KR20100060281A

KR20100060281A - 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치

Info

Publication number: KR20100060281A
Application number: KR1020080118817A
Authority: KR
Inventors: 전충환; 김용균
Original assignee: 부산대학교 산학협력단
Priority date: 2008-11-27
Filing date: 2008-11-27
Publication date: 2010-06-07
Also published as: KR101056765B1

Abstract

본 발명은 연구활동이 이루어지는 실험실에서 마이크로단위의 입자에 대한 실험을 하게 되거나 제약산업분야에서 마이크로단위의 각종 약제 분석 및 배합시 요구되는 미소량의 마이크로입자 공급을 정확하고 정밀하게 수행할 수 있는 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치를 제공한다. 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치는 마이크로입자가 수용하는 수용용기를 정해진 진폭으로 진동시키는 한편, 수용용기 내부로 입자이송용 기체를 정해진 유량으로 유입시켜 수용용기에 수용되는 마이크로입자가 수용용기 내부로 유입되는 입자이송용 기체에 균일하게 분산되도록 하고, 수용용기의 내부공간을 정해진 비율로 축소시키면서 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자가 정해진 양만큼 입자 흡입관을 통해 외부로 공급될 수 있도록 한 것이다. 이와 같이 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치는 마이크로입자가 입자이송용 기체에 분산되어 수용용기와 함께 진동하게 되는 입자 흡입관을 통해 외부로 배출됨에 따라 정전기 대전에 의해 마이크로입자가 입자 흡입관과 같은 이송관로 상에 부착되어 관로를 폐쇄시키는 현상이 방지되면서 마이크로입자의 미소 정량 공급이 안정되고 원활하게 이루어지게 된다.

마이크로입자, 정량 공급장치, 진동, 기체, 스텝모터, 피스톤, 실린더

Description

마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치{The feeding method for solid-particle and feeder thereof}

본 발명은 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치에 관한 것으로, 좀더 구체적으로는 마이크로입자가 입자이송용 기체에 분산되어 수용용기와 함께 진동하게 되는 입자 흡입관을 통해 외부로 배출됨에 따라 정전기 대전에 의해 마이크로입자가 관로의 내벽에 부착되어 관로를 폐쇄시키는 현상이 방지되어 마이크로입자의 미소 정량 공급이 안정되고 원활하게 이루어지게 되는 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치에 관한 것이다.

산업현장이나 각종 연구소의 실험실에서 취급되는 다양한 종류의 물질이나 물체들에 대해서 정량 공급이 요구되는 경우가 있는데, 액체나 기체상태의 물질에 대한 정량 공급장치는 현재 다양한 구성으로 개시되고 있다. 이와 더불어 고체상태의 물질이나 물체에 대한 정량 공급장치도 다양한 구성으로 현재 안출되어 있는데, 일본 공개특허공보 공개번호 제1983-182027호, 공개번호 제1986-44214호, 공개번호 제2007-187637호, 미국특허 US7306200 "CONTROLLER RATE FEEDER SYSTEMS FOR FINE PARTICLE SOLIDS AND METHODS THEREOF" 등이 개시되고 있다.

그런데, 고체상태의 물질이나 물체의 경우, 물질이나 물체의 크기가 마이크로단위로 작아져 마이크로입자 상태에 이르게 되면 마이크로입자 간 접촉 또는, 마이크로입자를 이송시키기 위한 구성요소와 입자 사이의 접촉에 의해 정전기가 발생하게 되었는데, 이와 같이 발생되는 정전기에 의해 마이크로입자가 서로 달라붙거나 마이크로입자가 이송되는 이송관로 상에 마이크로입자가 부착되어 이송관로가 막혀버려 입자의 이송이 불가능해지는 문제점이 발생하였다.

따라서, 상기와 같은 정전기현상에 의해 마이크로입자가 서로 달라붙거나 이송관로 상에 마이크로입자가 부착되는 현상을 방지하여 마이크로입자를 안정되고 원활하게 정량 공급할 수 있는 장치의 구성이 현재 요구되고 있는 실정이라 하겠다.

따라서 본 발명은 이와 같은 종래 기술의 문제점을 개선하여, 마이크로입자가 이송과정에서 정전기 대전에 의해 이송로 상에 부착되어 이송로를 폐쇄시키는 현상이 방지되도록 하여 마이크로입자가 정해진 미소량만큼 외부로 공급될 수 있도록 하는 새로운 형태의 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

특히, 본 발명은 마이크로입자가 수용하는 수용용기를 정해진 주파수와 진폭으로 진동시키고, 수용용기 내부로 입자이송용 기체를 정해진 유량과 속도로 유입시키면서 수용용기에 수용되는 마이크로입자가 수용용기 내부로 유입되는 입자이송용 기체에 균일하게 분산되도록 하고, 수용용기의 내부공간을 정해진 비율로 축소시키면서 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자가 정해진 양만큼 입자 흡입관을 통해 외부로 공급될 수 있도록 하여 마이크로입자의 미소 정량공급이 안정되고 원활하게 이루어질 수 있는 새로운 형태의 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 본 발명은 마이크로입자가 수용용기의 내부공간에 주입되어 수용되도록 하는 단계와; 정해진 유량과 속도로 유동하는 입자이송용 기체가 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되도록 하고, 상기 수용용기가 정해진 진폭으로 진동하도록 하여 상기 수용용기의 내부공간에 수용된 상기 마이크로입자가 상기 입자이송용 기체에 분산되도록 하는 단계와; 상기 수용용기의 내부공간은 축소와 확장이 가능한 구조로 이루어져 상기 내부공간이 정해진 비율로 축소되면서 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 수용용기의 내부공간과 연통된 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 배출되도록 하는 단계를 포함하여, 상기 마이크로입자가 목적하는 장소에 정해진 양만큼 공급되도록 하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 정량 공급방법에서 상기 수용용기는 상하방향으로 내부공간을 가지는 실린더형 관체로 이루어져 상기 수용용기의 내부공간으로 삽입되어 상하방향으로 전후진운동하게 되는 피스톤모듈에 의해 상기 수용용기의 내부공간이 축소되고 확장되도록 하되, 상기 피스톤모듈이 정해진 속도로 전진운동하면서 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 공급되도록 하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 정량 공급방법에서 상기 마이크로입자의 물성치와 요구되는 상기 마이크로입자의 공급량에 따라 상기 상기 수용용기의 진동 진폭, 상기 입자이송용 기체의 유량, 상기 내부공간이 축소되는 비율이 조정되도록 하는 것을 특징으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 본 발명은 축소와 확장이 가능한 내부공간이 형성되어 외부로부터 공급되는 마이크로입자와 입자이송용 기체가 수용되는 수용용기와; 상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 입자이송용 기체를 상기 수용용기의 내부공간으로 유입시키게 되되, 관로 상에 설치되어 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되도록 하는 MFC를 구비하는 기체 유입관과; 상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자를 배출시키게 되는 입자 흡입관과; 상기 수용용기와 연동되어 상기 수용용기를 진동시키게 되는 진동기구와; 상기 수용용기의 내부공간에 위치되어 상기 내부공간을 축소시키게 되는 입자배출용 액추에이터 및; 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되는 상기 입자이송용 기체의 유량, 상기 진동기구가 발생시키는 진동의 진폭, 상기 입자배출용 액추에이터가 상기 내부공간을 축소시키는 비율을 각각 제어하게 되는 제어기구를 포함하여, 상기 진동기구에 의해 정해진 진폭으로 진동하는 상기 수용용기의 내부공간으로 상기 기체 유입관을 통해 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 유입되면서 상기 수용용기의 내부공간에 수용된 상기 마이크로입자가 상기 입자이송용 기체에 분산되고, 상기 입자배출용 액추에이터에 의해 상기 수용용기의 내부공간이 정해진 비율로 축소되면서 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 외부로 공급되는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치에서 상기 수용용기는 중력방향과 일치하는 상하방향으로 내부공간을 가지는 실린더형 관체로 이루어져 외부로부터 공급되는 마이크로입자가 상기 내부공간에 정해진 높이까지 쌓이면서 수용되도록 하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치에서 상기 입자배출용 액추에이터는 실린더형 관체로 이루어진 상기 수용용기의 개방된 하부에 슬라이딩가능하게 삽입되어 상기 수용용기의 내부공간 하부가 밀폐되도록 하는 피스톤과; 상기 피스톤과 결합되어 상기 피스톤이 상기 수용용기의 내부공간에서 상하방향으로 전후진운동하도록 하는 푸싱 로드와; 상기 푸싱 로드와 연결되어 상기 푸싱 로드를 작동시키되, 상기 제어기구에 의해 제어되어 상기 푸싱 로드의 전후진운동이 조절되도록 하는 서보구동기구를 포함하는 피스톤모듈인 것을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치에서 상기 기체 유입관과 상기 입자 흡입관은 각각 상기 수용용기의 상부면을 관통하여 삽입되는 모세관인 것을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치에서 상기 입자 흡입관의 일단부는 상기 수용용기의 내부공간으로 삽입되고, 상기 입자 흡입관의 타단부는 상기 수용용기의 외부에서 이송관과 연결되되, 상기 이송관은 탄성변형이 가능한 수지 재질의 모세관형 튜브(tube)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치에서 상기 진동기구는 상기 수용용기와 연결되어 상기 수용용기를 진동시키게 되는 진동발생기와; 상기 수용용기와 상기 진동발생기 양측에 접촉되어 상기 진동발생기로부터 발생되는 진동이 상기 수용용기에 전달되도록 하고, 상기 수용용기의 외부면을 감싸도록 설치되어 상기 수용용기가 밀폐되도록 하며, 정해진 형상의 블록을 이루는 수지 소재로 이루어져 진동에 의한 소음 및 상기 수용용기의 피로파괴가 방지되도록 하는 진동전달블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치에서 상기 제어기구는 상기 수용용기에 설치되어 상기 수용용기의 진동 진폭을 검출하는 진동센서를 더 구비하여 상기 수용용기의 진동 진폭에 대한 피드백 제어가 이루어지도록 하는 것을 특징으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또다른 특징에 의하면, 본 발명은 중력방향과 일치하는 상하방향으로 축소와 확장이 가능한 내부공간을 가지는 실린더형 관체로 이루어져 외부로부터 공급되는 마이크로입자가 상기 내부공간에 정해진 높이까지 쌓이면서 수용되는 수용용기와; 수용용기의 상부면을 수직으로 관통하여 상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 입자이송용 기체를 상기 수용용기의 내부 공간으로 유입시키게 되되, 관로 상에 설치되어 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량과 속도로 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되도록 하는 MFC를 구비하는 기체 유입관과; 수용용기의 상부면을 수직으로 관통하여 상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자를 배출시키게 되되, 상기 기체 유입관과 평행하게 설치되는 입자 흡입관과; 상기 수용용기와 연결되어 상기 수용용기를 진동시키게 되는 진동발생기와; 상기 수용용기와 상기 진동발생기 양측에 접촉되어 상기 진동발생기로부터 발생되는 진동이 상기 수용용기에 전달되도록 하고, 상기 수용용기의 상측 외부면을 감싸도록 설치되어 상기 수용용기의 상부면이 실링(sealing)되면서 상기 기체 유입관과 입자 흡입관이 상기 수용용기의 상부면에 고정되도록 하며, 정해진 형상의 블록을 이루는 수지 소재로 이루어져 진동에 의한 소음 및 상기 수용용기의 피로파괴가 방지되도록 하는 진동전달블록과; 상기 진동발생기와 연결되어 상기 진동발생기와 상기 수용용기 사이의 이격거리를 조절하도록 하여 상기 진동전달블록이 상기 수용용기와 접촉하는 강도가 조절되면서 상기 수용용기로 전달되는 진동의 진폭이 조절되도록 하는 진폭조절용 스텝모터와; 실린더형 관체로 이루어진 상기 수용용기의 개방된 하부에 슬라이딩가능하게 삽입되어 상기 수용용기의 내부공간 하부가 밀폐되도록 하는 피스톤과, 상기 피스톤과 결합되어 상기 피스톤이 상기 수용용기의 내부공간에서 상하방향으로 전후진운동하도록 하는 푸싱 로드와, 상기 푸싱 로드를 작동시키되 상기 푸싱 로드의 작동이 펄스단위로 이루어지도록 하는 피스톤용 스텝모터를 포함하여 상기 피스톤이 상기 수용용기의 내부공간에서 상하방향으로 전후진운동하면서 상기 내부공간을 축 소시키거나 확장시키도록 하는 피스톤모듈 및; 요구되는 상기 마이크로입자의 공급량과 상기 마이크로입자의 물성치를 입력받아 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 량만큼 외부로 배출되도록 하되, 상기 MFC를 제어하여 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되는 상기 입자이송용 기체의 유량을 조절하고, 상기 진폭조절용 스텝모터를 제어하여 상기 수용용기로 전달되는 진동의 진폭을 조절하며, 상기 피스톤용 스텝모터를 제어하여 상기 수용용기의 내부공간이 축소되는 비율을 조절하게 되는 제어기구를 포함하여, 상기 진동발생기에 의해 정해진 진폭으로 진동하는 상기 수용용기의 내부공간으로 상기 기체 유입관을 통해 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 유입되면서 상기 수용용기의 내부공간에 수용된 상기 마이크로입자가 상기 입자이송용 기체로 분산되고, 상기 피스톤모듈에 의해 상기 수용용기의 내부공간이 정해진 비율로 축소되면서 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 외부로 배출되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의한 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치에 의하면, 액체나 기체 상태의 마이크로입자와 달리 미소 정량 공급이 어려웠던 고체상태의 마이크로입자의 미소 정량 공급이 가능해지게 되어, 마이크로단위의 입자를 실험대상으로 하는 연구소나 실험실에서 정확하고 정밀한 실험을 수행할 수 있게 되며, 제약산업분야에서도 마이크로단위의 각종 약제의 분석과 배합이 정확하고 정밀 하게 이루어지게 되는 효과가 있다. 또한, 이와 같은 마이크로입자의 미소 정량 공급이 안정되고 원활하게 이루어지는 효과도 동시에 가지게 된다.

본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치는 연구활동이 이루어지는 실험실에서 마이크로단위의 입자에 대한 실험을 하게 되거나 제약산업분야에서 마이크로단위의 각종 약제 분석 및 배합시 요구되는 미소량의 마이크로입자 공급을 정확하고 정밀하게 수행할 수 있도록 한 것이다. 특히, 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치는 고체상태의 마이크로입자에 적용되는 것이다. 이를 위한 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치는 마이크로입자가 수용하는 수용용기를 정해진 진폭으로 진동시키고, 수용용기 내부로 입자이송용 기체를 정해진 유량으로 유입시키면서 수용용기에 수용되는 마이크로입자가 수용용기 내부로 유입되는 입자이송용 기체에 균일하게 분산되도록 하고, 수용용기의 내부공간을 정해진 비율로 축소시키면서 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자가 정해진 양만큼 입자 흡입관을 통해 외부로 공급될 수 있도록 하는 것을 기술적 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치는 마이크로입자가 입자이송용 기체에 분산되어 수용용기와 함께 진동하게 되는 입자 흡입관을 통해 외부로 배출됨에 따라 정전기 대전에 의해 마이크로입자가 입자 흡입관과 같은 이송관로 상에 부착되어 관로를 폐쇄시키는 현상이 방지되도록 하는 것을 기술적 특징으로 한다.

본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법은 마이크로입자가 목적하는 장소에 정해진 미소량만큼 공급되도록 하기 위한 것으로, 먼저 일정량의 마이크로입자가 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 주입되어 일정부피만큼 수용되도록 한다. 이와 같이 수용용기(10)의 내부공간(12)에 일정부피만큼 수용된 마이크로입자로부터 목적하는 장소에 미소량의 마이크로입자를 공급하게 되는 것이다.

다음으로, 정해진 유량으로 유동하는 입자이송용 기체가 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입되도록 하는데, 반응성이 낮은 안정화된 기체가 입자이송용 기체로 사용되는 것이 바람직하다. 이와 같은 입자이송용 기체의 유입과 함께, 마이크로입자가 일정량 수용된 수용용기(10)를 정해진 진폭으로 진동시키게 되는데, 이와 같은 수용용기(10)의 진동에 따라 수용용기(10)의 내부공간(12)에 수용된 마이크로입자는 수용용기(10)에 유입된 입자이송용 기체에 분산되어 부유하게 된다. 여기서, 수용용기(10)의 진동은 규칙적으로 반복됨에 따라 일정시간이 지나면 마이크로입자는 입자이송용 기체에 균일하게 분산된다. 한편 상기와 같은 수용용기(10)의 진동은 수용용기(10)내에 벌크(bulk)상태로 집적된 입자들의 결합을 와해시켜 마이크로입자를 부유시키는 기능을 동시에 수행하게 된다. 즉 벌크상태로 집적된 입자는 자체 중량에 의해 부유하게 되지 못함에 따라 마이크로입자만 부유되어 외부로 배출되는 것이다.

마지막으로, 상기와 같이 입자이송용 기체에 균일하게 분산된 마이크로입자를 외부로 정량 배출시키게 되는데, 본 발명에 따른 수용용기(10)는 축소와 확장이 가능한 구조로 이루어져 수용용기(10)의 내부공간(12)이 정해진 비율로 축소되면서 마이크로입자가 분산된 입자이송용 기체가 수용용기(10)의 내부공간(12)과 연통된 입자 흡입관(40)을 통해 정해진 양만큼 배출되도록 하게 된다.

여기서, 마이크로입자의 종류에 따라 마이크로입자의 크기, 밀도와 같은 물성치가 달라지게 되므로, 정해진 미소량만큼 마이크로입자를 안정되게 외부로 공급하기 위해서는 마이크로입자의 물성치에 맞추어 수용용기(10)의 진동 진폭과 입자이송용 기체의 유량 및, 수용용기의 내부공간이 축소되는 비율을 조절할 필요가 있다. 또한, 정해진 마이크로입자에 대하여 요구되는 미소 공급량의 크기가 달라질 경우에는 수용용기(10)의 진동 진폭과 입자이송용 기체의 유량 및, 수용용기(10)의 내부공간이 축소되는 비율을 조절할 필요가 있다.

이에 따라 본 발명에 따른 마이크로입자 미세 공급방법은 요구되는 마이크로입자의 미소 공급량과 선택된 마이크로입자의 물성치에 따라 수용용기(10)의 진동 진폭과 입자이송용 기체의 유량 및, 수용용기(10)의 내부공간(12)이 축소되는 비율을 제어하도록 하여, 선택된 마이크로입자에 대해 요구되는 미소 공급량이 정확하고 정밀하게 유지되면서 마이크로입자의 공급이 이루어질 수 있도록 한다.

상기와 같은 마이크로입자의 미소 정량 공급을 구현하기 위한 본 발명에 따 른 마이크로입자 미소 정량 공급장치(100)는 도 1에서와 같이 수용용기(10), 기체 유입관(20), 입자 흡입관(40), 진동기구(60), 입자배출용 액추에이터(70), 제어기구(80)를 포함하는 구성으로 이루어진다.

수용용기(10)는 외부로부터 공급되는 마이크로입자와 입자이송용 기체가 수용되는 것으로, 축소와 확장이 가능한 내부공간(12)이 형성되어 있다. 이와 같은 내부공간(12)의 축소와 확장은 마이크로입자를 외부로 미소량 공급하기 위한 구성으로서, 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치(100)는 마이크로입자의 정량 공급이 목적이므로, 수축성이 있는 재질로 내부공간(12)을 구성하기보다 내부공간(12)의 일측이 개방되도록 하고, 개방된 내부공간(12)의 일측으로 슬라이딩이 가능한 별도의 독립적인 장치를 삽입하여 개방된 내부공간(12)의 일측을 밀폐시키면서 내부공간(12)의 부피가 조절될 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 이는 수용용기(10)에 수용되는 마이크로입자의 물성치와 요구되는 마이크로입자의 미소 공급량에 맞추어 정확하고 정밀하게 마이크로입자를 외부로 배출시키기 위함이다.

기체 유입관(20)은 수용용기의 내부공간으로 삽입되어 입자이송용 기체를 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입시키게 되는 관으로, 이와 같은 기체 유입관(20)의 관로 상에는 MFC(Mass Flow Controller)(30)가 설치되어 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입되도록 하게 된다. 상기와 같이 MFC(30)가 설치됨에 따라 수용용기(10)에 수용되는 마이크로입자의 물성치 와 요구되는 마이크로입자의 미소 공급량에 맞추어 입자이송용 기체를 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입시킬 수 있게 된다.

한편, 기체 유입관(20)은 장소적 제약에 적응할 수 있도록 고무와 같이 유연성을 가진 소재로 이루어지는 보조튜브(22)가 연결되어 사용될 수 있다.

입자 흡입관(40)은 수용용기(10)의 내부공간(12)에 삽입되어 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자를 배출시키게 되는 관으로, 이와 같은 입자 흡입관(40)은 마이크로입자의 미소 정량 공급이 요구되는 곳까지 곧바로 연결되거나, 이와 달리 별도의 이송관(50)이 입자 흡입관(40)과 결합되어 마이크로입자의 미소 정량 공급을 요구하는 곳에 연결되도록 할 수도 있다.

상기한 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)은 마이크로입자의 미소량 공급을 위해 사용되는 것임에 따라 모세관이 사용되도록 하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기한 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)의 끝단이 수용용기(10)의 내부공간(12)에 일정부피로 수용되어 적층되어 있는 마이크로입자 표면층과 직접 접촉하지 않도록 하는 것이 중요한데, 이를 위하여 상기한 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)은 수용용기(10)의 내부공간(12)에 정해진 길이만큼만 삽입되도록 하는 한편, 수용용기(10)의 내부공간(12)에 수용되어 적층된 마이크로입자 표면층이 상기한 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)의 끝단에서 일정거리 이격될 수 있는 양만큼만 마이크로입자를 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 공급하도록 한다.

또한, 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)은 이격거리를 최소화하여 수직으로 평행하게 설치되는 것이 바람직하다. 기체 유입관(20)을 통해 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입되는 입자이송용 기체가 유동방향 상에 있는 마이크로입자와 충돌하게 되면 마이크로입자가 입자이송용 기체의 유동방향 인근에서 부유하게 되는데, 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)이 서로 근접되어 있음에 따라 상기와 같이 부유하게 되는 마이크로입자가 입자 흡입관(40)으로 곧바로 유도되는 효과가 발생한다.

진동기구(60)는 수용용기(10)와 연동되어 수용용기(10)를 진동시키기 위한 것으로, 정해진 진폭을 가진 진동을 발생시켜 수용용기(10)에 전달하게 된다. 여기서, 진동기구(60)는 진동 주파수를 고정시킨 상태에서 진동 진폭을 조절하게 되는데, 이는 수용용기(10)에 수용된 마이크로입자의 물성치와 요구되는 마이크로입자의 미소 공급량에 맞추어 마이크로입자가 입자이송용 기체에 분산되는 속도와 분산되는 양을 조절하기 위함이다.

입자배출용 액추에이터(70)는 수용용기(10)의 내부공간(12)에 위치되어 내부공간(12)을 축소시키게 되는 것으로, 수용용기(10)의 내부공간(12)은 밀폐된 상태에서 마이크로입자와 입자이송용 기체로 채워져 있음에 따라, 입자배출용 액추에이터에 의해 수용용기(10)의 내부공간(12)이 축소되게 되면, 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자가 입자 흡입관(40)을 통해 정해진 양만큼 외부로 배출되는 것이 다. 이와 같은 입자배출용 액추에이터(70)는 수용용기(10)의 내부공간(12)이 축소되는 비율을 정확하고 정밀하게 조절할 수 있는 구성으로 이루어지도록 한다. 이를 위한 입자배출용 액추에이터(70)의 구성은 다양할 수 있는데, 수용용기(10)는 상하방향으로 내부공간을 가지는 실린더형 관체로 이루어지도록 하고, 입자배출용 액추에이터(70)는 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 삽입되어 상하방향으로 전후진운동하게되는 피스톤모듈(70')로 이루어지도록 하여, 피스톤모듈(70')의 전후진운동에 따라 수용용기(10)의 내부공간(12)이 축소되고 확장되는 구성도 가능하다. 이와 같은 피스톤모듈(70')은 전후진운동하는 속도를 조절함으로써 수용용기(10)의 내부공간(12)이 축소되는 비율을 정확하고 정밀하게 조절하게 되는 것이다.

제어기구(80)는 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자가 입자 흡입관(40)을 통해 정해진 미소량만큼 정확하게 외부로 공급되도록 하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치의 사용자에 의해 선택된 마이크로입자의 물성치와 사용자에 의해 요구되는 마이크로입자의 미소 공급량에 따라, 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입되는 입자이송용 기체의 유량, 진동기구(60)가 발생시키는 진동의 진폭, 입자배출용 액추에이터(70)가 내부공간(12)을 축소시키는 비율을 제어하게 된다.

이와 같은 본 발명에 따른 미세입자 미소 정량 공급장치(100)는 진동기구(60)에 의해 정해진 진폭으로 진동하는 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 기체 유입관(20)을 통해 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 유입되면서 수용용기(10)의 내부공간(12)에 수용된 마이크로입자가 입자이송용 기체로 분산되고, 입자배출용 액추에이터(70)에 의해 수용용기(10)의 내부공간(12)이 정해진 비율로 축소되면서 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자가 입자 흡입관(40)을 통해 정해진 양만큼 외부로 배출되게 된다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미세입자 정량 공급장치를 첨부된 도면 도 2와 도 3에 의거하여 상세히 설명한다.

본 발명의 바람직한 실시에에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치(100)는 도 2에서와 같이 수용용기(10), 기체 유입관(20), 입자 흡입관(40), 진동발생기(62), 진동전달블록(64), 진폭조절용 스텝모터(66), 피스톤모듈(70'), 제어기구(80)를 포함하여 이루어진다.

수용용기(10)는 중력방향과 일치하는 상하방향으로 축소와 확장이 가능한 내부공간(12)을 가지는 실린더형 관체로 이루어진 것으로, 외부로부터 주입되는 마이크로입자가 내부공간에 정해진 높이까지 쌓이면서 수용된다. 이와 같은 수용용기(10)는 내부공간(12)과 연통되는 하부가 개방되어 피스톤모듈(70')이 설치되도록 하고, 수용용기의 상부면(14)에는 내부공간(12)과 연통되는 한쌍의 통공이 형성되어 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)이 통공을 통해 내부공간(12)으로 삽입되도 록 한다.

이와 같은 수용용기(10)는 진동발생기(62)에 의해 진동을 전달받게 됨에 따라 반복되는 진동에 견딜 수 있는 높은 강도를 가진 소재로 제조되는 것이 바람직하다.

기체 유입관(20)은 수용용기(10)의 상부면(14)을 수직으로 관통하여 수용용기(10)의 내부공간(12)에 일정길이만큼 삽입되는 것으로, 도 3의 (a)에서와 같이 입자이송용 기체를 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입시키게 된다. 여기서 입자이송용 기체로는 반응성이 낮은 안정화된 기체를 사용하게 되는데, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 질소기체가 사용된다.

이와 같은 기체 유입관(20)의 관로 상에는 MFC(30)가 설치되는데, MFC(30)는 입자수용용기(10)의 내부공간으로 유입되는 이송용 기체의 유량을 제어하게 된다.

입자 흡입관(40)은 기체 유입관(20)과 마찬가지로 수용용기(10)의 상부면(14)을 수직으로 관통하여 수용용기(10)의 내부공간(12)에 일정길이만큼 삽입되는 것으로, 도 3의 (b)에서와 같이 입자이송용 기체에 분산된 마이크로입자를 배출시키게 된다. 이와 같은 입자 흡입관(40)은 수용용기(10)의 외부에서 이송관(50)과 연결되는데, 이송관(50)은 입자 흡입관(40)을 통해 수용용기(10)의 내부공간(12)으로부터 배출되는 마이크로입자를 정해진 곳까지 공급하기 위한 관이다. 여기서, 이송관(50)은 고무와 같이 탄성변형이 가능하고, 유연성을 가진 수지 재질의 모세관 형 튜브(tube)로 이루어진다.

공급장치(100)의 오동작이나 사용자의 조작실수로 이송관(50)의 관로가 마이크로입자에 의해 막히게 되면, 이송관(50)을 입자 흡입관(40)에서 분리하여 이송관(50)의 내부로 고압공기를 주입하면서 마이크로입자를 이송관(50)의 관로로부터 제거하게 되는데, 상기와 같이 이송관(50)이 탄성과 유연성을 가짐에 따라 이송관(50)이 신축되면서 마이크로입자가 용이하게 제거되게 된다.

여기서, 입자 흡입관(40)은 수용용기(10)에 고정설치됨에 따라, 입자 흡입관(40)과 이송관(50)은 수용용기(10)가 진동하게 될 시 수용용기(10)의 진동을 전달받아 진동하게 되는데, 이에 따라 입자 흡입관(40)과 이송관(50)으로 유입되어 이송되는 마이크로입자가 관로 상에 부착되어 관로를 폐쇄시키는 현상이 방지되게 된다.

상기와 같은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기체 유입관과 입자 흡입관(40)은 스테인레스강 재질로 이루어진 모세관으로 이루어지고, 서로 평행하게 설치된다.

진동발생기(62), 진동전달블록(64), 진폭조절용 스텝모터(66)는 진동기구(60)를 구성하는 요소들로서, 진동발생기(62)는 수용용기(10)와 연결되어 수용용기(10)를 진동시키게 되는 것이다. 이와 같은 진동발생기(62)는 정해진 주파수와 진폭을 가진 진동을 발생시키는데, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로입 자 미소 정량 공급장치(100)에서는 진동 주파수를 고정시킨 상태에서 진동 진폭의 크기를 조절하여 수용용기(10)의 진동을 제어하게 된다.

이와 같은 진동발생기(62)는 진동전달블록(64)을 매개로 수용용기(10)와 연결된다.

진동전달블록(64)은 정해진 형상의 블록을 이루는 수지 소재로 이루어지는 것으로, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진동전달블록(64)은 우레탄수지나 고무소재로 이루어진다. 이와 같은 진동전달블록(64)은 진동발생기(62)와 수용용기(10) 양측에 접촉되어 진동발생기(62)로부터 발생되는 진동을 수용용기(10)으로 전달하게 되는데, 상기와 같은 우레탄수지나 고무소재로 이루어짐에 따라 진동을 수용용기(10)로 전달하면서 수용용기(10)의 진동을 감쇠시키는 작용도 동시에 수행하여 반복되는 진동에 의한 수용용기(10)의 피로파괴를 방지하게 된다. 이와 더불어 진동에 의한 소음도 방지하게 된다. 한편, 진동전달블록(64)은 수용용기(10)의 상측 외부면을 감싸도록 설치되는데, 이에 따라 통공이 형성되어 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)이 관통하게 되는 수용용기(10)의 상부면(14)이 실링(sealing)되어 마이크로입자나 입자이송용 기체가 외부로 누출되는 것이 방지되고, 수용용기(10)의 상부면(14)에 수직으로 설치되는 기체 유입관(20)과 입자 흡입관(40)이 진동전달블록(64)에 의해 안정되고 고정지지되게 된다.

여기서, 진동발생기(62)와 진동전달블록(64) 및 수용용기(10)는 서로 밀착되 게 결합되어 일체를 이루게 된다.

진폭조절용 스텝모터(66)는 진동발생기(62)와 연결되어 진동발생기(62)와 수용용기(10) 사이의 이격거리를 조절하는 것으로, 이를 위하여 진폭조절용 스텝모터(66)는 진동발생기(62)를 수용용기(10)가 설치된 방향으로 이동시키게 되는데, 이와 같은 수용용기(10)가 설치되는 방향으로 진동발생기(62)가 이동하면서 진동전달블록(64)이 수용용기(10)와 접촉하게 되는 강도가 조절되어 수용용기(10)로 전달되는 진동의 진폭이 조절되게 된다. 이와 같은 진동의 진폭 조절은 수용용기(10)에 수용된 마이크로입자의 물성치와 요구되는 마이크로입자의 미소 공급량에 맞추어 마이크로입자가 입자이송용 기체에 분산되는 속도와 분산되는 양을 조절하기 위함이다.

피스톤모듈(70')은 입자배출용 액추에이터(70)를 구성하는 것으로, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 피스톤모듈(70')은 피스톤(72), 푸싱 로드(74), 피스톤용 스텝모터(76)로 이루어진다.

피스톤(72)은 실린더형 관체로 이루어진 수용용기(10)의 개방된 하부에 슬라이딩가능하게 삽입되는 것으로, 수용용기(10)의 개방된 하부를 밀폐시키면서 수용용기(10)의 내부공간을 축소시키거나 확장시키게 된다.

푸싱 로드(74)는 피스톤(72)과 결합되어 피스톤(72)이 수용용기(10)의 내부공간(12)에서 상하방향으로 전후진운동하도록 하는 것이다.

피스톤용 스텝모터(76)는 푸싱 로드(74)를 작동시키기 위한 것으로, 이와 같은 피스톤용 스텝모터(76)는 펄스단위로 푸싱 로드(74)를 작동시켜 피스톤(72)의 전후진운동에 따라 수용용기(10)의 내부공간(12)이 축소되고 확장되는 비율을 정확하고 정밀하게 조절하게 된다.

제어기구(80)는 마이크로입자가 입자 흡입관(40)을 통해 정해진 장소에 미소 정량 공급되도록 하기 위해 공급장치(100)의 작동을 제어하게 되는 것으로, 요구되는 마이크로입자의 미소 공급량과 마이크로입자의 종류(또는 마이크로입자의 종류에 따른 물성치)를 사용자로부터 입력받아 기체 유입관(20)에 설치되는 MFC(30)와, 진동기구(60)를 이루는 진폭조절용 스텝모터(66) 및, 입자배출용 액추에이터(70)를 이루는 피스톤용 스텝모터(76)의 작동을 제어하게 된다.

이와 같은 제어기구(80)는 MFC(30)를 제어하여 수용용기(10)의 내부공간(12)으로 유입되는 입자이송용 기체의 유량을 조절하게 되고, 진폭조절용 스텝모터(66)를 제어하여 수용용기(10)로 전달되는 진동의 진폭을 조절하게 되며, 피스톤용 스텝모터(76)를 제어하여 피스톤(72)의 전진속도를 조절하면서 수용용기(10)의 내부공간(12)이 축소되는 비율을 조절하게 된다.

여기서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제어기구(80)는 수용용기(10)에 설치되는 진동센서(82)를 구비하여 수용용기(10)의 실제 진폭이 검출되도록 하다. 그리고, 진동센서(82)에 의해 검출되는 수용용기(10)의 실제 진폭은 수용용기(10)에 요구되는 진폭과 비교되어 보상값을 산출하게 되는데, 이와 같이 산출되는 보상 값은 진폭조절용 스텝모터(66)로 전달되어 진동발생기(62)에서 발생되는 진동의 진폭을 조절하게 된다.

상기와 같은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제어기구(80)는 진동센서(82)를 사용하여 수용용기(10)의 실제 진폭을 검출하여 피드백제어를 수행하게 됨에 따라, 보다 정확하고 정밀하게 수용용기(10)의 진동을 제어할 수 있게 된다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치는 수용용기(10)로 유입되는 입자이송용 기체에 마이크로입자가 분산되면서 마이크로입자의 미소 정량 공급이 수행되는 한편, 마이크로입자가 이송되는 입자 흡입관(40)과 이송관(50)이 수용용기(10)와 함께 진동하게 됨에 따라 정전기 대전에 의해 마이크로입자가 관로 상에 부착되어 이송로를 폐쇄시키는 현상이 방지되어 마이크로입자에 대한 미소 정량 공급이 안정되고 원활하게 이루어지게 되는 것이다.

상술한 바와 같은, 본 발명의 실시예에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급방법 및 그의 공급장치를 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다는 것을 이 분야의 통상적인 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치의 기술적 사상을 보여주기 위한 도면;

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치의 구성을 보여주기 위한 블록도;

도 3의 (a)와 (b)는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마이크로입자 미소 정량 공급장치의 작용을 보여주기 위한 블록도

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10 : 수용용기 12 : 내부공간

14 : 상부면 20 : 기체 유입관

22 : 보조튜브 30 : MFC

40 : 입자 흡입관 50 : 이송관

60 : 진동기구 62 : 진동발생기

64 : 진동전달블록 66 : 진폭조절용 스텝모터

70 : 입자배출용 액추에이터 70' : 피스톤모듈

72 : 피스톤 74 : 푸싱 로드

76 : 피스톤용 스텝모터 80 : 제어기구

82 : 진동센서 84 : 신호증폭기

100 : 미소 정량 공급장치

Claims

마이크로입자가 수용용기의 내부공간에 주입되어 수용되도록 하는 단계와;

정해진 유량과 속도로 유동하는 입자이송용 기체가 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되도록 하고, 상기 수용용기가 정해진 진폭으로 진동하도록 하여 상기 수용용기의 내부공간에 수용된 상기 마이크로입자가 상기 입자이송용 기체에 분산되도록 하는 단계와;

상기 수용용기의 내부공간은 축소와 확장이 가능한 구조로 이루어져 상기 내부공간이 정해진 비율로 축소되면서 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 수용용기의 내부공간과 연통된 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 배출되도록 하는 단계를 포함하여,

상기 마이크로입자가 목적하는 장소에 정해진 양만큼 공급되도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급방법.
제 1항에 있어서,

상기 수용용기는 상하방향으로 내부공간을 가지는 실린더형 관체로 이루어져 상기 수용용기의 내부공간으로 삽입되어 상하방향으로 전후진운동하게 되는 피스톤모듈에 의해 상기 수용용기의 내부공간이 축소되고 확장되도록 하되,

상기 피스톤모듈이 정해진 속도로 전진운동하면서 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 공급되도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급방법.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 마이크로입자의 물성치와 요구되는 상기 마이크로입자의 공급량에 따라 상기 상기 수용용기의 진동 진폭, 상기 입자이송용 기체의 유량, 상기 내부공간이 축소되는 비율이 조정되도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 정량 공급방법.
축소와 확장이 가능한 내부공간이 형성되어 외부로부터 공급되는 마이크로입자와 입자이송용 기체가 수용되는 수용용기와;

상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 입자이송용 기체를 상기 수용용기의 내부공간으로 유입시키게 되되, 관로 상에 설치되어 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되도록 하는 MFC를 구비하는 기체 유입관과;

상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자를 배출시키게 되는 입자 흡입관과;

상기 수용용기와 연동되어 상기 수용용기를 진동시키게 되는 진동기구와;

상기 수용용기의 내부공간에 위치되어 상기 내부공간을 축소시키게 되는 입자배출용 액추에이터 및;

상기 수용용기의 내부공간으로 유입되는 상기 입자이송용 기체의 유량, 상기 진동기구가 발생시키는 진동의 진폭, 상기 입자배출용 액추에이터가 상기 내부공간을 축소시키는 비율을 각각 제어하게 되는 제어기구를 포함하여,

상기 진동기구에 의해 정해진 진폭으로 진동하는 상기 수용용기의 내부공간으로 상기 기체 유입관을 통해 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 유입되면서 상기 수용용기의 내부공간에 수용된 상기 마이크로입자가 상기 입자이송용 기체에 분산되고,

상기 입자배출용 액추에이터에 의해 상기 수용용기의 내부공간이 정해진 비율로 축소되면서 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 외부로 공급되는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치.
제 4항에 있어서,

상기 수용용기는 중력방향과 일치하는 상하방향으로 내부공간을 가지는 실린더형 관체로 이루어져 외부로부터 공급되는 마이크로입자가 상기 내부공간에 정해진 높이까지 쌓이면서 수용되도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치.
제 5항에 있어서,

상기 입자배출용 액추에이터는 실린더형 관체로 이루어진 상기 수용용기의 개방된 하부에 슬라이딩가능하게 삽입되어 상기 수용용기의 내부공간 하부가 밀폐 되도록 하는 피스톤과;

상기 피스톤과 결합되어 상기 피스톤이 상기 수용용기의 내부공간에서 상하방향으로 전후진운동하도록 하는 푸싱 로드와;

상기 푸싱 로드와 연결되어 상기 푸싱 로드를 작동시키되, 상기 제어기구에 의해 제어되어 상기 푸싱 로드의 전후진운동이 조절되도록 하는 서보구동기구를 포함하는 피스톤모듈인 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치.
제 4항에 있어서,

상기 기체 유입관과 상기 입자 흡입관은 각각 상기 수용용기의 상부면을 관통하여 삽입되는 모세관인 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치.
제 7항에 있어서,

상기 입자 흡입관의 일단부는 상기 수용용기의 내부공간으로 삽입되고, 상기 입자 흡입관의 타단부는 상기 수용용기의 외부에서 이송관과 연결되되,

상기 이송관은 탄성변형이 가능한 수지 재질의 모세관형 튜브(tube)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치.
제 4항에 있어서,

상기 진동기구는 상기 수용용기와 연결되어 상기 수용용기를 진동시키게 되는 진동발생기와;

상기 수용용기와 상기 진동발생기 양측에 접촉되어 상기 진동발생기로부터 발생되는 진동이 상기 수용용기에 전달되도록 하고, 상기 수용용기의 외부면을 감싸도록 설치되어 상기 수용용기가 밀폐되도록 하며, 정해진 형상의 블록을 이루는 수지 소재로 이루어져 진동에 의한 소음 및 상기 수용용기의 피로파괴가 방지되도록 하는 진동전달블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치.
제 4항에 있어서,

상기 제어기구는 상기 수용용기에 설치되어 상기 수용용기의 진동 진폭을 검출하는 진동센서를 더 구비하여 상기 수용용기의 진동 진폭에 대한 피드백 제어가 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치.
중력방향과 일치하는 상하방향으로 축소와 확장이 가능한 내부공간을 가지는 실린더형 관체로 이루어져 외부로부터 공급되는 마이크로입자가 상기 내부공간에 정해진 높이까지 쌓이면서 수용되는 수용용기와;

수용용기의 상부면을 수직으로 관통하여 상기 수용용기의 내부공간에 삽입되어 입자이송용 기체를 상기 수용용기의 내부공간으로 유입시키게 되되, 관로 상에 설치되어 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량과 속도로 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되도록 하는 MFC를 구비하는 기체 유입관과;

수용용기의 상부면을 수직으로 관통하여 상기 수용용기의 내부공간에 삽입되 어 상기 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자를 배출시키게 되되, 상기 기체 유입관과 평행하게 설치되는 입자 흡입관과;

상기 수용용기와 연결되어 상기 수용용기를 진동시키게 되는 진동발생기와;

상기 수용용기와 상기 진동발생기 양측에 접촉되어 상기 진동발생기로부터 발생되는 진동이 상기 수용용기에 전달되도록 하고, 상기 수용용기의 상측 외부면을 감싸도록 설치되어 상기 수용용기의 상부면이 실링(sealing)되면서 상기 기체 유입관과 입자 흡입관이 상기 수용용기의 상부면에 고정되도록 하며, 정해진 형상의 블록을 이루는 수지 소재로 이루어져 진동에 의한 소음 및 상기 수용용기의 피로파괴가 방지되도록 하는 진동전달블록과;

상기 진동발생기와 연결되어 상기 진동발생기와 상기 수용용기 사이의 이격거리를 조절하도록 하여 상기 진동전달블록이 상기 수용용기와 접촉하는 강도가 조절되면서 상기 수용용기로 전달되는 진동의 진폭이 조절되도록 하는 진폭조절용 스텝모터와;

실린더형 관체로 이루어진 상기 수용용기의 개방된 하부에 슬라이딩가능하게 삽입되어 상기 수용용기의 내부공간 하부가 밀폐되도록 하는 피스톤과, 상기 피스톤과 결합되어 상기 피스톤이 상기 수용용기의 내부공간에서 상하방향으로 전후진운동하도록 하는 푸싱 로드와, 상기 푸싱 로드를 작동시키되 상기 푸싱 로드의 작동이 펄스단위로 이루어지도록 하는 피스톤용 스텝모터를 포함하여 상기 피스톤이 상기 수용용기의 내부공간에서 상하방향으로 전후진운동하면서 상기 내부공간을 축소시키거나 확장시키도록 하는 피스톤모듈 및;

요구되는 상기 마이크로입자의 공급량과 상기 마이크로입자의 물성치를 입력받아 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 량만큼 외부로 배출되도록 하되, 상기 MFC를 제어하여 상기 수용용기의 내부공간으로 유입되는 상기 입자이송용 기체의 유량을 조절하고, 상기 진폭조절용 스텝모터를 제어하여 상기 수용용기로 전달되는 진동의 진폭을 조절하며, 상기 피스톤용 스텝모터를 제어하여 상기 수용용기의 내부공간이 축소되는 비율을 조절하게 되는 제어기구를 포함하여,

상기 진동발생기에 의해 정해진 진폭으로 진동하는 상기 수용용기의 내부공간으로 상기 기체 유입관을 통해 상기 입자이송용 기체가 정해진 유량으로 유입되면서 상기 수용용기의 내부공간에 수용된 상기 마이크로입자가 상기 입자이송용 기체로 분산되고,

상기 피스톤모듈에 의해 상기 수용용기의 내부공간이 정해진 비율로 축소되면서 입자이송용 기체에 분산된 상기 마이크로입자가 상기 입자 흡입관을 통해 정해진 양만큼 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는 마이크로입자 미소 정량 공급장치.