KR20100101527A - Array type magnetic sensor substrate - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An array type magnetic sensor substrate is provided to facilitate the calibration of dynamic detection sensitivity without a large device. CONSTITUTION: An array type magnetic sensor substrate(10) comprises a print board(1), multiple array type magnetic sensors(2), and a pulse current generation circuit(3). The multiple array type magnetic sensors are placed on the single-side of the print board. The pulse current generation circuit supplies pulse current to the conductor. The conductor is fixed to the print substrate at fixed intervals in parallel to a heat shaft. A reference magnetic field is produced during calibration by supplying pulse current to the conductor.

Description

어레이형 자기 센서 기판{ARRAY TYPE MAGNETIC SENSOR SUBSTRATE}Array type magnetic sensor board {ARRAY TYPE MAGNETIC SENSOR SUBSTRATE}

본 발명은, 박강판(薄鋼板)의 결함에 의해 생기는 누설 자속으로부터, 결함의 유무를 검출하는 어레이형 자기 탐상 장치(磁氣探傷裝置) 등에 이용되는 어레이형 자기 센서 기판에 관련되고, 특히 어레이형 자기 센서의 교정(校正)을 용이하게 하는 어레이형 자기 센서 기판에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD The present invention relates to an array type magnetic sensor substrate used for an array type magnetic flaw detector or the like for detecting the presence or absence of a defect from leakage magnetic flux caused by a defect in a thin steel sheet, and in particular, an array. The present invention relates to an array type magnetic sensor substrate that facilitates calibration of a type magnetic sensor.

종래, 밥통 등의 재료로 되는 함석판 등의 스트립(strip)(여기에서는 박강(薄鋼)이라 함)의 표층, 및 내부에 존재하는 미소한 결함의 검출 장치로서, 복수 개의 어레이형 자기 센서를 박강판의 폭 방향으로 배열하고, 그 결함에 의해 생기는 누설 자속을 검출해서 결함의 유무를 판정하는 어레이형 자기 탐상 장치가 있다. 예를 들면, 일본국의 특허공보, 특허 제3811039호 공보(도 1, 제1 페이지), (이하, 특허문헌 1)가 있다.Background Art Conventionally, a plurality of array type magnetic sensors are used as a detection device for a surface layer of a strip (such as thin steel) made of a material such as a rice bowl (herein called thin steel) and a microscopic defect present therein. There exists an array type magnetic flaw detector which arrange | positions in the width direction of a steel plate, and detects the leakage magnetic flux which arises by the defect, and determines the presence or absence of a defect. For example, Japanese Patent Publication, Japanese Patent No. 3811039 (FIG. 1, 1st page), and following (patent document 1) are mentioned.

이 어레이형 자기 탐상 장치의 자기 센서 헤드(30)의 구성을 도 3에 나타낸다. 도 3의 (a)에 나타낸 바와 같이, 자기 센서 헤드(30)는, 비자성 롤(11) 면에 압접(壓接)되고 화살표 방향으로 반송되는 박강판(13)의 표면과 근접하는 역 U자형의 자화 요크(york)(24)의 개구부에, 박강판(10)과 소정의 갭(gap)(여기에서는 리프트 오프(lift-off)라 함)을 설치하여, 자화 요크(24)와 자화 요크(24)에 감긴 자화 코일(22)로 이루어지는 자화기에 의해 박강판(13)을 그 주행 방향으로 자화하기 위한 자장을 형성한다.The structure of the magnetic sensor head 30 of this array type magnetic flaw detector is shown in FIG. As shown in FIG. 3A, the magnetic sensor head 30 is inversely U close to the surface of the thin steel plate 13 which is pressed against the surface of the nonmagnetic roll 11 and conveyed in the direction of the arrow. In the opening of the magnetized yoke 24, a thin steel plate 10 and a predetermined gap (herein referred to as lift-off) are provided, whereby the magnetized yoke 24 and magnetized are provided. A magnetic field for magnetizing the thin steel plate 13 in its running direction is formed by a magnetizer composed of the magnetizing coils 22 wound on the yoke 24.

그리고, 이 개구부에서, 박강판(13)에 미리 설정되는 리프트 오프로 근접시켜, 박강판(13)의 결함부에서 발생하는 누설 자속을 검출하는 홀(hall) 소자 등의 반도체 자기 센서(12)와, 이 반도체 자기 센서(12)의 감도를 개선하기 위한 연질 자성체(14)를 설치하고, 박강판(13)으로부터의 누설 자속이 반도체 자기 센서(12)의 감수(感受) 면을 수직한 방향으로 집중적으로 가로지르도록 하여, 미소한 결함의 유무를 고감도로 검출하고 있다.In this opening, the semiconductor magnetic sensor 12 such as a hall element for approaching the thin steel sheet 13 to a preset lift-off and detecting leakage magnetic flux generated at the defective portion of the thin steel sheet 13 is provided. And a soft magnetic body 14 for improving the sensitivity of the semiconductor magnetic sensor 12, and the leakage magnetic flux from the thin steel plate 13 is perpendicular to the susceptible surface of the semiconductor magnetic sensor 12. In order to traverse intensively, the presence or absence of a microscopic defect is detected with high sensitivity.

이 반도체 자기 센서(12)는, 예를 들면 도 3의 (b)에 나타낸 바와 같이 박강판(13)의 폭 방향에서 직선 형상으로, 미리 설정되는 폭 방향의 분해능(分解能)을 확보할 수 있도록 다수의 자기 센서(소자)가 직선 형상으로 등간격으로 나열되어 있다.For example, as shown in FIG. 3B, the semiconductor magnetic sensor 12 is linear in the width direction of the thin steel plate 13 so as to ensure resolution in a predetermined width direction. A plurality of magnetic sensors (elements) are linearly arranged at equal intervals.

이 반도체 자기 센서(12)는, 개개의 자기 센서(소자)의 폭 방향의 검출 감도를 균일하게 하고, 결함의 검출 정밀도를 확보하기 위해 정기적인 교정이 행해진다.This semiconductor magnetic sensor 12 performs regular calibration in order to make the detection sensitivity of the width direction of each magnetic sensor (element) uniform, and to ensure the detection precision of a defect.

이러한 어레이형 자기 센서를 이용한 자기 센서 헤드(30)에서는, 종래 도 4의 (a)에 나타낸 바와 같은 교정 장치(20)가 사용되고 있었다. 예를 들면, 일본국의 공개특허공보, 특개평9-229905호 공보(도 1, 제1 페이지)(이하, 특허문헌 2라 함)가 있다.In the magnetic sensor head 30 using such an array type magnetic sensor, the calibration apparatus 20 as shown to Fig.4 (a) was used conventionally. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-229905 (Fig. 1, first page) (hereinafter referred to as Patent Document 2) is disclosed.

이 교정 장치(20)에서는, 반도체 자기 센서(12)를 교정할 경우, 반도체 자기 센서(12)의 배열 방향과, 비자성 롤(11a)의 접선면(接線面)을 대향시켜 배치하고, 이 비자성 롤(11a)의 대향하는 표면에 도선(11b)을 감고, 이 도선에 전류 발생기(15)를 인가해서 소정의 자계를 발생시킨다.In the calibration device 20, when the semiconductor magnetic sensor 12 is calibrated, the alignment direction of the semiconductor magnetic sensor 12 and the tangential surface of the nonmagnetic roll 11a are disposed to face each other. The conducting wire 11b is wound around the opposing surface of the nonmagnetic roll 11a, and the electric current generator 15 is applied to this conducting wire to generate a predetermined magnetic field.

그리고, 이 상태에서 비자성 롤(11a)에 연결된 모터(11c)를 구동하여, 도 4의 (b)에 나타낸 바와 같이 비자성 롤(11a)을 회전하고, 인가한 전류에 의거하는 당해 자계를 기준 자계로 해서 반도체 자기 센서(12)의 교정을 행하도록 하고 있다.In this state, the motor 11c connected to the non-magnetic roll 11a is driven to rotate the non-magnetic roll 11a as shown in Fig. 4B, and the magnetic field is based on the applied current. The semiconductor magnetic sensor 12 is calibrated as a reference magnetic field.

그러나, 특허문헌 2에서 나타낸 교정에서는, 도선(11b)을 반도체 자기 센서(12)의 열과 대면시키므로, 도선으로부터의 자장은, 반도체 자기 센서(12)의 감자(感磁) 면과 평행해진다.However, in the calibration shown in Patent Literature 2, since the conductive wire 11b faces the heat of the semiconductor magnetic sensor 12, the magnetic field from the conductive wire becomes parallel to the potato plane of the semiconductor magnetic sensor 12.

이 때문에, 반도체 자기 센서(12)의 감자 면에 수직한 자장을 이용하여 검출 감도를 교정하려 할 경우에는, 실제로 사용하는 수직 방향의 자장을 반도체 자기 센서(12)에 부여할 수 없다고 하는 문제, 또한 대형의 회전 롤을 준비하는 등 교정 장치(11)가 대규모인 것으로 되게 된다는 문제가 있다(이후, 반도체 자기 센서(12)는, 여기에서는 어레이형 자기 센서라 함).For this reason, when it is going to correct detection sensitivity using the magnetic field perpendicular | vertical to the potato surface of the semiconductor magnetic sensor 12, the problem that a magnetic field of the vertical direction actually used cannot be given to the semiconductor magnetic sensor 12, Moreover, there exists a problem that the calibration device 11 will become large scale, such as preparing a large rotating roll (Hereinafter, the semiconductor magnetic sensor 12 is called an array type magnetic sensor here.).

그 때문에, 복수 개의 어레이형 자기 센서의 열(列)을, 하나 또는 복수 열 가지는 어레이형 자기 센서를 교정할 경우, 도체를, 어레이형 자기 센서 열의 중심선과 어레이형 자기 센서의 감자 면의 법선으로 이루어지는 평면상 이외의 위치에, 어레이형 자기 센서 열에 대해 평행하게 배치하고, 당해 도체에 소정의 전류를 흘려서 자계를 발생시켜서, 당해 자계를 기준 자계로서 이용한 어레이형 자기 센서의 교정 방법이 개시되어 있다. 예를 들면, 일본국의 공개특허공보, 특개2005-61940호 공보(도 1, 제1 페이지)(이하, 특허문헌 3이라 함)가 있다.Therefore, in the case of calibrating an array type magnetic sensor having one or a plurality of rows of conductors of a plurality of array type magnetic sensors, the conductors may be formed by the normal of the center line of the array type magnetic sensor rows and the potato face of the array type magnetic sensor. Disclosed is a calibration method of an array-type magnetic sensor in which a magnetic field is generated by arranging parallel to the array-type magnetic sensor rows at a position other than the plane formed, passing a predetermined current through the conductor, and using the magnetic field as a reference magnetic field. . For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-61940 (Fig. 1, first page) (hereinafter referred to as Patent Document 3) is disclosed.

그러나, 특허문헌 3에서의 교정 장치에서는, 자기 센서의 감자 면에 대해, 수직 자화를 효율적으로 인가할 수 있지만, 박강판의 미소한 결함에 대한 동적인 검출 감도, 즉 박강판의 주행 상태에서의 검출 감도의 교정을 할 수 없는 문제가 있다.However, in the calibration apparatus in Patent Document 3, vertical magnetization can be efficiently applied to the potato face of the magnetic sensor, but the dynamic detection sensitivity to the minute defects of the steel sheet, that is, in the running state of the steel sheet There is a problem in that the detection sensitivity cannot be corrected.

그 때문에, 개개의 자기 센서의 미소 결함에 대한 동적인(박강판의 최대 이동 속도에서의) 검출 감도를 교정하려고 할 경우에는, 역시 특허문헌 2에 나타낸 바와 같은 대형의 교정 장치가 필요해진다는 문제가 있다.Therefore, when it is going to correct dynamic detection sensitivity (at the maximum moving speed of a steel sheet) with respect to the micro defect of an individual magnetic sensor, the problem that large correction apparatus as shown in patent document 2 is also needed is required. There is.

그래서, 본원의 발명자는, 도 5에 나타낸 바와 같이 비자성체 판에 1 주회(周回), 직선 형상으로 감기는 도체를 구비하는 교정용 샘플 판(32)과, 당해 어레이형 자기 센서(12)의 감자 면에 대해 소정의 리프트 오프로, 당해 감자 면에 대해 평행한 평면 상에서 교정용 샘플 판(32)의 위치를 박강판의 이동 방향으로 미세(微細) 조정하는 이동 기구를 구비하는 샘플 지지대(33)와, 도체(32a)에 펄스 전류를 흘리는 펄스 전류 발생기(34)를 구비하고, 도체(32a)에 펄스 폭(Pw), 펄스 파고치(波高値)(Ph)의 펄스 전류를 흘리고, 어레이형 자기 센서(12)에 펄스 자계를 인가하여, 동적인 자기 센서의 검출 감도의 교정을 행하도록 한 어레이형 자기 탐상 장치의 교정 장치(40)를 개시한 예를 들면, 일본국의 공개특허공보, 특개2009-14678호 공보(도 1, 제1 페이지)(이하, 특허문헌 4라 함)가 있다.Therefore, the inventor of the present application, as shown in Fig. 5, the calibration sample plate 32 having a conductor wound around a nonmagnetic plate in a straight line, and the array type magnetic sensor 12 Sample support 33 provided with a movement mechanism which fine-adjusts the position of the calibration sample plate 32 in the movement direction of a steel sheet with the predetermined lift-off with respect to the potato surface in the plane parallel to the said potato surface. And a pulse current generator 34 through which a pulse current flows through the conductor 32a, and a pulse current of pulse width Pw and pulse peak value Ph flows through the conductor 32a, For example, Japanese Patent Laid-Open Publication No. 1, which discloses a calibration device 40 for an array type magnetic flaw detector which applies a pulsed magnetic field to the type magnetic sensor 12 and corrects the detection sensitivity of the dynamic magnetic sensor. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-14678 (FIG. 1, page 1) (hereinafter, Patent Document 4) ) It has.

특허문헌 4에서의 교정 장치에서는, 어레이형 자기 센서(12)의 감자 면에 펄스 전류를 인가함으로써, 박강판의 동적인 검출 감도의 교정이 가능해졌다.In the calibration apparatus in Patent Document 4, the dynamic detection sensitivity of the thin steel sheet can be corrected by applying a pulse current to the potato face of the array type magnetic sensor 12.

그러나, 비자성체판에 1 주회, 직선 형상으로 감기는 도체를 구비하는 교정용 샘플 판이나, 당해 어레이형 자기 센서의 감자 면에 대해 소정의 리프트 오프로, 당해 감자 면에 대해 평행한 평면 상에서 전술한 교정용 샘플 판의 위치를 박강판의 이동 방향으로 미세 조정하는 이동 기구를 구비하는 샘플 지지대가 필요하므로, 장치의 대형화를 피할 수 없는 문제가 있었다.However, a calibration sample plate having a conductor wound in a straight line on a nonmagnetic plate once in a straight line or on a plane parallel to the potato plane with a predetermined lift-off with respect to the potato plane of the array type magnetic sensor. Since there is a need for a sample support having a moving mechanism for finely adjusting the position of one calibration sample plate in the direction of movement of the steel sheet, there is a problem that the size of the apparatus cannot be avoided.

본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 어레이형 자기 센서를 프린트 기판 상에, 한 개, 또는 복수 가지는 어레이형 자기 센서 기판으로서, 동적인 검출 감도의 교정을 위해 대형 장치를 필요로 하지 않고, 교정이 용이하게 행해지는 어레이형 자기 센서 기판을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and is an array type magnetic sensor substrate having one or more array type magnetic sensors on a printed board, and does not require a large-sized device for the calibration of dynamic detection sensitivity. It is an object of the present invention to provide an array type magnetic sensor substrate in which calibration is easily performed.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 어레이형 자기 센서 기판은, 복수 개의 자기 센서를 일렬로 배치해서 이루어지는 어레이형 자기 센서를 프린트 기판 상에, 한 개, 또는 복수 가지는 어레이형 자기 센서 기판으로서, 전술한 어레이형 자기 센서 기판은, 전술한 프린트 기판과, 전술한 프린트 기판의 일방(一方)의 면에 직선 형상으로 배열되는 어레이형 자기 센서와, 전술한 어레이형 자기 센서의 열축(列軸)의 좌우의 어느 일측, 또는, 양측에서, 당해 열축과 평행하게 소정의 간격으로, 전술한 프린트 기판의 고정되는 도체와, 전술한 도체에 소정의 펄스 전류를 흘리는 펄스 전류 발생 회로를 구비하고, 전술한 도체에 전술한 펄스 전류를 흘려서 교정시의 기준 자계를 생성하고, 당해 어레이형 자기 센서의 검출 감도 교정을 행하도록 한 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the array-type magnetic sensor substrate according to the present invention is an array-type magnetic sensor substrate having one or a plurality of array-type magnetic sensors formed by arranging a plurality of magnetic sensors in a row on a printed board. The above-described array-type magnetic sensor substrate includes an array-type magnetic sensor arranged in a straight line on one surface of the above-described printed board, the above-described printed board, and a thermal axis of the above-described array-type magnetic sensor. Either one of the left and right sides or both sides, the conductor fixed to the above-mentioned printed board at predetermined intervals parallel to the said thermal axis, and the pulse current generation circuit which makes a predetermined pulse electric current flow through the said conductor, The above-mentioned pulse current is flowed to the above-mentioned conductor to generate a reference magnetic field at the time of calibration, and to perform detection sensitivity calibration of the said array type magnetic sensor. .

본 발명에 의하면, 어레이형 자기 센서를 프린트 기판 상에, 한 개, 또는 복수 가지는 어레이형 자기 센서 기판으로서, 동적인 검출 감도의 교정을 위해 대형 장치를 필요로 하지 않고, 교정이 용이하게 행해지는 어레이형 자기 센서 기판을 제공할 수 있다.According to the present invention, an array type magnetic sensor is provided on one or more array type magnetic sensors on a printed board, which does not require a large-sized device for calibration of dynamic detection sensitivity, and is easily performed. It is possible to provide an array type magnetic sensor substrate.

도 1은 본 발명의 어레이형 자기 센서 기판.
도 2는 본 발명의 펄스 전류의 설정 원리를 설명하는 도면.
도 3은 종래의 자기 센서 헤드를 설명하는 도면.
도 4는 종래의 교정 장치를 설명하는 도면.
도 5는 종래의 어레이형 자기 탐상 장치의 교정 장치를 설명하는 도면.1 is an array type magnetic sensor substrate of the present invention.
2 is a view for explaining the principle of setting the pulse current of the present invention.
3 is a view for explaining a conventional magnetic sensor head.
4 illustrates a conventional calibration apparatus.
5 is a view for explaining a calibration apparatus of a conventional array type magnetic flaw detector.

이하, 본 발명의 일 실시예에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

[실시예][Example]

도 1은 어레이형 자기 센서 기판(10)의 구성을 나타낸다. 도 1의 (a)는 그 평면도이고, 도 1의 (b)는 y-y' 화살표로 나타낸 방향으로부터 본 단면도이다.1 shows a configuration of an array type magnetic sensor substrate 10. Fig. 1A is a plan view thereof and Fig. 1B is a sectional view seen from the direction indicated by the y-y 'arrow.

어레이형 자기 센서 기판(10)은, 프린트 기판(1)과, 프린트 기판(1)의 일방의 면에 직선 형상으로 배열된 복수의 자기 센서로 이루어지는 어레이형 자기 센서(2)와, 어레이형 자기 센서(2)의 열축(列軸)의 좌우의 어느 일측, 또는 양측에서, 당해 열축과 평행하게 소정의 간격으로, 프린트 기판(1)의 평면 상에 인쇄·성형된 패턴 선(4)과, 패턴 선(4)에 소정의 펄스 전류를 흘리는 펄스 전류 발생 회로(3)를 구비한다.The array type magnetic sensor board | substrate 10 is the array type magnetic sensor 2 which consists of a printed circuit board 1, the some magnetic sensor linearly arranged in one surface of the printed board 1, and an array type magnetic field The pattern line 4 printed and molded on the plane of the printed circuit board 1 at predetermined intervals in parallel with the thermal axis at either one of the left and right sides or both sides of the thermal axis of the sensor 2, A pulse current generating circuit 3 is provided for flowing a predetermined pulse current through the pattern line 4.

이 펄스 전류의 설정에 대해서, 도 2를 참조하여 설명한다. 유한 길이의 패턴 선(4)에 전류(I)를 흘렸을 때, 패턴 선(4)으로부터 수직 거리(R) 떨어진 P점에 생성되는 자속 밀도(B)는, 도 2의 (a)에 나타낸 바와 같은 기하학적 위치 관계인 경우, 비오 사바르의 법칙(Biot-Savart Law)의 법칙으로부터 하기 식에 의해 구해진다.The setting of this pulse current is demonstrated with reference to FIG. When the current I flows through the finite pattern line 4, the magnetic flux density B generated at the point P away from the vertical distance R from the pattern line 4 is as shown in Fig. 2A. In the case of the same geometric positional relationship, it is obtained by the following equation from the law of Biot-Savart Law.

B = μ0·I·(cosθl+cosθ2)/(4π·R) B = μ 0 · I · ( cosθ l + cosθ 2) / (4π · R)

따라서, 기준 자계의 자속 밀도(B)를 부여하는 도체 전류는, Therefore, the conductor current giving the magnetic flux density B of the reference magnetic field is

I = B·4π·R/ [μ0·( cosθ1+cosθ2)]로 구해진다.It is obtained as I = B · 4π · R / [μ 0 · (cosθ 1 + cosθ 2)].

여기에서, μ0는 진공의 투자율, θ1은 패턴 선(4)에 대하여 P점과 패턴 선(4)의 좌단을 잇는 직선이 이루는 각도, θ2는 패턴 선(4)에 대해 P점과 패턴 선(4)의 우단을 잇는 직선이 이루는 각도이다.Where μ 0 is the permeability of vacuum, θ 1 is the angle formed by a straight line connecting the point P with the left end of the pattern line 4 to the pattern line 4, and θ 2 is the point P with respect to the pattern line 4. It is an angle formed by a straight line connecting the right end of the pattern line 4.

실제로는, 패턴 선(4)은 유한한 길이이므로, 어레이형 자기 센서의 양단부에서 중앙부와 동일한 자계를 공급하기 위해서는, 도 2의 (b)에 나타낸 바와 같이, 과대한 전류가 필요해진다. 따라서, 패턴 선(4)은, 허용되는 자계 강도의 편차 내로 되도록, 어레이형 자기 센서(2)보다 충분히 길게 해둔다.In fact, since the pattern line 4 is a finite length, in order to supply the same magnetic field as the center part at both ends of the array type magnetic sensor, an excessive current is required as shown in Fig. 2B. Therefore, the pattern line 4 is made long enough than the array type magnetic sensor 2 so that it may become in the deviation of an allowable magnetic field intensity | strength.

예를 들면, 박강판에서의 미소 결함의 탐상에 이용할 경우에는, 어레이형 자기 센서(2)를 시판의 홀(hall) 소자로 구성하고, 이 홀 소자의 감자(感磁) 면과 패턴 선(4)의 평면 거리(R)를 2mm로 하고, 이때 부여하는 교정시의 자속 밀도(B)가 1mT로 할 경우의 인가하는 전류는 10A정도로 된다.For example, in the case of the use of flaw detection in a thin steel sheet, the array-type magnetic sensor 2 is constituted by commercially available hall elements, and the potato surface and pattern lines of the hall elements are formed. The plane distance R of 4) is 2 mm, and the current applied when the magnetic flux density B at the time of correction is 1 mT is about 10 A.

도 1에 나타낸 바와 같은, 어레이형 자기 센서(2)의 열축의 양측에 2개의 도체를 설치하고, 서로 역방향으로 전류를 흘려서 인가하는 자계를 가산(加算)하면, 전류는 도체 한 개당 5A정도가 된다. 이 전류 값은, 교정하는 자계의 인가 시간이 수ms 정도의 펄스 전류에서 양호하므로, 패턴 선(4)에는 특별한 방열 대책을 강구하지 않아도, 프린트 기판 상의 패턴 선만으로 공급하는 것이 가능하다.When two conductors are provided on both sides of the thermal axis of the array type magnetic sensor 2 as shown in FIG. do. Since the current value is good at a pulse current of about several ms, the current value of the magnetic field to be calibrated can be supplied only to the pattern line on the printed board without taking special heat dissipation measures.

또한, 어레이형 자기 센서(2)와 인가하는 자계를 생성하는 도체(4)를, 프린트 기판(1) 상에서 정확하게 위치가 미리 고정될 수 있으므로, 종래와 같이, 어레이형 자기 센서(2)에 똑같은 교정 자계를 인가하기 위해서, 자계의 발생 장치와 어레이형 자기 센서(2)의 감자 면과의 위치의 미세 조정 기구나, 동적인 자계를 생성하기 위한 대형 회전 기구 등을 구비하는 교정 장치가 불필요해진다.In addition, since the position 4 can be accurately fixed in advance on the printed circuit board 1, the conductor 4 for generating the magnetic field to be applied to the array type magnetic sensor 2 is similar to the array type magnetic sensor 2 as in the prior art. In order to apply the calibration magnetic field, a calibration device including a fine adjustment mechanism of the position of the magnetic field generating device and the potato face of the array type magnetic sensor 2, a large rotating mechanism for generating a dynamic magnetic field, etc. becomes unnecessary. .

대전류가 필요해질 경우에는, 패턴 선을 바꾸고 어레이형 자기 센서(2)와 위치가 정확히 고정되는 동(銅) 등의 금속으로 형성되는 버스 바(bus bar) 등의 도체를 프린트 기판 상에 고정하도록 해도 된다.If a large current is required, change the pattern line and fix a conductor such as a bus bar formed of metal such as copper that is accurately fixed in position with the array type magnetic sensor 2 on the printed board. You may also

또한, 교정 장치가 소형화될 뿐만아니라, 어레이형 자기 센서(2)의 각각에 동시에 동적인 자계를 인가하는 것이 가능해지므로, 양호한 정밀도의 교정이, 단시간에 가능해진다.Further, not only can the calibration device be miniaturized, but it is also possible to apply a dynamic magnetic field to each of the array-type magnetic sensors 2 at the same time, so that calibration with good accuracy can be performed in a short time.

또한, 본 발명은 상술한 바와 같은 실시예에 완전히 한정되는 것이 아니라, 어레이형 자기 센서를 복수 열 설치해도 되고, 펄스 전류를 흘리는 패턴 선(4)은, 요구되는 교정 자계의 조건에 의해 최적인 단면 형상의 것을, 또한 요구되는 교정 자계의 파형은, 펄스 전류 파형을 임의로 생성하면 되고, 대상으로 되는 검출 자계에 요구되는 조건에 의해 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절하게 바꾸는 것이 가능하다.In addition, the present invention is not limited to the above-described embodiment, but a plurality of rows of array type magnetic sensors may be provided, and the pattern line 4 through which pulse current flows is optimal according to the required calibration magnetic field conditions. The waveform of the correction magnetic field required for the cross-sectional shape may be arbitrarily generated within a range that does not deviate from the gist of the present invention according to the conditions required for the target detection magnetic field. .

1 : 프린트 기판 2 : 어레이형 자기 센서
3 : 펄스 전류 발생 회로 4 : 패턴 선
10 : 어레이형 자기 센서 기판 11, 11a : 비자성 롤
11b : 도선 11c : 모터
15 : 전류 발생기 20 : 교정 장치
12 : (반도체 자기 센서)어레이형 자기 센서
13 : 스트립 14 : 연질 자성체
15 : 박(薄)강판 22 : 자화(磁化) 코일
24 : 자화 요크 30 : 자기 센서 헤드
32 : 교정 샘플 판 32a : 도체
33 : 샘플 지지대 33a : 이동 기구
34 : 펄스 전류 발생기 40 : 교정 장치1 printed board 2 array type magnetic sensor
3: pulse current generating circuit 4: pattern line
10: array type magnetic sensor substrate 11, 11a: nonmagnetic roll
11b: lead wire 11c: motor
15 current generator 20 calibration device
12: (semiconductor magnetic sensor) array type magnetic sensor
13: strip 14: soft magnetic material
15: thin steel sheet 22: magnetized coil
24: magnetization yoke 30: magnetic sensor head
32: calibration sample plate 32a: conductor
33: sample support 33a: moving mechanism
34 pulse current generator 40 calibration device

Claims (3)

복수 개의 자기(磁氣) 센서를 일렬로 배치해서 이루어지는 어레이형 자기 센서를 프린트 기판 상에, 한 개, 또는 복수 가지는 어레이형 자기 센서 기판으로서,
상기 어레이형 자기 센서 기판은,
상기 프린트 기판과,
상기 프린트 기판의 일방(一方)의 면에 직선 형상으로 배열되는 어레이형 자기 센서와,
상기 어레이형 자기 센서의 열축(列軸)의 좌우의 어느 일측, 또는 양측에서, 당해 열축과 평행하게 소정의 간격으로, 상기 프린트 기판의 고정되는 도체와, 상기 도체에 소정의 펄스 전류를 흘리는 펄스 전류 발생 회로를 구비하고,
상기 도체에 상기 펄스 전류를 흘려서 교정시의 기준 자계를 생성하고, 당해 어레이형 자기 센서의 검출 감도 교정을 행하도록 한 것을 특징으로 하는 어레이형 자기 센서 기판.An array type magnetic sensor formed by arranging a plurality of magnetic sensors in a row on a printed board as one or a plurality of array type magnetic sensor substrates,
The array type magnetic sensor substrate,
The printed circuit board,
An array-type magnetic sensor arranged in a straight line on one surface of the printed board,
Any one side or both sides of the thermal axis of the array type magnetic sensor, or both sides, a conductor fixed to the printed board at predetermined intervals in parallel with the thermal axis, and a pulse passing a predetermined pulse current through the conductor With a current generating circuit,
An array type magnetic sensor substrate, wherein the pulse current is caused to flow through the conductor to generate a reference magnetic field during calibration, and to perform detection sensitivity calibration of the array type magnetic sensor. 제 1 항에 있어서,
상기 도체는, 상기 어레이형 자기 센서의 열축의 좌우의 어느 일측, 또는, 양측에서, 당해 열축과 평행하게 소정의 간격으로 상기 프린트 기판의 평면 상에 인쇄·형성된 패턴 선으로 하고,
상기 패턴 선에 상기 펄스 전류를 흘려서 교정시의 기준 자계를 생성하고, 당해 어레이형 자기 센서의 검출 감도 교정을 행하도록 한 어레이형 자기 센서 기판.The method of claim 1,
The conductor may be a pattern line printed or formed on a plane of the printed board at predetermined intervals in parallel with the thermal axis on either or both sides of the array type magnetic sensor, or on both sides.
The array type magnetic sensor substrate which flows the said pulse current through the said pattern line, produces | generates the reference magnetic field at the time of calibration, and performs the detection sensitivity calibration of the said array type magnetic sensor. 제 1 항에 있어서,
상기 도체는, 상기 어레이형 자기 센서의 열축 중심으로부터 등(等)거리의 좌우 위치에 배치되고, 또한 서로 역방향의 펄스 전류를 흘리도록 한 어레이형 자기 센서 기판.The method of claim 1,
An array type magnetic sensor substrate in which the conductors are arranged at right and left positions at equal distances from the center of the thermal axis of the array type magnetic sensor and flow pulse currents in opposite directions to each other.
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