KR20100067761A - 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 게이트 전극, 게이트 절연막, 활성층, 드레인 전극 및 소스 전극, 드레인 콘택홀을 구비하는 보호막을 포함하여 이루어진 적어도 하나의 서브화소 구동부 어레이가 형성된 제 1 기판과, 상기 제 1 기판과 대향하도록 배치되고, 제 1 전극, 유기층, 제 2 전극 및 스페이서를 포함하여 이루어진 적어도 하나의 유기전계발광 어레이를 포함하는 제 2 기판과, 상기 드레인 콘택홀 내의 상기 드레인 상에 형성되어 상기 제 2 전극과 전기적으로 접속되는 도전볼 및 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이의 공간을 채우는 충진제를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법을 제공한다.
AM유기전계발광, 도전볼, 충진, 탄성, 컨택

Description

유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법{Organic Light Emitting Display Device and Method for fabricating the same}
본 발명은 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 컨택 불량을 방지할 수 있는 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
다양한 정보를 화면으로 구현해 주는 영상 표시 장치는 정보 통신 시대의 핵심 기술로 더 얇고 더 가볍고 휴대가 가능하면서도 고성능의 방향으로 발전하고 있다. 이에 음극선관(CRT)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 평판 표시 장치로 유기 발광층의 발광량을 제어하여 영상을 표시하는 유기전계발광 표시장치(OLED) 등이 각광 받고 있다. 유기전계발광 표시장치는 전극 사이의 얇은 발광층을 이용한 자발광 소자로 종이와 같이 박막화가 가능하다는 장점을 갖고 있다.
액티브 매트릭스 유기전계발광(AMOLED)는 3색(R, G, B) 서브 화소로 구성된 화소들이 매트릭스 형태로 배열되어 화상을 표시하게 된다. 각 서브 화소는 유기 전계 발광(OEL) 셀과, 그 OEL 셀을 독립적으로 구동하는 셀 구동부를 구비한다. 셀 구동부는 적어도 2개의 박막 트랜지스터와 스토리지 커패시터를 포함하여 데이터 신호에 따라 유기전계발광로 공급되는 전류량을 제어하여 유기전계발광의 밝기를 제어한다.
종래의 AM유기전계발광 표시장치는 서브화소 구동부 어레이와 유기전계발광 어레이가 형성된 기판에 패키징판이 합착된 인캡슐레이션(Encapsulation) 구조로 그 기판을 통해 빛을 방출한다. 그러나, 종래의 AM유기전계발광 표시장치는 서브화소 구동부의 공정이 완료된 다음 유기전계발광 어레이의 공정에서 불량이 발생하면 기판 전체를 모두 불량 처리해야 하므로 전체 공정 수율이 낮은 문제점이 있다. 또한, 패키징판은 개구율을 제한하고 고해상도 표시장치에 적용되기 어려운 문제점이 있다.
이러한 문제점들을 해결하기 위한 방안으로 최근에는 서브화소 구동부 어레이와 유기전계발광 어레이가 서로 다른 기판에 분리 형성되어 진공 합착된 듀얼 플레이트 타입(Dual Plate Type)의 AM유기전계발광 표시장치가 제안되었다. 그런데, 듀얼 플레이트 타입의 AM유기전계발광 표시장치는 상하판을 진공 합착시 패널 내부압력이 증가하거나 외부로부터 침투한 수분에 의하여 셀 구동부와 유기전계발광 어레이의 컨택부가 접촉되지 않는 오픈 불량이 발생된다. 이로 인하여 외부 충격으로부터 매우 취약해져 콘택 스페이서의 손상에 의한 불량 발생률이 증가 및 유기전계발광 표시장치의 수명이 저하된다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 컨택 불량을 방지할 수 있는 유기전계발광 표시장치와 그 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 유기전계발광 표시장치는 게이트 전극, 게이트 절연막, 활성층, 드레인 전극 및 소스 전극, 드레인 콘택홀을 구비하는 보호막을 포함하여 이루어진 적어도 하나의 서브화소 구동부 어레이가 형성된 제 1 기판과, 상기 제 1 기판과 대향하도록 배치되고, 제 1 전극, 유기층, 제 2 전극 및 스페이서를 포함하여 이루어진 적어도 하나의 유기전계발광 어레이를 포함하는 제 2 기판과, 상기 드레인 콘택홀 내의 상기 드레인 상에 형성되어 상기 제 2 전극과 전기적으로 접속되는 도전볼 및 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이의 공간을 채우는 충진제를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제 2 기판에는 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 형성된 뱅크 절연막과, 상기 스페이서 측면의 상기 제 2 전극의 전면에 형성된 칼슘층이 더 포함된다.
상기 도전볼의 내부는 탄성 특성이 있는 플라스틱 또는 실리카(silica)로 이루어지며, 상기 도전볼의 외부는 알루미늄(Al), 니켈(Ni) 또는 이들의 합금으로 구성되는 전도성 금속으로 단일층 또는 2층 구조의 복층으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 충진제는 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이의 공간 전면에 충진되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 충진제는 게터, 씰런트 또는 액상의 필름으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 유기전계발광 표시장치의 제조방법은 게이트 전극, 게이트 절연막, 활성층, 드레인 전극 및 소스 전극, 드레인 콘택홀을 구비하는 보호막을 포함하여 이루어진 적어도 하나의 서브화소 구동부 어레이가 형성된 제 1 기판을 준비하는 단계와, 상기 드레인 콘택홀 내의 상기 드레인 전극 상에 도전볼을 전사하는 단계와, 제 1 전극, 유기층, 제 2 전극 및 스페이서을 포함하여 이루어진 적어도 하나의 유기전계발광 어레이를 포함하는 제 2 기판을 진공챔버 내에 로딩시키는 단계와, 상기 제 2 기판 상에 충진제를 도포하는 단계 및 상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 도전볼을 전사하는 단계는, 상기 도전볼이 접착된 접착필름을 상기 드레인 콘택홀 내의 상기 드레인 전극 상에 부착시키는 단계와, 상기 도전볼을 보호하는 보호필름을 제거하는 단계 및 상기 도전볼을 향하여 제 1 열처리하여 상기 접착필름을 제거함과 동시에 상기 도전볼을 상기 드레인 콘택홀 내의 상기 드레인 전극 상에 전사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 열처리는 80~100℃에서 1분 이하로 수행되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착시키는 단계는 상기 진공챔버 내에 로딩된 상기 제 2 기판의 상기 스페이서 상부에 상기 제 1 기판의 상기 드레인 콘택홀이 대향하도록 정렬시키는 단계와, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 가압하여 진공합착시키는 단계 및 합착된 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판에 대하여 제 2 열처리를 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 진공합착은 상기 진공챔버 내에서 10torr이하로 수행되며, 상기 제 2 열처리는 80℃ 이상에서 30분 내지 1시간 동안 수행되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 서브화소 구동부 어레이와 유기전계발광 어레이를 전기적으로 견고하게 접속시키므로 유기전계발광 표시장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 외부로부터 침투되거나 내부에서 발생되는 수분이나 가스 등을 흡수하여 유기층의 열화를 방지하므로 유기전계발광 표시장치의 수명이 연장된다.
이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명에 따른 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법을 구체적으로 살펴본다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 서브픽셀을 도시한 단면도이다.
도 1에 도시된 유기전계발광 표시장치는 서브화소 단위로 형성된 적어도 하나의 서브화소 구동부 어레이가 형성된 제 1 기판(110)과, 유기전계발광 어레이가 형성된 제 2 기판(130)과, 제 1 기판(110)과 제 2 기판(130)을 전기적으로 연결하는 도전볼(152) 및 제 1 기판(110)과 제 2 기판(130) 사이의 공간을 채우는 충전제(156)를 포함한다.
여기서 서브화소 구동부 어레이는 화상 표시부를 구성하는 다수의 서브화소의 서브화소 구동부들을 포함하고, 유기전계발광 어레이는 다수의 서브화소의 유기전계발광소자들을 포함한다.
제 1 기판(110)은 게이트 전극(112)과, 게이트 전극(112)을 덮는 게이트 절연막(113), 게이트 절연막(113)을 사이에 두고 게이트 전극(112)과 중첩되어 채널을 형성하는 활성층(116)과, 채널부를 사이에 두고 대향하는 드레인 전극(118) 및 소스 전극(119)과, 드레인 전극(118)이 노출되도록 형성된 드레인 콘택홀(122)을 구비하는 보호막(120)을 포함한다.
여기서, 게이트 전극(112), 소스/드레인 전극(119/118), 활성층(116), 게이트 절연막(113) 및 보호막(120)은 박막 트랜지스터를 형성하며, 서브화소 구동부 어레이를 구성한다. 활성층(116)은 반도체층과, 오믹컨택층으로 형성될 수 있다. 드레인 콘택홀(122)이 형성된 보호막(120)은 제 1 기판의 전면에 형성된다.
제 2 기판(130)은 제 1 전극(132)과, 제 1 전극(132)과 제 2 전극(136) 사이에 형성된 유기층(134) 및 제 1 기판(110)과 제 2 기판(130)의 전기적 연결을 위한 스페이서(142)를 포함한다. 제 2 기판(130)에는 뱅크 절연막(131)과 제 1 기판(110)과 제 2 기판(130) 내의 수분을 흡수하기 위한 칼슘층(138)이 더 형성되어 있다.
제 1 전극(132)은 양극(anode)이라 불리며, 판형으로 제 2 기판(130)에 형성된다. 제 1 전극(132)은 정공 주입을 위한 전극으로 일함수가 높고 유기 발광층(136)으로부터의 발광된 빛이 소자 밖으로 나올 수 있도록 투명 도전층으로 형성 된다. 투명 도전층으로는 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide: ITO), 주석산화물(Tin Oxide: TO), 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide: IZO), 인듐주석아연산화물(Indium Tin Zinc Oxide: ITZO) 또는 이들의 조합으로 형성된다.
유기층(134)은 제 1 전극(132)과 제 2 전극(136)에서 각기 주입된 정공과 전자가 결합하여 형성된 액시톤이 기저상태로 떨어지면서 빛이 발광되는 층이다. 이러한 유기층(134)은 전자 주입층(Electron Injection layer;EIL), 전자 수송층(Electron Transport Layer; ETL), 발광층, 정공 수송층(Hole Transport Layer;HTL), 정공 주입층(Hole Injection Layer;HIL)으로 순차적으로 적층되어 형성될 수 있다. 이러한 유기층(134)은 격벽(미도시)에 의해 서브화소 단위로 분리되며, 서브화소 단위로 적, 녹, 청색광을 방출한다. 유기층(134)은 스페이서(142)를 둘러싸도록 형성될 수도 있고 스페이서(142)의 일 측면에만 형성될 수도 있다.
제 2 전극(136)은 음극(cathode)이라 불리며, 뱅크 절연막(131) 및 스페이서(142)를 감싸도록 유기층(134) 전면에 형성된다. 이러한 제 2 전극(136)은 투명 도전 물질 또는 불투명 도전 물질을 이용하여 적어도 1층 구조로 형성되거나 이들의 조합으로 다층 구조로 형성된다.
뱅크 절연막(131)은 비발광 영역의 제 1 전극(122)과 제 2 전극(136)의 사이에 형성되어 두 전극간의 쇼트를 방지한다.
스페이서(142)는 뱅크 절연막(131)과 제 2 전극(136) 사이에서 돌출되어 있는 형상으로 형성되어 제 1 기판(110)과 제 2 기판(130)이 전기적으로 연결되도록 한다. 또한 스페이서(142)는 대향한 제 1, 2 기판들(110, 130) 간에 일정한 간격을 유지시켜 제 1 기판(110)과 제 2 기판(130)을 합착할 때 제 2 기판(130)이 휘어지는 것을 방지한다.
칼슘층(138)은 기판 내에 존재하는 수분을 흡수하는 흡습제 역할을 하는 것으로, 스페이서(142) 측면의 제 2 전극(136) 상에 형성된다.
여기서, 제 1 전극(132)과, 유기층(134)과, 제 2 전극(136)과, 뱅크 절연막(131)과, 스페이서(142) 및 칼슘층(138)은 유기전계발광 어레이를 구성한다.
도전볼(152)은 드레인 콘택홀(122) 내에 형성되어 도전볼(152)의 일측은 드레인 전극(118)과 접촉되고, 도전볼(152)의 타측은 제 2 전극(136)과 접촉된다. 그 결과, 제 1 기판(110) 상의 서브화소 구동부 어레이와 제 2 기판(130) 상의 유기전계발광 어레이는 도전볼(152)을 통해 전기적으로 접속된다. 즉, 각 서브화소의 제 2 전극(136)은 각 서브화소의 박막 트랜지스터로부터의 구동신호를 도전볼(152)을 경유하여 공급받는다. 본 발명은 드레인 콘택홀(122) 내에 형성된 도전볼(152)에 의하여 드레인 전극(118)과 제 2 전극(136)이 전기적으로 접속되므로, 충진제(156)에 의한 드레인 전극(118)과 제 2 전극(136)간의 접촉불량을 방지할 수 있다.
도전볼(152)의 내부는 탄성 특성이 있는 플라스틱류 또는 실리카(silica)류로 이루어지며, 외부는 알루미늄(Al), 니켈(Ni) 또는 이들의 합금으로 구성되는 전도성 금속으로 필요에 따라 단일층 또는 2층 구조의 복층으로 이루어질 수 있다. 도전볼(152)의 외부를 금속 재질로 형성함으로써, 드레인 전극(118)과 제 2 전극(136)은 전기적으로 콘택된다. 도전볼(152)의 내부를 탄성 특성이 있는 재질로 형성함으로써, 제 1 기판(110)과 제 2 기판(130)의 합착시 가해지는 압력에 의해 제 2 기판(130)의 스페이서(142)의 불균일한 높이가 보상되도록 한다.
이러한 도전볼(152)은 접착성 있는 접착 필름(미도시)에 접착되어 있다가 드레인 전극(118) 상에 얼라인되어 전사되므로 도포되고자 하는 위치에 정확하고 균일하게 도포된다. 이에 따라, 제 1, 제 2 기판(110, 130)이 견고하게 전기적으로 접속되므로 유기전계발광 표시장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
충진제(156)는 제 1 기판(110)과 제 2 기판(130) 사이의 공간에 전체적으로 형성된다. 이러한 충진제(156)는 외부로부터 수분과 가스 성분의 침투를 방지하여 유기전계발광 어레이의 열화를 방지하므로 유기전계발광 표시장치의 수명을 연장할 수 있다. 또한, 충진제(156)은 외부로부터의 충격을 흡수하여 유기전계발광 표시장치의 신뢰성이 저하되는 것을 방지한다. 충진제(156)로는 게터, 씰런트 등이 사용되거나 액상의 필름을 사용하기도 한다.
도 2는 도 1 에 도시된 유기전계발광 표시장치의 제조방법을 단계적으로 도시한 흐름도이다.
먼저, 전극들과 절연막 패턴들이 형성된 제 1 기판(110)을 준비한다.(S2) 도전볼(152)을 제 1 기판(110)의 드레인 콘택홀(122) 내에 전사시킨다.(S4) 다음으로, 전극들과 스페이서와 유기층 패턴 등이 형성된 제 2 기판(130)을 진공챔버 내에 로딩시킨다.(S6) 이후, 제 2 기판(130)에 충진제(156)를 도포하고, 제 1 기판(110)이 제 2 기판(130)의 상부에 위치하도록 배치한 후 제 1 기판(110)과 제 2 기판(130)을 진공 합착시킨다.(S8) 진공 합착된 제 1 기판(110) 및 제 2 기판(130)에 연화공정을 수행한다.(S10) 이러한 단계 S2 내지 단계 S8을 통해 도 1에 도시된 유기전계발광 표시장치가 완성되며, 보다 구체적으로는 도 3 내지 7을 참조하여 설명하기로 한다.
도 3을 참조하면, 제 1 기판(101) 상에 게이트 전극(112), 게이트 라인(미도시)을 포함하는 게이트 금속 패턴을 형성한다. 게이트 전극(112)을 포함하는 제 1 기판 전면에 게이트 절연막(113)을 형성한다. 게이트 전극(112)과 중첩되도록 게이트 절연막(113) 상에 부분적으로 활성층(116)을 형성한다. 활성층(116) 상에 소스 전극(119), 드레인 전극(118)을 포함하는 소스/드레인 전극 패턴을 형성한다. 소스 전극(119) 및 드레인 전극(118)이 형성된 게이트 절연막(113) 상에 보호막(120)을 형성한다. 이때, 보호막(120)에는 드레인 전극(118)이 노출되도록 드레인 컨택홀(122)이 형성된다.
도 4를 참조하면, 드레인 콘택홀(122) 내의 드레인 전극(118) 상에 도전볼(152)을 전사시킨다. 도전볼(152)을 전사시키는 방법은 도 5를 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.
도 5를 참조하면, 전사되기 전의 도전볼(152)은 보호필름(151) 및 접착필름(153)으로 둘러싸여 있고, 접착필름(153)의 상부에 형성된 접착성 물질(154)에 의해 도전볼(152)은 접착필름(153) 상에 접착되어 있다. 먼저, 접착필름(153)의 하부에 형성된 접착성 물질(154)을 이용하여 접착필름(153)을 드레인 콘택홀(122)내 드레인 전극(118) 상에 부착시킨다. 이후 도전볼(152) 상부의 보호필름(151)을 제거하고 열처리를 수행하여 접착필름(153)을 제거한다. 열처리는 80~100℃에서 1분 이하로 진행하며, 이때 별도의 압력조건은 필요하지 않다.
이렇듯, 도전볼(152)은 접착성 있는 접착필름(153)에 접착되어 있다가 드레인 전극(118) 상에 얼라인되므로 도포되고자 하는 위치에 선택적으로 정확하고 균일하게 전사될 수 있다. 이에 따라, 도전볼이 불균일하게 도포되는 것을 방지할 수 있으므로 유기전계발광 표시장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 도전볼(152)의 내부는 탄성 특성이 있는 플라스틱류 또는 실리카(silica)류로 이루어지며, 외부는 알루미늄(Al), 니켈(Ni) 또는 이들의 합금으로 구성되는 전도성 금속으로 필요에 따라 단일층 또는 2층 구조의 복층으로 이루어질 수 있다. 접착필름(153)의 재료로는 폴리 에스테르 필름 등을 들 수 있다.
도 6을 참조하면, 진공챔버(170) 내에 제 2 기판(130)을 로딩시킨다. 제 2 기판(130) 상에는 제 1 전극(132), 뱅크 절연막(131), 유기층(134), 제 2 전극(136), 칼슘층(138) 및 스페이서(142)가 형성되어 있다. 이때, 제 2 기판(130)의 스페이서(142)의 돌출된 부분이 상부를 대향하도록 하고 제 1 전극(132)이 스페이서(142)의 하부에 위치하도록 제 2 기판(130)을 챔버(170)내에 배치시킨다.
제 2 기판(130)에 충진제(156)를 도포한다. 충진제(156)는 게터, 씰러트, 액상의 필름 등이 이용된다.
제 2 기판(130)과 마주하도록 제 1 기판(110)을 제 2 기판(130)의 상부에 정렬한 다음, 제 1 기판(110)과 제 2 기판(130)을 가압하여 진공 합착시킨다. 그리고, 열처리를 통한 연화공정을 수행하여 유기전계발광 표시장치를 완성한다. 진공합착은 진공챔버(170) 내에서 10torr이하에서 진행되며 열처리는 80℃ 이상에서 30분 내지 1시간 동안 진행된다. 진공합착 및 열처리에 의하여 충진제(156)는 제 1 기판(110)과 제 2 기판(130) 사이에 전체적으로 도포된다. 그 결과, 충진제(156)는 제 1/2 기판(110/130)을 밀봉시켜 외부로부터 수분 등이 침투되는 것을 방지하므로 유기층(134)의 열화를 방지하여 수명을 연장할 수 있다.
진공합착 시, 제 1 기판(110)에 가해지는 압력에 의해 제 2 기판(130)의 스페이서(142) 상의 제 2 전극(136)과 제 1 기판(110)의 드레인 전극(118)이 도전볼(152)을 통하여 전기적으로 연결된다. 이때, 도전볼(152) 내부는 탄성이 있는 물질로 이루어지므로 합착시 도전볼(152)이 변형됨으로써 스페이서(142)의 불균일한 높이가 보상되어 제 1/제 2 기판(110/130)은 견고하게 전기적으로 접속되므로 접촉 불량이 방지된다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 서브픽셀을 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1 에 도시된 유기전계발광 표시장치의 제조방법을 단계적으로 도시한 흐름도이다.
도 3 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 제조방법을 나타내는 단면도이다.
<<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>>
110: 제 1 기판 112: 게이트 전극
113: 게이트 절연막 116: 활성층
118: 드레인 전극 119: 소스 전극
120: 보호막 122: 드레인 콘택홀
130: 제 2 기판 131: 뱅크 절연막
132: 제 1 전극 134: 유기층
136: 제 2 전극 138: 칼슘층
142: 스페이서 152: 도전볼
156: 충진제 170: 진공챔버

Claims (10)

  1. 게이트 전극, 게이트 절연막, 활성층, 드레인 전극 및 소스 전극, 드레인 콘택홀을 구비하는 보호막을 포함하여 이루어진 적어도 하나의 서브화소 구동부 어레이가 형성된 제 1 기판과;
    상기 제 1 기판과 대향하도록 배치되고, 제 1 전극, 유기층, 제 2 전극 및 스페이서를 포함하여 이루어진 적어도 하나의 유기전계발광 어레이를 포함하는 제 2 기판과;
    상기 드레인 콘택홀 내의 상기 드레인 상에 형성되어 상기 제 2 전극과 전기적으로 접속되는 도전볼; 및
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이의 공간을 채우는 충진제를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 기판에는 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 형성된 뱅크 절연막과,
    상기 스페이서 측면의 상기 제 2 전극의 전면에 형성된 칼슘층을 더 포함되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 도전볼의 내부는 탄성 특성이 있는 플라스틱 또는 실리카(silica)로 이루어지며, 상기 도전볼의 외부는 알루미늄(Al), 니켈(Ni) 또는 이들의 합금으로 구성되는 전도성 금속으로 단일층 또는 2층 구조의 복층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 충진제는 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이의 공간 전면에 충진되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 충진제는 게터, 씰런트 또는 액상의 필름으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치.
  6. 게이트 전극, 게이트 절연막, 활성층, 드레인 전극 및 소스 전극, 드레인 콘택홀을 구비하는 보호막을 포함하여 이루어진 적어도 하나의 서브화소 구동부 어레이가 형성된 제 1 기판을 준비하는 단계;
    상기 드레인 콘택홀 내의 상기 드레인 전극 상에 도전볼을 전사하는 단계;
    제 1 전극, 유기층, 제 2 전극 및 스페이서을 포함하여 이루어진 적어도 하나의 유기전계발광 어레이를 포함하는 제 2 기판을 진공챔버 내에 로딩시키는 단계;
    상기 제 2 기판 상에 충진제를 도포하는 단계; 및
    상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 도전볼을 전사하는 단계는,
    상기 도전볼이 접착된 접착필름을 상기 드레인 콘택홀 내의 상기 드레인 전극 상에 부착시키는 단계;
    상기 도전볼을 보호하는 보호필름을 제거하는 단계; 및
    상기 도전볼을 향하여 제 1 열처리하여 상기 접착필름을 제거함과 동시에 상기 도전볼을 상기 드레인 콘택홀 내의 상기 드레인 전극 상에 전사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 열처리는 80~100℃에서 1분 이하로 수행되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.
  9. 제 6 항에 있어서, 상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착시키는 단계는,
    상기 진공챔버 내에 로딩된 상기 제 2 기판의 상기 스페이서 상부에 상기 제 1 기판의 상기 드레인 콘택홀이 대향하도록 정렬시키는 단계;
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 가압하여 진공합착시키는 단계; 및
    합착된 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판에 대하여 제 2 열처리를 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 진공합착은 상기 진공챔버 내에서 10torr이하로 수행되며, 상기 제 2 열처리는 80℃ 이상에서 30분 내지 1시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시장치의 제조방법.
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