KR20100082997A

KR20100082997A - 진공 게이트 밸브

Info

Publication number: KR20100082997A
Application number: KR1020090002333A
Authority: KR
Inventors: 하일수
Original assignee: 프리시스 주식회사
Priority date: 2009-01-12
Filing date: 2009-01-12
Publication date: 2010-07-21
Also published as: KR101570477B1

Abstract

본 발명은 진공 게이트 밸브에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브는, 챔버와 진공펌프에 연결되는 메인유체통로가 형성되고, 상기 메인유체통로를 직교방향으로 관통하는 압축공기 유입공간이 형성되는 하우징; 상기 압축공기 유입공간에 설치되어 상기 메인유체통로를 기압차에 의하여 개폐시키는 체크밸브; 상기 하우징 상부의 외주면 설치되며, 제1압축공기 유입부가 형성되어 있는 중공형 제1몸체:와, 상기 중공형 제1몸체의 하부에 설치되며, 제2압축공기 유입부가 형성되는 중공형 제2몸체:가 구비되는 밀폐용기;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브에 따르면, 메인유체통로를 구조가 단순하며 동력원이 필요없는 체크밸브를 설치하여 개폐시키기 때문에, 제조 공정이 간편하며, 제조 비용이 절감되는 장점이 있다.

반도체, 진공, 게이트 밸브

Description

진공 게이트 밸브{Vacuum gate valve}

본 발명은 진공 게이트 밸브에 관한 것으로서, 메인유체통로를 구조가 단순하며 동력원이 필요없는 체크밸브를 설치하여 개폐시키기 때문에, 제조 공정이 간편하며, 제조 비용이 절감되는 진공 게이트 밸브에 관한 것이다.

또한, 체크밸브의 구조가 단순하기 때문에, 반영구적으로 사용이 가능하며, 체크밸브가 손상되더라도 체크밸브의 교체가 용이한 진공 게이트 밸브에 관한 것이다.

일반적으로 반도체는 고정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다. 이러한 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조된다. 따라서 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.

이에 따라, 진공밸브는 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 상기의 챔버내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어, 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하는 중요한 역할을 한다. 따라서, 상기의 진공밸브는 그 수명을 연장하기 위한 노력 또한 중요한 문제점으로 대두되고 있다.

이하, 도 1과 도 2를 참조하여 종래의 진공 게이트 밸브를 설명하기로 한다.

도 1과 도 2는 본 출원인에 의하여 등록된 대한민국 등록특허공보 제 10-0717865호의 "개선된 부식방지용 진공 게이트밸브"에 개재되어 있는 것으로서, 도 1과 도 2를 참조하면, 종래의 진공 게이트 밸브는 챔버와 진공펌프에 연결되는 메인유체통로(110)가 형성되고, 상기 메인유체통로(110)를 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간(130)이 형성된 하우징(100); 상기 슬라이드 공간(130)내에 삽입되어서 상기 메인유체통로(110)를 개폐하는 유체통로 밀폐부재(200); 상기 유체통로 밀폐부재(200)를 구동시키는 제1액츄에이터(400); 상기 메인유체통로와 평행한 방향으로 수직이동을 하며 상기 슬라이드 공간을 개폐시키는 부식방지 밀폐부재(500); 상기 부식방지 밀폐부재(500)를 상하방향으로 이동시키는 제2액츄에이터(600);를 포함하는 진공게이트밸브에 있어서, 상기 제2엑츄에이터(600)는 상기 부식방지 밀폐부재(500)를 상방향으로 이동시키는 제2압축공기 유입부(612)가 형성되어있는 중공형 제1몸체(610);와 상기 부식방지 밀폐부재를 하방향으로 이동시키는 제 3압축공기 유입부(622)가 형성되며, 상단에는 상기 챔버로부터 진공펌프로 유체를 이동시 키는 하나 이상의 유량조절홈(625)이 형성된 중공형 제2몸체(620);를 포함하고 있다.

그러나, 상기와 같은 종래의 진공 게이트 밸브는 상기 메인유체통로(110)를 개폐시키기 위하여 상기 유체통로 밀폐부재(200)를 별도로 구비하여야 하며, 상기 메인유체통로(110)를 개폐시키는 유체통로 밀폐부재(200)를 작동하기 위한 동력원을 설치하여야 하기 때문에, 구성이 복잡해지며 설치 비용이 증가되는 문제점이 있었다.

또한, 상기 유체통로 밀폐부재(200)가 손상될 경우, 상기 유체통로 밀폐부재(200)를 교체하기가 번거롭기 때문에, 반도체 제조 공정에 있어서 차질이 발생하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 메인유체통로를 구조가 단순하며 동력원이 필요없는 체크밸브를 설치하여 개폐시키기 때문에, 제조 공정이 간편하며, 제조 비용이 절감되는 진공 게이트 밸브를 제공하는 것이다.

또한, 체크밸브의 구조가 단순하기 때문에, 반영구적으로 사용이 가능하며, 체크밸브가 손상되더라도 체크밸브의 교체가 용이한 진공 게이트 밸브를 제공하는 것이다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브는, 챔버와 진공펌프에 연결되는 메인유체통로가 형성되고, 상기 메인유체통로를 직교방향으로 관통하는 압축공기 유입공간이 형성되는 하우징; 상기 압축공기 유입공간에 설치되어 상기 메인유체통로를 기압차에 의하여 개폐시키는 체크밸브; 상기 하우징 상부의 외주면 설치되며, 제1압축공기 유입부가 형성되어 있는 중공형 제1몸체:와, 상기 중공형 제1몸체의 하부에 설치되며, 제2압축공기 유입부가 형성되는 중공형 제2몸체:가 구비되는 밀폐용기;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 체크밸브는, 중심부가 관통형성되는 밸브몸체의 일측에 고정링크 에 의하여 고정되고, 상기 메인유체통로와 상기 압축공기 유입공간의 기압차에 의하여 중심부를 개폐시키는 개폐막;을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 하우징과 상기 중공형 제1몸체의 사이에 설치되어, 상기 중공형 제1몸체를 상기 하우징에 고정시키는 고정실링;을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 고정실링은 다단의 주름단을 형성하여 상기 하우징과 상기 중공형 제1몸체를 밀착고정시키는 것을 특징으로 한다.

이상 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 메인유체통로를 구조가 단순하며 동력원이 필요없는 체크밸브를 설치하여 개폐시키기 때문에, 제조 공정이 간편하며, 제조 비용이 절감되는 장점이 있다.

또한, 체크밸브의 구조가 단순하기 때문에, 반영구적으로 사용이 가능하며, 체크밸브가 손상되더라도 체크밸브의 교체가 용이한 장점이 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하 기로 한다. 각 도면에 제시된 부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 사시도가 도시되어 있으며, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 절개사시도가 도시되어 있다. 또한, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 단면도가 도시되어 있으며, 도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 체크밸브의 부분확대도가 도시되어 있다.

도 3 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브는 하우징(100), 체크밸브(200), 밀폐용기(300)가 포함되어 있으며, 고정실링(330)이 더 포함된다.

상기 하우징(100)은 메인유체통로(110), 압축공기 유입공간(120)을 포함한다.

상기 메인유체통로(110)는 일측은 챔버에 연결되는 유입부(111)가 형성되며, 타측은 진공펌프에 연결되는 유출부(112)가 형성되는 것이 바람직하다. 상기 메인유체통로(110)는 상기 챔버에서 유입되는 유체가 상기 진공펌프로 유출되는 통로라고 할 수 있다.

상기 압축공기 유입공간(120)은 상기 메인유체통로(110)를 직교방향으로 관통하여 형성된다. 후술할 체크밸브(200)는 압축공기 유입공간(120)을 통하여 이동하는 압축공기의 진행 방향에 따라 상기 메인유체통로(110)를 개폐하는 역할을 한다.

체크밸브(200)는 상기 압축공기 유입공간(120)에 설치되어 상기 메인유체통로(110)를 기압차에 의하여 개폐시킨다. 상기 체크밸브(200)는 외경이 상기 압축공기 유입공간(120)의 내경과 동일하게 형성되며, 중심부가 관통형성되어 공기가 인입되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 체크밸브(200)는 일측에 개폐막(230)을 설치함으로써, 상기 압축공기 유입공간(120)을 개방 또는 폐쇄할 수도 있다. 상기 개폐막(230)은 중심부가 관통형성되는 밸브몸체(210)의 일측에 고정링크(220)에 의하여 고정될 수 있다. 이때, 상기 고정링크(220)는 상기 개폐막(230)의 일측을 고정함으로써, 상기 개폐막(230)이 상기 밸브몸체(210)로부터 이탈되지 않고 상기 밸브몸체(210)의 중심부를 개방 또는 폐쇄할 수 있도록 이동이 가능하도록 한다. 그리고, 상기 체크밸브(200)는 연질의 재질로 형성되어, 상기 밸브몸체(210)의 중심부를 보다 견고하게 폐쇄하도록 하는 것이 좋다.

이하, 도 7을 참조하여, 상기 체크밸브(200)의 작동 과정을 상세히 설명한 다.

먼저, 도 7a를 참조하면, 상기 개폐막(230)은 상기 메인유체통로(110)로부터 통과되는 강한 공기의 압력에 의하여 우측으로 이동하게 된다. 이에 따라, 상기 개폐막(230)은 상기 밸브몸체(210)의 중심부를 폐쇄함으로써, 상기 압축공기 유입공간(120)을 폐쇄한다.

또한, 도 7b를 참조하면, 상기 개폐막(230)은 상기 압축공기 유입공간(120)으로부터 유입되는 압축공기에 의하여 좌측으로 이동하게 된다. 이때, 상기 개폐막(230)의 좌측부는 일측이 개방되어 있기 때문에, 상기 개폐막(230)은 상기 메인유체통로(110)의 개방하게 된다. 따라서, 상기 체크밸브(200)는 별도의 개폐부재와 개폐부재를 작동시키기 위한 동력원을 설치할 필요 없이, 상기 하우징(100) 내부의 기압차에 의하여 상기 메인유체통로(110)와 상기 압축공기 유입공간(120)을 개방 또는 폐쇄하는 것이 본 발명의 가장 큰 특징이라 할 수 있다.

밀폐용기(300)는 상기 하우징(100) 상부의 외주면 설치되는 중공형 제1몸체(310)와, 상기 중공형 제1몸체(310)의 하부에 설치되는 중공형 제2몸체(320)가 구비된다.

상기 중공형 제1몸체(310)는 상기 하우징(100)의 외주면에 결합이 가능하도 록 상기 하우징(100) 외주면 상부를 따라 돌출부(611)가 형성되는 것이 좋다. 그리고 상기 중공형 제2몸체(320)는 상기 중공형 제1몸체(310)의 하단에 설치되어, 상기 중공형 제1몸체(310)와 상기 중공형 제2몸체(320)는 상기 하우징(100)을 감싸게 된다.

한편, 상기 하우징(100)과 상기 중공형 제1몸체(310)의 사이에는 고정실링(330)이 설치되어, 상기 중공형 제1몸체(310)를 상기 하우징(100)에 고정시킬 수도 있다. 이때, 상기 고정실링(330)은 연질의 재질로 형성되어, 상기 중공형 제1몸체(310)를 상기 하우징(100)에 보다 견고히 밀착 고정되도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 고정실링(320)은 다단의 주름단을 형성하여 상기 하우징(100)과 상기 중공형 제1몸체(310)를 밀착고정시킬 수도 있다. 따라서, 상기 고정실링(320)에 다단의 주름단을 형성하여, 상기 중공형 제1몸체(310)가 상기 하우징(100)으로부터 수직의 방향으로 움직임을 제한함으로써, 상기 하우징(100)과 상기 중공형 제1몸체(310)를 보다 견고하게 고정하도록 하는 것이 특징이다.

도면과 명세서에서 최적의 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

도 1은 종래의 진공 게이트 밸브의 측면도,

도 2는 종래의 진공 게이트 밸브의 유체통로 밀폐부재의 구성을 보인 설명도,

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 사시도,

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 절개사시도,

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 단면도,

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 체크밸브의 부분확대도,

도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 체크밸브의 상태도로서,

a는 ....

b는 ...이다.

*도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명*

100: 하우징 110: 메인유체통로

111: 유입부 112: 유출부

120: 압축공기 유입공간

200: 체크밸브 210: 밸브몸체

220: 고정링크 230: 개폐막

300: 밀폐용기 310: 중공형 제1몸체

320: 중공형 제2몸체 330: 고정실링

Claims

챔버와 진공펌프에 연결되는 메인유체통로(110)가 형성되고, 상기 메인유체통로(110)를 직교방향으로 관통하는 압축공기 유입공간(120)이 형성되는 하우징(100);

상기 압축공기 유입공간(120)에 설치되어 상기 메인유체통로(110)를 기압차에 의하여 개폐시키는 체크밸브(200);

상기 하우징(100) 상부의 외주면 설치되는 중공형 제1몸체(310):와, 상기 중공형 제1몸체(310)의 하부에 설치되는 중공형 제2몸체(320):가 구비되는 밀폐용기(300);를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
청구항 1에 있어서,

상기 체크밸브(200)는,

중심부가 관통형성되는 밸브몸체(210)의 일측에 고정링크(220)에 의하여 고정되고, 상기 메인유체통로(110)와 상기 압축공기 유입공간(120)의 기압차에 의하여 중심부를 개폐시키는 개폐막(230);을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
청구항 1에 있어서,

상기 하우징(100)과 상기 중공형 제1몸체(310)의 사이에 설치되어, 상기 중공형 제1몸체(310)를 상기 하우징(100)에 고정시키는 고정실링(330);을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
청구항 3에 있어서,

상기 고정실링(320)은 다단의 주름단을 형성하여 상기 하우징(100)과 상기 중공형 제1몸체(310)를 밀착고정시키는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.