KR101345929B1 - Substrate suction apparatus for display panel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 디스플레이 패널용 기판 흡착장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널용 기판 흡착장치는 상부 구조물에 설치되어 승강하는 지지대;와, 중공부와, 흡착 대상 기판의 면적에 대응하는 면적을 갖는 저면부와, 상기 중공부와 연통하도록 저면부에 다수 형성되는 흡착공이 형성되어 상기 지지대의 하부에 이격 배치되는 흡착플레이트; 및, 상기 지지대와 흡착플레이트의 사이에 공기층이 마련되도록 적어도 상기 지지대와 흡착플레이트의 상호 대향하는 면의 테두리를 연결하는 완충용 에어백;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 흡착플레이트와 기판의 접촉에 의한 충격을 흡수하여 기판의 파손을 최소화할 수 있는 디스플레이 패널용 기판 흡착장치가 제공된다.The present invention relates to a substrate adsorption device for a display panel, wherein the substrate adsorption device for a display panel according to the present invention includes: a support installed on an upper structure to move up and down; and a hollow portion and an area corresponding to the area of the substrate to be adsorbed. A suction plate having a bottom surface portion and a plurality of suction holes formed in the bottom portion so as to communicate with the hollow portion and spaced apart from the lower portion of the support; And a buffer airbag connecting at least the edges of the surfaces of the support and the adsorption plate to face each other so that an air layer is provided between the support and the adsorption plate. Accordingly, there is provided a substrate adsorption device for a display panel that can absorb a shock caused by contact between the adsorption plate and the substrate to minimize breakage of the substrate.

Description

디스플레이 패널용 기판 흡착장치{Substrate suction apparatus for display panel}Substrate suction apparatus for display panel

본 발명은 디스플레이 패널용 기판 흡착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 일반 유리나 엘씨디(LCD)용 글래스, 피디피(PDP)용 글래스 등 디스플레이 패널용 기판을 진공을 이용하여 흡착 이송시키는 디스플레이 패널용 기판 흡착장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate adsorption device for display panels, and more particularly, to adsorption and transport of display panel substrates such as general glass, LCD glass, and PDP glass using vacuum. Relates to a device.

일반적으로, 진공 흡착장치는 피씨비기판, 엘씨디 글라스, 태양광 셀 등과 같은 기판을 진공 흡착한 다음, 원하는 장소로 신속하고 안전하게 이송하기 위한 것이다. 이러한 진공 흡착장치는 진공발생기와 에어라인을 매개로 연결된다.In general, the vacuum adsorption device is for vacuum adsorption of substrates such as PCBs, LCDs, photovoltaic cells, etc., and then quickly and safely transported to a desired place. This vacuum adsorption device is connected via a vacuum generator and an air line.

이와 같은 진공 흡착장치는 도 1의 (a)와 같이 내부에 중공부(11)가 마련되고, 하부에 중공부(11)와 연통하는 다수의 흡착구멍(12)들이 형성되며, 중공부(11)와 진공발생기(미도시)가 에어라인을 매개로 연결되어 있기 때문에 진공발생기에 부압이 발생되면 에어라인을 통해 진공 흡착장치(10)에도 진공이 발생되며, 도 1의 (b)와 같이 진공 흡착장치(10)가 기판(G)을 향해 하강하면 기판(G)이 진공 흡착장치(10)에 흡착되는 것이다.Such a vacuum adsorption device is provided with a hollow portion 11 therein, as shown in Figure 1 (a), a plurality of suction holes 12 are formed in communication with the hollow portion 11 at the bottom, the hollow portion 11 ) And a vacuum generator (not shown) are connected via an air line, so that when a negative pressure is generated in the vacuum generator, a vacuum is also generated in the vacuum adsorption device 10 through the air line, as shown in FIG. When the adsorption device 10 descends toward the substrate G, the substrate G is adsorbed by the vacuum adsorption device 10.

그러나, 이와 같은 종래기술에 의한 진공 흡착장치는 진공발생기로부터 발생되는 진공에 의해 기판을 진공 흡착하는 단순한 구조를 채택하고 있기 때문에 진공 흡착시 발생하는 접촉 등의 충격에 의해 기판에 흠집 등과 같은 손상을 가하게 되며, 도 2와 같이 진공 흡착장치(10)가 일측으로 기울어지는 경우, 기판(G)과 접촉하는 부위에 충격이 가해지면서 기판이 파손되거나, 불량률 발생을 증가시키게 되는 문제점이 있었다.However, since the vacuum adsorption apparatus according to the related art adopts a simple structure of vacuum adsorption of the substrate by the vacuum generated from the vacuum generator, damage such as scratches to the substrate is caused by the impact of contact or the like generated during vacuum adsorption. When the vacuum adsorption device 10 is inclined to one side as shown in FIG. 2, the substrate is damaged while an impact is applied to a portion in contact with the substrate G, or the defect rate is increased.

특히, 대면적 기판의 경우 흡착장치의 수평도와 유리기판의 수평도를 정밀하게 유지하여야만 하며, 이송하고자 하는 기판의 두께가 달라지거나, 이송시 기판의 휨, 비틀림 등에 의해 발생하는 기판 자체의 높이 차이에 대한 완충 기능이 전혀 없기 때문에 기판의 두께가 두꺼워지는 경우, 상기 진공 흡착장치가 기판과 과도하게 접촉되어 기판이 파손되거나, 기판의 두께가 얇아지는 경우, 흡착에 실패하거나 운송 중 기판이 추락하게 되는 등 심각한 문제점들이 있었다.In particular, in the case of large area substrates, the horizontality of the adsorption device and the glass substrate must be maintained precisely, and the height difference of the substrate itself generated due to the change of the thickness of the substrate to be transferred or the bending or torsion of the substrate during transfer. If the thickness of the substrate becomes thick because there is no buffering function at all, if the vacuum adsorption device is in excessive contact with the substrate and the substrate is damaged or the thickness of the substrate becomes thin, the adsorption fails or the substrate falls during transportation. There were some serious problems.

게다가 진공 흡착장치가 기판을 가압하여 파손되는 것을 방지하기 위해 진공 흡착장치의 하강위치가 기판의 상측면으로부터 소정간격 이격된 위치에 배치되도록 하는 경우, 진공 흡착장치의 기판 흡착 성공률이 낮아지는 문제점이 있었다. In addition, in order to prevent the vacuum adsorption device from being damaged by pressurizing the substrate, when the lowering position of the vacuum adsorption device is disposed at a position spaced apart from the upper surface of the substrate by a predetermined distance, the problem of the substrate adsorption success rate of the vacuum adsorption device is lowered. there was.

또한, 대한민국 공개특허 제10-2005-0002680호와 같이 각각의 흡착반에 스프링을 배치하여 완충기능을 제공하는 기술이 공개되어 있으나, 각각의 흡착반에 완충용 스프링이 마련되는 경우, 기판의 기울기 또는 흡착장치의 기울기에 따라 스프링의 반발력에 의한 압력이 기판의 일영역에 집중적으로 작용하게 되는 문제점이 있다.In addition, as disclosed in the Republic of Korea Patent Publication No. 10-2005-0002680 discloses a technique for providing a buffer function by placing a spring in each of the adsorption board, when the buffer spring is provided in each of the adsorption board, the slope of the substrate Alternatively, there is a problem that the pressure due to the spring repulsive force acts intensively on one region of the substrate according to the inclination of the adsorption device.

특허문헌 1. 대한민국 공개특허 제10-2005-0002680호, 이상규 (2005.01.10)Patent Document 1. Republic of Korea Patent Publication No. 10-2005-0002680, Lee Sang-kyu (2005.01.10)

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 지지대와 흡착플레이트의 사이에 개재되는 완충용 에어백을 통해 흡착플레이트와 기판의 접촉에 의한 충격을 흡수하여 기판의 파손을 최소화할 수 있는 디스플레이 패널용 기판 흡착장치를 제공함에 있다. Therefore, an object of the present invention is to solve such a conventional problem, to minimize the damage of the substrate by absorbing the impact of the contact of the adsorption plate and the substrate through a buffer airbag interposed between the support and the adsorption plate. The present invention provides a substrate adsorption device for a display panel.

또한, 흡착플레이트의 하강위치가 흡착플레이트와 기판이 접촉하는 기준위치보다 추가로 하강하는 경우에도 기판과의 충격이 완충용 에어백에 의해 흡수되면서 흡착되므로 기판의 흡착 성공률을 향상시킬 수 있는 디스플레이 패널용 기판 흡착장치를 제공함에 있다.In addition, even when the lowering position of the adsorption plate is further lowered than the reference position at which the adsorption plate and the substrate contact, the shock with the substrate is absorbed while being absorbed by the buffer airbag, so that the success rate of adsorption of the substrate can be improved. The present invention provides a substrate adsorption device.

또한, 상기 완충용 에어백을 연신 가능한 재질로 구성함으로써 지지대가 다소 경사배치되는 경우에도 흡착플레이트가 비교적 수평상태를 유지할 수 있는 디스플레이 패널용 기판 흡착장치를 제공함에 있다.In addition, the present invention provides a display panel substrate adsorption device in which the adsorption plate can maintain a relatively horizontal state even when the support is slightly inclined by configuring the buffer airbag.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 상부 구조물에 설치되어 승강하는 지지대;와, 내부에 중공부를 가지며, 흡착 대상 기판에 접촉하는 저면부와, 상기 저면부에 복수의 흡착공이 형성되어 상기 지지대의 하부에 배치되는 흡착플레이트; 및, 상기 지지대와 흡착플레이트의 사이에 공기층이 마련되도록 적어도 상기 지지대와 흡착플레이트의 상호 대향하는 면의 테두리를 연결하는 완충용 에어백;을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 기판 흡착장치에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, the support is installed in the upper structure to move up and down; and having a hollow inside, a bottom portion in contact with the substrate to be adsorbed, a plurality of adsorption holes are formed in the bottom portion is the lower portion of the support Adsorption plate disposed in the; And a buffer airbag connecting at least the edges of the surfaces of the support and the adsorption plate to face each other such that an air layer is provided between the support and the adsorption plate. do.

여기서, 상기 흡착플레이트는 완충용 에어백에 의해 지지대의 하부에 매달린 상태를 유지하는 것이 바람직하다.Here, the adsorption plate is preferably maintained in a state suspended from the lower portion of the support by a buffer airbag.

또한, 상기 완충용 에어백은 연신 가능한 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, the buffer air bag is preferably made of a stretchable material.

또한, 상기 지지대의 무게중심과 흡착플레이트의 무게중심은 동일 수직축상에 배치되는 것이 바람직하다.In addition, the center of gravity of the support and the center of gravity of the suction plate is preferably disposed on the same vertical axis.

또한, 상기 완충용 에어백은 흡착플레이트의 하중에 의해 팽창된 상태를 유지하며, 측면에 공기 유입공과 유출공이 각각 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the buffer airbag is maintained in an inflated state by the load of the suction plate, it is preferable that the air inlet and outlet holes are formed on the side, respectively.

또한, 상기 유입공의 내부에는 공기를 유입방향으로 유통시키는 인입 체크밸브가 배치되고, 상기 유출공의 내부에는 공기를 유출방향으로 유통시키는 인출 체크밸브가 배치되는 것이 바람직하다.In addition, an inlet check valve for distributing air in the inflow direction is disposed inside the inlet hole, and an outlet check valve for distributing air in the outflow direction is disposed inside the outlet hole.

본 발명에 따르면, 지지대와 흡착플레이트의 사이에 개재되는 완충용 에어백을 통해 흡착플레이트와 기판의 접촉에 의한 충격을 흡수하여 기판의 파손을 최소화할 수 있는 디스플레이 패널용 기판 흡착장치가 제공된다. According to the present invention, there is provided a substrate adsorption device for a display panel that can minimize the damage of the substrate by absorbing the impact of the contact between the adsorption plate and the substrate through a buffer air bag interposed between the support and the adsorption plate.

또한, 흡착플레이트의 하강위치가 흡착플레이트와 기판이 접촉하는 기준위치보다 추가로 하강하는 경우에도 기판과의 충격이 완충용 에어백에 의해 흡수되면서 흡착되므로 기판의 흡착 성공률을 향상시킬 수 있는 디스플레이 패널용 기판 흡착장치가 제공된다. In addition, even when the lowering position of the adsorption plate is further lowered than the reference position at which the adsorption plate and the substrate contact, the shock with the substrate is absorbed while being absorbed by the buffer airbag, so that the success rate of adsorption of the substrate can be improved. A substrate adsorption device is provided.

또한, 상기 완충용 에어백을 연신 가능한 재질로 구성함으로써 지지대가 다소 경사배치되는 경우에도 흡착플레이트가 비교적 수평상태를 유지할 수 있는 디스플레이 패널용 기판 흡착장치가 제공된다. In addition, by providing a cushioning airbag made of a stretchable material, there is provided a substrate adsorption device for a display panel that can maintain the adsorption plate in a relatively horizontal state even when the support is slightly inclined.

도 1 내지 도 2는 종래 진공 흡착장치의 구성 및 작용을 나타내는 단면도,
도 3은 본 발명 디스플레이 패널용 기판 흡착장치의 부분절개 사시도,
도 4는 본 발명 디스플레이 패널용 기판 흡착장치에 따른 완충용 에어백의 발췌사시도,
도 5는 본 발명 디스플레이 패널용 기판 흡착장치의 단면도,
도 6은 본 발명 디스플레이 패널용 기판 흡착장치의 작용단면도,
도 7은 본 발명에 따른 지지대가 경사방향으로 기울어진 상태의 단면도이고,
도 8은 도 7의 상태에 따른 작용단면도이다.1 to 2 is a cross-sectional view showing the configuration and operation of the conventional vacuum adsorption device,
Figure 3 is a partial cutaway perspective view of the substrate adsorption device for a display panel of the present invention,
Figure 4 is an exploded perspective view of the buffer airbag according to the substrate adsorption device for a display panel of the present invention,
5 is a cross-sectional view of a substrate adsorption device for a display panel of the present invention;
6 is a cross-sectional view of the operation of the substrate adsorption device for a display panel of the present invention;
7 is a cross-sectional view of the support according to the present invention inclined in the inclined direction,
8 is a cross-sectional view of the operation according to the state of FIG.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.Prior to the description, components having the same configuration are denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment. In other embodiments, configurations different from those of the first embodiment will be described do.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 디스플레이 패널용 기판 흡착장치에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a display panel substrate adsorption device according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부도면 중 도 3은 본 발명 디스플레이 패널용 기판 흡착장치의 부분절개 사시도이고, 도 4는 본 발명 디스플레이 패널용 기판 흡착장치에 따른 완충용 에어백의 발췌사시도이다.3 is a partially cutaway perspective view of the substrate adsorption device for a display panel of the present invention, and FIG. 4 is an exploded perspective view of a buffer airbag according to the substrate adsorption device for a display panel of the present invention.

상기 도면에서 도시하는 바와 같은 본 발명 디스플레이 패널용 기판 흡착장치은 크게 지지대(110), 흡착플레이트(120), 완충용 에어백(130)을 포함하여 구성된다.The substrate adsorption device for a display panel of the present invention as shown in the drawings is largely comprised of a support 110, an adsorption plate 120, and a buffer airbag 130.

상기 지지대(110)는 상부 구조물에 설치되어 별도의 구동수단에 의해 승강한다.The support 110 is installed on the upper structure is elevated by a separate drive means.

상기 흡착플레이트(120)는 내부에 중공부(123)를 가지며, 흡착 대상 기판에 접촉하는 저면부(121)와, 상기 저면부(121)에 복수의 흡착공(122)이 형성되며, 상기 중공부(123)는 진공발생기와 연결관으로 연결되어 진공발생기의 구동에 의해 진공상태를 유지한다. 또한, 상기 지지대(110)의 무게중심과 흡착플레이트(120)의 무게중심은 동일한 수직축상에 위치하도록 배치된다. 여기서, 진공의 누설을 방지하기 위해 상기 흡착플레이트(120)의 저면부(121)는 기판(G)과 동일하게 형성되거나 기판(G)보다 작게 형성되거나, 저면부(121)에 형성되는 복수의 흡착공(122)이 기판(G)이 접촉하게 되는 영역에 균등하게 분포되거나, 기판(G)보다 작은 영역에 균등하게 분포되는 것이 바람직할 것이다.The adsorption plate 120 has a hollow portion 123 therein, a bottom portion 121 in contact with a substrate to be adsorbed, a plurality of adsorption holes 122 are formed in the bottom portion 121, and the hollow portion The unit 123 is connected to the vacuum generator and the connection pipe to maintain a vacuum state by driving the vacuum generator. In addition, the center of gravity of the support 110 and the center of gravity of the suction plate 120 is disposed on the same vertical axis. Here, in order to prevent the leakage of vacuum, the bottom portion 121 of the adsorption plate 120 is formed in the same as the substrate (G) or smaller than the substrate (G), or a plurality of formed on the bottom portion 121 It is preferable that the adsorption holes 122 are evenly distributed in the region where the substrate G is in contact, or evenly distributed in the region smaller than the substrate G.

상기 완충용 에어백(130)은 신축가능한 재질로 이루어져 상기 지지대(110)와 흡착플레이트(120)의 사이에 공기층이 마련되도록 적어도 상기 지지대(110)와 흡착플레이트(120)의 상호 대향하는 면의 테두리를 연결하는 것으로, 본 실시예에서는 상측면이 지지대(110)의 저면에 밀착고정되고, 하측면이 상기 흡착플레이트(120)의 상면부에 밀착고정되는 공기주머니의 형태인 것으로 예를 들어 설명한다. 상기와 같이 지지대(110)와 흡착플레이트(120)의 사이에 개재되는 완충용 에어백(130)에 의해 상기 흡착플레이트(120)는 지지대(110)에 탄력적으로 매달린 상태가 되며, 이때 상기 완충용 에어백(130)은 흡착플레이트(120)의 하중에 의해 팽창된 상태가 된다. The cushioning airbag 130 is made of a stretchable material so that an air layer is provided between the support 110 and the adsorption plate 120, at least the edges of the surfaces of the support 110 and the adsorption plate 120 that face each other. In this embodiment, the upper side is fixed in close contact with the bottom of the support 110, the lower side is described as an example of the form of an air bag is fixed in close contact with the upper surface of the adsorption plate 120. . As described above, the adsorption plate 120 is elastically suspended from the support 110 by the buffer airbag 130 interposed between the support 110 and the adsorption plate 120, and at this time, the buffer airbag 130 is in an expanded state by the load of the adsorption plate 120.

또한, 상기 완충용 에어백(130)의 측면부(131)에는 공기의 유입을 안내하는 적어도 하나의 유입공(132) 및 공기의 유출을 안내하는 적어도 하나의 유출공(133)이 형성되며, 상기 유입공(132)과 유출공(133)에는 공기를 유입방향으로 유통시키거나 공기를 유출방향으로 유통시키는 체크밸브(V)가 각각 마련된다.
In addition, the side portion 131 of the buffer airbag 130 is formed with at least one inlet hole 132 for guiding the inflow of air and at least one outlet hole 133 for guiding the outflow of air is formed, the inlet The ball 132 and the outlet hole 133 are provided with check valves V for distributing air in the inflow direction or for distributing the air in the outflow direction.

지금부터는 상술한 디스플레이 패널용 기판 흡착장치의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.The operation of the first embodiment of the above-described substrate adsorption device for display panel will now be described.

첨부도면 중 도 5는 본 발명 디스플레이 패널용 기판 흡착장치의 단면도이고, 도 6은 본 발명 디스플레이 패널용 기판 흡착장치의 작용단면도이다.5 is a cross-sectional view of the substrate adsorption device for a display panel of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view of an operation of the substrate adsorption device for a display panel of the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 승강하는 상부구조물에 설치된 지지대(110)의 하부에는 저면부(121)에 다수의 흡착공(122)이 형성된 흡착플레이트(120)가 나란하게 배치되고, 상기 지지대(110)와 흡착플레이트(120)의 사이에는 신축 가능한 재질로 이루어진 완충용 에어백(130)이 배치되며, 상기 흡착플레이트(120)는 완충용 에어백(130)에 의해 지지대(110)에 매달린 상태가 된다. As shown in FIG. 5, the adsorption plate 120 having a plurality of adsorption holes 122 formed on the bottom surface 121 is disposed in a lower portion of the support 110 installed in the upper structure to be elevated, and the support ( Between the 110 and the suction plate 120 is disposed a cushioning airbag 130 made of a stretchable material, the adsorption plate 120 is suspended to the support 110 by the buffer airbag 130. .

따라서, 상기 완충용 에어백(130)은 흡착플레이트(120)의 중량에 의해 상,하 방향으로 잡아당겨지는 상태가 되며, 이때 완충용 에어백(130)의 팽창과 동시에 완충용 에어백(130)의 측면에 형성된 유입공(132)을 통해 외부공기가 완충용 에어백(130)의 내부공간으로 유입되면서 완충용 에어백(130)이 상,하방향으로 팽창되는 것과 동시에 완충용 에어백(130)의 측면부(131)가 연신되며, 이러한 완충용 에어백(130)의 팽창 및 연신에 의해 흡착플레이트(120)가 수평상태를 유지하게 된다. Therefore, the buffer airbag 130 is pulled in the up and down direction by the weight of the adsorption plate 120, at this time the side of the buffer airbag 130 at the same time as the expansion of the buffer airbag 130 As the outside air flows into the inner space of the buffer airbag 130 through the inlet hole 132 formed therein, the side surface 131 of the buffer airbag 130 is expanded at the same time as the buffer airbag 130 is expanded in the up and down directions. ) Is stretched, and the adsorption plate 120 is maintained in a horizontal state by the expansion and stretching of the buffer airbag 130.

한편, 상기 흡착플레이트(120)는 내부의 중공부(123)와 연결관으로 연결되는 진공발생기의 구동에 의해 진공상태가 될 수 있으며, 중공부(123)의 진공에 의해 흡착공(122)이 다수 형성된 저면부(121)에 기판을 흡착할 수 있게 된다. On the other hand, the adsorption plate 120 may be in a vacuum state by the operation of the vacuum generator connected to the hollow portion 123 and the connection pipe therein, the suction hole 122 by the vacuum of the hollow portion 123 It is possible to adsorb the substrate to the bottom portion 121 formed in large numbers.

이어서, 도 6과 같이 기판을 흡착하기 위해 지지대(110)가 하강하게 되는데, 기판의 두께가 달라지거나 지지대(110)의 하강위치 설정값 오류 등에 따라 지지대(110)가 기판의 상측면과 흡착플레이트(120)의 저면부(121)가 접촉하는 기준위치보다 추가로 하강하는 경우, 지지대(110)와 흡착플레이트(120)의 사이에 개재되어있는 완충용 에어백(130)이 압축되면서 기판(G)과의 접촉충격을 흡수하므로 기판에 가해지는 충격이 최소화되는 것은 물론, 기판(G)의 흡착 성공률이 향상된다. Subsequently, the support 110 is lowered to adsorb the substrate as shown in FIG. 6, and the support 110 is attached to the upper side of the substrate and the adsorption plate due to a change in thickness of the substrate or an error in setting position of the support 110. If the bottom portion 121 of the 120 is lowered further than the reference position in contact, the buffer (G) air bag 130 interposed between the support 110 and the suction plate 120 is compressed while the substrate (G) Absorption of the contact shock with the substrate minimizes the impact on the substrate, and improves the success rate of adsorption of the substrate G.

특히, 완충용 에어백(130)의 압축과 동시에 완충용 에어백(130)의 완충용 에어백(130)의 측면에 형성된 유출공(133)을 통해 완충용 에어백(130)의 내부공기가 외부로 배출되면서 압축되면서 완충용 에어백(130)의 내부압력이 낮아지므로 기판을 가압하는 압력이 최소화된다. In particular, the internal air of the buffer airbag 130 is discharged to the outside through the outlet hole 133 formed on the side of the buffer airbag 130 of the buffer airbag 130 at the same time as the compression of the buffer airbag 130 Since the internal pressure of the buffer airbag 130 is lowered while being compressed, the pressure to pressurize the substrate is minimized.

또한, '밀폐된 용기 속에 들어있는 유체는 그 압력 분포가 동일하며, 유체의 일부에 압력을 가하면 그 압력이 용기 내의 어느 부분에서나 동일하게 전해지는 파스칼의 원리(Pascal's principle)'에 따라 흡착플레이트(120)를 통해 기판에 가해지는 압력이 기판의 전면에 분산되어 전달되므로, 흡착플레이트(120)의 가압력에 의해 기판이 파손되는 것이 방지된다.In addition, the fluid contained in a sealed container has the same pressure distribution, and when a pressure is applied to a part of the fluid, the adsorption plate (Pascal's principle) is that the pressure is equally transmitted to any part of the container. Since the pressure applied to the substrate through 120 is dispersed and transferred to the front surface of the substrate, the substrate is prevented from being damaged by the pressing force of the adsorption plate 120.

또한, 상기와 같이 흡착플레이트(120)의 하강위치가 기판과 접촉하는 기준위치보다 낮게 설정되더라도 기판에 가해지는 충격을 최소화할 수 있으므로 흡착플레이트(120)의 하강위치를 보다 낮게 설정하는 것이 가능하게 되며, 이러한 경우 흡착플레이트(120)의 기판 흡착 성공률이 향상된다. In addition, even if the lowered position of the adsorption plate 120 is set lower than the reference position in contact with the substrate as described above, the impact on the substrate can be minimized, so that the lowered position of the adsorption plate 120 can be set lower. In this case, the substrate adsorption success rate of the adsorption plate 120 is improved.

첨부도면 중 도 7은 본 발명에 따른 지지대(110)가 경사방향으로 기울어진 상태의 단면도이고, 도 8은 도 7의 상태에 따른 작용단면도이다.7 is a cross-sectional view of the support 110 according to the present invention inclined in the inclined direction, Figure 8 is a cross-sectional view according to the state of FIG.

도 7과 같이 지지대(110)가 설치되는 반송시스템과 같은 상부구조물의 수평 변형 또는 하강 수평도가 잘못 설정된 경우, 지지대(110)가 일측으로 기울어진 상태가 되는데, 이때, 상기 지지대(110)의 하부에 완충용 에어백(130)에 의해 매달린 상태가 되는 흡착플레이트(120)에는 중력이 균등하게 작용하게 되며, 지지대(110)의 무게중심과 흡착플레이트(120)의 무게중심이 동일한 수직축상에 배치되어 있으므로, 비교적 흡착플레이트(120)의 수평도가 유지된다. When the horizontal deformation of the upper structure, such as the conveying system in which the support 110 is installed as shown in Figure 7 or the horizontal level is set incorrectly, the support 110 is inclined to one side, at this time, of the support 110 Gravity acts evenly on the adsorption plate 120 which is suspended by the cushioning airbag 130 at the lower part, and the center of gravity of the support 110 and the center of gravity of the adsorption plate 120 are disposed on the same vertical axis. As a result, the level of the adsorption plate 120 is maintained relatively.

즉, 도면에서와 같이 경사방향으로 배치된 지지대(110)에 작용하는 흡착플레이트(120)의 하중이 경사면의 상단부에서는 크게 작용하고 경사면의 하단부에서는 작게 작용하게 되므로, 하중의 크기에 따라 완충용 에어백(130)의 측면부(131)가 서로 다른 길이로 연신되므로, 지지대(110)가 다소 경사배치되더라도 흡착플레이트(120)는 비교적 수평상태를 유지할 수 있게 된다. That is, the load of the adsorption plate 120 acting on the support 110 disposed in the inclined direction as shown in the drawing acts large at the upper end of the inclined surface and small at the lower end of the inclined surface, so that the cushioning airbag according to the size of the load Since the side portion 131 of the 130 is extended to different lengths, even if the support 110 is somewhat inclined, the adsorption plate 120 can maintain a relatively horizontal state.

또한, 도 8과 같이 경사배치된 지지대(110)가 기판의 흡착을 위해 하강하는 경우, 흡착플레이트(120)이 비교적 수평상태를 유지하고 있으므로 기판의 일부영역에 충격이 가해지는 것이 방지되는 것은 물론, 일부영역에 집중하중이 가해지더라도 완충용 에어백(130)에서 충격을 흡수하므로 기판의 파손이 최소화된다.
In addition, when the support 110 inclined downward as shown in Figure 8 is lowered for the adsorption of the substrate, since the adsorption plate 120 is maintained in a relatively horizontal state, the impact is not prevented from being applied to a portion of the substrate. However, even when a concentrated load is applied to a part of the region, the shock is absorbed by the buffer airbag 130, thereby minimizing damage to the substrate.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention claimed in the claims, it is intended that any person skilled in the art to which the present invention pertains falls within the scope of the claims described in the present invention to various extents which can be modified.

110:지지대, 120:흡착패널, 121:저면부, 122:흡착공,
123:중공부, 130:완충용 에어백, 131:측면부, 132:유입공,
133:유출공, V:체크밸브110: support, 120: adsorption panel, 121: bottom portion, 122: adsorption holes,
123: hollow part, 130: buffer air bag, 131: side part, 132: inlet hole,
133: outflow hole, V: check valve

Claims (6)

상부 구조물에 설치되어 승강하는 지지대;
중공부와, 흡착 대상 기판에 접촉하는 저면부와, 상기 중공부와 연통하도록 저면부에 다수 형성되는 흡착공이 형성되어 상기 지지대의 하부에 이격 배치되는 흡착플레이트; 및,
연신 가능한 재질로 이루어져 상기 지지대와 흡착플레이트의 사이에 공기층이 마련되도록 적어도 상기 지지대와 흡착플레이트의 상호 대향하는 면의 테두리를 연결하고, 측면에는 공기 유입공과 유출공이 각각 형성되며, 흡착플레이트의 하중에 의해 연신된 상태를 유지하는 완충용 에어백;을 포함하며,
상기 흡착플레이트는 완충용 에어백에 의해 지지대의 하부에 매달린 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 기판 흡착장치.A support installed on the upper structure to move up and down;
A suction plate having a hollow portion, a bottom portion in contact with a substrate to be adsorbed, and a suction hole formed in a plurality of bottom portions in communication with the hollow portion to be spaced apart from the bottom of the support; And
It is made of a stretchable material and connects at least the edges of the opposite surfaces of the support and the adsorption plate so that an air layer is provided between the support and the adsorption plate. It includes; a buffer airbag for maintaining the stretched state by,
The adsorption plate is a display panel substrate adsorption device, characterized in that to maintain the suspended state in the lower portion of the support by a buffer airbag. 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 지지대의 무게중심과 흡착플레이트의 무게중심은 동일 수직축상에 배치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 기판 흡착장치.The method of claim 1,
The center of gravity of the support and the center of gravity of the adsorption plate is disposed on the same vertical axis. 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 유입공의 내부에는 공기를 유입방향으로 유통시키는 인입 체크밸브가 배치되고, 상기 유출공의 내부에는 공기를 유출방향으로 유통시키는 인출 체크밸브가 배치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널용 기판 흡착장치.The method of claim 1,
An inlet check valve for distributing air in the inflow direction is disposed inside the inlet hole, and a withdrawal check valve for distributing air in the outflow direction is disposed in the outlet hole.
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