KR20100046829A - 기판 처리 장치 및 그의 기판 감지 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 그의 기판 감지 방법 Download PDF

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KR20100046829A KR1020080105856A KR20080105856A KR20100046829A KR 20100046829 A KR20100046829 A KR 20100046829A KR 1020080105856 A KR1020080105856 A KR 1020080105856A KR 20080105856 A KR20080105856 A KR 20080105856A KR 20100046829 A KR20100046829 A KR 20100046829A
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Abstract

본 발명은 기판의 안착 상태를 감지하기 위한 기판 감지 장치를 구비하는 기판 처리 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 기판 감지 장치는 발광 및 수광 센서들을 이용하여 스핀헤드에 안착된 기판을 안착 상태를 감지한다. 이 때, 기판 처리 장치는 척킹핀들에 대한 데드존이 발생되지 않도록 스핀헤드를 회전시키면서 각각의 척킹핀들의 안착 상태를 감지한다. 센서들은 기판의 수평 방향으로 수광 영역을 형성한다. 본 발명에 의하면, 감지량을 향상시켜서 정확한 기판의 불안전 안착 상태를 검출할 수 있다.
기판 처리 장치, 기판 감지 장치, 척킹핀, 센서, 수평 설치, 회전, 데드존

Description

기판 처리 장치 및 그의 기판 감지 방법{APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE AND METHOD FOR SENSING SUBSTRATE OF THE SAME}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 광센서를 이용하여 스핀헤드에 안착된 기판 안착 상태를 감지하는 기판 감지 장치를 구비하여 데드존을 발생되지 않도록 회전하여 각각이 척킹핀들에 대한 기판의 안착 상태를 감지하는 기판 처리 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
반도체 공정은 웨이퍼 상에 박막, 이물질, 파티클 등을 식각하거나 세정하는 공정을 포함한다. 이와 같은 공정을 처리하는 기판 처리 장치는 패턴 면이 위 또는 아래를 향하도록 웨이퍼를 스핀헤드 상에 놓고, 스핀헤드를 고속으로 회전시키고, 웨이퍼 상에 처리액을 공급함으로써 이루어진다. 스핀헤드 상에는 웨이퍼가 스핀 헤드의 측방향으로 이탈되는 것을 방지하기 위해 웨이퍼의 측부를 지지하는 척킹 핀들이 설치된다.
도 1을 참조하면, 일반적인 기판 처리 장치(10)는 기판(W)을 안착하는 스핀헤드(12) 상부 가장자리에 복수 개의 척킹핀(20)들이 일정 간격으로 배치된다. 또 스핀헤드(12) 상에는 안착된 기판(W)을 지지하는 복수 개의 지지핀(16)들이 척킹핀(20)들과 균등한 간격을 유지하여 배치된다.
또 스핀헤드(12) 중앙 하단에는 스핀헤드(12)를 지지하는 지지축(14)이 연결된다. 지지축(14)은 스핀헤드(12)를 회전시키는 구동부(미도시됨)와 연결된다.
그러나 기판(W)이 스핀헤드(12)에 안착될 때, 도 2에 도시된 바와 같이, 이송 로봇 또는 척킹핀(20)들의 오동작 등으로 불안전한 상태로 기판(W')이 안착되는 경우가 발생된다. 이는 기판 처리 장치(10')가 불안전한 안착 상태로 기판(W')을 회전하게 되어 기판(W')이 파손되거나 손상된다.
이를 방지하기 위하여, 현재, 센서를 이용하여 기판의 안착 상태를 감지하는 기판 처리 장치가 다양한 기술로 공개되어 있다. 그러나 이러한 기판 처리 장치는 기판의 크기가 대형화되고 그 두께가 얇기 때문에, 예를 들어, 300 mm 웨이퍼의 경우 그 두께가 약 0.8 mm 정도로 얇기 때문에 정확한 안착 상태를 감지하기가 어렵다. 또한, 복수 개의 척킹핀들 각각에 대한 기판의 안착 상태를 감지할 수 없어서 감지할 수 없는 영역 즉, 데드존(dead zone)이 발생되는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 센서들의 감도를 향상시켜서 기판의 안착 상태를 감지하는 기판 처리 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 기판의 안착 상태를 감지하기 위하여 기판을 회전하면서 안착 상태를 감지하는 기판 처리 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 기판의 손상을 방지하기 위한 기판 처리 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 기판 처리 장치는 센서들을 이용하고, 기판을 회전하면서 기판의 안착 상태를 감지하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 기판 감지 장치는 각 척킹핀들에 대해 기판의 안착 상태를 감지할 수 있다.
본 발명의 기판 처리 장치는, 기판을 지지하고 회전되는 스핀 헤드와; 상기 스핀 헤드에 안착된 기판을 고정시키는 복수 개의 척킹핀들과; 상기 척킹핀들 외측에 상호 마주보게 설치되고, 일정 영역으로 기판과 평행하게 광신호를 조사하는 발광부 및 상기 발광부로부터 조사된 광신호를 수광하는 수광부를 포함하는 센서 및;
상기 수광부로부터 감지 신호를 받아서 기판이 상기 척킹핀들 중 적어도 하나에 대한 기판의 안착 상태를 판별하는 컨트롤러를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 센서들은 상기 일정 영역이 수평되게 조사 및 수광한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 컨트롤러는 상기 센서로부터 기판의 안착 상태를 감지할 때, 상기 스핀헤드를 회전시킨다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 척킹핀들은 제 1 내지 제 6 척킹핀으로 구비되고; 상기 발광부는 상기 제 1 및 상기 제 2 센서 사이의 외측에 배치되고, 상기 수광부는 상기 제 2 척킹핀과 상기 제 3 척킹핀 사이의 외측에 배치된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 컨트롤러는 상기 스핀 헤드를 적어도 90 도 단위로 복수 회 회전시켜서 상기 척킹핀들에 대한 기판의 안착 상태를 각각 감지한 다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 컨트롤러는 상기 스핀 헤드를 90 도 단위로 4 회 회전시킨다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 기판 처리 장치의 기판 감지 방법이 제공된다. 이 방법에 의하면, 스핀헤드에 기판이 로딩되면, 복수 개의 척킹핀들로 기판을 척킹한다. 발광 및 수광 센서들로 일정 영역으로 발광 및 수광하여 상기 척킹핀들 중 적어도 하나에 대한 기판의 안착 상태 감지한다. 이어서 상기 척킹핀들 중 적어도 하나에 기판이 불안전하게 안착되면, 알람을 발생한다.
한 실시예에 있어서, 상기 일정 영역으로 발광 및 수광하는 것은; 상기 척킹핀들 외측에 상호 대향하여 설치되어 상기 발광 및 상기 수광 센서들이 기판과 평행하게 광신호를 발광 및 수광하도록 상기 발광 및 상기 수광 센서가 수평하게 설치된다.
다른 실시예에 있어서, 상기 기판의 안착 상태를 감지하는 것은; 상기 스핀헤드를 적어도 90 도 단위로 복수 회 회전시켜서 상기 척킹핀들에 대한 기판의 안착 상태를 각각 감지한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 기판의 안착 상태를 감지하는 것은; 상기 척킹핀들은 제 1 내지 제 6 척킹핀으로 구비되고, 상기 발광 센서는 상기 제 1 및 상기 제 2 척킹핀들 사이의 외측에 배치되고, 상기 수광부는 상기 제 2 척킹핀과 상기 제 3 척킹핀들 사이의 외측에 배치되며, 상기 스핀헤드는 90 도 단위로 4 회 회전된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 처리 장치는 센서들의 수광 영역을 조절하여 감지량을 향상시키는 기판 감지 장치를 구비하고, 기판을 회전하면서 기판의 안착 상태를 감지하여 복수 개의 척킹핀들에 대한 데드존을 제거할 수 있다.
또한 본 발명의 기판 처리 장치는 복수 개의 척킹핀들에 대한 정확한 기판의 안착 상태를 감지하여, 공정 중 불안전 안착 상태의 기판이 손상 및 파손되는 것을 줄일 수 있다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 3 내지 도 13을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 구성을 도시한 도면이고, 도 4는 도 3에 도시된 기판 감지 장치의 구성을 도시한 블럭도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 공정을 처리하는 챔버(미도시됨) 내부에 구비되는 기판 지지부재와, 기판 지지부재에 안착된 기판(W)의 안착 상태를 감지하는 기판 감지 장치를 포함한다.
기판 지지부재는 공정 진행 시, 기판(W)을 지지하고, 구동부(미도시됨)에 의해 회전된다. 기판 지지부재는 원형의 상부면을 갖는 스핀헤드(102)를 가지며, 스핀헤드(102)의 상부면에는 기판(W)을 지지하는 복수 개의 지지핀(120)들과, 스핀헤드(102)의 상부면에 안착된 기판을 고정시키는 복수 개의 척킹핀(214)들을 가진다.
지지핀(120)들은 스핀헤드(102)의 상부면 가장자리에 일정 간격으로 이격되어 배치되며, 스핀헤드(102)로부터 상측으로 돌출되게 구비된다. 지지핀(120)들은 기판(W)의 하면을 지지하여 기판(W)이 스핀헤드(102)로부터 상측 방향으로 이격된 상태에서 지지되도록 한다. 지지핀(120)들의 외측에는 복수 개의 척킹핀(110 : 110a ~ 110f)들이 각각 배치되며, 척킹핀(214)들은 상측으로 돌출되도록 구비된다.
척킹 핀(214)들은 복수 개의 지지핀(212)들에 의해 지지된 기판(W)이 스핀헤드(210) 상의 정 위치에 놓이도록 기판(W)을 정렬한다. 공정 진행시 척킹핀(214)들은 기판(W)의 측부와 접촉되어 기판(W)이 정 위치로부터 이탈되는 것을 방지한다.
척킹핀(110)들은 예를 들어, 제 1 내지 제 6 척킹핀(110a ~ 110f)들을 포함한다. 제 1 척킹핀(110a)은 스핀 헤드(102)의 회전 시, 기준이 되는 홈 위치(HOME)에 배치되고, 이로부터 나머지 제 2 내지 제 5 척킹핀(110b ~ 110f)들이 스핀헤드(102)의 가장자리에서 일정 간격 이격되어 균등하게 배치된다. 또 척킹핀(110)들은 클램핑(clamping) 방식으로 기판(W)을 척킹한다. 즉, 척킹핀(110)들은 먼저 기판(W)이 안착되기 전에 대기 상태로 클로즈(closed) 되어 있다. 기판(W)이 스핀헤드(102) 상에 안착되면 척킹핀(110)들은 대기 상태에서 스핀헤드(102)의 가장자리 방향으로 오픈된다. 이어서 기판(W)이 지지핀(120)들에 안착되면 척킹핀(110)들은 다시 스핀헤드(102)의 중심 방향으로 클로즈되어 기판(W)을 척킹한다.
스핀헤드(210)의 하부에는 스핀헤드(210)를 지지하는 지지축(220)이 연결되며, 지지축(220)은 그 하단에 연결된 구동부(미도시됨)에 의해 회전한다. 구동부는 모터 등으로 구비되며, 지지축(220)을 회전시켜서 스핀헤드(210) 및 기판(W)을 회전시킨다.
기판 감지 장치는 스핀헤드(102)의 양측 가장자리에 상호 마주보는 위치에 배치되는 복수 개의 센서(132, 134)들과, 센서(132, 134)들을 제어하여 기판(W)의 안착 상태를 모니터링하는 컨트롤러(104)를 포함한다. 또 컨트롤러(104)는 스핀헤드(102)에 안착된 기판(W)을 회전하도록 구동부(미도시됨)를 제어한다.
센서(132, 134)들은 발광부(발광 센서)(132) 및 수광부(수광 센서)(134)를 구비하고, 도 4에 도시된 바와 같이, 발광부(132) 및 수광부(134)는 앰프(108)를 통해 컨트롤러(104)와 전기적으로 연결된다.
컨트롤러(104)는 앰프(108)로 전기적인 신호를 출력하여 발광부(132)로부터 광신호를 조사하도록 제어한다. 이 때, 앰프(108)는 전기적인 신호를 증폭하여 발광부(132)로 제공한다. 또 컨트롤러(104)는 수광부(134)가 발광부(132)로부터 조사된 광신호를 받아서 기판(W)의 안착 상태에 따른 감지 신호를 제공하도록 제어한다. 이 때에도 앰프(108)는 수광부(134)로부터 출력되는 감지 신호를 증폭하여 컨트롤러(104)로 제공한다. 따라서 컨트롤러(104)는 감지 신호를 받아서, 기설정된 감지량의 기준값과 비교하여, 기판(W)의 불안전 안착 상태를 판별한다. 여기 서 기설정된 기준값은 기판(W)의 불안전 안착 상태를 검출하기 위한 크기의 감지량이다. 컨트롤러(104)는 감지 신호가 기준값을 벗어나면, 기판(W)이 불안전 안착된 상태로 판단하여 알람을 발생하고, 설비(챔버)를 중지시킨다.
발광부(132)는 예를 들어, 제 1 척킹핀(110a)과 제 6 척킹핀(110f) 사이의 외측에 배치되고, 수광부(134)는 제 2 척킹핀(110b)과 제 3 척킹핀(110c) 사이의 외측에 배치된다. 발광부(132)는 수광부(134)로 일정 범위의 조사 영역을 갖는 광신호를 조사한다. 또 수광부(134)는 조사 영역에 대응하는 수광 영역을 갖는다.
즉, 도 5 내지 도 7을 참조하면, 제 1 실시예의 기판 감지 장치(100)는 발광부(132) 및 수광부(134)의 발광 및 수광 영역(136)이 수직 형태로 이루어지도록 설치된다. 발광 및 수광 영역(136)은 기판(W)과 평행한 방향으로 기판(W)을 이 가로지르게 하여, 발광 및 수광 영역(136) 사이에 기판(W)의 위치된 기판 영역(138)을 포함한다. 이 실시예의 기판 감지 장치는 넓은 범위(136)로 기판(W)의 안착 상태를 감지한다.
따라서 이 실시예의 기판 처리 장치(100)는 제 1 내지 제 6 척킹핀(110 : 110a ~ 110f)들 각각에 대해 기판(W)의 안착 상태를 감지하기 위하여, 스핀헤드(102)를 90° 또는 360° 회전시켜서 90°단위로 기판(W)의 안착 상태를 감지한다.
그러나 이 실시예의 경우, 도 6에 도시된 바와 같이, 불필요한 발광 및 수광 영역(136의 d)이 존재한다. 이는 기판(W)의 두께가 얇기 때문에, 기판(W)과 척킹핀들(110)이 접촉하는 부분만 감지할 필요가 있다.
실제로 이 실시예의 기판 감지 장치는 도 11에 도시된 바와 같이, 360°회전한 경우, 각각의 척킹핀(110)들에 대한 기판 안정 안착 상태에 대한 감도(감지량)(142)와 기판 불안전 안착 상태의 감도(140)가 차이가 약 0.19이다. 이는 해당 척킹핀(110)들의 위치에 기판(W)이 있을 때(즉, 안전 안착 상태)나 없을 때(즉, 불안전 안착 상태)에 대한 감도가 차이가 적어 변별력이 떨어진다.
감도(감지량)을 향상시키기 위한 실시예가 도 8 내지 도 10에 도시되어 있다.
도 8 내지 도 9를 참조하면, 이 실시예의 기판 감지 장치는 발광부(132a) 및 수광부(134a)의 발광 및 수광 영역(136a)이 수평 형태로 이루어지도록 설치된다. 발광 및 수광 영역(136a) 사이에는 기판(W)의 위치된 기판 영역을 포함한다.
이 실시예의 기판 감지 장치는 최소한, 기판(W)과 척킹핀(110)들이 접촉하는 부분을 감지하도록 기판(W)과 평행한 방향으로 기판(W)의 상부면 위에 발광 및 수광 영역(136a)이 배치된다. 이 실시예의 기판 처리 장치(100a)는 척킹핀(110)들에 대한 데드존을 제거하기 위하여,스핀헤드(102)를 360° 회전시켜서 90°단위로 제 1 내지 제 6 척킹핀(110a ~ 110f)들에 각각에 대해 기판(W)의 안착 상태를 감지한다.
그러므로 이 실시예의 기판 감지 장치는 도 12에 도시된 바와 같이, 각각의 척킹핀(110)들에 대한 기판 안정 안착 상태에 대한 감도(감지량)(142a)와 기판 불안전 안착 상태의 감도(140a)의 차이가 약 2.8 정도로 제 1 실시예보다 변별력을 가진다.
따라서 본 발명의 기판 감지 장치는 발광부(132, 132a) 및 수광부(134, 134a)의 발광 및 수광 영역(136, 136a)이 수직하게 설치하는 것보다 수평하게 설치하는 것이 보다 효과적으로 기판(W)의 안착 상태를 정확하게 검출할 수 있다. 센서(132a, 134a)들의 발광 및 수광 영역(136a)을 수평하게 설치하는 것은 기판(W)의 안착 상태를 정확하게 검출함으로써, 보다 더 효과적으로 기판(W)의 손상 및 파손을 방지할 수 있으므로, 생산성 향상시킬 수 있다.
계속해서, 도 13은 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 동작 수순을 나타내는 흐름도이다.
도 13을 참조하면, 단계 S200에서 스핀헤드(102)에 기판(W)이 로딩되면, 단계 S202에서 복수 개의 척킹핀(110)들을 이용하여 기판을 척킹한다. 이 때, 척킹핀(110)들은 클램핑 방식으로 기판(W)을 척킹한다. 단계 S204에서 기판(W)의 안착 상태를 발광 및 수광 센서(132, 134 또는 132a, 134a)들을 이용하여 감지한다. 기판(W)이 안착되면, 컨트롤러(104)는 발광 및 수광 센서(132, 134 또는 132a, 134a)들을 작동시켜서 광신호를 발광 및 수광한다.
단계 S206에서 수광된 감지 신호를 이용하여 컨트롤러(104)는 기설정된 기준값과 비교하여 기판이 불안전하게 안착되어 있는지를 판별한다.
판별 결과, 기판(W)이 불안전하게 안착되었으면, 이 수순은 단계 S208로 진행하여 알람을 발생하고, 단계 S210에서 설비 즉, 기판 처리 장치(100, 100a)의 동작을 중지시킨다.
또 판별 결과, 현재 위치의 기판(W)이 안전하게 안착되어 있으면, 이 수순은 단계 S212로 진행하여 나머지 척킹핀(110)들에 대한 기판(W)의 안착 상태를 감지하기 위해 스핀헤드를 90° 또는 360° 회전하고, 90°단위로 회전된 기판의 안착 상태를 복수 회(즉, 4 회) 감지하도록 단계 S204로 진행한다. 특히, 스핀 헤드(102)를 360° 회전하여 안착 상태를 감지할 경우, 데드존(dead zone)이 발생되지 않는다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 처리 장치는 기판의 안정 안착 상태와 불안전 안착 상태에 대한 감지량이 변별력을 갖도록 센서들의 발광 및 수광 영역을 기판에 대향하여 수직 또는 수평하게 함으로써, 정확한 기판의 안착 상태를 감지할 수 있으므로 다발적인 알람을 방지한다.
또 본 발명의 기판 처리 장치는 스핀헤드를 360° 회전하여 각각의 척킹핀들에 대한 기판의 안착 상태를 감지함으로써, 데드존(dead zone)없이 기판의 불안전 안착 상태를 검출하여 공정 중 기판의 파손 및 손상을 방지할 수 있다.
이상에서, 본 발명에 따른 기판 감지 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
도 1은 일반적인 기판 처리 장치의 일부 구성을 도시한 도면;
도 2는 도 1에 도시된 기판 지지부재에 기판이 불안전하게 안착된 상태를 나타내는 도면;
도 3은 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 구성을 도시한 도면;
도 4는 도 3에 도시된 기판 감지 장치의 구성을 도시한 블럭도;
도 5는 도 3에 도시된 기판 감지 장치의 제 1 실시예를 나타내는 사시도;
도 6은 도 5에 도시된 기판 감지 장치의 구성을 도시한 도면;
도 7은 도 6에 도시된 수광부의 수광 영역을 나타내는 도면;
도 8은 도 3에 도시된 기판 감지 장치의 제 2 실시예를 나타내는 사시도;
도 9는 도 8에 도시된 기판 감지 장치의 구성을 도시한 도면;
도 10은 도 9에 도시된 수광부의 수광 영역을 나타내는 도면;
도 11 및 도 12는 도 5 및 도 8의 수광부에 의한 감도를 각각 나타내는 파형도들; 그리고
도 13은 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 동작 수순을 나타내는 흐름도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100, 100a : 기판 처리 장치 102 : 스핀헤드
104 : 컨트롤러 106 : 회전축
108 : 앰프 110, 110a ~ 110f : 척킹핀
120 : 지지핀 132, 132a : 발광부
134, 134a : 수광부 136, 136a : 수광 영역
138, 138a : 기판 영역

Claims (10)

  1. 기판 처리 장치에 있어서:
    기판을 지지하고 회전되는 스핀 헤드와;
    상기 스핀 헤드에 안착된 기판을 고정시키는 복수 개의 척킹핀들과;
    상기 척킹핀들 외측에 상호 마주보게 설치되고, 일정 영역으로 기판과 평행하게 광신호를 조사하는 발광부 및 상기 발광부로부터 조사된 광신호를 수광하는 수광부를 포함하는 센서 및;
    상기 수광부로부터 감지 신호를 받아서 기판이 상기 척킹핀들 중 적어도 하나에 대한 기판의 안착 상태를 판별하는 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 감지 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서들은 상기 일정 영역이 수평되게 조사 및 수광하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는 상기 센서로부터 기판의 안착 상태를 감지할 때, 상기 스핀헤드를 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 척킹핀들은 제 1 내지 제 6 척킹핀으로 구비되고;
    상기 발광부는 상기 제 1 및 상기 제 2 센서 사이의 외측에 배치되고, 상기 수광부는 상기 제 2 척킹핀과 상기 제 3 척킹핀 사이의 외측에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는 상기 스핀 헤드를 적어도 90 도 단위로 복수 회 회전시켜서 상기 척킹핀들에 대한 기판의 안착 상태를 각각 감지하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제 6 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는 상기 스핀 헤드를 90 도 단위로 4 회 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 기판 처리 장치의 기판 감지 방법에 있어서:
    스핀헤드에 기판이 로딩되면, 복수 개의 척킹핀들로 기판을 척킹하고, 발광 및 수광 센서들로 일정 영역으로 발광 및 수광하여 상기 척킹핀들 중 적어도 하나에 대한 기판의 안착 상태 감지하고, 이어서 상기 척킹핀들 중 적어도 하나에 기판이 불안전하게 안착되면, 알람을 발생하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치의 기판 감지 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 일정 영역으로 발광 및 수광하는 것은;
    상기 척킹핀들 외측에 상호 대향하여 설치되어 상기 발광 및 상기 수광 센서들이 기판과 평행하게 광신호를 발광 및 수광하도록 상기 발광 및 상기 수광 센서가 수평하게 설치되는 것을 특징으로 기판 처리 장치의 기판 감지 방법.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 기판의 안착 상태를 감지하는 것은;
    상기 스핀헤드를 적어도 90 도 단위로 복수 회 회전시켜서 상기 척킹핀들에 대한 기판의 안착 상태를 각각 감지하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치의 기판 감지 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 기판의 안착 상태를 감지하는 것은;
    상기 척킹핀들은 제 1 내지 제 6 척킹핀으로 구비되고, 상기 발광 센서는 상기 제 1 및 상기 제 2 척킹핀들 사이의 외측에 배치되고, 상기 수광부는 상기 제 2 척킹핀과 상기 제 3 척킹핀들 사이의 외측에 배치되며, 상기 스핀헤드는 90 도 단위로 4 회 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치의 기판 감지 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101398438B1 (ko) * 2012-11-21 2014-05-27 주식회사 케이씨텍 뒤틀림 센서 어셈블리
WO2016085064A1 (ko) * 2014-11-28 2016-06-02 한화테크윈 주식회사 Pcb 위치 감지 장치

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