KR20100065576A

KR20100065576A - Structure for fixing probe

Info

Publication number: KR20100065576A
Application number: KR1020080123965A
Authority: KR
Inventors: 김형태; 정석
Original assignee: 주식회사 코리아 인스트루먼트
Priority date: 2008-12-08
Filing date: 2008-12-08
Publication date: 2010-06-17

Abstract

PURPOSE: A structure for fixing a probe is provided to prevent the contact between adjacent probes by inserting probes into one or more slit blocks and combining the slit blocks into the corresponding grooves of a fixing part. CONSTITUTION: A structure for installing a probe includes one or more fixing parts(610). A plurality of blade-type probes(700) is inserted into one or more fixing parts. Insertion grooves are formed on the lower side of the fixing parts. The fixing parts include one or more corresponding grooves and one or more slit blocks(620). The slit blocks are combined to the corresponding grooves.

Description

Structure for fixing probe

본 발명은 프로브 설치용 구조체에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명은 복수 개의 2차원 형태의 블레이드형 프로브를 프로브 카드에 설치하기 위해 이용되는 프로브 설치용 구조체에 관한 것이다. The present invention relates to a probe mounting structure. Specifically, the present invention relates to a probe mounting structure used to install a plurality of two-dimensional blade-shaped probes on a probe card.

웨이퍼 프로빙 장치는 웨이퍼 상에 형성되어 있는 각 개별 반도체 칩들을 프로브 카드를 이용하여 전기적으로 테스트하는 장치이며, 프로브는 프로브 카드에 구비되어 각 개별 반도체 칩들의 금속 패드에 접촉하여 테스트가 수행될 수 있게 한다. The wafer probing apparatus is an apparatus for electrically testing each individual semiconductor chip formed on the wafer by using a probe card. The probe is provided on the probe card so that the test can be performed by contacting the metal pads of the individual semiconductor chips. do.

이렇게 웨이퍼 상의 각 개별 반도체 칩의 전기적 테스트를 수행하기 위한 프로브 카드의 프로브는 일반적으로 침 형태로 사용되며('프로브 침' 이라고도 한다), 이러한 프로브는 프로브 카드에 각각 설치되어 사용된다. 그러나 침 형태의 프로브를 프로브 카드에 일일이 설치하는 것은 그 제조 시간, 및 경비 측면에서 바람직하지 않다. In this way, the probe of the probe card for performing the electrical test of each individual semiconductor chip on the wafer is generally used in the form of a needle (also referred to as a 'probe needle'), and each of these probes is installed on the probe card. However, it is not preferable to install a needle-shaped probe on a probe card in terms of its manufacturing time and cost.

따라서, 침 형태가 아닌 새로운 형태의 프로브들이 고안되고 있는데, 그 형상에 따라 3차원 형태 또는 2차원 형태 등으로 구분될 수 있다. Therefore, new types of probes are being devised rather than needle-shaped, and may be classified into three-dimensional or two-dimensional shapes according to their shape.

이러한 2차원 형태의 프로브는 그 모양에 의해 블레이드형 프로브로 지칭되는데, 이러한 블레이드형 프로브가 구비된 프로브 카드로서 대한민국 특허 제802087호의 프로브 카드는 하기 도 1 및 2에 개시된 바와 같이, 블레이드형 프로브(10), 프로브 설치용 구조체(20), 인터포저(30), 메인 기판(40) 및 보강판(50) 등으로 구성된다. Such a two-dimensional type of probe is referred to as a blade-shaped probe by its shape, and the probe card of Korean Patent No. 802087 is a probe card equipped with such a blade-type probe, as shown in FIGS. 1 and 2 below. 10), the probe mounting structure 20, the interposer 30, the main substrate 40, the reinforcing plate 50, and the like.

이때, 상기 블레이드형 프로브(10)는 도전성 물질을 도금하고 에칭하는 방법 또는 리소그래피 공정 등을 통해 블레이드 형태로 제조될 수 있다. In this case, the blade-type probe 10 may be manufactured in the form of a blade through a method of plating and etching a conductive material or a lithography process.

이렇게 제조된 블레이드형 프로브(10)는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 프로브 설치용 구조체(20)에 소정의 간격으로 형성된 슬릿(21)에 끼워져 고정 및 정렬된다. 상기 프로브 설치용 구조체(20)에 고정된 블레이드형 프로브(10)는 메인 기판(40)과 전기적으로 연결되도록 서브 기판(예를 들어, 스페이스 트랜스포머)을 통하여 인터포저(30)에 접속되며, 상기 인터포저(30)의 일단은 블레이드형 프로브(10)의 신호 전달팁에 접속되고 타단은 메인 기판(40)의 도전성 패드에 접속된다. 이때, 상기 메인 기판(40)의 일측면에는 도전성 패드가 형성되어 있고, 타측면에는 테스터와 접속되는 커넥터가 형성되어 있다. The blade-type probe 10 thus manufactured is fitted into the slits 21 formed at predetermined intervals in the probe mounting structure 20 and fixed and aligned as shown in FIG. 2. The blade type probe 10 fixed to the probe mounting structure 20 is connected to the interposer 30 through a sub substrate (eg, a space transformer) so as to be electrically connected to the main substrate 40. One end of the poser 30 is connected to the signal transmission tip of the blade-type probe 10 and the other end is connected to the conductive pad of the main substrate 40. At this time, a conductive pad is formed on one side of the main substrate 40, and a connector connected to the tester is formed on the other side.

또한 상기 메인 기판(40)의 타측면에는 프로브 설치용 구조체(20)와 메인 기판(40)의 변형을 방지하기 위하여 보강판(50)이 결합된다.In addition, the reinforcing plate 50 is coupled to the other side of the main substrate 40 to prevent deformation of the probe installation structure 20 and the main substrate 40.

이러한, 종래의 프로브 카드에 사용되는 프로브 설치용 구조체(20)는 블레이드형 프로브(10)를 고정하기 위한 복수 개의 슬릿(21)이 고정대 상에 소정의 간격으로 형성되어 있다. 그런데, 반도체 소자의 소형화 경향에 따라 프로브 카드 역 시 미세 피치에 대응되도록 형성될 것이 요구되는 바, 목적하는 프로브(10)의 팁들 사이의 간격이 100 ㎛　이하가 되면, 이에 대응하기 위해 프로브 설치용 구조체(20)에 형성되는 복수 개의 슬릿(21) 간의 간격이 100 ㎛　이하가 되어야 한다. 그런데, 이와 같이 프로브 설치용 구조체(20)에서 슬릿(21) 간의 간격이 좁아 지면 작업자에 의한 프로브의 삽입 설치 작업 시 프로브 들이 서로 접촉 충격되는 등 작업의 곤란함이 유발되었다. 이러한 작업의 곤란함은 별도의 기계 기구를 이용하더라도 크게 해소되지 못하였다. In the probe mounting structure 20 used in the conventional probe card, a plurality of slits 21 for fixing the blade-type probe 10 are formed at predetermined intervals on the holder. However, according to the tendency of miniaturization of semiconductor devices, the probe card is also required to be formed so as to correspond to the fine pitch. When the distance between the tips of the target probe 10 is 100 μm or less, the corresponding structure for installing the probe The spacing between the plurality of slits 21 formed in 20 should be 100 µm or less. However, when the interval between the slits 21 in the probe mounting structure 20 is narrowed, it is difficult to work such that the probes are in contact with each other during the insertion installation of the probe by the operator. This difficulty of work was not largely solved even by using a separate mechanical device.

한편, 이러한 프로브 설치용 구조체(20)는 세라믹 구조물로서 통상 알루미나(Al₂O₃) 세라믹을 소정의 형태로 소결하여 제작된다. 그런데 상기 세라믹 구조물은 알루미나 분말과 분산매가 혼합된 상태로 소결되기 때문에 성형된 세라믹 구조물은 알루미나 세라믹의 고유의 색상(백색 또는 아이보리색)을 띄게 된다. 그 결과 상기 세라믹 구조물을 가공하여 100 ㎛　이하와 같은 미세한 간격과 깊이로 고정대 상에 슬릿(21)을 형성할 경우 육안으로 프로브 설치용 구조체(20)에서 슬릿(21)의 확인이 용이하지 않아 슬릿(21)에 블레이드형 프로브(10)를 삽입하는 작업(설치 작업)을 수행하기가 매우 곤란하였다. On the other hand, the probe mounting structure 20 is manufactured by sintering alumina (Al ₂ O ₃ ) ceramic in a predetermined form as a ceramic structure. However, since the ceramic structure is sintered in a state where the alumina powder and the dispersion medium are mixed, the molded ceramic structure has a unique color (white or ivory color) of the alumina ceramic. As a result, when the slit 21 is formed on the holder with fine spacing and depth such as 100 μm or less by processing the ceramic structure, the slit 21 is not easily identified in the probe installation structure 20 with the naked eye. It was very difficult to perform the operation (installation work) of inserting the blade type probe 10 into 21).

그에 따라, 상기 블레이드형 프로브(10)를 슬릿(21)에 삽입하는 공정을 위해, 슬릿(21)의 위치를 프로브 설치용 구조체(20)으로부터 확인할 수 있는 광학적 수단을 사용하는 방법이 시도되고 있다. 그러나, 이러한 방법은 별도의 광학적 수단을 추가로 사용해야 하므로, 장치의 복잡성과 그 비용이 추가되는 문제가 있었을 뿐 더러, 이러한 광학적 수단을 사용하더라도 서로 동일한 색상인 프로브 설치용 구조체(20)와 슬릿(21)의 구별이 용이하지 않아 그 식별력이 충분하지 않았다. Accordingly, for the process of inserting the blade-shaped probe 10 into the slit 21, a method using optical means capable of confirming the position of the slit 21 from the probe mounting structure 20 has been attempted. However, since this method requires the use of a separate optical means, the complexity and the cost of the device are not only added. In addition, even if such optical means are used, the probe mounting structure 20 and the slits 21 are the same color. ) Was not easy to distinguish, and its discriminating power was insufficient.

상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은 복수 개의 프로브가 삽입 고정되는 복수 개의 슬릿 사이의 간격은 작업자의 작업 공간 확보를 위해 일정 수준을 유지하지만 복수 개의 프로브의 각각의 팁 사이의 간격은 슬릿들의 간격 보다 미세 간격이 되도록, 복수 개의 슬릿이 방사상 방향으로 사선(斜線)으로 형성되어 있는 프로브 설치용 구조체를 제공하고자 한다. In order to solve the problems of the prior art as described above, the present invention is a spacing between a plurality of slits in which a plurality of probes are inserted and fixed while maintaining a constant level to secure a working space of the operator, but between each tip of the plurality of probes It is intended to provide a probe mounting structure in which a plurality of slits are formed in an oblique line in a radial direction so that the intervals are smaller than the intervals of the slits.

또한, 본 발명은 일정 개수의 프로브가 외부에서 별도로 삽입 작업될 수 있도록 일정 개수의 프로브의 삽입 고정을 위한 슬릿 블록이 탈착 가능하게 구비되는 프로브 설치용 구조체를 제공하고자 한다. In addition, the present invention is to provide a probe mounting structure that is detachably provided with a slit block for insertion fixing of a predetermined number of probes so that a predetermined number of probes can be inserted separately from the outside.

또한, 본 발명은 블레이드형 프로브가 삽입 설치되기 위한 슬릿의 구별을 위해, 슬릿이 형성되는 구조체의 표면의 색과 슬릿 내부의 색이 서로 구별되는 색으로 이루어진 프로브 설치용 구조체를 제공하고자 한다. In addition, the present invention is to provide a probe mounting structure made of a color in which the color of the surface of the structure on which the slit is formed and the color of the inside of the slit are distinguished from each other in order to distinguish the slits for inserting the blade-type probe is installed.

위와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 한 특징에 따른 프로브 설치용 구조체는 하측에 끼움홈이 형성되어 있는 복수 개의 블레이드형 프로브가 삽입 설치되는 하나 이상의 고정대를 포함하는 구조체로서, 상기 고정대는 상측에 형성된 하나 이상의 대응홈; 및 상기 하나 이상의 대응홈에 각각 탈착 결합되는 하나 이상의 슬릿 블록;을 포함하며, 상기 하나 이상의 슬릿 블록의 상측에 블레이드형 프로브가 삽입 설치되기 위한 슬릿이 일정 개수로 형성되어 이루어진다. Probe mounting structure according to a feature of the present invention for solving the above problems is a structure comprising one or more fixing rods are installed is inserted into a plurality of blade-type probe is formed in the lower groove, the fixing rod is formed on the upper side One or more corresponding grooves; And at least one slit block detachably coupled to each of the at least one corresponding grooves, wherein the at least one slit for inserting a blade-type probe is formed in a predetermined number on the upper side of the at least one slit block.

여기서, 상기 일정 개수는 하나의 검사 대상 반도체 소자를 검사하기 위해 필요한 상기 블레이드형 프로브의 개수일 수 있다. Here, the predetermined number may be the number of the blade-type probes required for inspecting one inspection target semiconductor device.

상기 고정대에는 상기 대응홈 주변에 상기 블레이드형 프로브가 삽입 설치되기 위한 슬릿이 하나 이상 형성될 수 있다. At least one slit may be formed in the fixture for inserting the blade-type probe around the corresponding groove.

상기 고정대 및 상기 하나 이상의 슬릿 블록에 형성된 복수 개의 슬릿의 일부 이상이 상기 고정대의 연장 방향의 수직 방향에 대하여 예각을 이루도록 사선으로 구비될 수 있다. 그리고, 상기 복수 개의 슬릿의 일부 이상이 방사상 형태로 배열될 수 있다. At least a portion of the plurality of slits formed in the stator and the at least one slit block may be provided diagonally so as to form an acute angle with respect to the vertical direction of the extension direction of the stator. At least some of the plurality of slits may be arranged in a radial form.

이와 같은 프로브 설치용 구조체에서, 상기 고정대 및 슬릿 블록은 상기 프로브의 끼움홈의 길이에 대응하는 폭과 상기 끼움홈의 깊이 이상의 두께로 형성되어 있는 내층; 및 상기 내층의 상부에 일정한 두께로 형성되어 있는 외층;을 포함하며, 상기 슬릿이 상기 외층의 두께 이상의 깊이로 형성될 수 있다. 그리고, 상기 내층과 외층의 색이 서로 구별되도록 형성될 수 있다. In such a probe mounting structure, the stator and the slit block is an inner layer formed with a width corresponding to the length of the fitting groove of the probe and a thickness greater than the depth of the fitting groove; And an outer layer formed on the upper portion of the inner layer to have a predetermined thickness. The slit may be formed to a depth greater than or equal to the thickness of the outer layer. In addition, the inner and outer layers may be formed to distinguish colors from each other.

그리고, 상기 내층은 세라믹 분말이 소결되어 이루어진 제1 세라믹 층이고, 상기 외층은 세라믹 분말과 무기질 안료의 혼합물이 소결되어 이루어진 제2 세라믹 층일 수 있다. The inner layer may be a first ceramic layer formed by sintering ceramic powder, and the outer layer may be a second ceramic layer formed by sintering a mixture of ceramic powder and an inorganic pigment.

그리고, 상기 내층은 동일 색상의 세라믹 시트를 여러 겹 적층하여 형성된 제1 세라믹 층이고, 상기 외층은 상기 제1 세라믹 층과 상이한 색상의 세라믹 시트로 이루어진 제2 세라믹 층일 수 있다. The inner layer may be a first ceramic layer formed by stacking a plurality of ceramic sheets of the same color, and the outer layer may be a second ceramic layer made of a ceramic sheet having a different color from the first ceramic layer.

그리고, 상기 내층은 세라믹 분말이 소결되어 이루어진 제1 세라믹 층이고, 상기 외층은 세라믹 분말과 무기질 안료의 혼합물이 플라즈마 용사 코팅 방법으로 코팅 형성된 제2 세라믹 층일 수 있다. The inner layer may be a first ceramic layer obtained by sintering ceramic powder, and the outer layer may be a second ceramic layer in which a mixture of ceramic powder and an inorganic pigment is coated by a plasma spray coating method.

상기 내층은 세라믹 분말이 소결되어 이루어진 세라믹 층이고, 상기 외층은 상기 세라믹 층과 구별되는 색의 폴리머 층일 수 있다. The inner layer may be a ceramic layer obtained by sintering ceramic powder, and the outer layer may be a polymer layer having a color distinguished from the ceramic layer.

본 발명의 프로브 설치용 구조체는 일정 개수(一定個數)의 프로브들이 삽입 설치될 수 있도록 일정 개수의 슬릿이 형성되어 있는 하나 이상의 슬릿 블록을 이용하여, 외부에서 별도로 일정 개수의 프로브들이 삽입 설치된 하나 이상의 슬릿 블록을 고정대의 상측에 형성된 대응홈에 삽입하는 것으로, 프로브들을 고정대에 용이하게 고정시킬 수 있다. 구체적으로 외부에서 별도로 일정 개수의 프로브들을 하나 이상의 슬릿 블록에 각각 삽입 설치 한 후, 이러한 하나 이상의 슬릿 블록을 고정대의 대응홈에 용이하게 결합시킬 수 있으므로, 본 발명의 프로브 설치용 구조체의 고정대를 이용하는 경우, 프로브 설치 작업 시 인접하게 설치되는 다른 프로브와의 접촉 문제를 근본적으로 해결할 수 있다. 특히 사선 방향으로 형성된 슬릿에 프로브를 사선 방향으로 삽입 설치할 때 더욱 편리한 작업 환경을 확보하여 용이한 작업 환경을 달성할 수 있게 된다. The probe mounting structure of the present invention uses one or more slit blocks in which a certain number of slits are formed so that a predetermined number of probes can be inserted and installed, and one or more externally installed with a predetermined number of probes. By inserting the slit block into the corresponding groove formed on the upper side of the holder, the probes can be easily fixed to the holder. Specifically, after separately inserting and installing a predetermined number of probes into one or more slit blocks, respectively, the one or more slit blocks can be easily coupled to the corresponding grooves of the stator, and thus, when using the stator of the probe mounting structure of the present invention. In this case, it is possible to fundamentally solve the problem of contact with other probes which are installed adjacent to each other when installing the probe. In particular, when the probe is inserted into the slits formed in the diagonal direction and installed in the diagonal direction, it is possible to achieve a more convenient working environment by achieving a more convenient working environment.

또한, 본 발명에 따른 프로브 설치용 구조체의 고정대는 하나 이상의 슬릿 블록이 결합되고, 슬릿 블록이 결합되는 대응홈 주변에 별도의 슬릿이 형성될 수 있는데, 그 결과 고정대에는 대응홈에 결합된 슬릿 블록에 형성된 슬릿과 대응홈 주변에 형성된 슬릿 등 다양한 방향으로 형성되는 복수 개의 슬릿이 존재하게 된 다. 이러한 본 발명의 프로브 설치용 구조체의 고정대에는 복수 개의 슬릿이 서로 일정한 간격 이상으로 이격 형성되어 작업자가 프로브를 고정대에 삽입 고정하는 작업을 하기 위한 공간이 충분히 확보된다. 그런데, 이러한 본 발명의 프로브 설치용 구조체의 고정대에 존재하는 복수 개의 슬릿의 일부 이상은 고정대의 연장 방향의 수직 방향에 대하여 예각을 이루도록 사선으로 구비되도록 형성된다. 그에 따라, 사선 방향으로 형성되어 있는 슬릿들에 삽입 고정되는 프로브들은 팁부 부분에서는 그 간격이 슬릿들의 간격 미만으로 미세하게 되며, 신호 전달 팁 부분에서는 그 간격이 슬릿들의 간격을 초과하도록 넓게 된다. 이와 같이 본 발명의 프로브 설치용 구조체에 의하면, 슬릿들의 간격을 일정 수준 이상으로 하여 작업자의 작업 공간을 충분히 확보하더라도 프로브들의 팁부들의 간격은 슬릿들의 간격 미만으로 미세하게 달성할 수 있게 된다. In addition, the stator of the probe mounting structure according to the present invention may be coupled to one or more slit blocks, and a separate slit may be formed around the corresponding groove to which the slit block is coupled. There are a plurality of slits formed in various directions, such as formed slits and slits formed around the corresponding grooves. A plurality of slits are formed spaced apart from each other by a predetermined interval on the fixing stand of the probe mounting structure of the present invention, so that a space for the operator to insert and fix the probe to the fixing stand is sufficiently secured. By the way, a part or more of the plurality of slits in the holder of the probe mounting structure of the present invention is formed so as to be provided with an oblique line to form an acute angle with respect to the vertical direction of the extension direction of the holder. Accordingly, the probes inserted into and fixed to slits formed in the oblique direction become smaller in the tip portion than the spacing of the slits, and in the signal transmitting tip portion, the spacing is wider than the spacing of the slits. As described above, according to the probe mounting structure of the present invention, even if the interval between the slits is a predetermined level or more to secure a work space of the operator, the interval between the tip portions of the probes can be finely achieved below the interval between the slits.

그에 따라, 본 발명의 프로브 설치용 구조체를 이용하는 경우, 프로브의 삽입 설치 작업 시 프로브들이 서로 접촉 충격되는 등에 의해 유발되는 작업의 곤란성 없이, 프로브의 팁부들의 간격을 미세하게 설치할 수 있어 반도체 소자들의 미세 피치에 대응할 수 있게 된다. Accordingly, in the case of using the probe mounting structure of the present invention, the gap between the tip portions of the probes can be finely installed without the difficulty of the work caused by the probes contacting and impacting each other during the insertion installation operation of the probes. It becomes possible to cope with the pitch.

한편, 본 발명에 따른 프로브 설치용 구조체의 고정대와 슬릿 블록은 서로 상이한 색으로 구비되는 내층과 외층의 2층 구조로 각각 구비되고, 프로브의 삽입 설치를 위해 고정대 및 슬릿 블록의 표면에 형성되는 슬릿의 깊이가 외층의 두께 이상으로 구비되어, 슬릿 내부에서 내층이 노출되도록 형성된다. 따라서, 본 발명에 따른 프로브 설치용 구조체에서 슬릿은 외층의 색과 구별되는 내층의 색으로 인 하여 육안을 통해서라도 용이하게 식별될 수 있게 된다. On the other hand, the fixing rod and the slit block of the probe mounting structure according to the present invention are each provided in a two-layer structure of the inner layer and the outer layer provided in different colors, and the insertion of the slit formed on the surface of the holding rod and the slit block for the installation of the probe The depth is provided more than the thickness of the outer layer, so that the inner layer is exposed inside the slit. Therefore, the slit in the probe mounting structure according to the present invention can be easily identified through the naked eye due to the color of the inner layer which is distinguished from the color of the outer layer.

따라서, 본 발명에 따른 프로브 설치용 구조체를 이용하는 경우, 슬릿이 육안으로 용이하게 식별되므로, 프로브를 슬릿에 용이하게 삽입 설치하는 것이 가능하게 되므로, 슬릿의 구별을 위한 별도의 광학 수단이 불필요할 뿐 더러, 종래의 프로브 설치용 구조체와는 달리 프로브의 설치 작업 과정에 프로브의 설치를 누락하는 등의 공정상 오류를 현저히 감소시킬 수 있게 된다. Therefore, when using the probe mounting structure according to the present invention, since the slit is easily identified with the naked eye, it is possible to easily insert the probe into the slit, so that no separate optical means for distinguishing the slit is unnecessary. Unlike the conventional probe mounting structure, a process error such as missing the installation of the probe in the installation process of the probe can be significantly reduced.

이하, 본 발명을 바람직한 실시예와 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

이하, 도 3a 내지 도 4f를 참조하여 본 발명의 프로브 설치용 구조체를 구체적으로 살펴본다. Hereinafter, the probe mounting structure of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3A to 4F.

먼저, 도 3a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브 설치용 구조체(600)는 복수 개의 프로브의 삽입 고정을 위한 고정대(610)가 하나 이상 횡 방향으로 길게 형성되어 이루어진다. 이와 같이 고정대(610)가 복수 개로 구비되는 경우, 복수 개의 고정대(610)는 도 3a에 도시된 바와 같이 서로 소정의 간격을 이루도록 배열되어 위치된다. First, as shown in Figure 3a, the probe mounting structure 600 according to the first embodiment of the present invention is formed by the elongation of one or more fixing rods 610 for insertion fixing of a plurality of probes are formed long. As described above, when a plurality of fixing rods 610 are provided, the plurality of fixing rods 610 are arranged to be arranged at a predetermined distance from each other, as shown in FIG. 3A.

본 발명의 프로브 설치용 구조체(600)의 고정대(610)는 그 상측에 형성된 하나 이상의 대응홈(630) 및 상기 하나 이상의 대응홈(630)에 각각 탈착 결합되는 하 나 이상의 슬릿 블록(620)을 포함한다. 여기서 슬릿 블록(620)은 일 방향으로 일정 거리 이상 연장된 모양으로 형성되며, 도 3a에 도시한 바와 같이 고정대(610)의 상부에 탈착 가능하도록 구비된다. The fixture 610 of the probe mounting structure 600 of the present invention includes one or more corresponding grooves 630 formed on the upper side and one or more slit blocks 620 detachably coupled to each of the one or more corresponding grooves 630. do. Here, the slit block 620 is formed in a shape extending in a direction or more than a predetermined distance, as shown in Figure 3a is provided to be detachable on the upper portion of the fixing table (610).

이러한 슬릿 블록(620)에는 일정 개수(一定個數)의 슬릿(623)이 형성되는데, 상기 슬릿 블록(620)에 형성된 일정 개수의 슬릿(623)에 대응하는 일정 개수의 프로브(700)를 도 3d 에 도시된 바와 같이 외부에서 별도로 삽입 고정시킨 후, 이와 같이 일정 개수의 프로브(700)가 삽입 고정된 슬릿 블록(620)을 도 3e에 도시된 바와 같이 고정대(610)의 대응홈(630)에 결합함으로써, 프로브(700)의 설치 작업을 보다 용이하게 달성할 수 있게 된다. 이를 위해 슬릿 블록(620)은 프로브(700)의 팁부(730)들이 미세 간격으로 위치되어서 프로브(700)들의 설치 작업이 어려운 부분(영역)들에 바람직하게 적용될 수 있다. A predetermined number of slits 623 are formed in the slit block 620, and a predetermined number of probes 700 corresponding to a predetermined number of slits 623 formed in the slit block 620 are illustrated. After inserting and fixing separately from the outside as shown in 3d, the corresponding groove 630 of the slit block 620 in which the predetermined number of probes 700 is inserted and fixed as shown in FIG. By coupling to, it is possible to more easily accomplish the installation work of the probe 700. To this end, the slit block 620 may be preferably applied to portions (areas) where the tip portions 730 of the probe 700 are positioned at minute intervals, so that installation of the probes 700 is difficult.

이때, 슬릿 블록(620)에 형성된 슬릿(623)들의 수는 바람직하게는 하나의 검사 대상 반도체 소자를 검사하기 위해 필요한 블레이드형 프로브의 개수, 즉 하나의 검사 대상 반도체 소자에 구비된 접촉 패드의 개수에 대응하는 수로 형성될 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. 그 경우, 슬릿 블록(620)은 검사 대상 반도체 소자의 개수에 대응되도록 하나 이상으로 형성될 수 있으며, 경우에 따라 고정대(610)의 상부 전체가 슬릿 블록(620)들로 채워지도록 구성될 수 있다. In this case, the number of slits 623 formed in the slit block 620 is preferably the number of blade-type probes required to inspect one semiconductor device to be inspected, that is, the number of contact pads provided in one semiconductor device to be inspected. It may be formed of a number corresponding to but is not limited thereto. In this case, the slit block 620 may be formed in one or more so as to correspond to the number of the semiconductor device to be inspected, and in some cases, may be configured such that the entire upper portion of the holder 610 is filled with the slit blocks 620. .

그리고, 하나 이상의 슬릿 블록(620)에 형성된 일정 개수의 슬릿(623)의 일부 이상은 상기 고정대(610)의 연장 방향의 수직 방향에 대하여 예각을 이루도록 사선으로 구비될 수 있다. At least one portion of the predetermined number of slits 623 formed in the at least one slit block 620 may be diagonally provided to form an acute angle with respect to the vertical direction of the extension direction of the fixing table 610.

이와 같은 슬릿 블록(620)은 프로브(700)들의 삽입 고정을 위해 고정대(610)로부터 분리되더라도 변형되지 않고 평탄도를 유지할 수 있도록 그 두께가 각각의 슬릿(623)의 깊이 이상으로 형성되는 것이 바람직하다. Such a slit block 620 is preferably formed to have a thickness greater than the depth of each slit 623 so as to maintain the flatness without being deformed even if separated from the holder 610 for insertion fixing of the probes 700. Do.

이러한 슬릿 블록(620)의 두께는 고정대(610)에 형성된 대응홈(630)의 깊이에 대응하도록 형성된다. The thickness of the slit block 620 is formed to correspond to the depth of the corresponding groove 630 formed in the fixing base 610.

이러한 슬릿 블록(620)의 제조 방법은 특별한 제한이 없으며, 한국 특허 출원 제2008-113267호에 개시된 프로브 설치용 구조체 제조 방법에 따라 제조된 복수 개의 슬릿이 형성된 고정대(610)를 적당한 길이로 절단하는 것으로 제조되거나, 동 특허 출원에 개시된 내용에 따라 고정대(610)의 대응홈(630)과 슬릿 블록(620)을 각각 별도로 제작하고 여기에 슬릿을 형성하는 것으로 제조될 수 있다. The method of manufacturing the slit block 620 is not particularly limited, and it is to cut a fixed length 610 formed with a plurality of slits manufactured according to the method for manufacturing a probe mounting structure disclosed in Korean Patent Application No. 2008-113267 to an appropriate length. Alternatively, according to the contents disclosed in the patent application, the corresponding groove 630 and the slit block 620 of the fixing stand 610 may be manufactured separately and then formed by forming a slit therein.

이러한 하나 이상의 슬릿 블록(620)은 고정대(610)의 대응하는 하나 이상의 대응홈(630)에 결합되는데, 이러한 결합 방법으로는 특별한 제한이 없으며, 미세 볼트를 사용하여 결합하거나 에폭시와 같은 접착제를 사용하여 접합될 수 있다. One or more of the slit blocks 620 is coupled to the corresponding one or more corresponding grooves 630 of the fixing table 610, there is no particular limitation in this coupling method, using a fine bolt, or using an adhesive such as epoxy Can be bonded.

한편, 프로브 설치용 구조체(600)의 고정대(610)는 하나 이상의 대응홈(630) 주변에 프로브(700)가 삽입 고정되기 위해 별도의 슬릿(613)이 더 형성될 수 있다. Meanwhile, a separate slit 613 may be further formed in the holder 610 of the probe mounting structure 600 so that the probe 700 may be inserted and fixed around the one or more corresponding grooves 630.

이와 같이 슬릿 블록(620)의 상측에 형성된 슬릿(623)과 고정대(610)의 상측에 형성된 슬릿(613)은의 깊이는 프로브(700)가 고정대(610)에 충분히 고정될 수 있는 깊이로 정밀 가공되어 형성된다.As such, the depth of the slit 623 formed on the upper side of the slit block 620 and the slit 613 formed on the upper side of the fixing stand 610 are precisely processed to a depth at which the probe 700 can be sufficiently fixed to the fixing stand 610. It is formed.

상기 슬릿(613, 623)은 복수 개를 이루며, 상기 복수 개의 슬릿(613, 623)의 간격은 작업자가 설치 작업을 용이하게 할 수 있는 수준의 간격을 유지하도록 형성 된다. The slits 613 and 623 are formed in plural, and the intervals of the plurality of slits 613 and 623 are formed so as to maintain the intervals at which the worker can facilitate the installation work.

그리고, 복수 개의 슬릿(613, 623)들은 일부 이상이 고정대(610)의 연장 방향의 수직 방향에 대하여 예각을 이루도록 사선으로 구비될 수 있다. 구체적으로, 도 3b에서는, 고정대(610)의 상측에 형성된 슬릿(613)들은 고정대(610)의 연장 방향에 대하여 수직 방향으로 형성되나, 슬릿 블록(620)의 상측에 설치되는 일정 개수의 슬릿(623)은 고정대(610)의 연장 방향의 수직 방향에 대하여 예각을 이루도록 사선으로 형성된다. 이때, 이러한 슬릿(623)들의 예각들은 발명의 목적에 따라 서로 동일하거나 점차 증가되도록 이루어질 수 있다. 또한, 이러한 슬릿(623)들의 예각들은 그 중심에 대하여 대칭되도록 이루어질 수 있다. 도 3b에서는 슬릿 블록(620)에 형성된 일정 개수의 슬릿(623) 만이 예각을 이루는 것으로 도시되어 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 고정대(610)의 상측에 형성된 슬릿(613)들 역시 예각을 이루도록 형성될 수 있다. In addition, the plurality of slits 613 and 623 may be provided diagonally so that at least some of the slits 613 and 623 form an acute angle with respect to the vertical direction of the extending direction of the fixing table 610. In detail, in FIG. 3B, the slits 613 formed on the upper side of the fixing stand 610 are formed in a direction perpendicular to the extending direction of the fixing stand 610, but a predetermined number of slits are provided on the upper side of the slit block 620. 623 is formed in an oblique line to form an acute angle with respect to the vertical direction of the extension direction of the holder 610. At this time, the acute angles of the slits 623 may be made to be equal to each other or gradually increased according to the purpose of the invention. Also, the acute angles of these slits 623 may be made symmetric about their center. In FIG. 3B, only a certain number of slits 623 formed in the slit block 620 are illustrated to form an acute angle, but are not limited thereto. The slits 613 formed on the upper side of the fixing table 610 may also be formed to form an acute angle. Can be.

이렇게 예각으로 기울어져 형성된 슬릿(613, 623)들은 바람직하게는 한 방향을 중심으로 하여 타 방향으로 퍼지는 방사상 형태로 이루어진다. 프로브(700)들은 도 3c에 도시된 바와 같이 대략 그 중심 부분에 위치하는 끼움홈(710)이 슬릿(613, 623)에 삽입되어 고정되므로, 슬릿(613, 623)은 프로브(700)의 몸체에 있어 바람직하게는 중간 부분에 위치하게 된다. 따라서, 삽입 고정되는 프로브(700)의 팁부(730)는 슬릿(613, 623)의 사선 방향을 따라 연장되어 위치하게 된다. The slits 613 and 623 formed to be inclined at an acute angle preferably have a radial shape that spreads in another direction with respect to one direction. Since the probes 700 are inserted into and fixed to the slits 613 and 623, the fitting grooves 710 located approximately at the center of the probes 700 are inserted into the slits 613 and 623. It is preferably located in the middle portion. Therefore, the tip portion 730 of the probe 700 to be inserted and fixed extends along the oblique direction of the slits 613 and 623.

이와 같은이 고정대(610)에 형성되는 슬릿(613)들 및 슬릿 블록(620)에 형성되는 슬릿(623)들은 복수 개의 테스트 대상 반도체 소자들에 각각 배치된 복수 개 의 접촉 패드들에 각각 접촉되도록 설치되는 복수 개의 프로브(700)의 팁부(730)들의 설치 간격에 대응되도록 형성된다. Such slits 613 formed in the fixed base 610 and slits 623 formed in the slit block 620 are in contact with a plurality of contact pads disposed in the plurality of test target semiconductor elements, respectively. It is formed to correspond to the installation interval of the tip portion 730 of the plurality of probes 700 to be installed.

구체적으로, 복수 개의 테스트 대상 반도체 소자들의 접촉 패드들의 간격이 작업자가 수작업 또는 기계적 수단을 사용하여 프로브(700)를 삽입 설치할 수 있는 간격 정도(대략 수 백 ㎛)인 경우에는, 고정대(610) 상에 슬릿(613)들을 도 3b의 좌우 양측 영역에서와 같이 고정대(610)에 대하여 수직 방향으로 접촉 패드들의 간격에 대응하는 간격으로 형성한다. 그러나, 테스트 대상 반도체 소자들의 접촉 패드들의 간격이 미세 간격(대략 수 십 ㎛ 이하)인 경우에는, 도 3b의 중앙 영역에 도시된 슬릿 블록(620) 상의 슬릿(623)들과 같이 중심은 고정대(610)에 대하여 수직 방향이나 그 중심을 사이로 하여 양 측이 수직에 대하여 점차 증가하는 각도가 되도록, 즉 그 중심에 대하여 방사상 방향이 되도록 사선으로 형성한다. Specifically, when the distance between the contact pads of the plurality of semiconductor devices to be tested is about the interval (about several hundred μm) at which the operator can insert the probe 700 by manual or mechanical means, the fixing pad 610 is mounted on the holder 610. The slits 613 are formed at intervals corresponding to the intervals of the contact pads in the vertical direction with respect to the holder 610 as in the left and right regions of FIG. 3B. However, when the contact pads of the semiconductor devices under test have fine spacing (approximately several tens of micrometers or less), the center of the contact pads may be the same as the slits 623 on the slit block 620 shown in the center region of FIG. 3B. 610 is formed diagonally with respect to the vertical direction or the center thereof so that both sides become an angle gradually increasing with respect to the vertical, that is, the radial direction with respect to the center thereof.

즉, 테스트 대상 반도체 소자들의 간격에 따라 미세 피치를 달성할 필요가 있는 부분에 대해서는 슬릿(623)들을 방사상 형태로 배열된 사선 형태로 형성하는 것이다. In other words, the slits 623 are formed in the form of oblique lines arranged in a radial form for the portion where the fine pitch needs to be achieved according to the spacing of the semiconductor devices to be tested.

이러한 슬릿(623)에 따라, 프로브(700)들은 사선 방향으로 경사 지도록 삽입 설치되는 데, 프로브(700)의 팁부(730)들은 슬릿(623)에서 연장되어 위치하므로 프로브(700)의 팁부(730)들이 프로브(700)의 정렬 표시편(740)을 이용하여 도 3f에 도시된 바와 같이 패드 정렬선에 정렬하게 되면, 슬릿 블록(620)에 결합된 프로브(700)들의 끝단부인 팁부(730)간의 간격들은 고정대(610)에 직접 결합된 프로브(700)들의 팁부(730)의 간격(a)에 비해 현저히 좁은 간격(b)을 달성할 수 있게 된다. According to the slit 623, the probes 700 are inserted and installed to be inclined in an oblique direction. Since the tip parts 730 of the probe 700 are extended from the slit 623, the tip parts 730 of the probe 700 are positioned. ) Are aligned with the pad alignment line using the alignment indicator piece 740 of the probe 700, as shown in FIG. 3F, the tip portion 730 which is the end of the probes 700 coupled to the slit block 620. The spacing between the two can achieve a significantly narrower spacing (b) compared to the spacing (a) of the tip portion 730 of the probes 700 directly coupled to the stator 610.

즉, 고정대(610)의 수직 방향에 대하여 예각으로 형성된 슬릿 블록(620)의 슬릿(623)에 삽입된 프로브(700)의 팁부(730)들의 간격이 고정대(610)에 대하여 수직으로 형성된 슬릿(613)에 삽입된 프로브(700)의 팁부(730)들의 간격 미만으로 이루어질 수 있게 된다. 그에 따라, 예각으로 형성된 슬릿(623)에 삽입된 복수 개의 프로브(700)의 팁부(730)들은 미세 피치 간격으로 형성된 반도체 소자들에 대하여 대응할 수 있게 된다. 반면에, 예각으로 형성된 슬릿(623)에 삽입된 프로브(700)의 신호 전달 팁(750)들의 간격은 슬릿(613)들의 간격을 오히려 초과하게 된다. That is, the interval between the tip portions 730 of the probe 700 inserted into the slit 623 of the slit block 620 formed at an acute angle with respect to the vertical direction of the holder 610 is a slit (vertically formed with respect to the holder 610). It may be made less than the interval of the tip portion 730 of the probe 700 inserted into the 613. Accordingly, the tip portions 730 of the plurality of probes 700 inserted into the slits 623 formed at an acute angle may correspond to the semiconductor devices formed at fine pitch intervals. On the other hand, the spacing of the signal transfer tips 750 of the probe 700 inserted into the slits 623 formed at an acute angle rather exceeds the spacing of the slits 613.

이와 같이, 본 발명의 프로브 설치용 구조체(600)에 삽입 고정되는 프로브(700)는 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 슬릿(613, 623)에 삽입되는 삽입부(720), 상기 삽입부(720)의 하부에 구비되며 슬릿(613, 623)의 폭에 대응하는 끼움홈(710), 최상부에 구비되며 반도체 소자들의 접촉패드에 접촉하는 팁부(730), 프로브의 정렬을 위해 이용되는 정렬 표시편(740), 및 테스트를 위한 신호를 전달하는 신호 전달 팁(750)을 포함하여 이루어진다. 여기에서, 슬릿(613, 623)의 길이는 슬릿(613, 623)이 사선 방향으로 형성된 경우 증가될 수 있으므로, 프로브(700)의 끼움홈(710)은 사선 방향으로 형성된 최대 슬릿의 길이에 대응하도록 형성된다. 즉, 상기 프로브(700)의 끼움홈(710)의 길이는 상기 고정대(610) 또는 슬릿 블록(620)에 사선방향으로 형성된 최대 슬릿 길이와 같게 형성하거나 프로브 팁부(730)의 정렬 작업을 용이하게 실시하기 위해 그 보다 다소 길게 형성하는 것이 바람직하다. As such, the probe 700 inserted into and fixed to the probe mounting structure 600 according to the present invention includes an insertion portion 720 and the insertion portion 720 inserted into the slits 613 and 623 as shown in FIG. 3C. ) Is provided in the lower portion of the insertion groove 710 corresponding to the width of the slit 613, 623, the tip portion 730 is provided on the top and in contact with the contact pad of the semiconductor elements, alignment indicator piece used for the alignment of the probe 740, and a signal transfer tip 750 that carries a signal for testing. Here, since the lengths of the slits 613 and 623 may be increased when the slits 613 and 623 are formed in the diagonal direction, the fitting groove 710 of the probe 700 corresponds to the length of the maximum slit formed in the diagonal direction. It is formed to. That is, the length of the fitting groove 710 of the probe 700 is formed to be equal to the maximum slit length formed in the diagonal direction in the holder 610 or the slit block 620 or to facilitate the alignment of the probe tip portion 730. It is preferable to form rather longer than that for implementation.

상기 프로브 설치용 구조체(600)에 프로브(700)의 삽입 설치가 완료되면 프로브(700)가 고정대(610) 및 슬릿 블록(620)의 슬릿(613, 623)에 확실하게 고정되도록 에폭시 등의 접착체를 도포하여 경화시켜 준다. 여기서, 상기 프로브(700)가 상기 슬릿(613, 623)에 끼워진 상태로 에폭시 등의 접착제로 확실하게 고정하기 위해서는 도포된 접착제가 유입될 수 있도록 프로브(700)의 삽입부(720)의 측면에 복수의 접착제 수용홀을 관통 형성하되, 상기 접착제 수용홀은 상기 프로브(700)가 상기 슬릿(613, 623)에 삽입 설치되었을 때 상기 슬릿(613, 623)에 조금 묻힐(삽입될) 정도의 위치(높이)가 되도록 관통 형성하는 것이 바람직하다. When the insertion and installation of the probe 700 is completed in the probe mounting structure 600, an adhesive such as epoxy is fixed so that the probe 700 is securely fixed to the slits 613 and 623 of the holder 610 and the slit block 620. Apply to cure. Here, in order to securely fix the probe 700 with an adhesive such as epoxy in a state where the probe 700 is fitted to the slits 613 and 623, the side of the insertion portion 720 of the probe 700 may be introduced so that the applied adhesive may flow therein. A plurality of adhesive accommodating holes may be formed through the adhesive accommodating holes, and the adhesive accommodating holes may be slightly buried (inserted) in the slits 613 and 623 when the probe 700 is inserted into the slits 613 and 623. It is preferable to form through so that it may become (height).

한편, 도 3f에 도시된 바와 같이, 고정대(610)의 수직 방향에 대하여 예각으로 형성된 슬릿(623)에 삽입된 복수 개의 프로브(700)들이 방사상 방향으로 삽입 설치되면, 프로브(700)들의 신호 전달 팁(750)들의 배열이 직선 방향이 아니라 부채꼴 방향으로 이루어지게 된다. 그리고 프로브(700)들의 신호 전달 팁(750)들의 간격도 슬릿(613, 623)들 간의 간격보다 더 이격된다. 따라서, 이러한 신호 전달 팁(750)들이 테스터와 전기적으로 연결되도록 하기 위해서는 서브 기판의 접속부 회로를 적절하게 변경하거나 신호 전달 팁(750)의 단부를 적절히 절곡하여 서브 기판의 접속부에 접속될 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 이와 같이 신호 전달 팁(750)들이 부채꼴 방향으로 이격됨에 따라 프로브(700)의 삽입 설치를 위한 작업 공간을 보다 용이하게 확보할 수 있다. Meanwhile, as shown in FIG. 3F, when the plurality of probes 700 inserted into the slit 623 formed at an acute angle with respect to the vertical direction of the holder 610 are inserted and installed in the radial direction, the signals of the probes 700 are transmitted. The arrangement of the tips 750 is made in a fan shape rather than a straight direction. The spacing of the signal transmission tips 750 of the probes 700 is also further spaced apart from the spacing between the slits 613 and 623. Thus, in order for these signal tip 750 to be electrically connected to the tester, the connection circuit of the sub board may be properly changed or the end of the signal tip 750 may be bent properly so that the signal tip 750 may be connected to the connection of the sub board. It is preferable. In addition, as the signal transmission tips 750 are spaced apart in the sector, the work space for inserting and installing the probe 700 may be more easily secured.

이와 같이, 각각 일정 개수의 프로브(700)가 삽입 설치될 수 있는 일정 개수의 슬릿(623)이 형성된 하나 이상의 슬릿 블록(620)이 구비된 본 발명의 프로브 설 치용 구조체(600)를 이용하여 프로브를 삽입 설치하는 방법을 살펴보면 다음과 같다. As described above, the probe using the probe installation structure 600 of the present invention is provided with one or more slit blocks 620 having a predetermined number of slits 623 in which a predetermined number of probes 700 can be inserted. Here's how to install it.

먼저, 고정대(610)에서 분리된 하나 이상의 슬릿 블록(620)의 슬릿(623)에 대응하는 프로브(700)를 삽입 설치한다. 그리고, 고정대(610)의 표면에 형성된 슬릿(613)에 대응하는 프로브(700)를 삽입 설치한다. 그 후, 고정대(610)의 대응홈(630)에 일정 개수의 프로브(700)가 삽입 설치된 하나 이상의 슬릿 블록(620)을 결합하여 프로브 설치용 구조체(600)에 복수 개의 프로브(700)의 삽입 설치를 완료한다. First, the probe 700 corresponding to the slit 623 of the one or more slit blocks 620 separated from the holder 610 is inserted and installed. Then, the probe 700 corresponding to the slit 613 formed on the surface of the fixing table 610 is inserted. Thereafter, the one or more slit blocks 620 in which a predetermined number of probes 700 are inserted into the corresponding grooves 630 of the fixing stand 610 are combined to insert and install the plurality of probes 700 in the probe mounting structure 600. To complete.

다음으로, 도 4a 내지 도 4f에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 설치용 구조체(600)는 고정대(610)와 고정대(610)의 대응홈(630)에 삽입되는 슬릿 블록(620)이 내층 및 외층의 2층 구조로 이루어진 것을 제외하고는 도 3a 내지 도 3f에서 도시한 프로브 설치용 구조체(600)와 유사한 바, 고정대(610)와 슬릿 블록(620)의 구성만을 구체적으로 살펴본다. Next, as shown in Figures 4a to 4f, the probe mounting structure 600 according to the second embodiment of the present invention is a slit block is inserted into the holder 610 and the corresponding groove 630 of the holder 610. Except that the 620 is a two-layer structure of the inner layer and the outer layer is similar to the probe mounting structure 600 shown in Figures 3a to 3f, only the configuration of the fixing 610 and the slit block 620 specifically Take a look.

본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 설치용 구조체(600)의 고정대(610)는 프로브(700)의 끼움홈(710)의 길이에 대응하는 폭과 끼움홈(710)의 깊이 이상의 두께로 형성되어 있는 내층(611), 및 상기 내층(611)의 상부에 일정한 두께로 형성되어 있는 외층(612)을 포함한다. Fixture 610 of the probe mounting structure 600 according to the second embodiment of the present invention is formed with a thickness corresponding to the length of the fitting groove 710 of the probe 700 and the thickness of the fitting groove 710 or more An inner layer 611, and an outer layer 612 formed on the upper portion of the inner layer 611 to a predetermined thickness.

그리고, 슬릿 블록(620)은 프로브(700)의 끼움홈(710)의 길이에 대응하는 폭과 끼움홈(710)의 깊이 이상의 두께로 형성되어 있는 내층(621), 및 상기 내층(621)의 상부에 일정한 두께로 형성되어 있는 외층(622)을 포함한다.In addition, the slit block 620 of the inner layer 621 formed of a width corresponding to the length of the fitting groove 710 of the probe 700 and the thickness of the fitting groove 710 or more, and the inner layer 621 of the The outer layer 622 is formed to have a predetermined thickness thereon.

이때, 고정대(610)와 슬릿 블록(620)에 구비되어 있는 복수 개의 슬릿(613, 623)은 상기 외층(612, 622)의 상면 방향에서 상기 내층(611, 621) 방향으로 프로브(700)의 두께에 대응하는 폭과 상기 외층(612, 622)의 두께 이상의 깊이로 형성된다. In this case, the plurality of slits 613 and 623 provided in the fixing table 610 and the slit block 620 may be disposed in the direction of the inner layers 611 and 621 in the upper surface direction of the outer layers 612 and 622. It is formed to a width corresponding to the thickness and the depth of the thickness of the outer layers (612, 622) or more.

이때, 슬릿(613, 623)의 깊이는 프로브(700)가 고정대(610) 및 슬릿 블록(620)에 충분히 고정될 수 있는 깊이로 정밀 가공되어 형성된다. 그러므로, 외층(612, 622)의 두께는 프로브(700)의 고정을 위한 두께 미만이어야 하며, 균일하고 평탄하게 형성될 수 있고 그 색상을 충분히 발현할 수 있다면 되도록 얇게 형성되는 것이 바람직하다. In this case, the depths of the slits 613 and 623 are formed by precisely machining the probe 700 to a depth that can be sufficiently fixed to the holder 610 and the slit block 620. Therefore, the thickness of the outer layers 612 and 622 should be less than the thickness for fixing the probe 700, and should be as thin as possible so that it can be formed uniformly and evenly and can sufficiently express the color.

예를 들면, 슬릿(613, 623)을 기계적으로 가공하여 그 깊이를 100㎛ 이상으로 형성할 경우 내층(611, 621)이 상기 슬릿(613, 623)을 통하여 노출되도록 하기 위해서는 외층(612, 622)의 두께를 100㎛ 미만으로 형성해야 한다.For example, when the slits 613 and 623 are mechanically processed to form a depth of 100 μm or more, in order to expose the inner layers 611 and 621 through the slits 613 and 623, the outer layers 612 and 622. ) Should be less than 100 μm thick.

이러한 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 설치용 구조체(600)에서 내층(611, 621)과 외층(612, 622)의 색은 각각 서로 구별되는 색으로 구현된다. 그리고, 외층(612, 622)의 두께 이상의 깊이로 형성된 슬릿(613, 623)의 바닥 면은 내층(611, 621)이 되므로, 슬릿(613, 623)의 색은 외층(612, 622)의 색과 구별되게 된다. In the probe mounting structure 600 according to the second embodiment of the present invention, the colors of the inner layers 611 and 621 and the outer layers 612 and 622 may be implemented as colors that are distinguished from each other. In addition, since the bottom surfaces of the slits 613 and 623 formed to a depth greater than or equal to the thickness of the outer layers 612 and 622 become the inner layers 611 and 621, the color of the slits 613 and 623 is the color of the outer layers 612 and 622. It is distinguished from.

그에 따라, 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 설치용 구조체(600)는 외층(612, 622)상에 가공된 슬릿(613, 623)이 외층(612, 622)의 표면 색과 구별되는 색을 가지게 되므로 그 차이가 육안으로 식별이 가능하여 상기 슬릿(613, 623)의 위치를 쉽게 찾을 수 있게 된다. 그에 따라, 프로브(700)의 삽입 공정 시 프로브(700)의 끼움홈(710)을 슬릿(613, 623)에 정확하게 끼워 넣을 수 있으므로 작업자의 오작업을 크게 줄일 수 있게 된다. Accordingly, the probe mounting structure 600 according to the second embodiment of the present invention has a color in which the slits 613 and 623 processed on the outer layers 612 and 622 are distinguished from the surface color of the outer layers 612 and 622. Since the difference can be visually identified, the position of the slits 613 and 623 can be easily found. Accordingly, the insertion groove 710 of the probe 700 can be accurately inserted into the slits 613 and 623 during the insertion process of the probe 700, thereby greatly reducing a worker's misoperation.

이와 같은 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 설치용 구조체(600)에서 프로브(700)의 고정을 위한 충분한 두께로 형성되는 내층(611, 621)의 재료로는 특별한 제한이 없으며, 종래의 프로브 설치용 구조체와 같이 세라믹으로 이루어질 수 있다. 이러한 세라믹으로는 산업용 세라믹이 사용될 수 있는데, 구체적으로는 알루미나 세라믹(Al₂O₃), 지르코니아 세라믹(ZrO₂) 등이 사용될 수 있다. The material of the inner layers 611 and 621 formed to a sufficient thickness for fixing the probe 700 in the probe mounting structure 600 according to the second embodiment of the present invention is not particularly limited, and for the conventional probe mounting The structure may be made of ceramic. Industrial ceramics may be used as such ceramics. Specifically, alumina ceramics (Al ₂ O ₃ ), zirconia ceramics (ZrO ₂ ), and the like may be used.

그리고, 외층(612, 622)은 내층(611, 621)의 색과 구별되는 색을 구현하기 위해, 세라믹 재료에 안료를 부가하거나, 내층(611, 621)의 형성을 위해 사용된 세라믹 재료와 다른 색상을 가지는 세라믹 재료를 혼합(배합)하여 형성될 수 있다. 이러한 안료로는 바람직하게는 무기질 안료가 사용되는데, 이러한 안료는 적어도 하나 이상의 고순도 금속 산화물을 포함하여 이루어진다. 이렇게 형성된, 외층(612, 622)의 색상은 금속 산화물의 종류에 따라 결정된다. 예를 들면, 흑색을 나타내기 위해서는 산화크롬(Cr₃O₃), 산화철(Fe₂O₃), 산화코발트(CoO) 및 산화니켈(NiO)을 배합한 무기질 안료를 사용하며, 회색을 나타내기 위해서는 산화주석(SnO₂)과 산화안티몬(Sb₂O₃)를 배합한 무기질 안료를 사용할 수 있다. In addition, the outer layers 612 and 622 may be different from the ceramic materials used to add a pigment to the ceramic material or to form the inner layers 611 and 621 so as to realize a color distinct from the colors of the inner layers 611 and 621. It can be formed by mixing (mixing) color ceramic materials. Inorganic pigments are preferably used as such pigments, which pigments comprise at least one or more high purity metal oxides. The colors of the outer layers 612 and 622 thus formed are determined according to the type of metal oxide. For example, in order to exhibit black color, an inorganic pigment containing chromium oxide (Cr ₃ O ₃ ), iron oxide (Fe ₂ O ₃ ), cobalt oxide (CoO), and nickel oxide (NiO) is used. For this purpose, an inorganic pigment containing tin oxide (SnO ₂ ) and antimony oxide (Sb ₂ O ₃ ) can be used.

앞서 설명된 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 설치용 구조체(600)의 고정대(610)와 슬릿 블록(620)은 내층(611, 621)의 상측에 외층(612, 622)을 형성하 는 2층 구조로 이루어지나, 내층(611, 621)의 상측 뿐만 아니라 하측에도 외층을 형성하여 3층 구조로 이루어 질 수도 있다. 이 경우, 내층(611, 621)의 상측에 형성되는 외층(612, 622)의 색상은 내층(611, 621)의 하측에 형성되는 외층의 색상과 상이한 색으로 이루어질 수 있다. The stator 610 and the slit block 620 of the probe mounting structure 600 according to the second embodiment of the present invention described above form an outer layer 612, 622 on the upper side of the inner layer 611, 621. Although it is made of a layer structure, the outer layer may be formed not only on the upper side of the inner layers 611 and 621 but also on the lower side thereof, and thus may be of a three-layer structure. In this case, the colors of the outer layers 612 and 622 formed on the upper sides of the inner layers 611 and 621 may be different from those of the outer layers formed below the inner layers 611 and 621.

이러한 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 설치용 구조체(600)에서 고정대(610)와 슬릿 블록(620)는 내층(611, 621)과 외층(612, 622)은 다양한 형태로 구성될 수 있다. 구체적으로, 내층(611, 621)과 외층(612, 622)은 모두 세라믹 층으로 형성되거나, 내층(611, 621)은 세라믹 층이나 외층(612, 622)은 폴리머 층으로 형성될 수 있다. In the probe mounting structure 600 according to the second embodiment of the present invention, the stator 610 and the slit block 620 may be configured in various forms in the inner layers 611 and 621 and the outer layers 612 and 622. In detail, the inner layers 611 and 621 and the outer layers 612 and 622 may be formed of a ceramic layer, or the inner layers 611 and 621 may be formed of a ceramic layer or the outer layers 612 and 622 may be formed of a polymer layer.

구체적으로, 고정대(610)와 슬릿 블록(620)의 내층(611, 621)이 프로브(700)의 끼움홈(710)의 폭에 대응하는 폭과 끼움홈(710)의 깊이 이상의 두께로 형성되어 있는 제1 세라믹 층일 수 있으며, 고정대(610)와 슬릿 블록(620)의 외층(612, 622)이 상기 제1 세라믹 층의 상부에 일정한 두께로 형성되어 있는 제2 세라믹 층일 수 있다. 이때, 제1 세라믹 층은 세라믹 분말이 소결되어 형성되며, 제2 세라믹 층은 세라믹 분말과 무기질 안료의 혼합물이 소결되어 형성될 수 있다. In detail, the fixing members 610 and the inner layers 611 and 621 of the slit block 620 are formed to have a thickness corresponding to the width of the fitting groove 710 of the probe 700 and the thickness of the fitting groove 710 or more. It may be a first ceramic layer, and the second support layer 610 and the outer layer (612, 622) of the slit block 620 may be a second ceramic layer formed to a predetermined thickness on the first ceramic layer. In this case, the first ceramic layer may be formed by sintering ceramic powder, and the second ceramic layer may be formed by sintering a mixture of ceramic powder and an inorganic pigment.

그리고, 고정대(610)와 슬릿 블록(620)의 내층(611, 621)이 프로브(700)의 끼움홈(710)의 폭에 대응하는 폭과 끼움홈(710)의 깊이 이상의 두께로 동일한 색상의 세라믹 시트를 여러 겹 적층하여 형성되어 있는 제1 세라믹 층일 수 있으며, 고정대(610)와 슬릿 블록(620)의 외층(612, 622)이 상기 제1 세라믹 층의 상부에 일정한 두께의 상기 세라믹 시트와 상이한 색상의 세라믹 시트로 이루어져 있는 제2 세라믹 층일 수 있다. In addition, the fixing bracket 610 and the inner layers 611 and 621 of the slit block 620 have the same color as the width corresponding to the width of the fitting groove 710 of the probe 700 and the depth of the fitting groove 710. It may be a first ceramic layer formed by stacking a plurality of ceramic sheets, the outer layer (612, 622) of the holder 610 and the slit block 620 and the ceramic sheet of a constant thickness on top of the first ceramic layer; It may be a second ceramic layer consisting of ceramic sheets of different colors.

그리고, 고정대(610)와 슬릿 블록(620)의 내층(611, 621)이 프로브(700)의 끼움홈(710)의 폭에 대응하는 폭과 끼움홈(710)의 깊이 이상의 두께로 형성되어 있는 제1 세라믹 층일 수 있으며, 고정대(610)와 슬릿 블록(620)의 외층(612, 622)이 상기 제1 세라믹 층의 상부에 일정한 두께로 플라즈마 융사 코팅 방법으로 코팅되어 있는 제2 세라믹 층일 수 있다. In addition, the holder 610 and the inner layers 611 and 621 of the slit block 620 are formed to have a thickness corresponding to the width of the fitting groove 710 of the probe 700 and a thickness greater than the depth of the fitting groove 710. The first ceramic layer may be a second ceramic layer, in which the stator 610 and the outer layers 612 and 622 of the slit block 620 are coated by a plasma fused coating method with a predetermined thickness on the first ceramic layer. .

그리고, 고정대(610)와 슬릿 블록(620)의 내층(611, 621)이 프로브(700)의 끼움홈(710)의 폭에 대응하는 폭과 끼움홈(710)의 깊이 이상의 두께로 형성되어 있는 세라믹 층일 수 있으며, 고정대(610)와 슬릿 블록(620)의 외층(612, 622)이 상기 세라믹 층의 상부에 일정한 두께로 형성되어 있는 폴리머 층일 수 있다. In addition, the holder 610 and the inner layers 611 and 621 of the slit block 620 are formed to have a thickness corresponding to the width of the fitting groove 710 of the probe 700 and a thickness greater than the depth of the fitting groove 710. It may be a ceramic layer, and the stator 610 and the outer layers 612 and 622 of the slit block 620 may be a polymer layer formed to a predetermined thickness on the ceramic layer.

이때, 이와 같이 고정대(610)와 슬릿 블록(620)의 상측에 형성된 복수 개의 슬릿(613, 623)은 일부분 이상이 방사상 방향을 이루도록 사선으로 형성된다. In this case, the plurality of slits 613 and 623 formed on the fixing stand 610 and the slit block 620 are formed diagonally so that at least a portion thereof forms a radial direction.

이러한 고정대(610)와 슬릿 블록(620)은 내층(611, 621)과 외층(612, 622)의 제조 방법들은 특허 출원 제2008-113267호 공보에 상세하게 개시된 바, 특허 출원 제2008-113267호의 내용은 그 전체로서 본 명세서에 혼입되는 것으로 하며, 그에 따라 그 구체적인 내용 설명은 본 명세서에서는 생략하기로 한다. The fixing stand 610 and the slit block 620, the manufacturing method of the inner layer (611, 621) and the outer layer (612, 622) are disclosed in detail in the Patent Application No. 2008-113267, the Patent Application No. 2008-113267 The contents are to be incorporated in the present specification as a whole, and thus the detailed description thereof will be omitted.

이상 설명한 바에 의하면, 고정대(610)의 내층(611)과 슬릿 블록(620)의 내층(621), 그리고 고정대(610)의 외층(612)과 슬릿 블록(620)의 외층(622)이 서로 동일한 형태로 형성되었으나, 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 설치용 구조체(600)에서 고정대(610)의 내층(611)과 슬릿 블록(620)의 내층(621), 그리고 고정 대(610)의 외층(612)과 슬릿 블록(620)의 외층(622)은 서로 상이한 형태로 형성될 수 있음은 당연하다. As described above, the inner layer 611 of the holder 610, the inner layer 621 of the slit block 620, and the outer layer 612 of the holder 610 and the outer layer 622 of the slit block 620 are identical to each other. Although formed in the form, in the probe mounting structure 600 according to the second embodiment of the present invention, the inner layer 611 of the holder 610, the inner layer 621 of the slit block 620, and the outer layer of the holder 610 Naturally, the 612 and the outer layer 622 of the slit block 620 may be formed in different forms.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 본 발명의 기술 사상 범위 내에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 첨부된 특허 청구 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the technical idea of the present invention. Of course.

도 1은 종래의 프로브 카드의 분해 사시도이다. 1 is an exploded perspective view of a conventional probe card.

도 2는 종래의 프로브 카드에 블레이드형 프로브를 설치하는 모습을 보여주는 도면이다. 2 is a view showing a state in which a blade-type probe is installed in a conventional probe card.

도 3a 내지 도 3f는 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브 설치용 구조체와 이에 블레이드형 프로브를 설치하는 모습을 보여준다. 3A to 3F show a probe mounting structure and a blade-type probe installed therein according to the first embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 설치용 구조체와 이에 블레이드형 프로브를 설치하는 모습을 보여준다. 4A to 4F show a probe mounting structure and a blade type probe installed therein according to the second embodiment of the present invention.

Claims

In the structure comprising one or more fixing rod is inserted into the plurality of blade-type probe is formed in the lower groove,

The fixture is

At least one corresponding groove formed at an upper side thereof; And

At least one slit block detachably coupled to the at least one corresponding groove;

Including;

Probe mounting structure, characterized in that a predetermined number of slits for inserting the blade-shaped probe is installed on the upper side of the at least one slit block.

The method of claim 1,

The predetermined number of the probe mounting structure, characterized in that the number of the blade-type probes required to inspect one inspection target semiconductor device.

The method of claim 1,

The fixture has the probe mounting structure, characterized in that at least one slit for inserting the blade-type probe is installed around the corresponding groove.

The method according to claim 1 or 3,

And at least a portion of the plurality of slits formed in the holder and the at least one slit block are diagonally formed to form an acute angle with respect to the vertical direction of the extension direction of the holder.

The method of claim 4, wherein

At least a portion of the plurality of slits are arranged in a radial shape.

The method of claim 4, wherein

The fixture and slit block

An inner layer formed with a width corresponding to the length of the fitting groove of the probe and a thickness greater than or equal to the depth of the fitting groove; And

An outer layer formed on the inner layer at a predetermined thickness;

Including;

Said slit is formed in depth more than the thickness of the said outer layer, The said probe installation structure characterized by the above-mentioned.

The method of claim 6,

The probe mounting structure, characterized in that the color of the inner layer and the outer layer are distinguished from each other.

The method according to claim 6 or 7,

The inner layer is a first ceramic layer made of sintered ceramic powder,

The outer layer is the probe mounting structure, characterized in that the second ceramic layer formed by sintering a mixture of ceramic powder and inorganic pigment.

The method according to claim 6 or 7,

The inner layer is a first ceramic layer formed by stacking multiple layers of ceramic sheets of the same color,

And the outer layer is a second ceramic layer made of a ceramic sheet of a different color from the first ceramic layer.

The method according to claim 6 or 7,

The inner layer is a first ceramic layer made of sintered ceramic powder,

The outer layer is the probe installation structure, characterized in that the mixture of the ceramic powder and the inorganic pigment is a second ceramic layer formed by coating the plasma spray coating method.

The method according to claim 6 or 7,

The inner layer is a ceramic layer sintered ceramic powder,

And said outer layer is a polymer layer of a color distinct from said ceramic layer.