KR20100077096A - Electrophoretic display device and method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An electrophoresis display device and a method for manufacturing the same are provided to prevent misalign which is generated when an upper array unit and a lower array unit are going on a collaboration process. CONSTITUTION: A lower array unit(200) comprises a common electrode(201b), pixel electrode(222a) and thin film transistor. A gate insulating layer(210) is in between the common electrode and pixel electrode which is formed on a first substrate. The thin film transistor is electrically connected to the pixel electrode. An upper array unit(300) comprise a color filter layer(224), a plurality of partitions, and electrophoresis material layer(230). The plurality of partition wall defines a unit block.

Description

전기영동표시장치 및 그의 제조방법{Electrophoretic Display Device and Method for manufacturing the same}Electrophoretic Display Device and Method for Manufacturing the Same

본 발명은 전기영동표시장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to an electrophoretic display device and a manufacturing method thereof.

통상의 전기영동 표시장치(Electrophoretic Display Device : EPD)는 유연성(flexibility)과 휴대성이 뛰어나며, 경량 등의 특성을 지닌 전기영동(Electrophoresis : 전기장내에서 하전된 입자가 양극 또는 음극쪽으로 이동하는 현상)을 이용한 평판 표시의 일종이다. A typical electrophoretic display device (EPD) has excellent flexibility and portability, and has electrophoresis, which has characteristics such as light weight (electrophoresis: a phenomenon in which charged particles move toward an anode or a cathode in an electric field). It is a kind of flat panel display using.

이러한, 전기영동 표시 장치는 종이나 플라스틱과 같은 얇고 구부리기 쉬운 베이스 필름에 박막 트랜지스터 어레이를 형성하고 박막 트랜지스터 어레이의 화소전극과 공통전극 사이의 수직전계에 의해 전기영동 부유입자를 구동하는 표시로써 차세대 전자종이로서도 기대되는 표시장치이다.The electrophoretic display is a display that forms a thin film transistor array on a thin, bendable base film such as paper or plastic, and drives electrophoretic floating particles by a vertical electric field between a pixel electrode and a common electrode of the thin film transistor array. It is a display device that is also expected as paper.

도 1은 종래의 전기영동 표시장치를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a conventional electrophoretic display device.

도 1에 도시된 전기영동 표시장치는 하부 어레이부(60)와 상부 어레이부(80)로 구분된다. The electrophoretic display shown in FIG. 1 is divided into a lower array unit 60 and an upper array unit 80.

상부 어레이부(80)는 상부 플레이트(82) 상에 형성된 공통전극(84), 공통전 극(84) 상에 위치하는 전기영동필름(90)을 포함한다. The upper array unit 80 includes a common electrode 84 formed on the upper plate 82 and an electrophoretic film 90 positioned on the common electrode 84.

상부 플레이트(82)는 유연성을 가지는 플라스틱, 쉽게 구부러지는 베이스 필름, 또는 유연성을 가지는 금속 등이 이용될 수 있다. The upper plate 82 may be made of a flexible plastic, an easily bent base film, a flexible metal, or the like.

전기영동필름(90)은 하전 염료 입자(charge pigment particle)를 포함하는 캡슐(92)과, 캡슐(92)의 상하에 위치하는 상부 및 하부 보호층(96,94)으로 구성된다. The electrophoretic film 90 includes a capsule 92 including charged pigment particles, and upper and lower protective layers 96 and 94 positioned above and below the capsule 92.

캡슐(92)에는 정극성 전압에 반응하는 블랙 염료 입자(92a)와, 부극성 전압에 반응하는 화이트 염료 입자(92b)와, 솔벤트(92c)가 포함된다. The capsule 92 includes black dye particles 92a in response to a positive voltage, white dye particles 92b in response to a negative voltage, and a solvent 92c.

상부 및 하부 보호층(96,94)은 구형의 캡슐(92)의 유동을 차단함과 아울러 캡슐(92)을 보호하는 역할을 한다. 이러한, 상부 및 하부 보호층(96,94)은 유연성을 가지는 플라스틱, 쉽게 구부러지는 베이스 필름, 또는 유연성을 가지는 금속 등으로 이루어진다. The upper and lower protective layers 96 and 94 block the flow of the spherical capsule 92 and serve to protect the capsule 92. The upper and lower protective layers 96, 94 are made of flexible plastic, easily bent base film, flexible metal, or the like.

하부 어레이부(60)는 하부 플레이트(42) 위에 게이트 절연막(44)을 사이에 두고 교차하게 형성된 게이트 라인(미도시) 및 데이터 라인(미도시)과, 그 교차부마다 형성된 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor ; 이하 "TFT"라 함)(6)와, 그 교차구조로 마련된 셀영역에 형성된 화소 전극(18)을 구비한다. The lower array unit 60 includes a gate line (not shown) and a data line (not shown) formed to intersect the gate insulating film 44 on the lower plate 42, and a thin film transistor formed at each intersection thereof. Transistor (hereinafter referred to as "TFT") 6 and a pixel electrode 18 formed in a cell region provided in a cross structure thereof.

하부 플레이트(42)는 유연성을 가지는 플라스틱, 쉽게 구부러지는 베이스 필름, 또는 유연성을 가지는 금속 등으로 이루어진다. The bottom plate 42 is made of flexible plastic, easily bent base film, flexible metal, or the like.

TFT(6)는 게이트 전압이 공급되는 게이트 전극(8)과, 데이터 라인에 접속된 소스 전극(10)과, 화소 전극(18)에 접속된 드레인 전극(12)과, 게이트 전극(8)과 중첩되고 소스 전극(10)과 드레인 전극(12) 사이에 채널을 형성하는 활성층(14)을 구비한다. The TFT 6 includes a gate electrode 8 to which a gate voltage is supplied, a source electrode 10 connected to a data line, a drain electrode 12 connected to a pixel electrode 18, a gate electrode 8, An active layer 14 is provided that overlaps and forms a channel between the source electrode 10 and the drain electrode 12.

활성층(14)은 소스 전극(10) 및 드레인 전극(12)과 중첩되게 형성되고 소스 전극(10)과 드레인 전극(12) 사이의 채널부를 더 포함한다. 활성층(14) 위에는 소스 전극(10) 및 드레인 전극(12)과 오믹접촉을 위한 오믹접촉층(48)이 더 형성된다. 여기서, 통상적으로 활성층(14) 및 오믹접촉층(48)을 반도체 패턴(45)이라 명명한다. The active layer 14 is formed to overlap the source electrode 10 and the drain electrode 12, and further includes a channel portion between the source electrode 10 and the drain electrode 12. An ohmic contact layer 48 for ohmic contact with the source electrode 10 and the drain electrode 12 is further formed on the active layer 14. Here, the active layer 14 and the ohmic contact layer 48 are commonly referred to as a semiconductor pattern 45.

화소전극(18)은 TFT(6)를 보호하는 보호막(50)을 관통하여 드레인 전극(12)을 노출시키는 접촉홀(17)을 통해 드레인 전극(12)과 접촉된다. The pixel electrode 18 is in contact with the drain electrode 12 through the contact hole 17 exposing the drain electrode 12 through the protective film 50 protecting the TFT 6.

이러한 구성을 가지는 상부 어레이부(80)와 하부 어레이부(60)가 점착제(adhesive)(86)에 의해 합착됨으로써 전기영동표시 장치가 형성된다.The upper array portion 80 and the lower array portion 60 having such a structure are bonded to each other by an adhesive 86 to form an electrophoretic display device.

이러한 전기 영동 표시 장치는 하부 어레이부(60)의 게이트 전극(8)에 공급되는 게이트 전압에 응답하여 데이터 라인에 공급되는 화소전압 신호가 TFT(6)의 채널을 경유하여 화소 전극(18)에 충전되고 상부 어레이부(80)의 공통전극(84)에 기준전압이 공급되면, 전기장에 의한 전기영동 현상에 의해 캡슐(92) 내에서의 화이트 염료 입자(92b)와 블랙 염료 입자(92a)가 양분되면서 흑색 또는 백색을 구현할 수 있게 된다. Such an electrophoretic display includes a pixel voltage signal supplied to a data line in response to a gate voltage supplied to the gate electrode 8 of the lower array unit 60 to the pixel electrode 18 via a channel of the TFT 6. When charged and the reference voltage is supplied to the common electrode 84 of the upper array unit 80, the white dye particles 92b and the black dye particles 92a in the capsule 92 are formed by the electrophoretic phenomenon caused by the electric field. It is possible to realize black or white while dividing.

한편, 도 1에 도시된 전기영동 표시 장치는 흑색 및 백색 두 가지의 색만이 구현되고 통상적인 컬러를 구현할 수 없는 단점이 있다. Meanwhile, the electrophoretic display device illustrated in FIG. 1 has a disadvantage in that only two colors, black and white, are implemented and conventional colors cannot be realized.

따라서, 전기영동 표시 장치에 액정표시장치의 상부 어레이 기판 구조를 도 입함으로서 컬러를 구현할 수 있는 기술이 제안되었다. Accordingly, a technique for realizing color by introducing an upper array substrate structure of a liquid crystal display device into an electrophoretic display device has been proposed.

도 2는 종래 액정표시장치의 상부 어레이 기판을 전기영동 표시 장치에 도입함으로써 컬러를 구현할 수 있는 전기영동 표시 장치를 나타내는 도면이다.2 is a diagram illustrating an electrophoretic display device capable of realizing color by introducing an upper array substrate of a conventional liquid crystal display into an electrophoretic display device.

도 2에 도시된 전기영동 표시 장치는 상부 어레이부(80) 및 하부 어레이부(60)가 실런트(125)를 통해 합착된 구조를 가진다. The electrophoretic display illustrated in FIG. 2 has a structure in which the upper array portion 80 and the lower array portion 60 are bonded through the sealant 125.

하부 어레이부(60)의 구조는 도 1에 도시된 구조와 동일한 구조를 가진다.The structure of the lower array unit 60 has the same structure as that shown in FIG.

상부 어레이부(80)는 상부 유리 기판(102) 상에는 적색, 녹색 및 청색의 컬러필(138), 컬러필터(138) 전면에 형성된 공통전극(84)을 구비함과 아울러 하전 염료 입자(charge pigment particle)를 포함하는 캡슐(92)들이 배열되어 있는 전기영동필름(90)을 구비한다. The upper array unit 80 includes red, green, and blue color fills 138 and a common electrode 84 formed on the entire surface of the color filter 138 on the upper glass substrate 102, and also charge pigment particles. It is provided with an electrophoretic film 90 in which capsules 92 containing particles are arranged.

이러한, 컬러필터(138)를 포함하는 전기영동 표시 장치는 액정표시장치와 마찬가지로 컬러 화상을 구현할 수 있게 된다. The electrophoretic display device including the color filter 138 may implement a color image like the liquid crystal display device.

그러나, 이러한 전기영동 표시 장치는 상부 어레이부(80)과 하부 어레이부(60)을 각각의 제작공정이 복잡하고, 이로 인한 제작 비용이 증가하게 된다. However, in the electrophoretic display device, the manufacturing process of the upper array unit 80 and the lower array unit 60 is complicated, thereby increasing the manufacturing cost.

더불어, 상부 어레이부(80)과 하부 어레이부(60)을 합착공정이 추가됨으로써, 미스 얼라인(mis-align)이 발생할 수 있는 염려가 있다. In addition, there is a fear that a misalignment may occur by adding a bonding process to the upper array portion 80 and the lower array portion 60.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 제조비용감소 및 제조공정 용이를 가져올 수 있고, 미스 얼라인이 방지될 수 있는 전기영동표시장치 및 그의 제조방법을 제공함에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention for solving the above-described problems is to provide an electrophoretic display device and a method of manufacturing the same, which can reduce the manufacturing cost and facilitate the manufacturing process, and can prevent misalignment.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 따른 전기영동표시소자는 제1 기판 상에 게이트 절연막을 사이에 두고 형성된 공통전극 및 화소전극과, 상기 화소전극과 전기적으로 연결된 박막 트랜지스터가 구비된 하부 어레이부와, 상기 하부 어레이부 상에 형성되는 컬러필터층과, 상기 컬러필터층 상에 형성되고, 단위 블록을 정의하는 복수의 격벽과, 상기 격벽들 사이에 형성된 전기영동물질층이 구비된 상부 어레이부를 포함하고, 상기 격벽은 격벽용 절연패턴과 격벽용 공통전극 패턴이 적층되고, 상기 격벽용 공통전극패턴은 연결전극패턴을 통해 상기 하부 어레이부의 공통전극과 연결된다. An electrophoretic display device according to the present invention for solving the above problems is a lower array unit having a common electrode and a pixel electrode formed on a first substrate with a gate insulating film interposed therebetween, and a thin film transistor electrically connected to the pixel electrode. And an upper array unit including a color filter layer formed on the lower array unit, a plurality of partition walls formed on the color filter layer and defining a unit block, and an electrophoretic material layer formed between the partition walls. The barrier rib is stacked with an insulating pattern for the barrier rib and a common electrode pattern for the barrier rib, and the barrier common electrode pattern is connected to the common electrode of the lower array unit through a connection electrode pattern.

상기 전기영동물질층은 전하를 띤 블랙입자(black particle)을 함유하는 투명유체가 충진되어 있다. The electrophoretic material layer is filled with a transparent fluid containing charged black particles.

상기 단위 블록은 상기 화소전극이 형성되는 하나의 단위 화소영역이거나, 복수 개의 상기 단위 블록은 상기 하나의 단위 화소영역이다. The unit block is one unit pixel area in which the pixel electrode is formed, or a plurality of the unit blocks is one unit pixel area.

상기 격벽과 전기영동물질층 상에 제2 기판이 더 형성된다. A second substrate is further formed on the barrier and the layer of electrophoretic material.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 따른 전기영동표시소자의 제조방 법은 제1 기판 상에 게이트 전극, 공통전극 및 게이트 패드를 형성하는 단계와, 상기 게이트 전극 및 공통전극이 형성된 기판 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계와, 상기 게이트 절연막이 형성된 기판 상에 소스 및 드레인 전극과 데이터 패드를 형성하는 단계와, 상기 소스 및 드레인 전극이 형성된 기판 상에 보호막을 형성한 후 패터닝하여 상기 드레인 전극을 노출하는 드레인 콘택홀과, 상기 데이터 패드를 노출하는 데이터 패드 콘택홀과, 상기 게이트 패드를 노출하는 게이트 패드 콘택홀과, 상기 공통전극을 노출하는 공통전극 콘택홀을 형성하는 단계와, 상기 콘택홀들이 형성된 제1 기판 상에 제1 금속막을 형성한 후 패터닝하여, 상기 드레인 콘택홀을 통해 드레인 전극과 접속하는 화소전극, 상기 공통전극 콘택홀을 통해 상기 공통전극과 접속하는 연결전극패턴, 상기 게이트 패드 콘택홀을 통해 상기 게이트 패드와 접속하는 게이트 패드 연결전극 및 상기 데이터 패드 콘택홀를 통해 상기 데이터 패드과 접속하는 데이터패드 연결전극을 형성하는 단계와, 상기 화소전극이 형성된 제1 기판 상에 컬러필터패턴을 형성하는 단계와, 상기 컬러필터 패턴이 형성된 제1 기판 상에 제2 금속막 및 절연막을 순차적으로 형성한 후 패터닝하여, 단위 블록을 정의하는 격벽을 형성하는 단계와, 상기 격벽들로 정의된 단위블럭 내에 전기영동물질층을 형성하는 단계와, 상기 전기영동물질 및 격벽이 형성된 제1 기판 상에 제2 기판을 형성하는 단계를 포함한다. Method of manufacturing an electrophoretic display device according to the present invention for solving the above problems is the step of forming a gate electrode, a common electrode and a gate pad on a first substrate, and on the substrate on which the gate electrode and the common electrode is formed Forming a gate insulating film, forming a source and drain electrode and a data pad on the substrate on which the gate insulating film is formed, and forming a protective film on the substrate on which the source and drain electrodes are formed, and then patterning the drain electrode. Forming a drain contact hole for exposing, a data pad contact hole for exposing the data pad, a gate pad contact hole for exposing the gate pad, and a common electrode contact hole for exposing the common electrode; The first metal film on the first substrate on which the electrodes are formed and patterned to form a first metal layer before draining through the drain contact hole. And a pixel electrode connected to the common electrode, a connection electrode pattern connected to the common electrode through the common electrode contact hole, a gate pad connection electrode connected to the gate pad through the gate pad contact hole, and the data pad through the data pad contact hole. Forming a data pad connection electrode to be connected; forming a color filter pattern on the first substrate on which the pixel electrode is formed; and forming a second metal film and an insulating film on the first substrate on which the color filter pattern is formed. Forming a barrier rib defining a unit block, forming a layer of electrophoretic material in a unit block defined by the barrier ribs, and forming a barrier rib on the first substrate on which the electrophoretic material and the barrier rib are formed. Forming a second substrate.

상기 제1 금속막은 Al, AlNd, Ag 중 어느 하나로 형성된 불투명 금속막과 ITO, IZO, ITZO 중 어느 하나로 형성된 투명금속막이 적층된다. The first metal layer includes an opaque metal layer formed of any one of Al, AlNd, and Ag, and a transparent metal layer formed of any one of ITO, IZO, and ITZO.

상기 보호막은 무기절연물질과 유기절연물질이 적층되고, 상기 데이터 패드 콘택홀 및 게이트 패드 콘택홀이 형성된 보호막은 무기절연물질만이 형성된다. The passivation layer is formed by stacking an inorganic insulating material and an organic insulating material, and a passivation layer having the data pad contact hole and the gate pad contact hole is formed only of the inorganic insulating material.

상술한 바와 같은 본 발명에 따른 전기영동표시소자 및 그의 제조방법은 TFT가 형성된 하부어레이부상에 컬러필터패턴과 전기영동물질층을 형성된 상부어레이부를 일체화하여 형성함으로써, 상부 어레이부와 하부 어레이부를 각각 제작함으로써 발생한 공정복잡성과 제작비용증가를 방지할 수 있는 효과가 있다. As described above, the electrophoretic display device and the manufacturing method thereof according to the present invention are formed by integrating a color filter pattern and an upper array portion on which an electrophoretic material layer is formed on a lower array portion on which TFTs are formed, thereby forming an upper array portion and a lower array portion, respectively. There is an effect that can prevent the process complexity and the increase in manufacturing cost caused by manufacturing.

또한, 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 전기영동표시소자 및 그의 제조방법은 상부 어레이부와 하부 어레이부를 일체화하여 형성함으로써, 상부 어레이부와 하부 어레이부의 합착공정시 발생하는 미스 얼라인을 방지할 수 있는 효과가 있다. In addition, the electrophoretic display device and the method of manufacturing the same according to the present invention as described above are formed integrally with the upper array portion and the lower array portion, it is possible to prevent the misalignment generated during the bonding process of the upper array portion and the lower array portion. It has an effect.

이하는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 전기영동표시장치 및 그의 제조방법에 대해 상세히 설명하고자 한다. Hereinafter, an electrophoretic display device and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 전기영동표시장치의 단면도를 도시한 도면이다. 3 is a cross-sectional view of an electrophoretic display device according to the present invention.

도 3에 도시된 바와 같은 전기영동표시장치는 하부 어레이부(200) 및 상부 어레이부(300)로 이루어진다. The electrophoretic display device illustrated in FIG. 3 includes a lower array unit 200 and an upper array unit 300.

먼저, 하부 어레이부(200)은 제1 기판(201)상에 게이트 절연막(210)을 사이에 두고 교차하여 화소영역을 정의하는 게이트 라인(미도시) 및 데이터라인(미도시)과, 그 교차부마다 형성된 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor ; 이하 "TFT"라 함, T)와, 상기 화소영역에 형성된 화소 전극(222a)과, 게이트 라인(미도시)와 동일층에 형성되는 공통전극(201b)을 구비한다. First, the lower array unit 200 intersects a gate line (not shown) and a data line (not shown) that define a pixel area by crossing the gate insulating layer 210 therebetween on the first substrate 201, and the intersection thereof. Thin Film Transistors ("TFT", T) formed in each section, the pixel electrode 222a formed in the pixel region, and the common electrode 201b formed on the same layer as the gate line (not shown). It is provided.

TFT(T)는 게이트 전압이 공급되는 게이트 전극(201a)과, 데이터 라인(미도시)으로부터 돌출된 소스 전극(212a)과, 화소 전극(222a)에 접속된 드레인 전극(212b)과, 게이트 전극(201a)과 중첩되고 소스 전극(212a)과 드레인 전극(222a) 사이에 채널을 형성하는 활성층(미도시)을 구비한다. 활성층(미도시)은 소스 전극(212a) 및 드레인 전극(222a)과 중첩되게 형성되고 소스 전극(212a)과 드레인 전극(222a) 사이의 채널부를 더 포함한다. 활성층(미도시) 위에는 소스 전극(212a) 및 드레인 전극(222a)과 오믹접촉을 위한 오믹접촉층(미도시)이 더 형성된다. 여기서, 통상적으로 활성층(미도시) 및 오믹접촉층(미도시)을 반도체 패턴(211)이라 명명한다. The TFT T includes a gate electrode 201a to which a gate voltage is supplied, a source electrode 212a protruding from a data line (not shown), a drain electrode 212b connected to the pixel electrode 222a, and a gate electrode. An active layer (not shown) overlapping the 201a and forming a channel between the source electrode 212a and the drain electrode 222a is provided. The active layer (not shown) is formed to overlap the source electrode 212a and the drain electrode 222a and further includes a channel portion between the source electrode 212a and the drain electrode 222a. An ohmic contact layer (not shown) for ohmic contact with the source electrode 212a and the drain electrode 222a is further formed on the active layer (not shown). Here, the active layer (not shown) and the ohmic contact layer (not shown) are commonly referred to as a semiconductor pattern 211.

화소전극(222a)은 TFT(T)를 보호하는 보호막(220)을 관통하여 드레인 전극(222a)을 노출시키는 드레인 콘택홀을 통해 드레인 전극(222a)와 접속된다. The pixel electrode 222a is connected to the drain electrode 222a through a drain contact hole that penetrates through the passivation layer 220 protecting the TFT (T) and exposes the drain electrode 222a.

그리고, 상부 어레이부(300)은 하부 어레이부(200)의 보호막(220)과 화소전극(222a)상에 형성된 적색, 녹색 및 청색의 컬러필터패턴(224)와, 컬러필터패턴(224)상에 형성되고, 단위블럭(block)을 정의하는 격벽(228b, 226b)과, 상기 격벽(228b, 226b)사이에 형성된 전기영동물질층(electrophoretic material layer, 230)과, 격벽(228b, 226b) 및 전기영동물질층(230) 상에 형성된 제2 기판(250)으로 형성된다. The upper array unit 300 includes red, green, and blue color filter patterns 224 formed on the passivation layer 220 and the pixel electrode 222a of the lower array unit 200, and on the color filter pattern 224. Barrier ribs 228b and 226b defined in the unit block and defining unit blocks, an electrophoretic material layer 230 formed between the barrier ribs 228b and 226b, barrier ribs 228b and 226b, and It is formed of a second substrate 250 formed on the electrophoretic material layer 230.

한편, 도 3에 도시된 컬러필터층(224)는 적색, 녹색 및 청색의 컬러필터패턴 중 하나의 컬러필터패턴이 도시된 도면이다. Meanwhile, the color filter layer 224 illustrated in FIG. 3 is a view showing one color filter pattern among red, green, and blue color filter patterns.

그리고, 복수 개의 단위블럭(block)은 하나의 단위화소영역을 정의한다. The plurality of unit blocks define one unit pixel area.

또한, 도 3에 도시된 바로는, 3개의 단위블럭(block) 및 화소전극(222a)을 통해 하나의 단위화소영역을 정의하고 있지만, 하나의 단위블럭 및 화소전극을 통해 하나의 단위화소영역을 정의할 수도 있다. In addition, as illustrated in FIG. 3, one unit pixel region is defined through three unit blocks and pixel electrodes 222a, but one unit pixel region is defined through one unit block and pixel electrodes. It can also be defined.

상기 격벽(228b, 226b)는 격벽용 절연패턴(228b)와 격벽용 공통전극패턴(226b)이 적층되고, 격벽용 공통전극 패턴(226b)은 컬러필터층(224), 보호막(220) 및 게이트 절연막(210)을 관통하여 상기 공통전극(201b)을 노출시키는 공통전극 콘택홀을 통해 공통전극(201b)와 접속하고, 격벽용 절연패턴(228b)은 격벽용 공통전극패턴(226b) 상에 형성된다. The partition walls 228b and 226b are formed by stacking the partition insulating pattern 228b and the partition common electrode pattern 226b. The partition common electrode pattern 226b includes the color filter layer 224, the passivation layer 220, and the gate insulating layer. The common electrode 201b is connected to the common electrode 201b through a common electrode contact hole through which the common electrode 201b is exposed, and the partition insulating pattern 228b is formed on the common electrode pattern 226b for the partition wall. .

상기 전기영동물질층(230)은 블랙입자(black particle, 230a)을 함유하는 투명유체(230b)가 충진되어 있으며, 상기 블랙입자(230a)는 (+) 또는 (-)전하를 띠고 있다. The electrophoretic material layer 230 is filled with a transparent fluid 230b containing black particles 230a, and the black particles 230a carry a positive or negative charge.

상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 전기영동표시장치는 단위영역 측면에 격벽용 공통전극패턴(226b)을 형성함으로써, 블랙 화면 또는 화이트 화면을 구현할 수 있다. 즉, 전하를 띤 블랙입자(230a)는 공통전극(201b)와 화소전극(222a)에 인가되는 전압의 극성에 따라 이동하게 되는 데, 상기 공통전극(201b)와 화소전극(222a)에 인가되는 전압의 극성 및 전압값을 조절함으로써, 공통전극(201b)과 연결된 격벽용 공통전극패턴(226b)와 화소전극(222a)에 분포하는 블랙입자의 이동을 제어하여 블랙 모드 또는 화이트 모드를 구현할 수 있다. The electrophoretic display device according to the present invention configured as described above may implement a black screen or a white screen by forming the common electrode pattern 226b for the partition on the side of the unit region. That is, the charged black particles 230a move in accordance with the polarities of the voltages applied to the common electrode 201b and the pixel electrode 222a, and are applied to the common electrode 201b and the pixel electrode 222a. By controlling the polarity and voltage value of the voltage, the black mode or the white mode can be implemented by controlling the movement of the black particles distributed in the common electrode pattern 226b for the partition wall connected to the common electrode 201b and the pixel electrode 222a. .

즉, 격벽용 공통전극패턴(226b)에 모든 블랙입자(230a)가 분포하는 경우, 화이트화면이 표시되고, 화소전극(222a)에 모든 블랙입자(230a)가 분포하는 경우, 블 랙화면이 표시된다. That is, when all black particles 230a are distributed in the partition common electrode pattern 226b, a white screen is displayed, and when all black particles 230a are distributed on the pixel electrode 222a, a black screen is displayed. do.

이와 같이, 블랙 모드 또는 화이트 모드에 따른 구동모드를 도 4a 및 도 4b를 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다. 이때, 블랙 입자(230a)는 (+)전하를 띠는 것으로 가정한다. As such, the driving mode according to the black mode or the white mode will be described in more detail with reference to FIGS. 4A and 4B. In this case, it is assumed that the black particles 230a carry a (+) charge.

이때, 전기영동표시소자는 외부광원에 의해 반사된 광으로 화면을 표시하게 된다. In this case, the electrophoretic display device displays the screen with the light reflected by the external light source.

먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이, 화소전극(222a)에 (-)전압을 인가하고, 공통전극(201b)에 (+)전압을 인가할 경우(예를 들어, 화소전극에 인가되는 전압보다 높은 전압이 공통전극에 인가됨), 화소전극(222a)과 블랙입자(230a)사이의 인력이 작용함으로써, 상기 블랙입자(230a)은 화소전극(222a)에 상응하는 컬러필터 패턴(22)상으로 이동하게 되고, 화소전극(222a) 상에 분포된 블랙 입자(230a)가 외부광원에 의해 반사된 광을 모두 차단시켜 블랙화면으로 표시하게 한다. First, as shown in FIG. 4A, when a negative voltage is applied to the pixel electrode 222a and a positive voltage is applied to the common electrode 201b (for example, the voltage is applied to the pixel electrode). A high voltage is applied to the common electrode) and the attraction force between the pixel electrode 222a and the black particles 230a acts, so that the black particles 230a are formed on the color filter pattern 22 corresponding to the pixel electrode 222a. The black particles 230a distributed on the pixel electrode 222a block all the light reflected by the external light source and display the black screen.

그리고, 도 4b에 도시된 바와 같이, 화소전극(222a)에 (+)전압을 인가하고, 공통전극(201b)에 (-)전압을 인가할 경우(예를 들어, 화소전극에 인가되는 전압보다 낮은 전압이 공통전극에 인가됨), 공통전극(201b)와 연결된 격벽용 공통전극패턴(226b)과 블랙입자(230a)사이의 인력이 작용함으로써, 상기 블랙입자(230a)은 격벽용 공통전극패턴(226b)으로 이동하게 되므로, 화소전극(222a)상에 광을 차단하는 블랙입자(230a)가 존재하지 않기 때문에, 외부광원에 의해 반사된 광을 모두 투과시켜 화이트화면으로 표시하게 한다. As shown in FIG. 4B, when a positive voltage is applied to the pixel electrode 222a and a negative voltage is applied to the common electrode 201b (for example, the voltage is applied to the pixel electrode). A low voltage is applied to the common electrode) and the attraction force between the partition common electrode pattern 226b and the black particles 230a connected to the common electrode 201b causes the black particles 230a to form the partition common electrode pattern. Since there is no black particle 230a blocking the light on the pixel electrode 222a since the movement to 226b occurs, all the light reflected by the external light source is transmitted to display the white screen.

이하에서는 상기와 같은 전기영동표시장치의 제조방법에 대해 보다 상세히 설명하고자 한다. Hereinafter, a method of manufacturing the electrophoretic display device as described above will be described in more detail.

도 5a 내지 도 5h는 본 발명에 따른 전기영동표시장치의 제조방법을 도시한 단면도들이다. 5A to 5H are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an electrophoretic display device according to the present invention.

도 5a에 도시된 바와 같이, 기판(201)상에 게이트용 금속층을 증착한 후 이를 선택적으로 패터닝하여, 화소영역(P)에 게이트 배선(미도시), 게이트 전극(201a), 공통전극(201b)을 형성하고, 게이트 패드 형성영역(GP)에 게이트 패드(201c)를 형성한다. As shown in FIG. 5A, a gate metal layer is deposited on the substrate 201 and then selectively patterned to form a gate wiring (not shown), a gate electrode 201a, and a common electrode 201b in the pixel region P. FIG. ) Is formed, and the gate pad 201c is formed in the gate pad formation region GP.

한편, 기판(201)은 화소영역(P), 게이트 패드 형성영역(GP), 데이터 패드 형성영역(DP)로 정의된다. The substrate 201 is defined as a pixel region P, a gate pad forming region GP, and a data pad forming region DP.

이어, 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 게이트 전극(201a), 공통전극(201b), 게이트 패드(201c)가 형성된 기판(201) 전면에 게이트 절연막(210)을 형성한다. Subsequently, as shown in FIG. 5B, a gate insulating layer 210 is formed on the entire surface of the substrate 201 on which the gate electrode 201a, the common electrode 201b, and the gate pad 201c are formed.

다음은, 도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 게이트 절연막(210)이 형성된 기판(201)상에 반도체층 및 데이터용 금속층을 증착한 후 이를 선택적으로 패터닝하여, 화소영역(P)에 데이터 배선(미도시), 반도체 패턴(211), 소스 전극(212a) 및 드레인 전극(212b)을 형성하고, 데이터 패드 형성영역(DP)에 데이터 패드(212c)를 형성한다. Next, as shown in FIG. 5C, a semiconductor layer and a data metal layer are deposited on the substrate 201 on which the gate insulating layer 210 is formed, and then selectively patterned to form a data line (not shown) in the pixel region P. The semiconductor pattern 211, the source electrode 212a and the drain electrode 212b are formed, and the data pad 212c is formed in the data pad formation region DP.

이때, 드레인 전극(212b)와 공통전극(201b)는 게이트 절연막(210)을 사이에 두고 스토리지 커패시터를 형성한다. In this case, the drain electrode 212b and the common electrode 201b form a storage capacitor with the gate insulating layer 210 interposed therebetween.

이어, 도 5d에 도시된 바와 같이, 상기 소스 전극(212a) 및 드레인 전극(212b)이 형성된 기판(201)상에 보호막(220)을 형성한 후, 상기 보호막(220)을 선택적으로 패터닝하여, 상기 화소영역(P)에 상기 드레인 전극(212b)을 노출하는 드레인 콘택홀(221a) 및 데이터 패드 형성영역(DP)에 데이터 패드(212c)를 노출하는 데이터패드 콘택홀(221d)을 각각 형성한다. 그리고, 보호막(220)의 패터닝과 더불어 게이트 절연막(210)까지 선택적으로 패터닝하여, 상기 화소영역(P)에 공통전극(201b)을 노출하는 공통전극 콘택홀(221b)과, 게이트 패드 형성영역(GP)에 게이트 패드(201c)를 노출하는 게이트 패드 콘택홀(221c)을 각각 형성한다. Subsequently, as shown in FIG. 5D, after forming the passivation layer 220 on the substrate 201 where the source electrode 212a and the drain electrode 212b are formed, the passivation layer 220 is selectively patterned. A drain contact hole 221a exposing the drain electrode 212b and a data pad contact hole 221d exposing the data pad 212c are respectively formed in the pixel region P. . In addition to patterning the passivation layer 220, the gate insulating layer 210 may be selectively patterned to expose the common electrode contact hole 221b exposing the common electrode 201b in the pixel region P, and the gate pad forming region ( Gate pad contact holes 221c exposing the gate pads 201c are respectively formed in the GP).

상기 보호막(220)은 실리콘 질화물과 같은 무기 절연물질로 형성된 막과 포토 아크릴막과 같은 유기 절연물질로 형성된 막이 적층되어 형성된다. The passivation layer 220 is formed by stacking a film formed of an inorganic insulating material such as silicon nitride and a film formed of an organic insulating material such as a photo acrylic film.

이어, 상기 게이트 패드 형성영역(GP) 및 데이터 패드 형성영역(DP)에 형성된 보호막(220) 중에서 포토 아크릴막을 패터닝한다. 이로써, 상기 게이트 패드 콘택홀(221c) 및 데이터 패드 콘택홀(221d)가 형성된 보호막(220)은 포토 아크릴막이 제거되고, 실리콘 질화막만 잔존한다. Subsequently, a photo acrylic film is patterned from the passivation layer 220 formed in the gate pad forming region GP and the data pad forming region DP. As a result, in the passivation layer 220 in which the gate pad contact hole 221c and the data pad contact hole 221d are formed, the photo acryl layer is removed and only the silicon nitride layer remains.

다음으로, 도 5e에 도시된 바와 같이, 상기 드레인 콘택홀(221a), 공통전극 콘택홀(221b)을 형성된 기판(201)상에 불투명금속막 및 투명금속막을 증착한 후 이를 선택적으로 패터닝하여, 화소영역(P)에 드레인 콘택홀(221a)을 통해 드레인 전극(212b)과 접속하는 화소전극(222a) 및 공통전극 콘택홀(221b)을 통해 공통전극(201b)과 접속하는 연결전극패턴(222b)을 각각 형성하고, 게이트 패드 형성영역(GP)에 게이트 패드 콘택홀(221c)을 통해 게이트 패드(201c)와 접속하는 게이트패드 연결전극(222c) 및 데이터 패드 콘택홀(221d)를 통해 데이터 패드 형성영역(DP)에 데이터 패드(212c)과 접속하는 데이터패드 연결전극(222d)을 각각 형성한 다. Next, as illustrated in FIG. 5E, an opaque metal film and a transparent metal film are deposited on the substrate 201 on which the drain contact hole 221a and the common electrode contact hole 221b are formed, and then patterned selectively. The pixel electrode 222a connected to the drain electrode 212b through the drain contact hole 221a and the connection electrode pattern 222b connected to the common electrode 201b through the common electrode contact hole 221b. ) And a data pad through the gate pad connecting electrode 222c and the data pad contact hole 221d respectively connected to the gate pad 201c through the gate pad contact hole 221c in the gate pad forming region GP. Data pad connection electrodes 222d are formed in the formation region DP to connect with the data pads 212c.

상기 불투명금속막은 Al, AlNd, Ag등과 같은 금속막으로 형성하고, 투명금속막은 ITO, IZO, ITZO등과 같은 금속막으로 형성한다. The opaque metal film is formed of a metal film such as Al, AlNd, Ag, and the like, and the transparent metal film is formed of a metal film such as ITO, IZO, or ITZO.

이와 같이, 불투명금속막 및 투명금속막으로 적층된 화소전극(222a)에 있어서, 불투명 금속막은 화소영역의 반사판 역할을 하게 된다. As described above, in the pixel electrode 222a stacked with the opaque metal film and the transparent metal film, the opaque metal film serves as a reflection plate of the pixel region.

다음으로, 도 5f에 도시된 바와 같이, 상기 화소전극(222a) 및 제1 연결전극패턴(222b)이 형성된 기판(201)상에 컬러필터층을 증착한 후 패터닝하여, 화소영역(P)에 컬러필터 패턴(224)을 형성한다. Next, as illustrated in FIG. 5F, a color filter layer is deposited on the substrate 201 on which the pixel electrode 222a and the first connection electrode pattern 222b are formed, and then patterned to color the pixel region P. FIG. The filter pattern 224 is formed.

이어, 컬러필터 패턴(224)이 형성된 기판(201)상에 금속막 및 절연막을 순차적으로 증착한 후 패터닝하여, 격벽용 공통전극패턴(226) 및 격벽용 절연패턴(228)이 적층된 격벽(226, 228)을 형성한다. Subsequently, a metal film and an insulating film are sequentially deposited on the substrate 201 on which the color filter pattern 224 is formed, and then patterned to form a partition wall in which the partition common electrode pattern 226 and the partition insulation pattern 228 are stacked. 226, 228).

상기 격벽용 공통전극패턴(226)은 연결전극패턴(222b)을 통해 공통전극(201b)와 연결된다. The partition common electrode pattern 226 is connected to the common electrode 201b through the connection electrode pattern 222b.

상기 격벽(226, 228)은 단위 블럭을 정의하고, 복수 개의 단위블럭(block)은 하나의 단위화소영역을 정의한다. 한편, 도 5f에 도시된 바로는, 3개의 단위블럭(block) 및 화소전극(222a)을 통해 하나의 단위화소영역을 정의하고 있지만, 하나의 단위블럭 및 화소전극을 통해 하나의 단위화소영역을 정의할 수도 있다. The partitions 226 and 228 define a unit block, and the plurality of unit blocks define one unit pixel area. Meanwhile, as illustrated in FIG. 5F, one unit pixel region is defined through three unit blocks and the pixel electrode 222a, but one unit pixel region is defined through one unit block and the pixel electrode. It can also be defined.

이어, 도 5g에 도시된 바와 같이, 상기 격벽(226, 228)이 형성된 기판(201)의 격벽(226, 228)을 통해 형성된 단위 블럭 내에 전기영동물질(electrophoretic material, 230)층을 형성한다. Subsequently, as shown in FIG. 5G, a layer of electrophoretic material 230 is formed in the unit block formed through the partition walls 226 and 228 of the substrate 201 on which the partition walls 226 and 228 are formed.

상기 전기영동물질층(230)은 블랙입자(black particle, 230a)을 함유하는 투명유체(230b)가 충진되어 있으며, 상기 블랙입자(230a)는 (+) 또는 (-)전하를 띠고 있다. The electrophoretic material layer 230 is filled with a transparent fluid 230b containing black particles 230a, and the black particles 230a carry a positive or negative charge.

마지막으로 상기 도 5h에 도시된 바와 같이, 상기 전기영동물질층(230) 및 격벽(226, 228)이 형성된 기판(201) 전면에 제2 기판(250)을 형성함으로써, 본 공정을 완료한다. Finally, as shown in FIG. 5H, the process is completed by forming the second substrate 250 on the entire surface of the substrate 201 on which the electrophoretic material layer 230 and the partition walls 226 and 228 are formed.

상기 제2 기판(250)은 전기영동물질층(230) 및 격벽(226, 228)이 형성된 제1 기판(201)상에 인캡슐레이션(encapsulation)하기 위해 형성되는 기판이다. 이때, 제1 기판(201)과 접촉하는 제2 기판(250)의 표면에 접착제가 도포되어 있고, UV경화를 통해 도포된 접착제를 경화시켜 인캡슐레이션한다. The second substrate 250 is a substrate formed for encapsulation on the first substrate 201 where the electrophoretic material layer 230 and the partition walls 226 and 228 are formed. At this time, an adhesive is applied to the surface of the second substrate 250 in contact with the first substrate 201, and the adhesive applied through UV curing is cured and encapsulated.

도 1 및 도 2는 종래의 전기영동 표시장치를 도시한 단면도1 and 2 are cross-sectional views illustrating a conventional electrophoretic display device.

도 3은 본 발명에 따른 전기영동표시장치를 도시한 단면도3 is a cross-sectional view showing an electrophoretic display device according to the present invention;

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 전기영동표시장치의 구동모드를 도시한 단면도4A and 4B are cross-sectional views showing a driving mode of the electrophoretic display device according to the present invention.

도 5a 내지 도 5h는 본 발명에 따른 전기영동표시장치의 제조방법을 도시한 단면도들5A to 5H are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an electrophoretic display device according to the present invention.

Claims (9)

제1 기판 상에 게이트 절연막을 사이에 두고 형성된 공통전극 및 화소전극과, 상기 화소전극과 전기적으로 연결된 박막 트랜지스터가 구비된 하부 어레이부와, A lower array unit including a common electrode and a pixel electrode formed on the first substrate with a gate insulating layer interposed therebetween, and a thin film transistor electrically connected to the pixel electrode; 상기 하부 어레이부 상에 형성되는 컬러필터층과, 상기 컬러필터층 상에 형성되고, 단위 블록을 정의하는 복수의 격벽과, 상기 격벽들 사이에 형성된 전기영동물질층이 구비된 상부 어레이부를 포함하고, An upper array unit including a color filter layer formed on the lower array unit, a plurality of partition walls formed on the color filter layer and defining a unit block, and an electrophoretic material layer formed between the partition walls, 상기 격벽은 격벽용 절연패턴과 격벽용 공통전극 패턴이 적층되고, 상기 격벽용 공통전극패턴은 연결전극패턴을 통해 상기 하부 어레이부의 공통전극과 연결된 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자. The partition wall has an insulating pattern for partition walls and a common electrode pattern for partition walls, and the partition common electrode pattern is connected to the common electrode of the lower array unit through a connection electrode pattern. 제1 항에 있어서, 상기 전기영동물질층은 The method of claim 1, wherein the electrophoretic material layer 전하를 띤 블랙입자(black particle)을 함유하는 투명유체가 충진되어 있는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자. An electrophoretic display device comprising a transparent fluid filled with charged black particles. 제1 항에 있어서, According to claim 1, 상기 단위 블록은 상기 화소전극이 형성되는 하나의 단위 화소영역이거나, 복수 개의 상기 단위 블록은 상기 하나의 단위 화소영역인 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자. And wherein the unit block is one unit pixel region in which the pixel electrode is formed, or the plurality of unit blocks are the one unit pixel region. 제1 항에 있어서, According to claim 1, 상기 격벽과 전기영동물질층 상에 제2 기판이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자.And a second substrate on the barrier rib and the electrophoretic material layer. 제1 기판 상에 게이트 전극, 공통전극 및 게이트 패드를 형성하는 단계와, Forming a gate electrode, a common electrode and a gate pad on the first substrate; 상기 게이트 전극 및 공통전극이 형성된 기판 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계와, Forming a gate insulating film on the substrate on which the gate electrode and the common electrode are formed; 상기 게이트 절연막이 형성된 기판 상에 소스 및 드레인 전극과 데이터 패드를 형성하는 단계와, Forming source and drain electrodes and a data pad on the substrate on which the gate insulating film is formed; 상기 소스 및 드레인 전극이 형성된 기판 상에 보호막을 형성한 후 패터닝하여 상기 드레인 전극을 노출하는 드레인 콘택홀과, 상기 데이터 패드를 노출하는 데이터 패드 콘택홀과, 상기 게이트 패드를 노출하는 게이트 패드 콘택홀과, 상기 공통전극을 노출하는 공통전극 콘택홀을 형성하는 단계와, A drain contact hole exposing the drain electrode by patterning and forming a passivation layer on the substrate on which the source and drain electrodes are formed, a data pad contact hole exposing the data pad, and a gate pad contact hole exposing the gate pad. Forming a common electrode contact hole exposing the common electrode; 상기 콘택홀들이 형성된 제1 기판 상에 제1 금속막을 형성한 후 패터닝하여, 상기 드레인 콘택홀을 통해 드레인 전극과 접속하는 화소전극, 상기 공통전극 콘택홀을 통해 상기 공통전극과 접속하는 연결전극패턴, 상기 게이트 패드 콘택홀을 통해 상기 게이트 패드와 접속하는 게이트 패드 연결전극 및 상기 데이터 패드 콘택홀를 통해 상기 데이터 패드과 접속하는 데이터패드 연결전극을 형성하는 단계와, After forming and patterning a first metal film on the first substrate on which the contact holes are formed, a pixel electrode is connected to the drain electrode through the drain contact hole, and a connection electrode pattern is connected to the common electrode through the common electrode contact hole. Forming a gate pad connection electrode connected to the gate pad through the gate pad contact hole and a data pad connection electrode connected to the data pad through the data pad contact hole; 상기 화소전극이 형성된 제1 기판 상에 컬러필터패턴을 형성하는 단계와, Forming a color filter pattern on the first substrate on which the pixel electrode is formed; 상기 컬러필터 패턴이 형성된 제1 기판 상에 제2 금속막 및 절연막을 순차적으로 형성한 후 패터닝하여, 단위 블록을 정의하는 격벽을 형성하는 단계와, Forming a partition wall defining a unit block by sequentially forming and patterning a second metal layer and an insulating layer on the first substrate on which the color filter pattern is formed; 상기 격벽들로 정의된 단위블럭 내에 전기영동물질층을 형성하는 단계와, Forming an electrophoretic material layer in a unit block defined by the partitions; 상기 전기영동물질 및 격벽이 형성된 제1 기판 상에 제2 기판을 형성하는 단계를 포함하는 전기영동표시소자의 제조방법.And forming a second substrate on the first substrate on which the electrophoretic material and the partition wall are formed. 제5 항에 있어서, 상기 제1 금속막은 The method of claim 5, wherein the first metal film Al, AlNd, Ag 중 어느 하나로 형성된 불투명 금속막과 ITO, IZO, ITZO 중 어느 하나로 형성된 투명금속막이 적층된 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 제조방법. An opaque metal film formed of any one of Al, AlNd and Ag and a transparent metal film formed of any one of ITO, IZO and ITZO are laminated. 제5 항에 있어서, 상기 전기영동물질층은 The method of claim 5, wherein the electrophoretic material layer 전하를 띤 블랙입자(black particle)을 함유하는 투명유체가 충진되어 있는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 제조방법. A method for manufacturing an electrophoretic display device, characterized in that a transparent fluid containing charged black particles is filled. 제5 항에 있어서, 6. The method of claim 5, 상기 단위 블록은 상기 화소전극이 형성되는 하나의 단위 화소영역이거나, 복수 개의 상기 단위 블록은 상기 하나의 단위 화소영역인 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 제조방법. And wherein the unit block is one unit pixel region in which the pixel electrode is formed, or a plurality of the unit blocks are the one unit pixel region. 제5항에 있어서, 상기 보호막은 무기절연물질과 유기절연물질이 적층되고, 상기 데이터 패드 콘택홀 및 게이트 패드 콘택홀이 형성된 보호막은 무기절연물질만이 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 제조방법. The electrophoretic display device of claim 5, wherein the passivation layer is formed of an inorganic insulating material and an organic insulating material, and the passivation layer having the data pad contact hole and the gate pad contact hole is formed of only an inorganic insulating material. Way.
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KR20150038806A (en) * 2013-09-30 2015-04-09 엘지디스플레이 주식회사 Optical shutter

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