우 진공펌프(2)의 고장을 유발하고, 폐기가스의 역류를 초래하여 프로세스 챔버(1) 내에 있는 기판을 오염시키는 문제가 있었다. However, when the waste gas discharged from the process chamber 1 is in contact with the atmosphere or the ambient temperature is low, the waste gas is solidified into a powder. The powder is stuck to a vacuum line to increase the exhaust pressure and at the same time, the vacuum pump 2 Inflowing into the gas may cause a failure of the vacuum pump 2 and cause a backflow of waste gas to contaminate the substrate in the process chamber 1.

이같은 문제를 해결하기 위한 방안으로 도 1에 도시된 것처럼 진공펌프(2)와 스크루버(3,4) 사이에 폐기가스가 고형화되지 않도록 방지하고 이송속도를 높여줄 수 있는 폐기가스 유도장치(5)가 설치되었다. In order to solve this problem, as shown in FIG. 1, a waste gas inducing device which prevents waste gas from solidifying between the vacuum pump 2 and the scrubbers 3 and 4 and increases the transfer speed (5). ) Is installed.

종래기술에 의한 폐기가스 유도장치(5) 본체는 고온 고압의 질소가스를 폐기가스의 흐름방향으로 공급하여 폐기가스가 온도 저하로 인해 고형화되지 않도록 하면서 보다 빠르게 이송되도록 하였다.The waste gas induction apparatus 5 according to the prior art main body supplies nitrogen gas at a high temperature and high pressure in the flow direction of the waste gas so that the waste gas is transported more quickly while not solidifying due to temperature drop.

그러나, 종래의 폐기가스 유도장치(5)가 고온 고압의 질소가스를 공급하여 폐기가스의 온도 및 이송속도를 일시적으로 높여주기는 하였지만 그 효과가 지속되 지 못하는 문제가 있었다. 이는 상기 폐기가스 유도장치(5) 본체와 연결된 진공배관(6)의 꺾임 부위(C)가 거의 직각으로 형성되었던 관계로 상기 꺾임 부위(C) 내벽에 폐기가스가 급격하게 충돌하면서 폐기가스의 이송 속도가 급격히 저하되기 때문이다. 더욱이 상기 진공배관(C)의 꺾임부위에서 시간이 갈수록 폐기가스가 점진적으로 누적되는 문제를 초래하였다. However, although the conventional waste gas inducing device 5 temporarily increases the temperature and the feed rate of the waste gas by supplying nitrogen gas at a high temperature and high pressure, there is a problem that its effect does not persist. This is because the bent portion (C) of the vacuum pipe (6) connected to the waste gas inducing device (5) main body was formed at substantially right angles, so that the waste gas rapidly collides with the inner wall of the bent portion (C) and transfers the waste gas. This is because the speed drops sharply. In addition, the waste gas is gradually accumulated over time at the bending portion of the vacuum pipe (C).

또한, 상기 폐기가스 유도장치(5) 본체에서 분출된 고온의 질소가스에 의해 상승하였던 폐기가스의 온도가 진공배관(6)을 흐르는 동안 급격히 저하되기 때문에 폐기가스가 점진적으로 고형화되는 것을 억제하는데 한계가 있었다.In addition, since the temperature of the waste gas which has risen by the high temperature nitrogen gas ejected from the waste gas inducing apparatus 5 drops rapidly while flowing in the vacuum pipe 6, there is a limit to suppressing the gradually solidification of the waste gas. There was.

이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 진공배관 내벽에 연속적인 나선형의 주름골을 형성하여 폐기가스가 진공배관의 꺾임부위에서 누적되지 않고 원활한 흐름을 유지할 수 있도록 한 폐기가스 유도장치를 제공하는데 있다. Therefore, the present invention has been proposed to solve the conventional problems as described above, an object of the present invention is to form a continuous spiral corrugated bone on the inner wall of the vacuum pipe, so that waste gas does not accumulate at the bent portion of the vacuum pipe and is smooth. To provide a waste gas induction device to maintain the flow.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기술적 사상에 의한 폐기가스 유도장치는, 폐기가스가 통과하는 이송로와, 상기 이송로에 고온 고압의 질소가스를 공급하는 고압 가스실과, 상기 고압 가스실의 일측에 마련되어 상기 고압 가스실로 보내지는 질소가스를 가열하는 가열실로 이루어지되, 상기 이송로에는 내벽 둘레를 따라 나선형으로 선회하면서 연속적으로 형성된 가이드홈이 구비된 메인본체와; 상기 메인본체에 연결되어 상기 이송로와 연통되고, 내벽 둘레를 따라 나선형으로 선회하면서 연속적으로 형성된 주름골을 구비한 플렉시블 주름관을 포함하여 구성되는 것을 그 기술적 구성상의 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the waste gas inducing apparatus according to the technical concept of the present invention includes a transfer path through which waste gas passes, a high pressure gas chamber for supplying high temperature and high pressure nitrogen gas to the transfer path, and a high pressure gas chamber. A main body provided on one side and consisting of a heating chamber for heating nitrogen gas sent to the high pressure gas chamber, the transfer path having a guide groove continuously formed while spirally rotating along an inner wall circumference; It is characterized in that it comprises a flexible corrugated pipe connected to the main body and in communication with the conveying path, and having a corrugated bone continuously formed while spirally rotating along the inner wall.

여기서, 플렉시블 주름관 내벽에 축적되는 부산물을 털어내기 위하여 상기 플렉시블 주름관 외벽에 다수의 진동기가 설치되는 것을 특징으로 할 수 있다.Here, a plurality of vibrators may be installed on the outer wall of the flexible corrugated pipe to shake off the by-product accumulated on the inner wall of the flexible corrugated pipe.

또한, 상기 플렉시블 주름관 외벽의 주름골을 따라 전열선이 감겨지고, 그 위로 상기 전열선을 포함하여 상기 플렉시블 주름관 외벽을 감싸는 단열재가 더욱 구비되는 것을 특징으로 할 수 있다. In addition, the heating wire is wound along the corrugated bone of the outer wall of the flexible corrugated pipe, it may be characterized in that further provided with a heat insulating material surrounding the outer wall of the flexible corrugated pipe including the heating wire.

본 발명에 의한 폐기가스 유도장치는, 플렉시블 주름관을 진공배관으로 사용하여 직각으로 꺾이던 구간을 부드러운 곡선구간으로 대치하는 한편, 내벽에 연속적으로 형성된 나선형 주름골을 구비하여 꺾임 부위에서도 폐기가스가 누적되지 않고 원활한 흐름을 유지할 수 있다.In the waste gas induction apparatus according to the present invention, the flexible corrugated pipe is used as a vacuum pipe to replace the section bent at right angles with a smooth curved section, and the waste gas accumulates even at the folded part by having a spiral corrugated bone formed continuously on the inner wall. It can keep the flow smoothly.

또한, 본 발명은 폐기가스 유도장치 메인본체의 이송로에도 나선형의 가이드홈을 구비한 구성에 의해 플렉시블 주름관의 나선형 주름골과 연속성을 갖게 되고 폐기가스의 흐름이 원활해진다.In addition, the present invention has a continuity with the helical corrugated bone of the flexible corrugated pipe by the configuration provided with a spiral guide groove in the conveying path of the main body of the waste gas induction apparatus, and the waste gas flows smoothly.

또한, 본 발명은 플렉시블 주름관 외벽에 설치되는 진동기에 의해 플렉시블 주름관의 꺾임부위 내벽에 누적되는 폐기가스의 양을 최소화하고, 클링닝시에는 플렉시블 내벽에 누적된 폐기가스를 용이하게 털어낼 수 있다. In addition, the present invention minimizes the amount of waste gas accumulated in the inner wall of the bending portion of the flexible corrugated pipe by a vibrator installed on the outer wall of the flexible corrugated pipe, and can easily shake off the waste gas accumulated on the flexible inner wall when clinching.

또한, 본 발명은 플렉시블 주름관 외벽에 설치되는 전열선과 단열재에 의해 내부 온도를 높게 유지할 수 있게 되어 플렉시블 주름관 전 구간에 걸쳐 폐기가스가 온도 저하로 인해 고형화되는 것을 지속적으로 억제할 수 있다.In addition, the present invention is able to maintain a high internal temperature by the heating wire and the heat insulating material installed on the outer wall of the flexible corrugated pipe can continuously suppress the solidification of the waste gas due to the temperature drop throughout the flexible corrugated pipe section.

이하, 상기와 같은 본 발명의 기술적 사상에 따른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 폐기가스 유도장치의 전체 단면도이다. 2 is an overall cross-sectional view of the waste gas inducing apparatus.

도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 폐기가스 유도장치는 폐기가스를 통과시키면서 고온 고압의 질소가스를 혼합하여 폐기가스의 온도를 높여줌으로써 고형화를 방지하고 이송속도 높여주는 폐기가스 유도장치의 메인본체(100-1)와, 직각으로 급격하게 꺾이었던 꺾임구간(A,B)을 부드러운 곡선구간으로 만들어주는 플렉시블 주름관(100-2)의 조합으로 이루어진다. As shown, the waste gas induction apparatus according to the present invention by mixing the nitrogen gas of high temperature and high pressure while passing the waste gas to increase the temperature of the waste gas to prevent solidification and to increase the transfer speed of the main body of the waste gas induction apparatus ( 100-1) and a flexible corrugated pipe 100-2 that makes the bending sections A and B, which were sharply bent at right angles, into a smooth curved section.

이같은 구성을 전체적으로 살펴보면 상기 메인본체(100-1)가 고온 고압의 질소가스를 공급하여 폐기가스의 고형화를 방지하고 이송속도를 높여주는 한편, 상기 플렉시블 주름관(100-2)은 부드러운 곡선으로 꺾이면서 폐기가스의 급격한 충돌을 막고 그 흐름을 최대한 원활하게 유지시켜준다. 더욱이 상기 플렉시블 주름관(100-2) 내벽에는 환형의 주름골이 아닌 나선형의 주름골(151)이 연속적으로 형성되어 폐기가스가 내벽에 누적되는 문제를 최소화할 수 있도록 하였다. Looking at the configuration as a whole, the main body (100-1) to supply a nitrogen gas of high temperature and high pressure to prevent the solidification of waste gas and to increase the transfer speed, while the flexible corrugated pipe (100-2) is bent in a smooth curve It prevents abrupt collisions of waste gases and keeps the flow as smooth as possible. In addition, the inner wall of the flexible corrugated pipe 100-2 has a spiral corrugated bone 151 instead of an annular corrugated bone to be continuously formed to minimize waste gas accumulated on the inner wall.

아래에서는 본 발명에 따른 폐기가스 유도장치의 구성을 각 구성요소들을 중심으로 설명한다. Hereinafter, the configuration of the waste gas induction apparatus according to the present invention will be described with reference to each component.

도 3은 본 발명에 의한 폐기가스 유도장치를 설명하기 위한 참조단면도이고 도 4a 및 도 4b 본 발명에 의한 폐기가스 유도장치의 동작 및 작용을 설명하기 위한 참조도이다.Figure 3 is a reference cross-sectional view for explaining the waste gas induction apparatus according to the present invention and Figure 4a and Figure 4b is a reference diagram for explaining the operation and operation of the waste gas induction apparatus according to the present invention.

도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 폐기가스 유도장치는, 폐기가스를 통과시키면서 고온 고압의 질소가스를 공급하여 혼합시켜주는 메인본체(100-1)와 플렉시블 주름관(100-2)을 포함하여 구성된다.As shown, the waste gas induction apparatus according to the present invention comprises a main body (100-1) and a flexible corrugated pipe (100-2) for supplying and mixing nitrogen gas of high temperature and high pressure while passing the waste gas. do.

상기 메인본체(100-1)는 폐기가스가 통과하는 이송로(111)를 갖는 중공의 몸 체(110), 상기 메인몸체(110)의 이송로(111)에 고온 고압의 질소가스를 공급하는 고압 가스실(120), 상기 고압 가스실(120)로 보내지는 질소가스를 가열하여 온도를 높여주는 가열실(130)로 이루어진다. The main body (100-1) is a hollow body 110 having a conveying path 111 through which waste gas passes, supplying nitrogen gas of high temperature and high pressure to the conveying path 111 of the main body (110) The high pressure gas chamber 120, the heating chamber 130 for heating the nitrogen gas sent to the high pressure gas chamber 120 to increase the temperature.

상기 메인본체(100-1)의 몸체(110)는 폐기가스가 통과하는 이송로(111)를 갖는 중공 형성되고, 전술된 것처럼 이송로(111) 내벽에는 그 둘레를 따라 나선형으로 선회하면서 연속적으로 형성된 가이드홈(113)이 구비된다. 상기 가이드홈(113)은 이송로를 지나는 폐기가스를 와류형태로 회전시켜 분출홈(121)에서 분출되는 고온 고압의 질소가스와 쉽게 혼합되도록 한다. 또한, 상기 가이드홈(113)은 상기 메인몸체(110) 전후로 연결되는 플렉시블 주름관(100-2)의 주름골(151)가 연속성을 유지할 수 있도록 해준다.The body 110 of the main body 100-1 is hollow formed with a conveying path 111 through which waste gas passes, and as described above, the inner wall of the main body 100-1 is spirally rotated along its circumference continuously. The formed guide groove 113 is provided. The guide groove 113 rotates the waste gas passing through the transfer path in a vortex form so as to be easily mixed with the high temperature and high pressure nitrogen gas ejected from the jet groove 121. In addition, the guide groove 113 allows the corrugated bone 151 of the flexible corrugated pipe 100-2 connected to the front and rear of the main body 110 to maintain continuity.

상기 메인본체(100-1)의 이송로(111) 입구(111a)과 출구(111b)에는 플렉시블 주름관(100-2)에 형성된 플랜지(152)와 대응하여 결합되는 플렌지(112)가 형성된다. The flange 112 coupled to the flange 152 formed on the flexible corrugated pipe 100-2 is formed at the inlet 111a and the outlet 111b of the main body 100-1.

상기 고압 가스실(120)은 상기 메인몸체(110)의 이송로(111)에 고온 고압의 질소가스를 분출하는 분출홈(121)을 구비하며, 상기 가열실(130)로부터 질소가스 주입구(133)를 통해 가열된 고온 고압의 질소가스를 공급받은 후 상기 분출홈(121)을 통해 이송로(111)에 분출한다. The high pressure gas chamber 120 has a jet groove 121 for ejecting nitrogen gas of high temperature and high pressure in the conveying path 111 of the main body 110, the nitrogen gas inlet 133 from the heating chamber 130 After receiving the nitrogen gas of high temperature and high pressure heated through the ejection groove 121 is ejected to the transport path (111).

상기 가열실(130)은 내부에 질소가스를 가열하기 위한 전열선(131)을 구비하며, 상기 고압 가스실(120)과는 질소가스 주입구(133)를 통해 연통되어 있다. 이로써 상기 가열실(130)은 질소가스 유입구(132)를 통해 외부로부터 고압의 질소가스 를 공급받은 후 상기 전열선(131)에 의해 질소가스를 고온으로 가열한다. 이후 가열된 질소가스를 상기 질소가스 주입구(133)를 통해 상기 고압 가스실(120)로 공급하여 분출되게 한다.The heating chamber 130 includes a heating wire 131 for heating nitrogen gas therein, and is connected to the high pressure gas chamber 120 through a nitrogen gas injection hole 133. Thus, the heating chamber 130 receives the high pressure nitrogen gas from the outside through the nitrogen gas inlet 132 and heats the nitrogen gas to the high temperature by the heating wire 131. Thereafter, the heated nitrogen gas is supplied to the high pressure gas chamber 120 through the nitrogen gas inlet 133 to be ejected.

상기 플렉시블 주름관(100-2)은 플랜지(152)에 의해 상기 메인본체(100-1)에 연결되어 상기 이송로(111)와 연통된다. 또한, 상기 플렉시블 주름관(110-2)의 내벽에는 둘레를 따라 나선형으로 선회하면서 연속적으로 형성된 주름골(151)을 구비한다. 이같이 구비된 상기 플렉시블 주름관(100-2)의 주름골(151)은 메인본체(100-1)의 이송로(111) 내벽에 형성된 가이드홈(113)과 연동하여 연속성을 띄면서 폐기가스를 이송하게 된다. 여기서, 상기 플렉시블 주름관(100-2)의 주름골(151)은 폐기가스가 내벽에 접촉하여 누적되지 않도록 반드시 환형의 주름골(151)이 아닌 나선형의 주름골(151)로 이루어져야 한다. The flexible corrugated pipe 100-2 is connected to the main body 100-1 by a flange 152 and communicates with the transfer path 111. In addition, the inner wall of the flexible corrugated pipe (110-2) is provided with a corrugated bone 151 formed continuously while turning in a spiral along the circumference. The corrugated bone 151 of the flexible corrugated pipe 100-2 provided as described above transfers waste gas with continuity in association with the guide groove 113 formed on the inner wall of the conveying path 111 of the main body 100-1. Done. Here, the corrugated bone 151 of the flexible corrugated pipe 100-2 should be made of a spiral corrugated bone 151 instead of an annular corrugated bone 151 so that waste gas does not accumulate in contact with the inner wall.

이처럼 플렉시블 주름관(100-2)에 나선형의 주름골(151)이 형성되면 부드러운 절곡이 가능하게 되어 방향전환 구간에서 급격한 꺾임으로 인한 폐기가스의 누적현상을 최소화할 수 있게 된다. 더욱이 본 발명에 따른 플렉시블 주름관(100-2)은 환형의 주름골(151)이 아닌 연속적으로 이루어진 나선형의 주름골(151)이 형성되어 있기 때문에 상기와 같은 곡선구간에서 폐기가스가 내벽에 누적되는 현상을 효과적으로 억제할 수 있다. As such, when the spiral corrugated bone 151 is formed in the flexible corrugated pipe 100-2, smooth bending is possible, thereby minimizing the accumulation of waste gas due to sharp bending in the direction change section. Furthermore, since the flexible corrugated pipe 100-2 according to the present invention is formed of a spiral corrugated corrugated bone 151 which is formed continuously instead of the annular corrugated corrugated bone 151, waste gas accumulates on the inner wall in the curved section as described above. The phenomenon can be suppressed effectively.

한편, 본 발명에 따른 플렉시블 주름관(100-2)에는 폐기가스의 원활한 흐름을 더욱 확실히 보장받기 위하여 진동기(153), 주름관용 전열선(154) 및 단열재(155)가 더 설치된다. On the other hand, the flexible corrugated pipe 100-2 according to the present invention is further provided with a vibrator 153, a corrugated pipe heating wire 154 and the heat insulator 155 in order to ensure a smooth flow of the waste gas.

상기 진동기(153)는 플렉시블 주름관(100-2) 외벽에 일정 간격을 두고 설치되며, 바람직하게는 플렉시블 주름관(100-2)의 곡선구간에 집중적으로 설치된다. 상기 진동기(153)가 폐기가스 배출 중에 작동하게 되면 플렉시블 주름관(100-2) 벽체가 미세하게 진동하면서 이송중인 폐기가스가 내벽에 접촉하여 누적되려는 경향을 최소화해준다. 이같은 작용은 상기 진동기(153)가 집중적으로 설치된 플렉시블 배관의 꺾임구간에서 더욱 크게 효과를 볼 수 있다. 한편, 상기 진동기(153)은 플렉시블 주름관(100-2)을 클리닝할 때에는 매우 유용하게 사용될 수 있다. 즉, 플렉시블 주름관(100-2)에 누적된 미량의 폐기가스를 진동에 의해 쉽게 털어낼 수 있으므로 플렉시블 주름관(100-2)의 내부 클리닝을 용이하게 수행할 수 있다. 이처럼 클리닝시에는 작업시와 달리 진동기(153)의 진동을 크게하는 것이 효과적이다. The vibrator 153 is installed at a predetermined interval on the outer wall of the flexible corrugated pipe (100-2), preferably intensively installed in the curved section of the flexible corrugated pipe (100-2). When the vibrator 153 is operated during waste gas discharge, the wall of the flexible corrugated pipe 100-2 vibrates finely to minimize the tendency of the waste gas being transported to accumulate in contact with the inner wall. This action can be more effective in the bending section of the flexible pipe in which the vibrator 153 is concentrated. On the other hand, the vibrator 153 may be very useful when cleaning the flexible corrugated pipe (100-2). That is, since a small amount of waste gas accumulated in the flexible corrugated pipe 100-2 can be easily shaken off by vibration, the internal cleaning of the flexible corrugated pipe 100-2 can be easily performed. As such, it is effective to increase the vibration of the vibrator 153 at the time of cleaning, unlike the operation.

여기서, 상기 진동기(153)는 플렉시블 주름관(100-2)에 부착하기 용이한 저주파 진동기(153), 초음파 진동기(153)를 비롯하여 다양한 형태의 진동기(153)로 구비될 수 있다.Here, the vibrator 153 may be provided with various types of vibrators 153 including a low frequency vibrator 153 and an ultrasonic vibrator 153 that are easy to attach to the flexible corrugated pipe 100-2.

상기 주름관용 전열선(154)은 플렉시블 주름관(100-2)의 외벽에 형성된 주름골(151)을 따라 나선형으로 설치되고, 단열재는 상기 주름관용 전열선(154)을 포함하여 플렉시블 주름관(100-2)의 외벽을 감싼 형태로 설치된다. 이같이 주름관용 전열선(154) 및 단열재가 추가적으로 구비되면 플렉시블 주름관(100-2) 내부에서 온도 저하로 인해 폐기가스가 고형화되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.The corrugated pipe heating wire 154 is spirally installed along the corrugated bone 151 formed on the outer wall of the flexible corrugated pipe 100-2, and the heat insulating material includes the corrugated pipe heating wire 154 for the flexible corrugated pipe 100-2. It is installed in the form of wrapping the outer wall. Thus, if the corrugated pipe heating wire 154 and the heat insulator are additionally provided, it is possible to effectively prevent the waste gas from solidifying due to the temperature drop inside the flexible corrugated pipe 100-2.

이와 같이 구성된 본 발명에 의한 폐기가스 유도장치의 동작 및 작용을 첨부한 도면에 의거 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings the operation and operation of the waste gas induction apparatus according to the present invention configured as described above in detail as follows.

먼저, 프로세스 챔버에서 폐기가스가 발생되어 흐르면 상기 폐기가스를 원활하게 이송시키기 위해 본 발명에 의한 폐기가스 유도장치를 작동시킨다. First, when waste gas is generated and flows in the process chamber, the waste gas inducing apparatus according to the present invention is operated to smoothly transport the waste gas.

먼저, 도 4a에서 볼 수 있듯이 상기 프로세스 챔버에서 발생된 폐기가스가 진공펌프를 거쳐 흐르면서 본 발명에 의한 폐기가스 유도장치의 메인본체(100-1)에 형성된 이송로(111)를 통과한다. First, as shown in FIG. 4A, the waste gas generated in the process chamber flows through a vacuum pump and passes through a transfer path 111 formed in the main body 100-1 of the waste gas inducing apparatus according to the present invention.

이와 동시에 본 발명에 따른 가열실(130)에 설치된 전열선(131)에 전원이 인가되어 발열을 시작하다. 이로써 외부로부터 질소가스 유입구(132)를 통해 가열실(130)로 유입되는 고아의 질소가스가 고온으로 가열된다. At the same time, power is applied to the heating wire 131 installed in the heating chamber 130 according to the present invention to start heat generation. As a result, the orphan nitrogen gas introduced into the heating chamber 130 through the nitrogen gas inlet 132 from the outside is heated to a high temperature.

이후, 상기 가열실(130)에서 고온으로 가열된 질소가스가 주입구(133)를 통해 고압 가스실(120)로 유입된 후 분출홈(121)을 통해 이송로(111)에 공급된다. Thereafter, the nitrogen gas heated to a high temperature in the heating chamber 130 is introduced into the high pressure gas chamber 120 through the injection port 133 and then supplied to the transport path 111 through the ejection groove 121.

이로써, 상기 이송로(111)를 흐르면서 통과하는 폐기가스가 고온 고압의 질소가스와 혼합되면서 열을 받아 폐기가스가 고형화되는 80℃ 이상의 온도를 일정 구간까지 유지할 수 있게 된다. 이때 상기 폐기가스는 상기 이송로(111)에 형성된 나선형의 가이드홈(113)에 의해 와류 형태로 회전하면서 분출되는 고온 고압의 질소가스와 원활하게 혼합된다. As a result, the waste gas passing through the transfer path 111 is mixed with nitrogen gas having a high temperature and high pressure to be heated to maintain a temperature of 80 ° C. or higher at which the waste gas is solidified to a predetermined section. At this time, the waste gas is smoothly mixed with the nitrogen gas of the high temperature and high pressure ejected while rotating in a vortex by the spiral guide groove 113 formed in the conveying path (111).

이후, 고온 고압의 질소가스와 혼합되어 보다 높은 온도 상태에서 빠른 속도로 이송되는 폐기가스는 메인본체(100-1)의 이송로(111)를 통과하여 플렉시블 주름관(100-2) 내부를 흐르게 된다. 이때 상기 플렉시블 주름관(100-2) 외측에는 전열선(131)과 단열재(155)가 설치되어 플렉시블 주름관(100-2) 내부를 가열하는 동시에 열이 외부로 빠져나가지 않도록 차단한다. 따라서 고온 고압의 질소가스에 의해 가열된 폐기가스가 상기 플렉시블 주름관(100-2)을 흐르는 동안에는 온도저하로 인해 고형화되지 않게 된다. Subsequently, the waste gas mixed with nitrogen gas of high temperature and high pressure and conveyed at a higher speed at a higher temperature state passes through the conveying path 111 of the main body 100-1 and flows inside the flexible corrugated pipe 100-2. . At this time, the heating wire 131 and the heat insulator 155 are installed outside the flexible corrugated pipe 100-2 to heat the inside of the flexible corrugated pipe 100-2 and block heat from escaping to the outside. Therefore, while the waste gas heated by the high temperature and high pressure nitrogen gas flows through the flexible corrugated pipe 100-2, the waste gas is not solidified due to the temperature decrease.

한편, 질소가스와 혼합되어 흐르는 폐기가스는 도 4b에서 볼 수 있는 것처럼 플렉시블 주름관(100-2)에 의해 부드럽게 곡선구간으로 형성되어 있는 꺾임구간(A,B)에서 누적되지 않고 원활한 흐름을 지속적으로 유지하게 된다. 상기 꺾임구간(A,B)에서는 플렉시블 주름관(100-2)의 내벽에 나선형 주름골(151)로 형성되어 있기 때문에 환형의 주름골(151)과는 달리 폐기가스의 누적이 최소화된다. On the other hand, the waste gas mixed with the nitrogen gas flows smoothly without being accumulated in the bending sections A and B, which are smoothly formed into curved sections by the flexible corrugated pipe 100-2, as shown in FIG. 4B. Will be maintained. In the bending sections A and B, since the spiral corrugated bone 151 is formed on the inner wall of the flexible corrugated pipe 100-2, unlike the annular corrugated bone 151, the accumulation of waste gas is minimized.

더욱이, 상기 플렉시블 주름관(100-2)의 꺾임구간에 집중적으로 설치된 진동기(153)가 주기적으로 진동하면서 상기 플렉시블 주름관(100-2)의 꺾임구간(A,B)에 접촉하는 폐기가스가 누적되려는 경향을 억제해준다.Furthermore, while the vibrator 153 intensively installed in the bending section of the flexible corrugated pipe 100-2 periodically vibrates, waste gas contacting the bending sections A and B of the flexible corrugated pipe 100-2 is accumulated. Suppresses the tendency.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 변경 및 균등물을 사용할 수 있다. 본 발명은 상기 실시예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다. Although preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention may use various changes, modifications, and equivalents. It is clear that the present invention can be applied in the same manner by appropriately modifying the above embodiments. Accordingly, the above description does not limit the scope of the invention as defined by the limitations of the following claims.

도1 은 종래기술에 의한 폐기가스 유도장치를 설명하기 위한 폐기가스 처리시스템의 구성도.1 is a block diagram of a waste gas treatment system for explaining a waste gas induction apparatus according to the prior art.

도 2는 폐기가스 유도장치의 전체 단면도.Figure 2 is an overall cross-sectional view of the waste gas induction apparatus.

도 3은 본 발명에 의한 폐기가스 유도장치를 설명하기 위한 참조단면도.Figure 3 is a cross-sectional view for explaining the waste gas induction apparatus according to the present invention.

도 4a 및 도 4b 본 발명에 의한 폐기가스 유도장치의 동작 및 작용을 설명하기 위한 참조도.4A and 4B are reference diagrams for explaining the operation and action of the waste gas inducing apparatus according to the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100-1 : 메인본체 100-2 : 플렉시블 주름관100-1: main body 100-2: flexible corrugated pipe

111 : 이송로 113 : 가이드홈111: transfer path 113: guide groove

120 : 고압 가스실 121 : 분출홈120: high pressure gas chamber 121: jet groove

130 : 가열실 131 : 전열선 130: heating chamber 131: heating wire

151 : 주름골 153 : 진동기151: corrugated bone 153: vibrator

154 : 주름관용 전열선 155 : 단열재154: heating wire for corrugated pipe 155: insulation

Claims (3)

폐기가스가 통과하는 이송로와, 상기 이송로에 고온 고압의 질소가스를 공급하는 고압 가스실과, 상기 고압 가스실의 일측에 마련되어 상기 고압 가스실로 보내지는 질소가스를 가열하는 가열실로 이루어지되, 상기 이송로에는 내벽 둘레를 따라 나선형으로 선회하면서 연속적으로 형성된 가이드홈이 구비된 메인본체와;It consists of a transfer path through which waste gas passes, a high pressure gas chamber for supplying a high temperature and high pressure nitrogen gas to the transfer path, and a heating chamber provided on one side of the high pressure gas chamber to heat the nitrogen gas sent to the high pressure gas chamber, The furnace includes a main body provided with guide grooves continuously formed while turning spirally around the inner wall; 상기 메인본체에 연결되어 상기 이송로와 연통되고, 내벽 둘레를 따라 나선형으로 선회하면서 연속적으로 형성된 주름골을 구비한 플렉시블 주름관을 포함하여 구성되는 폐기가스 유도장치.And a flexible corrugated pipe connected to the main body and in communication with the conveying path and having a corrugated bone formed continuously while turning spirally around the inner wall. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 플렉시블 주름관 내벽에 축적되는 부산물을 털어내기 위하여 상기 플렉시블 주름관 외벽에 다수의 진동기가 설치되는 것을 특징으로 하는 폐기가스 유도장치.Waste gas induction apparatus, characterized in that a plurality of vibrators are installed on the outer wall of the flexible corrugated pipe to shake off the by-product accumulated on the inner wall of the flexible corrugated pipe. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 플렉시블 주름관 외벽의 주름골을 따라 전열선이 감겨지고, 그 위로 상기 전열선을 포함하여 상기 플렉시블 주름관 외벽을 감싸는 단열재가 더욱 구비되는 것을 특징으로 하는 폐기가스 유도장치.The heating wire is wound along the corrugated bone of the outer wall of the flexible corrugated pipe, the waste gas induction apparatus further comprising a heat insulating material surrounding the flexible corrugated pipe outer wall including the heating wire thereon.
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