KR20100106582A - 광학 저장 매체, 마스터링 방법 및 각각의 데이터를 판독하기 위한 장치 - Google Patents

Abstract

광학 저장 매체는 기판 층, 및 데이터가 상기 기판 층 상의 트랙들(T1-T4)에 배열된 마크/스페이스 데이터 구조를 갖는 데이터 층을 포함하며, 이웃하는 트랙들 사이에는 그루브 부분(10) 또는 그루브가 없는 랜드 부분(11)이 교대로 배열된다. 상기 트랙, 그루브 부분 및 랜드 부분은 광학 저장 매체 상에 단일의 나선(S1), 두 개의 나선들, 또는 네 개의 나선들을 제공함으로써 배열될 수 있다. 상기 광학 저장 매체는 특히 상기 데이터 층 위에 슈퍼레졸루션 구조가 배열된 비선형 층을 구비하는 광 디스크이다.

Description

광학 저장 매체, 마스터링 방법 및 각각의 데이터를 판독하기 위한 장치{OPTICAL STORAGE MEDIUM, MASTERING METHOD AND APPARATUS FOR READING OF RESPECTIVE DATA}

본 발명은 기판층과 그 기판층 상 트랙에 데이터가 배열된 마크/스페이스 데이터 구조(mark/space data structure)를 갖는 데이터 층을 구비하는 광학 저장 매체에 관한 것이다. 또한 본 발명은 광학 저장 매체의 생산을 위한 마스터를 제조하기 위한 방법 및 광학 저장 매체 상의 데이터를 판독하기 위한 장치에 관한 것이다.

광학 저장 매체는, 예를 들어, 픽업 내에 통합된, 레이저 및 광학 검출기(예컨대, 광 검출기)에 의해 데이터를 광학적으로 판독할 수 있도록 데이터를 저장한 매체이다. 검출기는 저장 매체 상의 데이터를 판독할 때 레이저 빔의 반사된 빛을 검출하는데 사용된다. 한편, 대다수의 광학 저장 매체는 공지되어 있으며, 상이한 레이저 파장에 따라 동작하고, 1 기가바이트(GB) 이하의 용량에서 시작하여 50 기가바이트(GB)까지의 저장 용량을 제공한다. 포맷은 오디오 CD 및 비디오 DVD, 즉 CD-R, DVD-R 및 DVD+R과 같은 일회성 기록 광학 매체와 같은 판독 전용 포맷뿐만 아니라, CD-RW, DVD-RW 및 DVD+RW와 같은 재기록가능 포맷을 포함한다. 디지털 데이터는 이러한 매체의 하나 이상의 층들에 있는 트랙을 따라 이들 매체에 저장된다.

최고의 데이터 용량을 갖는 저장 매체는 현재 블루레이 디스크(Blu-Ray disc: BD)로, 이 저장 매체는 이중 층 디스크 상에 약 50 GB까지 저장한다. 블루레이 디스크의 판독 및 기록을 위해서는 405 nm의 레이저 파장과 0.85의 개구수(numerical aperture)를 갖는 광 픽업이 사용된다. 블루레이 디스크에는 320 nm의 트랙 피치 및 2T 내지 8T 또는 9T의 마크 길이가 사용되며, 여기서 T는 채널 비트 길이이며 2T는 138-160 nm의 최소 마크 길이에 해당한다.

슈퍼레졸루션(super-resolution) 구조를 갖는 새로운 광학 저장 매체는 블루레이 디스크와 비교해 볼때 일차원에서 2 내지 4 팩터만큼 광학 저장 매체의 데이터 밀도를 증가시키는 가능성을 보인다. 이것은 광학 저장 매체의 데이터 층 위에 배치되어, 광학 저장 매체로부터 판독하고 또는 광학 저장 매체에 기록하는데 사용된 광 스폿의 유효 크기를 상당히 줄여주는 비선형 층을 포함함으로써 가능하다. 비선형 층은 마스크 층으로서 인식될 수 있는데, 그 이유는 비선형 층이 데이터 층 위에 배열되며 어떤 특정 물질 때문에 레이저 빔의 고밀도 중심부만이 마스크 층을 투과할 수 있게 하기 때문이다. 또한, 반도체 물질, 예를 들어, InSb가 비선형 층으로서 사용될 수 있는데, 이 물질은 초점이 맞추어진 레이저 빔의 중심부에서 더 높은 반사도를 보이며, 그 중심 반사도는 대응하는 데이터 층의 피트 구조에 좌우된다.

그러므로, 슈퍼레졸루션 효과는 대응하는 광 픽업의 회절 한계치보다 작은 크기를 갖는 광 디스크의 마크에 데이터를 기록하고 그 마크에 저장된 데이터를 판독하게 허용한다. 레이저 파장 λ=405nm이고 개구수 NA=0.85인 블루레이 형 픽업의 회절 한계치는 약 λ/2NA=238nm 이다. 비선형 층은 흔히 슈퍼레졸루션 근접장 구조(super-resolution near-field structure: Super-RENS) 층이라 불리는데, 이것은 어떤 특정 물질 때문에 레이저 빔의 유효 스폿 크기를 줄여주는 광학 효과가 데이터 층 및 비선형 층의 마크들과 스페이스들 사이의 근접장 상호작용(near-field interaction)에 근거한다고 생각하기 때문이다. 금속 산화물, 폴리머 화합물 또는 데이터를 기록하고 데이터를 재생하기 위한 GeSbTe 또는 AgInSbTe 구조를 구비하는 상변이 층(phase change layer)으로 형성된 슈퍼레졸루션 근접장 구조를 포함하는 슈퍼 RENS 광디스크는 WO 2005/081242 및 US 2004/0257968로부터 공지되어 있다. 슈퍼레졸루션 광학 매체의 또 다른 예는 WO 2004/032123에 기술되어 있다.

[발명의 요약]

광학 저장 매체는 기판 층 및 상기 기판 층 상의 트랙들에 데이터가 배열된 마크/스페이스 데이터 구조를 갖는 데이터 층을 포함하며, 이웃하는 트랙들 사이에는 그루브 부분 또는 랜드 부분이 교대로 배열된다. 상기 광학 저장 매체는 특히 상기 광 디스크의 반지름 방향으로 트랙, 그루브 부분, 트랙, 랜드 부분, 트랙 등이 교대로 연속하는 순서로 트랙, 그루브 부분 및 랜드 부분이 배열된 광 디스크이다. 그러므로 데이터를 갖는 이웃하는 트랙들은 그루브 부분 또는 랜드 부분에 의해 분리된다. 상기 그루브 부분은 규정된 깊이와 폭을 갖는 그루브를 포함하며, 상기 랜드 부분은 어떤 그루브 없이 이웃하는 트랙들 사이의 그저 평평한 영역이다. 상기 광학 저장 매체는 슈퍼레졸루션 근접장 구조가 상기 데이터 층 상에 배치된 비선형 층을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 양태에서, 상기 광학 저장 매체는 마크 및 스페이스로서 피트 및 랜드를 구비하는 ROM 디스크이며, 상기 피트는 상기 기판의 표면에 몰딩 또는 엠보싱되어 있다. 피트의 줄어든 크기 - 이를 위해 데이터를 판독하는데 슈퍼레졸루션 효과가 요구됨 - 이외에도, 줄어든 트랙 피치가 유익하게 사용됨으로써 높은 데이터 밀도를 갖는 ROM 디스크가 제공된다. 이웃하는 트랙들 사이에서 줄어든 트랙 피치는 대응하는 광 픽업의 광 회절 한계치 이하이다. 이웃하는 두 그루브 부분들 사이의 거리는 광 픽업의 광 레졸루션 한계치 이상으로 유지되어, 각 트랙의 데이터를 판독할 때, 이웃하는 그루브 부분 및 랜드 부분의 회절된 빛을 이용함으로써 차동 푸시풀 트랙킹 신호가 발생될 수 있다.

본 발명의 제1 실시예에 따르면, 상기 광학 저장 매체는 트랙 부분, 그루브 부분 및 랜드 부분을 갖는 단일의 나선을 구비하는 광 디스크로, 상기 디스크의 반지름 방향으로 트랙, 그루브, 트랙, 및 랜드 부분이 교대로 연속하는 시퀀스를 제공한다. 각각의 트랙, 그루브 부분 및 랜드 부분은 특히 상기 광 디스크의 360°의 원주에 대응하는 길이를 갖는다.

제2 실시예에서, 상기 광 디스크는 연속하는 데이터의 단일 나선 및 그루브 부분과 랜드 부분을 교대로 구비하는 제2 나선을 포함하며, 상기 두 나선은 서로 인터리브되어 상기 디스크의 반지름 방향으로 트랙, 그루브 부분, 트랙 및 랜드 부분이 교대로 연속하는 시퀀스를 제공한다. 각각의 그루브 및 랜드 부분은 특히 상기 광 디스크의 360°의 원주에 대응하는 길이를 갖는다.

제3 실시예에서, 상기 트랙은 연속하는 데이터의 두 나선으로서 배열되고, 상기 그루브 부분은 제3 나선으로서 배열되며, 상기 랜드 부분은 제4 나선으로서 배열되며, 상기 네 개의 나선들은 서로 인터리브되어 상기 디스크의 반지름 방향으로 트랙, 그루브 부분, 트랙 및 랜드 부분이 교대로 연속하는 시퀀스를 제공한다.

상기 제1 실시예에 따른 광 디스크의 생산을 위한 스탬퍼는 연속적인 데이터를 갖는 트랙, 그루브 부분 및 랜드 부분을 교대로 구비하는 단일의 나선의 생성을 위해 전자 빔 또는 레이저 빔을 마스터링 빔으로서 이용함으로써 마스터링될 수 있다. 데이터를 갖는 트랙은 상기 마스터링 빔의 강도를 스위칭 온 및 오프하여 대응하는 마크 및 스페이스를 기록함으로써 마스터링되고, 상기 그루브 부분은 상기 마스터링 빔의 강도를 스위칭 온 상태로 유지함으로써 마스터링되며, 상기 랜드 부분은 상기 마스터링 빔의 강도를 스위칭 오프 상태로 유지함으로써 마스터링된다. 상기 트랙 부분 및 그루브 부분을 기록하고 상기 랜드 부분을 제공하기 위해, 일정한 반지름 방향의 이송이 이용된다. 상기 제2 및 제3 실시예의 나선들은 이에 따라서 마스터링될 수 있지만, 제2 실시예에서는 2빔(two beam) 마스터링 시스템이 필요하며 제3 실시예에서는 3빔(three beam) 마스터링 시스템이 필요하다.

상기 광학 저장 매체에서 데이터를 판독하기 위한 장치는 레이저, 검출기 유닛 및 대물 렌즈를 갖는 픽업을 포함하며, 상기 픽업은 데이터를 판독하기 위한 메인 빔 및 트랙킹 신호를 제공하기 위한 두 위성 빔들을 발생한다. 상기 세 개의 빔들은 상기 대물 렌즈에 의해 상기 광학 저장 매체 위에 초점이 맞추어지며, 상기 광학 저장 매체로부터 반사된 빛은 상기 픽업 내 상기 검출기 유닛 상으로 안내된다. 상기 검출기 유닛은 상기 광학 저장 매체로부터 반사될 때, 상기 메인 빔으로부터 반사된 빛을 검출하는 센터 검출기 및 상기 위성 빔들로부터 반사된 빛을 검출하는 두 개의 위성 검출기를 포함한다.

상기 센터 빔이 트랙 부분에 맞추어질 때, 상기 두 개의 위성 빔들은, 특히, 그 하나는 정확히 그루브 부분 상에 중심을 두도록 맞추어지고, 다른 하나는 정확히 랜드 부분 상에 중심을 두도록 맞추어진다. 상기 검출기 유닛은 두 위성 검출기들에 따라 트랙킹 조절을 위한 차동 푸시풀 트랙킹 신호를 제공한다. 그루브 부분이 랜드 부분으로 변경할 때 또는 랜드 부분이 그루브 부분으로 변경할 때, 상기 트랙킹 신호의 부호는 그에 따라 변경된다.

두 위성 빔의 경우, 상기 센터 빔의 빛의 강도보다 훨씬 낮은 빛의 강도가 사용되는 것이 유리한데, 그 이유는 랜드 부분 및 그루브 부분으로부터 차동 푸시풀 신호를 획득하는 데는 어떠한 슈퍼레졸루션 효과도 필요하지 않기 때문이다. λ=405nm이고 개구수가 0.85인 블루레이 형 광학 장치를 갖는 픽업을 사용할 때, 최소 한도로 가능한 트랙 피치는 160nm 와 200nm 사이의 범위에 있을 것이다. 그러므로, 현재 블루레이 디스크 용도로 사용될 때의 320nm의 트랙 피치와 비교할 때 1.5 내지 2의 팩터만큼 데이터 밀도의 증가를 얻을 수 있다. 본 발명은 본 발명에 따른 광학 저장 매체를 판독하는데에 블루레이 형 픽업을 약간만 변형해도 된다는 또 다른 장점을 갖는다.

이제 본 발명의 바람직한 실시예들은 개략적인 도면들을 참조한 예를 통해 아래에서 상세히 설명된다.
도 1은 기판, 데이터 층 및 비선형 층을 구비하는 적층 구조의 광학 저장 매체의 단면도이다.
도 2는 도 1의 광학 저장 매체의 제1 실시예에 따른 트랙 구조를 도시한다.
도 3은 도 2의 트랙 구조의 최적한 치수를 도시하는 테이블이다.
도 4a 및 도 4b는 도 2의 트랙 구조의 상이한 두 트랙 상에 픽업의 트랙킹을 도시한다.
도 5는 제2 트랙에서 제3 트랙으로 트랙 전이를 예시한다.
도 6은 픽업의 광학 검출기의 구성을 도시한다.
도 7은 트랙 전이의 이전과 이후의 푸시 풀 신호를 도시한다.
도 8a 및 도 8b는 도 1의 광학 저장 매체의 제2 실시예에 따른 두 개의 대안 트랙 구조를 도시한다.
도 9a 및 도 9b는 도 1의 광학 저장 매체의 제3 실시예에 따른 두 개의 대안 트랙 구조를 도시한다.

도 1에서, 광학 저장 매체(1)의 단면도가 간략하게 도시된다. 광학 저장 매체(1)는, 예를 들어, 판독 전용(ROM) 광학 저장 디스크이다. 기판(2) 상에는 반사 금속 층, 예를 들어, 알루미늄 층을 포함할 수 있는 데이터 층(3)이 배열된다. 데이터 층(3)은 본질적으로 평행한 트랙들 상에 배열된 마크들과 스페이스들로 구성된 데이터 구조를 갖는다. ROM 디스크의 경우, 마크와 스페이스는 피트와 랜드로 이루어지며, 피트는 기판(2)의 표면상에 몰딩 또는 엠보싱 처리되어 데이터 층(3)을 형성한다. 데이터 층(3) 상에는 제1 유전체 층(5)이 배열되며, 유전체 층(5) 상에는 비선형 층(4)이 배열되어 슈퍼레졸루션 효과를 활용하는 마스크 층의 기능을 제공한다. 비선형 층(4)은, 예를 들어, 슈퍼레졸루션 근접장 구조(Super-RENS)를 구비하는 마스크 층이다. 광학 저장 매체(1)는 특히 DVD 및 CD와 크기가 유사한 광 디스크이다.

비선형 층(4) 위에는 제2 유전체 층(6)이 배치된다. 또 다른 층으로서, 커버 층(7)이 보호층으로서 제2 유전체 층(5) 상에 배치된다. 데이터 층(3)의 데이터를 판독하기 위해, 본 실시예에서는 레이저 빔이 광학 저장 매체(1)의 상단으로부터 인가되어, 먼저 커버 층(7)을 투과한다. 제1 및 제2 유전체 층(5, 6)은, 예를 들어, 물질 ZnS-SiO₂를 포함한다. 기판(2) 및 커버 층(7)은 DVD 및 CD로부터 알려진 바와 같은 플라스틱 물질로 이루어질 수 있다. 다른 실시예에서, 슈퍼레졸루션 근접장 구조가 사용될 때 반사 금속 층은 생략될 수 있는데, 이것은 가열 효과로 인하여 투과를 증가시키지 못하지만 또 다른 비선형 효과와 함께 작용하는데, 예를 들어, 레이저 빔으로 조사될 때 비선형 층(4)의 반사도를 증가시켜주는 효과를 활용하게 된다. 광학 저장 매체(1)의 층들은 특히 적층 구조로 배열된다.

슈퍼레졸루션 효과를 이용하면, 픽업의 레졸루션은 상당량만큼, 예를 들어, 2 내지 4 팩터만큼 트랙방향으로 증가될 수 있다. 이에 따라 트랙 방향으로 광디스크 상의 트랙들의 마크들과 스페이스들의 크기들이 줄어든다. 그러나, 이와 같은 슈퍼레졸루션 효과는 데이터의 판독을 위한 대응하는 픽업의 광학 레졸루션 한계치 이하로 트랙 피치를 줄이지 못한다. 만일 픽업의 트랙킹 조절을 위해 푸시풀 효과(push-pull effect)가 사용되면, 1차 굴절빔들이 픽업의 대물 렌즈에 의해 모여진다는 사실 때문에 트랙 피치의 축소는 제한된다. 그렇지 않은 경우에는 어떤 푸시풀 신호도 생기지 않는데, 그 이유는 푸시풀 신호가 광학 저장 매체로부터 반사된 0차 빔과 1차 빔의 간섭으로 인해 발생되는 것이기 때문이다. 블루레이 픽업의 경우, 이것은 약 280 nm의 트랙 피치에서 발생한다. 블루레이 디스크의 표준 트랙 피치는 320 nm이다.

이러한 문제를 해결하기 위하여, 이웃하는 트랙들 사이에는 광학 저장 매체(1) 상에 그루브 부분 또는 그루브가 없는 랜드 부분이 교대로 배열된다. 트랙들은 특히 광 디스크 상에서 하나 또는 여러 개의 나선형으로 배열되며, 그 결과 이웃하는 트랙들 사이에는 언제나 그루브 부분 또는 랜드 부분 중 어느 하나가 배열된다. 그러므로, 저장 매체는 반지름 방향으로 트랙, 그루브 부분, 트랙, 랜드 부분, 트랙, 그루브 부분 등이 연속하는 시퀀스를 갖는다.

이웃하는 트랙들 사이의 트랙 피치는, 트랙에 저장된 데이터의 판독을 위한 픽업의 광학 레졸루션 한계치보다 높게 그루브 부분들 사이의 거리를 그대로 유지함으로써 광학 레졸루션 한계치 이하로 줄일 수 있다. 그루브 부분 및 랜드 부분은 어떠한 디지털 데이터도 포함하지 않는다. 그러면 단지 그루브 부분으로부터 나오는 반사광을 기반으로 하는 픽업의 트랙킹을 위한 푸시풀 방법이 사용될 수 있다. 트랙의 마크 또는 피트로부터 나오는 반사 광은 트랙킹 에러 신호에 기여하지 않는다.

이러한 종류의 트랙 배열을 갖는 제1 실시예가 도 2에 도시되며, 도 2는 광학 저장 매체(1) 상에서 데이터를 갖는 트랙들, 그루브 부분들 및 랜드 부분들의 배열을 간략히 도시한다. 도 2의 실시예에서 광학 저장 매체는 특히 광 디스크이며, 나선의 방향으로, 즉 디스크의 접선 방향으로 트랙 부분, 그루브 부분, 트랙 부분, 랜드 부분 등의 시퀀스로 연속하는 단일의 나선(S1)을 포함한다. 나선(S1)은 광 디스크의 내측 영역에서 제1 트랙(T1)으로 시작하고, 360°회전 후 그루브 부분(10)이 뒤이어 오고, 일 회전 후 제2 트랙(T2)이 뒤이어 오고, 그리고 제1 랜드 부분(11)이 뒤이어 온다.

트랙, 그루브 및 랜드 부분의 이러한 순서는 도 2에 나타낸 바와 같이 연속하여 반복되며, 즉, 제1 랜드 부분(11) 뒤에 360°의 원주를 따르는 길이를 갖는 다음번 트랙(T3)이 이어지고, 그 뒤에 또 다른 그루브 부분(10)이 이어지고, 일회전 후 또 다른 트랙(T4)으로 바뀌고, 또 한번의 회전 후 랜드 부분 등으로 바뀐다. 이렇게 하여 나선(S1)은 데이터를 갖는 이웃하는 트랙들 사이에 그루브 부분(10) 또는 랜드 부분(11)이 교대로 배열되도록 구성된다.

나선(S1)은 도 2에 도시된 바와 같이 광 디스크의 내측 영역에서 제1 트랙(T1)으로부터 시작한다. 대안으로, 나선(S1)은 광 디스크의 내측 영역에서 제1 그루브 부분으로부터 시작하고, 뒤이어 360°회전 후 트랙(T1)이 이어지고, 뒤이어 일 회전 후 제1 랜드 부분이 이어지고, 뒤이어 제2 트랙(T2) 등(도시되지 않음)이 이어진다.

광학 저장 매체(1)는, 예를 들어, 파장 λ=405nm 의 레이저 빔을 제공하면서 개구수 NA=0.85를 갖는 블루레이 형 광학 장치의 픽업을 구비하는 장치와 연동하도록 설계될 수 있다. 이웃하는 트랙들 사이의 트랙 피치(TP)는, 예를 들어, 240nm이며, 이는 픽업의 회절 한계치보다 작다. 이웃하는 르루브들 사이의 거리(2TP)는 480nm이며 이는 회절 한계치보다 크다. 그래서 푸시풀 진폭은 주로 그루브 깊이 및 그루브들 사이의 거리(2TP)에 달려있으며, HF 데이터 신호는 본래 각 트랙의 피트의 폭 및 깊이에 달려 있다. 그러므로, 푸시풀 신호는 피트 구조에 의해 영향을 받지 않는데, 그 이유는 트랙 피치(TP)가 유리하게도 회절 한계치보다 작기 때문이다. 따라서, HF 신호 및 트랙킹 에러 신호는 서로 독립적으로 최적화될 수 있다.

도 1 및 도 2에 관하여 도시되고 설명된 바와 같은 광학 저장 매체는 특히 트랙(T1-T4) 및 나선(S1)의 또 다른 후속 트랙들을 따라서 있는 피트(12) 및 랜드(13)로서 제공되는 마크/스페이스 데이터 구조를 갖는 판독 전용 저장 매체이다. 피트의 깊이 및 폭은 상당히 큰 HF 신호를 제공하기 위해 최적화되며, 그루브 부분(10)은 충분히 높은 진폭을 갖는 트랙킹 신호를 제공하기 위해 최적화된 깊이 및 폭을 갖는다. 판독 전용 저장 매체는 또한 종래 기술에서 공지된 바와 같이, 피트가 범프(bumps)로서 배열되고 그에 대응하여 또한 그루브가 월(walls)로서 배열되는 역 피트 구조 및 그루브 구조를 교대로 가질 수 있다. 이웃하는 두 그루브들(10) 사이의 거리(2TP)는 이웃하는 두 트랙들 사이의 거리, 예를 들어, 이웃하는 트랙들(T3, T4) 사이의 트랙 피트(TP)의 두 배이다.

트랙의 데이터를 판독하기 위한 하나의 센터 빔을 제공하며 두 위성 빔을 제공하는 바람직한 실시예에서, 장치의 픽업이 설계되며, 여기서 센터 빔이 트랙 상에 있을 때, 하나의 위성 빔은 이웃 그루브 부분으로 조절되며 다른 빔은 트랙의 이웃 랜드 부분으로 조절된다. 그런 다음 아래에서 기술되는 바와 같이 새로운 차동 푸시풀 트랙킹 방법을 이용함으로써 트랙킹 에러 신호가 위성 빔에 의해 제공된다. 센터 빔은 HF 데이터 신호를 제공하는데만 사용될 뿐이며 포커스 에러 신호는 픽업의 포커스 조정에 사용된다.

도 3에서, 테이블은 도 2에 도시된 바와 같은 트랙 구조, 그루브 부분 및 랜드 부분에 대한 세 가지 실시예를 예시하기 위해 도시된다. 제1 실시예에서, 피트-피트 트랙 피치(TP)는 200nm이며, 그루브-그루브 트랙 피치(2TP)는 400nm이다. 반지름 방향으로 60nm 폭의 피트, 60nm 폭의 그루브 부분 및 60nm 폭의 피트의 순서로 연속하여 배열되며, 이들은 40nm 폭의 랜드에 의해 각기 분리된다. 그런 다음, 140nm의 랜드 부분이 이어지고, 뒤 이어 각기 60nm 폭의 피트를 갖는 트랙이 이어지고, 그루브 부분이 이어지며 그리고 피트를 갖는 트랙이 이어지며, 이들은 각기 40nm 랜드 등에 의해 분리된다.

제2 실시예에서, 피트-피트 트랙 피치는 240nm이며, 그루브-그루브 트팩 피치는 480nm이다. 그러면 피트 및 그루브는 48nm의 랜드에 의해 각기 분리된 더 넓은 폭, 본 실시예에서는 72nm의 폭을 갖게 설계될 수 있다. 그래서 나머지 랜드 부분은 결과적으로 168nm의 폭을 갖는다. 제3 실시예에서, 피트-피트 트랙 피치는 280nm이며, 그루브-그루브 트랙 피치는 560nm이다. 그러면 피트 폭 및 그루브 폭은 84nm이고, 피트들은 56nm 랜드에 의해 이웃 그루브로부터 분리되며, 랜드 부분은 196nm 폭을 갖는다. 각 실시예에서, 그러므로 피트-피트 트랙 피치는 약 280nm 인 블루레이 형 픽업의 회절 한계치보다 작거나 또는 적어도 그 회절 한계치에 있다.

도 2에 도시된 실시예에 따른 광 디스크용 스탬퍼는 다음과 같은 연속 단계들, 즉, 데이터, 예를 들어, 피트와 랜드를 갖는 하나의 트랙을 마스터링하는 단계, 그루브를 갖는 하나의 트랙을 마스터링하는 단계, 데이터를 갖는 하나의 트랙을 마스터링하는 단계, 및 상기 디스크를 일 회전 돌리고 상기 마스터링 빔을 스위치 오프하여 랜드 부분을 생성하는 단계를 이용하여 마스터링될 수 있다. 마스터링을 위해, 레이저 빔 또는 전자 빔이 사용될 수 있다. 매 회전마다 0.5TP 만큼 일정한 반지름 방향의 이송이 이용되어 도 2에 도시된 바와 같은 데이터 트랙, 그루브 부분, 데이터 트랙, 및 랜드 부분의 연속 순서를 구비하는 단일 나선을 제공하게 된다. 예를 들어, 이웃하는 데이터 트랙들 사이의 거리를 두기 위해 240nm의 트랙 피치(TP)가 사용될 때, 마스터링 빔의 반지름 방향 이송은 회전당 120nm이다.

피트 및 그루브의 마스터링 파라미터는 동일한 값을 가질 수 있다. 대안으로, 피트의 마스터링 파라미터, 특히 폭과 깊이, 그리고 그루브의 마스터링 파라미터는 독립적으로 푸시풀 신호를 최적화하고 HF 신호를 최적화하기 위해 조절될 수 있다. 이것은 마스터링 빔으로서 전자 빔을 사용할 때 이 빔의 폭 및 강도를 제어함으로써 쉽게 제공될 수 있다.

피트 및 그루브의 폭과, 피트와 그루브 사이의 각 거리는 도 3의 테이블에 도시된 바와 같이 조절될 수 있다. 피트 및 그루브는 HF 신호 및 푸시풀 신호의 진폭을 충분히 크게 발생하기에 충분한 폭을 필요로 한다. 이것은 트랙 피치(TP)의 축소를 제한하게 된다. 블루레이 픽업과 조합하여 유용할 수 있는 가장 작은 트랙 피치는 160nm와 200nm 사이에 해당할 것이다. 또한, 이웃하는 피트와 그루브 사이에는, 테이블에서 나타낸 바와 같이, 충분히 큰 랜드 영역이 필요하다.

도 2에 따른 광 디스크의 데이터를 판독하기 위한 장치는 특히 앞에서 기술한 바와 같이, 데이터 트랙의 판독을 위한 센터 빔 및 두 위성 빔을 제공하는 3빔 광픽업을 이용한다. 위성 빔의 경우, 트랙킹 신호를 발생하기 위한 슈퍼레졸루션 효과가 전혀 필요하지 않기 때문에, 센터 빔의 레이저 전력에 대해 더 낮은 레이저 전력이 선택될 수 있다. 그러므로, 종래의 차동 푸시풀 격자(differential push-pull grating)가 픽업 내에서 세 개의 빔을 발생하는데 사용될 수 있으며, 이 경우 위성빔들은 센터 빔보다 낮은 전력을 가지며, 제1 위성 빔과 센터 빔 사이의 반지름 방향 거리 및 센터 빔과 제2 위성 빔 사이의 반지름 방향 거리는 각기 0.5TP이다.

이러한 픽업의 트랙킹은 도 2에 따른 광디스크에 대해 도 4 및 도 5와 관련하여 이제 설명될 것이다. 도 4a에 도시된 바와 같이, 센터 빔(CB)은 트랙(T2)에 맞게 조절되고, 위성 빔(SB1)은 랜드 부분(11)에 맞게 조절되며 위성빔(SB2)은 그루브 부분(10)에 맞게 조절된다. 트랙(T2)의 데이터를 판독할 때, 일회전 당 픽업의 반지름 방향 이송은 0.5TP이다. 센터 빔(CB)이 트랙(T3)의 데이터를 판독하기 위해 트랙(T3)에 맞게 조절될 때의 상황은 도 4b에 도시된다.

트랙(T2)의 끝에서, 도 5의 화살표 A1, A2, A3로 표시한 바와 같이, 다음 트랙(T3)의 데이터 판독을 지속하기 위해 픽업의 반지름 방향 건너뛰기가 필요하다. 또한, 도 4b에 도시된 바와 같이, 좌측 위성 빔(SB2)이 지금 랜드 부분(11)의 뒤를 따라 들어가고 있고 우측 위성빔(SB1)이 그루브 부분(10)의 뒤를 따라 들어가고 있기 때문에, 푸시풀 신호의 극성은 트랙(T3)에서 반전된다. 그러므로 푸시풀 신호의 부호는 트랙(T3)에서 픽업을 트랙킹하기 위해 반전되어야 한다. 매 회전 후, 픽업의 반지름 방향 건너뛰기가 수행되어야 하며 그에 따라 푸시풀 극성이 반전되어야 한다. 푸시풀 신호를 발생하기 위해, 위성 빔들(SB1 및 SB2)의 신호들만 이용된다.

도 6에는 검출기 유닛이 도시되며, 이 검출기 유닛은 앞에서 설명한 바와 같이 차동 푸시풀 트랙킹 신호를 제공할 뿐만 아니라 데이터 신호 및 포커스 에러 신호를 제공하는 3빔 트랙킹 방법에 유익하게 사용될 수 있다. 검출기 유닛은 네 개의 세그먼트들(A, B, C, D)을 이용하여 광학 저장 매체로부터 반사된 것으로서 센터 빔(CB)으로부터 반사된 빛을 검출하기 위한 4분면 검출기(20)를 포함한다. 위성 빔(SB1)에 대해서는 제2 검출기(21)가 제공되고 위성 빔(SB2)에 대해서는 제3 검출기(22)가 제공되며, 이들 검출기들은 광학 저장 매체의 반지름 방향에 대해 각기 절반씩 분할된다. 검출기(21)는 두 개의 동일 세그먼트(E1, E2)로 분할되며 검출기(22)는 두 개의 동일 세그먼트(F1, F2)로 분할되며, 메인 빔이 데이터 트랙 상에 정확히 위치할 때, 픽업 내 검출기들(20 내지 22)은 메인 빔으로부터 반사된 빛이 검출기(20)에 집중되고, 위성 빔(SB1)으로부터 반사된 빛이 검출기(21)에 집중되며 위성 빔(SB2)으로부터 반사된 빛이 검출기(22)에 집중되도록 기하학적으로 배열된다.

종래 기술에서 공지된 바와 같이, 세그먼트(A 내지 F2)는 광 감성 소자들이다. 세그먼트들(E1, E2, F1, F2)은 대응하는 전기 신호들(e1, e2, f1, f2)을 제공하고, 이들 신호들로부터 픽업의 트랙킹 에러를 보정하는 차동 푸시풀 트랙킹 신호(TE)가 다음 수식에 따라 계산될 수 있다.

[수학식 1]

TE = (e2 - e1) - (f2 - f1)

신호(e2)는 (e1)으로 감산되고 신호(f2)는 (f1)으로 감산되어 메인 빔을 트랙 상에 유지시킨다. 먼저, 각 검출기(21, 22)마다, 차 신호(e2 - el)와 (f2 - fl)가 계산되어야 한다. 그리고 나서, 검출기(22)의 차 신호(e2 - el)로부터 검출기(21)의 신호(f2-f1)가 감산되어야 하는데, 그 이유는 위성 빔(SB1)이 그루브 부분 또는 랜드 부분 상에 배치되고 그에 대응하여 위성 빔(SB2)이 랜드 부분 또는 그루브 부분 상에 배치되는지에 따라서 이들 신호들이 다른 극성의 신호를 제공하기 때문이다. 네 개의 세그먼트들(A-D)은 HF 데이터 신호 및 포커스 조절을 위한 포커스 에러 신호를 제공하는데 사용된다. 세그먼트들(E1, E2, F1, F2)이 동일 크기와 동일 광효율을 갖고, 두 위성 빔들(SB1, SB2)의 강도가 동일한 경우, 트랙킹 신호(TE)를 계산하는데 어떠한 보정 팩터도 필요하지 않다.

하나의 트랙에서 다음 트랙으로 이동할 때, 예를 들어, 도 4, 도 5에서 설명된 바와 같이 트랙(T2)에서 트랙(T3)으로 이동할 때, 트랙킹 신호의 극성 전환은 센터 빔이 정확한 경로를 추종하게 하는데 충분하다. 이것은 화살표로 표시한 바와 같이 센터 빔(CB)이 트랙(T2)에서 트랙(T3)으로 이동하는 것을 보여주는 도 7에서 설명될 수 있다. 푸시풀 신호(PP1)는 센터 빔(CB)이 트랙(T2)을 따라 이동하고 있을 때의 트랙킹 신호이다. 센터 빔(CB)이 트랙(T2)에 집중되어 있을 때, 위성 빔(SB1)은 랜드 부분에 위치하고 위성 빔(SB2)은 그루브 부분에 위치하며 각각의 검출기(21, 22)의 푸시풀 신호는 제로이다.

위성 빔(SB1)은 센터 빔(CB)에 앞서 이동하며, 센터 빔(CB)이 트랙(T2)의 끝에 도달했을 때 위성 빔(SB1)은 이미 트랙(T3)에 위치한다. 이것은 푸시풀 신호가 트랙(T2)에서 트랙(T3)으로 전이할 때 0.25TP 만큼 시프트하기 때문에 -0.25 TP의 트랙 오프셋을 제공한다. 도 7의 윗부분에는 센터 빔(CB)이 트랙(T3)을 따라 이동하고 있을 때의 트랙킹 신호인 푸시풀 신호(PP2)가 도시된다. 따라서, 위성 빔(SB1)의 푸시풀 신호는 센터 빔(CB)이 트랙(T2)의 끝에 도달하기 바로 전에 다음 트랙(T3)의 방향으로 미리 픽업을 이동시킨다.

트랙(T2)에서 트랙(T3)으로의 전이 시, 트랙킹 신호는 0.25 트랙 피치만큼, 예를 들어, 120nm 만큼 우측으로 시프트하며, 푸시풀 신호(PP2)의 부호는 신호(PP1)에 대해 반전된다. 위성 빔(SB1)은 푸시풀 신호(PP2)의 120nm 트랙 오프셋에서 음의 기울기(negative slope)로 제로 교차점(zero crossing point)에 도달할 때까지 푸시된다. 위성 빔(SB2) 및 센터 빔(CB)도 또한 도 7에서 화살표로 표시한 바와 같이 우측으로 이동한다. 센터 빔(CB)이 트랙(T3)에 도달한 후, 위성 빔(SB1)은 그루브 부분에 위치하고 위성 빔(SB2)은 랜드 부분에 위치하며, 트랙 서보 회로는 위성 빔들(SB1 및 SB2) 각각의 푸시풀 신호들이 제로가 될 때까지 액츄에이터를 조절할 것이며, 그래서 센터 빔(CB)은 트랙(T3)에 집중된 새로운 위치로 조절될 것이다.

트랙(T2)의 끝은, 예를 들어, 트랙(T2)의 끝에서 피트들의 특수한 정보 패턴을 통해 사전에 장치의 트랙킹 조절에 표시되어, 다음 트랙으로의 전이가 필요함을 표시할 수 있다. 또한, 트랙킹 조절은 픽업을 새로운 트랙으로 조절하는데 약간의 시간을 요하기 때문에 트랙(T3)의 제1 피트들은 사용될 수 없다. 푸시풀 신호의 극성도 또한, 예를 들어, 정보 패턴에 응답하여 반전될 수 있다.

트랙(T2)에서 트랙(T3)으로 전이하기 전에 트랙(T2)이 트랙(T3)의 방향으로 약간 구부러지면 그리고 트랙(T3)의 처음에서 트랙(T3)이 트랙(T2)의 방향으로 약간 구부러질 때, 트랙(T2)에서 트랙(T3)으로의 전이가 개선될 수 있다. 이것은 트랙 건너뛰기 바로 전에 픽업을 미리 트랙(T3)의 방향으로 이동시킬 것이며, 픽업은 새로운 위치로 빠르게 조절하여 트랙(T3)의 데이터를 판독할 것이다. 대안으로, 또는 부가적으로, 트랙 전이 바로 전에 트랙(T2)의 끝에서 적당한 부호의 작은 전압 펄스를 트랙킹 액츄에이터의 코일에 인가하여 픽업을 트랙(T3)의 방향으로 시프트할 수 있다.

제2 실시예에 따른 광학 저장 매체는 도 8a에 도시된 바와 같이 두 개의 나선(S2, S3)을 포함한다. 나선(S2)은 판독 전용 광 디스크의 경우 마크와 스페이스, 예를 들어, 피트와 랜드의 연속 순서를 포함하도록 설계된다. 제2 나선(S3)은 그루브 부분(10)과 랜드 부분(11)이 교대로 연속하는 순서를 가지며, 여기서 각각의 그루브 부분 및 각각의 랜드 부분은 디스크의 360°의 원주에 대응하는 길이를 가지며 각각의 그루브 부분(10)에 뒤이어 랜드 부분(11)이 이어지고 광디스크의 일 회전 후 각 랜드 부분(11)에 뒤이어 그루브 부분(10)이 이어진다. 나선(S2 및 S3)은 서로 인터리브되어 디스크의 반지름 방향으로 트랙, 그루브 부분, 트랙 및 랜드 부분, 예를 들어, 트랙(T1), 랜드 부분(11), 트랙(T2), 그루브 부분(10), 트랙(T3), 랜드 부분(11), 트랙(T4) 등의 연속하는 순서를 교대로 제공한다. 도 2의 실시예와 대응하여, 특히, 이웃하는 두 그루브 부분들(10) 사이의 거리(2TP)는 이웃하는 두 트랙들 사이의 트랙 피치(TP)의 두 배이다.

제2 실시예에 따른 광 디스크로부터 데이터를 판독할 때, 광 픽업의 센터 빔은 나선(S2)을 추종하는데 필요한 만큼 반지름 방향 이송에 따라서 건너뛰기 없이 트랙을 따라서 계속하여 이동한다. 나선(S2)은, 예를 들어, 디스크의 중심에서 시작하고 디스크의 외곽에서 끝난다. 트랙킹 조절을 위해, 나선(S3)이 그루브 부분(10)에서 랜드 부분(11)으로, 그리고 그에 대응하여 랜드 부분(11)에서 그루브 부분(10)으로 변경할 때, 트랙킹 신호의 극성은 매 회전 후 전환되어야 한다.

도 8a에 도시된 바와 같이, 광디스크에서, 가장 내측의 나선은 그루브 부분(10)에서 시작하는 나선(S3)이다. 이와 달리, 도 8b에 도시된 바와 같이, 가장 내측의 나선은 트랙 부분(T1)에서 시작하는 나선(S2)이다.

도 9a에 도시된 제3 실시예는 네 개의 나선들(S4-S7)을 포함한다. 나선들(S4 및 S5)은 트랙 피치(TP)에 의해 분리되어 있으며 각기 마크 및 스페이스, 예를 들어, 판독 전용 광 디스크의 경우 피트 및 랜드로 된 데이터가 연속하는 순서를 갖는다. 제3 나선(S6)은 그루브 부분이 연속하며 제4 나선(S7)은 랜드 부분(11)이 연속한다. 네 개의 나선들(S4-S7)은 저장 매체가 반지름 방향으로, 트랙, 랜드 부분, 트랙 및 그루브 부분, 예를 들어, 트랙 부분(T1), 랜드 부분(11), 트랙(T2), 그루브 부분(10), 트랙(T3), 랜드 부분(11) 등을 포함하도록 서로 인터리브된다.

도 9a의 실시예에서, 장치는 나선(S4) 또는 (S5)으로부터 데이터가 판독되어야 하는지 그에 따라서 광 픽업의 센터 빔이 나선(S4) 또는 나선(S5) 위로 조절되어야 하는지를 결정해야 한다. 나선들(S4, S5)은 둘 다 반지름 방향으로 시프트없이 마크 및 스페이스의 연속하는 순서로 이루어지기 때문에, 픽업의 건너뛰기는 필요하지 않다. 나선(S4) 또는 (S5)은, 예를 들어, 특정한 헤더를 각 나선(S4, S5)의 처음에 포함함으로써 또는 트랙킹 신호의 극성을 평가함으로써 선택될 수 있다. 나선(S6)은 연속하는 그루브 부분으로 이루어지며 나선(S7)은 연속하는 랜드 부분으로 이루어지기 때문에, 나선(S4) 또는 (S5)의 데이터를 판독할 때, 어떠한 극성 전환도 필요하지 않다.

도 9a에 도시된 바와 같이, 광 디스크에서, 가장 내측의 나선은 그루브 부분(10)을 구성하는 나선(S6)이다. 이와 달리, 도 9b에 도시된 바와 같이, 가장 내측의 나선은 트랙 부분(T1)에서 시작하는 나선(S5)이다.

도 8의 제2 실시예에 따른 광 디스크의 생산에 필요한 스탬퍼는 두 개의 마스터링 빔을 병렬로 이용함으로써, 즉, 하나의 마스터링 빔을 마크 및 스페이스, 또는 피트 및 랜드를 포함하는 나선(S2)의 트랙들을 기록하기 위해 배열하고, 다른 마스터링 빔을 나선(S3)의 그루브 부분(10) 또는 랜드 부분(11)을 교대로 기록하기 위해 배열함으로써 마스터링될 수 있다. 두 마스터링 빔들 사이의 반지름 방향 거리는 0.5TP이어야 한다. 트랙 및 그루브 부분을 기록하고 또한 랜드 부분을 제공하기 위해, 두 마스터링 빔들에 대해 동일하고 일정한 반지름 방향 이송이 사용된다. 반지름 방향 이송은 회전당 TP이어야 한다.

도 9a, 도 9b의 제3 실시예에 따른 광 디스크의 생산을 위한 스탬퍼는 두 개의 데이터 트랙들, 즉 나선(S4, S5)을 제공하기 위해 두 개의 마스터링 빔을 병렬로 사용하고 그루브 부분, 즉 나선(S6)을 제공하기 위해 제3 마스터링 빔을 사용함으로써 마스터링될 수 있다. 나선(S7)은 랜드 부분을 제공하기 위한 제1 및 제2 마스터링 빔 사이에 트랙 피치(TP)를 선택함으로써 생성된다. 반지름 방향 이송은 회전당 2TP이어야 한다.

도 2, 도 8, 도 9에 도시된 바와 같이 트랙 피치를 줄이기 위한 트랙 구조는 슈퍼레졸루션 근접장 구조를 갖는 마스크 층을 구비하는 슈퍼-RENS 광디스크에 유리하게 적용될 수 있다. 특히, 트랙 피치는, 예를 들어, 약 405nm 파장의 빛을 방사하는 반도체 레이저를 갖는 광 픽업과 함께 사용하기 위해 280nm 이하이다. 그러나, 본 기술 분야에서 숙련된 자에게는 본 발명의 정신과 범주를 벗어남이 없이 다른 실시예들 또한 활용될 수 있다. 도 2, 도 8, 도 9에 도시된 바와 같이 트랙 피치를 줄이기 위한 트랙 구조는 특히 슈퍼레졸루션 구조를 갖는 비선형 층을 활용하지 않는 다른 모든 광디스크에도 적용될 수 있다. 본 발명은 또한 판독 전용(ROM) 광학 저장 매체뿐만 아니라, 기록가능 및 재기록가능 광학 저장 매체에도 사용될 수 있다. 그러므로 본 발명은 다음에 첨부한 청구범위에 귀속한다.

Claims (20)

1. 기판층(2), 및 상기 기판층(2) 상의 트랙들(T1-T4)에 데이터가 배열된 마크/스페이스 데이터 구조를 갖는 데이터 층(3)을 포함하는 광학 저장 매체로서,
   이웃하는 트랙들 사이에 그루브 부분(10) 또는 그루브가 없는 랜드 부분(11)이 교대로 배열된 것을 특징으로 하는 광학 저장 매체.
2. 제1 항에 있어서, 상기 광학 저장 매체는 상기 데이터 층(3) 위에 슈퍼레졸루션(super-resolution) 구조가 배열된 비선형 층(4)을 포함하는 광 디스크이며, 및/또는
   상기 트랙들(T1-T4)은 상기 기판 층(2) 상에서 하나 또는 여러 개의 나선들(S1-S7)로서 배열된 광학 저장 매체.
3. 제2 항에 있어서, 상기 광학 저장 디스크는 상기 디스크의 반지름 방향으로 트랙(T1), 그루브 부분(10), 트랙(T2), 랜드 부분(11), 트랙(T3), 및 그루브 부분(10)이 교대하여 연속하는 시퀀스로 배열된 영역을 포함하는 광학 저장 매체.
4. 제2 항 또는 제3 항에 있어서, 트랙 부분(T1-T4), 그루브 부분(10), 트랙 부분(T1-T4), 및 랜드 부분(11)의 연속하는 시퀀스를 갖는 단일의 나선(S1)을 포함하는 광학 저장 매체.
5. 제4 항에 있어서, 상기 트랙 부분, 그루브 부분 및 랜드 부분 각각의 길이는 동일하며 특히 360°의 원주에 대응하는 광학 저장 매체.
6. 제2 항 또는 제3 항에 있어서, 상기 트랙들(T1-T4)은 연속 데이터의 제1 나선(S2)으로서 배열되고, 상기 그루브 부분들(10) 및 랜드 부분들(11)은 접선 방향으로 그루브 부분 및 랜드 부분을 교대로 포함하는 제2 나선(S3)으로서 배열되며, 상기 두 개의 나선(S2, S3)은 서로 인터리빙되어 상기 디스크의 반지름 방향으로 트랙, 그루브, 트랙, 및 랜드 부분을 교대로 제공하는 광학 저장 매체.
7. 제6 항에 있어서, 상기 제2 나선(S3)의 각각의 그루브 부분(10) 및 각각의 랜드 부분(11)의 길이는 동일하며 특히 360°의 원주에 대응하는 광학 저장 매체.
8. 제2 항 또는 제3 항에 있어서, 상기 트랙들(T1-T4)은 연속 데이터의 두 개의 나선(S4, S5)으로서 배열되고, 상기 그루브 부분들은 제3 나선(S6)으로서 배열되며, 상기 랜드 부분들은 제4 나선(S7)으로서 배열되며, 상기 네 개의 나선(S4-S7)은 서로 인터리빙되어 상기 디스크의 반지름 방향으로 트랙, 그루브, 트랙, 및 랜드 부분을 교대로 제공하는 광학 저장 매체.
9. 선행 항들 중 어느 한 항에 있어서, 이웃하는 트랙들(T1-T2, T3-T4)의 마크들 사이의 거리(TP)는 광학 저장 매체의 데이터를 판독하기 위한 픽업의 회절 한계치 미만이며, 그루브 부분들(10) 사이의 거리(2TP)는 상기 픽업의 회절 한계치를 넘는 광학 저장 매체.
10. 선행 항들 중 어느 한 항에 있어서, 이웃하는 트랙들(T1-T2, T3-T4)의 마크들 사이의 거리(TP)는 290nm 미만이며, 그루브 부분들(10) 사이의 거리(2TP)는 380nm를 넘는 광학 저장 매체.
11. 선행 항들 중 어느 한 항에 있어서, 이웃하는 그루브 부분들(10) 사이의 거리(2TP)는 이웃하는 트랙들(T1-T2, T3-T4) 사이의 거리(TP)의 두 배인 광학 저장 매체.
12. 선행 항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광학 매체는 판독 전용 디스크이며, 상기 마크/스페이스 데이터 구조는 피트/랜드 구조(12, 13)로서 제공되는 광학 저장 매체.
13. 제4 항에 따른 광학 저장 매체의 스탬퍼(stamper)를 마스터링하기 위한 방법으로서, 하나의 전자 빔 또는 하나의 레이저 빔을 구비한 마스터링 빔이 사용되며, 상기 방법은, 단일의 나선(S1) 내에 데이터 트랙, 그루브, 데이터 트랙, 및 랜드 부분을 교대로 갖는 상기 단일 나선을 기록하기 위해,
    피트들을 나타내는 하나의 데이터 트랙을 마스터링하는 단계;
    일 회전 후, 상기 전자 또는 레이저 빔을 일정하게 스위칭 온하여 그루브를 갖는 하나의 트랙을 마스터링하는 단계;
    또 한번의 회전 후, 피트들을 갖는 하나의 데이터 트랙을 마스터링하는 단계;
    또 다른 일 회전 후, 상기 레이저 빔 또는 전자 빔을 스위칭 오프로 유지하여 랜드 부분을 제공하는 단계;
    또 한번의 회전 후, 피트들을 갖는 하나의 데이터 트랙을 마스터링하는 단계 등을 포함하는
    스탬퍼 마스터링 방법.
14. 제6 항에 따른 광학 저장 매체용 스탬퍼를 마스터링하기 위한 방법으로서, 두 개의 전자 빔 또는 두 개의 레이저 빔을 구비한 마스터링이 사용되며, 상기 방법은,
    상기 빔들 중 제1 빔을 사용하여 상기 제1 나선(S2)의 상기 마크/스페이스 데이터 구조를 기록하는 단계; 및
    동시에 상기 제2 빔을 사용하여 상기 제2 나선(S3)의 상기 랜드/그루브 구조들을 기록하는 단계
    를 포함하는 스탬퍼 마스터링 방법.
15. 제8 항에 따른 광학 저장 매체용 스탬퍼를 마스터링하기 위한 방법으로서, 세 개의 전자 빔 또는 세 개의 레이저 빔을 구비한 마스터링이 사용되며, 상기 방법은,
    상기 빔들 중 두 개의 빔을 사용하여 상기 제1 및 제2 나선들(S4, S5)의 상기 마크/스페이스 데이터 구조들을 동시에 기록하는 단계; 및
    동시에 상기 제2 빔을 사용하여 상기 제3 나선(S6)의 상기 그루브 구조를 기록하는 단계
    를 포함하는 스탬퍼 마스터링 방법.
16. 제1 항 내지 제12 항 중 어느 한 항에 따른 광학 저장 매체로부터 데이터를 판독하기 위한 레이저, 검출기 유닛 및 대물 렌즈를 갖는 픽업을 포함하는 장치로서,
    상기 픽업은 데이터를 판독하기 위한 센터 빔(CB) 및 트랙킹 신호를 제공하는 두 개의 위성 빔(SB1, SB2)을 제공하며,
    상기 세 개의 빔들은 상기 대물 렌즈에 의해 상기 광학 저장 매체 상에 초점이 맞추어지며, 상기 광학 저장 매체로부터 반사된 광은 상기 검출기 유닛상으로 안내되는
    장치.
17. 제16 항에 있어서, 상기 두 개의 위성 빔(SB1, SB2)의 강도는 각기 상기 메인 빔(CB)의 강도의 50% 보다 작은 장치.
18. 제16 항 또는 제17 항에 있어서, 상기 검출기 유닛은 상기 센터 빔(CB)으로부터의 반사된 광을 검출하는 센터 검출기(20), 및 상기 위성 빔들(SB1, SB2)로부터의 반사된 광을 검출하는 두 개의 위성 검출기(21, 22)를 포함하며,
    상기 두 개의 위성 검출기(21, 22)는 각기 두 부분(E1, E2, F1, F2)으로 분할되며, 상기 픽업은 트랙킹 조절을 위해 상기 두 개의 위성 검출기(21, 22)에 따라 차동 푸시풀 트랙킹 신호를 제공하는 장치.
19. 제18 항에 있어서, 상기 트랙킹 신호(TE)는 TE = (el-e2) - (fl-f2) 관계에 의해 계산되며,
    여기서, el, e2, fl, f2는 상기 네 부분(E1, E2, F1, F2)으로부터의 전기 신호들인 장치.
20. 제16 항 내지 제19 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검출기 유닛은 상기 두 개의 위성 빔이 상기 메인 빔에 대하여 대략 1/2 트랙 피치의 트랙 오프셋을 갖도록 설계된 장치.

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