KR20100071386A - Substrate rising device and apparatus for substrate transfer using the same - Google Patents

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KR20100071386A
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Abstract

PURPOSE: A substrate standing hold unit and a substrate transport device using the same are provided to maintain the erect state of a substrate by vacuum absorbing the substrate. CONSTITUTION: A substrate standing hold unit comprises a standing hold unit(20) and a conveying unit(10). The standing hold unit sprays gas on one section of a standing substrate and applies vacuum pressure on another section. The conveying unit transfers the substrate while supporting the substrate. The standing holding unit comprises a pore, a gas jet unit, and a vacuum source. The pore is installed to face one side of the standing substrate.

Description

기판 기립유지장치 및 이를 이용한 기판 이송장치{SUBSTRATE RISING DEVICE AND APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSFER USING THE SAME}SUBSTRATE RISING DEVICE AND APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSFER USING THE SAME}

본 발명은 기판 기립유지장치 및 이를 이용한 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 비접촉방식으로 기판을 기립상태로 유지하면서 이송할 수 있는 기판 기립유지장치 및 이를 이용한 기판 이송장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate standing holding apparatus and a substrate transfer apparatus using the same, and more particularly, to a substrate standing holding apparatus and a substrate transfer apparatus using the same, while maintaining the substrate in a standing state in a non-contact manner.

평판디스플레이패널이나 포토마스크 등을 제조하기 위하여 사용되는 기판은 포토리소그래피나 에칭, 세정 등의 다양한 공정을 거치게 된다.The substrate used to manufacture a flat panel display panel or photomask is subjected to various processes such as photolithography, etching, and cleaning.

이러한 일련의 공정은 스테이지에 고정상태로, 또는 이송하면서 수행하게 되는데, 통상적으로는 기판을 수평상태로 고정 또는 이송하게 된다. This series of processes is performed in a fixed state or while transferring to the stage, usually to fix or transfer the substrate in a horizontal state.

한편, 최근에는 패널의 대면적화에 따라 공간을 효율적으로 사용하기 위하여 기판을 수직 또는 수직으로부터 소정의 각도만큼 경사진 상태(이하, '기립상태'라고 한다)로 고정하거나 이송하는 경향이 있다. On the other hand, in recent years, there is a tendency to fix or transport the substrate in a state inclined by a predetermined angle from the vertical or vertical (hereinafter referred to as the "standing state") in order to use the space efficiently according to the large area of the panel.

이와 같이 기립상태로 기판을 유지(또는 고정)시키고, 이송하기 위하여 종래에도 다양한 연구가 진행되었는 바, 대표적으로는 기립된 상태의 기판을 양측면에서 각각 롤러로 접촉하여 기판이 러지는 것을 방지하고 기립상태로 유지시키는 장 치가 개시되었다.As described above, various studies have been conducted to maintain (or fix) and transport the substrate in an upright state. Typically, the upright substrate is contacted with rollers on both sides to prevent the substrate from falling and standing up. A device for maintaining the condition has been disclosed.

그러나 이 경우, 롤러가 기판의 양측 표면을 물리적으로 접촉하기 때문에 기판을 손상시키는 원인이 되는 문제점이 있다. In this case, however, there is a problem that the rollers are physically in contact with both surfaces of the substrate, causing damage to the substrate.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 비접촉방식으로 기판을 기립상태로 유지하면서 이송할 수 있는 기판 기립유지장치 및 이를 이용한 기판 이송장치를 제공함에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a substrate standing holding device and a substrate transfer device using the same, which can be transferred while maintaining the substrate in a standing state in a non-contact manner.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판 기립유지장치는 기립된 기판의 일측면에 대향되게 설치되는 베이스; 상기 베이스를 통과해서 상기 기판의 일부구간에 기체를 분사하는 기체분사부; 및 상기 베이스를 통과해서 상기 기판의 다른구간에 진공압력을 인가하는 진공원;을 포함한다. In order to solve the above technical problem, the substrate standing-maintaining apparatus according to the present invention includes a base installed to face one side of the standing substrate; A gas injection part for injecting gas through a portion of the substrate through the base; And a vacuum source passing through the base to apply a vacuum pressure to another section of the substrate.

또한 상기 베이스는 다공체인 것이 바람직하다. In addition, the base is preferably a porous body.

본 발명에 의한 기판 이송장치는 기립된 기판의 일부구간에 기체를 분사하면서 다른구간에는 진공압력을 인가하여 상기 기판의 기립상태를 유지시키는 기립유지수단; 및 상기 기판을 기립상태로 지지하면서 이송하는 이송수단;을 포함한다. The substrate transfer apparatus according to the present invention includes: standing holding means for maintaining a standing state of the substrate by applying a vacuum pressure to another section while injecting gas into a portion of the standing substrate; And transfer means for transferring the substrate while supporting the substrate in an upright state.

또한 상기 기립유지수단은, 기립된 상기 기판의 일측면에 대향되게 설치되는 다공체; 상기 다공체를 통과해서 상기 기판의 일부구간에 기체를 분사하는 기체분사부; 및 상기 다공체를 통과해서 상기 기판의 다른구간에 진공압력을 인가하는 진공원;을 포함한다. In addition, the standing holding means, the porous body is installed opposite to one side of the substrate standing up; A gas injection part for injecting gas through a portion of the substrate through the porous body; And a vacuum source passing through the porous body and applying a vacuum pressure to another section of the substrate.

또한 상기 이송수단은, 상기 기판을 기립상태로 지지하는 지지부; 및 상기 지지부를 이송하는 컨베이어밸트;를 포함한다. In addition, the transfer means, the support for supporting the substrate in a standing state; It includes; and a conveyor belt for transporting the support.

또한 상기 이송수단은 상기 기판에 전달되는 충격을 완화하는 완충부를 더 구비하는 것이 바람직하다.In addition, the transfer means is preferably further provided with a buffer to mitigate the shock transmitted to the substrate.

또한 상기 완충부는, 상기 컨베이어밸트에 고정되고, 상기 지지부를 승강가능한 상태로 수납하는 하우징; 및 상기 하우징과 지지부의 하부에 각각 설치되는 같은 극성의 자석;을 포함할 수 있다. In addition, the buffer portion, the housing is fixed to the conveyor belt, the housing for receiving the support in the lifting state; And magnets of the same polarity that are respectively installed below the housing and the support.

또한 상기 완충부는, 상기 컨베이어밸트에 고정되고, 상기 지지부를 승강가능한 상태로 수납하는 하우징; 및 상기 하우징과 지지부의 하부에 각각 연결되는 탄성체;를 포함할 수 있다. In addition, the buffer portion, the housing is fixed to the conveyor belt, the housing for receiving the support in the lifting state; And an elastic body connected to the lower portion of the housing and the support, respectively.

본 발명에 따르면, 비접촉방식으로 기판을 기립상태로 유지하면서 이송할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, there is an effect that can be transferred while maintaining the substrate in a standing state in a non-contact manner.

또한 이송 중 발생하는 충격이 기판에 전달되는 적을 방지할 수 있다. In addition, the impact generated during the transfer can be prevented from being transmitted to the substrate.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작용을 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the configuration and operation of the embodiment according to the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 기판 이송장치(1)는 기립유지수단(20,30,40)과 이송수단(10)으로 구성된다. 1 and 2, the substrate transport apparatus 1 according to the present invention is composed of standing holding means (20, 30, 40) and the conveying means (10).

상기 이송수단(10)은 기판(S)을 기립상태로 지지하면서 이송하는 구성요소로서, 기판을 지지하는 지지부(16)와, 상기 지지부(16)를 이송하는 컨베이어밸트(11)와, 상기 컨베이어밸트(11)를 구동하는 구동부(12)를 포함한다. The conveying means 10 is a component for conveying while supporting the substrate (S) in the standing state, the support 16 for supporting the substrate, the conveyor belt 11 for transporting the support 16, and the conveyor It includes a drive unit 12 for driving the belt (11).

또한 상기 기판(S)에 전달되는 충격을 완화하기 위하여 완충부를 더 구비하는데, 상기 완충부는 상기 컨베이어밸트(11)에 고정되고 상기 지지부(16)를 승강가능한 상태로 수납, 구속하는 하우징(13)과, 상기 하우징(13)의 하부에 설치되는 제1자석(14)과, 상기 제1자석(14)과 동일 극성이면서 상기 지지부(16)의 하부에 설치되는 제2자석(15)으로 구성된다. In addition, a buffer portion is further provided to alleviate the shock transmitted to the substrate S. The buffer portion is fixed to the conveyor belt 11 and accommodates and restrains the support portion 16 in a liftable state. And a first magnet 14 installed below the housing 13, and a second magnet 15 installed at the bottom of the support part 16 with the same polarity as the first magnet 14. .

이와 같이 구성됨으로써, 상기 기판(S)을 직접적으로 지지하는 지지부(16)는 컨베이어밸트(11)로부터 부상된 상태로 이송된다. 따라서 기판 이송중 발생되는 충격이 기판으로부터 전달되는 것을 차단 또는 완충되는 것이다. With this configuration, the support 16 directly supporting the substrate S is conveyed in a floating state from the conveyor belt 11. Therefore, the shock generated during substrate transfer is blocked or buffered from being transmitted from the substrate.

또한 도시되지는 아니하였으나, 자석(14,15)의 척력을 이용하는 대신에 탄성체를 이용할 수도 있다. 즉, 상기 완충부는 양단이 각각 하우징의 하부와, 지지부의 하부에 연결되는 코일스프링 등의 탄성체로 대체할 수 있는 것이다. Although not shown, an elastic body may be used instead of the repulsive force of the magnets 14 and 15. That is, the shock absorbing portion can be replaced by an elastic body such as a coil spring connected to both the lower end of the housing and the lower part of the support, respectively.

또한 본 발명에 의한 기판 이송장치(1)는 기판을 기립상태로 유지시키는 기립유지수단이 더 구비되는데, 상기 기립유지수단은 기립된 기판의 일측면에 대향되게 설치되는 다공체(20)를 포함한다. In addition, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention further includes a standing holding means for holding the substrate in a standing state, wherein the standing holding means includes a porous body 20 which is installed to face one side of the standing substrate. .

도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 다공체(20)의 배면에는 기체분사부(30)와 진공원(40)이 연결되는데, 상기 기체분사부(30)는 상기 다공체(20)를 통과해서 상기 기판의 일부구간에 기체를 분사하는 구성요소인데, 이로 인해, 기판(S)이 부양되어 기판의 자유로운 이동이 가능하게 된다. 3 and 4, a gas injection unit 30 and a vacuum source 40 are connected to the rear surface of the porous body 20, and the gas injection unit 30 passes through the porous body 20 to the above. It is a component that injects gas into a portion of the substrate, which allows the substrate S to be floated to allow free movement of the substrate.

또한 상기 진공원(40)은 상기 다공체(20)를 통과해서 상기 기판(S)의 다른 구간에 진공흡인력을 인가하는 구성요소인데, 이로 인해, 기판(S)이 다공체(20) 반 대편으로 넘어지는 것을 방지하여 기판의 기립상태를 유지시키는 역할을 한다. In addition, the vacuum source 40 is a component for applying a vacuum suction force to another section of the substrate (S) through the porous body 20, due to this, the substrate (S) is crossed to the opposite side of the porous body (20) It prevents losing and maintains the standing state of the substrate.

다시 말하면, 기판의 일부구간에서는 기판을 부양시켜 비접촉방식으로 기판을 자유로운 이동이 가능하도록 하고, 다른 구간에서는 기판을 진공흡인하여 기판의 기립상태를 유지시키는 것이다. In other words, in some sections of the substrate, the substrate is supported to freely move the substrate in a non-contact manner, and in other sections, the substrate is vacuumed to maintain the standing state of the substrate.

도 1 내지 도 4는 본 발명에 의한 기판 이송장치를 나타낸 것이다. 1 to 4 show a substrate transfer apparatus according to the present invention.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

1: 기판 이송장치 10: 이송수단1: substrate transfer apparatus 10: transfer means

11: 컨베이어밸트 12: 구동부11: conveyor belt 12: drive unit

13: 하우징 14: 제1자석13: housing 14: first magnet

15: 제2자석 16: 지지부15: 2nd magnet 16: Support part

20: 기립유지수단 30: 기체분사부20: standing holding means 30: gas injection unit

40: 진공원40: vacuum source

Claims (8)

기립된 기판의 일측면에 대향되게 설치되는 베이스;A base installed to face one side of the standing substrate; 상기 베이스를 통과해서 상기 기판의 일부구간에 기체를 분사하는 기체분사부; 및 A gas injection part for injecting gas through a portion of the substrate through the base; And 상기 베이스를 통과해서 상기 기판의 다른구간에 진공압력을 인가하는 진공원;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 기립유지장치. And a vacuum source passing through the base to apply a vacuum pressure to another section of the substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 베이스는 다공체인 것을 특징으로 하는 기판 기립유지장치. And the base is a porous body. 기립된 기판의 일부구간에 기체를 분사하면서 다른구간에는 진공압력을 인가하여 상기 기판의 기립상태를 유지시키는 기립유지수단; 및 A standing holding means for maintaining the standing state of the substrate by applying a vacuum pressure to the other section while injecting gas into a portion of the standing substrate; And 상기 기판을 기립상태로 지지하면서 이송하는 이송수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. And a transfer means for transferring the substrate while supporting the substrate in an upright state. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 기립유지수단은,The standing holding means, 기립된 상기 기판의 일측면에 대향되게 설치되는 다공체;A porous body installed to face one side of the standing substrate; 상기 다공체를 통과해서 상기 기판의 일부구간에 기체를 분사하는 기체분사부; 및 A gas injection part for injecting gas through a portion of the substrate through the porous body; And 상기 다공체를 통과해서 상기 기판의 다른구간에 진공압력을 인가하는 진공원;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. And a vacuum source passing through the porous body and applying a vacuum pressure to another section of the substrate. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 이송수단은,The transfer means, 상기 기판을 기립상태로 지지하는 지지부; 및 A support part for supporting the substrate in an upright state; And 상기 지지부를 이송하는 컨베이어밸트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. Conveyor belt for conveying the support; substrate transfer apparatus comprising a. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 이송수단은 상기 기판에 전달되는 충격을 완화하는 완충부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. The transfer means further comprises a buffer for cushioning the shock transmitted to the substrate. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 완충부는, The buffer part, 상기 컨베이어밸트에 고정되고, 상기 지지부를 승강가능한 상태로 수납하는 하우징; 및 A housing fixed to the conveyor belt and accommodating the support part in a liftable state; And 상기 하우징과 지지부의 하부에 각각 설치되는 같은 극성의 자석;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. And a magnet of the same polarity installed under each of the housing and the support. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 완충부는, The buffer part, 상기 컨베이어밸트에 고정되고, 상기 지지부를 승강가능한 상태로 수납하는 하우징; 및 A housing fixed to the conveyor belt and accommodating the support part in a liftable state; And 상기 하우징과 지지부의 하부에 각각 연결되는 탄성체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. And an elastic body connected to the lower portion of the housing and the support, respectively.
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