KR20100085026A - Method and device for positioning and aligning an object relatively to or with a substrate and use therof - Google Patents

Method and device for positioning and aligning an object relatively to or with a substrate and use therof Download PDF

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KR20100085026A
KR20100085026A KR1020107007533A KR20107007533A KR20100085026A KR 20100085026 A KR20100085026 A KR 20100085026A KR 1020107007533 A KR1020107007533 A KR 1020107007533A KR 20107007533 A KR20107007533 A KR 20107007533A KR 20100085026 A KR20100085026 A KR 20100085026A
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light
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KR1020107007533A
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Inventor
크리스토프 모제르
류보미르 마르엘익
Original Assignee
에이티 앤 에스 오스트리아 테크놀로지 앤 시스템테크니크 악치엔게젤샤프트
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Abstract

The invention relates to a method and a device for positioning or aligning an object (1) relatively to or with a substrate (13), wherein light is beamed on the object (1) especially in the region of at least one marking (3) of the object (1), which is to be positioned, and light, reflected from the object (1) to be positioned, especially from the marking (3) and/or the substrate (13), is recorded in a recording device (7) and optionally evaluated and the position of the object (1) is determined on the basis of the reflected radiation, recorded and optionally evaluated, and/or the position or alignment of the object (1) is corrected and provisions are made so that the light, used for the irradiation, is converted, especially by using a luminescing material in the region of the marking (3), into light of a different wavelength and light of the different wavelength is recorded in the recording device (7) and optionally subjected to an evaluation, by means of which a highly precise positioning and alignment of the object (1), which is to be positioned, can be achieved, especially with a decrease of objects, defectively processed in the further course.

Description

물체를 기재에 배치 및 정렬하는 방법 및 장치와 그 용도{METHOD AND DEVICE FOR POSITIONING AND ALIGNING AN OBJECT RELATIVELY TO OR WITH A SUBSTRATE AND USE THEROF} METHOD AND DEVICE FOR POSITIONING AND ALIGNING AN OBJECT RELATIVELY TO OR WITH A SUBSTRATE AND USE THEROF}

본 발명은 물체를 기재에 대해 배치 또는 정렬하는 방법에 관한 것으로, 물체, 특히 배치 대상인 물체의 적어도 하나의 마킹 영역에 광이 조사되고, 배치 대상인 물체, 특히 마킹 및/또는 기재로부터의 반사광은 기록 장치에 기록된 후 선택적으로 평가되고 물체의 위치는 기록된 후 선택적으로 평가되는 반사광을 기초로 결정되고 그리고/또는 물체의 위치 또는 정렬이 수정되는 방식의 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 물체를 기재에 배치 또는 정렬하는 장치에 관한 것으로, 물체, 특히 배치 대상인 물체의 적어도 하나의 마킹 영역에 광을 조사하는 적어도 하나의 광원과 배치 대상인 물체로부터 특히 마킹 및/또는 기재로부터의 반사광을 기록하고 선택적으로 평가하고 기록된 후 선택적으로 평가되는 반사광을 기초로 물체의 위치를 결정하고 그리고/또는 물체의 위치 또는 정렬을 수정하는 기록 장치를 구비하는 장치와, 이런 방법 및 장치의 용도에 관한 것이다.The present invention relates to a method of arranging or aligning an object with respect to a substrate, wherein light is irradiated to the object, in particular at least one marking area of the object to be placed, and the reflected light from the object to be placed, in particular the marking and / or the substrate, is recorded. The position of the object is selectively determined after being recorded in the device and the position of the object is determined on the basis of the reflected light which is selectively evaluated after being recorded and / or relates to a method in which the position or alignment of the object is modified. The invention also relates to an apparatus for arranging or aligning an object on a substrate, in particular marking and / or substrate from an object, in particular from at least one light source for irradiating light to at least one marking area of the object to be placed and the object to be placed. And a recording device for recording and selectively evaluating the reflected light from and determining the position of the object and / or modifying the position or alignment of the object based on the reflected light that is recorded and then selectively evaluated, such methods and apparatus It relates to the use of.

본 발명은 아래에서 특히 인쇄 회로 기판의 제작 또는 처리의 측면에서 예로써 상세하게 설명될 것이지만, 본 발명은 기재에 또는 보관 또는 지지 장치에 물체를 배치 또는 정렬하는 방법 및 장치로서, 선택적으로 다른 파장의 광을 조사할 때 물체, 물체를 지지하는 기재 또는 지지 장치로부터의 반사광을 기록 장치에 기록하고 처리 기계에 대한 기재의 위치 또는 정렬은 물론 기재에 대한 물체의 위치 또는 정렬을 수정하는 장치 및 방법에 총괄적으로 적용될 수 있음에 유의하여야 한다. 이런 방법 및 장치는 예컨대 가공물에 대해 드릴링 공정, 절삭 공정, 에칭 공정 등과 같은 높은 정밀도의 공정 또는 가공을 행하는 여러 가지 적용예에 사용될 수 있다. 또한, 정확한 정렬과 배치는 예컨대 노광 및 삽입 공정에 필수 요소가 될 것이다.While the invention will be described in detail by way of example in particular in terms of fabrication or processing of a printed circuit board, the invention is a method and apparatus for placing or aligning an object on a substrate or in a storage or support device, optionally with different wavelengths. Apparatus and method for recording an object, a substrate supporting an object or reflected light from a support device when irradiated with light, into a recording device and modifying the position or alignment of the object with respect to the substrate as well as the position or alignment of the substrate with respect to the processing machine. It should be noted that this can be applied collectively. Such methods and apparatus can be used in a variety of applications that perform high precision processes or machining, such as, for example, drilling processes, cutting processes, etching processes, and the like. In addition, accurate alignment and placement will be an essential element, for example, in the exposure and insertion process.

인쇄 회로 기판의 제조 또는 처리의 측면에서, 예컨대 특히 레이저 드릴링 공정과 같은 수행될 드릴링 공정의 경우 인쇄 회로 기판 또는 일반적으로는 복수의 인쇄 회로 기판을 포함하는 실질적으로 판형인 요소에 실질적으로 복수의 보어 홀을 형성하기 위해 통상 적어도 두 개의 마킹을 제공함으로써 인쇄 회로 기판 위에 또는 복수의 인쇄 회로 기판을 포함하는 판형의 요소 위에 마킹을 제공한 후 인쇄 회로 기판 또는 일반적으로 판형 요소가 처리 스테이션으로 전달되며 그곳에서 기재나 기재를 형성하는 보관 또는 지지 장치에 대해 변위 및 조정되며, 보어 홀은 예컨대 컴퓨터 제어된 드릴링 프로그램에 따라 정확하게 배열되며, 예컨대 인쇄 회로 기판의 개별 요소를 연결하거나 추가 요소를 삽입하거나 인쇄 회로 기판의 다른 층을 접합하기 위한 추가의 공정에 사용되는 것으로 알려져 있다.In terms of the manufacture or processing of a printed circuit board, for example a drilling process to be carried out, in particular in the case of a laser drilling process, a plurality of bores substantially in the printed circuit board or in a substantially plate-like element which generally comprises a plurality of printed circuit boards. After providing the marking on the printed circuit board or on a plate-shaped element comprising a plurality of printed circuit boards by providing at least two markings to form a hole, the printed circuit board or generally plate-shaped element is transferred to a processing station where In which the bore holes are precisely arranged according to, for example, a computer controlled drilling program, for example connecting individual elements of a printed circuit board, inserting additional elements or For joining different layers of substrate It is known to be used for further processing.

지금까지, 이런 종류의 정렬 또는 배치 과정은 마킹 또는 마킹들의 영역에 있는 인쇄 회로 기판 등의 배치 대상인 물체 위로 예컨대 적절히 집속된 광 다발 등의 광을 조사하거나 적용하는 것과, 인쇄 회로 기판 또는 일반적으로는 배치 대상인 물체로부터, 또한 예컨대 배치 대상인 물체를 완전히 관통하는 구멍과 같은 마킹이 존재하는 경우에, 기재로부터의 반사광을 기록 장치에 기록하는 것과, 선택적으로 기재에 대한 배치 대상인 물체의 위치 또는 정렬을 결정하고 필요한 경우 드릴링 공정과 같은 후속 처리 공정을 적절한 정밀도로 수행할 수 있도록 하기 위해 위치 또는 정렬을 특정 설정 값으로 설정 또는 조정하도록 기록된 반사광을 자동 화상 처리하는 것을 통상 포함한다.Up to now, this kind of alignment or placement process is to irradiate or apply light, such as a suitably focused bundle of light, onto a printed object, such as a printed circuit board, in the area of the marking or markings, or to a printed circuit board or generally Recording of the reflected light from the substrate to the recording apparatus, and optionally determining the position or alignment of the object to be placed with respect to the substrate when there is a marking from the object to be placed, such as a hole that completely penetrates the object to be placed. And automatic image processing of the recorded reflected light to set or adjust the position or alignment to a specific setting value in order to be able to perform a subsequent processing process such as a drilling process with appropriate precision if necessary.

반사광이 기록되어 배치 대상인 물체의 위치와 정렬을 결정하는 이런 공지된 방법 및 장치는 배치 대상인 물체, 특히 인쇄 회로 기판 또는 복수의 인쇄 회로 기판을 포함하는 판형의 요소가 적어도 부분적으로 반사면을 갖고 있어서 배치 대상인 물체의 마킹을 둘러싸는 영역이 마킹에 대해, 또는 완전한 구멍 형상의 마킹인 경우에, 예컨대 충분한 콘트라스트를 제공하는 밝은 색 또는 흰색의 기재에 대해 양호한 콘트라스트를 제공하기가 어렵거나 불가능하다는 결점이 있는데, 이는 배치 대상인 물체의 반사면에서 반사되는 반사광 또는 표류 광(stray light)과 마킹이나 그 아래의 기재로부터 반사되는 반사광 사이가 필요한 정밀도로 구분될 수 없기 때문이며, 이런 구분은 물체의 배치 또는 배향의 결정을 위한 기초를 형성한다.Such known methods and apparatus in which the reflected light is recorded to determine the position and alignment of the object to be placed are such that the object being placed, in particular a plate-like element comprising a printed circuit board or a plurality of printed circuit boards, has at least partly a reflecting surface. The drawback is that it is difficult or impossible to provide good contrast, for example for bright or white substrates that provide sufficient contrast, in the case where the area surrounding the marking of the object to be placed is a marking or in the form of a full hole. This is because the reflected light or stray light reflected from the reflecting surface of the object to be placed and the reflected light reflected from the marking or the underlying substrate cannot be distinguished with the required precision, which is the arrangement or orientation of the object. Forms the basis for the determination of

특히 예컨대 후속으로 연결되거나 접합되는 부분적으로 매우 작은 크기와 적용될 요소에서 제공될 작은 크기를 갖는 요소 또는 형성될 보어 홀을 고려하면서 예컨대 인쇄 회로 기판의 제조 또는 처리에 필요한 높은 정밀도의 측면에서, 공지된 방법 및 장치를 사용시, 특히 충분히 정밀하게 조정되지 않았다는 이유로 물체의 상당 부분이 대응하여 정밀하게 처리되지 않고 그에 따라 불량이 예상될 것이 예기된다. 더욱이, 상당한 오정렬 또는 오조절(misregistration)은 그런 경우 통상 제어 기구가 제조 중지를 야기할 것이므로 제조 중단을 가져올 것이다.In particular, for example, in view of the high precision required for the manufacture or processing of a printed circuit board, for example, taking into account the element having a very small size to be subsequently connected or bonded and the element having a small size to be provided in the element to be applied or the bore hole to be formed. When using the method and the apparatus, it is anticipated that a substantial part of the object will not be processed correspondingly precisely, in particular because it has not been adjusted sufficiently precisely, and therefore failure will be expected. Moreover, significant misalignment or misregistration will result in manufacturing interruption since such control mechanisms would normally cause manufacturing interruptions.

본 발명은 서두에 정의한 종류의 방법 및 장치의 전술한 문제점을 해소하고, 특히 물체의 제조 또는 처리 중에 각각의 품질 요건을 만족하지 않는 피처리 물체의 부분, 즉 불량 부위를 감소시키기 위해 간소화되고 용이한 반사광의 기록 및 선택적 평가에 의해 향상된 정밀도로 기재에 대한 물체의 배치 또는 정렬을 행할 수 있도록 서두에 정의한 종류의 방법 및 장치를 더욱 개발하는 것을 목적으로 한다.The present invention is simplified and easy to solve the above-mentioned problems of the methods and apparatus of the kind defined at the outset, and in particular to reduce the parts of the object to be treated, i.e., the defective parts, which do not meet the respective quality requirements during the manufacture or processing of the object. It is an object to further develop a method and apparatus of the kind defined at the outset so that an object can be placed or aligned with respect to a substrate with improved accuracy by recording and selective evaluation of a reflected light.

이들 목적의 달성을 위해 서두에 정의한 종류의 방법은 마킹 영역에 특히 발광 물질을 사용함으로써 조사에 사용되는 광이 다른 파장의 광으로 변환되고, 상기 다른 파장의 광이 기록 장치에 기록되어 선택적으로 평가되는 것을 특징으로 한다. 물체, 특히 마킹 또는 기재로부터 직접 반사된 광이 기록되고 선택적으로 평가되는 공지된 방법과 달리, 본 발명에 따르면, 특히 발광 물질을 사용함으로써 조사에 사용되는 광의 파장을 다른 파장 또는 변화된 파장을 갖는 광 또는 일반적으로 전자기 방사로의 변환이 수행되고, 이후 이렇게 변화된 파장을 갖는 광이 기록 장치에 단순히 기록되고 선택적으로 평가되는 사실에 기인하여, 선택적으로 간소화된 기록 및 평가 방법에 의해 기재에 상대 배치 또는 정렬되거나 기재나 보관 또는 지지 장치에 정렬될 물체의 적어도 하나의 마킹의 실제 위치 또는 정렬을 향상된 정밀도로 결정하는 것이 수행되도록, 물체와 특히 마킹을 조사하기 위해 원래 사용된 광의 파장을 갖는 예컨대 마킹 주변 영역에 있는 물체로부터의 반사광이 기록 장치에 기록되지 않도록 하는 것이 보장된다.In order to achieve these objectives, the kind of method defined at the outset is achieved by using light emitting materials in particular in the marking area, whereby the light used for irradiation is converted into light of different wavelengths, and the light of the different wavelengths is recorded on the recording apparatus and selectively evaluated. It is characterized by. In contrast to known methods in which light reflected directly from an object, in particular marking or substrate, is recorded and optionally evaluated, according to the invention, the wavelength of the light used for irradiation, in particular by using a luminescent material, is a light having a different or changed wavelength. Or in general due to the fact that the conversion to electromagnetic radiation is carried out, and then the light with this changed wavelength is simply recorded on the recording device and selectively evaluated, relative to the substrate by an alternatively simplified recording and evaluation method or For example around markings with wavelengths of light originally used to irradiate objects and markings, such that determining the actual position or alignment of at least one marking of an object to be aligned or aligned to a substrate or storage or support device is performed. Reflected light from objects in the area is not recorded on the recording device. Is guaranteed.

물체, 특히 마킹 영역을 조사하기 위해 사용되는 광을 특히 발광, 즉 형광 또는 인광의 물질을 사용하여 다른 파장의 광으로 변환함으로써, 정렬 및 배치의 정밀도가 향상될 것이고, 그에 따라 향상되고 보다 정밀해진 배치 및 정렬에 따라 향상된 정밀도로 처리 대상인 물체를 후속 처리하는 것이 가능해 짐으로써, 각각의 품질 요구를 만족하지 않아 불합격을 야기하는 처리 물체의 부분이 감소되도록 배치 대상인 물체의 부정확한 배치 또는 정렬이나 실제 위치 또는 정렬의 부정확한 결정에 의해 야기되는 불안정한 처리가 상당히 줄어들거나 전적으로 방지될 것이다. 또한, 매우 부정확한 정렬 또는 오조절에 기인한 작동 중지에 포함되는 문제점을 회피하거나 제거할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 방법에 의해, 정렬 또는 배치에 필요한 시간은 본 발명에 따른 방법의 적용이 효율 또는 생산성의 향상을 가져오도록 감소될 것이다. 사실, 본 발명에 따른 방법의 경우 필수적으로, 반사광은 기록 및 평가 장치 내로 도입될 수 없지만, 적어도 하나의 광원으로부터 배치 또는 정렬 대상인 물체에 투사되는 광이 발광, 형광 또는 인광에 의해 다른 파장을 갖는 광 또는 전자기 방사로 변환될 수 있으며, 이런 다른 파장의 방사가 기록과 선택적으로 결과적으로 평가를 제공하는 방법에 적용된다.By converting the light used to irradiate the object, in particular the marking area, into a light of a different wavelength, in particular using a material of luminescence, ie fluorescence or phosphorescence, the accuracy of alignment and placement will be improved, thereby improving and more precisely Depending on the placement and alignment, it becomes possible to further process the object to be processed with improved precision, thereby reducing the inaccurate placement or alignment of the object to be placed or actual so that the portion of the processing object that does not meet each quality requirement and causes rejection is reduced. Unstable processing caused by incorrect determination of position or alignment will be considerably reduced or entirely avoided. It is also possible to avoid or eliminate the problems involved in downtime due to very incorrect alignment or misadjustment. Furthermore, by the method according to the invention, the time required for alignment or placement will be reduced so that the application of the method according to the invention results in an improvement in efficiency or productivity. Indeed, in the case of the method according to the invention, essentially, the reflected light cannot be introduced into the recording and evaluation device, but the light projected from the at least one light source to the object to be placed or aligned has a different wavelength by luminescence, fluorescence or phosphorescence. It can be converted to light or electromagnetic radiation, and these other wavelengths of radiation are applied to the method of recording and optionally providing an assessment.

기록과 선택적 결과로 특히 자동 화상 평가를 용이하게 하기 위해, 본 발명의 방법의 바람직한 실시예가 제안하는 바에 따르면, 물체의 조사를 위해 협소한 스펙트럼 범위의 광이 사용되며, 상기 광은 발광 물질에 의해 상기 조사에 사용된 광의 파장과 다른 파장의 광으로 변환된다.In order to facilitate automatic image evaluation, especially with recording and selective results, a preferred embodiment of the method of the present invention proposes that a narrow spectral range of light is used for the irradiation of an object, the light being emitted by a luminescent material. The light is converted into light having a wavelength different from that of the light used for the irradiation.

본 발명의 방법의 측면에서 종래 기술에서 거의 바뀌지 않은 기록 장치를 사용할 수 있도록 하기 위해, 바람직한 실시예가 제안하는 바에 따르면, 기록 장치 앞에는 변화된 파장의 광의 파장에 동조되는 특히 광학 필터와 같은 필터가 제공되며, 상기 필터는 변환되거나 변경된 파장에 대한 정밀하고 간단하고 신뢰성 있는 동조를 가능케 한다. 또한, 이런 필터의 사용에 의해, 예컨대 물체에 의해 반사된 원시 파장의 광과 가능하게는 표류 광이 기록 장치로 입사되는 것을 방지하는 간단한 방식의 방법이 구현될 수 있다.In order to be able to use a recording device which is hardly changed in the prior art in terms of the method of the present invention, according to a preferred embodiment, a recording device is provided in front of the recording device, in particular a filter such as an optical filter which is tuned to the wavelength of the light of the changed wavelength. The filter allows precise, simple and reliable tuning of the converted or changed wavelength. In addition, by the use of such a filter, a simple manner method of preventing the incident light and possibly drifting light reflected by the object, for example, from entering the recording device can be implemented.

특히 마킹 영역에서 물체를 조사하는데 원래 사용된 광의 표류 광 또는 반사광의 기록을 피하기 위해, 선택적 또는 부가적으로, 기록 장치는 다른 파장의 광을 위한 복수의 기록 채널을 포함하고, 반사광을 기록하고 선택적으로 후속 평가하기 위해, 본 발명에 따른 방법의 바람직한 개발에 대응하여 채널은 변화된 파장의 광의 함수로서 선택될 수 있다.In particular or additionally, the recording device comprises a plurality of recording channels for light of different wavelengths, in order to avoid recording of drift or reflected light of the light originally used to irradiate the object in the marking area. For subsequent evaluation, the channel can be selected as a function of light of the changed wavelength in response to the preferred development of the method according to the invention.

대응하여 용이하게 활용 가능한 광원을 사용하는 특히 간단하고 신뢰성 있는 실시예를 위해 다른 바람직한 구성에 따라 제안된 바에 따르면, 배치 및/또는 정렬 대상인 물체를 조사하기 위한 광원으로서 컬러 필터를 조합한 발광 다이오드, 레이저 다이오드 또는 백열등과 가스 방출 램프가 사용된다. 이런 광원은 기본적으로 자외선 또는 적외선 스펙트럼 내에, 바람직하게는 비교적 좁은 스펙트럼 범위의 광 또는 소정의 볼 수 있는 색깔의 광을 발광할 수 있으며, 상기 물질은 사용되는 발광 물질의 기능으로서 다른 색깔 또는 파장의 이런 광에 의해 여기될 것이고, 다른 색깔 또는 파장의 광이 발광되어 기록 장치에 후속으로 기록되고 선택적으로 평가될 것이다.According to another preferred configuration for a particularly simple and reliable embodiment using a correspondingly readily available light source, a light emitting diode incorporating a color filter as a light source for irradiating an object to be placed and / or aligned, Laser diodes or incandescent lamps and gas emission lamps are used. Such a light source can basically emit light in the ultraviolet or infrared spectrum, preferably in a relatively narrow spectral range or in light of a certain visible color, the material being a function of the luminescent material used, It will be excited by such light, and light of a different color or wavelength will be emitted and subsequently recorded and optionally evaluated in the recording device.

변형된 실시예에 따르면, 본 발명에 따라 제안된 바와 같이, 기록 장치 및/또는 광원의 앞에 이색 미러가 제공된다.According to a modified embodiment, as proposed in accordance with the present invention, a dichroic mirror is provided in front of the recording device and / or the light source.

특히 복수의 인쇄 회로 기판을 포함하는 인쇄 회로 기판 요소의 처리 또는 제조 분야에 본 발명에 따른 방법을 사용할 때, 본 발명에 따른 방법의 추가의 바람직한 실시예가 제안한 바에 따르면, 배치 및/또는 정렬 대상인 물체는 적어도 하나의 발광 물질의 마킹을 갖는 실질적으로 판형인 요소로 이루어진다.In particular when using the method according to the invention in the field of processing or manufacturing a printed circuit board element comprising a plurality of printed circuit boards, a further preferred embodiment of the method according to the invention suggests that an object to be arranged and / or aligned Consists of a substantially plate-like element with a marking of at least one luminescent material.

신뢰성 있고 정확한 배치를 위해 추가의 바람직한 실시예가 제안한 바에 따르면, 배치 및/또는 정렬 대상인 물체에는 그 자체가 알려진 방식으로 적어도 두 개의 마킹이 마련된다.According to a further preferred embodiment proposed for reliable and accurate positioning, the object to be placed and / or aligned is provided with at least two markings in a manner known per se.

배치 대상인 물체의 위치 및/또는 정렬의 기록과 선택적으로 평가의 수행을 용이하게 하기 위해 추가의 바람직한 실시예가 제안한 바에 따르면, 상기 마킹은 오목부 또는 리세스에 의해 형성된다.According to a further preferred embodiment, the marking is formed by recesses or recesses in order to facilitate the recording of the position and / or alignment of the object to be placed and optionally the performance of the evaluation.

본 발명의 방법의 추가의 바람직한 개발에 대응하는 바와 같이, 예컨대 마킹은 완전한 구멍으로 형성되고 기재는 발광 물질의 층을 포함하는 것에 의해 특히 간단한 구성의 마킹이 제공될 수 있다.As corresponding to a further preferred development of the method of the invention, for example, the marking can be provided with a particularly simple configuration by forming the marking as a complete hole and the substrate comprising a layer of luminescent material.

전술한 목적의 달성을 위해, 서두에 정의한 종류의 장치는 특히 발광 물질을 사용함으로써 배치 및/또는 정렬 대상인 물체의 마킹 영역에서 반사되는 물체에 조사되는 광의 파장에 대해 변화된 파장의 광을 선택적으로 기록하는 기록 장치를 기본적으로 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 방법의 측면에서 이미 논의된 바와 같이, 특히 발광 물질의 사용에 의해 파장이 변화되고, 변화된 파장에 대응하는 반사광의 기록이 방지되며, 변화되거나 변환된 파장의 광을 선택적으로 기록하기 위해 본 발명에 따른 장치가 사용되는 것에 의해, 배치 대상인 물체의 위치 및/또는 정렬의 간단하고 신뢰성 있는 기록 및 평가가 실현될 수 있다.In order to achieve the above object, a device of the kind defined at the outset selectively records light of a wavelength that has changed with respect to the wavelength of light that is irradiated to the object reflected in the marking area of the object to be placed and / or aligned, in particular by using a luminescent material. It basically comprises a recording device. As already discussed in terms of the method according to the invention, the wavelength is changed, in particular by the use of a luminescent material, the recording of reflected light corresponding to the changed wavelength is prevented, and selectively recording the light of the changed or converted wavelength. By the use of the apparatus according to the invention for this purpose, simple and reliable recording and evaluation of the position and / or alignment of the object to be placed can be realized.

표류 광의 진입을 방지하고 변화된 파장의 광을 기록 장치에 전용으로 기록하기 위한 간편한 수단을 제공하기 위해 바람직한 실시예가 제안한 바에 따르면, 변화된 파장의 광에 적합화된 필터, 특히 광학 필터가 기록 장치 앞에 제공된다.In order to prevent the entry of stray light and to provide a convenient means for exclusively recording the light of the changed wavelength to the recording device, a preferred embodiment of the filter, in particular an optical filter, is provided in front of the recording device, as proposed. do.

대안적으로 또는 부가적으로, 본 발명에 따른 장치의 추가의 바람직한 실시예에 따라 기록 장치는 다른 파장의 광을 기록하는 복수의 컬러 채널을 포함하는 특히 카메라와 같은 기록 장치로 구성될 수 있다.Alternatively or additionally, according to a further preferred embodiment of the device according to the invention, the recording device may consist of a recording device, in particular a camera, comprising a plurality of color channels for recording light of different wavelengths.

배치 대상인 물체의 위치 또는 정렬에 대해 필요할 수 있는 수정을 위해 추가의 바람직한 실시예가 제안하는 바에 따르면, 배치 및/또는 정렬 대상인 물체를 기재에 대해 변위시키는 장치가 기록 장치에 결합되거나 결합될 수 있다.According to a further preferred embodiment for the modification that may be necessary for the position or alignment of the object to be placed, the device for displacing the object to be placed and / or aligned with respect to the substrate may be coupled to or coupled to the recording apparatus.

선택적으로 좁은 스펙트럼 범위를 갖는 신뢰가능하고 간단한 광원을 제공하기 위해 추가의 바람직한 실시예가 제안한 바에 따르면, 광원은 컬러 필터 등과 조합한 발광 다이오드, 레이저 다이오드 또는 백열등과 가스 방출 램프에 의해 형성된다.According to a further preferred embodiment proposed in order to provide a reliable and simple light source with an optionally narrow spectral range, the light source is formed by a light emitting diode, a laser diode or an incandescent lamp and a gas emitting lamp in combination with a color filter or the like.

추가의 바람직한 실시예에 따르면, 배치 및/또는 정렬 대상인 물체는 적어도 하나의 발광 물질의 마킹을 포함하는 실질적으로 판형인 요소에 의해 형성된다.According to a further preferred embodiment, the object to be placed and / or aligned is formed by a substantially plate-like element comprising markings of at least one luminescent material.

올바르고 적절한 배치를 위해 추가의 바람직한 실시예에 따르면, 배치 및/또는 정렬 대상인 물체에는 자체가 알려진 방식으로 적어도 두 개의 마킹이 마련되고, 이렇게 국부적으로 분리된 마킹의 두 개는 제공될 마킹과 배치 및/또는 정렬 대상인 물체의 배치의 기능으로서 마킹의 개수에 대응하는 다수의 기록 장치에 의해 단일의 기록 장치의 적절한 변위 또는 물체의 위치 또는 정렬에 대한 기록 및 선택적인 평가가 수행된 후 단일의 기록 장치에 의해 점검될 수 있다.According to a further preferred embodiment for correct and proper positioning, the object to be placed and / or aligned is provided with at least two markings in a manner known per se, and two of these locally separated markings are arranged with the marking to be provided. And / or a single recording after recording and selective evaluation of the proper displacement of the single recording device or the position or alignment of the object by a plurality of recording devices corresponding to the number of markings as a function of the placement of the object to be aligned, is performed. Can be checked by the device.

적절한 콘트라스트를 얻기 위해, 배치 대상인 물체의 마킹은 오목부 또는 리세스에 의해 형성된다.In order to obtain a suitable contrast, the marking of the object to be placed is formed by recesses or recesses.

추가의 바람직한 실시예에 따라 본 발명이 제안한 바에 따르면, 배치 대상인 물체의 마킹은 완전한 구멍에 의해 형성되고 기재는 발광 물질의 층을 포함한다.According to a further preferred embodiment, the invention proposes that the marking of the object to be placed is formed by a complete hole and the substrate comprises a layer of luminescent material.

또한, 본 발명에 따라 판형의 요소, 특히 인쇄 회로 기판을 제조 또는 처리 중에 배치하기 위한 본 발명의 방법 및 장치를 사용하는 것이 제안된다.It is also proposed in accordance with the present invention to use the method and apparatus of the present invention for placing plate-like elements, in particular printed circuit boards, during manufacture or processing.

특히 바람직한 실시예에 따르면, 드릴링 장치 특히 레이저 드릴링 장치를 사용하는 드릴링 공정, 밀링 공정, 사진 인쇄 공정, 마스킹 공정, 실크 스크린 공정, 노광 공정 또는 삽입 공정 등을 수행하기 위해 인쇄 회로 기판의 배치 및 정렬에 본 발명의 방법 및 장치를 사용하는 것을 추가로 제안한다.According to a particularly preferred embodiment, the placement and alignment of a printed circuit board for carrying out a drilling process, in particular a drilling process using a laser drilling device, a milling process, a photo printing process, a masking process, a silk screen process, an exposure process or an insertion process, etc. It further proposes to use the method and apparatus of the present invention.

이하, 첨부된 도면에 개략적으로 도시된 예시적인 실시예를 참조로 본 발명을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to exemplary embodiments schematically illustrated in the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 방법을 수행하기 위한 본 발명의 장치의 제1 실시예의 개략적 사시도이고,
도 2는 배치 또는 정렬될 물체의 마킹 영역에서 확대된 스케일로 도 1에 따른 실시예에 대한 부분 단면도이고,
도 3은 도 2와 유사한 도면으로 본 발명의 방법을 수행하기 위한 본 발명의 장치의 변형된 실시예의 부분 단면도이고,
도 4는 도 2와 유사한 도면으로 본 발명의 방법을 수행하기 위한 본 발명의 장치의 다른 변형된 실시예를 도시한다.
1 is a schematic perspective view of a first embodiment of an apparatus of the present invention for carrying out the method of the present invention,
2 is a partial cross-sectional view of the embodiment according to FIG. 1 on an enlarged scale in the marking area of the object to be placed or aligned;
3 is a partial cross-sectional view of a modified embodiment of the device of the invention for carrying out the method of the invention in a view similar to FIG.
FIG. 4 shows another modified embodiment of the device of the invention for carrying out the method of the invention in a view similar to FIG. 2.

도 1은 예컨대 처리 및 완성 후 개별 인쇄 회로 기판 요소로 분리되는 대략 2로 지시되는 복수의 인쇄 회로 기판 요소를 포함하는 실질적으로 판형인 요소에 의해 형성되는 배치 또는 정렬 대상인 물체(1)를 개략적으로 도시한다. 도 1에 따른 실시예에서 배치 및/또는 정렬 대상인 물체(1)는 예컨대 특히 도 2를 참조로 보다 상세히 설명될 완전한 구멍(3) 형태의 두 개의 마킹(3)을 포함한다.1 schematically illustrates an object 1 to be placed or aligned formed by a substantially plate-like element comprising a plurality of printed circuit board elements, for example indicated as approximately two separated into individual printed circuit board elements after processing and completion. Illustrated. The object 1 to be arranged and / or aligned in the embodiment according to FIG. 1 comprises two markings 3 in the form of a complete hole 3, which will be described in more detail with reference to FIG. 2, for example.

광원(4)에서 방출된 광이 대략적으로 지시된 빔 경로(5)를 따라 판형 요소(1)의 마킹이나 마킹(3) 영역에 조사됨으로써, 이후의도면을 참조로 보다 상세히 설명되는 바와 같이, 마킹(3) 영역에 발광 물질을 제공하는 것에 기인하여, 빔 경로(5)를 통해 광원(4)에서 방출된 광에 대해 변화된 파장을 갖는 광 또는 일반적으로 전자기 방사가 빔 경로(6)를 따라 대략 7로 지시된 카메라와 같은 기록 장치로 전달된다. 카메라(7)는 예컨대 빔 경로(6)를 따라 변화된 파장의 광만이 기록 장치 또는 카메라(7)로 진입할 수 있도록 하는 광학 필터(8)가 전방에 배치되는 반면, 특히 다른 도면을 참조로 아래에 보다 상세히 설명되는 바와 같이, 예컨대 마킹(3)을 둘러싸는 영역에서 반사되고 광원(4)에서 방출되는 파장과 같은 파장을 갖는 반사광은 필터(8)를 통과하는 것이 방해될 것이다.The light emitted from the light source 4 is irradiated to the marking or marking 3 region of the plate-like element 1 along the approximately indicated beam path 5, thereby being explained in more detail with reference to the following drawings. Due to the provision of a luminescent material in the marking 3 area, light or generally electromagnetic radiation along the beam path 6 with a changed wavelength for light emitted from the light source 4 through the beam path 5 It is delivered to a recording device, such as a camera, indicated at approximately seven. The camera 7 is arranged with an optical filter 8 on the front, which allows, for example, only light of a changed wavelength along the beam path 6 to enter the recording device or the camera 7, in particular below with reference to the other figures. As will be explained in more detail in, for example, reflected light having a wavelength equal to the wavelength reflected in the area surrounding the marking 3 and emitted from the light source 4 will be prevented from passing through the filter 8.

기록 장치(7)는 대략 지시된 연결선(9)을 통해 평가 및 표시 장치 또는 유닛(10)과 결합되고, 유닛에서 기록 장치(7)에 수신된 신호의 기능으로서 예컨대 위치될 물체(1)의 위치 및/또는 정렬에 관한 평가, 특히 자동인 화상 평가가 수행된다.The recording device 7 is coupled with the evaluation and display device or the unit 10 via the generally indicated connecting line 9, and as a function of the signal received by the recording device 7 in the unit, for example, of the object 1 to be positioned. Evaluation regarding position and / or alignment, in particular automatic image evaluation, is performed.

특정 값에 대한 판형 물체(1)의 오조절 또는 오배치가 평가 장치(10)에서 검출되면, 기판이나 보관 또는 지지 장치(13)에 대해 예컨대 데카르트 좌표계에서 x, y 화살표 방향으로 판형 물체(1)를 배치 또는 변위시키는 장치는 예컨대 마킹(3)을 물체(1)의 정확한 배치 및 정렬의 측면에서 특정 설정 값에 맞도록 하기 위해 위치 설정용 제어 라인(11)을 통해 제어될 것이다.If misalignment or misalignment of the plate-like object 1 with respect to a specific value is detected in the evaluation device 10, the plate-like object 1 in the direction of the x, y arrows, for example in the Cartesian coordinate system, with respect to the substrate or the storage or support device 13. The arrangement or displacing device) will be controlled via a positioning control line 11, for example, in order to fit the marking 3 to a particular set point in terms of the correct placement and alignment of the object 1.

물체(1)의 오정렬시, X, Y 화살표 방향으로 기재(13)나 보관 또는 지지 장치를 변위시키는 장치(14)는 대안으로서 또는 부가적으로, 후속 처리 단계를 위해 판형 물체(1)의 정확한 배치를 가능하게 하기 위해 평가 유닛(10)에 의해 제어될 수 있다. 이런 후속 처리 단계는 예컨대 상세하게 도시되지 않은 드릴링 수단을 사용하는 레이저 드릴링을 포함할 수 있다.In the case of misalignment of the object 1, the device 14 for displacing the substrate 13 or the storage or support device in the direction of the X, Y arrows may alternatively or additionally provide for the correctness of the plate-like object 1 for subsequent processing steps. It can be controlled by the evaluation unit 10 to enable placement. Such subsequent processing steps may include, for example, laser drilling using drilling means not shown in detail.

도 1에 따른 실시예에서, 배치 대상인 물체(1)의 정확한 공간적 배치 또는 정렬을 달성하기 위해 예컨대 직경 방향으로 대향 배치된 제2 마킹(3)을 위해 대응하는 제2 광원(4)을 갖는 제2 기록 장치(7)가 제공될 수 있다. 대안적으로, 기록 장치(7)는 마킹(3) 영역 내로 대응하여 이동될 수 있고, 특히 마킹(3) 영역에 물체를 조사하기 위해 원래 사용되는 파장에 대해 변경되거나 변환된 파장을 갖는 광 또는 일반적으로는 전자기 방사의 기록이 다시 행해질 것이다.In the embodiment according to FIG. 1, a first having a corresponding second light source 4, for example for the second marking 3 arranged radially opposite in order to achieve an accurate spatial arrangement or alignment of the object 1 to be placed. 2 recording apparatuses 7 may be provided. Alternatively, the recording device 7 can be moved correspondingly into the marking 3 area, in particular light having a wavelength changed or converted to the wavelength originally used for irradiating an object to the marking 3 area or In general, recording of electromagnetic radiation will be done again.

도 2에 따른 상세한 도시로부터, 실질적으로 판형인 배치 대상 물체(1)의 마킹(3)은 완전한 구멍에 의해 형성됨이 분명하다. 또한, 도 2에는 13으로 지시된 기재나 보관 또는 지지 장치는 배치 대상인 물체(1)의 적어도 마킹(3) 영역에 발광 물질의 층(15)을 포함하고 있어서 광원(4)에서 빔 경로(5)를 따라 방출되는 광은 발광 층(15)에 의해 빔 경로(16)를 따른 다른 파장의 광으로 변환될 것임을 개략적으로 지시한다. 광학 필터(8)의 적절한 선택 후 이런 다른 파장의 광(6)은 필터를 통과하여 기록 장치(7)로 진입한다. 이에 비해, 빔 경로(16, 17)를 따라 물체(1) 표면에서 반사된 불변 파장의 광은 광학 필터(8)에 의해 차단되어 기록 장치(7)로 진입하는 것이 방지될 것이고, 그에 따라 기록 장치(7)로 진입한 광은 광원(4)에서 나온 광이 빔 경로(5)를 따라 마킹(3) 아래에 위치된 발광 물질(15) 위에 닿는 것에 의해 변환된 변경 파장의 광이 될 것이고, 그에 따라 표류 광의 영향 또는 반사광에 의한 영향이 배치 대상인 물체(1)의 정확한 배치 또는 정렬에 대한 평가에 영향을 미치지 않는 것이 간단하고 신뢰성 있는 방식으로 보장될 것이다.From the detailed illustration according to FIG. 2, it is clear that the marking 3 of the substantially plate-shaped placement object 1 is formed by a complete hole. In addition, the substrate or storage or support device indicated at 13 in FIG. 2 includes a layer 15 of luminescent material at least in the region of the marking 3 of the object 1 to be placed so that the beam path 5 in the light source 4 can be obtained. The light emitted along) is schematically indicated to be converted by the light emitting layer 15 into light of a different wavelength along the beam path 16. After appropriate selection of the optical filter 8, light of this other wavelength 6 passes through the filter and enters the recording device 7. In contrast, light of invariant wavelengths reflected at the surface of the object 1 along the beam paths 16, 17 will be blocked by the optical filter 8 and prevented from entering the recording device 7, thus recording The light entering the device 7 will be the light of the changed wavelength converted by the light from the light source 4 hitting the luminescent material 15 located below the marking 3 along the beam path 5. Therefore, it will be ensured in a simple and reliable manner that the influence of the stray light or the influence of the reflected light does not affect the evaluation of the correct placement or alignment of the object 1 to be placed.

따라서, 발광 층(15)의 단순한 제공과 그에 따라 원래 파장을 갖는 빔 경로(5)를 따른 광이 변화된 파장을 갖는 빔 경로(6) 내의 광으로 단순히 변환되는 것에 의해, 오정렬을 감소 또는 제거하도록 배치 대상인 물체(1)를 신뢰성 있고 정확하게 배치하는 것이 가능하다.Thus, by simply providing the light emitting layer 15 and thus the light along the beam path 5 with the original wavelength is simply converted to light in the beam path 6 with the changed wavelength, so as to reduce or eliminate misalignment. It is possible to reliably and accurately arrange the object 1 to be arranged.

현재 케이스에서 필수적인 것은 적어도 하나의 광원으로부터 빔 경로(5)에 대응하여 배치 대상인 물체로 조사되는 광이 광, 일반적으로 변화된 파장(6)의 전자기 방사를 방출하게 될 발광층(15)에 의해 흡수되는 것이고, 개략 지시된 빔 경로(6)를 따르는 상기 방사는 특히 필터(8)를 통과한 후 기록 장치에 후속 기록되고 선택적으로 추가로 평가된다.What is essential in the present case is that the light irradiated from the at least one light source to the object to be disposed corresponding to the beam path 5 is absorbed by the light emitting layer 15 which will emit light, generally electromagnetic radiation of the changed wavelength 6. Said radiation along the outlined beam path 6 is subsequently recorded in the recording device, in particular after passing through the filter 8 and optionally further evaluated.

도 1과 도 2에 도시된 형광 또는 발광층은 예컨대 형광 또는 형광색의 필름 도는 포일, 폴리머 또는 유리로 대체될 수 있다.The fluorescent or luminescent layers shown in FIGS. 1 and 2 may be replaced by, for example, fluorescent or fluorescent colored film or foil, polymer or glass.

도 3은 변형된 실시예를 나타내며, 원시 또는 초기 파장을 가지며 빔 경로(5)를 따라 광원(4)에서 나온 광은 마킹(19) 영역에서 실질적으로 판형인 물체(18) 상에 다시 조사되며, 도 3에 도시된 실시예에서 배치 대상인 물체(18)는 예컨대 다층 인쇄 회로 기판에 의해 형성된다. 도 3에서 자명한 바와 같이, 마킹(19)은 배치 대상인 물체(18)의 표면에 제공된 오목부 또는 블라인드 홀(blind hole)에 의해 형성되며, 배치 대상인 다층 물체(18)는 빔 경로(5)를 따라 충돌하는 광이 광, 일반적으로는 빔 경로(6)를 따르고 변화된 파장을 가지며, 추후 8로 지시된 광학 필터를 통과한 후 기록 장치(7)로 진입하는 전자기 방사로 재변환되도록 오목부 또는 마킹(19)의 바닥 영역에 발광 물질층(20)을 포함한다.FIG. 3 shows a modified embodiment, in which light from the light source 4 along the beam path 5 has a raw or initial wavelength and is irradiated back onto the substantially plate-shaped object 18 in the region of the marking 19. In the embodiment shown in FIG. 3, the object 18 to be disposed is formed by, for example, a multilayer printed circuit board. As is apparent from FIG. 3, the marking 19 is formed by a recess or blind hole provided in the surface of the object 18 to be placed, and the multilayer object 18 to be placed is a beam path 5. Concave so that the light impinging along the light, generally along the beam path 6 and having a changed wavelength, is later converted through the optical filter indicated at 8 into electromagnetic radiation entering the recording device 7. Or a light emitting material layer 20 in the bottom region of the marking 19.

도 2에 따른 실시예와 유사하게, 다시 16과 17로 지시된 빔 경로를 따라 물체(18)의 표면에서 반사되는 광은 필터(8)를 통과할 수 없거나 매우 감소된 강도로만 통과할 수 있어서 기록 장치(7)로 진입할 수 없다.Similar to the embodiment according to FIG. 2, the light reflected from the surface of the object 18 along the beam paths again indicated by 16 and 17 can not pass through the filter 8 or only pass at a very reduced intensity. It is not possible to enter the recording apparatus 7.

그러므로, 도 3에 도시된 실시예에서는 도 2에 따른 구성에 비해 기재(13)나 보관 또는 지지 장치에 발광층을 제공하는 것이 필요하지 않다.Therefore, in the embodiment shown in FIG. 3, it is not necessary to provide the light emitting layer on the substrate 13 or the storage or support device as compared with the configuration according to FIG.

도 4에 도시된 실시예에서, 21로 지시된 배치 대상인 물체는 그 상부면에 마킹(22)을 구비하며, 마킹은, 선행하는 실시예와 유사하게, 발광 마킹(22)에 부딪친 후 빔 경로(5)를 따라 광원(4)에서 방출되는 광이 빔 경로(6)를 따라 변화된 파장을 갖는 광으로 재변환되고 이후 그 변환광은 기록 장치(7)에 다시 기록된 후 선택적으로 후속 평가되도록 발광 물질로 형성된다.In the embodiment shown in FIG. 4, the object to be placed indicated by 21 has a marking 22 on its upper surface, the marking being similar to the preceding embodiment, the beam path after hitting the light emitting marking 22. The light emitted from the light source 4 along (5) is reconverted to light having a changed wavelength along the beam path 6 so that the converted light is recorded again in the recording device 7 and then optionally subsequently evaluated. It is formed of a luminescent material.

도 3에 따른 실시예와 유사하게, 기재(13)는 도 4에 따른 실시예의 어떤 발광층도 구비하지 않는다.Similar to the embodiment according to FIG. 3, the substrate 13 does not have any light emitting layer of the embodiment according to FIG. 4.

기재(13)에 대해 또는 기재와 함께 판형 물체(18 또는 221)의 배치를 위해, 판형 물체를 변위시키는 장치(12) 및/또는 판형 물체와 함께 기재(13)를 변위시키는 장치(14)가 또한 제공되고, 도 1 및 도 2에 따른 실시예에서와 유사하게 도 3 및 도 4에 따른 실시예의 기록 장치(7)를 따르도록 배열된 평가 장치에 결합될 수 있다.With respect to the substrate 13 or for placement of the plate-shaped object 18 or 221 with the substrate, an apparatus 12 for displacing the plate-shaped object and / or an apparatus 14 for displacing the substrate 13 with the plate-shaped object is provided. It is also provided and can be coupled to the evaluation device arranged to follow the recording device 7 of the embodiment according to FIGS. 3 and 4 similarly to the embodiment according to FIGS. 1 and 2.

도 2 및 도 4에서는 빔 경로(5, 6) 각각이 설명을 위해 지시 또는 제공되는 광원(4) 외에 4'로 지시된 적어도 하나의 추가의 광원이 제공될 수 있음으로 지시하고 있으며, 추가 광원은 예컨대 기록 장치(10) 영역에서 분해능을 향상시키는 데 사용될 수 있다.2 and 4 indicate that each of the beam paths 5, 6 may be provided with at least one additional light source indicated at 4 ′ in addition to the light source 4, which is indicated or provided for explanation, and further light sources. Can be used, for example, to improve the resolution in the area of the recording apparatus 10.

추가로 지시된 광원(4') 대신에, 예컨대 복수의 광원(4')이 기록 장치 또는 카메라(7) 주변에 거의 환형으로 배열될 수 있다. 도 1 및 도 2에 표현된 중심을 벗어난 구성에 대하여 이런 구성의 장점은 예컨대 복수의 광원(4')에서 특히 환형 구성을 갖는 그림자의 영향이 감소됨에 있다.Instead of the additionally indicated light source 4 ', for example, a plurality of light sources 4' can be arranged almost annularly around the recording device or the camera 7. The advantage of this arrangement over the off-center arrangements represented in FIGS. 1 and 2 is that the influence of shadows, especially with annular configurations, for example in a plurality of light sources 4 'is reduced.

광원(4)은 바람직하게는 좁은 스펙트럼 범위와 그에 따라 양호하게 형성된 컬러와 파장을 갖는 가시광 또는 자외선 또는 적외선 영역의 광이 방출되도록 예컨대 컬러 필터를 조합한 발광 다이오드, 레이저 다이오드, 다양한 종류의 램프 등으로 이루어질 수 있다. 적절한 파장과 컬러의 광원(4)은 배치 대상인 물체(1)의 조사를 위해 채용되는 광의 파장을 변환시키는 데 사용되는 발광 물질(15, 20 또는 22)와 협력하여 선택될 것이다.The light source 4 is preferably a light emitting diode, a laser diode, various kinds of lamps, etc. in combination with color filters, for example, to emit light in the visible or ultraviolet or infrared region having a narrow spectral range and thus a well formed color and wavelength. Can be made. The light source 4 of the appropriate wavelength and color will be selected in cooperation with the luminescent material 15, 20 or 22 used to convert the wavelength of the light employed for irradiation of the object 1 to be placed.

적절한 전자기 방사, 예컨대 자외광을 선택하는 경우, 인쇄 회로 기판 또는 일반적으로는 배치 대상인 물체(1)와 특히 그 폴리머의 물질의 고유 형광성을 사용하는 것도 가능하며, 이것은 도 3 및 도 4에 따른 실시예에 특히 적용 가능하다. 유사한 방식으로, 이것은 소위 반전 콘트라스트(reversed contrast)로서 도 1 및 도 2에 따른 실시예에 적용될 수 있다.In the case of selecting the appropriate electromagnetic radiation, for example ultraviolet light, it is also possible to use the intrinsic fluorescence of the printed circuit board or the object 1 that is generally placed and in particular the material of the polymer, which is carried out according to FIGS. 3 and 4. It is particularly applicable to the example. In a similar manner, this can be applied to the embodiment according to FIGS. 1 and 2 as so-called reversed contrast.

발광 물질(15, 20 또는 22)에 의해 변화된 파장과 함께, 발광 물질에 의해 마킹(3, 19, 22) 영역에 방출된 광의 컬러 또는 변화된 파장으로 조정된 필터링 기능을 갖는 대응하여 동조되는 광학 필터가 사용되며, 특히 광원(4, 4')으로부터의 광은 차폐될 것이다.Correspondingly tuned optical filter with filtering function adjusted to the color or the changed wavelength of light emitted by the luminescent material to the marking (3, 19, 22) region with the wavelength changed by the luminescent material 15, 20 or 22 Is used, in particular the light from light sources 4, 4 'will be shielded.

연속 배열된 기록 장치(7)를 갖는 광학 필터(8)는 예컨대 컬러 구분 또는 발광 물질(15, 20 또는 22)에 의해 변화된 파장으로 구분 또는 설정하는 것이 적절한 채널 또는 채널과 기록 장치(7)의 조합의 선택에 의해 가능하게 되는 예컨대 RGB 카메라와 같은 복수의 컬러 채널을 갖는 기록 장치(7)로 대체될 수도 있다.The optical filter 8 having the serially arranged recording device 7 is adapted to distinguish or set, for example, the wavelength changed by the color discrimination or light emitting material 15, 20 or 22 of the recording device 7. It may be replaced by a recording device 7 having a plurality of color channels such as, for example, an RGB camera, which is enabled by the selection of the combination.

여러 개의 컬러 채널을 갖는 기록 장치 또는 카메라 대신에, 여러 종류의 카메라, 예컨대 흑/백 CCD, CMOS 및 기타 등이 기록 장치(7)로서 채용될 수 있다.Instead of a recording device or camera having several color channels, various kinds of cameras, such as black / white CCD, CMOS and the like, may be employed as the recording device 7.

또한, 기록 장치(7) 및/또는 적어도 하나의 광원 영역에 이색 미러를 사용하는 것이 가능하다.It is also possible to use a dichroic mirror for the recording device 7 and / or at least one light source region.

예컨대 복수의 인쇄 회로 기판 또는 도 1에 지시된 바와 같은 인쇄 회로 기판 요소(2)를 구비하는 배치 대상의 판형 물체(1)를 사용시, 개별 인쇄 회로 기판 요소(2) 영역에 복수의 드릴 구멍, 통로 또는 미세 비아(microvias)를 제공하기 위해 특히 레이저 드릴링 장치와 같은 드릴링 장치를 사용하는 인쇄 회로 기판의 처리는 예컨대 물체(1)의 배치 및 정렬을 완료한 후 수행된다. 대안적으로 또는 부가적으로, 적어도 하나의 밀링 머신을 사용하는 밀링 공정도 채용할 수 있다.For example, when using a plate-like object 1 to be disposed having a plurality of printed circuit boards or printed circuit board elements 2 as indicated in FIG. 1, a plurality of drill holes in the area of the individual printed circuit board elements 2, The treatment of the printed circuit board using a drilling device, in particular a drilling device such as a laser drilling device, to provide passages or microvias is carried out, for example, after completing the placement and alignment of the object 1. Alternatively or additionally, a milling process using at least one milling machine can also be employed.

또한, 처리 대상의 물체(1)에 대해 정확하고 매우 정밀한 정렬 및 배치가 필요한 사진 인쇄 공정, 마스킹 공정, 실크 스크린 공정, 노광 공정 또는 삽입 공정 등과 같이 특히 인쇄 회로 기판의 처리 또는 제조의 측면에서 기타의 제조 단계도 수행될 수 있다.In addition, especially in terms of processing or manufacturing printed circuit boards, such as photo printing processes, masking processes, silk screen processes, exposure processes or insertion processes, which require precise and very precise alignment and placement of the object to be treated 1. The manufacturing step can also be performed.

1, 18, 21: 물체
3, 19, 20, 22: 마킹
4, 4': 광원
7: 기록 장치
8: 필터
12, 14: 변위 장치
13: 기재
15, 20, 22: 발광 물질
1, 18, 21: object
3, 19, 20, 22: marking
4, 4 ': light source
7: recording device
8: filter
12, 14: displacement device
13: description
15, 20, 22: light emitting material

Claims (21)

물체(1, 18, 21)를 기재(13)에 대해 배치 또는 정렬하되, 상기 물체(1, 18, 21)에는 특히 배치 대상인 물체(1, 18, 21)의 적어도 하나의 마킹(3, 19, 22) 영역에 광이 조사되고, 배치 대상인 물체(1, 18, 21)로부터 특히 마킹(3, 19, 22) 및/또는 기재(13)로부터의 반사광은 기록 장치(7)에 기록된 후 선택적으로 평가되고 상기 물체(1, 18, 21)의 위치는 기록된 후 선택적으로 평가되는 반사광을 기초로 결정되고 그리고/또는 상기 물체(1, 18, 21)의 위치 또는 정렬이 수정되는, 물체의 배치 또는 정렬 방법으로서,
상기 마킹(3, 19, 22) 영역에 특히 발광 물질(15, 20, 22)을 사용함으로써 조사에 사용되는 광이 다른 파장의 광으로 변환되고, 상기 다른 파장의 광이 기록 장치(7)에 기록되어 선택적으로 평가되는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 방법.
Arrange or align the objects 1, 18, 21 with respect to the substrate 13, wherein the objects 1, 18, 21 have at least one marking 3, 19 of the object 1, 18, 21, in particular to be placed. Light is irradiated to the area 22, and the reflected light from the objects 1, 18, 21 to be placed, in particular from the markings 3, 19, 22 and / or the substrate 13 is recorded in the recording device 7 The object to be selectively evaluated and the position of the object 1, 18, 21 is determined based on the reflected light which is recorded and then optionally evaluated and / or the position or alignment of the object 1, 18, 21 is modified As a method of placement or alignment of,
By using the light emitting materials 15, 20, 22 in particular in the areas of the markings 3, 19, 22, the light used for irradiation is converted into light of different wavelengths, and the light of the different wavelengths is transferred to the recording apparatus 7 A method of placement or alignment of an object, characterized in that it is recorded and optionally evaluated.
제1항에 있어서, 상기 물체(1, 18, 21)의 조사를 위해 협소한 스펙트럼 범위의 광이 사용되며, 상기 광은 상기 발광 물질(15, 20, 22)에 의해 조사에 사용된 상기 광의 파장과 다른 파장의 광으로 변환되는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 방법.A light in a narrow spectral range is used for the irradiation of the objects 1, 18, 21, wherein the light is of the light used for irradiation by the luminescent material 15, 20, 22. A method of arranging or aligning an object, which is converted into light having a wavelength different from that of the wavelength. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기록 장치(7) 앞에는 변화된 파장의 광의 파장에 동조되는 특히 광학 필터와 같은 필터(8)가 제공되는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 방법.Method according to one of the preceding claims, characterized in that in front of the recording device (7) a filter (8), in particular an optical filter, is tuned to the wavelength of the light of the changed wavelength. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기록 장치(7)는 다른 파장의 광을 위한 복수의 기록 채널을 포함하고, 채널은 반사광을 기록하고 선택적으로 후속 평가하기 위해 변화된 파장의 광의 함수로서 선택되는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 방법.3. The recording device (7) according to claim 1 or 2, wherein the recording device (7) comprises a plurality of recording channels for light of different wavelengths, the channels being selected as a function of the light of the changed wavelength to record and optionally subsequently evaluate the reflected light. Method of placing or aligning an object. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 배치 및/또는 정렬 대상인 상기 물체(1, 18, 21)를 조사하기 위한 광원(4)으로서 컬러 필터를 조합한 발광 다이오드, 레이저 다이오드 또는 백열등과 가스 방출 램프가 사용되는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 방법.The light emitting diode, laser diode or incandescent lamp according to any one of claims 1 to 4, wherein a color filter is combined as a light source 4 for irradiating the objects 1, 18, 21 to be arranged and / or aligned. And gas discharge lamps are used. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기록 장치(7) 및/또는 광원(4) 앞에는 이색 미러가 제공되는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 방법.Method according to one of the preceding claims, characterized in that a dichroic mirror is provided in front of the recording device (7) and / or the light source (4). 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 배치 및/또는 정렬 대상인 상기 물체(18, 21)는 적어도 하나의 발광 물질의 마킹(20, 22)을 갖는 실질적으로 판형인 요소로 이루어진 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 방법.7. The object (18) according to claim 1, wherein the object (18, 21) to be placed and / or aligned consists of a substantially plate-like element having markings (20, 22) of at least one luminescent material. Characterized in that the arrangement or alignment of the object. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 배치 및/또는 정렬 대상인 상기 물체(1, 18, 21)에는 그 자체가 알려진 방식으로 적어도 두 개의 마킹(3, 19, 22)이 마련되는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 방법.8. The object (1, 18, 21) according to claim 1, wherein the object (1, 18, 21) to be arranged and / or aligned is provided with at least two markings (3, 19, 22) in a manner known per se. A method for arranging or aligning an object, characterized in that. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마킹(18)은 오목부 또는 리세스에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 방법.9. A method according to any one of the preceding claims, wherein the marking (18) is formed by recesses or recesses. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마킹(3)은 완전한 구멍으로 형성되고 상기 기재(13)는 발광 물질의 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 방법.10. A method according to any one of the preceding claims, characterized in that the marking (3) is formed as a complete hole and the substrate (13) comprises a layer of luminescent material. 물체(1, 18, 21)를 기재(13)에 대해 배치 또는 정렬하되, 상기 물체(1, 18, 21)에 특히 배치 대상인 상기 물체(1, 18, 21)의 적어도 하나의 마킹(3, 19, 22) 영역에 광을 조사하는 적어도 하나의 광원(4, 4')과, 배치 대상인 상기 물체(1, 18, 21)로부터 특히 마킹(3, 19, 22) 및/또는 기재(13)로부터의 반사광을 기록하고 선택적으로 평가하고 기록된 후 선택적으로 평가되는 반사광을 기초로 상기 물체(1, 18, 21)의 위치를 결정하고 그리고/또는 상기 물체(1, 18, 21)의 위치 또는 정렬을 수정하는 기록 장치(7)가 마련되는, 물체의 배치 또는 정렬 장치로서,
상기 기록 장치(7)는 특히 발광 물질(15, 20, 22)을 사용함으로써 배치 및/또는 정렬 대상인 상기 물체(1, 18, 21)의 상기 마킹(3, 19, 22) 영역에서 반사되는 상기 물체(1, 18, 21)에 조사되는 광의 파장에 대해 변화된 파장의 광을 선택적으로 기록하는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 장치.
Arrange or align the objects 1, 18, 21 with respect to the substrate 13, wherein at least one marking 3, 3, of the objects 1, 18, 21 that is to be placed specifically on the objects 1, 18, 21. Markings 3, 19, 22 and / or substrate 13 in particular from at least one light source 4, 4 ′ for irradiating light to the areas 19, 22 and the objects 1, 18, 21 to be arranged. Record and selectively evaluate the reflected light from and determine the position of the object 1, 18, 21 based on the reflected light which is recorded and then selectively evaluated and / or the position of the object 1, 18, 21 or A device for arranging or aligning an object, provided with a recording device 7 for correcting an alignment,
The recording device 7 is in particular reflected by the area of the markings 3, 19, 22 of the objects 1, 18, 21 that are to be placed and / or aligned by using the light emitting materials 15, 20, 22. A device for arranging or aligning an object, characterized by selectively recording light of a wavelength changed with respect to the wavelength of light irradiated to the object (1, 18, 21).
제11항에 있어서, 상기 변화된 파장의 광에 동조된 필터(8), 특히 광학 필터가 상기 기록 장치(7) 앞에 제공되는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 장치.12. Apparatus according to claim 11, characterized in that a filter (8), in particular an optical filter, is provided in front of the recording device (7) tuned to the light of the changed wavelength. 제11항에 있어서, 상기 기록 장치(7)는 다른 파장의 광을 기록하는 복수의 컬러 채널을 포함하는 특히 카메라와 같은 기록 장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 장치.12. Device according to claim 11, characterized in that the recording device (7) consists of a recording device, in particular a camera, comprising a plurality of color channels for recording light of different wavelengths. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 배치 및/또는 정렬 대상인 상기 물체(1, 18, 21)를 상기 기재(13)에 대해 변위시키는 장치(12, 14)가 상기 기록 장치(7)에 결합되거나 결합될 수 있는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 장치.14. An apparatus according to any one of claims 11 to 13, wherein the device (12, 14) for displacing the objects (1, 18, 21) to be arranged and / or aligned with respect to the substrate (13) is characterized in that the recording device ( 7) arrangement or alignment device of an object, characterized in that coupled to or can be coupled. 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광원(4)은 컬러 필터 등과 조합한 발광 다이오드, 레이저 다이오드 또는 백열등과 가스 방출 램프에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 장치.The arrangement or alignment arrangement of an object as claimed in any one of claims 11 to 14, characterized in that the light source (4) is formed by a light emitting diode, a laser diode or an incandescent lamp and a gas emitting lamp in combination with a color filter or the like. . 제11항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 배치 및/또는 정렬 대상인 상기 물체(18, 21)는 적어도 하나의 발광 물질의 마킹(20, 22)을 포함하는 실질적으로 판형인 요소에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 장치.The object (18) according to claim 11, wherein the object (18, 21) to be placed and / or aligned is by means of a substantially plate-shaped element comprising markings (20, 22) of at least one luminescent material. Arrangement or alignment device of an object, characterized in that it is formed. 제11항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 배치 및/또는 정렬 대상인 상기 물체(1, 18, 21)에는 자체가 알려진 방식으로 적어도 두 개의 마킹(3, 19, 22)이 마련되는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 장치.The method according to any one of claims 11 to 16, wherein the object (1, 18, 21) to be placed and / or aligned is provided with at least two markings (3, 19, 22) in a manner known per se. Device for positioning or aligning an object. 제11항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, 배치될 상기 물체(18)의 마킹(19)은 오목부 또는 리세스에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 장치.18. Apparatus according to any one of claims 11 to 17, characterized in that the marking (19) of the object (18) to be arranged is formed by a recess or recess. 제11항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 배치될 상기 물체(1)의 마킹(3)은 완전한 구멍에 의해 형성되고 상기 기재(13)는 발광 물질의 층(15)을 포함하는 것을 특징으로 하는 물체의 배치 또는 정렬 장치.19. The marking according to claim 11, wherein the marking 3 of the object 1 to be placed is formed by a complete hole and the substrate 13 comprises a layer 15 of luminescent material. Device for positioning or aligning an object. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 방법과 제11항 내지 제19항 중 어느 한 항에 따른 장치를 판형 요소(1, 18, 21), 특히 인쇄 회로 기판을 제조 또는 처리 중에 배치하기 위해 사용하는 물체의 배치 또는 정렬 방법 및 장치의 용도.A method according to any one of claims 1 to 10 and a device according to any one of claims 11 to 19 are arranged during the manufacture or processing of the plate-shaped elements 1, 18, 21, in particular a printed circuit board. Use of arrangements and arrangements of objects and apparatus for use. 제20항에 있어서, 드릴링 장치 특히 레이저 드릴링 장치를 사용하는 드릴링 공정, 밀링 공정, 사진 인쇄 공정, 마스킹 공정, 실크 스크린 공정, 노광 공정 또는 삽입 공정 등을 수행하기 위해 인쇄 회로 기판(1, 18, 21)의 배치 및 정렬에 사용하는 물체의 배치 또는 정렬 방법 및 장치의 용도.21. The printed circuit board 1, 18, according to claim 20, for carrying out a drilling process, in particular a drilling process using a laser drilling device, a milling process, a photo printing process, a masking process, a silk screen process, an exposure process or an insertion process, or the like. 21) The method of arranging or aligning an object for use in the arrangement and alignment of 21) and the use of the device.
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