KR20100103388A - Barium titanate dielectric powder, method for manufacturing the same, method for manufacturing ceramic green sheet, and method for manufacturing laminated ceramic capacitor - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: Barium titanate-based dielectric material powder, a manufacturing method thereof, a manufacturing method of a ceramic green sheet, and a manufacturing method of a laminated ceramic condenser are provided to planarize the temperature property of the dielectric rate of the powder. CONSTITUTION: Barium titanate-based dielectric material powder is coated with a barium compound having BaTiO3 powder with the surface having the molar ratio of BaCO3 and BaO more than 0.55. A manufacturing method of the barium titanate-based dielectric material powder comprises the following steps: preparing the BaTiO3 powder; and dipping the BaTiO3 powder to a water based solvent. A manufacturing method of a ceramic green sheet comprises the following steps: forming sheet molding slurry containing the barium titanate-based dielectric material powder, a binder, and a dispersing agent; and molding the slurry into a sheet form.

Description

티탄산바륨계 유전체 원료 분말, 그 제조방법, 세라믹 그린시트의 제조방법, 및 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법{BARIUM TITANATE DIELECTRIC POWDER, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC GREEN SHEET, AND METHOD FOR MANUFACTURING LAMINATED CERAMIC CAPACITOR}Barium titanate-based dielectric raw material powder, a method of manufacturing the same, a method of manufacturing a ceramic green sheet, and a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor CAPACITOR}

본 발명은, 유전체 세라믹 원료 분말 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 상세하게는 적층 세라믹 콘덴서 등에 사용되는 티탄산바륨계 유전체 원료 분말 및 그 제조방법, 상기 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용한 세라믹 그린시트의 제조방법, 및 상기 세라믹 그린시트를 사용한 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dielectric ceramic raw material powder and a method for manufacturing the same. Specifically, a barium titanate-based dielectric raw material powder used in a multilayer ceramic capacitor and the like, a method for manufacturing the same, and a ceramic green sheet using the barium titanate-based dielectric raw material powder A method and a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor using the ceramic green sheet.

티탄산바륨(BaTiO3)계의 유전체 세라믹은, 유전체 재료로서 적층 세라믹 콘덴서 등의 전자부품에 널리 사용되고 있다.BACKGROUND ART Barium titanate (BaTiO 3 ) -based dielectric ceramics are widely used in electronic components such as multilayer ceramic capacitors as dielectric materials.

그리고, 이 티탄산바륨계의 유전체 세라믹을 유전체 재료로서 사용하는 경우, 각종 전기 특성을 개량하기 위해, 다양한 부성분(예를 들면, 희토류 원소, Mg, Mn 등)을 첨가하는 것이 행해지고 있다.And when using this barium titanate-type dielectric ceramic as a dielectric material, in order to improve various electrical characteristics, adding various subcomponents (for example, rare earth elements, Mg, Mn, etc.) is performed.

특히 유전율의 온도 특성과, 고온 고전계에서의 신뢰성을 양립하기 위해서는, BaTiO3 결정입자의 표층 부분에, 상기의 부성분이 고용(固溶)한 코어 셸 구조를 포함하고 있는 것이 바람직하다. 즉, 코어의 부분에는 부성분이 존재하지 않고, 셸의 부분에 부성분이 존재하고 있는 것이 바람직하다.In particular, it is preferable that includes temperature characteristics and, in order to achieve both the reliability of the high-temperature high electric field, the employment of the auxiliary component (固溶) in the surface layer portion of the BaTiO 3 crystal grains of the core shell structure of the dielectric constant. That is, it is preferable that a subcomponent does not exist in the part of a core, and a subcomponent exists in the part of a shell.

또한 유전율의 온도 특성과, 고온 고전계에서의 신뢰성을 보다 높은 차원에서 양립시키기 위해서는, 코어와 셸은 동심원상으로 되어 있고, 부성분의 고용의 상태가 결정입자의 장소와 상관없이 균일한 것이 바람직하다.In addition, in order to make both the temperature characteristic of dielectric constant and the reliability in a high temperature high electric field high level, the core and the shell are concentric, and it is preferable that the state of solid solution of a subcomponent is uniform regardless of the location of crystal grains. .

그러나 이러한 바람직한 형태의 결정 구조를 가지는 결정입자를 얻기 위해서는, 원료 단계에서 BaTi03 분말에 적절한 처리를 실시하는 것이 필요해지는데, 그러한 처리를 실시함으로써 소망하는 특성을 가지는 BaTiO3계 세라믹 분말을 얻는 것은 용이하지 않은 것이 실정이다.However, in order to obtain crystal grains having a crystal structure of such a preferred form, it is necessary to perform an appropriate treatment on the BaTiO 3 powder in the raw material step, and it is easy to obtain a BaTiO 3 -based ceramic powder having desired characteristics by performing such treatment. It is a fact not to do.

그리하여, 이 과제들을 해결하기 위해, BaTi03을 가소(假燒)하는 공정에서, 소정의 CO2 분위기로 가소를 행하여, BaTiO3 분말의 표면에 BaCO3층을 형성하도록 한 티탄산바륨계의 유전체 세라믹의 제조방법이 제안되어 있다(특허문헌 1 참조).Thus, in order to solve these problems, in the step of calcining BaTi0 3 , barium titanate-based dielectric ceramics are calcined in a predetermined CO 2 atmosphere to form BaCO 3 layers on the surface of BaTiO 3 powder. The manufacturing method of is proposed (refer patent document 1).

즉, 특허문헌 1에는, 티탄산바륨의 가소시의 이산화탄소 분압을 대기 중에서의 이산화탄소 분압보다도 높은 400~1000ppm의 분위기로 함으로써, 얻어지는 티탄산바륨계 분말의 표면에 탄산바륨이 형성되도록 하고, 가소시의 합성 과정에 있어서, 분말끼리의 반응이나 입자 성장을 억제하여, 미립이면서 균일한 입자지름의 티탄산바륨 분말을 제조하는 방법이 개시되어 있다.That is, Patent Document 1 discloses that the barium carbonate is formed on the surface of the barium titanate-based powder obtained by setting the carbon dioxide partial pressure at the time of calcination of barium titanate to be 400 to 1000 ppm higher than the carbon dioxide partial pressure in the atmosphere. In the process, the method of suppressing reaction and particle growth of powders, and manufacturing a barium titanate powder of fine and uniform particle diameter is disclosed.

그리고, 이러한 티탄산바륨계 분말을 사용하여 형성한 성형체를 소성한 경우, 탄산바륨의 반응 억제 효과에 의해 입자 성장이 억제되어, 미립이면서 균일한 입자지름의 결정입자로 이루어지는 티탄산바륨계 소결체의 유전체 세라믹이 얻어진다고 되어 있다.And when baking the molded object formed using such a barium titanate-type powder, grain growth is suppressed by the reaction inhibitory effect of barium carbonate, and the dielectric ceramic of the barium titanate-based sintered compact which consists of crystal grains of fine and uniform particle diameter is carried out. It is supposed that this is obtained.

그러나 상기의 종래 기술과 같이, 티탄산바륨의 가소시의 이산화탄소 분압을 400~1000ppm의 분위기로 하는 것 만으로는, 유전율의 온도 특성이나 고온 고전계에서의 신뢰성 등을 충분히 향상시킬 수 없는 경우가 있다.However, as in the above-mentioned prior art, only by setting the carbon dioxide partial pressure during the calcining of barium titanate to an atmosphere of 400 to 1000 ppm, the temperature characteristics of the dielectric constant and the reliability in a high temperature high electric field may not be sufficiently improved.

이것은, 티탄산바륨의 가소시의 이산화탄소 분압을 400~1000ppm의 분위기로 하는 것 만으로는, 티탄산바륨 분말의 표면의 Ba의 탄산화합물 중에서의 BaC03의 비율을 반드시 충분하게 높일 수 있는 것은 아닌 것에 따른 것으로 생각된다.This is because the carbon dioxide partial pressure at the time of calcination of barium titanate is 400-1000 ppm, and the ratio of BaC0 3 in the carbonate compound of Ba on the surface of barium titanate powder is not necessarily high enough. do.

일본국공개특허공보2007-1840호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2007-1840

본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위한 것으로서, 유전율의 온도 특성이 평탄화되면서, 고온 고전계에서의 신뢰성이 뛰어난 유전체 세라믹을 형성하는 것이 가능한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말, 그 제조방법, 나아가서는 상기 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용한 세라믹 그린시트의 제조방법, 및 상기 세라믹 그린시트를 사용하여, 유전율의 온도 특성이 뛰어나면서, 고온 고전계에서의 신뢰성이 뛰어난 적층 세라믹 콘덴서를 제조하는 것이 가능한 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and the barium titanate-based dielectric material powder capable of forming a dielectric ceramic having excellent reliability at high temperature high electric fields while the temperature characteristic of the dielectric constant is flattened, a method of manufacturing the same, and further, the titanic acid A method of manufacturing a ceramic green sheet using a barium-based dielectric material powder, and a multilayer ceramic capacitor capable of producing a multilayer ceramic capacitor having excellent temperature characteristics of dielectric constant and excellent reliability in high temperature high electric fields using the ceramic green sheet. An object of the present invention is to provide a manufacturing method.

본 발명의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말은,Barium titanate-based dielectric material powder of the present invention,

BaTiO3 분말의 표면이, BaC03과 BaO의 비율이 몰비로 BaCO3/BaO=0.55 이상인 바륨화합물에 의해 피복되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.The surface of the BaTiO 3 powder is coated with a barium compound having a BaCO 3 /BaO=0.55 or more in a molar ratio of BaC0 3 and BaO.

또한 본 발명의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말은 특성 조정용의 첨가 성분을 함유하고 있어도 된다.In addition, the barium titanate-based dielectric material powder of the present invention may contain an additive component for adjusting properties.

또한 본 발명의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말의 제조방법은, BaTiO3 분말을 준비하는 공정과, 상기 BaTiO3 분말을 16시간 이상, 수계 용매에 침지하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.The method for producing a barium titanate-based dielectric material powder of the present invention is characterized by comprising a step of preparing BaTiO 3 powder and a step of immersing the BaTiO 3 powder in an aqueous solvent for at least 16 hours.

또한 본 발명의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말의 제조방법에 있어서는, 상기 BaTiO3 분말로서, 특성 조정용의 첨가 성분이 첨가된 BaTiO3 분말을 사용할 수 있다.Further, in the production process of the barium titanate based dielectric material powder of the invention, as the BaTiO 3 powder and BaTiO 3 powder can be used for the additive component of the characteristics adjusting added.

또한 본 발명의 세라믹 그린시트의 형성방법은, 청구항 1 또는 2에 기재된 티탄산바륨계 유전체 원료 분말과, 바인더와, 분산매를 포함하는 시트 성형용 슬러리를 조제하는 공정과, 상기 시트 성형용 슬러리를 시트상으로 성형하여 세라믹 그린시트로 하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.In addition, the method for forming a ceramic green sheet of the present invention comprises the steps of preparing a slurry for forming a sheet containing the barium titanate-based dielectric material powder according to claim 1 or 2, a binder and a dispersion medium, and the slurry for forming the sheet. And forming a ceramic green sheet by molding into an image.

또한 본 발명의 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법은, 청구항 5의 방법에 의해 형성한 상기 세라믹 그린시트에 도전성 페이스트를 부여하여 내부전극 패턴을 형성하는 공정과, 상기 내부전극 패턴이 형성된 상기 세라믹 그린시트를 적층, 압착하여 적층체를 형성하는 공정과, 상기 적층체를 소성하여 내부전극이 세라믹층을 통해 적층된 구조를 가지는 세라믹 콘덴서 소자를 얻는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.In addition, the method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor of the present invention comprises the steps of forming an internal electrode pattern by applying a conductive paste to the ceramic green sheet formed by the method of claim 5, and the ceramic green sheet on which the internal electrode pattern is formed. Laminating and pressing to form a laminate, and firing the laminate to obtain a ceramic capacitor device having a structure in which internal electrodes are laminated through a ceramic layer.

본 발명의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말은, BaTiO3 분말의 표면이, BaC03과 BaO의 비율이 몰비로 BaCO3/BaO=0.55 이상인 바륨화합물에 의해 피복되어 있고, 바륨화합물 중의 BaC03의 비율이 높기 때문에, BaC03의 반응 억제 효과에 의해 입자 성장이 억제되어, 유전율의 온도 특성이 평탄하면서, 고온 고전계에서의 신뢰성이 뛰어난 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 얻을 수 있다.In the barium titanate-based dielectric material powder of the present invention, the surface of BaTiO 3 powder is covered with a barium compound having a BaCO 3 /BaO=0.55 or more ratio in a molar ratio of BaC0 3 and BaO, and the proportion of BaC0 3 in the barium compound is Since it is high, particle growth is suppressed by the reaction inhibitory effect of BaC0 3 , the temperature characteristic of dielectric constant is flat, and the barium titanate-based dielectric raw material powder having excellent reliability in high temperature high electric field can be obtained.

본 발명의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말과 같이, BaTiO3 분말 표면의 BaC03과 BaO의 비율(BaCO3/BaO 비)이 큰 상태는, 표면이 BaC03으로 덮이고, Ti 리치의 표면층의 노출의 정도가 감소하는 동시에 BaO의 분체 표면에의 노출의 정도가 감소한 상태이다.As in the barium titanate-based dielectric material powder of the present invention, a large BaC0 3 to BaO ratio (BaCO 3 / BaO ratio) on the surface of the BaTiO 3 powder is covered with BaC 0 3 and the degree of exposure of the Ti-rich surface layer. Decreases and the degree of exposure of BaO to the powder surface decreases.

그리고, BaC03이 티탄산바륨계 유전체 원료 분말의 표면에 존재하고 있는 상태에서는, 입자 성장이 억제되어, 국소적인 입자 성장이 억제됨으로써 온도 특성이 평탄화된다. 그와 더불어 표면에 Ti 리치상이 존재하지 않는 상태에서는, 국소적인 첨가 원소의 고용(고용 불균일)이 억제되어 고온 고전계 부하에 대한 신뢰성이 향상한다.In the state where BaC0 3 is present on the surface of the barium titanate-based dielectric material powder, grain growth is suppressed, and local grain growth is suppressed, thereby flattening temperature characteristics. In addition, in the state where the Ti rich phase does not exist on the surface, the solid solution (employment nonuniformity) of a local additional element is suppressed and the reliability with respect to high temperature high electric field load improves.

한편, 대기 중에서 BaTiO3을 가소 합성한 그대로의 상태에서는, 분체 표면의 BaC03/BaO 비는 작아지지만, 수중에 장시간 침지함으로써 BaTiO3 분말의 표면에서는, Ba의 용출과, 용출한 Ba 이온과, 수중의 C02의 반응에 의해 생성되는 BaC03이 재석출하여 표면의 BaCO3 농도가 높아져, 상술의 작용 효과를 얻는 것이 가능해진다.On the other hand, in a state in which BaTiO 3 is plastically synthesized in the air, the BaC0 3 / BaO ratio on the surface of the powder becomes small, but by immersion in water for a long time, the elution of Ba and the eluted Ba ions on the surface of the BaTiO 3 powder, BaC0 3 generated by the reaction of C0 2 in water is reprecipitated to increase the concentration of BaCO 3 on the surface, thereby obtaining the above-mentioned effect.

또한 본 발명의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말에 있어서는, 특성 조정용의 첨가 성분을 함유시키는 것이 가능하고, 첨가 성분을 함유시킴으로써 의도하는 특성을 더욱 향상시킨 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 얻는 것이 가능해진다.In addition, in the barium titanate-based dielectric material powder of the present invention, it is possible to contain an additive component for characteristic adjustment, and by including the additive component, it becomes possible to obtain a barium titanate-based dielectric material powder with further improved intended characteristics.

또한 특성 조정용의 첨가 성분으로서는 희토류 원소, Mg, Mn 등이 예시된다. 보다 구체적으로는 BaZrO3, BaC03, Gd203, Dy203, MnC03, MgCO3, Si02 등을 첨가할 수 있다. 단, 첨가 성분은 상기에 예시한 것에 한정되는 것은 아니다.Moreover, rare earth elements, Mg, Mn, etc. are illustrated as an addition component for characteristic adjustment. More specifically, BaZrO 3 , BaC0 3 , Gd 2 0 3 , Dy 2 0 3 , MnC0 3 , MgCO 3 , Si0 2, or the like may be added. However, the addition component is not limited to what was illustrated above.

또한 본 발명의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말의 제조방법에서는, BaTi03 분말을 준비하여, 이 BaTiO3 분말을 16시간 이상, 수계 용매에 침지하도록 하고 있으므로, BaCO3과 BaO의 비율이 몰비로 BaCO3/BaO=0.55 이상인 바륨화합물에 의해, BaTiO3 분말의 표면이 피복된 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 효율적으로 제조할 수 있다.In the method for producing a barium titanate-based dielectric material powder of the present invention, BaTi0 3 powder is prepared, and the BaTiO 3 powder is immersed in an aqueous solvent for 16 hours or more, so that the ratio of BaCO 3 to BaO 3 is in a molar ratio. By the barium compound of /BaO=0.55 or more, the barium titanate-based dielectric material powder coated with the surface of the BaTiO 3 powder can be efficiently produced.

또한 BaTiO3 분말로서 특성 조정용의 첨가 성분이 첨가된 BaTi03 분말을 사용함으로써, 첨가 성분을 포함하며, 의도하는 특성을 더욱 향상시킨 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 효율적으로 제조하는 것이 가능해진다.In addition, it is possible to efficiently manufacture a, intended barium titanate-based dielectric material powder was further improved characteristics, comprising the additive components by using a BaTi0 3 powder is added to the components of the characteristics adjusting added as BaTiO 3 powder.

또한 본 발명의 세라믹 그린시트의 형성방법과 같이, 청구항 1 또는 2에 기재된 티탄산바륨계 유전체 원료 분말과, 바인더와, 분산매를 포함하는 시트 성형용 슬러리를 조제하고, 이 시트 성형용 슬러리를 시트상으로 성형하여 세라믹 그린시트로 하도록 한 경우, 유전율의 온도 특성이 뛰어나면서, 부하 시험시 등에서의 고온 고전계에서의 신뢰성이 뛰어난 유전체 세라믹층을 형성하는 것이 가능한 세라믹 그린시트를 얻는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명의 세라믹 그린시트를 사용함으로써, 특성이 양호한 적층 세라믹 콘덴서를 효율적으로 제조하는 것이 가능해진다.In addition, as in the method of forming the ceramic green sheet of the present invention, a sheet forming slurry including the barium titanate-based dielectric material powder according to claim 1 or 2, a binder, and a dispersion medium is prepared, and the sheet forming slurry is prepared in a sheet form. When molded into a ceramic green sheet, it is possible to obtain a ceramic green sheet which is capable of forming a dielectric ceramic layer excellent in temperature characteristics of dielectric constant and excellent in high temperature high electric field during load testing and the like. Therefore, by using the ceramic green sheet of the present invention, it becomes possible to efficiently manufacture a multilayer ceramic capacitor having good characteristics.

또한 세라믹 그린시트를 형성할 시에는, BaTi03 분말을 16시간 이상, 수계 용매에 침지한 후의 BaC03과 BaO의 비율이 몰비로 BaCO3/BaO=0.55 이상인 바륨화합물에 의해 표면이 피복된 BaTiO3 분말을 포함하는 슬러리에 바인더를 첨가하여 시트 성형용 슬러리로 하고, 이 시트 성형용 슬러리를 시트상으로 성형하여 세라믹 그린시트로 하는 것도 가능하다. 이와 같이 한 경우, 수계 용매에 침지한 후에 건조나 가소, 나아가서는 가소 후의 분산이나 슬러리화의 공정을 거치지 않고, 효율적으로 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 포함하는 슬러리를 얻는 것이 가능해지며, 이 슬러리를 시트상으로 성형함으로써, 특성이 양호한 적층 세라믹 콘덴서를 효율적으로 제조하는 것이 가능한 세라믹 그린시트를 효율적으로 제조할 수 있다.In forming a ceramic green sheet, BaTiO 3 coated with a barium compound having BaCO 3 /BaO=0.55 or more in a molar ratio of BaC0 3 and BaO after immersing BaTi0 3 powder in an aqueous solvent for 16 hours or more. It is also possible to add a binder to a slurry containing powder to form a slurry for forming a sheet, and to form the slurry for forming a sheet into a sheet to form a ceramic green sheet. In this case, it is possible to efficiently obtain a slurry containing barium titanate-based dielectric raw material powder without being subjected to drying or calcining, and further after dispersing or slurrying after immersion in an aqueous solvent. By molding into a sheet, a ceramic green sheet capable of efficiently producing a multilayer ceramic capacitor having good characteristics can be efficiently produced.

이 방법은, 세라믹 그린시트로서, 수계 용매를 포함하는 세라믹 그린시트를 사용하는 것이 바람직한 경우에 특히 의미가 있다.This method is particularly meaningful when it is preferable to use a ceramic green sheet containing an aqueous solvent as the ceramic green sheet.

또한 본 발명의 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법은, 상술과 같이 제작한 세라믹 그린시트에 도전성 페이스트를 부여하여 내부전극 패턴을 형성하고, 이것을 적층, 압착하여 적층체를 형성한 후, 적층체를 소성하여 내부전극이 세라믹층을 통해 적층된 구조를 가지는 세라믹 콘덴서 소자를 얻도록 하고 있으므로, 유전율의 온도 특성이 뛰어나고, 고온 고전계에서의 신뢰성이 높은 적층 세라믹 콘덴서를 효율적으로 제조하는 것이 가능해진다.In the method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor of the present invention, a conductive paste is applied to the ceramic green sheet produced as described above to form an internal electrode pattern, which is laminated and pressed to form a laminate, followed by firing the laminate. Since a ceramic capacitor element having a structure in which internal electrodes are laminated through a ceramic layer is obtained, it is possible to efficiently manufacture a multilayer ceramic capacitor which is excellent in temperature characteristics of dielectric constant and high in reliability at high temperature high electric fields.

도 1은 표 1의 시료번호 1과 시료번호 3의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말에 대하여, XPS로, 그 표면의 Ba3d5/2 및 Ti2p에 유래하는 스펙트럼을 측정한 결과(차트)를 나타내는 도면이다.
도 2는 표 1의 시료번호 1의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말의 XPS에서의 BaC03과 BaO에의 피크 분리의 상태를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용하여 제조되는 적층 세라믹 콘덴서의 구성을 나타내는 도면이다.
FIG. 1: is a figure which shows the result (chart) of the spectrum derived from Ba3d5 / 2 and Ti2p of XPS with respect to the barium titanate type dielectric material powders of the sample numbers 1 and 3 of Table 1 in XPS.
FIG. 2 is a diagram showing the state of peak separation between BaC0 3 and BaO in XPS of the barium titanate-based dielectric material powder of Sample No. 1 in Table 1. FIG.
3 is a view showing the configuration of a multilayer ceramic capacitor manufactured using a barium titanate-based dielectric material powder according to an embodiment of the present invention.

이하에 본 발명의 실시의 형태를 나타내어, 본 발명의 특징으로 하는 바를 더욱 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Embodiment of this invention is shown to the following, and the feature of this invention is demonstrated in detail.

[실시예 1]Example 1

출발 원료로서 BaCO3, Ti02를 준비하고, Ba와 Ti의 비가 Ba/Ti=1.01(at비)이 되도록 칭량, 배합하였다. 그리고 나서, 이 배합 원료를 볼밀(지름이 2㎜인 PSZ 미디어를 사용)에 의해 혼합하고, 대기 중에서 900~1050℃로 열처리함으로써 일반식 Ba1.01Ti03으로 표시되는 티탄산바륨계 화합물을 합성하였다.BaCO 3 and Ti0 2 were prepared as starting materials, and weighed and blended so that the ratio of Ba and Ti was Ba / Ti = 1.01 (at ratio). Then, this blended raw material was mixed by a ball mill (using a PSZ media having a diameter of 2 mm) and heat-treated at 900 to 1050 ° C in air to synthesize a barium titanate compound represented by the general formula Ba 1.01 Ti0 3 .

그리고, 이 티탄산바륨계 화합물을 분쇄함으로써, 평균 1차 입자지름이 각각 80㎚, 150㎚, 340㎚의 티탄산바륨계 화합물 분말(Ba1 .01Ti03 분말)을 얻었다.Then, by milling the barium titanate-based compound, the average primary particle size to give the respectively 80㎚, 150㎚, barium titanate-based compounds 340㎚ powder (Ba 1 .01 Ti0 3 powder).

다음으로, 이들의 Ba1 .01Ti03 분말 100g을 물 100g과 함께 용기에 넣고, 표 1에 기재된 시간(1~120시간), 교반을 행하면서 물에 침지하였다. 교반은, 구체적으로는 분쇄 미디어를 넣지 않은 폴리 포트(용기)에 Ba1 .01Ti03 분말과, 물을 넣어 회전시킴으로써 행하였다. 또한 이 공정은, 분쇄를 수반하지 않는(교반만을 수반함) 티탄산바륨계 화합물 분말(Ba1 .01TiO3 분말)의 물에의 침지 공정이 된다.Next, those of Ba 1 .01 Ti0 3 100g powder into the container with 100g of water, the time (from 1 to 120 hours) indicated in Table 1, while performing the stirring was immersed in water. Agitation, specifically by grinding media were subjected to an insert port poly (container) Ba 1 .01 Ti0 3 powder and in that, rotation, dilute with water. In addition, the process is a process of dipping in water (which involves only stirred) does not involve the crushing of barium titanate-based compound powder (Ba 1 .01 TiO 3 powder).

그 후, 일부는 바로 건조시킴으로써 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 얻었다. 그리고, 얻어진 티탄산바륨계 유전체 원료 분말에 대하여, XPS(PHYSICAL ELECTRONICS사 제품 Quantum 2000)로 그 표면의 Ba3d5/2 및 Ti2p에 유래하는 스펙트럼을 측정하고, 각각의 피크의 비율로부터 각 티탄산바륨계 유전체 원료 분말의 Ba/Ti 비를 산출하였다.Thereafter, some of them were dried immediately to obtain a barium titanate-based dielectric material powder. Then, the obtained barium titanate-based dielectric material powder was measured by XPS (quantum 2000 manufactured by PHYSICAL ELECTRONICS Co., Ltd.) and the spectrum derived from Ba3d5 / 2 and Ti2p on the surface thereof, and the barium titanate-based dielectric material was determined from the ratio of the respective peaks. The Ba / Ti ratio of the powder was calculated.

또한 각 티탄산바륨계 유전체 원료 분말(시료)의 Ba/Ti 비(mol비)를 표 1에 나타낸다.Table 1 shows the Ba / Ti ratio (mol ratio) of each barium titanate-based dielectric material powder (sample).

또한 도 1에 표 1의 시료번호 1과 시료번호 3의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말에 대하여, XPS로 그 표면의 Ba3d5/2 및 Ti2p에 유래하는 스펙트럼을 측정한 결과(차트)를 나타낸다.1 shows the results (chart) of the spectra derived from Ba3d5 / 2 and Ti2p on the surface of the barium titanate-based dielectric material powders of Sample No. 1 and Sample No. 3 in Table 1 by XPS.

또한 가우스 로렌츠 함수를 사용한 피크 분리에 의해 각 시료의 표면의 BaC03/BaO 비(mol비)를 산출하였다. 그 결과를 표 1에 나타낸다.In addition, the BaC0 3 / BaO ratio (mol ratio) of the surface of each sample was calculated by peak separation using a Gaussian Lorentz function. The results are shown in Table 1.

또한 표 1의 시료번호 1의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말의 XPS에서의 BaC03과 BaO에의 피크 분리의 상태를 도 2에 나타낸다.2 shows the state of peak separation between BaC0 3 and BaO in XPS of the barium titanate-based dielectric material powder of Sample No. 1 in Table 1. FIG.

남은 슬러리에는, 상기의 교반의 종료 후 30분 이내에 Ba1 .01Ti03 분말 100mol에 대하여,The remaining slurry, within 30 minutes after the end of the stirring with respect to the Ba 1 .01 Ti0 3 powder 100mol,

Dy203: 4molDy 2 0 3 : 4mol

MnCO3: 1molMnCO 3 : 1mol

MgCO3: 3molMgCO 3 : 3mol

Si02: 3molSi0 2 : 3mol

의 비율로 각각 첨가하고, 비이커 중에서 15분간 교반 후, 강제 순환형의 습식 분쇄기(지름 0.3㎜의 PSZ 미디어를 사용)로 1시간 분쇄하였다. 얻어진 슬러리는 분쇄 종료 후 15분 이내에 140℃의 오븐에 넣어 건조하여 유전체 원료 분말(첨가 성분을 포함하는 티탄산바륨계 유전체 원료 분말)을 얻었다.The mixture was added at a ratio of, and stirred for 15 minutes in a beaker, followed by pulverization with a forced circulation grinder (using a 0.3 mm diameter PSZ media) for 1 hour. The obtained slurry was put into an oven at 140 ° C. within 15 minutes after completion of grinding to obtain a dielectric material powder (barium titanate-based dielectric material powder containing an additive component).

이 유전체 원료 분말(첨가 성분을 포함하는 티탄산바륨계 유전체 원료 분말)에, 폴리비닐부티랄계 바인더 및 에탄올 등의 유기 용매를 첨가하고, 볼밀에 의해 습식 혼합하여 세라믹 슬러리를 제작하였다.An organic solvent such as a polyvinyl butyral binder and ethanol was added to the dielectric material powder (barium titanate-based dielectric material powder containing an additive component), and wet-mixed by a ball mill to prepare a ceramic slurry.

이 세라믹 슬러리를 닥터 블레이드법에 의해, 소성 후의 유전체 소자 두께가 2㎛가 되도록 시트 성형하여 직사각형의 그린시트를 얻었다.This ceramic slurry was sheet-molded by the doctor blade method so that the dielectric element thickness after baking might be set to 2 micrometers, and the rectangular green sheet was obtained.

다음으로, 상기 세라믹 그린시트상에, Ni를 도전 성분으로서 포함하는 도전성 페이스트를 스크린 인쇄하고, 소성 후에 내부전극이 되는 내부전극 패턴(도전성 페이스트층)을 형성하였다.Next, a conductive paste containing Ni as a conductive component was screen printed on the ceramic green sheet, and an internal electrode pattern (conductive paste layer) serving as an internal electrode was formed after firing.

그로부터, 상술과 같이 하여 내부전극 패턴을 형성한 세라믹 그린시트와, 내부전극 패턴을 형성하지 않은 세라믹 그린시트를 소정의 순서로 적층, 압착한 후 컷팅함으로써 내부전극 패턴이 교대로 반대측의 단면에 인출된 구조를 가지는 적층체를 얻었다. 또한 소결체 밀도를 측정하기 위해 적층체와 같은 치수의 단판을 제작하였다.From there, the ceramic green sheet in which the internal electrode pattern is formed and the ceramic green sheet in which the internal electrode pattern is not formed are laminated and pressed in a predetermined order, and then cut, and the internal electrode patterns are alternately drawn out on the opposite end faces. A laminate having a structure obtained was obtained. In addition, in order to measure the sintered compact, the end plate of the same dimension as a laminated body was produced.

이 적층체 및 단판을 350℃로 가열하여 바인더를 제거한 후, 최고 온도 1230℃, 산소 분압 10-9·5MPa로 120분간 유지함으로써, 내부전극이 세라믹층을 통해 적층된 구조를 가지는 세라믹 콘덴서 소자(세라믹 적층체)를 얻었다.The laminate and the single plate were heated to 350 ° C. to remove the binder, and then maintained at a maximum temperature of 1230 ° C. and an oxygen partial pressure of 10 −9 · 5 MPa for 120 minutes, whereby a ceramic capacitor device having a structure in which internal electrodes were laminated through a ceramic layer. (Ceramic laminate) was obtained.

얻어진 세라믹 콘덴서 소자의 양 단면에 유리 플릿을 함유하는 Cu 페이스트(도전성 페이스트)를 도포하고, N2 분위기 중에 있어서 800℃의 온도로 베이킹함으로써 내부전극과 도통하는 외부전극을 형성하였다. 이것에 의해, 도 3에 나타내는 바와 같은 구조를 가지는 적층 세라믹 콘덴서가 얻어진다.Cu pastes (conductive pastes) containing glass flits were applied to both end surfaces of the obtained ceramic capacitor elements, and baked at a temperature of 800 ° C. in an N 2 atmosphere to form external electrodes conducting with the internal electrodes. As a result, a multilayer ceramic capacitor having a structure as shown in FIG. 3 is obtained.

또한 이 적층 세라믹 콘덴서는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 내부전극(2a,2b)이 세라믹층(유전체층)(3)을 통해 대향하도록 배치된 세라믹 소자(콘덴서 소자)(1)의 양단부에 내부전극(2a,2b)과 도통하도록 외부전극(4a,4b)이 배치된 구조를 가지고 있다.In addition, as shown in Fig. 3, the multilayer ceramic capacitor has internal electrodes at both ends of the ceramic elements (capacitor elements) 1 arranged such that the internal electrodes 2a and 2b face each other via the ceramic layer (dielectric layer) 3. The external electrodes 4a and 4b are arranged so as to conduct with the 2a and 2b.

상기와 같이 제작한 적층 세라믹 콘덴서의 외형 치수는, 폭 1.6㎜, 길이 3.2㎜, 두께 0.8㎜이고, 내부전극간에 개재하는 세라믹층의 두께(t)(도 3)는 2㎛였다. 또한 유효 유전체층(세라믹층)의 총 수는 100이고, 1층당의 대향 전극 면적은 2.1㎟였다.The external dimensions of the multilayer ceramic capacitor produced as described above were 1.6 mm wide, 3.2 mm long and 0.8 mm thick, and the thickness t (FIG. 3) of the ceramic layer interposed between the internal electrodes was 2 μm. The total number of effective dielectric layers (ceramic layers) was 100, and the counter electrode area per layer was 2.1 mm 2.

이렇게 얻어진 적층 세라믹 콘덴서에 대하여 정전 용량의 온도 특성을 측정하였다.The temperature characteristic of the capacitance was measured for the multilayer ceramic capacitor thus obtained.

온도 특성의 지표로서, 25℃에서의 정전 용량을 기준으로 한 125℃에서의 정전 용량의 변화율을 측정하였다. 정전 용량의 측정은 1kHz, 1Vrms의 교류 전계를 인가하여 행하였다.As an index of the temperature characteristic, the rate of change of the capacitance at 125 ° C was measured based on the capacitance at 25 ° C. The capacitance was measured by applying an alternating electric field of 1 kHz and 1 Vrms.

고온 부하 수명 시험은, 온도 125℃에서, 60V의 전압을 인가하여 그 절연 저항의 경시 변화를 측정함으로써 행하였다. 또한 고온 부하 수명 시험은 50개의 시료에 대하여 행하고, 2000시간 경과할 때까지 절연 저항치가 100kΩ이하가 된 시료를 고장으로 판정하였다.The high temperature load life test was performed by applying a voltage of 60 V at a temperature of 125 ° C. and measuring the change over time of the insulation resistance. In addition, the high temperature load life test was performed on 50 samples, and it determined that the sample whose insulation resistance value was 100 k ohm or less until 2000 hours passed was faulty.

온도 특성(정전 용량의 변화율)의 측정 결과 및 고온 부하 수명 시험에서의 고장의 발생 비율을 표 1과 더불어 나타낸다. 또한 표 1에 있어서, 시료번호에 *를 붙인 시료는 본 발명의 범위 외의 시료이다.The measurement result of the temperature characteristic (rate of change in the capacitance) and the occurrence rate of failure in the high temperature load life test are shown together with Table 1. In addition, in Table 1, the sample with * attached to the sample number is a sample outside the scope of the present invention.

Figure pat00001
Figure pat00001

각 시료의 특성에 대하여 표 1을 참조하면서 이하에 설명한다.The characteristics of each sample will be described below with reference to Table 1.

[시료번호 1~5의 시료에 대하여][About Samples of Sample Nos. 1-5]

표 1의 시료번호 1~5의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말은, 평균 1차 입자지름이 150㎚인 BaTi03을 사용하고, 물에의 침지 시간을 바꾸어 조제한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말이다.The barium titanate-based dielectric material powders of Sample Nos. 1 to 5 in Table 1 are barium titanate-based dielectric material powders prepared by changing the immersion time in water using BaTi0 3 having an average primary particle diameter of 150 nm.

이 시료번호 1~5의 시료의 특성 측정 결과로부터, 침지 시간이 길수록 XPS로 측정한 BaC03/BaO 비가 커져 온도 특성 및 신뢰성이 향상하는 것이 확인되었다.From the measurement results of the samples of the samples Nos. 1 to 5, it was confirmed that the longer the immersion time, the larger the BaC0 3 / BaO ratio measured by XPS, thereby improving the temperature characteristics and reliability.

또한 침지 시간을 16h이상으로 함으로써, BaCO3/BaO≥0.55의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말이 얻어지는 것이 확인되었다.Further, it was confirmed that the barium titanate-based dielectric material powder of BaCO 3 /BaO≧0.55 was obtained by the immersion time being 16 h or more.

한편, 물에의 침지 시간을 1h로 한 시료번호 1의 시료의 경우, BaC03/BaO=0.47로 낮아, 바람직한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 얻을 수 없었다.On the other hand, in the case of the sample of Sample No. 1 having the immersion time in water of 1 h, BaC0 3 /BaO=0.47 was low, and thus, the preferred barium titanate-based dielectric material powder could not be obtained.

또한 시료번호 1~5의 시료 중, 시료번호 2~5의 침지 시간을 16h 이상으로 한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용하여 적층 세라믹 콘덴서를 제작한 경우, 고온 부하 수명 시험에서의 고장 수가 0으로 고온 부하 조건하에서의 신뢰성이 높고, 또한 정전 용량의 변화율이 ±22%미만으로 온도 특성(X7S 특성)이 양호한 적층 세라믹 콘덴서가 얻어지는 것이 확인되었다.In addition, when the multilayer ceramic capacitor was manufactured using the barium titanate-based dielectric material powder having the immersion time of Sample Nos. 2 to 5 of 16 h or more among Sample Nos. 1 to 5, the number of failures in the high temperature load life test was zero. It was confirmed that a multilayer ceramic capacitor having high temperature characteristics (X7S characteristics) with high reliability under high temperature load conditions and a change rate of capacitance of less than ± 22% was obtained.

한편, 물에의 침지 시간을 1h로 한 시료번호 1의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용하여 적층 세라믹 콘덴서를 제작한 경우, 고온 부하 수명 시험에서의 고장 수가 42로 고온 부하 조건하에서의 신뢰성이 낮고, 또한 정전 용량의 변화율도 -23.3%로 바람직하지 않은 것이 확인되었다.On the other hand, when a multilayer ceramic capacitor was manufactured using the barium titanate-based dielectric material powder of Sample No. 1 having a immersion time in water of 1 h, the number of failures in the high temperature load life test was 42, which was low in reliability under high temperature load conditions. It was also confirmed that the rate of change of the capacitance was also unfavorable at -23.3%.

[시료번호 6, 7의 시료에 대하여][Samples of Sample Nos. 6 and 7]

표 1의 시료번호 6, 7의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말은, 평균 1차 입자지름이 80㎚인 BaTi03을 사용하여 물에의 침지 시간을 1h, 48h로 바꾸어 조제한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말이다.The barium titanate-based dielectric material powders of Sample Nos. 6 and 7 shown in Table 1 are barium titanate-based dielectric material powders prepared by changing the immersion time into 1h and 48h using BaTi0 3 having an average primary particle diameter of 80 nm. .

이 시료번호 6,7의 시료의 특성 측정 결과로부터, 물에의 침지 시간을 48h로 한 시료번호 7의 시료의 경우, BaCO3/BaO≥0.55의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말이 얻어지는 것이 확인되었다.From the results of the measurement of the properties of the samples of Sample Nos. 6 and 7, it was confirmed that in the case of the sample of Sample No. 7 having the immersion time in water of 48 h, a barium titanate-based dielectric material powder having BaCO 3 /BaO≧0.55 was obtained.

한편, 물에의 침지 시간을 1h로 한 시료번호 6의 시료의 경우, BaC03/BaO=0.49로 낮아, 바람직한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 얻을 수 없었다.On the other hand, in the case of the sample of sample No. 6 having the immersion time in water of 1 h, BaC0 3 /BaO=0.49 was low, so that the preferred barium titanate-based dielectric material powder could not be obtained.

또한 이 시료번호 7의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용하여 적층 세라믹 콘덴서를 제작한 경우, 고온 부하 수명 시험에서의 고장 수가 0으로 고온 부하 조건하에서의 신뢰성이 높고, 또한 정전 용량의 변화율이 -20.8%로 온도 특성(X7S 특성)이 양호한 적층 세라믹 콘덴서가 얻어지는 것이 확인되었다.In addition, when a multilayer ceramic capacitor was fabricated using the barium titanate-based dielectric material powder of Sample No. 7, the number of failures in the high temperature load life test was 0, which is highly reliable under high temperature load conditions, and the change rate of the capacitance is -20.8%. It was confirmed that a multilayer ceramic capacitor having good furnace temperature characteristics (X7S characteristics) was obtained.

한편, 물에의 침지 시간을 1h로 한 시료번호 6의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용하여 적층 세라믹 콘덴서를 제작한 경우, 고온 부하 수명 시험에서의 고장 수가 19로 고온 부하 조건하에서의 신뢰성이 낮고, 또한 정전 용량의 변화율도 -27.3%로 바람직하지 않은 것이 확인되었다.On the other hand, when a multilayer ceramic capacitor was manufactured using the barium titanate-based dielectric material powder of Sample No. 6 having the immersion time in water of 1 h, the number of failures in the high temperature load life test was 19, which was low in reliability under high temperature load conditions. It was also confirmed that the rate of change in capacitance was also -27.3%, which is not preferable.

[시료번호 8, 9의 시료에 대하여][About Samples of Sample Nos. 8 and 9]

표 1의 시료번호 8, 9의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말은, 평균 1차 입자지름이 340㎚인 BaTi03을 사용하여 물에의 침지 시간을 1h, 48h로 바꾸어 조제한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말이다.The barium titanate-based dielectric material powders of Sample Nos. 8 and 9 in Table 1 are barium titanate-based dielectric material powders prepared by changing the immersion time into 1h and 48h using BaTi0 3 having an average primary particle diameter of 340 nm. .

이 시료번호 8, 9의 시료의 특성 측정 결과로부터, 물에의 침지 시간을 48h로 한 시료번호 9의 시료의 경우, BaCO3/BaO≥0.55의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말이 얻어지는 것이 확인되었다.From the results of the measurement of the characteristics of the samples of Sample Nos. 8 and 9, it was confirmed that in the case of the Sample No. 9 having the immersion time in water of 48 h, a barium titanate-based dielectric material powder having BaCO 3 /BaO≧0.55 was obtained.

한편, 물에의 침지 시간을 1h로 한 시료번호 8의 시료의 경우, BaCO3/BaO=0.50으로 낮아, 바람직한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 얻을 수 없었다.On the other hand, in the case of the sample of Sample No. 8 having the immersion time in water of 1 h, BaCO 3 /BaO=0.50 was low, and thus, the preferred barium titanate-based dielectric material powder could not be obtained.

또한 이 시료번호 9의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용하여 제작한 적층 세라믹 콘덴서의 경우, 고온 부하 수명 시험에서의 고장 수는 0이 되고, 정전 용량의 변화율도 -14.7%로 양호한 온도 특성(X7S 특성)이 얻어지는 것이 확인되었다.In the case of the multilayer ceramic capacitor fabricated using the barium titanate-based dielectric material powder of Sample No. 9, the number of failures in the high temperature load life test is 0, and the rate of change in capacitance is -14.7%, which is a good temperature characteristic (X7S Characteristics) were obtained.

한편, 물에의 침지 시간을 1h로 한 시료번호 8의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용하여 적층 세라믹 콘덴서를 제작한 경우, 정전 용량의 변화율은 -18.6%로 온도 특성(X7S 특성)은 양호했지만, 고온 부하 수명 시험에서의 고장 수가 50으로 고온 부하 조건하에서의 신뢰성이 낮은 것이 확인되었다.On the other hand, when the multilayer ceramic capacitor was manufactured using the barium titanate-based dielectric material powder of Sample No. 8 having the immersion time in water for 1 h, the change rate of the capacitance was -18.6% and the temperature characteristic (X7S characteristic) was good. In the high temperature load life test, the number of failures was 50, and it was confirmed that the reliability under the high temperature load condition was low.

[실시예 2][Example 2]

출발 원료로서 BaCO3, Ti02를 준비하고, Ba와 Ti의 비가 Ba/Ti=1.000(at비)이 되도록 칭량, 배합하였다. 그리고 나서, 이 배합 원료를 볼밀(지름이 2㎜인 PSZ 미디어를 사용)에 의해 혼합하고, 대기 중에서 1000℃로 열처리함으로써 일반식 BaTiO3으로 표시되는 티탄산바륨을 합성하였다.BaCO 3 and Ti0 2 were prepared as starting materials, and weighed and blended so that the ratio of Ba and Ti was Ba / Ti = 1.000 (at ratio). Then, this blended raw material was mixed by a ball mill (using a PSZ media having a diameter of 2 mm) and heat-treated at 1000 ° C. in the air to synthesize barium titanate represented by the general formula BaTiO 3 .

그리고, 이 티탄산바륨을 분쇄함으로써 평균 1차 입자지름이 150㎚인 티탄산바륨 분말(BaTiO3 분말)을 얻었다.The barium titanate powder (BaTiO 3 powder) having an average primary particle diameter of 150 nm was obtained by pulverizing the barium titanate.

또한 첨가 성분으로서 BaZr03, BaC03, Gd203, Dy203, MnCO3, MgCO3, Si02를 준비하였다.Moreover, BaZr0 3 , BaC0 3 , Gd 2 0 3 , Dy 2 0 3 , MnCO 3 , MgCO 3 , Si0 2 were prepared as additional components.

그리고, 상술과 같이 제작한 평균 1차 입자지름이 150㎚인 티탄산바륨 분말(BaTi03 분말) 100g에 대하여, 상기의 첨가 성분 그룹, BaZrO3, BaCO3, Gd203, Dy203, MnCO3, MgCO3, Si02로부터 선택되는 첨가 성분을 이하의 비율이 되도록 배합하고, 표 2의 시료번호 10~13의 각 시료(티탄산바륨계 유전체 원료 분말)를 조제하였다.And, with respect to the average primary particle size of the barium titanate powder 150㎚ (BaTi0 3 powder) 100g prepared as above described, of the additional component group, BaZrO 3, BaCO 3, Gd 2 0 3, Dy 2 0 3, MnCO 3, MgCO 3 were prepared, each sample of sample numbers 10 to 13 of Si0 blended at a ratio higher than the additive component is selected from 2, and Table 2 (barium titanate-based dielectric material powder).

즉, 시료번호 10, 11에서는, 평균 1차 입자지름이 150㎚인 티탄산바륨 분말(BaTiO3 분말) 100g에 대하여 첨가 성분을,That is, in Sample Nos. 10 and 11, an additive component is added to 100 g of barium titanate powder (BaTiO 3 powder) having an average primary particle diameter of 150 nm,

BaTiO3: 100molBaTiO 3 : 100mol

BaCO3: 1molBaCO 3 : 1mol

Dy2O3: 2molDy 2 O 3 : 2mol

MnCO3: 1molMnCO 3 : 1mol

MgCO3: 1.5molMgCO 3 : 1.5mol

SiO2: 1.5molSiO 2 : 1.5mol

의 비율이 되도록 첨가한 조성 A의 원료를 물 100g과 함께 비이커에 넣고, 비이커를 밀봉하지 않는 상태로(대기에 노출하여), 스크류식의 교반기로, 표 2에 나타내는 바와 같이 1시간(시료번호 10) 또는 48시간(시료번호 11) 혼합하였다.The raw material of the composition A added so that it may become the ratio of is put into the beaker with 100 g of water, and the beaker is not sealed (exposed to air), and it is a screw-type stirrer, for 1 hour (sample number) as shown in Table 2. 10) or 48 hours (Sample No. 11).

그리고, 얻어진 슬러리를 강제 순환형의 습식 분쇄기(지름 0.3㎜의 PSZ 미디어를 사용)로 1시간 분쇄하였다. 얻어진 슬러리는 분쇄 종료 후 15분 이내에 140℃의 오븐에 넣어 건조함으로써, 티탄산바륨계 유전체 원료 분말(시료번호 10, 11의 시료)을 얻었다.And the obtained slurry was grind | pulverized for 1 hour by the forced circulation type grinder (using PSZ media of diameter 0.3mm). The obtained slurry was put into an oven at 140 ° C. within 15 minutes after completion of grinding to obtain a barium titanate-based dielectric material powder (samples 10 and 11 samples).

또한 시료번호 12, 13에서는, 평균 1차 입자지름이 150㎚인 티탄산바륨 분말(BaTi03 분말) 100g에 대하여 첨가 성분을,In addition, in sample numbers 12 and 13, the additive component is added to 100 g of barium titanate powder (BaTi0 3 powder) having an average primary particle diameter of 150 nm.

BaTi03: 100molBaTi0 3 : 100mol

BaZrO3: 9molBaZrO 3 : 9mol

BaCO3: 2molBaCO 3 : 2mol

Gd203: 4molGd 2 0 3 : 4mol

Dy203: 0.5molDy 2 0 3 : 0.5mol

MnC03: 1molMnC0 3 : 1mol

MgC03: 3molMgC0 3 : 3mol

SiO2: 3molSiO 2 : 3mol

의 비율이 되도록 첨가한 조성 B의 원료를 물 100g과 함께 비이커에 넣고, 비이커를 밀봉하지 않는 상태로(대기에 노출하여), 스크류식의 교반기로, 표 2에 나타내는 바와 같이 1시간(시료번호 12) 또는 48시간(시료번호 13) 혼합하였다.The raw material of the composition B added so that it may become a ratio of 100 g of water was put into a beaker, and the beaker was not sealed (exposed to air), and it was a screw-type stirrer for 1 hour as shown in Table 2 (sample number 12) or 48 hours (Sample No. 13).

그리고, 얻어진 슬러리를 강제 순환형의 습식 분쇄기(지름 0.3㎜의 PSZ 미디어를 사용)로 1시간 분쇄하였다. 얻어진 슬러리는 분쇄 종료 후 15분 이내에 140℃의 오븐에 넣어 건조함으로써, 티탄산바륨계 유전체 원료 분말(시료번호 12, 13의 시료)을 얻었다.And the obtained slurry was grind | pulverized for 1 hour by the forced circulation type grinder (using PSZ media of diameter 0.3mm). The obtained slurry was put into 140 degreeC oven within 15 minutes after completion | finish of grinding | pulverization, and the barium titanate type dielectric raw material powder (sample No. 12, 13) was obtained.

그리고 나서, 이 시료번호 10~13의 각 티탄산바륨계 유전체 원료 분말의 일부를 사용하여, XPS로 분석을 행하고, 조성 A의 시료번호 10, 11의 시료에 대해서는 원료 표면의 Ba/Ti 비를, 조성 B의 시료번호 12, 13의 시료에 대해서는 Ba/(Ti+Zr) 비를 측정하는 동시에, 시료번호 10~13의 각 시료에 대하여 BaC03/BaO 비를 측정하였다. 그 결과를 표 2에 나타낸다.Then, using a part of the barium titanate-based dielectric material powders of Sample Nos. 10 to 13, the analysis was carried out by XPS. For samples Nos. 10 and 11 of the composition A, the Ba / Ti ratio of the raw material surface was determined. About the samples of the sample numbers 12 and 13 of the composition B, the Ba / (Ti + Zr) ratio was measured, and the BaC0 3 / BaO ratio was measured about each sample of the sample numbers 10-13. The results are shown in Table 2.

다음으로, 상술과 같이 조제한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말에, 상기 실시예 1의 경우와 마찬가지로, 폴리비닐부티랄계 바인더 및 에탄올 등의 유기 용매를 첨가하고, 볼밀에 의해 습식 혼합하여 그린시트 형성용의 세라믹 슬러리를 제작하였다.Next, to the barium titanate-based dielectric material powder prepared as described above, an organic solvent such as a polyvinyl butyral binder and ethanol was added to the barium titanate-based dielectric material powder prepared as described above, and wet-mixed by a ball mill to form a green sheet. A ceramic slurry was produced.

그 후, 실시예 1과 같은 방법, 조건으로 시료번호 10~13의 적층 세라믹 콘덴서(시료)를 제작하여 특성의 평가를 행하였다.Thereafter, the multilayer ceramic capacitors (samples) of Sample Nos. 10 to 13 were produced under the same method and conditions as in Example 1, and the characteristics were evaluated.

그 결과를 표 2에 나타낸다. 또한 표 2에 있어서, 시료번호에 *를 붙인 시료는 본 발명의 범위 외의 시료이다.The results are shown in Table 2. In addition, in Table 2, the sample with * attached to the sample number is a sample outside the scope of the present invention.

Figure pat00002
Figure pat00002

[시료번호 10, 11의 시료에 대하여][About Samples of Sample Nos. 10 and 11]

표 2의 시료번호 10, 11의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말은, BaTi03과 첨가 성분을 포함하는 조성 A의 원료 분말을 사용하여, 1h, 48h로 물에의 침지 시간을 바꾸어 조제한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말이다.The barium titanate-based dielectric material powders of Sample Nos. 10 and 11 in Table 2 were prepared by changing the immersion time into water at 1h and 48h using a raw material powder of composition A containing BaTi0 3 and an additive component. It is a raw powder.

이 시료번호 10, 11의 시료의 특성 측정 결과로부터, 시료번호 11과 같이 침지 시간을 48h로 함으로써 BaCO3/BaO≥0.55의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말이 얻어지는 것이 확인되었다.From the measurement results of the samples of the samples Nos. 10 and 11, it was confirmed that the barium titanate-based dielectric material powder of BaCO 3 /BaO≧0.55 was obtained by setting the immersion time to 48 h as in sample No. 11.

한편, 물에의 침지 시간을 1h로 한 시료번호 10의 시료의 경우, BaCO3/BaO=0.50으로 낮아, 바람직한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 얻을 수 없었다.On the other hand, in the case of the sample of Sample No. 10 having the immersion time in water of 1 h, BaCO 3 /BaO=0.50 was low, and thus the preferred barium titanate-based dielectric material powder could not be obtained.

또한 시료번호 10, 11의 시료 중 시료번호 11의 침지 시간을 48h로 한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용하여 제작한 적층 세라믹 콘덴서의 경우, 고온 부하 수명 시험에서의 고장 수는 0이 되고, 정전 용량의 변화율도 -18.4%로 양호한 온도 특성(X7S 특성)이 얻어지는 것이 확인되었다.In the case of the multilayer ceramic capacitor fabricated using the barium titanate-based dielectric material powder having the immersion time of the sample number 11 set to 48 h in the samples of the sample numbers 10 and 11, the number of failures in the high temperature load life test is zero, and the power failure It was confirmed that favorable temperature characteristics (X7S characteristics) were obtained at a rate of change of capacity of -18.4%.

한편, 물에의 침지 시간을 1h로 한 시료번호 10의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용하여 적층 세라믹 콘덴서를 제작한 경우, 고온 부하 수명 시험에서의 고장 수가 39로 고온 부하 조건하에서의 신뢰성이 낮고, 또한 정전 용량의 변화율도 -22.8%로 바람직하지 않은 것이 확인되었다.On the other hand, when the multilayer ceramic capacitor was manufactured using the barium titanate-based dielectric material powder of sample No. 10 having the immersion time in water for 1 h, the number of failures in the high temperature load life test was 39, which was low in reliability under high temperature load conditions. It was also confirmed that the rate of change in capacitance was also -22.8%, which is not preferable.

[시료번호 12, 13의 시료에 대하여][About Samples of Sample Nos. 12 and 13]

표 2의 시료번호 12, 13의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말은, BaTi03과 첨가 성분을 포함하는 조성 B의 원료 분말을 사용하여, 물에의 침지 시간을 1h, 48h로 바꾸어 조제한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말이다.The barium titanate-based dielectric material powders of Sample Nos. 12 and 13 in Table 2 were prepared by changing the immersion time in water to 1h and 48h using a raw material powder of composition B containing BaTi0 3 and an additive component. It is a raw powder.

이 시료번호 12, 13의 시료의 특성 측정 결과로부터, 물에의 침지 시간을 48h로 한 시료번호 13의 시료의 경우, BaCO3/BaO≥0.55의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말이 얻어지는 것이 확인되었다.From the results of the measurement of the characteristics of the samples of the samples Nos. 12 and 13, it was confirmed that in the case of the sample of No. 13 having the immersion time in water of 48 h, a barium titanate-based dielectric material powder having BaCO 3 /BaO≧0.55 was obtained.

한편, 물에의 침지 시간을 1h로 한 시료번호 12의 시료의 경우, BaC03/BaO=0.51로 낮아, 바람직한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 얻을 수 없었다.On the other hand, in the case of the sample of sample No. 12 having the immersion time in water of 1 h, BaC0 3 /BaO=0.51 was low, so that a preferable barium titanate-based dielectric material powder could not be obtained.

또한 시료번호 13의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용하여 제작한 적층 세라믹 콘덴서의 경우, 고온 부하 수명 시험에서의 고장 수는 0이 되고, 정전 용량의 변화율도 -20.9%로 양호한 온도 특성(X7S 특성)이 얻어지는 것이 확인되었다.In addition, in the case of the multilayer ceramic capacitor fabricated using the barium titanate-based dielectric material powder of Sample No. 13, the number of failures in the high temperature load life test was 0, and the change rate of the capacitance was -20.9%, which is good temperature characteristics (X7S characteristics). Was obtained.

한편, 물에의 침지 시간을 1h로 한 시료번호 12의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용하여 적층 세라믹 콘덴서를 제작한 경우, 고온 부하 수명 시험에서의 고장 수가 28로 고온 부하 조건하에서의 신뢰성이 낮고, 또한 정전 용량의 변화율도 -23.7%로 바람직하지 않은 것이 확인되었다.On the other hand, when the multilayer ceramic capacitor was manufactured using the barium titanate-based dielectric material powder of sample No. 12 having the immersion time in water for 1 h, the failure count in the high temperature load life test was 28, which was low in reliability under high temperature load conditions. It was also confirmed that the rate of change of the capacitance was also -23.7%, which is not preferable.

상기 실시예의 결과로부터, 본 발명의 방법에 의하면, BaCO3/BaO≥0.55의 요건을 만족하는 티탄산바륨계 유전체 원료 분말이 얻어지는 것, 상기 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용함으로써, 유전율의 온도 특성이 평탄화되면서, 부하 시험시 등에서의 고온 고전계에서의 신뢰성이 뛰어난 적층 세라믹 콘덴서가 얻어지는 것이 확인되었다.From the results of the above examples, according to the method of the present invention, by using the barium titanate-based dielectric material powder satisfying the requirements of BaCO 3 /BaO≧0.55, and using the barium titanate-based dielectric material powder, the temperature characteristic of dielectric constant is improved. While flattening, it was confirmed that a multilayer ceramic capacitor having excellent reliability in a high temperature high field at the time of load testing or the like was obtained.

또한 상기 실시예 1 및 2에서는, 본 발명을 적용하여 제조한 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용하여 세라믹 그린시트를 제작하고, 얻어진 세라믹 그린시트를 사용하여 적층 세라믹 콘덴서를 제조하는 경우를 예로 들어 설명했는데, 본 발명에 의해 제조되는 티탄산바륨계 유전체 원료 분말은, 적층 세라믹 콘덴서에 한정되지 않고 LC 복합 부품, PTC 서미스터 등에도 적용하는 것이 가능하다.In Examples 1 and 2, a ceramic green sheet is manufactured by using the barium titanate-based dielectric material powder prepared by applying the present invention, and a multilayer ceramic capacitor is manufactured by using the obtained ceramic green sheet as an example. However, the barium titanate-based dielectric material powder produced according to the present invention is not limited to a multilayer ceramic capacitor but can be applied to LC composite parts, PTC thermistors and the like.

또한 상기 실시예 1 및 2에서는, BaTiO3 분말을 침지하는 수계 용매로서 물을 사용하고 있는데, 수계 용매는 이것에 한정되지 않고, 물에 유기 용매를 첨가한 것, 분산제나 특성을 향상시키기 위한 미량 첨가 성분을 첨가한 것 등 물을 주된 성분으로 하는 다양한 수계 용매를 사용하는 것이 가능하다.In Examples 1 and 2, water is used as the aqueous solvent in which the BaTiO 3 powder is immersed. The aqueous solvent is not limited to this, but an organic solvent is added to water, and a trace amount for improving the dispersant and the characteristics. It is possible to use a variety of aqueous solvents containing water as the main component, such as adding an additional component.

본 발명은 또한 그 밖의 점에 있어서도 상기 실시예 1 및 2에 한정되는 것은 아니며, BaTi03 분말을 수계 용매에 침지할 때의 온도 조건이나 교반 조건, 본 발명의 티탄산바륨계 유전체 원료 분말을 사용하여 세라믹 그린시트를 형성하는 경우의 구체적인 조건, 상기 세라믹 그린시트를 사용하여 적층 세라믹 콘덴서를 제조할 때의 순서나 조건 등에 관하여, 발명의 범위 내에 있어서 다양한 응용, 변형을 첨가하는 것이 가능하다.The present invention is not limited to Examples 1 and 2 in other respects as well, and the temperature and agitation conditions when the BaTi0 3 powder is immersed in an aqueous solvent, using the barium titanate-based dielectric material powder of the present invention It is possible to add various applications and modifications within the scope of the invention with respect to specific conditions in the case of forming the ceramic green sheet, the order and conditions when manufacturing the multilayer ceramic capacitor using the ceramic green sheet, and the like.

1: 세라믹 소자(콘덴서 소자) 2a, 2b: 내부전극
3: 세라믹층 4a, 4b: 외부전극
t: 소자막(세라믹층의 두께)
1: ceramic element (capacitor element) 2a, 2b: internal electrode
3: ceramic layer 4a, 4b: external electrode
t: element film (thickness of ceramic layer)

Claims (6)

BaTi03 분말의 표면이 BaC03과 BaO의 비율이 몰비로 BaC03/BaO=0.55 이상인 바륨화합물에 의해 피복되어 있는 것을 특징으로 하는 티탄산바륨계 유전체 원료 분말.A barium titanate-based dielectric material powder, wherein a surface of a BaTi0 3 powder is coated with a barium compound having a BaC0 3 /BaO=0.55 ratio in a molar ratio of BaC0 3 and BaO. 제1항에 있어서,
특성 조정용의 첨가 성분을 함유하고 있는 것을 특징으로 하는 티탄산바륨계 유전체 원료 분말.
The method of claim 1,
A barium titanate-based dielectric material powder containing an additive component for adjusting properties.
BaTiO3 분말을 준비하는 공정과,
상기 BaTiO3 분말을 16시간 이상, 수계 용매에 침지하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 티탄산바륨계 유전체 원료 분말의 제조방법.
Preparing a BaTiO 3 powder,
16. The method of manufacturing the barium titanate-based dielectric material powder, wherein the BaTiO 3 powder is immersed in an aqueous solvent for at least 16 hours.
제3항에 있어서,
상기 BaTiO3 분말로서, 특성 조정용의 첨가 성분이 첨가된 BaTiO3 분말을 사용하는 것을 특징으로 하는 티탄산바륨계 유전체 원료 분말의 제조방법.
The method of claim 3,
A method for producing a barium titanate-based dielectric material powder, wherein BaTiO 3 powder to which an additive component for adjusting properties is added is used as the BaTiO 3 powder.
제1항 또는 제2항에 기재된 티탄산바륨계 유전체 원료 분말과, 바인더와, 분산매를 포함하는 시트 성형용 슬러리를 조제하는 공정과,
상기 시트 성형용 슬러리를 시트상으로 성형하여 세라믹 그린시트로 하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 형성방법.
A process for preparing a slurry for sheet molding containing the barium titanate-based dielectric material powder according to claim 1 or 2, a binder, and a dispersion medium;
And forming the ceramic green sheet by molding the sheet forming slurry into a sheet.
제5항의 방법에 의해 형성한 상기 세라믹 그린시트에 도전성 페이스트를 부여하여 내부전극 패턴을 형성하는 공정과,
상기 내부전극 패턴이 형성된 상기 세라믹 그린시트를 적층, 압착하여 적층체를 형성하는 공정과,
상기 적층체를 소성하여 내부전극이 세라믹층을 통해 적층된 구조를 가지는 세라믹 콘덴서 소자를 얻는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법.
Forming an internal electrode pattern by applying a conductive paste to the ceramic green sheet formed by the method of claim 5;
Stacking and compressing the ceramic green sheets on which the internal electrode patterns are formed to form a laminate;
And firing the laminate to obtain a ceramic capacitor device having a structure in which internal electrodes are laminated through a ceramic layer.
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