KR20100043507A - 반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 이의 제어 방법 - Google Patents

반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 이의 제어 방법 Download PDF

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Abstract

반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 이의 제어 방법에 따르면, 제어 유닛은 반도체 제조 설비에 포함된 처리 유닛들의 동작을 제어하고, 해당 처리 유닛에 오류가 발생되면, 발생한 오류를 판별하여 외부로 다수의 알람을 발생시킨다. 알람 처리 유닛은 제어유닛으로부터 제공된 알람 데이터를 분석하여 알람에 대한 조치 정보를 제어유닛으로 전송한다. 또한, 알람 처리 유닛은 사용자가 알람에 대한 정보를 파악하는데 용이한 도표 형태로 알람에 대한 정보들을 표시한다.

Description

반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 이의 제어 방법{CONTROL SYSTEM OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT AND METHOD OF CONTROLING THE SAME}
본 발명은 반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 이의 제어 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 사용자에게 알람 정보를 표시할 수 있는 반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 이의 제어 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 설비 예를 들어, 포토리소그라피 공정을 처리하는 스피너 시스템은 공정을 처리하는 다수의 프로세스 모듈과, 웨이퍼 이송을 위한 트랜스퍼 모듈을 구비한다. 프로세스 모듈은 예컨대 코터, 디벨로퍼, 베이커 및 노광 장치 등으로 구성되며 트랜스퍼 모듈은 다수의 이송 로봇들을 포함한다. 이들 프로세스 모듈들과 트랜스퍼 모듈들은 네트워크를 통해 연결된 제어 장치에 의해 제어된다.
제어 장치는 예컨대, CTC(Cluster Tool Controller) 시스템으로써, 메인 제어부로서의 호스트(host)와, 프로세스 모듈 컨트롤러 및 트랜스퍼 모듈 컨트롤러를 포함하고, 이들은 상호 CTC 네트워크를 통해 연결된다. 그리고 제어 장치는 공정을 처리하기 위한 레시피, 스케쥴링 등을 설정하고, 설정된 정보에 의해 반도체 제조 설비를 제어한다.
이러한 반도체 제조 설비는 공정 진행 중, 프로세스 모듈 또는 트랜스퍼 모듈의 동작 오류가 발생되면, 외부로 오류 발생을 알리는 알람을 발생시킨다. 이 때, 반도체 제조 설비는 알람 정보 예를 들어, 오류 발생 유닛, 발생 시간, 증상, 원인 및 간단한 조치 방법 등을 사용자 인터페이스를 이용하여 텍스트 형태로 간략하게 표시한다.
그러나, 텍스트 형태로 표시된 정보 만으로는 사용자가 파악할 수 있는 부분이 적으며, 특히 알람 발생 빈도 및 주기 등을 파악하는데에는 많은 어려움이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 사용자에게 도표 형태로 알람 정보를 표시하는 반도체 제조 설비의 제어 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 사용자에게 도표 형태로 알람 정보를 표시하는데 적용되는 반도체 제조 설비의 제어 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 반도체 기판을 제조하는 반도체 제조 설비의 제어 시스템은 상기 반도체 제조 설비에 포함된 처리 유닛들의 동작을 제어하고, 해당 처리 유닛에 오류가 발생되면, 발생한 상기 오류를 판별하여 외부로 다수의 알람을 발생시키는 제어유닛, 및 상기 제어유닛으로부터 발생된 상기 알람들에 대한 데이터를 수신 하고, 상기 알람 데이터를 분석하여 상기 알람에 대한 조치 정보를 상기 제어유닛으로 전송하며, 상기 알람에 대한 정보들을 사용자에게 도표 형태로 표시하는 알람 처리 유닛을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 알람 처리 유닛은 사용자가 상기 알람의 발생 빈도 및 주기를 파악할 수 있도록 상기 처리 유닛들 각각에 대해서 날짜별로 상기 알람이 발생한 구간을 표시한다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 알람 처리 유닛은 상기 알람 정보들을 텍스트 형태로 더 표시하며, 상기 텍스트 형태로 표시되는 상기 알람 정보들은 상기 해당 처리 유닛에 발생한 알람의 종류, 상기 알람의 발생 시간 및 상기 알람의 조치 사항 등을 포함한다.
본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 제어 방법은 상기 반도체 제조 설비에 포함된 처리 유닛들 중 오류가 발생된 처리 유닛에 대한 알람을 제어 유닛을 통해 발생하는 단계; 상기 알람에 대한 조치 정보에 근거하여 상기 알람이 발생한 해당 처리 유닛의 동작을 제어하는 단계; 및 상기 알람에 대한 정보들을 도표 형태로 사용자에게 표시하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 알람에 대한 정보들을 표시하는 단계는 상기 처리 유닛들 각각에 대해서 날짜별로 상기 알람이 발생한 구간을 도표로 표시한다.
이와 같은 반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 이의 제어 방법에 따르면, 알람 처리 유닛은 알람 정보들을 텍스트 및 도표 형식으로 표시함으로써, 사용자는 텍스트로 파악하기 어려운 정보들을 도표를 통해 용이하게 파악할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 제어 시스템을 나타낸 블럭도이다.
도 1을 참조하면, 제어 시스템(100)은 제1 내지 제N 반도체 제조 설비(10-1, 10-2,...10-N)과 네트워크를 통해 연결된다. 예를 들어, 반도체 제조 설비들(10-1, 10-2,...10-N) 각각은 반도체 기판(이하, '웨이퍼') 상에 사진 공정(photo-lithography process)을 수행하는 스피너 설비(spinner facility)일 수 있다.
상기 스피너 설비는 웨이퍼를 공급, 회수하는 카세트 모듈과, 공정을 처리하는 프로세스 모듈과, 웨이퍼 이송을 위한 트랜스퍼 모듈로 이루어진다. 프로세스 모듈은 도포 공정, 현상 공정 및 베이크 공정 등을 수행하는 다수의 처리 유닛으로 이루어지고, 트랜스퍼 모듈은 웨이퍼를 이송하는 다수의 이송 로봇으로 이루어진다.
상기 제어 시스템(100)은 상기 제1 내지 제N 반도체 제조 설비들(10-1, 10-2,...10-N)의 제반 동작을 제어하는 CTC(Cluster Tool Controller) 유닛(110) 및 상기 제1 내지 제N 반도체 제조 설비(10-1, 10-2,...10-N)의 처리 유닛들(미도시됨) 중 어느 하나로부터 알람이 발생되면, 알람을 처리하도록 상기 CTC 유닛(110)에 조치 사항을 제공하는 알람 처리 유닛(120)을 포함한다.
상기 CTC 유닛(110)은 상기 카세트 모듈, 프로세스 모듈 및 트랜스퍼 모듈에 네트워크를 통해 연결되며, 각 모듈의 동작을 제어한다. 상기 CTC 유닛(110)은 프로세스 모듈 컨트롤러(PMC)(111) 및 트랜스퍼 모듈 컨트롤러(TMC)(112)를 포함하고, 공정을 처리하기 위한 레시피, 스케쥴링 등을 설정하여 반도체 제조 설비들(10-1, 10-2,...10-N)을 제어한다.
또한, 상기 CTC 유닛(110)은 상기 제1 내지 제N 반도체 제조 설비들(10-1, 10-2,...10-N) 각각에 포함된 처리 유닛들을 감시하여 각 처리 유닛에 오류가 발생하면, 오류를 판별하여 알람을 발생한다.
상기 알람 처리 유닛(120)은 상기 CTC 유닛(110)으로부터 발생된 알람에 대한 데이터를 수신하고, 해당 알람에 대한 적절한 조치 사항을 상기 CTC 유닛(110)으로 제공한다. 상기 알람 처리 유닛(120)은 상기 CTC 유닛(110) 내부에 포함되거나 또는 독립적으로 구비될 수 있다. 상기 알람 처리 유닛(120)이 독립적으로 구비된 경우 네트워크를 통해 상기 CTC 유닛(110)과 상호 데이터를 전송할 수 있다.
상기 알람 처리 유닛(120)은 알람 발생시 조치 방법에 대한 상세한 정보를 저장하는 데이터베이스 서버(130)와 연결된다. 상기 알람 처리 유닛(120)은 상기 CTC 유닛(110)으로부터 수신한 알람에 대한 조치 사항을 데이터베이스 서버(130)로부터 읽어들여 상기 CTC 유닛(110)으로 제공한다. 따라서, 상기 CTC 유닛(110)은 상기 조치 사항에 근거하여 오류가 발생한 해당 처리유닛의 동작을 제어할 수 있다.
또한, 상기 알람 처리 유닛(120)은 상기 CTC 유닛(110)으로부터 제공된 상기 알람 데이터를 분석하여 사용자가 인식할 수 있도록 알람에 대한 정보들을 사용자 인터페이스 장치(이하, 표시장치(121))를 이용하여 표시할 수 있다.
상기 표시장치(121)는 상기 알람에 대한 정보들을 텍스트 형태 및 도표 형태로 표시할 수 있다. 상기 알람에 대한 정보 중 상기 알람이 발생한 처리 유닛의 번호, 상기 알람의 발생 시간, 상기 알람의 종류, 및 필요한 조치 작업 등에 대해서는 텍스트 형태로 표시될 수 있다. 또한, 상기 표시장치(121)는 상기 알람의 발생 빈도 및 주기 등과 같이 텍스트로 판별하기 어려운 정보들은 도표 형태로 표시할 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 제어 시스템의 알람 처리 과정을 나타낸 흐름도이다.
도 2를 참조하면, 반도체 제조 설비에 포함된 처리 유닛들 중 오류가 발생된 처리 유닛에 대한 알람이 CTC 유닛(110, 도 1에 도시됨)을 통해 발생한다(S20).
상기 알람에 대한 조치 정보에 근거하여 상기 알람이 발생한 해당 처리 유닛의 동작을 제어한다(S21).
다음, 상기 알람에 대한 정보들을 사용자가 확인할 수 있도록 텍스트 및 도표 형태로 표시한다(S22). 특히, 상기 알람의 발생 빈도 및 주기 등을 사용자가 도표를 통해서 용이하게 확일할 수 있도록 알람 발생 시간, 날짜 및 처리 유닛 등을 항목으로 하여 도표로 나타낼 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 표시장치에 표시되는 갠트차트를 나타낸 도면이다.
도 3을 참조하면, 표시장치(121, 도 1에 도시됨)는 사용자가 원하는 처리 유닛을 선택하면, 선택된 처리 유닛에 대한 알람 정보들을 갠트차트(Gantt Chart) 형 태로 표시할 수 있다.
본 발명의 일 실시예로, 상기 갠트차트에서 x축은 24 시간(hour)을 나타내고, y축은 날짜(Date)를 나타낸다. 따라서, 사용자는 상기 갠트차트를 통해 1일 단위로 24 시간 중에서 각 처리 유닛에 알람이 발생한 시간을 파악할 수 있다. 또한, 상기 사용자는 상기 갠트차트를 통해서 날짜별로 알람 발생 빈도를 비교할 수도 있고, 알람이 많이 발생하는 시간 등을 용이하게 파악할 수 있다.
도면에 도시하지는 않았지만, 상기 갠트차트의 x축은 1시간 단위가 아닌 몇 분 단위로 확대하여 표시될 수도 있다. 또한, y축을 처리 유닛의 번호로 설정할 경우, 사용자는 각 처리 유닛에서 알람이 발생하는 시간 등을 확인하거나 알람이 빈번하게 발생하는 시간등을 처리 유닛별로 비교할 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 제어 시스템을 나타낸 블럭도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제어 시스템의 알람 처리 과정을 나타낸 흐름도이다.
도 3은 도 1에 도시된 표시장치에 표시되는 갠트차트를 나타낸 도면이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100 : 제어 시스템 110 : CTC 유닛
120 : 알람 처리 유닛 130 : 데이터베이스 서버
10-1~10-N : 제1 내지 제N 반도체 제조 설비

Claims (5)

  1. 반도체 기판을 제조하는 반도체 제조 설비의 제어 시스템에서,
    상기 반도체 제조 설비에 포함된 처리 유닛들의 동작을 제어하고, 해당 처리 유닛에 오류가 발생되면, 발생한 상기 오류를 판별하여 외부로 다수의 알람을 발생시키는 제어유닛; 및
    상기 제어유닛으로부터 발생된 상기 알람들에 대한 데이터를 수신하고, 상기 알람 데이터를 분석하여 상기 알람에 대한 조치 정보를 상기 제어유닛으로 전송하며, 상기 알람에 대한 정보들을 사용자에게 도표 형태로 표시하는 알람 처리 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 제어 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 알람 처리 유닛은 사용자가 상기 알람의 발생 빈도 및 주기를 파악할 수 있도록 상기 처리 유닛들 각각에 대해서 날짜별로 상기 알람이 발생한 구간을 표시하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 제어 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 알람 처리 유닛은 상기 알람 정보들을 텍스트 형태로 더 표시하며,
    상기 텍스트 형태로 표시되는 상기 알람 정보들은 상기 해당 처리 유닛에 발생한 알람의 종류, 상기 알람의 발생 시간 및 상기 알람의 조치 사항 등을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 제어 시스템.
  4. 상기 반도체 제조 설비에 포함된 처리 유닛들 중 오류가 발생된 처리 유닛에 대한 알람을 제어 유닛을 통해 발생하는 단계;
    상기 알람에 대한 조치 정보에 근거하여 상기 알람이 발생한 해당 처리 유닛의 동작을 제어하는 단계; 및
    상기 알람에 대한 정보들을 도표 형태로 사용자에게 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 제어 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 알람 정보들을 표시하는 단계는,
    상기 처리 유닛들 각각에 대해서 날짜별로 상기 알람이 발생한 구간을 도표로 표시하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 제어 방법.
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