KR20100059129A - Apparatus for substrate transfer - Google Patents

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PURPOSE: A substrate transport apparatus is provided to reduce an impact applied to a substrate being transported. CONSTITUTION: A substrate transport apparatus comprises a transport unit, a substrate support member(130), and a shock-absorbing unit(140) The substrate support member supports a substrate. The shock-absorbing unit connects the substrate support member to the transport unit and reduces an impact applied to the substrate support member in X, Y, and Z directions. The shock-absorbing unit comprises a frame installed on the top of the transport unit and one or more first elastic members which are interposed horizontally between the frame and the substrate support member.

Description

기판 이송장치{APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSFER}Substrate Transfer Equipment {APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSFER}

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판에 가해지는 충격이 어느 방향이든 그 충격을 완화시킬 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus that can mitigate the impact in any direction.

일반적으로 반도체나 평판디스플레이 패널을 제조하기 위하여는 웨이퍼 또는 유리 등의 기판에 다양한 처리를 하게 된다. 이 때, 상기 기판에 소정의 처리를 위하여 각 스테이지로 이송하거나 또는 이송하면서 공정을 수행하게 되는데, 이를 위해 기판 이송장치가 요구된다. Generally, in order to manufacture a semiconductor or flat panel display panel, various processes are performed on a substrate such as a wafer or glass. In this case, the substrate is transferred to each stage for a predetermined process or while the transfer is performed, the substrate transfer apparatus is required.

통상적으로 기판 이송장치는 기판을 수평상태로 이송하게 되는데, 이 경우, 기판의 폭만큼의 공간이 필요하므로 기판이 대형화되면서 설치면적 및 설치비가 증가되는 문제점이 있었다. In general, the substrate transfer apparatus transfers the substrate in a horizontal state. In this case, since the space is equal to the width of the substrate, there is a problem in that the installation area and the installation cost increase as the substrate is enlarged.

따라서 종래에도 기판을 수직 또는 수직으로부터 소정각도 기울어지게 기립시킨 상태에서 이송하는 방식이 개시되었는바, 도 1 및 도 2를 참조하여 종래 기립상태의 기판 이송장치(1)를 설명한다. Therefore, a method of transferring a substrate in a state in which the substrate is vertically or vertically inclined at a predetermined angle has been disclosed. Referring to FIGS. 1 and 2, the substrate transport apparatus 1 in the conventional standing state will be described.

도시된 바와 같이, 상면에 하우징(20)이 고정설치된 컨베이어밸트(10)와, 상 기 컨베이어밸트(10)를 구동하는 구동부(11)와, 기판(S)을 기립상태로 지지하는 지지부(30)로 구성된다. As shown, the conveyor belt 10 is fixed to the upper surface of the housing 20, the drive unit 11 for driving the conveyor belt 10, and the support portion 30 for supporting the substrate (S) in a standing state. It is composed of

특히, 상하방향의 충격으로부터 기판(S)을 보호하기 위하여 완충수단이 구비되는 바, 상기 완충수단은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 지지부(30)의 하부에 구비되는 제1자석(31)과, 상기 하우징(20)의 하부에 구비되며 상기 제1자석(31)과 같은 극성을 갖는 제2자석(21)으로 구성된다. 따라서 상기 제1자석(31)과 제2자석(21)의 척력에 의해 상기 지지부(30)를 부상시키고, 이로 인해 상기 지지부(30)는 상하방향으로 움직임이 가능하다. 따라서 외부환경으로부터 지지부(30)에 전달되는 상하방향의 충격을 완화시키 기판(S)을 보호할 수 있는 것이다. In particular, the buffer means is provided to protect the substrate (S) from the impact in the vertical direction, as shown in Figure 2, the buffer means, the first magnet 31 provided in the lower portion of the support portion 30 And, provided in the lower portion of the housing 20 is composed of a second magnet 21 having the same polarity as the first magnet (31). Therefore, the support part 30 is floated by the repulsive force of the first magnet 31 and the second magnet 21, and thus the support part 30 is movable up and down. Therefore, it is possible to protect the substrate (S) by mitigating the impact of the vertical direction transmitted to the support 30 from the external environment.

그러나 외부환경으로부터 기판에 전달되는 충격은 상하방향만 있는 것이 아니라 좌우방향 또는 전후방향 등 다양한 방향의 충격이 있을 수 있으며, 따라서 종래의 완충수단으로는 기판을 효과적으로 보호할 수 없는 문제점이 있다. However, the shock transmitted to the substrate from the external environment may not only be in the up and down direction, but may be in various directions such as left and right directions or forward and backward directions. Therefore, there is a problem in that the conventional buffer means cannot effectively protect the substrate.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판에 가해지는 충격이 어느 방향이든 그 충격을 완화시킬 수 있는 기판 이송장치를 제공함에 있다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus that can mitigate the impact in any direction the impact applied to the substrate.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판 이송장치는 이송수단; 기판을 지지하는 기판지지수단; 및 상기 기판지지수단을 상기 이송수단에 연결하되, 상기 기판지지수단에 가해지는 충격을 완화시키는 완충수단;을 포함한다. In order to solve the above technical problem, the substrate transfer apparatus according to the present invention transfer means; Substrate support means for supporting a substrate; And buffer means for connecting the substrate support means to the transfer means to mitigate the impact applied to the substrate support means.

특히, 상기 완충수단은 X,Y,Z방향의 충격을 완화시킬 수 있다. In particular, the buffer means can mitigate the impact in the X, Y, Z direction.

또한 상기 완충수단은, 상기 이송수단의 상면에 설치되는 프레임; 및 양단이 상기 프레임과 기판지지수단에 각각 연결되되, 이들 사이에 수평방향으로 개재되는 적어도 하나 이상의 제1탄성체를 포함하는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 탄성체는 인장스프링인 것이 더욱 바람직하다. In addition, the buffer means, the frame is installed on the upper surface of the transfer means; And at least one first elastic body connected at both ends to the frame and the substrate supporting means, and interposed therebetween in a horizontal direction. In this case, the elastic body is more preferably a tension spring.

또한 상기 완충수단은 상기 이송수단의 상면과 상기 기판지지수단의 저면에 연결되도록 수직상태로 설치되는 제2탄성체인 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 제2탄성체는 압축스프링인 것이 더욱 바람직하다. In addition, the buffer means is preferably a second elastic body is installed in a vertical state to be connected to the upper surface of the transfer means and the bottom surface of the substrate support means. In this case, the second elastic body is more preferably a compression spring.

또한 상기 기판지지수단은 상기 기판을 기립상태로 지지하는 것이 바람직하다. In addition, the substrate support means preferably supports the substrate in a standing state.

또한 상기 기판지지수단은 지지플레이트와, 상기 지지플레이트상에 수직으로 설치되는 지지부로 구성되는 것이 바람직하다. In addition, the substrate support means is preferably composed of a support plate and a support portion which is installed vertically on the support plate.

또한 상기 지지부는 상기 기판의 기립상태에서 저면이 안착되는 홈이 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the support portion is preferably formed with a groove in which the bottom is seated in the standing state of the substrate.

또한 상기 이송수단은 컨베이어밸트인 것이 바람직하다. In addition, the conveying means is preferably a conveyor belt.

본 발명에 따르면, 기판에 가해지는 충격이 어느 방향이든 그 충격을 완화시킬 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, there is an effect that the impact applied to the substrate can be alleviated in any direction.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 구성 및 작용을 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the configuration and operation of the present invention.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 제1실시예(100)는 기판(S)을 이송하는 컨베이어밸트(110)와, 상기 컨베이어밸트(110)를 구동하는 구동부(120)를 포함한다. 3 to 5, a first embodiment 100 according to the present invention includes a conveyor belt 110 for transporting a substrate S and a driver 120 for driving the conveyor belt 110. do.

또한 기판(S)의 기립상태에서 저면(l)을 지지하는 기판지지수단(130)을 구비하는데, 상기 기판지지수단(130)은 수평방향으로 연장형성되는 지지플레이트(131)와, 상기 지지플레이트(131)상에 수직으로 설치되는 지지부(132)로 구성되며, 상기 지지부(132)의 중심은 상기 기판의 저면(l)이 안착되는 홈(N)이 형성된다. Also provided with a substrate support means 130 for supporting the bottom surface (1) in the standing state of the substrate (S), the substrate support means 130 is a support plate 131 extending in the horizontal direction and the support plate The support part 132 is installed vertically on the 131, and the center of the support part 132 is formed with a groove N on which the bottom surface l of the substrate is seated.

또한 상기 기판지지수단(130)에 가해지는 충격을 완화시키는 완충수단(140)이 구비되는데, 상기 완충수단(140)은 컨베이어(110)의 상면에 고정설치되는 프레임(141)과, 직사각형 형태인 지지플레이트(131)와 프레임(141)의 모서리를 각각 연 결하여 수평방향으로 개재되는 인장스프링(142)으로 구성된다. In addition, there is provided a buffer means 140 for alleviating the impact applied to the substrate support means 130, the buffer means 140 is a frame 141 is fixed to the upper surface of the conveyor 110, and the rectangular shape It is composed of a tension spring 142 which is interposed in the horizontal direction by connecting the edges of the support plate 131 and the frame 141, respectively.

이와 같은 구성으로 인해, 기판(S) 이송 중 주변환경으로부터 X(좌우)방향, Y(전후)방향, Z(상하)방향 등 어떤 방향의 충격이 지지부(132)에 전달된다 하더라도 이를 완충시켜 기판(S)에 전달되지 않게 된다. 예를 들어 기판(S)이 지지부(132)에 로딩될 때 지지부(132)가 하강하면서 그 충격(Z축방향 충격)을 완화하여 기판의 저면(l)이 손상되는 것이 방지된다. Due to this configuration, even if the shock in any direction, such as the X (left and right) direction, Y (front and rear) direction, Z (up and down) direction from the surrounding environment during transfer of the substrate (S) to the support portion 132 is buffered to the substrate It is not delivered to (S). For example, when the substrate S is loaded onto the support 132, the support 132 descends to mitigate the impact (Z-axis shock), thereby preventing the bottom surface 1 of the substrate from being damaged.

도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명에 의한 제2실시예(200)는 컨베이어밸트(210)상에 고정플레이트(241)가 고정설치되고, 상기 고정플레이트(241)상에 완충수단(240)으로서 수직상태로 설치되는 압축스프링(242)이 구비되며, 상기 압축스프링(242)의 상단에 지지플레이트(231) 및 지지부(232)로 구성되는 기판지지수단(230)이 연결된다. 6 and 7, in the second embodiment 200 according to the present invention, a fixing plate 241 is fixedly installed on a conveyor belt 210, and shock absorbing means 240 is mounted on the fixing plate 241. Compression spring 242 is installed as a vertical state is provided, the substrate support means 230 consisting of a support plate 231 and the support portion 232 is connected to the upper end of the compression spring 242.

이와 같은 구성으로 인해, 제1실시예(100)와 마찬가지로 어떤 방향이라도 충격이 지지부(232)에 전달된다 하더라도 이를 완충시켜 기판(S)을 보호할 수 있게 된다. Due to such a configuration, as in the first embodiment 100, even if an impact is transmitted to the support 232 in any direction, it is possible to protect the substrate (S) by buffering it.

도 1 및 도 2는 종래 기판 수직이송장치를 나타낸 것이다. 1 and 2 show a conventional substrate vertical transfer apparatus.

도 3 내지 도 5는 본 발명에 의한 제1실시예를 나타낸 것이다. 3 to 5 show a first embodiment according to the present invention.

도 6 및 도 7은 본 발명에 의한 제2실시예를 나타낸 것이다. 6 and 7 show a second embodiment according to the present invention.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

100: 제1실시예 110: 컨베이어밸트100: first embodiment 110: conveyor belt

120: 구동부 130: 기판 지지수단120: drive unit 130: substrate support means

131: 지지플레이트 132: 지지부131: support plate 132: support

140: 완충수단 141: 프레임 140: buffer means 141: frame

142: 인장스프링 142: tension spring

200: 제2실시예 210: 컨베이어밸트200: second embodiment 210: conveyor belt

220: 구동부 230: 기판 지지수단220: drive unit 230: substrate support means

231: 지지플레이트 232: 지지부231: support plate 232: support

240: 완충수단 241: 고정플레이트 240: buffer means 241: fixed plate

242: 압축스프링 242: compression spring

Claims (10)

이송수단; Transfer means; 기판을 지지하는 기판지지수단; 및Substrate support means for supporting a substrate; And 상기 기판지지수단을 상기 이송수단에 연결하되, 상기 기판지지수단에 가해지는 충격을 완화시키는 완충수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. And a buffer means for connecting the substrate support means to the transfer means to cushion the impact applied to the substrate support means. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 완충수단은 X,Y,Z방향의 충격을 완화시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. The buffer means is a substrate transfer device, characterized in that to mitigate the impact in the X, Y, Z direction. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 완충수단은, The buffer means, 상기 이송수단의 상면에 설치되는 프레임; 및A frame installed on an upper surface of the transfer means; And 양단이 상기 프레임과 기판지지수단에 각각 연결되되, 이들 사이에 수평방향으로 개재되는 적어도 하나 이상의 제1탄성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. Both ends are respectively connected to the frame and the substrate support means, substrate transport apparatus characterized in that it comprises at least one first elastic body interposed therebetween in the horizontal direction. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 탄성체는 인장스프링인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. And the elastic body is a tension spring. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 완충수단은 상기 이송수단의 상면과 상기 기판지지수단의 저면에 연결되도록 수직상태로 설치되는 제2탄성체인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. The buffer means is a substrate transfer apparatus, characterized in that the second elastic body is installed in a vertical state to be connected to the upper surface of the transfer means and the bottom surface of the substrate support means. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제2탄성체는 압축스프링인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. And the second elastic body is a compression spring. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판지지수단은 상기 기판을 기립상태로 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. And the substrate support means supports the substrate in an upright state. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 기판지지수단은 지지플레이트와, 상기 지지플레이트상에 수직으로 설치되는 지지부로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. The substrate support means is a substrate transport apparatus, characterized in that consisting of a support plate and a support portion installed vertically on the support plate. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 지지부는 상기 기판의 기립상태에서 저면이 안착되는 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The support portion substrate transfer apparatus, characterized in that the groove is formed in which the bottom is seated in the standing state of the substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이송수단은 컨베이어밸트인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치. The conveying means is a substrate conveying apparatus, characterized in that the conveyor belt.
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