KR20100109319A - Solar cell and method of fabricating the same - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 claims description 7
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 7
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 6
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 claims description 6
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 claims description 6
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 6
- DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N but-3-enoic acid;ethene Chemical compound C=C.OC(=O)CC=C DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 claims description 5
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 4
- 238000010248 power generation Methods 0.000 abstract description 4
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 abstract 3
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 46
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 22
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N Terephthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 4
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 4
- WUPHOULIZUERAE-UHFFFAOYSA-N 3-(oxolan-2-yl)propanoic acid Chemical compound OC(=O)CCC1CCCO1 WUPHOULIZUERAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KTSFMFGEAAANTF-UHFFFAOYSA-N [Cu].[Se].[Se].[In] Chemical compound [Cu].[Se].[Se].[In] KTSFMFGEAAANTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052980 cadmium sulfide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 2
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 2
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- YNLHHZNOLUDEKQ-UHFFFAOYSA-N copper;selanylidenegallium Chemical compound [Cu].[Se]=[Ga] YNLHHZNOLUDEKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003346 selenoethers Chemical class 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
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- H01L31/046—PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
- H01L31/048—Encapsulation of modules
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L31/072—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier the potential barriers being only of the PN heterojunction type
- H01L31/0749—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier the potential barriers being only of the PN heterojunction type including a AIBIIICVI compound, e.g. CdS/CulnSe2 [CIS] heterojunction solar cells
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
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Abstract
Description
실시예는 태양광 발전장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The embodiment relates to a photovoltaic device and a method of manufacturing the same.
최근 에너지의 수요가 증가함에 따라서, 태양광 에너지를 전기에너지로 변환시키는 태양전지에 대한 개발이 진행되고 있다.Recently, as the demand for energy increases, development of solar cells for converting solar energy into electrical energy is in progress.
특히, 유리기판, 금속 이면 전극층, p형 CIGS계 광 흡수층, 고저항 버퍼층, n형 창층 등을 포함하는 기판 구조의 pn 헤테로 접합 장치인 CIGS계 태양전지가 널리 사용되고 있다.In particular, CIGS-based solar cells that are pn heterojunction devices having a substrate structure including a glass substrate, a metal back electrode layer, a p-type CIGS-based light absorbing layer, a high resistance buffer layer, an n-type window layer, and the like are widely used.
또한, 이러한 태양전지를 형성하기 위해서, 기계적인 패터닝 공정이 수행될 수 있다. 이때, 패터닝에 의해서 형성되어, 발전에 사용되지 않는 데드 존에 의해서, 태양전지의 발전효율이 감소될 수 있다.In addition, to form such a solar cell, a mechanical patterning process may be performed. At this time, by the dead zone is formed by patterning, which is not used for power generation, the power generation efficiency of the solar cell can be reduced.
실시예는 향상된 효율을 가지는 태양광 발전장치를 제공하고자 한다.Embodiments provide a photovoltaic device having improved efficiency.
일 실시예에 따른 태양광 발전장치는 기판; 상기 기판 상에 배치되며, 서로 이격되는 다수 개의 전극들; 상기 전극들 사이에 각각 개재되는 다수 개의 제 1 절연부재들; 상기 전극들 상에 배치되는 다수 개의 광 흡수부들; 및 상기 광 흡수부들 상에 배치되는 다수 개의 윈도우들을 포함한다.Photovoltaic device according to one embodiment includes a substrate; A plurality of electrodes disposed on the substrate and spaced apart from each other; A plurality of first insulating members interposed between the electrodes; A plurality of light absorbing parts disposed on the electrodes; And a plurality of windows disposed on the light absorbing portions.
일 실시예에 따른 태양광 발전장치는 상기 윈도우들 사이에 각각 개재되는 다수 개의 제 2 절연부재들을 더 포함할 수 있다The photovoltaic device according to an embodiment may further include a plurality of second insulating members interposed between the windows.
일 실시예에 따른 태양광 발전장치는 상기 윈도우들 상에 배치되는 완충시트를 더 포함하며, 상기 제 2 절연부재들은 상기 완충시트와 일체로 형성될 수 있다.The solar cell apparatus according to the embodiment further includes a buffer sheet disposed on the windows, and the second insulating members may be integrally formed with the buffer sheet.
일 실시예에서, 상기 제 2 절연부재들은 상기 광 흡수부들 사이에 개재될 수 있다.In one embodiment, the second insulating members may be interposed between the light absorbing portions.
일 실시예에서, 상기 제 1 절연부재들 및 상기 제 2 절연부재들은 를 포함할 수 있다.In one embodiment, the first insulating members and the second insulating members may include.
일 실시예에서, 상기 제 1 절연부재들의 상면 및 상기 전극들의 상면은 동일한 평면에 배치될 수 있다.In an embodiment, the top surface of the first insulating members and the top surface of the electrodes may be disposed on the same plane.
일 실시예에 따른 태양광 발전장치의 제조방법은 기판 상에 다수 개의 전극들을 형성하는 단계; 상기 전극들 사이에 다수 개의 제 1 절연부재들을 각각 형성 하는 단계; 상기 전극들 상에 광 흡수부들을 형성하는 단계; 및 상기 광 흡수부들 상에 윈도우들을 형성하는 단계를 포함한다.According to one or more exemplary embodiments, a method of manufacturing a solar cell apparatus includes: forming a plurality of electrodes on a substrate; Forming a plurality of first insulating members between the electrodes, respectively; Forming light absorbing portions on the electrodes; And forming windows on the light absorbing portions.
실시예에 따른 태양광 발전장치는 전극들 사이에 각각 개재되는 제 1 절연부재들 및 상기 윈도우들 사이에 각각 개재되는 제 2 절연부재들을 포함한다.The solar cell apparatus according to the embodiment includes first insulating members interposed between the electrodes and second insulating members interposed between the windows.
따라서, 실시예에 따른 태양광 발전장치는 전극들 사이를 효율적으로 절연할 수 있고, 상기 윈도우들 사이를 효율적으로 절연할 수 있다.Therefore, the solar cell apparatus according to the embodiment can efficiently insulate between the electrodes, and can efficiently insulate the windows.
즉, 실시예에 따른 태양광 발전장치는 상기 제 1 절연부재들 및 상기 제 2 절연부재들에 의해서, 다수 개의 셀들을 용이하게 분리할 수 있다.That is, in the solar cell apparatus according to the embodiment, a plurality of cells can be easily separated by the first insulating members and the second insulating members.
따라서, 실시예에 따른 태양광 발전장치는 셀들 사이의 간격을 줄일 수 있고, 이에 따른 쇼트 및 누설 전류를 감소시킬 수 있다.Therefore, the solar cell apparatus according to the embodiment can reduce the gap between the cells, thereby reducing the short and leakage current.
따라서, 실시예에 따른 태양광 발전장치는 향상된 효율을 가진다.Therefore, the solar cell apparatus according to the embodiment has improved efficiency.
실시 예의 설명에 있어서, 각 기판, 막, 전극, 홈 또는 층 등이 각 기판, 전극, 막, 홈 또는 층 등의 "상(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상(on)"과 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 구성요소를 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 구성요소의 상 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. 도면에서의 각 구성요소들의 크기는 설명을 위하여 과장될 수 있으며, 실제로 적용되는 크기를 의미하는 것은 아니다.In the description of the embodiments, it is described that each substrate, film, electrode, groove or layer or the like is formed "on" or "under" of each substrate, electrode, film, groove or layer or the like. In the case, “on” and “under” include both being formed “directly” or “indirectly” through other components. In addition, the upper or lower reference of each component is described with reference to the drawings. The size of each component in the drawings may be exaggerated for the sake of explanation and does not mean the size actually applied.
도 1은 실시예에 따른 태양광 발전장치의 일 단면을 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a cross section of the solar cell apparatus according to the embodiment.
도 1을 참조하면, 태양광 발전장치는 지지기판(100), 이면전극층(200), 광 흡수층(300), 버퍼층(400), 고저항 버퍼층(500), 윈도우층(600), 접속부들(700), 제 1 절연부재들(810) 및 제 2 절연부재들(820)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the photovoltaic device includes a
상기 지지기판(100)은 플레이트 형상을 가지며, 상기 이면전극층(200), 상기 광 흡수층(300), 상기 버퍼층(400), 상기 고저항 버퍼층(500), 윈도우층(600), 접속부들(700), 제 1 절연부재들(810) 및 제 2 절연부재들(820)를 지지한다.The
상기 지지기판(100)은 절연체일 수 있다. 상기 지지기판(100)은 유리기판, 플라스틱기판 또는 금속기판일 수 있다. 더 자세하게, 상기 지지기판(100)은 소다 라임 글래스(soda lime glass) 기판일 수 있다. 상기 지지기판(100)은 투명할 수 있다. 상기 지지기판(100)은 리지드하거나 플렉서블할 수 있다.The
상기 이면전극층(200)은 상기 지지기판(100) 상에 배치된다. 상기 이면전극층(200)은 도전층이다. 상기 이면전극층(200)으로 사용되는 물질의 예로서는 몰리브덴 등의 금속을 들 수 있다.The
또한, 상기 이면전극층(200)은 두 개 이상의 층들을 포함할 수 있다. 이때, 각각의 층들은 같은 금속으로 형성되거나, 서로 다른 금속으로 형성될 수 있다.In addition, the
상기 이면전극층(200)은 제 1 관통홈(TH1)에 의해서 구분되는 다수 개의 이면전극들(210, 220...)을 포함한다. 상기 이면전극들(210, 220...)은 서로 이격된다. 상기 이면전극들(210, 220...) 사이의 간격은 약 10㎚ 내지 70㎛ 일 수 있다.The
상기 이면전극들(210, 220...)은 스트라이프(stripe) 형태로 배치된다. 상기 이면전극들(210, 220...)은 각각의 셀(C1, C2...)에 대응한다.The
이와는 다르게, 상기 이면전극들(210, 220...)은 매트릭스(matrix) 형태로 배치될 수 있다.Alternatively, the
상기 광 흡수층(300)은 상기 이면전극층(200) 상에 배치된다. 상기 광 흡수층(300)은 Ⅰ족-Ⅲ족-Ⅵ족 계 화합물을 포함한다. 예를 들어, 상기 광 흡수층(300)은 구리-인듐-갈륨-셀레나이드계(Cu(In,Ga)Se2;CIGS계) 결정 구조, 구리-인듐-셀레나이드계 또는 구리-갈륨-셀레나이드계 결정 구조를 가질 수 있다.The light absorbing
상기 광 흡수층(300)의 에너지 밴드갭(band gap)은 약 1eV 내지 1.8eV일 수 있다.The energy band gap of the
상기 광 흡수층(300)은 제 2 관통홈(TH2) 및 제 3 관통홈(TH3)에 의해서 구분되는 다수 개의 광 흡수부들(310, 320...)을 포함한다. 상기 광 흡수부들(310, 320...)은 서로 이격되며, 상기 이면전극들(210, 220...)에 각각 대응한다.The light absorbing
상기 버퍼층(400)은 상기 광 흡수층(300) 상에 배치된다. 상기 버퍼층(400)은 황화 카드뮴(CdS)을 포함하며, 상기 버퍼층(400)의 에너지 밴드갭은 약 2.2eV 내지 2.4eV이다.The
상기 버퍼층(400)은 상기 제 2 관통홈(TH2) 및 상기 제 3 관통홈(TH3)에 의해서 구분되는 다수 개의 버퍼들(410, 420...)을 포함한다. 상기 버퍼들(410, 420...)은 서로 이격된다. 또한, 상기 버퍼들(410, 420...)은 상기 광 흡수부들(310, 320...)에 각각 대응한다.The
상기 고저항 버퍼층(500)은 상기 버퍼층(400) 상에 배치된다. 상기 고저항 버퍼층(500)은 불순물이 도핑되지 않은 징크 옥사이드(i-ZnO)를 포함한다. 상기 고저항 버퍼층(500)의 에너지 밴드갭은 약 3.1eV 내지 3.3eV이다.The high
상기 고저항 버퍼층(500)은 상기 제 2 관통홈(TH2) 및 상기 제 3 관통홈(TH3)에 의해서 구분되는 다수 개의 고저항 버퍼들(510, 520...)을 포함한다. 상기 고저항 버퍼들(510, 520...)은 서로 이격된다. 또한, 상기 고저항 버퍼들(510, 520...)은 상기 광 흡수부들(310, 320...)에 각각 대응한다.The high
상기 윈도우층(600)은 상기 고저항 버퍼층(500) 상에 배치된다. 상기 윈도우층(600)은 투명하며, 도전층이다. 상기 윈도우층(600)으로 사용되는 물질의 예로서는 알루미늄이 도핑된 징크 옥사이드(Al doped ZnO;AZO) 등을 들 수 있다.The
상기 윈도우층(600)은 상기 제 3 관통홈(TH3)에 의해서 구분되는 다수 개의 윈도우들(610, 620...)을 포함한다. 상기 윈도우들(610, 620...)은 서로 이격된다. 상기 윈도우들(610, 620...) 사이의 간격은 약 10㎚ 내지 약 70㎛ 이다.The
상기 윈도우들(610, 620...)은 상기 이면전극들(210, 220...)과 대응되는 형상을 가진다. 즉, 상기 윈도우들(610, 620...)은 스트라이프 형태로 배치된다. 이와는 다르게, 상기 윈도우들(610, 620...)은 매트릭스 형태로 배치될 수 있다.The
상기 윈도우층(600)은 상기 광 흡수층(300)에 정공을 공급하기 위한 n형 도전층이다. 또한, 상기 윈도우들(610, 620...)은 전극 기능을 수행할 수 있다.The
상기 제 2 관통홈(TH2)은 광 흡수층(300), 상기 버퍼층(400) 및 상기 고저항 버퍼층(500)을 관통하고, 상기 제 3 관통홈(TH3)은 상기 광 흡수층(300), 상기 버퍼층(400), 상기 고저항 버퍼층(500) 및 윈도우층(600)을 관통한다.The second through hole TH2 penetrates the
또한, 상기 제 3 관통홈(TH3)에 의해서 다수 개의 셀들(C1, C2...)이 정의된다. 즉, 상기 제 3 관통홈(TH3)에 의해서, 실시예에 따른 태양광 발전장치는 상기 셀들(C1, C2...)로 구분된다.In addition, a plurality of cells C1, C2... Are defined by the third through hole TH3. That is, the photovoltaic device according to the embodiment is divided into the cells C1, C2... By the third through hole TH3.
상기 접속부들(700)은 상기 흡수부들, 상기 버퍼들(410, 420...) 및 상기 고저항 버퍼들(510, 520...)의 측면에 배치된다. 즉, 상기 접속부들(700)은 상기 제 2 관통홈(TH2) 내측에 배치된다. 상기 접속부들(700)은 각각 상기 윈도우층(600)으로부터 하방으로 연장되며, 상기 이면전극층(200)에 직접 접촉한다.The
따라서, 상기 접속부(700)는 서로 인접하는 셀들(C1, C2...)에 각각 포함된 윈도우와 이면전극을 연결한다. 즉, 상기 접속부(700)는 제 1 셀(C1)에 포함된 윈도우(610)와 상기 제 1 셀(C1)에 인접하는 제 2 셀(C2)에 포함된 이면전극(220)을 연결한다.Accordingly, the
상기 접속부들(700)은 상기 윈도우들(610, 620...)과 일체로 형성된다. 즉, 상기 접속부들(700)로 사용되는 물질은 상기 윈도우층(600)으로 사용되는 물질과 동일하다.The
상기 제 1 절연부재들(810)은 각각 상기 이면전극들(210, 220...) 사이에 개재된다. 즉, 상기 제 1 절연부재(810)는 상기 제 1 관통홈(TH1) 내측에 배치된다.The first insulating
상기 제 1 절연부재들(810)은 절연체이며, 상기 이면전극들(210, 220...) 사이를 절연한다. 상기 제 1 절연부재들(810)로 사용되는 물질의 예로서는 에틸렌비닐아세테이트(ethylenevinylacetate;EVA), 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate;PET), 폴리카보네이트(polycarbonate;PC) 및 폴리이미 드(polyimide;PI) 등과 같은 투광성이 우수한 고분자 물질 등을 들 수 있다.The first insulating
도 1과는 다르게, 상기 제 1 절연부재들(810)의 상면은 상기 이면전극들(210, 220...)의 상면과 동일한 평면에 배치될 수 있다.Unlike FIG. 1, the top surfaces of the first insulating
상기 제 2 절연부재들(820)은 각각 상기 윈도우들(610, 620...) 사이에 개재된다. 또한, 상기 제 2 절연부재들(820)은 각각 상기 광 흡수부들(310, 320...) 사이에도 개재될 수 있다. 마찬가지로, 상기 제 2 절연부재들(820)은 각각 상기 버퍼들(410, 420...) 사이에도 개재될 수 있다.The second insulating
즉, 상기 제 2 절연부재(820)는 상기 제 3 관통홈(TH3) 내측에 배치된다.That is, the second insulating
상기 제 2 절연부재들(820)은 상기 윈도우들(610, 620...) 사이를 절연한다. 또한, 상기 제 2 절연부재들(820)은 상기 광 흡수부들(310, 320...) 사이를 절연할 수 있다.The second insulating
상기 제 2 절연부재들(820)로 사용되는 물질의 예로서는 EVA, PET, PC 및 PI 등의 투광성이 우수한 고분자 물질 등을 들 수 있다.Examples of the material used as the second insulating
실시예에 따른 태양광 발전장치는 상기 윈도우층(600) 상에 배치되는 보호필름을 포함할 수 있다. 상기 보호필름은 상기 윈도우층(600)을 보호한다. 또한, 상기 보호필름은 상기 윈도우층(600)에 광이 효율적으로 입사되도록 반사 방지 기능을 수행할 수 있다. 또한, 상기 보호필름은 완충필름 기능을 수행할 수 있다.The photovoltaic device according to the embodiment may include a protective film disposed on the
이때, 상기 제 2 절연부재들(820)은 상기 보호필름과 일체로 형성될 수 있다.In this case, the second insulating
상기 제 1 절연부재(810)는 상기 이면전극들(210, 220...) 사이를 절연한다. 이에 따라서 상기 제 1 절연부재(810)는 상기 이면전극들(210, 220...) 사이의 쇼트를 방지한다.The first insulating
또한, 상기 제 2 절연부재(820)는 상기 윈도우들(610, 620...) 사이를 절연한다. 이에 따라서, 상기 제 2 절연부재(820)는 상기 윈도우들(610, 620...) 사이의 쇼트를 방지한다.In addition, the second insulating
따라서, 실시예에 따른 태양광 발전장치는 셀들(C1, C2...) 사이의 쇼트를 방지할 수 있다.Therefore, the solar cell apparatus according to the embodiment can prevent the short between the cells C1, C2 ....
또한, 상기 제 1 절연부재(810)에 의해서, 상기 이면전극들(210, 220...) 사이의 간격, 즉, 상기 제 1 관통홈(TH1)의 폭이 감소될 수 있다. 마찬가지로, 상기 제 2 절연부재(820)에 의해서, 상기 윈도우들(610, 620...) 사이의 간격, 즉, 상기 제 3 관통홈(TH3)의 폭이 감소될 수 있다.In addition, by the first insulating
상기 제 1 관통홈(TH1), 상기 제 2 관통홈(TH2) 및 상기 제 3 관통홈(TH3)은 태양광을 전기에너지로 변환시키는 기능을 수행하지 않는 데드 존(dead zone)이다. 즉, 상기 제 1 관통홈(TH1)에서 상기 제 3 관통홈(TH3)까지의 영역은 비활성 영역(NAR)이다.The first through hole TH1, the second through hole TH2, and the third through hole TH3 are dead zones that do not perform a function of converting sunlight into electrical energy. That is, the area from the first through hole TH1 to the third through hole TH3 is an inactive region NAR.
이때, 상기 제 1 절연부재(810) 및 상기 제 2 절연부재(820)에 의해서, 상기 비활성 영역(NAR)의 면적을 감소시킬 수 있다. 즉, 실시예에 따른 태양광 발전장치는 태양광을 전기에너지로 변환시키는 활성 영역(AR)의 면적을 증가시키고, 향상된 효율을 가진다.In this case, an area of the inactive region NAR may be reduced by the first insulating
도 2 내지 도 8은 실시예에 따른 태양광 발전장치의 제조방법을 도시한 단면도들이다. 본 실시예에서는 앞서 설명한 실시예를 참조하고, 앞서 설명한 태양광 발전장치의 설명은 본 실시예의 제조방법에 대한 설명에 결합될 수 있다.2 to 8 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the solar cell apparatus according to the embodiment. In the present embodiment, referring to the above-described embodiment, the description of the above-described photovoltaic device may be combined with the description of the manufacturing method of the present embodiment.
도 2를 참조하면, 지지기판(100) 상에 이면전극층(200)이 형성되고, 상기 이면전극층(200)은 패터닝되어 제 1 관통홈(TH1)이 형성된다. 이에 따라서, 상기 기판 상에 다수 개의 이면전극들(210, 220...)이 형성된다. 상기 이면전극층(200)은 레이저에 의해서 패터닝된다.Referring to FIG. 2, the
상기 제 1 관통홈(TH1)은 상기 지지기판(100)의 상면을 노출하며, 약 10㎚ 내지 약 70㎚의 폭을 가진다.The first through hole TH1 exposes an upper surface of the
또한, 상기 지지기판(100) 및 상기 이면전극층(200) 사이에 확산방지막 등과 같은 추가적인 층이 개재될 수 있고, 이때, 상기 제 1 관통홈(TH1)은 상기 추가적인 층의 상면을 노출하게 된다.In addition, an additional layer, such as a diffusion barrier, may be interposed between the
도 3을 참조하면, 상기 이면전극들(210, 220...) 사이에 제 1 절연부재들(810)이 형성된다. 상기 제 1 절연부재들(810)은 등에 의해서 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3, first insulating
상기 제 1 절연부재들(810)이 형성되기 위해서, 상기 제 1 관통홈(TH1) 내측에 열경화 수지 조성물이 주입된다. 상기 열경화 수지 조성물은 열경화 수지를 형성하기 위한 단량체를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 열경화 수지 조성물은 EVA, PET, PC 또는 PI 등을 형성하기 위한, 비스페놀 A, 이미드계 단량체, 테레프탈산, 에틸렌글리콜, 에틸렌 및 아세트산 비닐 등의 단량체를 포함할 수 있다. 또한, 상기 수지 조성물은 열경화 개시제를 더 포함할 수 있다.In order to form the first insulating
상기 열경화 수지 조성물은 낮은 점도를 가질 수 있다. 또한, 상기 제 1 관통홈(TH1)는 길게 연장되는 형상을 가질 수 있다.The thermosetting resin composition may have a low viscosity. In addition, the first through hole TH1 may have a shape extending in length.
상기 열경화 수지 조성물은 길게 연장되는 상기 제 1 관통홈(TH1) 중 일부에 주입되면, 모세관 현상에 의해서, 상기 제 1 관통홈(TH1) 내측 전체에 주입될 수 있다. 또한, 상기 열경화 수지 조성물은 잉크 젯 방식에 의해서 주입될 수 있다.When the thermosetting resin composition is injected into a part of the first through hole TH1 extending long, the thermosetting resin composition may be injected into the entire inside of the first through hole TH1 by capillary action. In addition, the thermosetting resin composition may be injected by an ink jet method.
상기 제 1 관통홈(TH1) 내측 이외의 영역인 상기 이면전극층(200) 상에 배치되는 불필요한 열경화 수지 조성물을 제거하는 공정이 추가로 진행될 수 있다.A process of removing the unnecessary thermosetting resin composition disposed on the
이후, 상기 제 1 관통홈(TH1) 내측에 주입된 열경화 수지 조성물은 추가적인 열처리 공정 또는 이후의 고온의 증착공정에서 열경화되고, 상기 제 1 절연부재(810)들이 형성된다.Thereafter, the thermosetting resin composition injected into the first through hole TH1 is thermally cured in an additional heat treatment process or a subsequent high temperature deposition process, and the first insulating
도 4를 참조하면, 상기 이면전극층(200) 상에 광 흡수층(300), 버퍼층(400) 및 고저항 버퍼층(500)이 차례로 형성된다.Referring to FIG. 4, the
상기 광 흡수층(300)은 스퍼터링 공정 또는 증발법 등에 의해서 형성될 수 있다.The light
예를 들어, 상기 광 흡수층(300)을 형성하기 위해서 구리, 인듐, 갈륨, 셀레늄을 동시 또는 구분하여 증발시키면서 구리-인듐-갈륨-셀레나이드계(Cu(In,Ga)Se2;CIGS계)의 광 흡수층(300)을 형성하는 방법과 금속 프리커서 막을 형성시킨 후 셀레니제이션(Selenization) 공정에 의해 형성시키는 방법이 폭넓게 사용되고 있다.For example, copper, indium, gallium, selenide-based (Cu (In, Ga) Se 2 ; CIGS-based) while evaporating copper, indium, gallium, and selenium simultaneously or separately to form the
금속 프리커서 막을 형성시킨 후 셀레니제이션 하는 것을 세분화하면, 구리 타겟, 인듐 타겟, 갈륨 타겟을 사용하는 스퍼터링 공정에 의해서, 상기 이면전극(200) 상에 금속 프리커서 막이 형성된다.When the metal precursor film is formed and selenization is subdivided, a metal precursor film is formed on the
이후, 상기 금속 프리커서 막은 셀레이제이션(selenization) 공정에 의해서, 구리-인듐-갈륨-셀레나이드계(Cu(In,Ga)Se2;CIGS계)의 광 흡수층(300)이 형성된다.Subsequently, the metal precursor film is formed of a copper-indium-gallium-selenide-based (Cu (In, Ga) Se 2 ; CIGS-based) light absorbing layer by a selenization process.
이와는 다르게, 상기 구리 타겟, 인듐 타겟, 갈륨 타겟을 사용하는 스퍼터링 공정 및 상기 셀레니제이션 공정은 동시에 진행될 수 있다.Alternatively, the sputtering process and the selenization process using the copper target, the indium target, and the gallium target may be simultaneously performed.
이와는 다르게, 구리 타겟 및 인듐 타겟 만을 사용하거나, 구리 타겟 및 갈륨 타겟을 사용하는 스퍼터링 공정 및 셀레니제이션 공정에 의해서, CIS계 또는 CIG계 광 흡수층(300)이 형성될 수 있다.Alternatively, the CIS-based or CIG-based
이후, 상기 광 흡수층(300) 상에 황화 카드뮴이 스퍼터링 공정 등에 의해서 증착되고, 상기 버퍼층(400)이 형성된다.Thereafter, cadmium sulfide is deposited on the
이후, 상기 버퍼층(400) 상에 징크 옥사이드가 스퍼터링 공정 등에 의해서 증착되고, 상기 고저항 버퍼층(500)이 형성된다.Thereafter, zinc oxide is deposited on the
도 5를 참조하면, 상기 광 흡수층(300), 상기 버퍼층(400), 상기 고저항 버퍼층(500)의 일부가 제거되어 제 2 관통홈(TH2)이 형성된다. 상기 제 2 관통홈(TH2)은 상기 광 흡수층(300), 상기 버퍼층(400) 및 상기 고저항 버퍼층(500)을 관통한다.Referring to FIG. 5, a portion of the
상기 제 2 관통홈(TH2)은 상기 제 1 관통홈(TH1)에 인접하여 형성된다. 상기 제 2 관통홈(TH2)은 팁 등의 기계적인 장치 또는 레이저 장치 등에 의해서 형성될 수 있다.The second through hole TH2 is formed adjacent to the first through hole TH1. The second through hole TH2 may be formed by a mechanical device such as a tip or a laser device.
예를 들어, 약 50㎛ 내지 약 110㎛의 폭을 가지는 팁에 의해서, 상기 광 흡수층(300)은 패턴닝될 수 있다. 또한, 상기 제 2 관통홈(TH2)은 약 200 내지 600㎚의 파장을 가지는 레이저에 의해서 형성될 수 있다.For example, the
이때, 상기 제 2 관통홈(TH2)의 폭은 약 100㎛ 내지 약 200㎛ 일 수 있다. 또한,상기 제 2 관통홈(TH2)은 상기 이면전극층(200)의 상면의 일부를 노출하도록 형성된다.In this case, the width of the second through hole TH2 may be about 100 μm to about 200 μm. In addition, the second through hole TH2 is formed to expose a portion of the top surface of the
도 6을 참조하면, 상기 고저항 버퍼층(500) 상에 윈도우층(600)이 형성된다. 이때, 상기 제 2 관통홈(TH2) 내측에 상기 윈도우층(600)을 이루는 물질이 채워진다.Referring to FIG. 6, a
이에 따라서, 상기 윈도우층(600)으로부터 연장되어, 상기 이면전극층(200)에 직접 접속되는 접속부가 상기 제 2 관통홈(TH2) 내측에 형성된다.Accordingly, a connection part extending from the
상기 윈도우층(600)을 형성하기 위해서, 상기 고저항 버퍼층(500) 상에 투명한 도전물질이 적층된다. 상기 투명한 도전물질은 상기 제 2 관통홈(TH2) 전체에 채워진다. 상기 투명한 도전물질의 예로서는 알루미늄 도핑된 징크 옥사이드 등을 들 수 있다.In order to form the
도 7을 참조하면, 상기 광 흡수층(300), 상기 버퍼층(400), 상기 고저항 버퍼층(500) 및 상기 윈도우층(600)의 일부가 제거되어 제 3 관통홈(TH3)이 형성된다. 즉, 광 흡수층(300), 상기 버퍼층(400), 상기 고저항 버퍼층(500) 및 상기 윈도우층(600)은 패터닝되어, 다수 개의 윈도우들(610, 620...)이 정의된다.Referring to FIG. 7, a portion of the
상기 제 3 관통홈(TH3)은 상기 이면전극층(200)의 상면을 노출한다.The third through hole TH3 exposes an upper surface of the
상기 제 3 관통홈(TH3)은 팁 등의 기계적인 장치 또는 레이저 장치 등에 의해서 형성될 수 있다.The third through hole TH3 may be formed by a mechanical device such as a tip or a laser device.
예를 들어, 팁에 의해서, 상기 윈도우층(600)은 패터닝될 수 있다. 또한, 상기 제 3 관통홈(TH3)은 약 200 내지 600㎚의 파장을 가지는 레이저에 의해서 형성될 수 있다.For example, by the tip, the
상기 제 3 관통홈(TH3)의 폭은 약 10㎛ 내지 약 100㎛ 일 수 있다.The width of the third through hole TH3 may be about 10 μm to about 100 μm.
상기 제 2 관통홈(TH2) 및 상기 제 3 관통홈(TH3)에 의해서, 상기 광 흡수층(300)은 다수 개의 광 흡수부들(310, 320...)로 구분된다.By the second through hole TH2 and the third through hole TH3, the
또한, 상기 제 3 관통홈(TH3)에 의해서, 다수 개의 셀들(C1, C2...)이 정의된다.In addition, a plurality of cells C1, C2... Are defined by the third through hole TH3.
도 8을 참조하면, 상기 제 3 관통홈(TH3) 내측에 제 2 절연부재들(820)이 형성된다. 상기 제 2 절연부재들(820)은 상기 제 3 관통홈(TH3) 내측에 절연물질이 에 의해서 채워지고, 상기 제 2 절연부재들(820)이 형성된다.Referring to FIG. 8, second insulating
상기 제 2 절연부재들(820)이 형성되기 위해서, 상기 제 3 관통홈(TH3) 내측에 열경화 수지 조성물이 주입된다. 상기 열경화 수지 조성물은 열경화 수지를 형성하기 위한 단량체를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 열경화 수지 조성물은 EVA, PET, PC 또는 PI 등을 형성하기 위한, 비스페놀 A, 이미드계 단량체, 테레프탈산, 에틸렌글리콜, 에틸렌 및 아세트산 비닐 등의 단량체를 포함할 수 있다. 또한, 상기 수지 조성물은 열경화 개시제를 더 포함할 수 있다.In order to form the second insulating
상기 열경화 수지 조성물은 낮은 점도를 가질 수 있다. 또한, 상기 제 3 관 통홈(TH3)는 길게 연장되는 형상을 가질 수 있다.The thermosetting resin composition may have a low viscosity. In addition, the third through hole TH3 may have a shape extending in length.
상기 열경화 수지 조성물은 길게 연장되는 상기 제 3 관통홈(TH3) 중 일부에 주입되면, 모세관 현상에 의해서, 상기 제 3 관통홈(TH3) 내측 전체에 주입될 수 있다. 또한, 상기 열경화 수지 조성물은 잉크 젯 방식에 의해서 주입될 수 있다.When the thermosetting resin composition is injected into a portion of the third through hole TH3 extending long, the thermosetting resin composition may be injected into the entire inside of the third through hole TH3 by capillary action. In addition, the thermosetting resin composition may be injected by an ink jet method.
상기 제 3 관통홈(TH3) 내측 이외의 영역인 상기 윈도우층(600) 상에 배치되는 불필요한 열경화 수지 조성물을 제거하는 공정이 추가로 진행될 수 있다.A process of removing the unnecessary thermosetting resin composition disposed on the
이후, 상기 제 3 관통홈(TH3) 내측에 주입된 열경화 수지 조성물은 추가적인 열처리 공정 또는 이후의 고온의 라미네이팅 공정에서 열경화되고, 상기 제 2 절연부재(820)들이 형성된다.Thereafter, the thermosetting resin composition injected into the third through hole TH3 is thermally cured in an additional heat treatment process or a subsequent high temperature laminating process, and the second insulating
이로써, 셀들(C1, C2...) 사이의 쇼트를 방지하고, 향상된 효율을 가지는 태양광 발전장치가 제공될 수 있다.As a result, a photovoltaic device that prevents short between the cells C1, C2... And has improved efficiency may be provided.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although described above with reference to the embodiment is only an example and is not intended to limit the invention, those of ordinary skill in the art to which the present invention does not exemplify the above within the scope not departing from the essential characteristics of this embodiment It will be appreciated that many variations and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be modified. And differences relating to such modifications and applications will have to be construed as being included in the scope of the invention defined in the appended claims.
도 1은 실시예에 따른 태양광 발전장치의 일 단면을 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a cross section of the solar cell apparatus according to the embodiment.
도 2 내지 도 8은 실시예에 따른 태양광 발전장치의 제조방법을 도시한 단면도들이다.2 to 8 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the solar cell apparatus according to the embodiment.
Claims (9)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090027882A KR101054988B1 (en) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | Photovoltaic device and its manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090027882A KR101054988B1 (en) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | Photovoltaic device and its manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100109319A true KR20100109319A (en) | 2010-10-08 |
KR101054988B1 KR101054988B1 (en) | 2011-08-05 |
Family
ID=43130452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020090027882A KR101054988B1 (en) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | Photovoltaic device and its manufacturing method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101054988B1 (en) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012102452A1 (en) * | 2011-01-26 | 2012-08-02 | Lg Innotek Co., Ltd. | Solar cell and method for manufacturing the same |
KR101227101B1 (en) * | 2011-04-14 | 2013-01-28 | 금호전기주식회사 | Thin Film Solar Cells And Manufacturing Method For The Same |
WO2013062284A1 (en) * | 2011-10-26 | 2013-05-02 | Lg Innotek Co., Ltd. | Solar cell module and method of preparing the same |
KR101283113B1 (en) * | 2011-12-09 | 2013-07-05 | 엘지이노텍 주식회사 | Solar cell module and method of fabricating the same |
KR101338549B1 (en) * | 2011-11-29 | 2013-12-06 | 엘지이노텍 주식회사 | Solar cell and method of fabricating the same |
WO2014003442A1 (en) * | 2012-06-28 | 2014-01-03 | Lg Innotek Co., Ltd. | Solar cell and method of fabricating the same |
KR101349432B1 (en) * | 2012-04-26 | 2014-01-10 | 엘지이노텍 주식회사 | Photovoltaic apparatus and method of fabricating the same |
WO2014017879A1 (en) * | 2012-07-27 | 2014-01-30 | Lg Innotek Co., Ltd. | Solar cell and method of fabricating the same |
US9306092B2 (en) | 2011-04-04 | 2016-04-05 | Lg Innotek Co., Ltd. | Solar cell and method of fabricating the same |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101283072B1 (en) | 2011-10-18 | 2013-07-05 | 엘지이노텍 주식회사 | Solar cell apparatus and method of fabricating the same |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006049768A (en) | 2004-08-09 | 2006-02-16 | Showa Shell Sekiyu Kk | Cis compound semiconductor thin film solar battery and manufacturing method for light absorbing layer of solar battery |
KR100657949B1 (en) * | 2005-02-05 | 2006-12-14 | 삼성전자주식회사 | Flexible solar cells and process for preparing the same |
JP4918247B2 (en) * | 2005-10-31 | 2012-04-18 | 昭和シェル石油株式会社 | CIS thin film solar cell module and method for manufacturing the same |
KR100809427B1 (en) * | 2006-07-10 | 2008-03-05 | 삼성전기주식회사 | Photoelectric conversion device and method for manufacturing thereof |
-
2009
- 2009-03-31 KR KR1020090027882A patent/KR101054988B1/en active IP Right Grant
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012102452A1 (en) * | 2011-01-26 | 2012-08-02 | Lg Innotek Co., Ltd. | Solar cell and method for manufacturing the same |
US9178084B2 (en) | 2011-01-26 | 2015-11-03 | Lg Innotek Co., Ltd. | Solar cell and method for manufacturing the same |
US9306092B2 (en) | 2011-04-04 | 2016-04-05 | Lg Innotek Co., Ltd. | Solar cell and method of fabricating the same |
KR101227101B1 (en) * | 2011-04-14 | 2013-01-28 | 금호전기주식회사 | Thin Film Solar Cells And Manufacturing Method For The Same |
WO2013062284A1 (en) * | 2011-10-26 | 2013-05-02 | Lg Innotek Co., Ltd. | Solar cell module and method of preparing the same |
KR101338549B1 (en) * | 2011-11-29 | 2013-12-06 | 엘지이노텍 주식회사 | Solar cell and method of fabricating the same |
KR101283113B1 (en) * | 2011-12-09 | 2013-07-05 | 엘지이노텍 주식회사 | Solar cell module and method of fabricating the same |
KR101349432B1 (en) * | 2012-04-26 | 2014-01-10 | 엘지이노텍 주식회사 | Photovoltaic apparatus and method of fabricating the same |
WO2014003442A1 (en) * | 2012-06-28 | 2014-01-03 | Lg Innotek Co., Ltd. | Solar cell and method of fabricating the same |
KR101393743B1 (en) * | 2012-06-28 | 2014-05-13 | 엘지이노텍 주식회사 | Solar cell and method of fabricating the same |
WO2014017879A1 (en) * | 2012-07-27 | 2014-01-30 | Lg Innotek Co., Ltd. | Solar cell and method of fabricating the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101054988B1 (en) | 2011-08-05 |
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