KR20100055769A - 기판 연마 장치 및 이를 이용한 기판 연마 방법 - Google Patents

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Abstract

기판 연마 장치는 기판이 안착되는 스테이지와, 기판 가장자리의 적어도 일측에 구비되며 스테이지에 안착된 기판의 측면과 접촉하여 기판의 측면을 연마하는 연마 휠을 포함한다. 기판 연마 장치를 이용하여 기판을 연마하는 방법 또한 개시된다.
에지, 연마, 그라인더

Description

기판 연마 장치 및 이를 이용한 기판 연마 방법{SUBSTRATE GRINDING APPARATUS AND METHOD FOR GRINDING THE SUBSTRATE USING THE SAME}
본 발명은 기판 연마 장치 및 이를 이용한 기판 연마 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 연마 휠이 감소한 기판 연마 장치 및 이를 이용한 기판 연마 방법에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 기기는 가동된 정보를 표시하는 표시장치(Display)를 가진다. 종래에는 표시장치로서 주로 브라운관(Cathode Ray Tube) 모니터가 사용되었으나, 최근에는 가볍고 공간을 작게 차지하는 박막 트랜지스터 - 액정 표시장치 (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display Panel), 유기 발광 표시장치(Organic Light Emitting Display), 전기 영동 표시장치(Electrophoretic Display)와 같은 평판 표시장치의 사용이 크게 증대하고 있다.
일반적으로, 평판 표시장치 등에 사용되는 패널은 보통 취성 기판을 이용하여 제작되며, 패널은 한 장으로 구성된 단판 기판이나 2장의 기판이 접합된 접합 기판으로 대별된다.
접합 기판은 휴대 전화의 액정 표시기용의 패널과 같이 소형인 것부터 TV나 표시장치 등의 패널과 같은 대형의 다양한 크기로 가공되어 사용되기 때문에, 대형의 모 기판으로부터 소정 크기의 단위 기판으로 절단되어 각각의 패널로 이용된다.
대형 패널을 단위 기판들로 분리하는 공정은 다이아몬드 휠을 사용하여 패널에 수직 크랙을 형성하여 단위 기판들로 분리시키는 스크라이빙 공정 및 상기 브레이킹된 단위 기판의 가장자리를 연마하는 연마 공정을 포함한다.
도 1 및 도 2는 각각 종래 기술에 따른 기판 연마 장치(1)를 이용하여 기판(10)을 연마하는 것을 개략적으로 나타낸 평면도와 측면도이다.
도시한 바와 같이, 기판(10)의 가장자리는 모기판으로부터 브레이킹된 후 스테이지(14) 위에 안착되어 연마 휠(12)를 이용하여 연마된다. 이때, 기존의 기판 연마 장치(1)에는 기판의 상부 모서리와 하부 모서리를 각각 연마하기 위하여 연마 휠(12)이 기판(10)의 상부 방향과 하부 방향에 각각 한 쌍씩 두 쌍이 구비된다.
종래 기술에 따르면 기판의 두께가 두꺼운 경우에는 기판의 일 모서리를 연마한다고 할 지라도 기판의 측면부가 남아 있어 별다른 문제가 없다. 그러나, 박형 표시 장치에 대한 요구가 거센 지금 기판이 점점 박화되고 있기 때문에 기판 자체의 두께가 매우 얇다. 이에 따라 상부 모서리면과 하부 모서리면을 각각 연마하는 경우에는 불꽃 연마가 일어나거나 크랙(crack)이 쉽게 발생하는 것은 물론이고, 측면부가 연마되어 없어지고 상부 연마면과 하부 연마면이 만나 뾰족한 삼각 꼭지를 형성하게 된다. 이러한 뾰족부는 연마 공정에서는 아니더라도 후속 공정에서 셀 정 렬시 쉽게 크랙을 야기하며 지속적으로 공정이 진행됨에 따라 크랙이 전이되어 불량을 발생시킨다.
이러한 불량은 최종적으로 표시 패널의 품질 저하로 이어진다.
본 발명의 목적은 불량율이 감소된 기판 연마 장치 및 이를 이용한 기판 연마 방법을 제공함에 있다.
본 발명에 따른 기판 연마 장치는 서로 대응하는 상면과 하면 및 상기 상면과 하면을 잇는 측면으로 이루어진 기판을 연마하는 장치로서, 기판이 안착되는 스테이지와, 상기 기판 가장자리의 적어도 일측에 구비되며 상기 스테이지에 안착된 기판의 측면과 접촉하여 상기 기판의 측면을 연마하는 연마 휠을 포함한다. 이때, 상기 연마 휠은 상기 가장자리 측면에 대향하는 오목부를 가진다.
상기 기판면의 연장면과 연마 휠의 회전축은 서로 수직으로 형성되며, 상기 기판의 측면을 이등분하는 면과 상기 연마 휠의 측면을 이등분하는 면이 동일면이다.
상기 오목부는 반구 또는 반타원 모양을 가질 수 있으며, 이 경우 상기 오목부의 직경은 상기 기판의 측면의 길이보다 크다.
상기 기판은 한 쌍의 장변과 한 쌍의 단변으로 이루어진 사각 형상인 바, 상기 연마휠은 상기 기판의 한 쌍의 장변과 한 쌍의 단변 가장자리 중 어느 하나에 각각 구비될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 연마 장치는 기판을 수취하는 로더, 상기 기판을 상기 스테이지로 이송하는 전송부, 및 상기 기판을 후속 장치로 반출하는 언로더를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 스테이지에 안착된 기판을 90° 회전시키는 회전 구동부를 더 포함할 수 있다. 그리고, 상기 스테이지는 일 방향으로 이동될 수 있도록 구동부가 구비될 수 있다.
본 발명은 상기한 기판 연마 장치를 이용한 기판 연마 방법을 포함한다.
본 발명에 따른 기판 연마 방법은 먼저 한 쌍의 장변과 한 쌍의 단변으로 이루어진 직사각형 기판을 스테이지 상에 안착시킨다. 그 다음, 상기 기판의 한 쌍의 장변 및 한 쌍의 단변 중 어느 한 쌍의 가장자리를 상기 기판면의 연장면과 회전축이 수직한 연마 휠로 연마한다. 다음으로 연마된 기판을 90° 회전시킨다. 90° 회전된 기판은 한 쌍의 남은 변의 가장자리가 연마된다. 마지막으로 가장자리가 전부 연마된 기판이 후속 공정으로 반출된다.
상기 연마 휠로 연마하는 할 때 상기 기판이 연마되고 있는 가장자리와 평행한 일 방향으로 이동할 수 있다. 상기 연마 휠은 상기 기판의 한 변에 하나씩 구비되어 상기 기판의 가장자리를 연마할 수 있다. 상기 기판의 한 쌍의 장변 및 한 쌍의 단변 중 어느 한 쌍의 가장자리를 연마할 때, 같은 종류의 두 변을 동시에 또는 각각 연마할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 연마 장치와 이를 이용한 기판 연마 방법에 의하면, 셀 의 측면 강도가 증가되어 결함이 감소된 기판을 제조할 수 있게 되며, 연마 휠의 갯수를 감소시킬 수 있어 비용이 절약된다.
이하, 본 발명에 따른 기판 처리 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
종래 기술과 비교한 본 발명의 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명은 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명은 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.
(실시예)
도 3은 모기판(10)의 일 예를 나타낸 사시도이다.
도 4은 모기판을 복수 개의 기판으로 절단하는 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도면을 참조하면, 표시 장치를 제조하기 위해 일반적으로 복수 개의 단위 기판을 동시에 형성할 수 있도록 여러 개의 단위 기판이 모여있는 모기판(100m)으로 일부 공정을 진행한 다음 상기 모기판(100m)을 절단하여 복수의 단위 기판(100)으로 제조한다. 도 3에는 모기판이 도시되어 있는 바, 모기판(100m)은 대체로 직사각의 판 형상을 가진다. 상기 모기판(100m)에는 복수의 단위 기판(100)들이 형성되어 있으며, 아직 절단되지 않은 상태이다.
도 4를 참조하면, 상기 모기판(100m)은 도 2의 기판 절단 장치를 이용하여 복수의 단위 기판(100)들로 분리된다. 이때, 상기 기판 절단(1) 장치는 도시한 바와 같이 절단부(20)와, 분배부(30)와, 연마부(40), 및 세정부(50)를 포함한다.
절단부(20)는 모기판(100m)을 복수의 단위 기판으로 절단(scribing)한다. 절단된 단위 기판(이하, 기판, 100)은 화상을 표시하는 표시 패널에 해당하며, 상기 기판(100)은 도시하지는 않았지만 화소가 형성되어 화상을 표시하는 액티브 영역과, 상기 액티브 영역을 둘러싼 주변 영역으로 이루어진다. 상기 기판은 일 실시예로서 액정 표시 장치의 기판이 사용될 수 있다. 다른 실시예에서는 상기 기판(100)으로서 평판 표시장치용 패널의 일종인 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display)용 패널, 또는 전기 영동 표시 장치(Electrophoretic Display) 등일 수 있다.
일 실시예로서 표시 패널로 액정 표시 장치의 기판이 사용된 경우 상기 기판(100)은 서로 대향하는 하부 기판과 상부 기판 및 상기 하부 기판과 상부 기판 사이에 형성된 액정층으로 구성된다. 상기 액정층은 실(seal)재로 봉입되어 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 하부 기판과 상부 기판에는 상기 액정층에 전계를 인가하여 액정층을 투과하는 광을 제어하기 위한 전극이 각각 형성될 수 있으며, 하부 기판에는 화상 신호에 따라 하부 기판 상에 형성된 전극에 전압을 인가하기 위한 박막트랜지스터가 구비될 수 있다. 상기 상부 기판에는 상기 액정층을 투과한 빛이 색깔을 띠도록 하는 컬러필터가 형성될 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에서는 상기 전극 및 박막트랜지스터와 컬러필터는 필요에 따라 상기한 바와 다르 게 형성될 수 있으며, 동일한 기판에 형성될 수 있음은 물론이다.
절단부(20)에서 절단된 단위 기판(100)은 분배부(30)에 이송된다. 상기 분배부(30)는 단위 기판(100)을 순차적으로 또는 특정 순서로 후속 공정에 분배하는 역할을 하며 절단부(20)에서 절단된 기판을 검사하는 기판 검사 장치를 포함할 수 있다. 이때, 상기 기판 검사 장치를 이용하여 상기 기판이 후속 공정에 제공되기 이전에 기판 뜯김 현상이 있는지 이물질이 있는지 등이 검사된다.
결함 여부가 검사된 기판(100)은 기판 연마 장치가 구비된 연마부(40)로 이송되어 기판 연마 장치에 의해 기판 가장자리가 연마된다. 절단하고 나면 상기 기판 가장자리가 매우 날카롭고 작은 균열이 생기는 경우 후속 공정에서 전체적인 균열로 전파될 수 있기 때문에 가장자리를 연마하는 것이다. 기판 가장자리의 날카로운 부분이나 기판 뜯김 현상 등은 연마 공정을 통해 많은 부분 치유된다.
가장자리가 연마된 기판(100)은 절단이나 연마와 같은 공정에서 발생한 이물질이나 기타 필요 없는 물질들을 제거하고 위해서 세정부(50)에서 세정된다.
세정이 끝난 기판(100)은 결국 모듈공정에서 필요한 부품들이 실장되고 조립됨으로써 완제품으로 출시된다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 도시한 평면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치는 상기 기판(100)이 안착되는 스테이지(130)와, 상기 기판 가장자리의 적어도 일측에 구비되며 상기 스테이지(130)에 안착된 기판(100)의 측면과 접촉하여 상기 기판(100)의 측면을 연마하는 연마 휠(120)을 포함한다.
상기 기판(100)은 서로 대응하는 상면(100a)과 하면(100b) 및 상기 상면(100a)과 하면(100b)을 잇는 측면(100c)으로 이루어진다.
상기 기판 연마 장치에는 기판(100)을 수취하여 스테이지에 안착시키는 로더(loader, 140)와, 상기 스테이지(130)를 연마 휠(120)이 구비된 곳으로 이송시키는 전송부(transfer, 170)와, 기판(100)의 모서리의 일부가 연마된 이후 90° 방향으로 회전시키켜 다른 모서리를 연마할 수 있도록 회전 구동부(150), 및 연마가 끝난 기판(100)을 스테이지(130)로부터 수취하여 후속 공정 장치로 반출하는 언로더(unloader, 160)가 구비된다.
상기 로더(140)는 이전 공정에서 처리된 기판(100)을 스테이지(130)로 옮기기 위한 장치로서, 예를 들면 로봇 암(robot arm) 등이 사용될 수 있다.
스테이지(130)에는 기판(100)이 안착된다. 스테이지(130)에는 기판(100)을 안정적으로 안착시키도록 고정부(130)가 구비될 수 있다. 상기 고정부(130)로는 진공 흡착 홀더가 사용될 수 있으며 이에 따라 기판(100)이 상기 스테이지(130)의 상면에 고정된다.
상기 스테이지(130)는 기판(100)에 비해 작은 크기를 가질 수 있다. 이는 기판(100)의 가장자리의 모서리부가 스테이지(130) 밖에 위치하도록 하기 위함이다. 이에 따라 기판(100)의 모서리부분이 효율적으로 연마될 수 있다.
상기 스테이지(130)에는 상기 기판(100)을 연마 휠(120)을 접촉하게 하면서 일 방향으로 이송시키도록 전송부(170)가 구비된다. 또한 상기 스테이지 상에 안착된 기판을 이송시키는 전송부(170)로는 롤러(roller) 또는 컨베이어 벨트(conveyer belt) 등이 사용될 수 있으며, 필요에 따라 상기 로더(140)나 전송부(170)는 일체로 구비될 수 있다.
상기 스테이지(130)의 이동에 의해 기판(100)의 모서리는 연마 휠(120) 사이를 통과하면서 기계적으로 연마된다. 연마 휠(120)은 그 둘레에 연마석이 구비되어 있어 고속으로 회전하면서 상기 기판(100)의 모서리를 연마할 수 있다. 고속으로 회전하는 연마 휠(120)이 기판(100)의 모서리를 연마하는 과정에서는 연마 휠(120)과 기판(100)의 모서리가 물리적으로 마찰되므로 이러한 마찰에 의해 열이 발생한다. 이러한 열을 냉각시키기 위해 초순수(deionized water)가 기판(100)이 연마되는 부분에 분사된다.
여기서, 기판(100)의 모서리를 연마하기 위해 스테이지(130)가 전송부에 의해 이송되는 것을 실시예로서 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 필요에 따라 상기 스테이지(130)와 기판(100)이 고정되고 연마 휠(120)이 상기 기판 모서리를 따라 이동할 수도 있다. 이 경우에는 연마 휠(120)을 이동시킬 수 있는 구동부가 상기 연마 휠(120)에 연결되어 구비된다.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 이용하여 기판을 연마할 때의 기판과 연마 장치의 일부분을 도시한 측면도이다.
도시한 바와 같이, 상기 연마 휠(120)은 중심을 회전축으로 하여 회전하는 원반의 형태로 준비되며, 상기 연마 휠(120)의 가장자리에는 원주를 따라 연마석(121)이 구비될 수 있다. 이때, 상기 원반면은 기판면, 즉 상면과 하면(100a, 100b)과 평행하게 구비되며, 상기 기판면(100a, 100b)의 연장면과 연마 휠(120)의 회전축은 서로 수직을 이룬다.
상기 연마 휠(120)의 가장자리의 측면, 즉 기판과 접촉하는 부분은 상기 기판 가장자리의 측면(100c)에 대응하는 위치에 오목부(123)를 가진다. 상기 오목부(123)의 내부로 기판(100)의 측면이 접촉하여 연마됨으로써 상기 오목부(123)의 모양에 따라 기판(100)의 측면 가장자리의 모양이 결정된다.
이때, 기판(100)의 상부 모서리와 하부 모서리가 동일한 정도로 대칭되게 연마되도록 상기 기판(100의 측면을 이등분하는 면과 상기 연마 휠(120)의 측면을 이등분하는 면이 동일 면이 되도록 얼라인될 수 있다.
상기 오목부(123)는 연마하고자 하는 기판(100)의 가장자리를 어떻게 형성할 것이냐에 따라 다른 형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 기판(100)의 가장자리를 반구 모양으로 연마할 경우에는 그 단면이 오목한 형태의 반구 모양으로 구비될 수 있다. 또한 이 이외에도 반타원 모양으로 형성하고자 할 때에는 오목한 형태의 반타원 모양, 또는 활꼴로 구비될 수 있다.
이때, 상기 오목한 반구나 반타원 형태의 연마 휠 가장자리는 상기 기판(100)을 충분히 감쌀 수 있도록 오목부의 직경(D)이 상기 기판의 두께(즉, 측면의 길이 d)보다 크다.
상기 기판(100)은 한 쌍의 장변과 한 쌍의 단변으로 이루어진 사각 형상으로 구비되므로, 장변이나 단변 중 어느 한 쌍의 변을 먼저 연마할 수 있도록 장변 양측 또는 단변 양측 중 어느 하나에 연마 휠(120)이 구비될 수 있다. 따라서, 기판(100)이 이동함에 따라 기판(100)의 한 쌍의 변이 동시에 연마될 수 있다. 상기 한 쌍의 변을 연마한 다음에는 상기 기판을 90° 회전시켜 한 쌍의 단변을 동시에 연마할 수 있다.
기존 발명에서는 한 쌍의 장변의 모서리를 연마할 경우에는, 한 쌍의 변의 상부 모서리와 하부 모서리를 각각 연마하기 위해, 적어도 두 쌍의 연마 휠이 필요하였으나, 본 발명의 실시예에서는 상기한 바와 같이 한 쌍의 연마휠만 필요하다. 이에 따라 별도의 연마 휠을 준비할 필요가 없으며, 기존 발명에 비해 연마 휠과 기판 사이의 얼라인먼트 또한 간단하게 조절할 수 있는 장점이 있다. 또한 기판 가장자리를 곡면으로 연마함으로써 불꽃 연마나 크랙의 발생을 현저하게 감소시킬 수 있다.
본 발명은 상기한 기판 연마 장치를 이용한 기판 연마 방법을 포함한다.
도 5 내지 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 기판 연마 방법은 먼저 로더(140)를 이용하여 한 쌍의 장변과 한 쌍의 단변으로 이루어진 직사각형 기판(100)을 스테이지(140) 상에 안착시킨다.
그 다음, 상기 기판을 전송부(170)를 이용하여 연마 휠(120)이 준비된 장소로 이동시킨다. 이때, 상기 연마 휠(120)은 기판(100)의 한 쌍의 장변이나 한 쌍의 단변에 대응하는 위치에 구비되며, 양측의 변을 연마할 수 있도록 한쪽에 1개씩 한 쌍이 준비된다.
다음으로 기판(100)의 한 쌍의 장변 및 한 쌍의 단변 중 어느 한 쌍의 가장자리를 상기 기판면의 연장면과 회전축이 수직한 연마 휠(120)로 연마한다.
다음으로 연마된 기판(100)을 회전 구동부(150)로 이송시켜 90° 회전시킨 후 다시 연마 휠(120)이 구비된 장소로 이동시킨다. 상기 90° 회전된 기판(100)은 한 쌍의 남은 변의 가장자리가 연마된다. 본 실시예에서는 기판을 회전 구동부(150)로 이송시켜 회전하나, 필요에 따라 기판을 제자리에서 회전시킬 수도 있다. 이 경우에는 연마 휠(120)을 이동시킴으로써 순차적으로 다른 변을 연마한다.
마지막으로 가장자리가 전부 연마된 기판(100)이 후속 공정으로 언로더(160)를 이용하여 반출된다.
상술한 바와 같이, 상기 연마 휠로 연마하는 할 때 상기 기판이 연마되고 있는 가장자리와 평행한 일 방향으로 이동할 수 있다. 상기 연마 휠은 상기 기판의 한 변에 하나씩 구비되어 상기 기판의 가장자리를 연마할 수 있다. 상기 기판의 한 쌍의 장변 및 한 쌍의 단변 중 어느 한 쌍의 가장자리를 연마할 때, 같은 종류의 두 변을 동시에 또는 각각 연마할 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 그리고, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 연마 장치를 이용하여 기판을 연마하는 것을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 2는 종래 기술에 따른 기판 연마 장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 3은 모기판(10)의 일 예를 나타낸 사시도이다.
도 4은 모기판을 복수 개의 기판으로 절단하는 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 도시한 평면도이다.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마 장치를 이용하여 기판을 연마할 때의 기판과 연마 장치의 일부분을 도시한 측면도이다.
<　도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
100 : 기판 120 : 연마휠
130 : 스테이지 140 : 로더
150 : 회전 구동부 160 : 언로더
170 : 전송부

Claims (12)

  1. 서로 대응하는 상면과 하면 및 상기 상면과 하면을 잇는 측면으로 이루어진 기판을 연마하는 장치에 있어서,
    기판이 안착되는 스테이지와,
    상기 기판 가장자리의 적어도 일측에 구비되며 상기 스테이지에 안착된 기판의 측면과 접촉하여 상기 기판의 측면을 연마하는 연마 휠을 포함하며,
    상기 연마 휠은 상기 가장자리 측면에 대향하는 오목부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 연마 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판면의 연장면과 연마 휠의 회전축은 서로 수직인 것을 특징으로 하는 기판 연마 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기판의 측면을 이등분하는 면과 상기 연마 휠의 측면을 이등분하는 면이 동일면인 것을 특징으로 하는 기판 연마 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 오목부는 반구 또는 반타원 모양을 가지며, 상기 오목부의 직경은 상기 기판의 측면의 길이보다 큰 것을 특징으로 하는 기판 연마 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 한 쌍의 장변과 한 쌍의 단변으로 이루어진 사각 형상이며,
    상기 연마휠은 상기 기판의 한 쌍의 장변과 한 쌍의 단변 가장자리 중 어느 하나에 각각 구비된 것을 특징으로 하는 기판 연마 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기판을 수취하여 상기 스테이지 상에 안착시키는 로더, 상기 기판을 일 방향으로 이송하는 전송부, 및 상기 기판을 후속 장치로 반출하는 언로더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 연마 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 스테이지에 안착된 기판을 90° 회전시키는 회전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 연마 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 스테이지를 일 방향으로 이동시키는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 연마 장치.
  9. 한 쌍의 장변과 한 쌍의 단변으로 이루어진 직사각형 기판을 스테이지 상에 안착시키는 단계;
    상기 기판의 한 쌍의 장변 및 한 쌍의 단변 중 어느 한 쌍의 가장자리를 상기 기판면의 연장면과 회전축이 수직한 연마 휠로 연마하는 단계;
    상기 기판을 90° 회전시키는 단계;
    상기 기판의 한 쌍의 남은 변의 가장자리를 연마하는 단계; 및
    상기 기판을 반출하는 단계를 포함하는 기판 연마 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 연마 휠로 연마하는 할 때 상기 기판이 연마되고 있는 가장자리와 평행한 일 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 연마 방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 기판의 한 변에 하나의 연마 휠로 연마하는 것을 특징으로 하는 기판 연마 방법.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 기판의 한 쌍의 장변 및 한 쌍의 단변 중 어느 한 쌍의 가장자리를 연마하는 단계는 같은 종류의 두 변을 동시에 또는 각각 연마하는 단계인 것을 특징으로 하는 기판 연마 방법.
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