KR20100081140A - 진동방지를 위한 플로어 장치 - Google Patents

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KR20100081140A
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박성호
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Abstract

본 발명은 진동방지를 위한 플로어 장치에 관한 것으로, 기초 바닥면에 밀착 고정되게 설치되고, 상기 기초 바닥면으로부터 발생하는 진동의 전달을 방지하기 위한 댐퍼 부재를 구비한 진동 저감부, 상기 진동 저감부의 상부에 고정되는 베이스 부재, 상기 베이스 부재에 수직하게 설치된 파이프 부재, 상기 파이프 부재에 삽입되어, 상하 승강운동하는 페데스달 로드, 상기 페데스달 로드에 체결되어 상기 페데스달 로드의 상하 승강운동을 조절하는 페데스달 너트, 상기 페데스달 로드의 상부에 결합된 지지 헤드, 및 상기 지지 헤드의 상부에 배치되어 모서리부가 지지되는 다수의 억세스 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하며, 노광 설비에 진동 전달을 최소화할 수 있는 플로어 장치를 제공한다.
댐퍼 부재, 에어 패드, 진동 저감부, 페데스달 로드, 너트, 지지 헤드, 억세스 플레이트, 플로어

Description

진동방지를 위한 플로어 장치{Floor apparatus for preventing vibration}
본 발명은 진동방지를 위한 플로어 장치에 관한 것이다.
최근, 전자산업의 발달에 전자 부품의 고기능화, 경박단소화에 대한 요구가 급증하고 있고, 이러한 전자부품을 탑재하는 인쇄회로기판 또한 고밀도 배선화 및 박판이 요구되고 있다.
특히, 최신 양산 라인의 경우 신호가 지나가는 구리 배선과 인접한 구리배선까지의 거리를 지칭하는 라인 및 스페이스의 크기가 각각 10㎛까지 적용이 되고 있으며, 인쇄회로기판의 두께 또한 점점 박형화 되어 가고 있다.
이러한 미세패턴을 갖는 인쇄회로기판은 노광공정을 수반하는 사진 식각 공정에 의해 형성되는데, 인쇄회로기판을 구성하는 재료가 화합물인 레진과 구리로 구성되기 때문에 인쇄회로기판의 제조공정 중 표면처리과정에서 물리적, 화학적 스트레스를 받고, wet 공정을 지나가면서 흡습과 건조를 반복하면서 인쇄회로기판에 휨과 변형이 발생하게 됨으로써, 라인을 구현하는 노광장비에서 편심 불량이 증가하는 문제점이 발생하고 있다.
특히 최근에는 오토 스케일 노광 방식을 이용하는 노광 장치가 개발되고 있 으며, 예를 들어 도 1에 도시된 프로젝션 노광 장치 및 도 2에 도시된 LDI(Laser direct imaging) 노광 장치가 사용되고 있다.
여기서, 도 1에 도시된 프로젝션 노광 장치(40)는 마스크(46)를 통과한 UV광이 오토스케일 기능의 렌즈(48)를 통과하여 스케일 변형된 후, 프로젝션 렌즈(50)를 통과하여 절연층(42a)에 금속층(42b)이 형성된 기판(42) 상에 배치된 감광성 레지스트(44)에 조사되어 노광공정이 수행된다.
또한, 도 2에 도시된 LDI 노광 장치(60)는 조명부(66)의 광이 디지털 마이크로 미러 소자(Digital Micromirror Device; DMD)(68)로 전달되고, 상기 디지털 마이크로 미러 소자(68)가 외부 신호를 받아 선택적으로 상기 조명부(66)의 광을 반사시켜, 이미지 패턴이 포함된 광이 절연층(62a)에 금속층(62b)이 형성된 기판(62) 상에 배치된 감광성 레지스트(64)에 조사되어 노광공정이 수행된다.
즉, 도 1 및 도 2에 도시된 오토 스케일 노광 방식을 이용하는 프로젝션 노광 장치(40) 및 LDI 노광 장치(60)는 기판의 레이어별로 정렬마크와 노광 설비의 기준마크를 비교한 후, 기계적으로 오토스케일 기능의 렌즈(48)의 배율을 바꾸거나 디지털 마이크로 미러 소자(68)로 전달되는 외부 신호 데이터를 바꿈으로써 기판의 스케일 변화에 대응하고 있다.
그러나, 도 1 및 도 2에 도시된 오토 스케일 노광 방식을 이용하는 프로젝션 노광 장치(40) 및 LDI 노광 장치(60)는 자체 진동 또는 외부로부터의 진동에 취약하여 미세회로를 노광시 노광 해상도가 저하되는 문제점이 있었다.
특히, 노광 설비의 경우 청정도 관리를 위해 억세스 플로어(access floor) 구조를 갖는 클린룸 내에 설치되는데, 도 3에는 일반적인 클린룸의 플로어 장치에 사용되는 억세스 플로어 장치를 개략적으로 도시되어 있고, 도 4에는 도 3에 도시된 억세스 플로어 구조를 사용하여 노광 설비가 설치된 상태가 개략적으로 도시되어 있다.
도 3에 도시한 바와 같이, 종래기술에 따른 억세스 플로어 장치(80)는, 기초 바닥면(82)에 고정되게 설치되는 페데스달 베이스(84)에 수직하게 설치된 페데스달 파이프(86), 상기 페데스달 파이프(86)에 너트부재(88)를 통해 승하강 가능하도록 체결된 페데스달 로드(90), 및 상기 페데스달 로드(90)에 체결된 지지 헤드(94)에 의해 지지되는 억세스 플레이트(94)를 포함하여 구성된다.
이러한 구성을 갖는 억세스 플로어 장치(10)는 도 4에 도시한 바와 같이, 다수개 구비되어 그 상부에 억세스 플레이트(94)를 인접하게 맞된 상태로, 그 상부에 노광 설비(96)를 배치하여 지지한다.
그러나, 이러한 구성을 갖는 억세스 플로어 장치(80)는 기초 바닥면(82)으로부터 진동이 발생하는 경우 억세스 플로어 장치(80)를 통해 노광 설비(96)로 전달될 수 밖에 없어 노광 해상도가 약화되는 문제점이 있었다.
또한, 노광 설비(96)가 배치되는 영역과 그렇지 아니한 영역이 억세스 플레이트(94)를 통해 연결됨으로써 노광 설비(96)가 배치되지 아니한 영역으로부터 노광 설비(96)가 배치되는 영역으로 진동이 전달되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 댐퍼 부재를 구비하여 노광 설비에 진동의 전달을 최소화할 수 있도록 한 진동방지를 위한 플로어 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 노광 설비가 배치되는 진동방지 영역을 기존의 플로어 장치에 의해 지지되는 다른 영역과 구획함으로써 노광 설비가 배치되는 진동방지 영역으로 진동이 전달되는 것을 최소화할 수 있는 진동방지를 위한 플로어 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진동방지를 위한 플로어 장치는, 기초 바닥면에 밀착 고정되게 설치되고, 상기 기초 바닥면으로부터 발생하는 진동의 전달을 방지하기 위한 댐퍼 부재를 구비한 진동 저감부, 상기 진동 저감부의 상부에 고정되는 베이스 부재, 상기 베이스 부재에 수직하게 설치된 파이프 부재, 상기 파이프 부재에 삽입되어, 상하 승강운동하는 페데스달 로드, 상기 페데스달 로드에 체결되어 상기 페데스달 로드의 상하 승강운동을 조절하는 너트, 상기 페데스달 로드의 상부에 결합된 지지 헤드, 및 상기 지지 헤드의 상부에 배치되어 모서리부가 지지되는 다수의 억세스 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 진동 저감부는, 상기 기초 바닥면에 밀착 고정되게 설치되는 베이스 플랜지, 및 상기 베이스 플렌지에 배치되는 댐퍼 부재를 포함하는 것을 특 징으로 한다.
또한, 상기 댐퍼 부재는 상기 베이스 플렌지에 대칭되는 구조로 다수개 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 댐퍼 부재는 4개가 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 댐퍼 부재는 에어 패드(air pad)인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 베이스 부재는 상기 댐퍼 부재의 상부에 배치된 상태로 서포트 볼트에 의해 상기 베이스 플랜지에 체결되어 지지되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 서포트 볼트의 체결 범위에 따라 상기 댐퍼 부재의 높이가 조절되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 지지 헤드의 상부에는 억세스 홈이 형성되어 있고, 상기 억세스 플레이트의 모서리가 상기 억세스 홈에 안착된 상태로 지지되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 억세스 플레이트는 체결부재에 의해 상기 지지 헤드에 고정되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 지지 헤드는 2개 내지 4개의 억세스 플레이트를 지지하는 것을 특징으로 한다.
또한, 억세스 플레이트에는 다수의 억세스 플로어가 사방 연속으로 배열되어 노광 설비가 배치되는 바닥을 구성하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 노광 설비가 배치되는 진동방지를 위한 영역은 진동의 전달을 최소화할 수 있도록 다른 영역과 구획되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
본 발명에 따르면, 플로어 장치가 댐퍼 부재를 구비함으로써 기초 바닥면으로부터 전달되는 진동을 감쇠하여, 플로어 장치 상부에 배치되는 노광 설비에 진동의 전달이 최소화되게 되며, 이로 인해 노광 해상도를 향상시킬 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 따르면 노광 설비가 배치되는 진동 방지 영역이 기존의 플로어 장치에 의해 지지되는 다른 영역과 구획됨으로써 다른 영역으로부터 진동 방지 영역으로 진동의 전달이 최소화되게 된다.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공 지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진동방지를 위한 억세스 플로어 장치의 개략적인 전면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 억세스 플로어 장치의 개략적인 사시도이다.
도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 억세스 플로어 장치(100)은 진동 저감부(110), 베이스 부재(120), 파이프 부재(130), 페데스달 로드(pedestal rod; 140), 페데스달 너트(pedestal nut; 150), 지지 헤드(support head; 160), 및 억세스 플레이트(access plate; 170)를 포함하여 구성된다.
진동 저감부(110)는 기초 바닥면(S)으로부터 전달되는 진동이 억세스 플레이트(170)를 통하여 노광 설비로 전달되는 것을 방지하기 위한 것으로, 진동저감을 위한 댐퍼 부재(114)를 구비하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 진동 저감부(110)는 기초 바닥면(S)에 밀착 고정되는 베이스 플랜지(112), 및 상기 베이스 플랜지(112)의 상부에 배치되는 댐퍼 부재(114)를 포함하 여 구성된다.
이때, 댐퍼 부재(114)는 기초 바닥면(S)으로부터 전달되는 진동의 감쇠 기능을 수행하기 위한 것으로서, 베이스 플랜지(112)의 상부에 대칭되게 다수개 배치되는 것이 바람직하며, 예를 들어 도 6에 도시한 바와 같이, 4개의 댐퍼 부재(114)가 구비되는 것이 바람직하다.
또한, 댐퍼 부재(114)는 진동 감쇠 기능을 수행할 수 있는 것이라면 그 제한은 없으나, 예를 들어 낮은 진동수까지 감쇠가 가능한 에어 패드(air pad)가 사용되는 것이 바람직하다.
한편, 후술하는 바와 같이, 댐퍼 부재(114)는 그 상부에 베이스 부재(120)가 배치되고, 서포트 볼트(122)를 사용하여 베이스 부재(120)를 베이스 플랜지(112)에 체결함으로써 베이스 플랜지(112) 및 베이스 부재(120) 사이에 고정되게 설치된다. 이때, 서포트 볼트(122)의 체결범위를 조절함으로써 댐퍼 부재(114)는 그 높이가 조절되게 된다. 이는, 다수의 플로어 장치이 사용되는 경우 각각의 플로어 장치에 전달되는 하중이 달라 댐퍼 부재(114)의 높이가 달라져 억세스 플레이트(170)가 기울어지는 문제점을 방지하기 위함이다. 즉, 서포트 볼트(122)에 의해 각각의 댐퍼 부재(114)의 높이를 조절함으로써 모든 댐퍼 부재(114)의 높이가 동일하도록 조절할 수 있게 된다.
베이스 부재(120)는 파이프 부재(130)를 지지하고 댐퍼 부재(114)를 베이스 플랜지(112) 사이에 고정되게 설치하기 위한 것으로서, 댐퍼 부재(114)의 상부에 배치된다.
여기서, 베이스 부재(120)는 서포트 볼트(122)를 통해 댐퍼 부재(114)를 사이에 두고 베이스 플랜지(112)에 체결되게 된다. 이때, 서포트 볼트(122)는 댐퍼 부재(114)에 영향을 미치지 않도록 댐퍼 부재(114)가 배치되지 않는 영역을 관통하여 베이스 플랜지(112)에 체결되게 된다. 한편, 서포트 볼트(122)의 체결을 위해 베이스 부재(120)에는 서포트 볼트(122)가 관통하는 나사산이 형성된 홈이 형성되고, 베이스 플랜지(112)에는 서포트 볼트(122)가 체결되는 나사산이 형성된 체결홈이 형성된다.
파이프 부재(130)는 베이스 부재(120)의 중앙 영역에 수직하게 설치되고, 페데스달 로드(140)를 지지하는 역할을 수행한다.
여기서, 파이프 부재(130)는 그 내부로 페데스달 로드(140)가 삽입되는 중공부가 형성된다. 이때, 파이프 부재(130)의 중공부 내벽에는 페데스달 로드(140)의 나사산에 대응하는 나사산이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
페데스달 로드(140)는 실린더 형상으로 상하로 승강운동하게 설치된다. 여기서, 페데스달 로드는 파이프 부재(130)의 중공부 내에 삽입될 수 있는 크기를 가지며, 그 외벽에 나사산이 형성되어 있는 구조이다.
여기서, 페데스달 로드(140)는 후술하는 페데스달 너트(150)에 체결 결합되어, 페데스달 너트(150)의 회전에 따라 상하로 승강운동하게 된다.
페데스달 너트(150)는 페데스달 로드(140)를 파이프 부재(130)에 지지한 상태에서 그 회전에 의해 페테스탈 로드(140)의 상하 승강 운동을 제어하기 위한 것으로서, 파이프 부재(130)의 단부에 장착된다.
지지 헤드(160)는 억세스 플레이트(170)를 지지하기 위한 것으로서, 페데스달 로드(140)의 상부에 결합된다.
여기서, 지지 헤드(160)의 상부에는 억세스 플레이트(170)의 모서리가 안착되는 억세스 홈(162)이 형성되는 것이 바람직하며, 예를 들어 4개의 억세스 플레이트(170)를 지지하기 위해 4개의 억세스 홈(162)이 형성되는 것이 바람직하다.
억세스 홈(162)은 지지 헤드(160)의 중앙부를 제외하고 모서리 부분에 형성되는 것이 바람직하다. 이는, 억세스 홈(162)에 안착되는 각각의 억세스 플레이트(170)가 서로 연결되지 않도록 하기 위함이다.
억세스 플레이트(170)는 그 상부에 배치되는 노광 설비를 지지하기 위한 것으로서, 지지 헤드(160)에 의해 지지된다.
여기서, 억세스 플레이트(170)는 그 모서리가 지지 헤드(160)의 억세스 홈(162)에 안착된 상태로 체결부재(172)에 의해 지지 헤드(160)에 고정되게 설치되며, 하나의 지지 헤드(160)에 다수개가 지지된다.
또한, 억세스 플레이트(170)는 도면에 도시한 바와 같이 4개가 지지 헤 드(160)에 장착되나, 필요에 따라 원하는 개수의 억세스 플레이트(170)를 지지 헤드(160)가 설치할 수 있다.
이때, 억세스 플레이트(170)는 그 일단 모서리가 지지 헤드(160)에 의해 지지되고, 타단 모서리가 다른 플로어 장치의 지지 헤드에 의해 지지된다.
한편, 억세스 플레이트(170)의 상부에는 알루미늄, 서스(SUS), 또는 강판 등으로 된 억세스 플로어(180)가 배치되고, 상기 억세스 플로어(180) 상부에 노광 설비가 장착됨으로써 지지된다. 즉, 억세스 플레이트(170)에 다수의 억세스 플로어(180)가 사방 연속으로 배열되어 노광 설비가 배치되는 바닥을 구성하게 된다.
도 7은 노광 설비가 배치되는 진동방지를 위한 영역의 배치상태를 나타내는 도면이다.
도 7에 도시한 바와 같이, 상술한 바와 같은 다수의 진동방지를 위한 플로어 장치(100)에 의해 지지되어 노광 설비가 배치되는 진동방지를 위한 영역(A)은 다른 영역(B)과 구획되는 것이 바람직하다. 여기서, 다른 영역(B)이라 함은 건물 내에서 노광 설비가 배치되지 않은 영역, 즉, 기존의 플로어 장치에 의해 지지되는 영역을 의미한다. 이와 같이, 진동방지를 위한 영역(A)은 다른 영역(B)과 구획됨으로써 다른 영역(B)의 플로어 장치로부터 진동방지를 위한 영역(A)으로 진동이 전달되지 않게 된다. 이때, 다른 영역(B)에는 도 3 및 도 4에 도시된 기존의 플로어 장치가 사용될 수 있는데, 진동방지를 위한 영역(A)이 다른 영역(B)과 구획되어 있기 때문에 기존의 플로어 장치(80)의 억세스 플레이트(94)를 통해 본 발명의 억세스 플레이 트(170)로 진동이 전달되지 않게 된다.
상술한 바와 같은 구조를 가짐으로써, 기초 바닥면(S)으로부터 전달되는 진동은 댐퍼 부재(114)를 통해 감쇠되고, 다른 영역(B)으로부터 전달되는 진동은 진동방지를 위한 영역(A)과 구획시킴으로써 노광 설비에 진동이 전달되지 않게 된다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 진동방지를 위한 플로어 장치는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
도 1은 오토 스케일 노광 방식을 이용하는 일반적인 프로젝션 노광 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 오토 스케일 노광 방식을 이용하는 일반적인 LDI 노광 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 일반적인 클린룸의 플로어 장치에 사용되는 억세스 플로어 지지 장치를 개략적인 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 억세스 플로어 구조를 사용하여 노광 설비가 설치된 상태가 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진동방지를 위한 억세스 플로어 장치의 개략적인 전면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 억세스 플로어 장치의 개략적인 사시도이다.
도 7은 노광 설비가 배치되는 진동방지를 위한 영역의 배치상태를 나타내는 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 설명>
110 : 진동 저감부 112 : 베이스 플랜지
114 : 댐퍼 부재 120 : 베이스 부재
122 : 서포트 볼트 130 : 파이프 부재
140 : 페데스달 로드 150 : 페데스달 너트
160 : 지지헤드 162 : 억세스 홈
170 : 억세스 플레이트 172 : 체결부재
180 : 억세스 플로어 S : 기초 바닥면
A : 진동 방지 영역

Claims (12)

  1. 기초 바닥면에 밀착 고정되게 설치되고, 상기 기초 바닥면으로부터 발생하는 진동의 전달을 방지하기 위한 댐퍼 부재를 구비한 진동 저감부;
    상기 진동 저감부의 상부에 고정되는 베이스 부재;
    상기 베이스 부재에 수직하게 설치된 파이프 부재;
    상기 파이프 부재에 삽입되어, 상하 승강운동하는 페데스달 로드;
    상기 페데스달 로드에 체결되어 상기 페데스달 로드의 상하 승강운동을 조절하는 너트;
    상기 페데스달 로드의 상부에 결합된 지지 헤드; 및
    상기 지지 헤드의 상부에 배치되어 모서리부가 지지되는 다수의 억세스 플레이트
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동방지를 위한 플로어 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 진동 저감부는,
    상기 기초 바닥면에 밀착 고정되게 설치되는 베이스 플랜지; 및
    상기 베이스 플렌지에 배치되는 댐퍼 부재
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동방지를 위한 플로어 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 댐퍼 부재는 상기 베이스 플렌지에 대칭되는 구조로 다수개 설치되는 것을 특징으로 하는 진동방지를 위한 플로어 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 댐퍼 부재는 4개가 설치되는 것을 특징으로 하는 진동방지를 위한 플로어 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 댐퍼 부재는 에어 패드(air pad)인 것을 특징으로 하는 진동방지를 위한 플로어 장치.
  6. 청구항 2에 있어서,
    상기 베이스 부재는 상기 댐퍼 부재의 상부에 배치된 상태로 서포트 볼트에 의해 상기 베이스 플랜지에 체결되어 지지되는 것을 특징으로 하는 진동방지를 위한 플로어 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 서포트 볼트의 체결 범위에 따라 상기 댐퍼 부재의 높이가 조절되는 것을 특징으로 하는 진동방지를 위한 플로어 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 지지 헤드의 상부에는 억세스 홈이 형성되어 있고, 상기 억세스 플레이트의 모서리가 상기 억세스 홈에 안착된 상태로 지지되는 것을 특징으로 하는 진동방지를 위한 플로어 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 억세스 플레이트는 체결부재에 의해 상기 지지 헤드에 고정되는 것을 특징으로 하는 진동방지를 위한 플로어 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 지지 헤드는 2개 내지 4개의 억세스 플레이트를 지지하는 것을 특징으로 하는 진동방지를 위한 플로어 장치.
  11. 청구항 1에 있어서,
    억세스 플레이트에는 다수의 억세스 플로어가 사방 연속으로 배열되어 노광 설비가 배치되는 바닥을 구성하는 것을 특징으로 하는 진동방지를 위한 플로어 장치.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 노광 설비가 배치되는 진동방지를 위한 영역은 진동의 전달을 최소화할 수 있도록 다른 영역과 구획되는 것을 특징으로 하는 진동방지를 위한 플로어 장치.
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