KR20100080763A - 박막 형성 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 도 1의 증착원들 및 이에 대한 각도제한부재들의 구성을 설명하기 위한 개략적인 구성도,
도 3은 도 1에 도시된 장치에 따라 성막된 박막의 일 예를 도시한 단면도,
도 4는 도 1에 도시된 장치에 따라 성막된 박막의 다른 일 예를 도시한 단면도,
도 5는 본 발명의 바람직한 다른 일 실시예에 따른 박막 형성 방법을 수행하는 증착 장치의 개략적인 예를 도시한 구성도,
도 6은 도 5에 도시된 장치에 따라 성막된 박막의 일 예를 도시한 단면도,
도 7은 도 5에 도시된 장치에 따라 성막된 박막의 다른 일 예를 도시한 단면도,
도 8은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 박막 형성 방법을 수행하는 증착 장치의 개략적인 예를 도시한 구성도,
도 9는 도 8에 도시된 장치에 따라 성막된 박막의 일 예를 도시한 단면도,
도 10은 도 8에 도시된 장치에 따라 성막된 박막의 다른 일 예를 도시한 단면도.
Claims (6)
- 제1증착영역으로 제1증착물질을 방출하는 제1증착원과, 제2증착영역으로 상기 제1증착물질과 서로 다른 제2증착물질을 방출하는 제2증착원을 준비하는 단계;
상기 제1증착영역과 제2증착영역이 서로 중첩하는 제1중첩 영역이 설정되도록 제1증착원과 제2증착원을 조정하는 단계;
상기 제1증착원과 제2증착원을 가동해 상기 제1증착물질 및 제2증착물질을 피처리체의 일부에 증착하는 단계; 및
상기 제1증착원 및 제2증착원을 피처리체의 일단으로부터 타단까지 이동시키되, 상기 피처리체의 일단으로부터 상기 제1증착물질만이 증착되는 제1증착영역, 상기 제1증착물질과 제2증착물질이 혼합되어 증착되는 제1중첩영역 및 상기 제2증착물질만이 증착되는 제2증착영역이 순차로 진행되도록 하는 단계;를 포함하는 박막 형성 방법. - 제1항에 있어서,
상기 이동시키는 단계는 상기 피처리체의 타단으로부터 상기 제2증착영역, 제1중첩영역 및 제1증착영역이 순차로 진행되도록 하는 단계를 더 포함하는 박막 형성 방법. - 제1항에 있어서,
상기 제1증착원 및 제2증착원의 이동 속도가 동일한 박막 형성 방법. - 제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2증착물질과 서로 다른 제3증착물질을 제3증착영역으로 방출하는 제3증착원을 준비하는 단계를 더 포함하고,
상기 조정하는 단계는, 제3증착영역이 상기 제1증착영역 또는 제2증착영역과 서로 중첩하는 제2중첩 영역이 설정되도록 제1증착원, 제2증착원 및 제3증착원을 조정하는 단계로 구비되며,
상기 증착하는 단계는 상기 제3증착원을 가동해 상기 제3증착물질을 상기 피처리체의 일부에 증착하는 것을 더 포함하고,
상기 이동시키는 단계는 상기 피처리체의 일단으로부터 상기 제1증착영역, 제1중첩영역, 제2증착영역, 제2중첩영역 및 제3증착영역이 순차로 진행되도록 하는 단계로 구비되고,
상기 제2중첩영역은 상기 제3증착물질과 상기 제1증착물질 또는 제2증착물질이 혼합되어 증착되는 영역이고, 상기 제3증착영역은 상기 제3증착물질만이 증착되는 영역인 박막 형성 방법. - 제4항에 있어서,
상기 이동시키는 단계는 상기 피처리체의 타단으로부터 상기 제3증착영역, 제2중첩영역, 제2증착영역, 제1중첩영역 및 제1증착영역이 순차로 진행되도록 하는 단계를 더 포함하는 박막 형성 방법. - 제4항에 있어서,
상기 제1증착원, 제2증착원 및 제3증착원의 이동 속도가 동일한 박막 형성 방법.
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