KR20100071921A - Fine magnesium oxide powder and preparation thereof - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A magnesium oxide fine powder is provided to emit UV light having peak wavelength at 200-300nm and to industrially manufacture the magnesium oxide fine powder. CONSTITUTION: A method for manufacturing magnesium oxide fine powder containing halogen comprises a step of contacting magnesium vapor and oxide-containing gas under the presence of gas having 0.001-500 g of halogen based on 1kg of magnesium vapor. The halogen is at least a kind of halogen selected from the group of fluorine and chlorine. The fine powder is a hexahedron of primary particle. The fine powder is excited by electronic beam.

Description

산화 마그네슘 미세 분말 및 그 제조 방법{FINE MAGNESIUM OXIDE POWDER AND PREPARATION THEREOF}Magnesium oxide fine powder and its manufacturing method {FINE MAGNESIUM OXIDE POWDER AND PREPARATION THEREOF}

본 발명은, 산화 마그네슘 미세 분말, 특히 전자선에 의해 여기되면 파장이 200 ∼ 300 ㎚ 인 범위에서 피크 파장을 갖는 자외광을 발광하는 산화 마그네슘 미세 분말 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a magnesium oxide fine powder, particularly a magnesium oxide fine powder which emits ultraviolet light having a peak wavelength in a range of 200 to 300 nm when excited by an electron beam, and a method for producing the same.

교류형 플라즈마 디스플레이 패널 (이하, AC 형 PDP 라고도 한다) 은, 일반적으로, 방전 가스가 충전된 방전 공간을 사이에 두고 대향 배치된 전면판과 배면판으로 이루어진다. 전면판은, 전면 유리 기판, 전면 유리 기판 위에 형성된 1 쌍의 방전 전극, 방전 전극을 피복하도록 형성된 유전체층, 그리고 유전체층의 표면에 형성된 유전체 보호층으로 이루어진다. 배면판은, 배면 유리 기판, 배면 유리 기판 위에 형성된 어드레스 전극과 방전 공간을 구획하기 위한 격벽, 그리고 격벽에 의해 구획된 영역의 표면에 형성된 적색, 녹색, 청색의 형광체층으로 이루어진다.An AC plasma display panel (hereinafter also referred to as an AC PDP) generally includes a front plate and a back plate that are disposed to face each other with a discharge space filled with discharge gas therebetween. The front plate consists of a front glass substrate, a pair of discharge electrodes formed on the front glass substrate, a dielectric layer formed to cover the discharge electrodes, and a dielectric protective layer formed on the surface of the dielectric layer. The back plate consists of a back glass substrate, an address electrode formed on the back glass substrate, a partition wall for partitioning the discharge space, and red, green, and blue phosphor layers formed on the surface of the region partitioned by the partition wall.

방전 가스로서는, 일반적으로 크세논 가스와 네온 가스의 혼합 가스가 이용되고 있다. Generally as a discharge gas, the mixed gas of xenon gas and neon gas is used.

유전체 보호층의 재료로는, 2 차 전자 방출 계수가 높고, 내스퍼터성이 우수한 산화 마그네슘이 널리 이용되고 있다. As the material of the dielectric protective layer, magnesium oxide having a high secondary electron emission coefficient and excellent sputter resistance is widely used.

AC 형 PDP 에서는 전면판의 방전 전극에 전압을 인가하면, 방전 가스 중에 존재하는 이온·전자가 유전체 보호층에 충돌하여 유전체 보호층이 2 차 전자를 방출하는 공정과, 방출된 2 차 전자가 이온화되지 않은 방전 가스 원자에 충돌하여 방전 가스 원자가 이온화되는 공정을 반복함으로써, 방전 공간 중의 하전 입자가 증가되어 방전을 개시한다. 그리고, 방전에 의해 생성된 자외광에 의해, 배면판의 형광체층을 구성하는 형광체가 여기되어 발광된 청색, 녹색, 적색의 가시광을 전면판으로부터 꺼내 화상을 표시한다. In an AC PDP, when a voltage is applied to the discharge electrode of the front plate, ions and electrons present in the discharge gas collide with the dielectric protective layer, and the dielectric protective layer emits secondary electrons, and the emitted secondary electrons are ionized. By repeating the process of colliding with an undischarged discharge gas atom and ionizing the discharge gas atom, charged particles in the discharge space are increased to start discharge. By the ultraviolet light generated by the discharge, the phosphors constituting the phosphor layer of the back plate are excited to emit blue, green and red visible light emitted from the front plate to display an image.

이와 같은 기구에 의해 화상을 표시하는 AC 형 PDP 에서는 화상의 고정밀화에 수반되어, 전면판의 방전 전극에 전압을 인가한 후 방전이 개시될 때까지의 시간을 짧게 하는 것, 이른바 방전 지연을 감소시키는 것이 중요해진다. In the AC type PDP which displays an image by such a mechanism, with high definition of the image, shortening the time until the discharge is started after applying a voltage to the discharge electrode of the front panel, reducing the so-called discharge delay It becomes important.

특허문헌 1 에는, AC 형 PDP 의 방전 지연을 감소시키는 방법으로서, 유전체 보호층을, 전자선에 의해 여기되어 파장이 200 ∼ 300 ㎚ 인 범위에서 피크 파장을 갖는 자외광의 발광 (캐소드 루미네선스 발광) 을 실시하는 산화 마그네슘 결정체로 형성하는 것이 개시되어 있다. 이 특허문헌 1 에 의하면, 캐소드 루미네선스 발광을 실시하는 산화 마그네슘 결정체는, 캐소드 루미네선스 발광으로 발광하는 자외광의 피크 파장에 대응한 에너지 준위에 의해 전자를 장시간 트랩할 수 있고, 이 전자가 전계에 의해 꺼내어짐으로써, 방전 개시에 필요한 초기 전자가 얻어지므로 방전 지연이 감소된다. 즉, 특허문헌 1 에는, 캐소드 루미네선스 발광 을 실시하는 산화 마그네슘 결정체가 프라이밍 입자 방출 재료로서 작용하는 것이 기재되어 있다. 또한, 이 특허문헌 1 의 도 7 에 기재되어 있는 데이타에 의하면, 캐소드 루미네선스 발광을 실시하는 산화 마그네슘 결정체는, 입자경이 2000 옹스트롬 이상의 기상 산화법으로 합성된 산화 마그네슘 결정체이다. Patent Document 1 describes a method for reducing the discharge delay of an AC type PDP, wherein the dielectric protective layer is excited by an electron beam to emit ultraviolet light having a peak wavelength in a range of 200 to 300 nm (cathode luminescence emission). The present invention discloses forming magnesium oxide crystals. According to this patent document 1, the magnesium oxide crystal which emits cathode luminescence can trap an electron for a long time by the energy level corresponding to the peak wavelength of the ultraviolet light which emits by cathode luminescence, and this electron By taking out by the electric field, the initial electrons necessary for the start of discharge are obtained, so that the discharge delay is reduced. That is, Patent Document 1 describes that magnesium oxide crystals that emit cathode luminescence act as priming particle emitting materials. Moreover, according to the data described in FIG. 7 of this patent document 1, the magnesium oxide crystal which emits cathode luminescence is a magnesium oxide crystal synthesized by the vapor phase oxidation method with a particle diameter of 2000 Angstroms or more.

특허문헌 2 에는, AC 형 PDP 의 방전 지연을 감소시키는 방법으로서, 유전체 보호층을, 증착 또는 스퍼터링에 의해 형성되는 박막 산화 마그네슘층과, 전자선에 의해 여기되어 파장이 200 ∼ 300 ㎚ 인 범위에서 피크 파장을 갖는 자외광의 발광을 실시하는 산화 마그네슘 결정체로 이루어지는 결정 산화 마그네슘층이 적층된 구조로 하는 것이 개시되어 있다. 또한, 이 특허문헌 2 의 도 8 에 기재되어 있는 데이타에서도, 캐소드 루미네선스 발광이 보이는 것은, 입자경이 2000 옹스트롬 이상인 기상 산화법으로 합성된 산화 마그네슘 결정체이다. Patent Document 2 discloses a method of reducing the discharge delay of an AC PDP, wherein a dielectric protective layer is excited by a thin film magnesium oxide layer formed by vapor deposition or sputtering with an electron beam and has a peak in a range of 200 to 300 nm. Disclosed is a structure in which a crystal magnesium oxide layer composed of magnesium oxide crystals which emits ultraviolet light having a wavelength is laminated. In addition, also in the data described in FIG. 8 of this patent document 2, cathode luminescence emission is seen in magnesium oxide crystals synthesized by vapor phase oxidation with a particle diameter of 2000 angstrom or more.

특허문헌 3 에는, 전자선에 의해 여기되어 파장이 200 ∼ 300 ㎚ 인 범위에서 피크 파장을 갖는 자외광의 발광을 실시하는 산화 마그네슘 결정체를 2 차 전자 방출재로서, 형광체층을 구성하는 형광체에 혼합하거나, 혹은 그 산화 마그네슘 결정체로 이루어지는 층을 형광체층의 방전 공간에 접하는 측의 표면에 적층시킴으로써, AC 형 PDP 의 방전 지연이 개선되는 것이 기재되어 있다. 또한, 이 특허문헌 3 의 도 7 에 기재되어 있는 데이타에서도, 캐소드 루미네선스 발광이 보이는 것은, 입자경이 2000 옹스트롬 이상인 기상 산화법으로 합성된 산화 마그네슘 결정체이다. Patent document 3 mixes the magnesium oxide crystal | crystallization which excites by an electron beam and emits the ultraviolet light which has a peak wavelength in the range whose wavelength is 200-300 nm to the fluorescent substance which comprises a fluorescent substance layer as a secondary electron emission material, Or it is described that the discharge delay of AC type PDP is improved by laminating | stacking the layer which consists of magnesium oxide crystals on the surface of the side which contact | connects the discharge space of a fluorescent substance layer. Moreover, also in the data described in FIG. 7 of this patent document 3, cathode luminescence emission is seen in the magnesium oxide crystal synthesize | combined by the vapor phase oxidation method whose particle diameter is 2000 angstrom or more.

특허문헌 4 에는, AC 형 PDP 의 프라이밍 입자 방출 재료에, 할로겐이 1 ∼ 10000 ppm 첨가된 할로겐 함유 산화 마그네슘 결정체를 사용하는 것이 기재되어 있다. 특허문헌 4 에는, 할로겐 함유 산화 마그네슘 결정체는 평균 입자경이 0.05 ∼ 20 ㎛ 의 범위에 있는 것이 바람직하다고 기재되어 있다. 특허문헌 4 에는, 할로겐 함유 산화 마그네슘 결정체의 제조 방법으로서, 산화 마그네슘 결정체와 할로겐 함유 물질을 혼합하여, 소성하고 해쇄함으로써 제조하는 방법이 기재되어 있다. PTL 4 describes the use of halogen-containing magnesium oxide crystals containing 1 to 10000 ppm of halogen as the priming particle releasing material of the AC type PDP. Patent Document 4 describes that the halogen-containing magnesium oxide crystals preferably have an average particle diameter in the range of 0.05 to 20 µm. Patent Document 4 describes a method for producing a halogen-containing magnesium oxide crystal by mixing, firing and pulverizing the magnesium oxide crystal and a halogen-containing substance.

특허문헌 1 : 일본 공개특허공보 2006-59779호Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-59779

특허문헌 2 : 일본 공개특허공보 2006-59780호Patent Document 2: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-59780

특허문헌 3 : 일본 공개특허공보 2008-66176호 Patent Document 3: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-66176

특허문헌 4 : 일본 공개특허공보 2008-282623호Patent Document 4: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-282623

상기 특허문헌 1 및 2 에 개시되어 있는 바와 같이, AC 형 PDP 의 방전 지연을 감소시키기 위해, 유전체 보호층을 전자선에 여기되어 파장이 200 ∼ 300 ㎚ 인 범위에서 피크 파장을 갖는 자외광을 발광하는 산화 마그네슘 결정체로 형성하는 것은 유효하다. 한편, AC 형 PDP 는 전면판으로부터 가시광을 꺼내기 위해, 유전체 보호층의 재료로서 사용하는 산화 마그네슘 결정체층은 가시광 투과성이 높은 것이 바람직하다. 또 형광체층을 구성하는 형광체에 혼합하거나, 혹은 형광체층의 방전 공간에 접하는 측의 표면에 적층되는 층을 형성하는 2 차 전자 방출재로서 사용하는 산화 마그네슘 결정체에 대해서도 가시광 투과성이 높은 것이 요망된다. 그러나, 특허문헌 1 ∼ 3 에 기재되어 있는 캐소드 루미네선스 발광을 실시하는 것으로 여겨지는 산화 마그네슘 결정체는, 입자경이 2000 옹스트롬 (200 ㎚) 이상으로 크기 때문에, 가시광 투과성이 낮다는 문제가 있다. As disclosed in Patent Documents 1 and 2, in order to reduce the discharge delay of the AC type PDP, the dielectric protective layer is excited by an electron beam to emit ultraviolet light having a peak wavelength in the range of 200 to 300 nm. Forming with magnesium oxide crystals is effective. On the other hand, in the AC type PDP, in order to extract visible light from the front plate, it is preferable that the magnesium oxide crystal layer used as the material of the dielectric protective layer has high visible light transmittance. Moreover, it is desired that magnesium oxide crystals used as a secondary electron emitting material to be mixed with the phosphors constituting the phosphor layer or used as a secondary electron emission material for forming a layer laminated on the surface of the side in contact with the discharge space of the phosphor layer are desired. However, the magnesium oxide crystals which are considered to emit cathode luminescence light described in Patent Documents 1 to 3 have a problem that the visible light transmittance is low because the particle size is larger than 2000 angstroms (200 nm).

한편, 특허문헌 4 에는, 평균 입자경이 0.05 ㎛ (50 ㎚) 인 미세한 할로겐 함유 산화 마그네슘 결정체가 기재되어 있다. 그러나, 본 발명자의 검토에 의하면, 산화 마그네슘 결정체와 할로겐 함유 물질의 혼합물을 소성하면, 소성시에 산화 마그네슘 결정체끼리가 소결되어, 조대한 입자가 생성되기 쉬워, 미세한 할로겐 함유 산화 마그네슘의 분말은 얻어지지 않는 것으로 판명되었다. On the other hand, Patent Document 4 describes fine halogen-containing magnesium oxide crystals having an average particle diameter of 0.05 µm (50 nm). However, according to a study by the present inventors, when firing a mixture of magnesium oxide crystals and a halogen-containing substance, magnesium oxide crystals are sintered at the time of firing, and coarse particles are easily produced, and fine halogen-containing magnesium oxide powder is obtained. It turned out not to be lost.

따라서, 본 발명의 목적은, 전자선에 여기되면 파장 200 ∼ 300 ㎚ 인 범위에서 피크 파장을 갖는 자외광을 발광하는 미세한 할로겐 함유 산화 마그네슘 분말, 및 그 제조 방법을 제공하는 것에 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a fine halogen-containing magnesium oxide powder that emits ultraviolet light having a peak wavelength in the range of 200 to 300 nm when excited by an electron beam, and a method for producing the same.

본 발명자는, 마그네슘 증기 1 kg 에 대해, 불소나 염소 등의 할로겐이 0.01 ∼ 500 g 의 범위로 존재하는 기체 분위기 하에서, 마그네슘 증기와 산소 함유 기체를 접촉시켜 마그네슘을 산화시키는 방법에 의해, 할로겐을 0.001 ∼ 10 질량% 의 범위로 함유하고, BET 비표면적이 34 ∼ 350 ㎡/g 의 범위, 즉 BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경이 5 ㎚ 이상이고 50 ㎚ 미만인 미세한 할로겐 함유 산화 마그네슘 분말을 얻을 수 있는 것을 알아내고, 그리고, 그 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말이 전자선에 여기되면 파장 200 ∼ 300 ㎚ 인 범위에서 피크 파장을 갖는 자외광을 발광하는 것을 확인하여 본 발명을 완성하였다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM This inventor uses the method of oxidizing magnesium by contacting magnesium vapor and an oxygen containing gas in the gas atmosphere in which halogen, such as fluorine and chlorine, exists in the range of 0.01-500 g with respect to 1 kg of magnesium vapor. A fine halogen-containing magnesium oxide powder containing in the range of 0.001 to 10 mass% and having a BET specific surface area in the range of 34 to 350 m 2 / g, that is, an average particle diameter of 5 nm or more and less than 50 nm can be obtained. When the halogen-containing magnesium oxide fine powder was excited by an electron beam, it was confirmed that it was emitted, and it confirmed that light of ultraviolet light which has a peak wavelength in the range of wavelength 200-300 nm was completed, and this invention was completed.

따라서, 본 발명은, 마그네슘 증기 1 kg 에 대해, 할로겐이 0.01 ∼ 500 g 범위의 양으로 존재하는 기체 분위기 하에서, 마그네슘 증기와 산소 함유 기체를 접촉시키는 것을 특징으로 하는 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 제조 방법에 있다. Accordingly, the present invention provides magnesium halide fine powder containing magnesium vapor and oxygen-containing gas, in a gas atmosphere in which halogen is present in an amount ranging from 0.01 to 500 g per 1 kg of magnesium vapor. Is on the way.

상기 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 제조 방법에서, 할로겐은, 불소 및 염소로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 할로겐인 것이 바람직하다.In the method for producing a halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention, the halogen is preferably at least one halogen selected from the group consisting of fluorine and chlorine.

본 발명은 또한, 할로겐을 0.001 ∼ 10 질량% 의 범위로 함유하고, BET 비표면적이 34 ∼ 350 ㎡/g 의 범위에 있는 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말에 있다. This invention also exists in the halogen-containing magnesium oxide fine powder in which halogen is contained in 0.001-10 mass%, and BET specific surface area is 34-350 m <2> / g.

상기 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 바람직한 양태는 다음과 같다. Preferred embodiments of the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention are as follows.

(1) 할로겐이 불소 및/또는 염소이다.(1) Halogen is fluorine and / or chlorine.

(2) 1 차 입자의 입자 형상이 정육면체이다. (2) The particle shape of a primary particle is a cube.

(3) 전자선에 의해 여기되어 파장 200 ∼ 300 ㎚ 인 범위에서 피크 파장을 갖는 자외광을 발광한다. (3) It is excited by an electron beam and emits the ultraviolet light which has a peak wavelength in the range of wavelength 200-300 nm.

본 발명은 또한, 상기 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말로 이루어지는 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체 보호층에도 있다. The present invention also exists in a dielectric protective layer of an alternating current plasma display panel comprising the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention.

본 발명은 또한, 상기 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 함유하는 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 형광체층에도 있다. The present invention also exists in the phosphor layer of an AC plasma display panel containing the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention.

본 발명은 또한, 상기 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말로 이루어지는, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 형광체층의 방전 공간에 접하는 측의 표면에 적층되는 2 차 전자 방출층에도 있다. This invention also exists in the secondary electron emission layer laminated | stacked on the surface of the side which contact | connects the discharge space of the phosphor layer of an AC plasma display panel which consists of the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the said invention.

본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말은, 전자선에 여기되어 파장 200 ∼ 300 ㎚ 인 범위에서 피크 파장을 갖는 자외광을 발광함에도 불구하고, 종래의 전자선에 여기되어 파장 200 ∼ 300 ㎚ 인 범위에서 피크 파장을 갖는 자외광을 발광하는 산화 마그네슘 분말과 비교하여, 입자경이 작고, 가시광 투과성이 높다. 이로 인해, 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 이용하여 형성한 유전체 보호층을 구비한 AC 형 PDP 는, 방전 지연 등의 방전 특성이 향상됨과 함께, 종래의 산화 마그네슘 분말을 이용하여 형성한 유전체 보호층을 구비한 AC 형 PDP 와 비교하여 휘도가 향상된다. 또, 이와 같은 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 이용하여 형성한 유전체 보호층을 구비한 AC 형 PDP 는, 전자선에 여기되어 자외광을 발광하는, 종래의 입자경이 큰 산화 마그네슘 분말을 이용하여 형성한 유전체 보호층을 구비한 AC 형 PDP 보다 방전 개시 전압을 저하시킬 수 있다. 또, 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 형광체에 혼합하여 형광체층을 형성한 AC 형 PDP 나, 형광체층의 방전 공간에 접하는 측의 표면에 본 발명의 산화 마그네슘 미세 분말로 이루어지는 층을 적층시킨 AC 형 PDP 역시, 방전 지연 등의 방전 특성이 향상됨과 함께, 휘도가 높아진다. Although the halogen-containing magnesium oxide fine powder of this invention is excited by an electron beam and emits the ultraviolet light which has a peak wavelength in the range of wavelength 200-300 nm, it is excited by the conventional electron beam and peaks in the range which is 200-300 nm wavelength. Compared with the magnesium oxide powder which emits ultraviolet light having a wavelength, the particle size is small and the visible light transmittance is high. For this reason, the AC type PDP provided with the dielectric protective layer formed using the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention has improved discharge characteristics such as discharge delay and a dielectric formed using conventional magnesium oxide powder. The luminance is improved as compared with an AC type PDP provided with a protective layer. Moreover, AC type PDP provided with the dielectric protective layer formed using such a halogen-containing magnesium oxide fine powder of this invention uses the conventional magnesium oxide powder with big particle diameter which excites an electron beam and emits ultraviolet light. The discharge start voltage can be lowered than that of the AC type PDP provided with the formed dielectric protective layer. In addition, an AC type PDP in which the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention is mixed with a phosphor to form a phosphor layer, or a layer made of the magnesium oxide fine powder of the present invention is laminated on the surface of the phosphor layer in contact with the discharge space. AC type PDPs also have improved discharge characteristics such as discharge delays and high luminance.

또, 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 제조 방법을 이용함으로써, 상기의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 공업적으로 유리하게 제조할 수 있게 된다. Moreover, by using the manufacturing method of the halogen containing magnesium oxide fine powder of this invention, it becomes possible to industrially advantageously manufacture said halogen containing magnesium oxide fine powder.

본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말은, 할로겐을 0.001 ∼ 10 질량% 의 범위로 함유한다. 할로겐의 함유량은, 바람직하게는 0.01 ∼ 10 질량% 의 범위, 보다 바람직하게는 0.03 ∼ 5 질량% 의 범위, 더욱 바람직하게는 0.03 ∼ 3 질량% 의 범위, 특히 바람직하게는 0.1 ∼ 1 질량% 의 범위이다. 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말에 함유되는 할로겐은, 불소, 염소, 브롬 및 요오드 중 어느 1 종이어도 되고, 2 종 이상이어도 된다. 할로겐은 불소 및 염소인 것이 바람직하고, 불소인 것이 더욱 바람직하다. The halogen-containing magnesium oxide fine powder of this invention contains halogen in 0.001-10 mass%. The content of the halogen is preferably in the range of 0.01 to 10% by mass, more preferably in the range of 0.03 to 5% by mass, still more preferably in the range of 0.03 to 3% by mass, particularly preferably in the range of 0.1 to 1% by mass. Range. The halogen contained in the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention may be any one of fluorine, chlorine, bromine and iodine, or may be two or more kinds. The halogen is preferably fluorine and chlorine, more preferably fluorine.

본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말은, BET 비표면적이 34 ㎡/g 이상, 바람직하게는 34 ∼ 350 ㎡/g 의 범위, 보다 바람직하게는 48 ∼ 350 ㎡/g 의 범위에 있고, 더욱 바람직하게는 55 ∼ 350 ㎡/g 의 범위에 있고, BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경이 50 ㎚ 미만, 바람직하게는 5 ∼ 49 ㎚ 의 범위, 보다 바람직하게는 5 ∼ 35 ㎚ 의 범위, 더욱 바람직하게는 5 ∼ 30 ㎚ 의 범위에 있는 매우 미세한 분말이다. The halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention has a BET specific surface area of 34 m 2 / g or more, preferably 34 to 350 m 2 / g, more preferably 48 to 350 m 2 / g, further preferably Preferably it is in the range of 55 to 350 m 2 / g, and the average particle diameter obtained from the BET specific surface area is less than 50 nm, preferably in the range of 5 to 49 nm, more preferably in the range of 5 to 35 nm, more preferably Is a very fine powder in the range of 5 to 30 nm.

또한, 평균 입자경은 하기의 식 (I) 을 이용하여 산출한 값이다. In addition, an average particle diameter is the value computed using following formula (I).

D=A/(S×ρ)···(I)D = A / (S × ρ) ... (I)

식 (I) 에서, D 는 평균 입자경이고, A 는 표면 계수 (=6) 이고, S 는 BET 비표면적이고, ρ 는 산화 마그네슘의 진밀도이다. In formula (I), D is the average particle diameter, A is the surface coefficient (= 6), S is the BET specific surface, and ρ is the true density of magnesium oxide.

본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말은, 전자선에 의해 여기되어 파장역 200 ∼ 300 ㎚ 의 범위 (바람직하게는 230 ∼ 250 ㎚ 의 범위, 특히 240 ㎚ 부근) 에서 피크 파장을 갖는 자외광을 발광하는 특성을 갖는다. 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말은, 분산 상태의 1 차 입자로 이루어지는 것이 바람직하다. 1 차 입자의 입자 형상은 정육면체인 것이 바람직하다. The halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention is excited by an electron beam to emit ultraviolet light having a peak wavelength in the wavelength range of 200 to 300 nm (preferably in the range of 230 to 250 nm, especially around 240 nm). Has characteristics. It is preferable that the halogen-containing magnesium oxide fine powder of this invention consists of primary particle of a dispersed state. It is preferable that the particle shape of a primary particle is a cube.

다음으로, 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 제조 방법에 대해 설명한다. 본 발명에서는, 마그네슘 증기 1 kg 에 대해, 할로겐이 0.01 ∼ 500 g 범위의 양, 바람직하게는 0.1 ∼ 500 g 범위가 되는 양으로 존재하는 기체 분위기 하에서, 마그네슘 증기와 산소 함유 기체를 접촉시킴으로써 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조한다. 구체적으로는, 할로겐 함유 기체를 할로 겐의 양이 상기의 범위가 되도록 공급하면서, 마그네슘 증기와 산소 함유 기체를 접촉시킴으로써 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조한다. 이하, 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 제조 방법을 첨부 도면을 참조하면서 설명한다. Next, the manufacturing method of the halogen-containing magnesium oxide fine powder of this invention is demonstrated. In the present invention, halogen is contained by contacting magnesium vapor with an oxygen-containing gas in a gas atmosphere in which halogen is present in an amount in the range of 0.01 to 500 g, preferably in the range of 0.1 to 500 g, to 1 kg of magnesium vapor. Magnesium oxide fine powder is prepared. Specifically, the halogen-containing magnesium oxide fine powder is produced by contacting magnesium vapor with an oxygen-containing gas while supplying the halogen-containing gas such that the amount of halogen is within the above range. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the manufacturing method of the halogen containing magnesium oxide fine powder of this invention is demonstrated, referring an accompanying drawing.

도 1 은, 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 제조 방법에 유리하게 사용할 수 있는 산화 마그네슘 미세 분말 제조 장치의 일례의 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a block diagram of an example of the magnesium oxide fine powder manufacturing apparatus which can be advantageously used for the manufacturing method of the halogen-containing magnesium oxide fine powder of this invention.

도 1 에서, 산화 마그네슘 미세 분말 제조 장치는, 상부에 마그네슘 증기 분출구 (11) 를 구비하고, 측부에 금속 마그네슘 투입구 (12) 와 희석 가스 도입구 (13) 를 구비한 금속 마그네슘 용융 증발기 (10), 및 하부에서 마그네슘 증기 분출구 (11) 와 연결되고, 측부에 산소 함유 기체 분사구 (15) 를 구비하고, 상부에 산화 마그네슘 미세 분말 취출구 (16) 를 구비한 마그네슘 산화 장치 (14) 로 이루어진다. 희석 가스 도입구 (13) 로부터 도입되는 희석 가스의 예로서는, 헬륨 가스, 네온 가스, 아르곤 가스, 크립톤 가스, 크세논 가스, 및 라돈 가스를 들 수 있다. 산소 함유 기체 분사구 (15) 로부터 도입되는 산소 함유 기체의 예로서는, 산소 및 공기를 들 수 있다.In Fig. 1, the apparatus for producing magnesium oxide fine powder includes a magnesium vapor jet outlet 11 on the upper side, and a metal magnesium melt evaporator 10 having a metal magnesium inlet 12 and a dilution gas inlet 13 on the side. And a magnesium oxide oxidizing device 14 connected to the magnesium vapor jet port 11 at the lower part, provided with an oxygen-containing gas jet port 15 at the side, and provided with a magnesium oxide fine powder outlet port 16 at the upper part. Examples of the dilution gas introduced from the dilution gas introduction port 13 include helium gas, neon gas, argon gas, krypton gas, xenon gas, and radon gas. Examples of the oxygen-containing gas introduced from the oxygen-containing gas injection port 15 include oxygen and air.

도 1 의 산화 마그네슘 미세 분말 제조 장치에서, 금속 마그네슘 투입구 (12) 로부터 투입된 금속 마그네슘은, 금속 마그네슘 용융 증발기 (10) 에서 가열되어 용융되고, 생성된 용융 마그네슘 (1) 은 더욱 가열되어 마그네슘 증기가 생성된다. 생성된 마그네슘 증기는, 희석 가스 도입구 (13) 로부터 도입된 희석 가스와 함께, 마그네슘 증기 분출구 (11) 를 통과하여, 마그네슘 산화 장치 (14) 에 도입된다. 마그네슘 산화 장치 (14) 내에는, 할로겐이 상기 범위의 양으로 존재하도록 할로겐 함유 기체가 도입되어 있고, 마그네슘 증기와 산소 함유 기체 분사구 (15) 로부터 도입된 산소 함유 기체는 할로겐이 존재하는 기체 분위기 하에서 접촉되고, 마그네슘은 할로겐을 도입하면서 산화되어, 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말 (2) 이 생성된다. 생성되는 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 BET 비표면적, 즉 입자경은, 마그네슘 증기 분출구 (11) 의 단면적, 마그네슘 산화 장치 (14) 로의 마그네슘 증기나 산소 함유 기체의 도입량, 마그네슘 산화 장치 (14) 내에서의 마그네슘 증기와 산소 함유 기체의 접촉 위치를 바꿈으로써 임의로 제어할 수 있다. 마그네슘 산화 장치 (14) 내에서 생성된 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말 (2) 은, 산화 마그네슘 미세 분말 취출구 (16) 를 통과하여, 열교환기 (도시 생략) 등에 의해 냉각시킨 후에 회수·저장된다. 얻어진 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말은, 활성이 높고, 저장 중에 공기 중의 이산화탄소나 수분을 흡착하는 경우가 있기 때문에, 출하 전에 500 ∼ 1100 ℃ 의 온도에서 재소성시켜도 된다. In the magnesium oxide fine powder production apparatus of FIG. 1, the metal magnesium injected from the metal magnesium inlet 12 is heated and melted in the metal magnesium melt evaporator 10, and the resulting molten magnesium 1 is further heated to obtain magnesium vapor. Is generated. The produced magnesium vapor is introduced into the magnesium oxide device 14 through the magnesium vapor jet port 11 together with the diluent gas introduced from the dilution gas inlet port 13. In the magnesium oxidation apparatus 14, a halogen-containing gas is introduced such that halogen is present in an amount in the above range, and the oxygen-containing gas introduced from the magnesium vapor and the oxygen-containing gas injection port 15 is under a gas atmosphere in which halogen is present. Contact is carried out, and magnesium is oxidized while introducing halogen to produce halogen-containing magnesium oxide fine powder (2). The BET specific surface area, ie, the particle size, of the halogen-containing magnesium oxide fine powder to be produced is determined in the cross-sectional area of the magnesium vapor jet port 11, the amount of magnesium vapor or oxygen-containing gas introduced into the magnesium oxidizing device 14, and the magnesium oxidizing device 14. It can be controlled arbitrarily by changing the contact position of the magnesium vapor of and the oxygen-containing gas. The halogen-containing magnesium oxide fine powder 2 produced in the magnesium oxide device 14 passes through the magnesium oxide fine powder outlet 16 and is recovered and stored after cooling by a heat exchanger (not shown) or the like. Since the obtained halogen-containing magnesium oxide fine powder is highly active and may adsorb | suck carbon dioxide and water in air during storage, you may refire at 500-1100 degreeC before shipment.

마그네슘 산화 장치 (14) 에 할로겐 함유 기체를 도입하는 방법으로서는, 희석 가스 도입구 (13) 에 할로겐 함유 기체를 공급하고, 할로겐 함유 기체를 마그네슘 증기나 희석 가스와 함께 마그네슘 산화 장치 (14) 에 도입하는 방법, 산소 함유 기체 분사구 (15) 에 할로겐 함유 기체를 공급하고, 할로겐 함유 기체를 산소 함유 기체와 함께 마그네슘 산화 장치 (14) 에 도입하는 방법, 마그네슘 산화 장치 (14) 에 할로겐 함유 기체 도입구을 형성하고, 할로겐 함유 기체 단독으로 마그네 슘 산화 장치에 도입하는 방법 중 어느 것의 방법을 사용할 수 있다. As a method of introducing a halogen-containing gas into the magnesium oxidizing apparatus 14, a halogen-containing gas is supplied to the dilution gas inlet 13, and the halogen-containing gas is introduced into the magnesium oxidizing apparatus 14 together with the magnesium vapor or the diluting gas. A method of supplying a halogen-containing gas to the oxygen-containing gas injection port 15, and introducing the halogen-containing gas together with the oxygen-containing gas into the magnesium oxidizing device 14, and a halogen-containing gas inlet to the magnesium oxidizing device 14 The method of any of the methods which form and introduce | transduce into a magnesium-oxidation apparatus by the halogen containing gas alone can be used.

마그네슘 산화 장치 (14) 에 도입되는 할로겐 함유 기체는, 할로겐 (불소, 염소, 브롬, 요오드) 을 1 종 혹은 2 종 이상 함유하는 기체이다. 할로겐 함유 기체는 불소 및/또는 염소를 함유하는 기체인 것이 바람직하고, 불소 함유 기체인 것이 더욱 바람직하다. The halogen-containing gas introduced into the magnesium oxidation device 14 is a gas containing one kind or two or more kinds of halogens (fluorine, chlorine, bromine and iodine). The halogen-containing gas is preferably a gas containing fluorine and / or chlorine, and more preferably a fluorine-containing gas.

불소 함유 기체의 예로서는, 불화수소, 3 불화질소, 6 불화황, 불화술푸릴, 불화암모늄, 하이드로플루오로카본 (HFC), 퍼플루오로카본 (PFC), 하이드로플루오로에테르, 퍼플루오로케톤 등, 상온에서 기체의 불소 함유 화합물이나, 상온에서 액체 혹은 고체의 불소 함유 화합물을 가열에 의해 기화 혹은 열분해시켜 생성시킨 기체를 들 수 있다. Examples of the fluorine-containing gas include hydrogen fluoride, nitrogen trifluoride, sulfur hexafluoride, sulfuryl fluoride, ammonium fluoride, hydrofluorocarbon (HFC), perfluorocarbon (PFC), hydrofluoroether, perfluoroketone, and the like. And gas produced by evaporating or pyrolysing a gaseous fluorine-containing compound or a liquid or solid fluorine-containing compound at normal temperature by heating.

하이드로플루오로카본의 구체예로서는, 디플루오로메탄, 디플루오로에탄, 1,1,1,2-테트라플루오로에탄, 펜타플루오로에탄, 헵타플루오로프로판, 디히드로데카플루오로펜탄 등을 들 수 있다. 퍼플루오로카본의 구체예로서는, 퍼플루오로메탄, 퍼플루오로에탄 등을 들 수 있다. 하이드로플루오로에테르의 구체예로서는, 메톡시-1,1,1,2,2-테트라플루오로에탄, 메톡시-노나플루오로부탄, 에톡시-노나플루오로부탄 등을 들 수 있다. 퍼플루오로케톤의 구체예로서는, 펜타플루오로에틸-헵타오로프로필케톤 등을 들 수 있다. Specific examples of hydrofluorocarbons include difluoromethane, difluoroethane, 1,1,1,2-tetrafluoroethane, pentafluoroethane, heptafluoropropane, dihydrodecafluoropentane, and the like. Can be. Specific examples of the perfluorocarbons include perfluoromethane and perfluoroethane. Specific examples of the hydrofluoroethers include methoxy-1,1,1,2,2-tetrafluoroethane, methoxy-nonafluorobutane, ethoxy-nonafluorobutane, and the like. Specific examples of the perfluoroketone include pentafluoroethyl-heptaopropyl ketone and the like.

염소 함유 기체의 예로서는, 염색 등의 상온에서 기체의 염색 함유 화합물, 염화메틸렌, 클로로포름, 사염화탄소, 1,1,1-트리클로로에탄, 1,1,2-트리클로로에탄, 테트라클로로에틸렌, 염화티오닐, 염화술푸릴 등의 상온에서 액체 혹은 고체의 염소 함유 화합물을 가열 혹은 열분해시켜 생성시킨 기체 등을 들 수 있다.Examples of the chlorine-containing gas include dye-containing compounds of gas at room temperature, such as dyeing, methylene chloride, chloroform, carbon tetrachloride, 1,1,1-trichloroethane, 1,1,2-trichloroethane, tetrachloroethylene and tea chloride. And gases produced by heating or pyrolysing liquid or solid chlorine-containing compounds at room temperature, such as oyl and sulfuryl chloride.

불소와 염소를 함유하는 기체의 예로서는, 디클로로플루오로메탄 등의 클로로플루오로카본이나 클로로펜타플루오로에탄 등의 하이드로클로로플루오로카본을 들 수 있다. Examples of the gas containing fluorine and chlorine include chlorofluorocarbons such as dichlorofluoromethane and hydrochlorofluorocarbons such as chloropentafluoroethane.

본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말은, AC 형 PDP 의 유전체 보호층의 형성용 재료, AC 형 PDP 의 형광층을 구성하는 형광체에 혼합하는 2 차 전자 방출재, AC 형 PDP 의 형광체층의 방전 공간에 접하는 측의 표면에 적층하는 2 차 전자 방출층의 형성용 재료로서 사용할 수 있다.The halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention is the discharge material of the phosphor layer of the AC-type PDP, the secondary electron emission material mixed with the material for forming the dielectric protective layer of the AC-type PDP, the phosphor constituting the fluorescent layer of the AC-type PDP, It can be used as a material for forming the secondary electron emission layer laminated on the surface of the side in contact with the space.

본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말로 이루어지는 유전체 보호층은, 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 분산 매체에 분산시킨 분산액을 유전체층 상에 도포하고 건조시킴으로써 형성할 수 있다. 분산액의 분산 매체로는 에탄올이나 이소프로필알코올 등의 알코올을 사용할 수 있다. The dielectric protective layer made of the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention can be formed by applying and drying a dispersion liquid in which the halogen-containing magnesium oxide fine powder is dispersed in a dispersion medium on a dielectric layer. Alcohol, such as ethanol or isopropyl alcohol, can be used as a dispersion medium of a dispersion liquid.

유전체 보호층은 2 층 이상이어도 된다. 예를 들어, 유전체층 상에 전자 빔 증착법에 의해 산화 마그네슘층을 형성하고, 그 산화 마그네슘층 상에 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말로 이루어지는 층을 형성해도 된다. The dielectric protective layer may be two or more layers. For example, a magnesium oxide layer may be formed on the dielectric layer by an electron beam vapor deposition method, and a layer made of the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention may be formed on the magnesium oxide layer.

본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 함유하는 형광체층은, 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말과 형광체 분말을 분산 매체에 분산시킨 분산액을, AC 형 PDP 의 배면판 상에 도포하고 건조시킴으로써 형성할 수 있다.The fluorescent substance layer containing the halogen-containing magnesium oxide fine powder of this invention can be formed by apply | coating and drying the dispersion liquid which disperse | distributed the halogen-containing magnesium oxide fine powder and phosphor powder on the back plate of AC type PDP. .

본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말로 이루어지는 2 차 전자 방출 층은, 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말과 형광체 분말을 분산 매체에 분산 시킨 분산액을, AC 형 PDP 의 형광체층 상에 도포하고 건조시킴으로써 형성할 수 있다. The secondary electron emission layer made of the halogen-containing magnesium oxide fine powder of the present invention can be formed by applying and drying a dispersion obtained by dispersing the halogen-containing magnesium oxide fine powder and the phosphor powder in a dispersion medium on a phosphor layer of an AC PDP. Can be.

실시예Example

[실시예 1]Example 1

도 1 의 산화 마그네슘 미세 분말 제조 장치의 금속 마그네슘 용융 증발기 (10) 에, 금속 마그네슘 투입구 (12) 로부터 금속 마그네슘을 투입했다. 이어서, 희석 가스 도입구 (13) 에 아르곤을 도입하면서, 금속 마그네슘을 가열하여 용융시켰다. 용융 마그네슘을 추가로 1170 ℃ 의 온도에서 가열하고, 마그네슘 증기를 1.01 kg/시간의 생성 속도로 생성시켰다. 마그네슘 증기가 생성된 후, 희석 가스 도입구 (13) 에 아르곤을 3000 NL/시간의 유량으로, 1,1,1,2-테트라플루오로에탄 (HFC-134a) 을 0.64 NL/시간 (마그네슘 증기 1 kg/시간에 대한 불소량으로서 2.0 g/시간) 의 유량으로 도입하고, 마그네슘 증기와 아르곤과 1,1,1,2-테트라플루오로에탄의 혼합 기체로서 마그네슘 산화 장치 (14) 에 도입하였다. 이어서, 산소 함유 기체 분사구 (15) 로부터 공기를 25 Nm3/시간의 유량으로 도입하고, 산소 함유 기체와 마그네슘 증기를 접촉시키고, 마그네슘을 산화시켜 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조하였다. 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 입자 형상을 전자 현미경을 이용하여 관찰한 결과, 1 차 입자는 정육면체인 것으로 확인되었다. Metal magnesium was injected into the metal magnesium melt evaporator 10 of the magnesium oxide fine powder production apparatus of FIG. 1 from the metal magnesium inlet 12. Next, the metal magnesium was heated and melted while argon was introduced into the dilution gas introduction port 13. Molten magnesium was further heated at a temperature of 1170 ° C. and magnesium vapor was produced at a production rate of 1.01 kg / hour. After the magnesium vapor was generated, 1,1,1,2-tetrafluoroethane (HFC-134a) was 0.64 NL / hour (magnesium vapor) with argon at a flow rate of 3000 NL / hour in the diluent gas inlet 13 2.0 g / hour) as the amount of fluorine relative to 1 kg / hour, and introduced into the magnesium oxidation apparatus 14 as a mixed gas of magnesium vapor, argon and 1,1,1,2-tetrafluoroethane. . Subsequently, air was introduced from the oxygen-containing gas injection port 15 at a flow rate of 25 Nm 3 / hour, the oxygen-containing gas was brought into contact with magnesium vapor, and the magnesium was oxidized to prepare a fluorine-containing magnesium oxide fine powder. The particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using the electron microscope, and it was confirmed that the primary particle was a cube.

얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 불소 함유량 (란탄 알리자린 콤프렉손 흡광도법에 의한다) 은 0.15 질량% 이고, BET 비표면적 (질소 흡착법에 의한다) 은 35.8 ㎡/g (BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경은 47 ㎚) 이었다. 또, 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼을 캐소드 루미네선스 측정 장치에 의해 측정한 결과, 도 2 에 나타내는 바와 같은 발광 스펙트럼이 얻어지고, 전자선 여기에 의해 파장 240 ㎚ 부근에서 피크를 갖는 자외광을 발광하는 것으로 확인되었다. 자외광의 발광 강도의 최대값은 13300 arb.unit 였다. The fluorine content (by the lanthanum alizarin complexx absorbance method) of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.15 mass%, and the BET specific surface area (by the nitrogen adsorption method) was 35.8 m 2 / g (average obtained from the BET specific surface area). The particle diameter was 47 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured with the cathode luminescence measurement apparatus, the emission spectrum as shown in FIG. 2 was obtained, and the wavelength 240 was obtained by electron beam excitation. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak in the vicinity of nm. The maximum value of the luminescence intensity of the ultraviolet light was 13300 arb.unit.

[실시예 2][Example 2]

1,1,1,2-테트라플루오로에탄 가스의 유량을, 3.84 NL/시간 (마그네슘 증기 1 kg/시간에 대한 불소량으로서 13.6 g/시간) 으로 한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조하였다. 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 입자 형상을 전자 현미경을 이용하여 관찰한 결과, 1 차 입자는 정육면체인 것으로 확인되었다. In the same manner as in Example 1 except that the flow rate of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas was 3.84 NL / hour (13.6 g / hour as the amount of fluorine relative to 1 kg / hour of magnesium vapor). A fluorine-containing magnesium oxide fine powder was prepared. The particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using the electron microscope, and it was confirmed that the primary particle was a cube.

얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 불소 함유량은 0.30 질량% 이고, BET 비표면적은 34.9 ㎡/g (BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경은 48 ㎚)였다. 또, 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼을 실시예 1 과 동일하게 측정한 결과, 도 2 와 동일한 발광 스펙트럼이 얻어지고, 전자선 여기에 의해 파장 240 ㎚ 의 부근에서 피크를 갖는 자외광을 발광하는 것으로 확인되었다. 자외광의 발광 강도의 최대값은 25710 arb.unit 였다. The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.30 mass%, and the BET specific surface area was 34.9 m <2> / g (average particle diameter calculated | required from BET specific surface area is 48 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured like Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and the electron beam excitation was carried out in the vicinity of wavelength 240nm. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak. The maximum value of the luminescence intensity of the ultraviolet light was 25710 arb.unit.

[실시예 3]Example 3

1,1,1,2-테트라플루오로에탄 가스 대신에 6 불화황 가스를 1.68 NL/시간 (마그네슘 증기 1 kg/시간에 대한 불소량으로서 8.5 g/시간) 의 유량으로 증발 도가니에 도입한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조하였다. 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 입자 형상을 전자 현미경을 이용하여 관찰한 결과, 1 차 입자는 정육면체인 것으로 확인되었다.Sulfur hexafluoride gas was introduced into the evaporation crucible at a flow rate of 1.68 NL / hour (8.5 g / hour as fluorine amount to 1 kg / hour of magnesium vapor) instead of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas. A fluorine-containing magnesium oxide fine powder was prepared in the same manner as in Example 1 except for the above. The particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using the electron microscope, and it was confirmed that the primary particle was a cube.

얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 불소 함유량은 0.22 질량% 이고, BET 비표면적은 37.8 ㎡/g (BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경은 44 ㎚)였다. 또, 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼을 실시예 1 과 동일하게 측정한 결과, 도 2 와 동일한 발광 스펙트럼이 얻어지고, 전자선 여기에 의해 파장 240 ㎚ 의 부근에서 피크를 갖는 자외광을 발광하는 것으로 확인되었다. 자외광의 발광 강도의 최대값은 4920 arb·unit 였다. The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.22 mass%, and the BET specific surface area was 37.8 m <2> / g (average particle diameter calculated | required from BET specific surface area is 44 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured like Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and the electron beam excitation was carried out in the vicinity of wavelength 240nm. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak. The maximum value of the luminescence intensity of the ultraviolet light was 4920 arb · unit.

[실시예 4]Example 4

6 불화황 가스의 유량을 5.55 NL/시간 (마그네슘 증기 1 kg/시간에 대한 불소량으로서 28.8 g/시간) 으로 한 것 이외에는, 실시예 3 과 동일하게 하여 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조하였다. 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 입자 형상을 전자 현미경을 이용하여 관찰한 결과, 1 차 입자는 정육면체인 것으로 확인되었다.A fluorine-containing magnesium oxide fine powder was produced in the same manner as in Example 3 except that the flow rate of the sulfur fluoride gas was 5.55 NL / hour (28.8 g / hour as the amount of fluorine relative to 1 kg / hour of magnesium vapor). The particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using the electron microscope, and it was confirmed that the primary particle was a cube.

얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 불소 함유량은 0.60 질량% 이 고, BET 비표면적은 35.4 ㎡/g (BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경은 47 ㎚)였다. 또, 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼을 실시예 1 과 동일하게 측정한 결과, 도 2 와 동일한 발광 스펙트럼이 얻어지고, 전자선 여기에 의해 파장 240 ㎚ 의 부근에서 피크를 갖는 자외광을 발광하는 것으로 확인되었다. 자외광의 발광 강도의 최대값은 12920 arb.unit 였다. The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.60 mass%, and the BET specific surface area was 35.4 m <2> / g (average particle diameter calculated | required from BET specific surface area is 47 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured like Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and the electron beam excitation was carried out in the vicinity of wavelength 240nm. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak. The maximum value of the luminescence intensity of the ultraviolet light was 12920 arb.unit.

[실시예 5]Example 5

용융 마그네슘의 가열 온도를 1130 ℃ (마그네슘 증기의 생성 속도로서 0.28 kg/시간) 로 하고, 1,1,1,2-테트라플루오로에탄 가스의 유량을 0.64 NL/시간 (마그네슘 증기 1 kg/시간에 대한 불소량으로서 7.6 g/시간) 으로 한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조하였다. 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 입자 형상을 전자 현미경을 이용하여 관찰한 결과, 1 차 입자는 정육면체인 것으로 확인되었다. The heating temperature of the molten magnesium is 1130 ° C. (0.28 kg / hour as the production rate of magnesium vapor), and the flow rate of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas is 0.64 NL / hour (1 kg / magnesium vapor). A fluorine-containing magnesium oxide fine powder was produced in the same manner as in Example 1 except that the amount of fluorine was 7.6 g / hour). The particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using the electron microscope, and it was confirmed that the primary particle was a cube.

얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 불소 함유량은 0.25 질량% 이고, BET 비표면적은 86.4 ㎡/g (BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경 19 ㎚) 이었다. 또한, 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼을 실시예 1 과 동일하게 측정한 결과, 도 2 와 동일한 발광 스펙트럼이 얻어지고, 전자선 여기에 의해 파장 240 ㎚ 부근에서 피크를 갖는 자외광을 발광하는 것으로 확인되었다. 이 자외광의 발광 강도의 최대값은 6100 arb.unit 였다. The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.25 mass%, and the BET specific surface area was 86.4 m <2> / g (average particle diameter 19 nm calculated | required from BET specific surface area). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured like Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained and peaked in the vicinity of wavelength 240nm by electron beam excitation. It was confirmed to emit ultraviolet light having The maximum value of the luminescence intensity of this ultraviolet light was 6100 arb.unit.

[비교예 1]Comparative Example 1

1,1,1,2-테트라플루오로에탄 가스를 희석 가스 도입구에 도입하지 않은 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 산화 마그네슘 미세 분말을 제조하였다. 얻어진 산화 마그네슘 미세 분말의 입자 형상을 전자 현미경을 이용하여 관찰한 결과, 1 차 입자는 정육면체인 것으로 확인되었다. A magnesium oxide fine powder was produced in the same manner as in Example 1 except that 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas was not introduced into the dilution gas inlet. The particle shape of the obtained magnesium oxide fine powder was observed using the electron microscope, and it was confirmed that a primary particle is a cube.

얻어진 산화 마그네슘 미세 분말의 BET 비표면적은 35.3 ㎡/g (BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경은 47 ㎚) 이었다. 또, 얻어진 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼을 실시예 1 과 동일하게 측정한 결과, 파장 200 ∼ 300 ㎚ 의 범위에서 피크를 갖는 자외광의 발광은 보이지 않았다. The BET specific surface area of the obtained magnesium oxide fine powder was 35.3 m <2> / g (average particle diameter calculated | required from BET specific surface area is 47 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained magnesium oxide fine powder was measured like Example 1, the emission of the ultraviolet light which has a peak in the range of 200-300 nm of wavelength was not seen.

[실시예 6]Example 6

아르곤 가스의 유량을 6000 NL/시간으로 한 것 이외에는, 실시예 5 와 동일하게 하여 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조하였다. 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 분말의 입자 형상을 전자 현미경을 이용하여 관찰한 결과, 1 차 입자는 정육면체인 것으로 확인되었다. A fluorine-containing magnesium oxide fine powder was produced in the same manner as in Example 5 except that the flow rate of argon gas was 6000 NL / hour. The particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide powder was observed using the electron microscope, and it was confirmed that the primary particle was a cube.

얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 불소 함유량은 0.23 질량% 이고, BET 비표면적은 155.2 ㎡/g (BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경은 11 ㎚) 이었다. 또, 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼을 실시예 1 과 동일하게 측정한 결과, 도 2 와 동일한 발광 스펙트럼이 얻어지고, 전자선 여기에 의해 파장 240 ㎚ 의 부근에 피크를 갖는 자외광을 발광하는 것으로 확인되었다. 자외광의 발광 강도의 최대값은 5250 arb.unit 였다. The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.23 mass%, and the BET specific surface area was 155.2 m <2> / g (average particle diameter calculated | required from BET specific surface area is 11 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured like Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and the electron beam excitation was carried out in the vicinity of wavelength 240nm. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak. The maximum value of the luminescence intensity of the ultraviolet light was 5250 arb.unit.

[실시예 7]Example 7

1,1,1,2-테트라플루오로에탄 가스의 유량을 0.06 NL/시간 (마그네슘 증기 1 kg/시간에 대한 불소량으로서 0.73 g/시간) 으로 한 것 이외에는, 실시예 6 과 동일하게 하여 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조하였다. 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 입자 형상을 전자 현미경을 이용하여 관찰한 결과, 1 차 입자는 정육면체인 것으로 확인되었다. Fluorine was carried out in the same manner as in Example 6 except that the flow rate of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas was set to 0.06 NL / hour (0.73 g / hour as the amount of fluorine relative to 1 kg / hour of magnesium vapor). A containing magnesium oxide fine powder was prepared. The particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using the electron microscope, and it was confirmed that the primary particle was a cube.

얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 불소 함유량은 0.015 질량% 이고, BET 비표면적은 144.8 ㎡/g (BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경은 12 ㎚) 이었다. 또, 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼을 실시예 1 과 동일하게 측정한 결과, 도 2 와 동일한 발광 스펙트럼이 얻어지고, 전자선 여기에 의해 파장 240 ㎚ 의 부근에서 피크를 갖는 자외광을 발광하는 것으로 확인되었다. 자외광의 발광 강도의 최대값은 890 arb.unit 였다. The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.015 mass%, and the BET specific surface area was 144.8 m <2> / g (average particle diameter calculated | required from BET specific surface area is 12 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured like Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and the electron beam excitation was carried out in the vicinity of wavelength 240nm. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak. The maximum emission intensity of ultraviolet light was 890 arb.unit.

[실시예 8]Example 8

1,1,1,2-테트라플루오로에탄 가스의 유량을 0.02 NL/시간 (마그네슘 증기 1 kg/시간에 대한 불소량으로서 0.24 g/시간) 으로 한 것 이외에는, 실시예 6 과 동일하게 하여 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조하였다. 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 입자 형상을 전자 현미경을 이용하여 관찰한 결 과, 1 차 입자는 정육면체인 것으로 확인되었다. Fluorine in the same manner as in Example 6 except that the flow rate of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas was set to 0.02 NL / hour (0.24 g / hour as the amount of fluorine relative to 1 kg / hour of magnesium vapor). A containing magnesium oxide fine powder was prepared. As a result of observing the particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder using an electron microscope, it was confirmed that the primary particles were a cube.

얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 불소 함유량은 0.005 질량% 이고, BET 비표면적은 146.0 ㎡/g (BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경은 11 ㎚) 이었다. 또, 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼을 실시예 1 과 동일하게 측정한 결과, 도 2 와 동일한 발광 스펙트럼이 얻어지고, 전자선 여기에 의해 파장 240 ㎚ 의 부근에서 피크를 갖는 자외광을 발광하는 것으로 확인되었다. 자외광의 발광 강도의 최대값은 220 arb.unit 였다. The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.005 mass%, and the BET specific surface area was 146.0 m <2> / g (average particle diameter calculated | required from BET specific surface area is 11 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured like Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and the electron beam excitation was carried out in the vicinity of wavelength 240nm. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak. The maximum emission intensity of the ultraviolet light was 220 arb.unit.

[실시예 9]Example 9

1,1,1,2-테트라플루오로에탄 가스의 유량을 0.01 NL/시간 (마그네슘 증기 1 kg/시간에 대한 불소량으로서 0.12 g/시간) 으로 한 것 이외에는, 실시예 5 와 동일하게 하여 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조하였다. 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 입자 형상을 전자 현미경을 이용하여 관찰한 결과, 1 차 입자는 정육면체인 것으로 확인되었다. Fluorine was carried out in the same manner as in Example 5 except that the flow rate of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas was set to 0.01 NL / hour (0.12 g / hour as the amount of fluorine relative to 1 kg / hour of magnesium vapor). A containing magnesium oxide fine powder was prepared. The particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using the electron microscope, and it was confirmed that the primary particle was a cube.

얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 불소 함유량은 0.002 질량% 이고, BET 비표면적은 81.6 ㎡/g (BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경은 21 ㎚) 이었다. 또, 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼을 실시예 1 과 동일하게 측정한 결과, 도 2 와 동일한 발광 스펙트럼이 얻어지고, 전자선 여기에 의해 파장 240 ㎚ 의 부근에서 피크를 갖는 자외광을 발광하는 것으로 확인되었다. 자외광의 발광 강도의 최대값 은 210 arb.unit 였다. The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.002 mass%, and the BET specific surface area was 81.6 m <2> / g (average particle diameter calculated | required from BET specific surface area is 21 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured like Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and the electron beam excitation was carried out in the vicinity of wavelength 240nm. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak. The maximum emission intensity of the ultraviolet light was 210 arb.unit.

[실시예 10]Example 10

1,1,1,2-테트라플루오로에탄 가스의 유량을 0.06 NL/시간 (마그네슘 증기 1 kg/시간에 대한 불소량으로서 0.73 g/시간) 으로 한 것 이외에는, 실시예 5 와 동일하게 하여 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조하였다. 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 입자 형상을 전자 현미경을 이용하여 관찰한 결과, 1 차 입자는 정육면체인 것으로 확인되었다.Fluorine in the same manner as in Example 5 except that the flow rate of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas was set to 0.06 NL / hour (0.73 g / hour as the amount of fluorine relative to 1 kg / hour of magnesium vapor). A containing magnesium oxide fine powder was prepared. The particle shape of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using the electron microscope, and it was confirmed that the primary particle was a cube.

얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 불소 함유량은 0.02 질량% 이고, BET 비표면적은 78.2 ㎡/g (BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경은 21 ㎚) 이었다. 또, 얻어진 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼을 실시예 1 과 동일하게 측정한 결과, 도 2 와 동일하게 전자선 여기에 의해 파장 240 ㎚ 의 부근에서 피크를 갖는 자외광을 발광하는 것으로 확인되었다. 자외광의 발광 강도의 최대값은 1610 arb.unit 였다. The fluorine content of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.02 mass%, and the BET specific surface area was 78.2 m <2> / g (average particle diameter calculated | required from BET specific surface area is 21 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained fluorine-containing magnesium oxide fine powder was measured like Example 1, the ultraviolet light which has a peak in the vicinity of wavelength 240nm by electron beam excitation similarly to FIG. It was confirmed to emit light. The maximum value of the luminescence intensity of the ultraviolet light was 1610 arb.unit.

[실시예 11]Example 11

1,1,1,2-테트라플루오로에탄 가스 대신에 사염화탄소 가스를 0.64 NL/시간 (마그네슘 증기 1 kg/시간에 대한 염소량으로서 4.01 g/시간) 의 유량으로 도입한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 염소 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조하였다. 얻어진 염소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 입자 형상을 전자 현미경을 이용하여 관찰한 결과, 1 차 입자는 정육면체인 것으로 확인되었다. Example 1 except that carbon tetrachloride gas was introduced instead of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas at a flow rate of 0.64 NL / hour (4.01 g / hour as chlorine amount to 1 kg / hour of magnesium vapor). In the same manner, a chlorine-containing magnesium oxide fine powder was prepared. The particle shape of the obtained chlorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, and it was confirmed that the primary particles were a cube.

얻어진 염소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 염소 함유량은 0.05 질량% 이 고, BET 비표면적은 36.1 ㎡/g (BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경은 46 ㎚) 이었다. 또, 얻어진 염소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼을 실시예 1 과 동일하게 측정한 결과, 도 2 와 동일하게 전자선 여기에 의해 파장 240 ㎚ 의 부근에서 피크를 갖는 자외광을 발광하는 것으로 확인되었다. 자외광의 발광 강도의 최대값은 3840 arb.unit 였다. 또한, 염소 함유량은 이온 크로마토그래피에 의해 측정하였다.The chlorine content of the obtained chlorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.05 mass%, and the BET specific surface area was 36.1 m <2> / g (average particle diameter calculated | required from BET specific surface area is 46 nm). Moreover, as a result of measuring the emission spectrum of ultraviolet light by electron beam excitation of the obtained chlorine-containing magnesium oxide fine powder in the same manner as in Example 1, ultraviolet light having a peak in the vicinity of the wavelength of 240 nm by electron beam excitation similarly to FIG. It was confirmed to emit light. The maximum emission intensity of ultraviolet light was 3840 arb.unit. In addition, chlorine content was measured by ion chromatography.

[실시예 12]Example 12

용융 마그네슘의 가열 온도를 1130 ℃, 마그네슘 증기 공급량을 0.28 kg/시간으로 하고, 사염화탄소 가스의 유량을 0.02 NL/시간 (마그네슘 증기 1 kg/시간에 대한 염소량으로서 0.45 g/시간) 으로 한 것 이외에는, 실시예 11 과 동일하게 하여 염소 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조하였다. 얻어진 염소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 입자 형상을 전자 현미경을 이용하여 관찰한 결과, 1 차 입자는 정육면체인 것으로 확인되었다. The heating temperature of the molten magnesium was 1130 ° C., the magnesium vapor supply amount was 0.28 kg / hour, and the flow rate of carbon tetrachloride gas was 0.02 NL / hour (0.45 g / hour as the amount of chlorine relative to 1 kg / hour of magnesium vapor), In the same manner as in Example 11, a chlorine-containing magnesium oxide fine powder was prepared. The particle shape of the obtained chlorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, and it was confirmed that the primary particles were a cube.

얻어진 염소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 염소 함유량은 0.001 질량% 이고, BET 비표면적은 88.0 ㎡/g (BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경은 19 ㎚) 이었다. 또, 얻어진 염소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼을 실시예 1 과 동일하게 측정한 결과, 도 2 와 동일한 발광 스펙트럼이 얻어지고, 전자선 여기에 의해 파장 240 ㎚ 의 부근에서 피크를 갖는 자외광을 발광하는 것으로 확인되었다. 자외광의 발광 강도의 최대값은 110 arb.unit 였다. The chlorine content of the obtained chlorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.001 mass%, and the BET specific surface area was 88.0 m <2> / g (average particle diameter calculated | required from BET specific surface area is 19 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by the electron beam excitation of the obtained chlorine-containing magnesium oxide fine powder was measured like Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and the electron beam excitation was performed in the vicinity of wavelength 240nm. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak. The maximum value of the luminescence intensity of the ultraviolet light was 110 arb.unit.

[실시예 13]Example 13

1,1,1,2-테트라플루오로에탄 가스 대신에, 디클로로플루오로메탄 가스를Instead of 1,1,1,2-tetrafluoroethane gas, dichlorofluoromethane gas

0.64 NL/시간 (마그네슘 증기 1 kg/시간에 대한 불소량으로서 1.94 g/시간, 염소량으로서 3.62 g/시간) 의 유량으로 도입한 것 이외에는, 실시예 5 와 동일하게 하여 불소·염소 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 제조하였다. 얻어진 불소·염소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 입자 형상을 전자 현미경을 이용하여 관찰한 결과, 1 차 입자는 정육면체인 것으로 확인되었다. Fluorine and chlorine-containing magnesium oxide fine in the same manner as in Example 5, except that a flow rate of 0.64 NL / hour (1.94 g / hour as the amount of fluorine relative to 1 kg / hour of magnesium vapor and 3.62 g / hour as the amount of chlorine) was introduced. Powder was prepared. The particle shape of the obtained fluorine-chlorine-containing magnesium oxide fine powder was observed using an electron microscope, and it was confirmed that the primary particle was a cube.

얻어진 불소·염소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 불소 함유량은 0.08 질량%, 염소 함유량은 0.02 질량% 이고, BET 비표면적은 77.3 ㎡/g (BET 비표면적으로부터 구해지는 평균 입자경은 22 ㎚) 이었다. 또, 얻어진 불소·염소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼을 실시예 1 과 동일하게 측정한 결과, 도 2 와 동일한 발광 스펙트럼이 얻어지고, 전자선 여기에 의해 파장 240 ㎚ 의 부근에서 피크를 갖는 자외광을 발광하는 것으로 확인되었다. 자외광의 발광 강도의 최대값은 1770 arb.unit 였다. The fluorine content of the obtained fluorine-chlorine-containing magnesium oxide fine powder was 0.08 mass%, the chlorine content was 0.02 mass%, and the BET specific surface area was 77.3 m 2 / g (average particle size determined from the BET specific surface area was 22 nm). Moreover, when the emission spectrum of the ultraviolet light by electron beam excitation of the obtained fluorine-chlorine containing magnesium oxide fine powder was measured like Example 1, the emission spectrum similar to FIG. 2 was obtained, and the electron beam excitation of wavelength 240nm was carried out. It was confirmed to emit ultraviolet light having a peak in the vicinity. The maximum value of the luminescence intensity of the ultraviolet light was 1770 arb.unit.

도 1 은 본 발명의 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 제조 방법에 유리하게 사용할 수 있는 산화 마그네슘 미세 분말 제조 장치의 일례의 구성을 나타내는 도면이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the structure of an example of the magnesium oxide fine powder manufacturing apparatus which can be advantageously used for the manufacturing method of the halogen-containing magnesium oxide fine powder of this invention.

도 2 는 실시예 1 에서 제조한 불소 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 전자선 여기에 의한 자외광의 발광 스펙트럼이다. 2 is an emission spectrum of ultraviolet light by electron beam excitation of the fluorine-containing magnesium oxide fine powder prepared in Example 1. FIG.

부호의 설명Explanation of the sign

1 용융 마그네슘1 molten magnesium

2 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말 2 Halogen-containing Magnesium Oxide Fine Powder

10 금속 마그네슘 용융 증발기10 Metal Magnesium Melt Evaporator

11 마그네슘 증기 분출구 11 Magnesium Steam Jet

12 금속 마그네슘 투입구12 metal magnesium inlet

13 희석 가스 도입구13 Diluent Gas Inlet

14 마그네슘 산화 장치 14 Magnesium Oxidation Device

15 산소 함유 기체 분사구15 oxygen-containing gas nozzle

16 산화 마그네슘 미세 분말 취출구16 magnesium oxide fine powder outlet

Claims (9)

마그네슘 증기 1 kg 에 대해, 할로겐이 0.01 ∼ 500 g 범위의 양으로 존재하는 기체 분위기 하에서, 마그네슘 증기와 산소 함유 기체를 접촉시키는 것을 특징으로 하는 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 제조 방법.A method for producing a halogen-containing magnesium oxide fine powder, wherein magnesium vapor and oxygen-containing gas are brought into contact with each other in a gas atmosphere in which halogen is present in an amount ranging from 0.01 to 500 g per 1 kg of magnesium vapor. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 할로겐이 불소 및 염소로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 할로겐인 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말의 제조 방법.A method for producing a halogen-containing magnesium oxide fine powder, wherein the halogen is at least one halogen selected from the group consisting of fluorine and chlorine. 할로겐을 0.001 ∼ 10 질량% 의 범위로 함유하고, BET 비표면적이 34 ∼ 350 ㎡/g 의 범위에 있는 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말.A halogen-containing magnesium oxide fine powder containing halogen in the range of 0.001 to 10 mass% and having a BET specific surface area in the range of 34 to 350 m 2 / g. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 할로겐이 불소 및 염소로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 할로겐인 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말.Halogen-containing magnesium oxide fine powder, wherein the halogen is at least one halogen selected from the group consisting of fluorine and chlorine. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 1 차 입자의 입자 형상이 정육면체인 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말.Halogen-containing magnesium oxide fine powder in which the particle shape of the primary particles is a cube. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 전자선에 의해 여기되어 파장 200 ∼ 300 ㎚ 인 범위에서 피크 파장을 갖는 자외광을 발광하는 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말.A halogen-containing magnesium oxide fine powder which is excited by an electron beam and emits ultraviolet light having a peak wavelength in a range of 200 to 300 nm. 제 3 항에 기재된 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말로 이루어지는 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 유전체 보호층.A dielectric protective layer of an alternating current plasma display panel comprising the halogen-containing magnesium oxide fine powder according to claim 3. 제 3 항에 기재된 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말을 함유하는 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 형광체층.The phosphor layer of the alternating current plasma display panel containing the halogen-containing magnesium oxide fine powder of Claim 3. 제 3 항에 기재된 할로겐 함유 산화 마그네슘 미세 분말로 이루어지는, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 형광체층의 방전 공간에 접하는 측의 표면에 적층되는 2 차 전자 방출층.The secondary electron emission layer laminated | stacked on the surface of the side which contact | connects the discharge space of the phosphor layer of an alternating current plasma display panel which consists of a halogen-containing magnesium oxide fine powder of Claim 3.
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