KR20100112020A - 2회 인쇄방식에 의해 제조된 태양전지, 그 제조장치 및 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 2회 인쇄방식에 의해 제조된 태양전지, 그 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에서는, 마스크 프레임(102)에 핑거전극 패턴(104)과 버스바전극 패턴(106)이 형성된 제 1 스크린마스크(100)와, 마스크 프레임(112)에 핑거전극 패턴(114)이 형성된 제 2 스크린마스크(110)가 제공된다. 상기 제 1 스크린마스크(100)와 제 2 스크린마스크(110)에서 상기 핑거전극 패턴(104)의 폭 및 각 핑거전극 패턴(104)사이의 거리는 동일하게 형성되어야 한다. 그리고, 상기 제 1 스크린마스크(100)와 제 2 스크린마스크(110)을 이용한 태양전지 제조는, 먼저 상기 제 1 스크린마스크(100)를 이용하여 실리콘 웨이퍼(120) 상에 핑거전극(122)과 버스바전극을 인쇄한다. 그런 다음, 제 2 스크린마스크(110)를 이용하여 상기 실리콘 웨이퍼(120)에 핑거전극(124)을 추가로 인쇄한다. 즉 핑거전극(126)에 대해서만 금속페이스트로 2회 인쇄하여 높게 인쇄되도록 하는 것이다. 두 번째 인쇄시의 핑거전극(124)의 폭(w")은 첫 번째 인쇄된 핑거전극(w')의 폭과 같거나 좁게 인쇄가 되어야 한다. 이와 같은 본 발명에 의하면 핑거전극의 전기전도도(Conductivity)가 향상되어 태양전지의 효율이 향상되고, 또 금속페이스트의 사용량이 절감되어 태양전지의 제조 단가가 절감되는 이점이 있다.
태양전지, 스크린마스크, 핑거전극, 버스바전극, 금속페이스트, 전기전도도

Description

2회 인쇄방식에 의해 제조된 태양전지, 그 제조장치 및 제조방법{TWICE PRINTED SOLLAR CELL, APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SOLLAR CELL}
본 발명은 태양전지에 관한 것으로, 특히 서로 상이하게 설계된 스크린 마스크를 이용하여 핑거전극이 2회 인쇄되는 태양전지, 그리고 그의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.
태양전지는 태양에너지를 직접 전기로 변환하는 전자소자이다. 태양전지의 대표적인 예가 실리콘 태양전지이고, 그 기본적인 구조는 반도체 PN 접합으로 구성되어 있다.
상기 실리콘 태양전지는 실리콘 웨이퍼상에 금속 페이스트, 즉 대부분 은 페이스트(Ag paste)나 알루미늄 페이스트(Al paste) 등을 이용하여 전극을 인쇄한 후 열처리를 수행함으로써, 전면전극 및 후면전극을 형성하고 있다. 특히 상기 전면전극은 핑거(Finger) 전극과 버스바(Busbar) 전극으로 구성된다.
상기 실리콘 태양전지의 전면전극은 스크린 프린팅 장비에 의해 형성될 수 있다. 상기 스크린 프린팅 장비를 도 1에 도시하고 있다. 도 1을 보면, 지지하우징(1)이 구비되고, 상기 지지하우징(1) 상에 실리콘 웨이퍼(2)가 안착된다. 상기 실리콘 웨이퍼(2)의 상면, 즉 태양광을 수광하는 면에는 핑거전극과 버스바전극의 전면전극을 형성하기 위해 핑거전극 패턴 및 버스바전극 패턴이 형성된 스크린마스크(3)가 놓이게 된다.
상기 스크린마스크(3)의 구성은 도 2에 도시되어 있다. 도 2를 살펴보면, 소정 크기의 마스크프레임(4)상에 핑거전극 패턴(5)과 버스바전극 패턴(6)이 형성되어 있다. 일반적으로 이와 같은 패턴을 'H-grid' 패턴이라 부르고 있다.
다시 도 1을 보면, 상기 스크린마스크(3)에는 금속 페이스트(7)가 놓이게 된다. 그리고, 상기 실리콘 웨이퍼(2)에 상기 금속 페이스트를 제공하여 핑거전극과 버스바전극이 인쇄되도록 상기 스크린마스크(3) 상에서 좌우로 이동되게 구성되는 스퀴즈(8)가 구비된다.
이어, 도 1 및 도 2를 이용하여 태양전지의 전면전극을 형성하는 과정을 설명한다.
먼저, 핑거전극 패턴(5)과 버스바전극 패턴(6)이 형성된 스크린 마스크(3)를 설계해야 한다. 여기서, 상기 핑거전극 패턴(5)의 폭, 버스바전극 패턴(6)의 폭, 각 핑거전극 패턴(5)간의 거리(d)는, 이론적인 계산을 통해 정해지게 된다. 통상적으로 핑거전극 패턴(5)의 폭은 80㎛ ~ 150㎛이고, 버스바전극 패턴(6)의 폭은 1.5㎜ ~ 2.8㎜ 로 정해지고 있다. 이는 태양전지의 크기가 커지게 되면 태양전지에서 빛에 의해 생성되는 전류의 흐름이 증가하게 되기 때문에, 적절한 두께와 폭을 갖는 핑거전극 및 버스바전극이 형성되어야지만 전류 손실을 최대한 줄일 수 있기 때문이다.
일단, 상기와 같이 스크린 마스크(3)가 설계되면, 실리콘 웨이퍼(2)가 안착된 지지하우징(1)의 상측에 이를 고정되게 장착한다. 그리고 상기 스크린 마스크(3)에 금속 페이스트(7)를 놓고, 상기 스퀴즈(8)를 좌우방향으로 이동되게 한다.
그러면, 상기 금속페이스트(7)는 상기 스크린 마스크(3)에 형성된 전극 패턴(5)(6)를 통과하여 상기 실리콘 웨이퍼(7)로 제공되고, 상기 실리콘 웨이퍼(7)에 패턴 인쇄되게 된다.
상기 실리콘 웨이퍼(7)에 핑거전극과 버스바전극이 인쇄된 상태가 도 3에 도시되어 있다. 도 3을 보면 도면부호 '10'은 실리콘 웨이퍼이고, '11'은 핑거전극, '12'는 버스바전극이다. 즉 도 2의 전극패턴과 동일하게 실리콘 웨이퍼(10)에 핑거전극(11)과 버스바전극(12)이 인쇄되어 있음을 알 수 있다.
그와 같이 전면전극이 형성된 다음에는 후면전극을 형성하고, 이후 열처리공정을 통해 실리콘 태양전지를 완성하게 된다.
한편, 최근에는 실리콘 태양전지가 대면적화 되는 추세이다. 하지만, 상기한 방법으로 제조된 실리콘 태양전지에서 핑거전극(11)의 전기 전도도(Conductivity)는 대면적화되는 실리콘 태양전지에는 비효율적이었다. 즉 1회 인쇄된 핑거전극(11)의 높이만으로는 원하는 전기 전도도를 제공할 수 없었다.
그래서 최근에는 핑거전극(11)의 전기전도도를 향상시키는 방법이 모색되고 있다. 여기서 상기 핑거전극(11)의 전기전도도만 향상시키려는 이유는, 앞서 설명한 바와 같이 상기 핑거전극(11)의 폭보다 상기 버스바전극(12)의 폭이 상대적으로 상당히 넓기 때문에 1회 인쇄만으로도 충분한 전기전도도의 특성을 제공할 수 있기 때문이다. 또 핑거전극(11)의 폭을 넓게 인쇄하는 것에도 한계가 있다. 이는 태양전지의 수광면적이 그만큼 줄어듬을 의미한다.
따라서, 이를 해결하기 위해 동일한 전극 패턴이 형성된 스크린 마스크로 핑거전극(11)과 버스바전극(12)을 2회 인쇄하여 전극 높이를 보다 높게 형성하는 방안이 제공되고 있다. 이렇게 하면 핑거전극(11)의 전기전도도가 1회 인쇄한 것보다 우수해지고, 핑거전극(11)의 폭을 좁게 할 수 있어 수광면적을 늘릴수 있게 된다. 즉 태양전지의 효율을 향상시킬 수 있게 된다.
하지만, 상기한 방법은 전기전도도가 충분하여 2회 인쇄가 불필요한 버스바전극까지 2회 인쇄하고 있어, 금속 페이스트의 사용량이 증대되는 문제가 있다. 이는 결과적으로 태양전지의 단가를 상승시키고 있다.
따라서 본 발명의 목적은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 2회 인쇄방식으로 실리콘 태양전지를 제조하는 경우 금속 페이스트의 사용량을 줄이면서 상대적으로 효율이 높은 태양전지를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 양산 공정에 바로 적용할 수 있고, 우수한 작동 효율의 태양전지를 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 핑거전극 패턴 및 버스바전극 패턴이 형성된 스크린마스크를 이용하여, 실리콘 웨이퍼 상에 핑거전극과 버스바전극을 금속 페이스트로 인쇄하는 제 1 인쇄과정; 그리고, 핑거전극 패턴만이 형성된 스크린마스크를 이용하여 상기 실리콘 웨이퍼에 핑거전극을 금속페이스트로 더 인쇄하는 제 2 인쇄과정;을 포함하여 이루어진다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 핑거전극 패턴만이 형성된 스크린 마스크를 이용하여 실리콘 웨이퍼 상에 핑거전극을 금속 페이스트로 인쇄하는 제 1 인쇄과정; 그리고, 핑거전극 패턴 및 버스바전극 패턴이 형성된 스크린마스크를 이용하여 상기 실리콘 웨이퍼상에 핑거전극과 버스바전극을 금속 페이스트로 인쇄하는 제 2 인쇄과정;을 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 금속 페이스트로는 은 페이스트(Ag paste)가 사용되되, 상기 제 1 인쇄과정에 사용되는 은 페이스트(Ag paste)는 글라스 플릿(glass frit)을 포 함하여야 하고, 제 2 인쇄과정에 사용되는 은 페이스트(Ag paste)는 글라스 플릿을 포함하거나 포함하지 않아도 된다.
그리고, 상기 제 2 인쇄과정에 의해 인쇄되는 핑거전극의 폭은 상기 제 1 인쇄과정에 의해 인쇄된 핑거전극의 폭과 같거나 상대적으로 좁게 인쇄되게 해야 한다.
한편, 상기 실리콘 웨이퍼상에 2회의 인쇄과정을 수행한 후, 급속 열처리 공정을 수행하는 열처리 과정이 더 포함되어 구성된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 실리콘 웨이퍼에 핑거전극 및 버스바전극을 인쇄하기 위해 핑거전극 패턴 및 버스바전극 패턴이 형성된 제 1 스크린마스크; 상기 핑거전극 및 버스바전극이 인쇄된 상태에서 상기 핑거전극만을 더 인쇄하도록 핑거전극 패턴만이 형성된 제 2 스크린마스크; 그리고, 상기 제 1 스크린마스크와 제 2 스크린마스크를 이용하여 상기 실리콘 웨이퍼상에 핑거전극은 2회 인쇄하고 버스바전극은 1회 인쇄하는 스크린 프린팅 장비;를 포함하여 구성된다.
상기 제 2 스크린 마스크에 형성된 핑거전극 패턴의 폭은 제 1 스크린 마스크에 형성된 핑거전극 패턴의 폭과 같거나 좁게 형성된다.
또 상기 실리콘 웨이퍼는 P형 불순물이 도핑된 실리콘 웨이퍼이다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 실리콘 웨이퍼의 전면에 소정 높이(h')와 폭(w')으로 인쇄된 제 1 핑거전극 및 버스바전극; 그리고, 상기 제 1 핑거전극상에 소정 높이(h")와 폭(w")으로 제 2 핑거전극이 더 인쇄되어 상기 제 1 핑거전극과 제 2 핑거전극이 일체로 형성되는 핑거전극;을 포함하되, 상기 제 2 핑거전극의 폭(w")은 상기 제 1 핑거전극(w')의 폭과 같거나 좁게 인쇄되는 태양전지가 제공된다.
본 발명에서는 핑거전극 패턴 및 버스바전극 패턴이 형성된 스크린마스크를 이용하여 실리콘 웨이퍼상에 전극을 인쇄하고, 그 다음에 핑거전극 패턴만이 형성된 스크린마스크를 이용하여 핑거전극만을 추가로 인쇄하고 있어, 핑거전극의 전기전도도를 증가시킬 수 있어 대면적의 태양전지의 전류 흐름이 원활하게 된다. 또 핑거전극의 폭을 좁게 인쇄할 수 있어 태양광을 수광하는 면적이 증가되기 때문에, 태양전지의 효율이 향상되는 효과가 있다.
그리고 핑거전극만을 2회 인쇄하고 버스바전극은 인쇄하지 않게 되어, 종래 2회 인쇄시보다 금속 페이스트의 사용량을 대략 절반 가량 줄일 수 있게 되어 제조단가의 절감을 기대할 수 있다. 이는 태양전지의 가격을 다운시킬 수 있어 가격 경쟁력 확보에 유리하다.
그리고 핑거전극만을 2회 인쇄하게 되어 전체적인 공정시간이 단축되는 효과도 있다.
아울러 현재 태양전지를 생산하는 장비로 쉽게 구현이 가능하기 때문에 양산 공정에 바로 적용이 가능한 효과도 있다.
이하 본 발명에 의한 2회 인쇄방식에 의해 제조된 태양전지, 그 제조장치 및 제조방법을 첨부된 도면에 도시된 바람직한 실시 예를 참조하여 상세하게 설명한다.
본 발명 실시 예에 따라 2회 인쇄방식으로 전극을 인쇄하는 장치는 종래기술에서 언급하고 있는 스크린 프린팅 장비와 동일하다. 즉 실리콘 웨이퍼가 안착되는 지지하우징이 있고, 그 지지하우징에는 상기 실리콘 웨이퍼에 전극을 형성하기 위해 전극패턴이 형성된 스크린마스크가 장착되게 된다. 그리고, 스크린마스크에는 금속 페이스트가 제공되며, 상기 스크린마스크를 통해 상기 실리콘 웨이퍼에 상기 금속 페이스트를 제공하도록 상기 스크린마스크 상에서 좌우로 이동되는 스퀴즈가 구비된다. 즉 본 실시 예에서는 이러한 스크린 프린팅 장비를 이용하여 설명하기로 한다. 다만, 본 발명의 실시 예에서는 2 종류의 스크린마스크가 각각 제공되어진다.
이를 도 4에 도시하고 있다. 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 스크린마스크의 구성도이다.
그 중, 도 4(a)는 마스크 프레임(102)에 핑거전극 패턴(104)과 버스바전극 패턴(106)이 형성된 스크린마스크(이하, '제 1 스크린 마스크'라 함)(100)를 도시하고 있다. 상기 제 1 스크린마스크(100)는 핑거전극 패턴(104), 버스바전극 패턴(104), 각각의 핑거전극 패턴(104) 사이의 거리는 이론적인 계산을 통해 정해진다. 이 제 1 스크린마스크(100)는 현재 널리 사용되고 있는 'H-grid 패턴'이 형성된 마스크를 말한다.
도 4(b)는 마스크 프레임(112)에 핑거전극 패턴(114)만 형성된 스크린마스크(이하, '제 2 스크린마스크'라 함)(110)를 도시하고 있다.
여기서, 상기 제 2 스크린마스크(110)에 형성된 핑거전극 패턴(104)(114)의 폭은 상기 제 1 스크린마스크(100)에 형성된 핑거전극 패턴(104)(114)의 폭과 같거나 좁게 형성된다.
그리고, 상기 제 1 스크린마스크(100)에 의한 인쇄가 완료되고, 다음에 상기 제 2 스크린마스크(110)에 의한 인쇄가 수행될 때, 상기 제 1 스크린마스크(100)와 제 2 스크린마스크(110)는 상기 지지하우징 상의 동일한 위치에 장착될 수 있게 해야한다.
이어, 상기한 전극 패턴을 가지는 제 1 스크린마스크 및 제 2 스크린마스크를 이용하여 태양전지를 제조하는 과정을 도 5를 참조하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따라 태양전지의 전극패턴 중 핑거전극이 형성되고 있는 과정의 단면도를 도시하고 있다.
먼저, 도 5(a)와 같은 실리콘 웨이퍼(120)를 상술한 스크린 프린팅 장비의 지지하우징에 안착시킨다. 그리고 실리콘 웨이퍼(120) 위에 제 1 스크린마스크(100)를 설치한다. 상기 제 1 스크린마스크(100)에는 금속 페이스트가 제공된다. 본 실시 예에서 상기 금속 페이스트로는 은 페이스트(Ag paste)가 사용됨을 예를 들어 설명하기로 한다. 그래서 이후에서는 은 페이스트로 칭하여 설명한다. 한편, 상기 은 페이스트(Ag paste)는 글라스 플릿(glass frit)이 포함된 페이스트이다.
그런 상태에서 스퀴즈를 좌우방향으로 이동시키면 은 페이스트(Ag paste)은 상기 제 1 스크린마스크(100)에 형성된 핑거전극 패턴(104)과 버스바전극 패턴(106)을 통과하여 상기 실리콘 웨이퍼(120)에 제공된다. 그러면 결국 상기 실리콘 웨이퍼(120)에 상기 제 1 스크린마스크(100)의 패턴대로 핑거전극(122, 제 1 핑거전극이라고도 함)과 버스바전극이 인쇄되게 된다. 참고로 도 5에서는 버스바 전극은 도시하지 않고 있다. 상기 핑거전극(122)이 인쇄된 상태가 도 5(b)에 도시되어 있다. 이때의 핑거전극(122)의 높이는 h'이고, 폭은 W'이다.
일단 도 5(b)에서와 같이 실리콘 웨이퍼(120)에 핑거전극(122)이 인쇄되면, 상기 핑거전극(122)에 대한 추가 인쇄공정이 실시된다. 이를 위해, 상기 지지하우징에 설치된 제 1 스크린마스크(100)를 제거하고, 동일한 위치에 제 2 스크린마스크(110)를 설치한다. 상기 제 2 스크린마스크(110)에 은 페이스트(Ag paste)가 제공된다. 여기서 은 페이스트(Ag paste)는 글라스 플릿(glass frit)이 포함되거나, 포함되지 않은 페이스트가 사용된다.
그런 상태에서 스퀴즈를 좌우방향으로 이동시키면 은 페이스트(Ag paste)은 상기 제 2 스크린마스크(110)에 형성된 핑거전극 패턴(114)을 통과하여 상기 실리콘 웨이퍼(120)에 제공된다. 그러면 결국 상기 실리콘 웨이퍼(120)에는 상기 제 2 스크린마스크(110)의 핑거전극 패턴(114)대로 핑거전극(124, 제 2 핑거전극이라고도 함)이 추가로 인쇄되게 된다. 이 상태가 도 5(c)에 도시되어 있다.
도 5(c)를 보면, 1회 인쇄에 따라 h' 높이를 가지는 핑거전극(122)위에 h" 높이만큼 핑거전극(124)이 추가로 인쇄되어 있음을 알 수 있다. 아울러 핑거전극(124)의 폭(w")은 처음 인쇄된 핑거전극(122)의 폭(w')과 같거나 좁게 인쇄되게 된다. 그리고, 도 5(c)와 같이 2회 인쇄에 의해 인쇄된 핑거전극(126)의 전 기전도도는 대략 3.5 ~ 5.0 × 107 s/m의 값을 가지게 된다.
한편, 상기한 과정에 의해 전면전극의 인쇄가 완료된 다음에는 실리콘 태양전지의 후면전극을 인쇄하고, 다음으로 750 내지 850℃에서 1초 ~ 15초간 급속 열처리 공정이 수행되게 된다. 상기 급속 열처리 공정은, 급속 열처리 공정장비(Rapid Thermal Processing. RTP) 내지 'IR Belt Furnace 장비' 등을 이용하여 수행한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 실리콘 웨이퍼상에 핑거전극과 버스바전극을 핑거전극 패턴 및 버스바전극 패턴이 형성된 스크린마스크를 이용하여 1회 인쇄하고, 그 다음에 핑거 전극패턴만이 형성된 스크린마스크를 이용하여 핑거전극만을 2회 인쇄하여 핑거전극의 전기전도도를 향상시키고 있어, 대면적의 태양전지에서 태양광에 의해 생성되는 전기의 양을 충분히 전달할 수 있다.
이상과 같이 본 발명의 도시된 실시 예를 참고하여 설명하고 있으나, 이는 예시적인 것들에 불과하며, 본 발명의 속하는 기술분야의 통상 지식을 가진 자라면 본 발명의 요지 및 범위에 벗어나지 않으면서도 다양한 변형, 변경 및 균등한 타 실시 예들이 가능하다는 것을 명백하게 알 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적인 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
즉 도시된 실시 예에서는 핑거전극 패턴과 버스바전극 패턴이 형성된 스크린마스크를 이용하여 1차 인쇄하고, 핑거전극 패턴만이 형성된 스크린마스크를 이용 하여 2차 인쇄하고 있지만, 그 반대, 즉 핑거전극 패턴이 형성된 스크린마스크를 이용하여 핑거전극을 먼저 인쇄한 다음 핑거전극 패턴과 버스바전극 패턴이 형성된 스크린마스크를 이용하여 핑거전극과 버스바전극을 인쇄하는 것도 본 발명에 적용될 수 있다.
도 1은 실리콘 태양전지의 전면전극을 형성하기 위한 스크린 프린팅 장치의 구성도
도 2는 실리콘 태양전지의 전면전극을 형성하기 위한 종래 스크린 마스크의 구성도
도 3은 종래기술에 따라 핑거전극과 버스바전극이 인쇄된 실리콘 웨이퍼의 평면도
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 스크린마스크의 구성도로서, 도 4(a)는 핑거전극 패턴과 버스바전극 패턴이 형성된 제 1 스크린마스크이고, 도 4(b)는 핑거전극 패턴이 형성된 제 2 스크린마스크의 구성도
도 5는 본 발명의 실시 예에 따라 태양전지의 전극패턴 중 핑거전극이 형성되고 있는 과정을 보인 단면도
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
100 : 제 1 스크린마스크 104 : 핑거전극 패턴
106 : 버스바전극 패턴 110 : 제 2 스크린마스크
114 : 핑거전극 패턴 120 : 실리콘 웨이퍼
122 : 제 1 핑거전극 124 : 제 2 핑거전극

Claims (9)

  1. 핑거전극 패턴 및 버스바전극 패턴이 형성된 스크린마스크를 이용하여, 실리콘 웨이퍼 상에 핑거전극과 버스바전극을 금속 페이스트로 인쇄하는 제 1 인쇄과정; 그리고,
    핑거전극 패턴만이 형성된 스크린마스크를 이용하여 상기 실리콘 웨이퍼에 핑거전극을 금속페이스트로 더 인쇄하는 제 2 인쇄과정;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법.
  2. 핑거전극 패턴만이 형성된 스크린마스크를 이용하여 실리콘 웨이퍼 상에 핑거전극을 금속 페이스트로 인쇄하는 제 1 인쇄과정; 그리고,
    핑거전극 패턴 및 버스바전극 패턴이 형성된 스크린마스크를 이용하여 상기 실리콘 웨이퍼상에 핑거전극과 버스바전극을 금속 페이스트로 인쇄하는 제 2 인쇄과정;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 금속 페이스트로는 은 페이스트(Ag paste)가 사용되되,
    상기 제 1 인쇄과정에 사용되는 은 페이스트(Ag paste)는 글라스 플릿(glass frit)을 포함하여야 하고, 제 2 인쇄과정에 사용되는 은 페이스트(Ag paste)는 글라스 플릿을 포함하거나 미포함되는 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 제 2 인쇄과정에 의해 인쇄되는 핑거전극의 폭은 상기 제 1 인쇄과정에 의해 인쇄된 핑거전극의 폭과 같거나 좁게 인쇄되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 실리콘 웨이퍼상에 2회의 인쇄과정을 수행한 후, 급속 열처리 공정을 수행하는 열처리 과정이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법.
  6. 실리콘 웨이퍼에 핑거전극 및 버스바전극을 인쇄하기 위해 핑거전극 패턴 및 버스바전극 패턴이 형성된 제 1 스크린마스크;
    상기 핑거전극 및 버스바전극이 인쇄된 상태에서 상기 핑거전극만을 더 인쇄하도록 핑거전극 패턴만이 형성된 제 2 스크린마스크; 그리고,
    상기 제 1 스크린마스크와 제 2 스크린마스크를 이용하여 상기 실리콘 웨이퍼상에 핑거전극은 2회 인쇄하고 버스바전극은 1회 인쇄하는 스크린 프린팅 장비;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 태양전지 제조장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제 2 스크린 마스크에 형성된 핑거전극 패턴의 폭은 제 1 스크린 마스크에 형성된 핑거전극 패턴의 폭과 같거나 좁게 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 실리콘 웨이퍼는 P형 불순물이 도핑된 실리콘 웨이퍼임을 특징으로 하는 태양전지 제조장치.
  9. 실리콘 웨이퍼의 전면에 소정 높이(h')와 폭(w')으로 인쇄된 제 1 핑거전극 및 버스바전극; 그리고,
    상기 제 1 핑거전극상에 소정 높이(h")와 폭(w")으로 제 2 핑거전극이 더 인쇄되어 상기 제 1 핑거전극과 제 2 핑거전극이 일체로 형성되는 핑거전극;을 포함하되,
    상기 제 2 핑거전극의 폭(w")은 상기 제 1 핑거전극(w')의 폭보다 좁게 인쇄되는 것을 특징으로 하는 태양전지.
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